JPH10115666A - テスト回路を組み込んだ集積回路、テスト回路及びテストボードを有する集積回路装置、並びに集積回路の試験方法 - Google Patents

テスト回路を組み込んだ集積回路、テスト回路及びテストボードを有する集積回路装置、並びに集積回路の試験方法

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JPH10115666A
JPH10115666A JP8271109A JP27110996A JPH10115666A JP H10115666 A JPH10115666 A JP H10115666A JP 8271109 A JP8271109 A JP 8271109A JP 27110996 A JP27110996 A JP 27110996A JP H10115666 A JPH10115666 A JP H10115666A
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Soichi Kawasaki
崎 壮 一 川
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Toshiba Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 多ピン構成のLSIをピン数の少ないLSI
テスタでテストする場合、LSIに内蔵するテスト回路
の素子数が多く、また遅延時間が生じるなどのテストに
より生じるペナルティが大きかった。 【解決手段】 2m本の出力端子を有するLSI内部回
路110に、前記出力端子にそれぞれ接続されたトライ
ステートバッファを有するテスト回路111〜113
と、トライステートバッファに制御信号A、Bを入力す
る入力バッファ151及び152とが内蔵されたLSI
101と、トライステートバッファの出力端子を2本ず
つ短絡してm本のテスタピン1〜mに接続し、入力バッ
ファ151及び152とテスタピンA及びBをそれぞれ
接続するテストボードとを備え、テストモードにおいて
制御信号A、Bによりトライステートバッファの出力状
態を切り換えてLSI内部回路110の出力信号11、
21、…、m1又は12、22、…、m2のいずれかを
選択してLSIテスタ103に入力しテストする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、テスト回路を組込
んだ集積回路、このような集積回路とテストボードとを
有する集積回路装置、並びに集積回路のテストを行う方
法に関し、特に多ピン構成の集積回路をピン数の少ない
テスタでテストを行う場合に好適な装置及び方法に関す
る。
【0002】
【従来の技術】大規模集積回路(以下、LSIという)
に対し、LSIテスタを用いて機能テストあるいはAC
テストを行う場合、LSIテスタからLSIへ入力信号
を供給し、LSIから出力された信号と出力されるべき
期待値信号とを比較して、不良又は良品の判定を行って
いる。
【0003】LSIのDCテストは、LSIの入力及び
出力端子にLSIテスタから電圧又は電流を供給し、L
SIの入力及び出力端子における電流又は電圧をLSI
テスタで測定して、測定値と仕様とを比較して不良又は
良品の判定を行っている。
【0004】このようなテストでは、LSIの入力又は
出力端子とLSIテスタの入力又は出力端子とを接続す
る必要がある。従って、LSIが多ピン構成であって、
LSIの端子数がLSIテスタの端子数よりも多いよう
な場合、直接両者を接続することができず、このままで
はテストをすることができない。
【0005】一般に、LSIテスタでは入力端子又は出
力端子は1つのテスタピンを共用し、共通に外部に接続
される構成となっている。DCテストにおいてLSIに
電流又は電圧を供給する場合にも、この1つのテスタピ
ンを用いて行っている。従って、LSIの1本のテスタ
ピンを越える端子数のLSIに対しては、ファンクショ
ン、AC、又はDCテストのいずれも直接LSIテスタ
を接続して行うことができないことになる。
【0006】そこで、LSIテスタの端子数を越えるよ
うなLSIを開発する場合には、LSI評価技術者はL
SIとLSIテスタとの接続を可能にするために、図4
に示されたようなテストボードを作成していた。LSI
には、n本の出力端子1A、1B、2A、2B、…、m
A、mB、m+1、m+2、…、n(mは2以上の整
数、nはm以上の整数)が設けられており、LSIテス
タにはn−m/2本のテスタピン1、2、…、m、m+
1、m+2、nが設けられている。LSIのm/2本の
出力端子に関しては、LSIテスタにリレーR1〜Rm
を介して接続する。リレーR1〜Rmにはそれぞれ3本
の出力端子が設けられており、リレーR1を例にとる
と、リレーの制御に用いられ、LSIテスタにより制御
されるリレー制御ピン1A及び1Bと、LSIテスタに
出力信号を入力するためのテスタピン1とが存在する。
【0007】このようなLSIのAグループの出力信号
とBグループの出力信号とを多重化させるテストボード
を作成することにより、LSIテスタによってリレーR
1〜Rmの接続を切り換えて、LSIのAグループのL
SI出力端子1A、2A、…、mA又はBグループの出
力端子1B,2B、…、mBのいずれか一方からの出力
信号をテスタピン1〜mから取り出してLSIテスタに
入力することができる。
【0008】しかし、リレーを用いて信号を多重化させ
ると、多重化させる信号の数、即ち図4のテストボード
では2m本の信号数だけリレーの制御信号が増加する。
このため、LSIをテストするためのテストプログラム
の開発が複雑化していた。
【0009】また、LSIからの出力信号をリレーを介
して取り出すと、リレーによって信号が遅延される。よ
って、本来のLSIの特性を正確に評価することができ
ないという問題があった。
【0010】さらには、LSIの端子数が多いとテスト
ボードの回路構成が複雑化し、リレーの故障も多く発生
して安定したテストの実施が困難であるという問題もあ
った。
【0011】従来のテスト手法には、図5に示されたよ
うなテスト回路をLSI側に組み込むものもあった。L
SI内部の出力信号11、12、21、22、…、m
1、m2のうち、例えば11及び12を選択回路1によ
って多重化し、出力バッファBUF12を介して出力端
子OUT12よりテスタピン1へ出力する。選択回路1
〜mの切り換え動作は制御信号Aを入力することで行
う。論理「0」を入力したときは通常モードであり、出
力信号11、12、21、22、…、m1、m2はそれ
ぞれ同数の出力端子OUT11、12、21、22、
…、m1、m2から出力される。論理「1」を入力した
ときは切換モードであり、出力信号11は選択回路1を
経て出力端子OUT12から出力され、出力信号21は
選択回路2を経て出力端子OUT22から出力される。
【0012】このような手法を用いた場合には、LSI
の出力端子OUT11、12、21、22、…、m1、
m2のうち、OUT12、OUT22、…、OUTm2
を直接LSIテスタのテスタピン1〜mに接続すればよ
く、接続及び切換制御という点で簡便である。
【0013】ところが、切換モードにおいて、例えばL
SIの内部出力信号11が出力端子OUT12より出力
されてテスタピン1へ入力される信号経路において、選
択回路1という負荷が存在し、信号遅延が生じる。ま
た、出力端子OUT11に接続された出力バッファBU
F11、出力端子OUT21に接続された出力バッファ
BUF21、…のテストを行うことはできない。
【0014】出力バッファBUF11、BUF21、…
等のテストを可能にするためには、出力バッファを入出
力バッファに置き換えて、この入出力バッファからの出
力信号を選択回路1へ入力する方法も考えられる。しか
し、出力バッファを入出力バッファに置き換えるとLS
Iチップのサイズが増大する。さらに、LSIの出力信
号11が出力端子12から取り出されるまでの信号経路
に、入出力バッファと選択回路とが存在し、信号遅延が
より大きく生じて本来のLSIのテストを行うことがで
きないという問題もあった。
【0015】従来のテストには、図6に示されたような
回路を用いたバウンダリスキャンと呼ばれる手法も存在
する。LSIのm本の内部出力信号1〜mに対応して記
憶回路1〜mと、選択回路11及び12、21及び2
2、…、m1及びm2とがLSIに組み込まれている。
テストを行う場合は、選択回路11〜m2によって記憶
回路1〜mがシリアルに接続され、LSIの出力端子O
UTmから内部出力信号1〜mがシリアルに出力され
て、LSIテスタのテスタピン1に入力される。
【0016】この手法を用いると、LSIのm本の内部
出力信号を多重化して1本の出力端子OUTmから取り
出すことができるため、LSI出力端子OUTmをLS
Iテスタのテスタピン1に接続すればよく、テストボー
ドは非常に簡単な構成で足りる。
【0017】しかし、通常動作を行う通常モードにおい
て、LSIの内部出力信号1がLSI出力端子OUT1
から出力されるまでの信号経路には、選択回路12が付
加され、遅延が生じる。また、内部出力信号1〜mを、
シリアルに接続した記憶回路1〜mを経て出力端子OU
Tmから取り出す場合には、通常のm倍のテスト時間が
かかる。よって、通常の動作速度でのテストは不可能で
ある。
【0018】さらに、テスト用に付加する回路の規模
が、2m個の選択回路、m個の記憶回路というように大
きい。また、出力バッファBUF1〜BUFmについて
はテストすることができないという問題も存在する。
【0019】
【発明が解決しようとする課題】このように、従来は多
ピン構成のLSIをLSIテスタを用いて試験を行う場
合、信号遅延が生じて本来のLSIの動作で試験を行う
ことができなかったり、テスト回路の規模あるいはテス
ト時間の増加を招く等の種々の問題があった。
【0020】本発明は上記事情に鑑み、多ピン構成のL
SIのテストを行う場合に、テスト回路によってもたら
される信号遅延やコストの増加、あるいはテスト時間の
増加といったペナルティを最小限に抑制し得るテスト回
路を組み込んだ集積回路、テスト回路及びテストボード
を有する集積回路装置、並びに集積回路の試験方法を提
供することを目的とする。
【0021】
【課題を解決するための手段】本発明の集積回路は、k
×m本の出力端子を有する内部回路と、前記内部回路の
前記出力端子にそれぞれ入力側を接続され、k個ずつm
組みに分類されたk×m個のトライステートバッファ
と、外部から入力されたk個の制御信号のいずれかを入
力されてそれぞれの組みにおいて対応する前記トライス
テートバッファの制御端子にこの制御信号を出力し、前
記トライステートバッファの出力状態を制御するk個の
入力バッファとを備えることを特徴としている。
【0022】本発明の集積回路装置は、上記集積回路
と、前記トライステートバッファの出力端子にそれぞれ
接続され、前記トライステートバッファに対応してk個
ずつm組みに分類されたk×m本のトライステートバッ
ファ用入力端子と、k個ずつの前記出力端子を短絡され
て接続されたm個のトライステートバッファ用出力端子
と、前記入力バッファの入力端子にそれぞれ接続された
k個の入力バッファ用出力端子と、前記入力バッファ用
出力端子にそれぞれ接続されたk個の入力バッファ用入
力端子とを有するテストボードとを備えている。
【0023】本発明の他の集積回路は、k×m本の出力
端子を有する内部回路と、前記内部回路の前記出力端子
にそれぞれ入力側を接続され、k個ずつm組みに分類さ
れたk×m個のトライステートバッファと、外部から入
力されたk×m個の制御信号のいずれかを入力されて対
応する前記トライステートバッファの制御端子にこの制
御信号を出力し、前記トライステートバッファの出力状
態を制御するk×m個の入力バッファとを備えている。
【0024】また、本発明のさらに他の集積回路は、m
本の出力端子とm本の入力端子とを有する内部回路と、
前記内部回路の前記出力端子にそれぞれ入力側を接続さ
れたm個のトライステートバッファと、前記入力端子に
それぞれ出力側を接続されたm個の入力バッファと、外
部から入力された制御信号を与えられて前記トライステ
ートバッファの制御端子にこの制御信号を出力し、前記
トライステートバッファの出力状態を制御する制御用入
力バッファとを備えている。
【0025】本発明のk×m本の出力端子を有する内部
回路を含んだ集積回路を少なくともm+k本のテスタ端
子を有するテスタを用いてテストを行う方法は、前記集
積回路に、前記内部回路の前記出力端子にそれぞれ入力
側を接続され、k個ずつm組みに分類されたk×m個の
トライステートバッファと、外部から入力されたk個の
制御信号のいずれかを入力されてそれぞれの組みにおい
て対応する前記トライステートバッファの制御端子にこ
の制御信号を出力し、前記トライステートバッファの出
力状態を制御するk個の入力バッファとを組み込み、前
記トライステートバッファの出力端子にそれぞれ接続さ
れ、前記トライステートバッファに対応してk個ずつm
組みに分類されたk×m本のトライステートバッファ用
入力端子と、k個ずつの前記出力端子を短絡されて接続
され、m本の前記テスタ端子にそれぞれ接続されたm本
のトライステートバッファ用出力端子と、前記入力バッ
ファの入力端子にそれぞれ接続されたk個の入力バッフ
ァ用出力端子と、前記入力バッファ用出力端子にそれぞ
れ接続され、k本のテスタ端子に接続されたk個の入力
バッファ用入力端子とを有するテストボードを用意し、
テストモードにおいて、k個の前記制御信号のうち、い
ずれか1つを第1の値に、他のk−1個の制御信号を第
2の値に設定して、前記テスタから前記テストボードを
介して対応する前記トライステートバッファの制御端子
にそれぞれ与え、m組みにおけるk個のトライステート
バッファのうちの1つをそれぞれ出力バッファとして動
作させ、他のk−1個のトライステートバッファの出力
状態をそれぞれハイインピーダンスにして、出力バッフ
ァとして動作するm個の前記トライステートバッファに
接続された前記内部回路の出力端子から出力されたm個
の信号を前記テストボードを介しテスタに入力してテス
トすることを特徴としている。
【0026】あるいは、本発明のk×m本の出力端子を
有する内部回路を含んだ集積回路を、少なくとも1+k
×m本のテスタ端子を有するテスタを用いてテストを行
う方法は、前記集積回路に、前記内部回路の前記出力端
子にそれぞれ入力側を接続され、k個ずつm組みに分類
されたk×m個のトライステートバッファと、外部から
入力されたk×m個の制御信号のいずれかを入力されて
対応する前記トライステートバッファの制御端子にこの
制御信号を出力し、前記トライステートバッファの出力
状態を制御するk×m個の入力バッファとを組み込み、
前記トライステートバッファの出力端子にそれぞれ接続
され、前記トライステートバッファに対応してk個ずつ
m組みに分類されたk×m本のトライステートバッファ
用入力端子と、前記トライステートバッファ用出力端子
を全て短絡されて接続され、1本の前記テスタ端子に接
続された1本のトライステートバッファ用出力端子と、
前記入力バッファの入力端子にそれぞれ接続されたk×
m個の入力バッファ用出力端子と、前記入力バッファ用
出力端子にそれぞれ接続され、k×m本のテスタ端子に
接続されたk×m個の入力バッファ用入力端子とを有す
るテストボードを用意し、テストモードにおいて、k個
の前記制御信号のうち、いずれか1つを第1の値に、他
のk×m−1個の制御信号を第2の値に設定して、前記
テスタから前記テストボードを介して対応する前記トラ
イステートバッファの制御端子にそれぞれ与え、前記ト
ライステートバッファのうちの1つを出力バッファとし
て動作させ、他のk×m−1個のトライステートバッフ
ァの出力状態をハイインピーダンスにして、出力バッフ
ァとして動作する1個の前記トライステートバッファに
接続された前記内部回路の出力端子から出力された1個
の信号を前記テストボードを介しテスタに入力してテス
トする。
【0027】さらに、本発明のm本の出力端子とm本の
入力端子を有する内部回路を含んだ集積回路を、m+1
本のテスタ端子を有するテスタを用いてテストを行う方
法は、前記集積回路に、前記内部回路の前記出力端子に
それぞれ入力側を接続され、m組みに分類されたm個の
トライステートバッファと、前記入力端子にそれぞれ出
力側を接続され、m組みに分類されたm個の入力バッフ
ァと、外部から入力された制御信号を与えられて前記ト
ライステートバッファの制御端子にこの制御信号を出力
し、前記トライステートバッファの出力状態を制御する
制御用入力バッファとを組み込み、前記トライステート
バッファの出力端子にそれぞれ接続され、前記トライス
テートバッファに対応してm組みに分類されたm本のト
ライステートバッファ用入力端子と、前記入力バッファ
の入力端子にそれぞれ接続され、前記入力バッファに対
応してm組みに分類されたm本の入力バッファ用出力端
子と、前記制御用入力バッファの入力端子に接続された
制御用出力端子と、1本ずつの前記トライステートバッ
ファ用入力端子と前記入力バッファ用出力端子とを短絡
されて接続され、m本の前記テスタ端子にそれぞれ接続
されたm本の入出力端子と、前記制御用出力端子に接続
され、1本のテスタ端子に接続された1本の制御用入力
端子とを有するテストボードを用意し、テストモードに
おいて、前記内部回路から信号を出力するときは、第1
の値を有する前記制御信号を前記テスタから前記テスト
ボードを介して前記トライステートバッファの制御端子
に与えて全て出力バッファとして動作させ、前記内部回
路の出力端子から出力されたm個の信号を前記テストボ
ードを介しテスタに入力してテストし、前記内部回路へ
信号を入力するときは、第2の値を有する前記制御信号
を前記テスタから前記テストボードを介して前記トライ
ステートバッファの制御端子に与えて全て出力状態をハ
イインピーダンスにし、前記テスタから前記テストボー
ドを介してm個の信号を前記内部回路に与えてテストす
ることを特徴とする。
【0028】
【発明の実施の形態】以下に、本発明の一実施の形態に
ついて図面を参照して説明する。
【0029】先ず、本発明の第1の実施の形態によるテ
スト回路をLSI内部回路と共に組み込んだLSIと、
このようなLSIとテストボードとを有するLSI装置
の構成を図1に示す。LSI101には、内部出力信号
11〜m2を出力するLSI内部回路110と、2本ず
つm組みの内部出力信号11及び12、21及び22、
…、m1及びm2を入力されるテスト回路111、11
2、…、113と、テスト回路111、112、…、1
13の切り換え制御を行うための入力バッファ151及
び152と、LSI入力パッド153及び154と、L
SI外部出力端子125及び126、131及び13
2、141及び142、LSI外部入力端子155及び
156が設けられている。LSI外部出力端子125及
び126、131及び132、141及び142は、テ
ストボード102を介して、それぞれLSIテスタ10
3のテスタピン1、2、…、mに接続され、LSI外部
入力端子155及び156は同様にテストボード102
を介してLSIテスタ103のテスタピンA及びBに接
続されている。
【0030】テスト回路111、112、…、113
は、テスト回路111を例にとると、二つのトライステ
ートバッファ121及び122を有し、入力側はそれぞ
れLSI内部回路110から内部出力信号11及び12
を入力され、出力側はそれぞれLSIの出力パッド12
3及び124を介してLSI外部出力端子125及び1
26に接続されている。トライステートバッファ121
及び122の出力状態は、テスタピンA及びBから入力
された制御信号A及びBが、LSI外部入力端子155
及び156、LSIの入力パッド153及び154、入
力バッファ151及び152を介してトライステートバ
ッファ121及び122に入力されて、ハイインピーダ
ンス又はロウインピーダンスに切り換わる。
【0031】このような構成を備えた第1の実施の形態
は、テストモードにおいてそれぞれ以下のように動作す
る。
【0032】通常モードを確認するときは、テスト回路
111〜113のそれぞれの内部のトライステートバッ
ファの出力状態がロウインピーダンスになるように、電
源電圧Vccと同様なハイレベルの制御信号A及びBがL
SIテスタ103からトライステートバッファの制御端
子に入力される。これにより、トライステートバッファ
はそれぞれ出力バッファとして動作する。回路110か
ら出力された内部出力信号11、12、21、22、
…、m1、m2は、それぞれテスト回路111、11
2、…、113のトライステートバッファを介してLS
I外部出力端子125、126、131、132、…、
141、142から出力される。ここで、通常モードは
テストモードに含まれるもので、トライステートバッフ
ァの出力が競合しないように、短絡するトライステート
バッファの出力状態を同一にしてから行う必要がある。
【0033】テストモードでは、2本ずつm組みの内部
出力信号11及び12、21及び22、…、m1及びm
2のうち、Aグループに属する内部出力信号11、2
1、…、m1と、Bグループに属する内部出力信号1
2、22、…、m2のうちのいずれか一方が選択され
て、短絡されたLSI外部出力端子125及び126、
131及び132、…、141及び142を介してLS
Iテスタ103のm本のテスタピン1〜mに入力され
る。Aグループが選択されたときは、制御信号Aがハイ
レベル、制御信号Bがロウレベルにあり、テスト回路1
11を例にとるとAグループのトライステートバッファ
121の出力状態がロウインピーダンスでBグループの
トライステートバッファ122の出力状態がハイインピ
ーダンスになる。Bグループが選択されたときは、制御
信号Aがロウレベル、制御信号Bがハイレベルにあり、
テスト回路111を例にとるとAグループのトライステ
ートバッファ121の出力状態がハイインピーダンスで
Bグループのトライステートバッファ122の出力状態
がロウインピーダンスになる。
【0034】このような手順により、LSI101の内
部出力信号11〜m2をLSIテスタ103を用いてテ
ストすることができる。また、従来の装置と異なり、L
SI101に組み込んだテスト回路111〜113の全
てのトライステートバッファを、DCテストでテストす
ることが可能である。通常モードにおけるテストは、次
のようにして行う。制御信号A及びBをいずれもハイレ
ベルに設定し、テスト回路111〜113内の全てのト
ライステートバッファの出力状態をロウインピーダンス
にする。Aグループの内部出力信号11、21、…、m
1と、Bグループの内部出力信号12、22、…、m2
とを、共に電源電圧Vccレベル又は接地電圧Vssレベル
に設定し、出力バッファとして動作する二つのトライス
テートバッファの出力が合計された出力電流を短絡した
LSI外部出力端子125及び126、131及び13
2、…、141及び142から取り出してDCテストを
行う。このように、トライステートバッファのDCテス
トを、二つの出力電流が合計されたものを調べることで
行うため、テスト時間をトライステートバッファの数の
1/2に短縮することができる。
【0035】この場合に、必要に応じて、Aグループの
内部出力信号11、21、…、m1とBグループの内部
出力信号12、22、…、m2が共にハイレベル又はロ
ウレベルになるようなテスト回路をLSI101の内部
に組み込んでもよい。
【0036】LSI101にテスト回路111、11
2、…、113を組み込まない従来の回路では、トライ
ステートバッファの替わりに出力バッファを用いて内部
出力信号を外部へ出力する。従って、このような従来の
場合と比較し、トライステートバッファを有するテスト
回路を組み込んだ本実施の形態によれば、通常モードに
おいて信号遅延がある程度生じる。しかし、遅延の程度
はテストに影響を殆ど与えず無視し得るレベルである。
【0037】LSI101にテスト用に組み込む必要が
ある回路は、トライステートバッファを2個ずつ有する
テスト回路111、112、…、113と、トライステ
ートバッファを制御するための入力バッファ151及び
152と制御信号線のみであり、素子面積の増加を最小
限に抑制することができる。
【0038】図1に示された回路構成では、トライステ
ートバッファの制御を、LSI外部入力端子155及び
156、LSI入力パッド153及び154、入力バッ
ファ151及び152を介して、LSIテスタ103か
ら制御信号A及びBを入力することで行っている。しか
し、LSI101の内部に制御信号A及びBを発生する
回路を内蔵させて、トライステートバッファの出力状態
を制御してもよい。
【0039】図2に、本発明の第2の実施の形態におけ
る回路構成を示す。本実施の形態では、回路201から
の内部出力信号11、12、13及び14を全てテスト
ボード202で短絡し、4本の制御信号を用いていずれ
かの信号を取り出して1本のテスタピン1よりLSIテ
スタ203に入力する構成を備えている。LSI201
には、内部出力信号11及び12をそれぞれ入力される
二つのトライステートバッファ221及び222を有す
るテスト回路211と、内部出力信号13及び14をそ
れぞれ入力される二つのトライステートバッファ231
及び232を有するテスト回路212と、トライステー
トバッファ221、222、231、232を制御する
制御信号A〜Dを入力される入力バッファ241〜24
2と、LSIパッド223、224、233、234、
251〜254と、LSI外部出力端子225、22
6、235、236と、LSI外部入力端子261〜2
64とを内蔵している。
【0040】テストボード202は、LSI外部出力端
子225、226、235、236を全て短絡してLS
Iテスタ203のテスタピン1に接続し、LSI外部入
力端子261〜264をLSIテスタ203のテスタピ
ンA〜Dにそれぞれ接続する配線を有している。
【0041】通常モードを確認するときは、LSIテス
タ203から全てハイレベルの制御信号A〜Dを入力
し、全てのトライステートバッファ221、222、2
31、232の出力をロウインピーダンスにする。これ
により、内部出力信号11〜14はLSI外部出力端子
225、226、235、236からそれぞれ出力され
る。
【0042】テストモードでは、内部出力信号11をテ
ストするときは、制御信号Aのみをハイレベルにして他
の制御信号はロウレベルに設定し、トライステートバッ
ファ221の出力のみをロウインピーダンスに他のトラ
イステートバッファ222、231、232をハイイン
ピーダンスにして、テスタピン1に出力する。同様に、
内部出力信号12をテストするときは、制御信号Bのみ
をハイレベルにしてトライステートバッファ222の出
力のみをロウインピーダンスにし、内部出力信号13を
テストするときは制御信号Cのみをハイレベルに内部出
力信号14をテストするときは制御信号Dのみをハイレ
ベルにしてテスタピン1にそれぞれ出力する。
【0043】このように、第2の実施の形態によれば、
4本の内部出力信号11〜14を1組みにし、4つのグ
ループA〜Dに分類して切り換え制御を行う。これによ
り、4m本のLSI201の内部出力信号をm本に多重
化することができる。ここで、第1の実施の形態と同様
に、トライステートバッファの切り換え制御に用いる制
御信号は、LSIテスタ203から出力してLSI20
1内の入力バッファを介してトライステートバッファに
与えているが、LSI201内部に制御信号を生成する
回路を組み込んでトライステートバッファの出力を切り
換えてもよい。
【0044】本発明の第3の実施の形態について、図3
を用いて説明する。本実施の形態は、LSI301にお
けるm組みの内部出力信号11と内部入力信号12、内
部出力信号21と内部入力信号22、…、内部出力信号
m1と内部入力信号m2とを、トライステートバッファ
および入力バッファとを用いて多重化する点に特徴があ
る。m個のテスト回路311、312、…、313は、
テスト回路311を例にとるとトライステートバッファ
321および入力バッファ322を有し、トライステー
トバッファ321の入力側は内部出力信号11を入力さ
れ、入力バッファ322は出力側を内部入力信号12の
端子に接続されている。トライステートバッファ321
の出力側はLSIパッド232を介してLSI外部出力
端子325に接続され、入力バッファ322の入力側は
LSIパッド324を介してLSI外部入力端子326
に接続されている。テストボード302は、LSI外部
出力端子325及びLSI外部入力端子326を短絡し
てLSIテスタ303のテスタピン1に接続し、同様に
LSI外部出力端子331及びLSI外部入力端子33
2を短絡してLSIテスタ303のテスタピン2に接続
し、さらにLSI外部出力端子341及びLSI外部入
力端子342を短絡してLSIテスタ303のテスタピ
ン3に接続する配線を有している。
【0045】テスト回路311、312、…、313の
それぞれのトライステートバッファの出力状態は、LS
Iテスタ303のテスタピンAからLSI外部入力端子
353、LSIパッド352を介して入力バッファに入
力される1本の制御信号Aによって切り換わる。
【0046】通常モードを確認するときは、制御信号A
はハイレベルに設定され、テスト回路311〜313内
の全トライステートバッファは出力がロウインピーダン
スになる。回路310からの内部出力信号11、21、
…、m1が、信号11を例にとるとトライステートバッ
ファ321、LSI出力パッド323、LSI外部出力
端子325を介して出力される。この場合に、トライス
テートバッファが信号経路に存在するが、遅延時間は殆
ど無視し得る程度に小さい。
【0047】テストモードでは、内部出力信号11、2
1、…、m1を取り出してLSIテスタ303に入力し
てテストを行う場合と、LSIテスタ303から信号を
出力し、回路310に内部入力信号12、22、…、m
2として入力する場合とで、トライステートバッファの
出力状態が異なる。内部出力信号11、21、…、m1
を取り出す場合は、上記通常モードと同様に、制御信号
Aをハイレベルにしてトライステートバッファの出力状
態をロウインピーダンスにする。この場合、LSI内部
回路310の動作に、内部入力信号12、22、…、m
2の端子の電位が影響を与えないようにするのが望まし
い。内部入力信号12、22、…、m2のテストを行う
ときは、ロウレベルの制御信号Aをトライステートバッ
ファに与えて出力状態をハイインピーダンスにする。L
SIテスタ303から出力された信号を、テスタピン1
を例にとると、LSI外部入力端子326、LSI入力
パッド324、…、入力バッファ322を介して、LS
I内部回路310の内部入力信号12の端子に入力して
テストを行う。
【0048】上記第1〜第3の実施の形態によれば、L
SIに内蔵するテスト回路の素子数を減少させ、テスト
回路の付加による遅延時間を無視し得る程度に抑制する
ことができ、テスト回路の組み込みより生じるペナルテ
ィを最小限にすることができる。
【0049】上述した実施の形態はいずれも一例であっ
て、本発明を限定するものではない。例えば、第1の実
施の形態ではLSI内部回路110の内部出力信号を2
つのグループA及びBに分類し、二つのLSI外部出力
端子を短絡し、二つの制御信号A及びBでいずれかの出
力を選択するようにトライステートバッファの出力を切
り換えている。しかし、内部出力信号を3つ以上のグル
ープに分類して出力を切り換えることもできる。例え
ば、出力信号を3つのグループA,B,Cに分類する場
合は、トライステートバッファを3つずつで1組みのテ
スト回路を構成し、3つの制御信号A,B,Cでいずれ
か一つのグループのトライステートバッファの出力状態
をロウインピーダンスにすればよい。
【0050】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のテスト回
路を組み込んだ集積回路、テスト回路及びテストボード
を有する集積回路装置、並びに集積回路の試験方法によ
れば、集積回路の内部回路からの出力信号を、トライス
テートバッファの出力状態を切り換えることで、テスタ
に入力する信号を選択するため、テスタよりも端子数の
多い集積回路に対しても、テスト用に付加するテスト回
路の素子数や遅延時間といったテストにより生じるペナ
ルティを最小限に抑えることができ、コストを低減しつ
つ容易にテストを行うことが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態によるLSIとテス
トボードの構成を示した回路図。
【図2】本発明の第2の実施の形態によるLSIとテス
トボードの構成を示した回路図。
【図3】本発明の第3の実施の形態によるLSIとテス
トボードの構成を示した回路図。
【図4】従来のLSIとテストボードの構成を示した回
路図。
【図5】従来の他のLSIとテストボードの構成を示し
た回路図。
【図6】従来のさらに他のLSIとテストボードの構成
を示した回路図。
【符号の説明】
101、201、301 LSI 102、202、302 テストボード 103、203、303 LSIテスタ 110、210、310 LSI内部回路 111、112、113、211、212、311、3
12、313 テスト回路 121、122、221、222、231、232、3
21 トライステートバッファ 123、124、153、154、223、224、2
33、234、251〜254、323、324、35
2 LSI出力パッド 125、126、131、132、141、142、1
55、156、225、226、235、236、26
1〜264、325、326、331、332、34
1、342、353 LSI出力端子 151、152、241〜244、351 入力バッフ

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】k(kは2以上の整数)×m(mは1以上
    の整数)本の出力端子を有する内部回路と、 前記内部回路の前記出力端子にそれぞれ入力側を接続さ
    れ、k個ずつm組みに分類されたk×m個のトライステ
    ートバッファと、外部から入力されたk個の制御信号の
    いずれかを入力されてそれぞれの組みにおいて対応する
    前記トライステートバッファの制御端子にこの制御信号
    を出力し、前記トライステートバッファの出力状態を制
    御するk個の入力バッファと、 を備えることを特徴とするテスト回路を組み込んだ集積
    回路。
  2. 【請求項2】k×m本の出力端子を有する内部回路と、
    前記内部回路の前記出力端子にそれぞれ入力側を接続さ
    れ、k個ずつm組みに分類されたk×m個のトライステ
    ートバッファと、外部から入力されたk個の制御信号の
    いずれかを入力されてそれぞれの組みにおいて対応する
    前記トライステートバッファの制御端子にこの制御信号
    を出力し、前記トライステートバッファの出力状態を制
    御するk個の入力バッファとを有する集積回路と、 前記トライステートバッファの出力端子にそれぞれ接続
    され、前記トライステートバッファに対応してk個ずつ
    m組みに分類されたk×m本のトライステートバッファ
    用入力端子と、k個ずつの前記出力端子を短絡されて接
    続されたm個のトライステートバッファ用出力端子と、
    前記入力バッファの入力端子にそれぞれ接続されたk個
    の入力バッファ用出力端子と、前記入力バッファ用出力
    端子にそれぞれ接続されたk個の入力バッファ用入力端
    子とを有するテストボードと、 を備えることを特徴とするテスト回路及びテストボード
    を有する集積回路装置。
  3. 【請求項3】k×m本の出力端子を有する内部回路と、 前記内部回路の前記出力端子にそれぞれ入力側を接続さ
    れ、k個ずつm組みに分類されたk×m個のトライステ
    ートバッファと、外部から入力されたk×m個の制御信
    号のいずれかを入力されて対応する前記トライステート
    バッファの制御端子にこの制御信号を出力し、前記トラ
    イステートバッファの出力状態を制御するk×m個の入
    力バッファと、 を備えることを特徴とするテスト回路を組み込んだ集積
    回路。
  4. 【請求項4】k×m本の出力端子を有する内部回路と、
    前記内部回路の前記出力端子にそれぞれ入力側を接続さ
    れ、k個ずつm組みに分類されたk×m個のトライステ
    ートバッファと、外部から入力されたk×m個の制御信
    号のいずれかを入力されて対応する前記トライステート
    バッファの制御端子にこの制御信号を出力し、前記トラ
    イステートバッファの出力状態を制御するk×m個の入
    力バッファとを有する集積回路と、 前記トライステートバッファの出力端子にそれぞれ接続
    され、前記トライステートバッファに対応してk個ずつ
    m組みに分類されたk×m本のトライステートバッファ
    用入力端子と、前記出力端子を全て短絡されて接続され
    た1個のトライステートバッファ用出力端子と、前記入
    力バッファの入力端子にそれぞれ接続されたk×m個の
    入力バッファ用出力端子と、前記入力バッファ用出力端
    子にそれぞれ接続されたk×m個の入力バッファ用入力
    端子とを有するテストボードと、 を備えることを特徴とするテスト回路及びテストボード
    を有する集積回路装置。
  5. 【請求項5】m本の出力端子とm本の入力端子とを有す
    る内部回路と、 前記内部回路の前記出力端子にそれぞれ入力側を接続さ
    れたm個のトライステートバッファと、前記入力端子に
    それぞれ出力側を接続されたm個の入力バッファと、外
    部から入力された制御信号を与えられて前記トライステ
    ートバッファの制御端子にこの制御信号を出力し、前記
    トライステートバッファの出力状態を制御する制御用入
    力バッファと、 を備えることを特徴とするテスト回路を組み込んだ集積
    回路。
  6. 【請求項6】m本の出力端子とm本の入力端子とを有す
    る内部回路と、前記内部回路の前記出力端子にそれぞれ
    入力側を接続されたm個のトライステートバッファと、
    前記入力端子にそれぞれ出力側を接続されたm個の入力
    バッファと、外部から入力された制御信号を与えられて
    前記トライステートバッファの制御端子にこの制御信号
    を出力し、前記トライステートバッファの出力状態を制
    御する制御用入力バッファとを有する集積回路と、 前記トライステートバッファの出力端子にそれぞれ接続
    されたm個のトライステートバッファ用入力端子と、前
    記入力バッファの入力端子にそれぞれ接続されたm個の
    入力バッファ用出力端子と、前記トライステートバッフ
    ァ用入力端子の1つと前記入力バッファ用出力端子の1
    つとをそれぞれ短絡されて接続されたm個の外部入出力
    端子と、前記制御用入力バッファの入力端子に接続され
    た入力バッファ用出力端子と、前記入力バッファ用出力
    端子にそれぞれ接続された入力バッファ用入力端子とを
    有するテストボードと、 を備えることを特徴とするテスト回路及びテストボード
    を有する集積回路装置。
  7. 【請求項7】k×m本の出力端子を有する内部回路を含
    んだ集積回路を、少なくともm+k本のテスタ端子を有
    するテスタを用いてテストを行う方法において、 前記集積回路に、前記内部回路の前記出力端子にそれぞ
    れ入力側を接続され、k個ずつm組みに分類されたk×
    m個のトライステートバッファと、外部から入力された
    k個の制御信号のいずれかを入力されてそれぞれの組み
    において対応する前記トライステートバッファの制御端
    子にこの制御信号を出力し、前記トライステートバッフ
    ァの出力状態を制御するk個の入力バッファとを組み込
    み、 前記トライステートバッファの出力端子にそれぞれ接続
    され、前記トライステートバッファに対応してk個ずつ
    m組みに分類されたk×m本のトライステートバッファ
    用入力端子と、k個ずつの前記出力端子を短絡されて接
    続され、m本の前記テスタ端子にそれぞれ接続されたm
    本のトライステートバッファ用出力端子と、前記入力バ
    ッファの入力端子にそれぞれ接続されたk個の入力バッ
    ファ用出力端子と、前記入力バッファ用出力端子にそれ
    ぞれ接続され、k本のテスタ端子に接続されたk個の入
    力バッファ用入力端子とを有するテストボードを用意
    し、 テストモードにおいて、k個の前記制御信号のうち、い
    ずれか1つを第1の値に、他のk−1個の制御信号を第
    2の値に設定して、前記テスタから前記テストボードを
    介して対応する前記トライステートバッファの制御端子
    にそれぞれ与え、m組みにおけるk個のトライステート
    バッファのうちの1つをそれぞれ出力バッファとして動
    作させ、他のk−1個のトライステートバッファの出力
    状態をそれぞれハイインピーダンスにして、出力バッフ
    ァとして動作するm個の前記トライステートバッファに
    接続された前記内部回路の出力端子から出力されたm個
    の信号を前記テストボードを介しテスタに入力してテス
    トすることを特徴とする集積回路試験方法。
  8. 【請求項8】k×m本の出力端子を有する内部回路を含
    んだ集積回路を、少なくとも1+k×m本のテスタ端子
    を有するテスタを用いてテストを行う方法において、 前記集積回路に、前記内部回路の前記出力端子にそれぞ
    れ入力側を接続され、k個ずつm組みに分類されたk×
    m個のトライステートバッファと、外部から入力された
    k×m個の制御信号のいずれかを入力されて対応する前
    記トライステートバッファの制御端子にこの制御信号を
    出力し、前記トライステートバッファの出力状態を制御
    するk×m個の入力バッファとを組み込み、 前記トライステートバッファの出力端子にそれぞれ接続
    され、前記トライステートバッファに対応してk個ずつ
    m組みに分類されたk×m本のトライステートバッファ
    用入力端子と、前記トライステートバッファ用出力端子
    を全て短絡されて接続され、1本の前記テスタ端子に接
    続された1本のトライステートバッファ用出力端子と、
    前記入力バッファの入力端子にそれぞれ接続されたk×
    m個の入力バッファ用出力端子と、前記入力バッファ用
    出力端子にそれぞれ接続され、k×m本のテスタ端子に
    接続されたk×m個の入力バッファ用入力端子とを有す
    るテストボードを用意し、 テストモードにおいて、k個の前記制御信号のうち、い
    ずれか1つを第1の値に、他のk×m−1個の制御信号
    を第2の値に設定して、前記テスタから前記テストボー
    ドを介して対応する前記トライステートバッファの制御
    端子にそれぞれ与え、前記トライステートバッファのう
    ちの1つを出力バッファとして動作させ、他のk×m−
    1個のトライステートバッファの出力状態をハイインピ
    ーダンスにして、出力バッファとして動作する1個の前
    記トライステートバッファに接続された前記内部回路の
    出力端子から出力された1個の信号を前記テストボード
    を介しテスタに入力してテストすることを特徴とする集
    積回路試験方法。
  9. 【請求項9】m本の出力端子とm本の入力端子を有する
    内部回路を含んだ集積回路を、少なくともm+1本のテ
    スタ端子を有するテスタを用いてテストを行う方法にお
    いて、 前記集積回路に、前記内部回路の前記出力端子にそれぞ
    れ入力側を接続され、m組みに分類されたm個のトライ
    ステートバッファと、前記入力端子にそれぞれ出力側を
    接続され、m組みに分類されたm個の入力バッファと、
    外部から入力された制御信号を与えられて前記トライス
    テートバッファの制御端子にこの制御信号を出力し、前
    記トライステートバッファの出力状態を制御する制御用
    入力バッファとを組み込み、 前記トライステートバッファの出力端子にそれぞれ接続
    され、前記トライステートバッファに対応してm組みに
    分類されたm本のトライステートバッファ用入力端子
    と、前記入力バッファの入力端子にそれぞれ接続され、
    前記入力バッファに対応してm組みに分類されたm本の
    入力バッファ用出力端子と、前記制御用入力バッファの
    入力端子に接続された制御用出力端子と、1本ずつの前
    記トライステートバッファ用入力端子と前記入力バッフ
    ァ用出力端子とを短絡されて接続され、m本の前記テス
    タ端子にそれぞれ接続されたm本の入出力端子と、前記
    制御用出力端子に接続され、1本のテスタ端子に接続さ
    れた1本の制御用入力端子とを有するテストボードを用
    意し、 テストモードにおいて、前記内部回路から信号を出力す
    るときは、第1の値を有する前記制御信号を前記テスタ
    から前記テストボードを介して前記トライステートバッ
    ファの制御端子に与えて全て出力バッファとして動作さ
    せ、前記内部回路の出力端子から出力されたm個の信号
    を前記テストボードを介しテスタに入力してテストし、
    前記内部回路へ信号を入力するときは、第2の値を有す
    る前記制御信号を前記テスタから前記テストボードを介
    して前記トライステートバッファの制御端子に与えて全
    て出力状態をハイインピーダンスにし、前記テスタから
    前記テストボードを介してm個の信号を前記内部回路に
    与えてテストすることを特徴とする集積回路試験方法。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007147617A (ja) * 2005-11-28 2007-06-14 Samsung Electronics Co Ltd 出力チャンネルが共有されるテストパッドを備えるフィルム型半導体パッケージ及びフィルム型半導体パッケージのテスト方法、テストチャンネルが共有されるパターンを備えるテスト装置及び半導体装置、並びに半導体装置におけるテスト方法
KR101523295B1 (ko) * 2014-07-04 2015-05-28 연세대학교 산학협력단 회로 장치 및 그를 테스트하는 방법

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