JP3161357B2 - 半導体集積回路装置 - Google Patents
半導体集積回路装置Info
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は半導体集積回路装置
の電気的特性を試験するための技術に閑し、特に多ピン
のＬＳＩのプローブ試験を行う試験回路を備える半導体
集積回路装置に関する。
の電気的特性を試験するための技術に閑し、特に多ピン
のＬＳＩのプローブ試験を行う試験回路を備える半導体
集積回路装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体集積回路装置におけるプロ
ーブ試験は、半導体集積回路装置のボンディングパッド
に対してテスタ（試験装置）のプローブ針を１対１で対
応して接触させることにより電気的試験が行われてい
た。しかしながら、近年における半導体集積回路装置の
高集積化につれて入出力回路数は増大しており、これに
伴ってボンディングパッドとその配置ピッチはますます
縮小される傾向にある。このような縮小された多数のボ
ンディングパッドに対応する多ピンのプローブ針の作成
は困鞋であると同時に、多数のプローブ針をすべてのボ
ンディングパッドに確実に接触させることは困難にな
る。
ーブ試験は、半導体集積回路装置のボンディングパッド
に対してテスタ（試験装置）のプローブ針を１対１で対
応して接触させることにより電気的試験が行われてい
た。しかしながら、近年における半導体集積回路装置の
高集積化につれて入出力回路数は増大しており、これに
伴ってボンディングパッドとその配置ピッチはますます
縮小される傾向にある。このような縮小された多数のボ
ンディングパッドに対応する多ピンのプローブ針の作成
は困鞋であると同時に、多数のプローブ針をすべてのボ
ンディングパッドに確実に接触させることは困難にな
る。
【０００３】そこで、この問題を解決するために図５に
示すように半導体集積回路装置の複数の入力回路１ａや
出力回路１ｂを有する入出力回路１と、これに対応して
設けられている複数の入出力用のボンディングパッド４
ａ，４ｂを有するボンディングパッド４との間に切換回
路３を設け、プローブ試験時に入出力回路１に対して１
個のボンディングパッド、ここではボンディングパッド
４ａの接続を切替ながらプローブ試験を行う技術が提案
されている。この図５の技術では、入力回路１ａおよび
出力回路１ｂと、これらに対応されるボンディングパッ
ド４ａ，４ｂとの間に切替回路３Ａを設けておき、ボン
ディングパッド４ａを切替回路３ａによって入力回路１
ａと出力回路１ｂのいずれかに選択的に切り替えるよう
にしたものである。図６は前記切替回路３Ａの回路図で
あり、入力される制御信号ＣＴの状態によってＮチャネ
ルＭＯＳＦＥＴ（以下、ＮＭＯＳ）とＰチャネルＭＯＳ
ＦＥＴ（以下、ＰＭＯＳ）とからなる伝送ゲート５ａ，
５ｂを選択的に導通、非導通状態とすることで、端子Ｙ
０を端子Ｘ０，Ｘ１に選択的に切替接続可能とされる。
６ａはインバータである。
示すように半導体集積回路装置の複数の入力回路１ａや
出力回路１ｂを有する入出力回路１と、これに対応して
設けられている複数の入出力用のボンディングパッド４
ａ，４ｂを有するボンディングパッド４との間に切換回
路３を設け、プローブ試験時に入出力回路１に対して１
個のボンディングパッド、ここではボンディングパッド
４ａの接続を切替ながらプローブ試験を行う技術が提案
されている。この図５の技術では、入力回路１ａおよび
出力回路１ｂと、これらに対応されるボンディングパッ
ド４ａ，４ｂとの間に切替回路３Ａを設けておき、ボン
ディングパッド４ａを切替回路３ａによって入力回路１
ａと出力回路１ｂのいずれかに選択的に切り替えるよう
にしたものである。図６は前記切替回路３Ａの回路図で
あり、入力される制御信号ＣＴの状態によってＮチャネ
ルＭＯＳＦＥＴ（以下、ＮＭＯＳ）とＰチャネルＭＯＳ
ＦＥＴ（以下、ＰＭＯＳ）とからなる伝送ゲート５ａ，
５ｂを選択的に導通、非導通状態とすることで、端子Ｙ
０を端子Ｘ０，Ｘ１に選択的に切替接続可能とされる。
６ａはインバータである。
【０００４】この構成によれば、ボンディングパッド４
ａにプローブ針を接触させ、切替回路３Ａにより入力回
路１ａと出力回路１ｂを選択することで試験が可能とな
る。この技術では、複数の入出力回路の試験について、
最低１つのボンディングパッドに対してブローブ針を接
触すればよいため、信頼性の高いブローブ試験が可能と
なる。このような技術の一例として、特開昭６３−１９
９４３９号公報に記載されている技術がある。
ａにプローブ針を接触させ、切替回路３Ａにより入力回
路１ａと出力回路１ｂを選択することで試験が可能とな
る。この技術では、複数の入出力回路の試験について、
最低１つのボンディングパッドに対してブローブ針を接
触すればよいため、信頼性の高いブローブ試験が可能と
なる。このような技術の一例として、特開昭６３−１９
９４３９号公報に記載されている技術がある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この技
術では、１つのボンディングパッドにプローブ針を接触
させた状態で複数の入出力回路に切替接続して試験を行
う手法であるために、プローブ針が実際に接触されてい
るボンディングパッドと複数の入出力回路間の回路の試
験は可能であるが、本来の動作時に必要な複数の入出力
回路のそれぞれに対応したボンディングパッド、すなわ
ち試験時にプローブ針が接触されないボンディングパッ
ドと、これに対応する入出力回路との間の回路、特に各
ボンディングパッドと切替回路との間の回路部分を試験
することができないという問題がある。また、前記した
従来の切替回路は組合わせ回路にて制御されているた
め、特定のボンディングパッドを利用してのプローブ針
に限定されることになり、プローブ針が接触されるボン
ディングパッドを任意に設定することができず、これが
要因となって複数の入出力回路に対し任意な状態設定が
できず、半導体集積回路装置のプローブ試験において多
彩な電気的試験ができないという問題があった。
術では、１つのボンディングパッドにプローブ針を接触
させた状態で複数の入出力回路に切替接続して試験を行
う手法であるために、プローブ針が実際に接触されてい
るボンディングパッドと複数の入出力回路間の回路の試
験は可能であるが、本来の動作時に必要な複数の入出力
回路のそれぞれに対応したボンディングパッド、すなわ
ち試験時にプローブ針が接触されないボンディングパッ
ドと、これに対応する入出力回路との間の回路、特に各
ボンディングパッドと切替回路との間の回路部分を試験
することができないという問題がある。また、前記した
従来の切替回路は組合わせ回路にて制御されているた
め、特定のボンディングパッドを利用してのプローブ針
に限定されることになり、プローブ針が接触されるボン
ディングパッドを任意に設定することができず、これが
要因となって複数の入出力回路に対し任意な状態設定が
できず、半導体集積回路装置のプローブ試験において多
彩な電気的試験ができないという問題があった。
【０００６】本発明の目的は、本来の動作時に使用され
るボンディングパッドと入出力回路との試験を可能とし
た半導体集積回路装置を提供することにある。また、本
発明の目的は、プローブ試験時でのプローブ針が接触さ
れるボンディングパッドに自由度を持たせ、多彩な電気
的試験を可能にした半導体集積回路装置を提供すること
にある。
るボンディングパッドと入出力回路との試験を可能とし
た半導体集積回路装置を提供することにある。また、本
発明の目的は、プローブ試験時でのプローブ針が接触さ
れるボンディングパッドに自由度を持たせ、多彩な電気
的試験を可能にした半導体集積回路装置を提供すること
にある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の半導体集積回路
装置は、外部との信号の入出力を行う入出力回路と、こ
の入出力回路に対応して設けられてそれぞれが前記入出
力回路に接続される複数の入出力用のボンディングパッ
ドと、試験装置のプローブ針が接触可能な試験用のボン
ディングパッドと、この試験用ボンディングパッドを前
記入出力用ボンディングパッドに選択的に導通させるた
めの切替回路と、この切替回路の切替状態を制御する制
御回路部とを備え、前記制御回路部による前記切替回路
に応じて、１つの試験用のボンディングパッドと前記入
出力回路とを、前記複数の各入出力用のボンディングパ
ッドを介して接続可能な構成とする。例えば、入出力回
路の入力回路と出力回路にはそれぞれ１対１で入出力用
のボンディングパッドが接続されており、前記１つの試
験用ボンディングパッドがこれら入出力用のボンディン
グパッドに対して個別にかつ選択的に切替接続可能に構
成される。あるいは、複数個の試験用のボンディングパ
ッドが、１つの入出力用のボンディングパッドに対して
合一的に導通、非導通状態に切り替えられる構成とされ
る。
装置は、外部との信号の入出力を行う入出力回路と、こ
の入出力回路に対応して設けられてそれぞれが前記入出
力回路に接続される複数の入出力用のボンディングパッ
ドと、試験装置のプローブ針が接触可能な試験用のボン
ディングパッドと、この試験用ボンディングパッドを前
記入出力用ボンディングパッドに選択的に導通させるた
めの切替回路と、この切替回路の切替状態を制御する制
御回路部とを備え、前記制御回路部による前記切替回路
に応じて、１つの試験用のボンディングパッドと前記入
出力回路とを、前記複数の各入出力用のボンディングパ
ッドを介して接続可能な構成とする。例えば、入出力回
路の入力回路と出力回路にはそれぞれ１対１で入出力用
のボンディングパッドが接続されており、前記１つの試
験用ボンディングパッドがこれら入出力用のボンディン
グパッドに対して個別にかつ選択的に切替接続可能に構
成される。あるいは、複数個の試験用のボンディングパ
ッドが、１つの入出力用のボンディングパッドに対して
合一的に導通、非導通状態に切り替えられる構成とされ
る。
【０００８】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施形態を図面を
参照して説明する。図１は本発明の第１の実施形態の回
路構成図である。同図において、入出力回路１の入力回
路１ａと出力回路１ｂにはそれぞれボンディングパッド
４のうちの入出力用のボンディングパッド４ｂ，４ｃが
１対１で対応して設けられており、かつ入力回路１ａは
ボンディングパッド４ｂに、出力回路１ｂはボンディン
グパッド４ｃにそれぞれ固定的に接続されている。ま
た、前記ボンディングパッド４内には、試験用のボンデ
ィングパッド４ａが独立して設けられている。また、前
記入出力回路１と前記ボンディングパッド４ａ〜４ｃと
の間には、前記各ボンディングパッドの相互接続状態を
切り替えるための切替回路３と、この切替回路を切替動
作させるための制御信号を出力する制御回路部としての
シフトレジスタ２が設けられる。ここで、前記切替回路
３は、切替回路３ａ，３ｂで構成されており、一方の切
替回路３ａは前記ボンディングパッド４ａと４ｂとの相
互接続が断接可能に構成され、他方の切替回路３ｂは前
記ボンディングパッド４ａと４ｂとの相互接続が断接可
能に構成されている。また、前記シフトレジスタ２は、
ここでは２個以上のフリップフロップ２ａ，２ｂで構成
され、入力される信号Ｓｉの“１”または“０”の状態
に応じて、その出力ＱＴ，ＱＦを“１”または“０”で
順序的に出力するように構成される。
参照して説明する。図１は本発明の第１の実施形態の回
路構成図である。同図において、入出力回路１の入力回
路１ａと出力回路１ｂにはそれぞれボンディングパッド
４のうちの入出力用のボンディングパッド４ｂ，４ｃが
１対１で対応して設けられており、かつ入力回路１ａは
ボンディングパッド４ｂに、出力回路１ｂはボンディン
グパッド４ｃにそれぞれ固定的に接続されている。ま
た、前記ボンディングパッド４内には、試験用のボンデ
ィングパッド４ａが独立して設けられている。また、前
記入出力回路１と前記ボンディングパッド４ａ〜４ｃと
の間には、前記各ボンディングパッドの相互接続状態を
切り替えるための切替回路３と、この切替回路を切替動
作させるための制御信号を出力する制御回路部としての
シフトレジスタ２が設けられる。ここで、前記切替回路
３は、切替回路３ａ，３ｂで構成されており、一方の切
替回路３ａは前記ボンディングパッド４ａと４ｂとの相
互接続が断接可能に構成され、他方の切替回路３ｂは前
記ボンディングパッド４ａと４ｂとの相互接続が断接可
能に構成されている。また、前記シフトレジスタ２は、
ここでは２個以上のフリップフロップ２ａ，２ｂで構成
され、入力される信号Ｓｉの“１”または“０”の状態
に応じて、その出力ＱＴ，ＱＦを“１”または“０”で
順序的に出力するように構成される。
【０００９】前記切替回路３ａ，３ｂは、図２に示すよ
うに、ＮＭＯＳとＰＭＯＳとが並列接続された伝送ゲー
ト５ａとして構成されており、対をなす入力端に入力さ
れる制御信号がＣＴ＝“１”でＣＦ＝“０”の場合には
出力端Ｘ１とＦＯが導通（オン）され、制御信号ＣＴ＝
“０”でＣＦ＝“１”の場合には出力端Ｘ１とＦＯが非
導通（オフ）とされるように構成される。この前記制御
信号ＣＴ，ＣＦとして、前記フリップフロップ２ａ，２
ｂのＱＴ，ＱＦの各出力が入力される。そして、出力端
Ｘ１は各ボンディングパッド４ｂ，４ｃにそれぞれ個別
に接続され、出力端ＦＯは試験用のボンディングパッド
４ａに共通に接続されている。
うに、ＮＭＯＳとＰＭＯＳとが並列接続された伝送ゲー
ト５ａとして構成されており、対をなす入力端に入力さ
れる制御信号がＣＴ＝“１”でＣＦ＝“０”の場合には
出力端Ｘ１とＦＯが導通（オン）され、制御信号ＣＴ＝
“０”でＣＦ＝“１”の場合には出力端Ｘ１とＦＯが非
導通（オフ）とされるように構成される。この前記制御
信号ＣＴ，ＣＦとして、前記フリップフロップ２ａ，２
ｂのＱＴ，ＱＦの各出力が入力される。そして、出力端
Ｘ１は各ボンディングパッド４ｂ，４ｃにそれぞれ個別
に接続され、出力端ＦＯは試験用のボンディングパッド
４ａに共通に接続されている。
【００１０】この構成では、シフトレジスタ２の全ての
信号Ｓｉを“０”にすると、ＱＴ＝“０”，ＱＦ＝
“０”となり、ＣＴ＝“０”，ＣＦ＝“１”となるた
め、全ての切替回路３（３ａ，３ｂ）は非導通となり、
試験用のボンディングパッド４ａはいずれの入出力用の
ボンディングパッド４ｂ，４ｃおよび入力回路１ａ、出
力回路１ｂとも接続されることがない。この状態では、
各試験用のボンディングパッド４ｂ，４ｃはそれぞれ対
応する入力回路１ａ、出力回路１ｂに接続されているた
め、半導体集積回路装置の通常の動作が可能となる。
信号Ｓｉを“０”にすると、ＱＴ＝“０”，ＱＦ＝
“０”となり、ＣＴ＝“０”，ＣＦ＝“１”となるた
め、全ての切替回路３（３ａ，３ｂ）は非導通となり、
試験用のボンディングパッド４ａはいずれの入出力用の
ボンディングパッド４ｂ，４ｃおよび入力回路１ａ、出
力回路１ｂとも接続されることがない。この状態では、
各試験用のボンディングパッド４ｂ，４ｃはそれぞれ対
応する入力回路１ａ、出力回路１ｂに接続されているた
め、半導体集積回路装置の通常の動作が可能となる。
【００１１】一方、プローブ試験を行う場合には、シフ
トレジスタ２に入力される信号Ｓｉを“１”とし、かつ
このシフトレジスタ２に所定のタイミングでクロック信
号を入力すればよい。これにより、フリップフロップ２
ａの出力ＱＴ＝“１”，ＱＦ＝“０”となる。そして、
この出力ＱＴ，ＱＦはそれぞれＣＴ，ＣＦとして切替回
路３ａに入力されるため、ＣＴ“１”，ＣＦ＝“０”と
なり、切替回路３ａが導通される。したがって、入出力
用のボンディングパッド４ｂは試験用のボンディングパ
ッド４ａに電気接続された状態となる。つまりこの状態
では試験用のボンディングパッド４ａにより入力回路１
ａに信号を与えることができ、入力回路１ａのプローブ
試験が実行可能となる。
トレジスタ２に入力される信号Ｓｉを“１”とし、かつ
このシフトレジスタ２に所定のタイミングでクロック信
号を入力すればよい。これにより、フリップフロップ２
ａの出力ＱＴ＝“１”，ＱＦ＝“０”となる。そして、
この出力ＱＴ，ＱＦはそれぞれＣＴ，ＣＦとして切替回
路３ａに入力されるため、ＣＴ“１”，ＣＦ＝“０”と
なり、切替回路３ａが導通される。したがって、入出力
用のボンディングパッド４ｂは試験用のボンディングパ
ッド４ａに電気接続された状態となる。つまりこの状態
では試験用のボンディングパッド４ａにより入力回路１
ａに信号を与えることができ、入力回路１ａのプローブ
試験が実行可能となる。
【００１２】そして、この状態から信号Ｓｉを“０”と
して、次のクロック信号を入力すると、シフトレジスタ
２の出力は切り代わり、今度はシフトレジスタの出力Ｑ
Ｔ＝“１”，ＱＦ＝“０”となるため、切替回路３ａが
非導通、切替回路３ｂは導通となる。これにより、入出
力用のボンディングパッド４ｃは試験用のボンディング
パッド４ａに電気接続された状態となる。つまりこの状
態では試験用のボンディングパッド４ａにより出力回路
１ｂの信号を取り出すことができ、出力回路１ｂのプロ
ーブ試験が実行可能となる。このように、入力回路１ａ
と出力回路１ｂの各プローブ試験を、いづれも１つの試
験用のボンディングパッド４ａに対して試験装置のプロ
ーブ針を接続した状態で行うことができる。そして、い
ずれの試験に際しても、試験用のボンディングパッド４
ａは入出力用のボンディングパッド４ｂまたは４ｃを経
由して入力回路１ａ、出力回路１ｂに接続されるため、
本来の回路である入出力用のボンディングパッド４ｂと
入力回路１ａとの間、入出力用のボンディングパッド４
ｃと出力回路１ｂとの間の状態も確認することが可能と
なる。
して、次のクロック信号を入力すると、シフトレジスタ
２の出力は切り代わり、今度はシフトレジスタの出力Ｑ
Ｔ＝“１”，ＱＦ＝“０”となるため、切替回路３ａが
非導通、切替回路３ｂは導通となる。これにより、入出
力用のボンディングパッド４ｃは試験用のボンディング
パッド４ａに電気接続された状態となる。つまりこの状
態では試験用のボンディングパッド４ａにより出力回路
１ｂの信号を取り出すことができ、出力回路１ｂのプロ
ーブ試験が実行可能となる。このように、入力回路１ａ
と出力回路１ｂの各プローブ試験を、いづれも１つの試
験用のボンディングパッド４ａに対して試験装置のプロ
ーブ針を接続した状態で行うことができる。そして、い
ずれの試験に際しても、試験用のボンディングパッド４
ａは入出力用のボンディングパッド４ｂまたは４ｃを経
由して入力回路１ａ、出力回路１ｂに接続されるため、
本来の回路である入出力用のボンディングパッド４ｂと
入力回路１ａとの間、入出力用のボンディングパッド４
ｃと出力回路１ｂとの間の状態も確認することが可能と
なる。
【００１３】図３は本発明の第２の実施形態の構成図で
あり、前記第１の実施形態と等価な部分には同一符号を
付してある。この実施形態では、試験用のボンディング
パッドとして４個のボンディングパッド４ａ１，４ａ
２，４ａ３，４ａ４を設けるとともに、切替回路３とし
て、５つの出力端子を有する切替回路３ａ’，３ｂ’を
用いている。これら切替回路３ａ’，３ｂ’は、図４に
示すように、２つの入力端ＣＴ（０−１），ＣＦ（０−
１）の信号により導通、非導通となる４つの伝送ゲート
５ａ〜５ｄを備えており、これら伝送ゲート５ａ〜５ｄ
によって出力端Ｆ０とＦ１を、或いはＳ０とＳ１をそれ
ぞれ出力端Ｘ１に選択的に切り替え接続するように構成
されている。そして、前記試験用のボンディングパッド
４ａ１，４ａ２，４ａ３，４ａ４はそれぞれ前記出力端
Ｆ０，Ｓ０，Ｆ１，Ｓ１に接続され、入出力用のボンデ
ィングパッド４ｂ，４ｃは各切替回路３ａ’，３ｂ’の
各Ｘ１に接続されている。なお、シフトレジスタ２の構
成は第１の実施形態と同じである。
あり、前記第１の実施形態と等価な部分には同一符号を
付してある。この実施形態では、試験用のボンディング
パッドとして４個のボンディングパッド４ａ１，４ａ
２，４ａ３，４ａ４を設けるとともに、切替回路３とし
て、５つの出力端子を有する切替回路３ａ’，３ｂ’を
用いている。これら切替回路３ａ’，３ｂ’は、図４に
示すように、２つの入力端ＣＴ（０−１），ＣＦ（０−
１）の信号により導通、非導通となる４つの伝送ゲート
５ａ〜５ｄを備えており、これら伝送ゲート５ａ〜５ｄ
によって出力端Ｆ０とＦ１を、或いはＳ０とＳ１をそれ
ぞれ出力端Ｘ１に選択的に切り替え接続するように構成
されている。そして、前記試験用のボンディングパッド
４ａ１，４ａ２，４ａ３，４ａ４はそれぞれ前記出力端
Ｆ０，Ｓ０，Ｆ１，Ｓ１に接続され、入出力用のボンデ
ィングパッド４ｂ，４ｃは各切替回路３ａ’，３ｂ’の
各Ｘ１に接続されている。なお、シフトレジスタ２の構
成は第１の実施形態と同じである。
【００１４】この構成では、切替回路３ａ’，３ｂ’に
入力される制御信号がＣＴ（０）＝“１”，ＣＦ（０）
＝“０”の場合にＸ１とＦ０，Ｓ０が導通され、制御信
号ＣＴ（０）＝“０”，ＣＦ（０）＝“１”の場合には
Ｘ１とＦ０，Ｓ０が非導通となる。これにより、入出力
用のボンディングパッド４ｂは試験用のボンディングパ
ッド４ａ１，４ａ２に対して導通あるいは非導通とされ
る。また、制御信号がＣＴ（１）＝“１”，ＣＦ（１）
＝“０”の場合にはＸ１とＦｌ，Ｓｌが導通され、制御
信号ＣＴ（１）＝“０”，ＣＦ（１）＝“１”の場合に
はＸ１とＦｌ，Ｓｌが非導通となる。これにより、入出
力用のボンディングパッド４ｃは試験用のボンディング
パッド４ａ３，４ａ４に対して導通あるいは非導通とさ
れる。
入力される制御信号がＣＴ（０）＝“１”，ＣＦ（０）
＝“０”の場合にＸ１とＦ０，Ｓ０が導通され、制御信
号ＣＴ（０）＝“０”，ＣＦ（０）＝“１”の場合には
Ｘ１とＦ０，Ｓ０が非導通となる。これにより、入出力
用のボンディングパッド４ｂは試験用のボンディングパ
ッド４ａ１，４ａ２に対して導通あるいは非導通とされ
る。また、制御信号がＣＴ（１）＝“１”，ＣＦ（１）
＝“０”の場合にはＸ１とＦｌ，Ｓｌが導通され、制御
信号ＣＴ（１）＝“０”，ＣＦ（１）＝“１”の場合に
はＸ１とＦｌ，Ｓｌが非導通となる。これにより、入出
力用のボンディングパッド４ｃは試験用のボンディング
パッド４ａ３，４ａ４に対して導通あるいは非導通とさ
れる。
【００１５】この構成によれば、任意の試験用ボンディ
ングパッド４ａ１〜４ａ４を利用するとともに、切替回
路３ａ’，３ｂ’の切替状態によって前記第１の実施形
態と同様なプローブ試験が可能であることは言うまでも
ない。また、この試験に加えてこの実施形態では、出力
回路の出力電流試験が可能になる。この試験は出力回路
に所定の電圧を印加し、その時出力回路から流れる電流
値を測定し、半導体集積回路装置の良否を判定するもの
である。例えば、ボンディングパッド４ａ１，４ａ２を
用いて出力回路１ｂの出力電流試験を行う場合には、プ
ローブ針をボンディングパッド４ａ１と４ａ２にそれぞ
れ接触させる。そして、前記した制御信号の状態をセッ
トしてシフトレジスタ２と切替回路３ｂ’により、各ボ
ンディングパッド４ａ１，４ａ２をそれぞれボンディン
グパッド４ｃ、すなわち出力回路１ｂに接続した状態と
する。その上で、ボンディングパッド４ａ１に所定の電
圧Ｖｏを印加する。この際、出力回路１ｂより電流ｉｏ
が流れるが，ブローブ針自身の抵抗およびブローブ針と
ボンディングパッドの接触抵抗により電庄降下ｄＶｏが
生じる。つまり、所定電圧Ｖｏが出力回路には実際には
印加されないことになり不正な試験となってしまう。そ
こでボンディングパッド４ａ２より出力回路の直前の電
庄を測定し、出力回路に所定の電圧が印加されるようブ
ローブ針に印加する電庄を調整するものとする。こうす
ることにより出力回路１ｂに所定の電圧Ｖｏが印可され
正確な出力電流試験ができる。
ングパッド４ａ１〜４ａ４を利用するとともに、切替回
路３ａ’，３ｂ’の切替状態によって前記第１の実施形
態と同様なプローブ試験が可能であることは言うまでも
ない。また、この試験に加えてこの実施形態では、出力
回路の出力電流試験が可能になる。この試験は出力回路
に所定の電圧を印加し、その時出力回路から流れる電流
値を測定し、半導体集積回路装置の良否を判定するもの
である。例えば、ボンディングパッド４ａ１，４ａ２を
用いて出力回路１ｂの出力電流試験を行う場合には、プ
ローブ針をボンディングパッド４ａ１と４ａ２にそれぞ
れ接触させる。そして、前記した制御信号の状態をセッ
トしてシフトレジスタ２と切替回路３ｂ’により、各ボ
ンディングパッド４ａ１，４ａ２をそれぞれボンディン
グパッド４ｃ、すなわち出力回路１ｂに接続した状態と
する。その上で、ボンディングパッド４ａ１に所定の電
圧Ｖｏを印加する。この際、出力回路１ｂより電流ｉｏ
が流れるが，ブローブ針自身の抵抗およびブローブ針と
ボンディングパッドの接触抵抗により電庄降下ｄＶｏが
生じる。つまり、所定電圧Ｖｏが出力回路には実際には
印加されないことになり不正な試験となってしまう。そ
こでボンディングパッド４ａ２より出力回路の直前の電
庄を測定し、出力回路に所定の電圧が印加されるようブ
ローブ針に印加する電庄を調整するものとする。こうす
ることにより出力回路１ｂに所定の電圧Ｖｏが印可され
正確な出力電流試験ができる。
【００１６】また、この実施形態では、対をなす試験用
のボンディングパッド４ａ１，４ａ２と４ａ３，４ａ４
はそれぞれ同時に入出力用のボンディングパッド４ｂあ
るいは４ｃに対して選択的に接続されるため、各対の試
験用のボンディングパッドは互いに等価なものとなり、
いずれのボンディングパッドに対してプローブ針を接触
させても同じ条件での試験が可能となる。これにより、
前記したような出力回路の出力電流試験が実現できるこ
とはもとより、プローブ試験時でのプローブ針が接触さ
れるボンディングパッドに自由度を持たせ、多彩な電気
的試験が可能となる。
のボンディングパッド４ａ１，４ａ２と４ａ３，４ａ４
はそれぞれ同時に入出力用のボンディングパッド４ｂあ
るいは４ｃに対して選択的に接続されるため、各対の試
験用のボンディングパッドは互いに等価なものとなり、
いずれのボンディングパッドに対してプローブ針を接触
させても同じ条件での試験が可能となる。これにより、
前記したような出力回路の出力電流試験が実現できるこ
とはもとより、プローブ試験時でのプローブ針が接触さ
れるボンディングパッドに自由度を持たせ、多彩な電気
的試験が可能となる。
【００１７】なお、前記した実施形態は本発明の代表的
な構成を示すものであり、ボンディングパッドの数や切
替回路の構成、さらにこの切替回路を制御するための制
御信号を出力する制御回路としてのシフトレジスタの構
成は適宜に変更可能であることは言うまでもない。
な構成を示すものであり、ボンディングパッドの数や切
替回路の構成、さらにこの切替回路を制御するための制
御信号を出力する制御回路としてのシフトレジスタの構
成は適宜に変更可能であることは言うまでもない。
【００１８】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、入出力回
路に接続されている複数の入出力用のボンディングパッ
ドに対し、１つの試験用のボンディングパッドを切替回
路によって切替接続可能に構成しているので、多ピン半
導体集積回路装置のプローブ試験において任意の入出力
回路を選択し少数のボンディングパッドから入出力回路
の試験が可能であると同時に、各入出力回路と入出力用
のボンディングパッドを接続する回路部分の試験が可能
となり、信頼性の高いプローブ試験が実現できる。ま
た、前記構成に加えて、１つの入出力用のボンディング
パッドに対して複数の試験用のボンディングパッドを切
替接続する構成としているので、１つの入出力用のボン
ディングパッドに対して等価な複数の試験用のボンディ
ングパッドが構成でき、この試験用のボンディングパッ
ドを選択してプローブ針を接触させることで、プローブ
試験に際してのプローブ針の接触の自由度が向上でき、
試験を容易に行うことが可能となる。
路に接続されている複数の入出力用のボンディングパッ
ドに対し、１つの試験用のボンディングパッドを切替回
路によって切替接続可能に構成しているので、多ピン半
導体集積回路装置のプローブ試験において任意の入出力
回路を選択し少数のボンディングパッドから入出力回路
の試験が可能であると同時に、各入出力回路と入出力用
のボンディングパッドを接続する回路部分の試験が可能
となり、信頼性の高いプローブ試験が実現できる。ま
た、前記構成に加えて、１つの入出力用のボンディング
パッドに対して複数の試験用のボンディングパッドを切
替接続する構成としているので、１つの入出力用のボン
ディングパッドに対して等価な複数の試験用のボンディ
ングパッドが構成でき、この試験用のボンディングパッ
ドを選択してプローブ針を接触させることで、プローブ
試験に際してのプローブ針の接触の自由度が向上でき、
試験を容易に行うことが可能となる。
【図１】本発明の第１の実施形態の回路構成を示す図で
ある。
ある。
【図２】図１の切替回路の具体的な回路図である。
【図３】本発明の第２の実施形態の回路構成を示す図で
ある。
ある。
【図４】図３の切替回路の具体的な回路図である。
【図５】従来の半導体集積回路装置のボンディングパッ
ドの切替回路の構成を示す図である。
ドの切替回路の構成を示す図である。
【図６】図５の切替回路の回路図である。
１ 入出力回路 １ａ 入力回路 １ｂ 出力回路 ２ シフトレジスタ ２ａ，２ｂ フリップフロップ ３ 切替回路 ３ａ，３ｂ，３ａ’，３ｂ’ 切替回路 ４ ボンディングパッド ４ａ〜４ｃ ボンディングパッド ５ａ〜５ｄ 伝送ゲート
フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭63−178538（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−199439（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−206773（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−184646（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−367243（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−105452（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−198778（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01R 31/28 - 31/3193 H01L 21/66 H01L 21/822 H01L 27/04
Claims (5)
- 【請求項１】 半導体集積回路装置に設けられて外部と
の信号の入出力を行う入出力回路と、この入出力回路に
対応して設けられてそれぞれが前記入出力回路に接続さ
れる複数の入出力用のボンディングパッドと、試験装置
のプローブ針が接触可能な試験用のボンディングパッド
と、この試験用ボンディングパッドを前記入出力用ボン
ディングパッドに選択的に導通させるための切替回路
と、この切替回路の切替状態を制御する制御回路部とを
備え、前記制御回路部による前記切替回路に応じて、１つの試
験用のボンディングパッドと前記入出力回路とを、前記
複数の各入出力用のボンディングパッドを介して接続可
能な構成とす ることを特徴とする半導体集積回路装置。 - 【請求項２】 前記入出力回路の入力回路と出力回路に
はそれぞれ１対１で入出力用のボンディングパッドが接
続されており、前記制御回路部による前記切替回路に応
じて、１つの試験用のボンディングパッドと前記入出力
回路とを、前記複数の各入出力用のボンディングパッド
を介して接続可能な構成とする請求項１記載の半導体集
積回路装置。 - 【請求項３】 前記試験用のボンディングパッドが複数
個設けられ、各試験用のボンディングパッドは、１つの
入出力用のボンディングパッドに対して合一的に導通、
非導通状態に切り替えられる請求項１記載の半導体集積
回路装置。 - 【請求項４】 前記切替回路は入力される制御信号の状
態に応じて導通、非導通される伝送ゲートにて構成さ
れ、この伝送ゲートが前記入出力用のボンディングパッ
ドと試験用のボンディングパッドとの間に接続されてい
る請求項１ないし３のいずれか記載の半導体集積回路装
置。 - 【請求項５】 前記制御回路部は複数個のフリップフロ
ップで構成されるシフトレジスタで構成され、各フリッ
プフロップの出力を前記切替回路の制御信号として出力
する請求項４記載の半導体集積回路装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06072397A JP3161357B2 (ja) | 1997-03-14 | 1997-03-14 | 半導体集積回路装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06072397A JP3161357B2 (ja) | 1997-03-14 | 1997-03-14 | 半導体集積回路装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10253717A JPH10253717A (ja) | 1998-09-25 |
| JP3161357B2 true JP3161357B2 (ja) | 2001-04-25 |
Family
ID=13150495
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP06072397A Expired - Fee Related JP3161357B2 (ja) | 1997-03-14 | 1997-03-14 | 半導体集積回路装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3161357B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19852071C2 (de) * | 1998-11-11 | 2000-08-24 | Siemens Ag | Integrierter Halbleiterchip mit über Bondpads voreingestellter Dateneingabe-/Datenausgabe-Organisationsform |
| KR100403621B1 (ko) * | 2001-03-30 | 2003-10-30 | 삼성전자주식회사 | 전기적 특성 평가를 위한 테스트 패드를 갖는 칩 온 필름패키지 및 칩 온 필름 패키지 형성 방법 |
| KR100402103B1 (ko) | 2001-09-20 | 2003-10-17 | 주식회사 하이닉스반도체 | 웨이퍼 번-인 테스트 모드 및 웨이퍼 테스트 모드 회로 |
| DE102004059506B3 (de) * | 2004-12-10 | 2006-08-17 | X-Fab Semiconductor Foundries Ag | Anordnung zum Test von eingebetteten Schaltungen mit Hilfe einer separaten Versorgungsspannung |
| JP6702429B2 (ja) * | 2016-11-16 | 2020-06-03 | 富士電機株式会社 | 半導体試験回路、半導体試験装置および半導体試験方法 |
-
1997
- 1997-03-14 JP JP06072397A patent/JP3161357B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH10253717A (ja) | 1998-09-25 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |