JPH0965214A - 受光素子特性補正方法及び装置並びにそれらを備えた撮像装置 - Google Patents

受光素子特性補正方法及び装置並びにそれらを備えた撮像装置

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JPH0965214A
JPH0965214A JP7217945A JP21794595A JPH0965214A JP H0965214 A JPH0965214 A JP H0965214A JP 7217945 A JP7217945 A JP 7217945A JP 21794595 A JP21794595 A JP 21794595A JP H0965214 A JPH0965214 A JP H0965214A
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JP7217945A
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Inventor
Kenji Awamoto
健司 粟本
Yoichiro Sakachi
陽一郎 坂地
Akira Sawada
亮 澤田
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Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 各受光素子の受光特性が経時変化により変動
した場合でも、精度よく変動(ずれ)を補正することが
可能な受光素子特性補正装置を提供する。 【解決手段】 各受光素子の出力信号SO を多点補正方
法により補正した補正出力信号SORを更に補正して再補
正出力信号SORR を得、これに基づいて画像化する。具
体的には、チョッパCにより撮像対象からの赤外線IR
を遮るとともに、チョッパCの温度を一定に保って均一
化した赤外線IR’を撮像素子100に入射させ、補正
値算出回路1により、そのときの各受光素子からの出力
信号SO の平均値と各出力信号SO との誤差を算出し、
当該誤差に基づき経年変化による変動を補正するための
補正値SCRを算出し、記憶回路2に記憶する。そして、
チョッパCを操作して撮像対象からの赤外線IRを撮像
素子100に照射し、そのときの出力信号SO を補正値
CRにより補正演算回路3で補正し、再補正出力信号S
ORR を出力する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、複数の受光素子を
備えた固体撮像素子における、当該複数の受光素子毎の
受光特性の違いに起因する当該各受光素子からの出力信
号の特性のばらつきを補正する受光素子特性補正方法及
び装置並びにそれらを備えた撮像装置に関する。
【0002】従来から利用されている固体撮像素子を備
えた撮像装置のうち、赤外線を検出するための赤外線撮
像装置は、車両、航空機、船舶等に搭載され、前方監視
装置として広く活用され、他方、事務所等の室内に人が
侵入することを監視する侵入監視装置としても一般化し
ている。これらの赤外線撮像装置の構成としては、例え
ば、HgCdTe(水銀カドミウムテルル)等の化合物
半導体からなる赤外線受光素子を一列に複数個(例えば
4個)配置して赤外線撮像素子を構成し、この赤外線撮
像装置に対して撮像対象から入射する入射光を上記複数
の受光素子の配列方向と垂直な方向に所定速度で走査す
ることにより2次元赤外線像を得る構成が一般的であ
る。
【0003】ここで、複数の受光素子を含んだ撮像素子
を備えた赤外線撮像装置においては、一般に、当該複数
の受光素子の受光特性の違いを補正するための受光素子
特性補正装置が必要となる。これは、各受光素子を構成
している化合物半導体の組成等について各受光素子毎に
ばらつきがあるため、例えば、同じ強さの赤外線が一様
に上記撮像素子に入射した場合でも、各受光素子の出力
信号のレベルに相違がでるため、この相違を補正する必
要があるためである。
【0004】この補正を行うための補正方法としては、
いわゆる多点補正方法と呼ばれる方法が従来から行われ
ている。
【0005】
【従来の技術】ここで、従来技術の多点補正方法の原理
について図4及び図5を用いて説明する。
【0006】上述のように、複数の受光素子Dを備えた
撮像素子においては、同じ強度の赤外線が入射した場合
でも、それぞれの受光素子Dの受光特性の差に対応し
て、出力される出力信号電圧に差が生じる。すなわち、
より具体的には、ある受光素子Dにおける入射赤外線強
度Iに対応する出力信号電圧Vの関係が、図4に符号D
で示すように基準値に対してずれる場合があるのであ
る。
【0007】そこで、従来技術の多点補正方法では、出
力信号電圧Vの値を、図5に示すようにそのレベルに対
応して複数のレベル区分(図5におけるV0 −V1 、V
1 −V2 、V2 −V3 及びV3 以上の四つの区分)に分
割し、そのレベル区分毎且つ各受光素子毎にオフセット
補正係数値(出力信号のオフセットを補正する。)と感
度補正係数値(出力信号の傾きを補正する)を予め事前
試験等で設定しておく。そして、実際の撮像において、
出力信号電圧Vのレベルを検出し、そのレベルに応じて
検出した出力信号がどのレベル区分に属しているかを判
定し、判定した結果に基づいて、対応するレベル区分の
オフセット補正係数値と感度補正係数値を用いて出力信
号の基準値からのずれを補正する。
【0008】この多点補正方法を用いて補正したのちの
出力信号の波形を、図5に符号Dで示す。図5に示すよ
うに、多点補正方法を用いれば、図4に符号Dで示すよ
うなずれを生じていた出力信号を、図5に符号Dで示す
ように基準値にほぼ等しく補正することができる。
【0009】次に、従来技術の多点補正方法による受光
素子特性補正装置を備えた赤外線撮像装置について、図
6乃至図8を用いて説明する。始めに、図6を用いて、
従来技術の赤外線撮像装置の構成について説明する。
【0010】図6に示すように、従来技術の赤外線撮像
装置S’は、図示しない撮像対象から入射する赤外線I
Rに対して、撮像素子100に一列に配列された後述の
受光素子Dの視野を当該配列方向に垂直な方向に走査す
るスキャナSCと、スキャナSCによる走査に対応して
入射した赤外線IRを撮像素子100の受光素子Dに集
光する集光レンズRZと、複数の受光素子Dが一列に配
列され、各受光素子Dに入射した赤外線IRの強度に対
応した出力信号S0 を当該各受光素子D毎に走査しつつ
出力する撮像素子100と、出力信号SO をA/D変換
するA/D変換器101と、ディジタル化された出力信
号SO を上述の原理に基づいて補正し、補正出力信号S
ORを出力する補正部Rと、補正出力信号SORに基づき、
入射した赤外線IRに対応する画像を生成し、画像信号
V を出力する画像生成回路106と、画像信号SV
基づく画像を表示するディスプレイ107と、により構
成されている。
【0011】また、補正部Rは、ディジタル化された出
力信号SO のレベル区分を判定し、判定信号SJ を出力
するレベル判定回路102と、レベル区分毎、且つ、受
光素子D毎に予め設定されたオフセット補正係数値及び
感度補正係数値を記憶し、判定信号SJ に基づいて、判
定されたレベル区分に対応するオフセット補正係数値及
び感度補正係数値を含む補正データSR を出力するRO
M(Read Only Memory)により構成される記憶回路10
3と、記憶回路103から出力された補正データSR
基づき、出力信号SO に対して補正演算を施す補正演算
回路104と、制御信号SS1、SS2及びSS3を介して、
レベル判定回路102、記憶回路103及び補正演算部
104の動作をそれぞれ制御する制御回路105と、に
より構成されている。
【0012】更に、撮像素子100は、図7に示すよう
に、HgCdTe等の化合物半導体からなる四つの受光
素子D1 乃至D4 が垂直方向に一列に並べて配置された
構造となっており、各受光素子D1 乃至D4 の出力信号
は、所定時間毎に走査され、一つの受光素子毎に出力信
号SO として出力される。また、実際の撮像時にはスキ
ャナSCにより撮像素子100の視野を図7に示す方向
に走査することにより撮像対象全体に対応する2次元の
赤外線画像が得られることとなる。
【0013】次に動作を説明する。図6及び図7に示す
構成において、撮像素子100から出力され、A/D変
換された出力信号SO は、レベル判定回路102により
そのレベル区分が判定され、判定されたレベル区分に対
応して、記憶回路103に記憶されているオフセット補
正係数値及び感度補正係数値を用いて補正演算回路10
4により補正され、補正出力信号SORとして出力され
る。その後、補正出力信号SORに基づいて画像生成回路
106により画像化され、画像信号SV としてディスプ
レイ107に入力され、当該画像信号SV に対応する画
像が表示される。
【0014】このとき、より具体的には、補正演算回路
104における補正においては、各レベル区分毎且つ各
受光素子D毎のオフセット補正係数値及び感度補正係数
値をそれぞれm(n)及びg(n)(nは、各受光素子
1 、D2 、D3 及びD4 を示す。)とすると、 SOR(n)=SO (n)×g(n)+m(n)……(1) という補正演算により、補正出力信号SORが出力され
る。ここで、オフセット補正係数値m(n)及び感度補
正係数値g(n)は、各レベル区分内で各受光素子の受
光特性におけるオフセット値及び傾きが基準値に等しく
なるように、各レベル区分毎且つ各受光素子D毎に予め
設定され、記憶回路103に記憶されている。
【0015】更に、オフセット補正係数値m(n)及び
感度補正係数値g(n)について、図8を用いてより具
体的に説明すると、実際には、オフセット補正係数値m
(n)は、図8に示すように、基準値に基づいたそれぞ
れのレベル区分の境界点に対応する入射赤外線強度にお
ける第1オフセット補正係数値m1 (n)と第2オフセ
ット補正係数値m2 (n)により構成され、この第1オ
フセット補正係数値m 1 (n)と第2オフセット補正係
数値m2 (n)が事前試験等により決定され感度補正係
数値g(n)とともに予め記憶回路103に記憶されて
いる。そして、補正演算回路104における補正では、
始めに基準値からのずれを含む各受光素子Dの出力信号
O から第1オフセット補正係数値m1 (n)が減算さ
れる。次に第1オフセット補正係数値m1 (n)を減算
した値に対して感度補正係数値g(n)が乗算され、そ
の後第2オフセット補正係数値m2 (n)が加算され
る。従って、上記式(1)は、より具体的には、 SOR(n)=SO (n)×g(n)+m(n)……(1) ={SO (n)−m1 (n)}×g(n)+m2 (n)……(2) となり、この多点補正方法により、図8に示す出力信号
O が補正出力信号SORのように補正されるのである。
【0016】
【発明が解決しようとする課題】ここで、撮像素子10
0を構成する各受光素子の受光特性は、それを構成する
物質の組成により受光素子毎に変動するだけでなく、時
間の経過とともに変化する場合もある。すなわち、当初
図4に符号Dで示すずれであったものが、時間の経過に
より更に符号D’で示すようなずれに変化してしまうの
である。
【0017】しかしながら、上述の従来技術の多点補正
方法によると、記憶回路103に記憶されているオフセ
ット補正係数値m(n)及び感度補正係数値g(n)
は、各レベル区分毎且つ各受光素子D毎に予め一度設定
されてしまうと、その後は変更されないので、経年(経
時)変化した(図4に符号D’で示す特性となってしま
った)受光素子に対しても、経年変化前の特性に基づく
オフセット補正係数値m(n)及び感度補正係数値g
(n)が適用される。従って、上述の従来技術の多点補
正方法による補正後は、図5に符号D’示すような特性
曲線となり、基準値により近づける適切な補正が施され
ないのである。そして、このように基準値からずれたま
まの補正出力信号SORに基づいて画像を生成すると、均
一な温度の撮像対象を赤外線撮像した場合でも、画像む
らが生じるという問題点があるのである。
【0018】なお、図5に符号D’で示す補正出力信号
ORの基準値からのずれは、符号D’で示される特性曲
線における当該特性曲線全体の形状を変化させずにその
傾きのみを補正することにより、符号Dで示される特性
曲線に対応する適切な補正となることが実験的に判明し
ている。
【0019】そこで、本発明は、上記の問題点に鑑みて
なされたもので、その目的は、撮像素子を構成する各受
光素子の受光特性が経時変化により変動した場合でも、
精度よく当該変動(ずれ)を補正することが可能な受光
素子特性補正方法及び装置並びにそれらを備えた撮像装
置を提供することにある。
【0020】
【課題を解決するための手段】上記の問題点を解決する
ために、請求項1の発明は、複数の赤外線受光素子等の
受光素子を備えた撮像素子における各前記受光素子毎の
受光特性を補正する受光素子特性補正方法において、赤
外線等の入射光を均一化し、均一化入射光を生成して前
記複数の受光素子に照射する入射光均一化工程と、前記
均一化入射光が入射しているときの前記受光素子の出力
信号の平均値を算出する平均値算出工程と、前記平均値
と前記均一化入射光が入射しているときの各前記出力信
号との誤差を各前記出力信号毎に算出する誤差算出工程
と、各前記誤差に基づいて、当該誤差を補正する補正値
を算出する補正値算出工程と、撮像時において、各前記
補正値に基き、当該補正値に対応する各前記出力信号を
補正する補正工程と、を備えて構成される。
【0021】請求項1に記載の発明の作用によれば、入
射光均一化工程において、入射光を均一化した均一化入
射光を生成し、複数の受光素子に照射する。そして、平
均値算出工程において、均一化入射光が入射していると
きの出力信号の平均値を算出する。
【0022】その後、誤差算出工程において、算出した
平均値と均一化入射光が入射しているときの各出力信号
との誤差を各出力信号毎に算出する。そして、補正値算
出工程において、算出した各誤差に基づいて、当該誤差
を補正する補正値を算出する。
【0023】これにより、補正工程において、上記各補
正値に基き、当該補正値に対応する撮像時の各出力信号
を補正する。よって、入射光を均一化したときの各出力
信号の平均値を用いて各受光素子毎の出力信号の変動を
補正するので、各受光素子の出力信号特性が経時変化等
により変動した場合でも、当該変動を補正して良好な撮
像画像を得ることができる。
【0024】上記問題点を解決するために、請求項2に
記載の発明は、複数の赤外線受光素子等の受光素子から
の出力信号のレベルに応じて各前記出力信号を複数のレ
ベル区分に分類し、前記レベル区分に対応し、且つ、各
前記受光素子に対応する第1補正値を用いて各前記出力
信号を補正する受光素子補正方法において、赤外線等の
入射光を均一化し、均一化入射光を生成して前記複数の
受光素子に照射する入射光均一化工程と、前記均一化入
射光が入射しているときの前記第1補正値を用いた補正
後の前記出力信号である補正後出力信号の平均値を算出
する平均値算出工程と、前記平均値と各前記補正後出力
信号との誤差を各前記補正後出力信号毎に算出する誤差
算出工程と、各前記誤差及び前記第1補正値に基づい
て、当該誤差を補正する第2補正値を算出する第2補正
値算出工程と、前記第2補正値に基き、撮像時における
各前記出力信号を前記第1補正値を用いて補正した第1
補正出力信号を再補正する再補正工程と、を備えて構成
される。
【0025】請求項2に記載の発明の作用によれば、入
射光均一化工程において、入射光を均一化し、均一化入
射光を生成して複数の受光素子に照射する。そして、平
均値算出工程において、各補正後出力信号の平均値を算
出する。
【0026】その後、誤差算出工程において、算出した
平均値と各補正後出力信号との誤差を各補正後出力信号
毎に算出する。そして、第2補正値算出工程において、
各誤差及び第1補正値に基づいて、当該誤差を補正する
第2補正値を算出する。
【0027】これにより、再補正工程において、各第2
補正値に基き、撮像時における第1補正出力信号を再補
正する。よって、入射光を均一化したときの各出力信号
の平均値を用いて各受光素子毎の出力信号の変動を再補
正するので、各受光素子の出力信号特性が経時変化等に
より変動した場合でも、当該変動を補正して良好な撮像
画像を得ることができる。
【0028】また、上記レベル区分を細分化することに
より、更にきめの細かい良好な補正を行うことができ
る。上記の問題点を解決するために、請求項3に記載の
発明は、複数の赤外線受光素子等の受光素子を備えた撮
像素子における各前記受光素子毎の受光特性を補正する
受光素子特性補正装置において、入射光を均一化し、均
一化入射光を生成して全起伏数の受光素子に照射するチ
ョッパ等の入射光均一化手段と、前記均一化入射光が入
射しているときの前記受光素子の出力信号の平均値を算
出する補正値算出回路等の平均値算出手段と、前記平均
値と前記均一化入射光が入射しているときの各前記出力
信号との誤差を各前記出力信号毎に算出する補正値算出
回路等の誤差算出手段と、各前記誤差に基づいて、当該
誤差を補正する補正値を算出する補正値算出回路等の補
正値算出手段と、撮像時において、各前記補正値に基
き、当該補正値に対応する各前記出力信号を補正し、補
正出力信号を出力する補正演算回路等の補正手段と、を
備えて構成される。
【0029】請求項3に記載の発明によれば、入射光均
一化手段は、入射光を均一化し、均一化入射光を生成し
て複数の受光素子に照射する。そして、平均値算出手段
は、均一化入射光が入射しているときの出力信号の平均
値を算出する。
【0030】その後、誤差算出手段は、算出した平均値
と均一化入射光が入射しているときの各出力信号との誤
差を各出力信号毎に算出する。そして、補正値算出手段
は、算出した誤差に基づいて、当該誤差を補正する補正
値を算出する。
【0031】これにより、補正手段は、上記各補正値に
基き、当該補正値に対応する撮像時の各出力信号を補正
し、補正出力信号を出力する。よって、補正出力信号に
基づいてこれを画像化することにより、入射光を均一化
したときの各出力信号の平均値を用いて各受光素子毎の
出力信号の変動を補正するので、各受光素子の出力信号
特性が経時変化等により変動した場合でも、当該変動を
補正して良好な撮像画像を得ることができる。
【0032】上記の問題点を解決するために、請求項4
に記載の発明は、複数の赤外線受光素子等の受光素子か
らの出力信号のレベルに応じて各前記出力信号を複数の
レベル区分に分類し、前記レベル区分に対応し、且つ、
各前記受光素子に対応する第1補正値を用いて各前記出
力信号を補正する受光素子補正装置において、入射光を
均一化し、均一化入射光を生成して前記複数の受光素子
に照射するチョッパ等の入射光均一化手段と、前記均一
化入射光が入射しているときの前記第1補正値を用いた
補正後の前記出力信号である補正後出力信号の平均値を
算出する補正値算出回路等の平均値算出手段と、前記平
均値と各前記補正後出力信号との誤差を各前記補正後出
力信号毎に算出する補正値算出回路等の誤差算出手段
と、各前記誤差及び前記第1補正値に基づいて、当該誤
差を補正する第2補正値を算出する補正値算出回路等の
第2補正値算出手段と、各前記第2補正値に基き、撮像
時における各前記出力信号を前記第1補正値を用いて補
正した第1補正出力信号を再補正し、第2補正出力信号
を出力する補正演算回路等の再補正手段と、を備えて構
成される。
【0033】請求項4に記載の発明の作用によれば、入
射光均一化手段は、入射光を均一化し、均一化入射光を
生成して複数の受光素子に照射する。そして、平均値算
出手段は、補正後出力信号の平均値を算出する。
【0034】その後、誤差算出手段は、算出した平均値
と各補正後出力信号との誤差を各補正後出力信号毎に算
出する。そして、第2補正値算出手段は、算出した各誤
差及び第1補正値に基づいて、当該誤差を補正する第2
補正値を算出する。
【0035】これにより、再補正手段は、各第2補正値
に基き、撮像時における第1補正出力信号を再補正し、
第2補正出力信号を出力する。よって、入射光を均一化
したときの各出力信号の平均値を用いて各受光素子毎の
出力信号の変動を再補正するので、各受光素子の出力信
号特性が経時変化等により変動した場合でも、当該変動
を補正して良好な撮像画像を得ることができる。
【0036】また、上記レベル区分を細分化することに
より、更にきめの細かい良好な補正を行うことができ
る。上記の問題点を解決するために、請求項5に記載の
発明は、請求項4に記載の受光素子特性補正装置と、前
記受光素子に対して前記入射光を集光する集光レンズ等
の集光手段と、前記第2補正出力信号に基づき、前記入
射光に対応する画像信号を生成する画像生成回路等の画
像生成手段と、前記画像信号に基づく画像を表示するデ
ィスプレイ等の表示装置と、を備えて構成される。
【0037】請求項5に記載の発明の作用によれば、請
求項4に記載の発明の作用に加えて、集光手段は、受光
素子に対して入射光を集光する。一方、画像生成手段
は、補正出力信号に基づき、入射光に対応する画像信号
を生成する。
【0038】そして、表示装置は、画像信号に基づく画
像を表示する。よって、各受光素子の出力信号特性が経
時変化等により変動した場合でも、当該変動を補正した
良好な撮像画像が得られる撮像装置を実現できる。
【0039】上記の問題点を解決するために、請求項6
に記載の発明は、複数の赤外線受光素子等の受光素子か
らの出力信号のレベルに応じて各前記出力信号を複数の
レベル区分に分類し、前記レベル区分に対応し、且つ、
各前記受光素子に対応する第1補正値を用いて各前記出
力信号を補正する受光素子補正装置において、前記第1
補正値を記憶する記憶回路等の記憶手段と、赤外線等の
入射光を均一化し、均一化入射光を生成して前記複数の
受光素子に照射するチョッパ等の入射光均一化手段と、
前記均一化入射光が入射しているときの前記第1補正値
を用いた前記補正後の前記出力信号である補正後出力信
号の平均値を算出する補正値算出回路等の平均値算出手
段と、前記平均値と各前記補正後出力信号との誤差を各
前記補正後出力信号毎に算出する補正値算出回路等の誤
差算出手段と、各前記誤差及び前記第1補正値に基づい
て、当該誤差を補正する第2補正値を算出する補正値算
出回路等の第2補正値算出手段と、前記記憶手段から前
記第1補正値を読み出すとともに、当該第1補正値を前
記第2補正値に基づき修正して修正第1補正値を算出
し、撮像時における各前記出力信号に対して前記修正第
1補正値を用いて前記補正を施し、補正出力信号を出力
する補正演算回路等の補正手段と、を備えて構成され
る。
【0040】請求項6に記載の発明の作用によれば、記
憶手段は、第1補正値を記憶する。一方、入射光均一化
手段は、入射光を均一化し、均一化入射光を生成して複
数の受光素子に照射する。
【0041】そして、平均値算出手段は、補正後出力信
号の平均値を算出する。その後、誤差算出手段は、算出
した平均値と各補正後出力信号との誤差を各補正後出力
信号毎に算出する。
【0042】そして、第2補正値算出手段は、算出した
各誤差及び第1補正値に基づいて、当該誤差を補正する
第2補正値を算出する。その後、補正手段は、記憶手段
から第1補正値を読み出すとともに、当該第1補正値を
第2補正値に基づき修正して修正第1補正値を算出し、
撮像時における各出力信号に対して修正第1補正値を用
いて上記補正を施し、補正出力信号を出力する。
【0043】よって、入射光を均一化したときの各出力
信号の平均値を用いて各受光素子毎の出力信号の変動を
再補正するので、各受光素子の出力信号特性が経時変化
等により変動した場合でも、当該変動を補正して良好な
撮像画像を得ることができる。
【0044】また、上記レベル区分を細分化することに
より、更にきめの細かい良好な補正を行うことができ
る。更に、第1補正値を用いて補正を行う補正手段と修
正第1補正値を用いて補正を行う再補正手段とを共通化
することができるので、受光素子特性補正装置の構成を
簡略化することができる。
【0045】上記の問題点を解決するために、請求項7
に記載の発明は、請求項6に記載の受光素子特性補正装
置と、前記受光素子に対して前記入射光を集光する集光
レンズ等の集光手段と、前記補正出力信号に基づき、前
記入射光に対応する画像信号を生成する画像生成回路等
の画像生成手段と、前記画像信号に基づく画像を表示す
るディスプレイ等の表示装置と、を備えて構成される。
【0046】請求項7に記載の発明の作用によれば、請
求項6に記載の発明の作用に加えて、集光手段は、受光
素子に対して入射光を集光する。一方、画像生成手段
は、補正出力信号に基づき、入射光に対応する画像信号
を生成する。
【0047】そして、表示装置は、画像信号に基づく画
像を表示する。よって、各受光素子の出力信号特性が経
時変化等により変動した場合でも、当該変動を補正した
良好な撮像画像が得られる撮像装置を実現できる。
【0048】
【発明の実施の形態】次に、本発明の好適な実施形態に
ついて、図1乃至図3を用いて説明する。なお、以下の
各実施形態は、本発明を撮像対象が発生する赤外線を検
出することにより、撮像対象の赤外線画像(当該撮像対
象の温度分布像に相当する)を出力する赤外線撮像装置
に適用した場合について説明する。 (I)第1実施形態 始めに請求項1乃至5に記載の発明に対応する第1の実
施形態について図1及び図2を用いて説明する。本第1
実施形態においては、図5に符号D’で示す特性曲線に
対応する特性(経時変化により基準値からずれた特性)
を有する補正出力信号SORに対して、当該特性曲線にお
けるその傾きを補正すべく、図6に示す赤外線撮像装置
S’の構成に加えて、第2補正部R2 が追加される。
【0049】始めに、第1実施形態に係る赤外線撮像装
置の構成について図1を用いて説明する。なお、以下の
説明においては、図6に示す赤外線撮像装置S’と同様
の構成部材については、同様の部材番号を付し、細部の
構成、動作等の説明は省略する。
【0050】図1に示すように、第1実施形態の赤外線
撮像装置S1 は、図6に示す赤外線撮像装置S’の構成
に加えて、撮像素子100に対して集光手段としての集
光レンズRZを介して入射する図示しない撮像対象から
の赤外線IRを一時的に遮るとともに、後述の入射光均
一化手段としてのチョッパ制御回路5からの制御信号S
SCに基づいて一定温度に保たれることにより、撮像素子
100を構成する各受光素子Dに対して均一な(一様
な)赤外線IR’を照射する入射光均一化手段としての
チョッパCと、チョッパCにより均一な赤外線IR’が
各受光素子Dに入射しているときの各受光素子Dに対応
する複数の補正出力信号SORの平均値Mを算出するとと
もに、当該平均値Mと、均一な赤外線IR’が入射して
いるときの各受光素子Dに対応する各補正出力信号SOR
との誤差を各補正出力信号SOR毎に算出し、更にこの誤
差に基づいて各補正出力信号SORを再度補正するための
補正値SCRを算出する平均値算出手段、誤差算出手段及
び第2補正値算出手段(補正値算出手段)としての補正
値算出回路1と、算出された補正値SCRを一時的に記憶
するRAM(Random Access Memory)等により構成され
る記憶回路2と、記憶回路2に記憶された補正値SCR
基づき、チョッパCによる遮断が開放された通常の撮像
対象からの赤外線IRを撮像中における各受光素子Dに
対応する各補正出力信号SORを再補正し、再補正出力信
号SORR を出力する再補正手段(補正手段)としての補
正演算回路3と、制御信号SS4、SS5及びSS6を介し
て、補正値算出回路1、記憶回路2及び後述のチョッパ
制御回路5の動作をそれぞれ制御する制御回路4と、制
御回路4の制御の下、チョッパCの動作を制御する入射
光均一化手段としてのチョッパ制御回路5とにより構成
されている。
【0051】なお、上述の構成において、チョッパC
は、具体的には、一部に撮像対象からの赤外線IRを通
過させるための穴が開けられた円盤状等の形状の発熱体
であり、均一化された赤外線IR’を発生させる場合に
は、撮像素子100の各受光素子Dに対して穴の空いて
いない部分を対向させることにより、撮像対象からの赤
外線IRを遮断するとともに、チョッパ制御回路5の制
御により一定の温度に保たれ、これにより各受光素子D
に対して均一化された赤外線IR’を照射する。そし
て、補正値SCRが算出され記憶回路2に記憶されたのち
は、穴の部分を各受光素子Dに対向させるようにチョッ
パCが移動(回転)され、撮像対象からの赤外線IRが
撮像素子100に照射されるようになる。そして、当該
撮像対象の赤外線画像化が行われる。
【0052】次に、赤外線撮像装置S1 の動作について
図1及び図2を用いて説明する。始めに、チョッパCに
より撮像対象からの赤外線IRを遮断するとともに、チ
ョッパ制御回路5によりチョッパCを一様な温度にし、
均一化された赤外線IR’を撮像素子100の各受光素
子Dに入射させる。すると、各受光素子Dからの出力信
号SO は、A/D変換されたのち、補正部Rに入力さ
れ、上述の多点補正方法により、予め設定したレベル区
分毎に上述の多点補正が施され、補正出力信号SORとし
て出力される。ここで、例えば、撮像素子100におけ
る受光素子D 2 について、その補正出力信号SORが、受
光素子D2 の経時変化による受光特性の変動により、図
2に符号D2 ’で示すような、依然として基準値からず
れた(補正部Rによる補正によっても補正されない基準
値からのずれを含む)特性曲線を有しているものとす
る。
【0053】つぎに、当該補正出力信号SORは、補正演
算回路3に入力されるとともに、補正値算出回路1に入
力される。そして、補正値算出回路1において、始め
に、均一化された赤外線IR’(そのときの赤外線I
R’の強度をIC とする。)が照射されているときの各
受光素子Dの補正出力信号SORの出力電圧の平均値Mが
算出される。次に、各受光素子Dのそれぞれについて、
均一化された赤外線IR’が照射されているときの補正
出力信号SORの出力電圧と上記平均値Mとの誤差が算出
される。そして、この誤差に基づいて、各受光素子Dの
補正出力信号SORの傾きを補正して基準値により近づけ
るべく補正値SCRが算出され、記憶回路2に出力され
る。
【0054】誤差の算出以降の動作についてより具体的
に、例えば、受光素子D2 について説明すると、図2に
示すように、均一化された赤外線IR’(強度IC )が
照射されているときの受光素子D2 の補正出力信号SOR
(図2符号D2 ’)の出力電圧と上記平均値Mとの誤差
E(D2 )が補正値算出回路1により算出される。ここ
で、この誤差E(D2 )は、受光素子D2 の経時変化に
よる受光特性の変化による誤差に相当する。そして、こ
の誤差E(D2 )を用いて、受光素子D2 についての経
時変化による変動の補正値SCR(D2 )が以下の式
(3)により算出される。
【0055】 SCR(D2 )=M/(M+E(D2 ))……(3) ここで、図2に符号D2 ’で示される補正出力信号の値
は基準値よりも小さいので、誤差E(D2 )は負の値と
なる。これが仮に逆の場合は誤差E(D2 )は正の値と
なる。そして、式(3)に基づく補正値SCRの算出が各
受光素子D1 、D2 、D3 及びD4 について行われ、そ
れぞれの補正値SCR(D1 )、SCR(D2 )、SCR(D
3 )及びSCR(D4 )が記憶回路2に記憶される。
【0056】各補正値SCRの記憶が終わると、次に、制
御回路4は、チョッパ制御回路5を介してチョッパCを
移動(回転)させ、均一な赤外線IR’に代えて、撮像
対象からの赤外線IRを各受光素子Dに入射させる。こ
のとき補正部Rからは、経年変化による受光特性の変動
に伴う誤差を含んだ補正出力信号SORが出力されるが、
これに対して、補正演算回路3は記憶回路2に記憶され
ている補正値SCRを各受光素子D毎に読み出し、それぞ
れの受光素子の補正出力信号SORの値に対して対応する
補正値SCRを乗算し、再補正出力信号SORR として画像
生成手段としての画像生成回路106に出力する。すな
わち、 SORR (n)=SOR(n)×SCR(n)……(4) (nは、各受光素子D1 、D2 、D3 及びD4 を示
す。)となる。そして、画像生成回路106は再補正出
力信号SORR に基づく画像を生成して画像信号SV とし
て出力し、表示手段としてのディスプレイ107は画像
信号SV に基づく画像を表示する。
【0057】ここで、上述のように、図2に示す補正出
力信号SOR(図5に符号D’で示した特性曲線に相当す
る。)は、その傾きを補正するのみで経時変化に対応し
た適切な補正を行えることが判明しているので、上記式
(4)に基づく補正を行うことにより、図2に示す、各
受光素子Dの経時変化に対して補正が適切に施された再
補正出力信号SORR を得ることができる。
【0058】以上説明したように、第1実施形態の赤外
線撮像素子S1 によれば、補正部Rにより補正された補
正出力信号SORに対して、均一な赤外線IR’照射時の
各受光素子Dの補正出力信号SORの平均値Mに基づいて
各受光素子Dの経時変化に対する補正を施して再補正出
力信号SORR を得、当該再補正出力信号SORR に基づい
て赤外線画像を得るので、各受光素子Dが経時変化して
いる場合でも、当該変化による出力信号の基準値からの
ずれを補正し、画像むら等のない正しい赤外線画像を得
ることができる。 (II)第2実施形態 次に、請求項6及び7に記載の発明に対応する第2の実
施形態について、図3を用いて説明する。第1実施形態
においては、多点補正方法による補正を補正演算回路1
04により行い、本発明による経時変化に対応する補正
を補正演算回路3により行っていたが、本第2実施形態
は、上記二つの補正を合わせて一つの補正演算回路で行
おうとするものである。なお、第2実施形態において、
第1実施形態と同様の部材には、同様の部材番号を付
し、細部の説明は省略する。
【0059】図3に示すように、第2実施形態の赤外線
撮像装置S2 は、第1実施形態の赤外線撮像装置S1
おける補正部R及び第2補正部R2 に代えて、レベル判
定回路102、補正算出回路10、制御回路11、補正
演算回路12、記憶回路13及び制御回路105により
補正部R’を構成している。ここで、記憶回路13は、
NVRAM(Non Volatile Random Access Memory;不揮
発性RAM)、EEPROM(Electrically Erasable
and Programmable Read Only Memory )又はフラッシュ
メモリ等の書き換え可能な不揮発性メモリにより構成さ
れている。
【0060】次に動作を説明する。上記の構成におい
て、始めに、一定時間、チョッパCにより撮像対象から
の赤外線IRを遮るとともに、均一な赤外線IR’を各
受光素子Dに対して照射し、そのときの出力信号SO
対して、レベル判定回路102、記憶回路13、制御回
路105及び補正演算回路12により上述の多点補正方
法による補正を行い、補正出力信号SORを出力する。こ
のとき、記憶回路13には、上述のオフセット補正係数
値m(n)及び感度補正係数値g(n)が予め決定され
て記憶されており、これらを用いて、所定のレベル区分
毎に多点補正が行われる。
【0061】均一な赤外線IR’の入射中に各受光素子
D毎に多点補正が行われると、それぞれの受光素子Dに
対応する補正出力信号SORが補正値算出回路10に入力
され、第1実施形態と同様の方法(上記式(3))によ
り、各受光素子D毎の補正値SCRが算出され保持され
る。そして、次に、記憶回路13に記憶されている感度
補正係数値g(n)を補正値算出回路10に読み出し、
当該補正値算出回路10において、 g’(n)=g(n)×SCR(n)……式(5) で示される演算が行われ、新しい(経時変化に対応した
補正を含む)修正感度補正係数値g’(n)が算出さ
れ、再び記憶回路13に記憶される。以上の補正値算出
回路10及び記憶回路13における動作は、制御回路1
1からの制御信号S S7及びSS8に基づいて行われる。
【0062】修正感度補正係数値g’(n)の記憶が終
わると、次に、制御回路11は、チョッパ制御回路5を
介してチョッパCを移動(回転)させ、均一な赤外線I
R’に代えて、撮像対象からの赤外線IRを各受光素子
Dに入射させる。そして、このときの出力信号SO に対
して、補正演算回路12により修正感度補正係数値g’
(n)とオフセット補正係数値m(n)を用いた多点補
正が施され、再補正出力信号SORR が生成され、画像生
成回路106に出力される。このとき、記憶回路13か
らは、修正感度補正係数値g’(n)とオフセット補正
係数値m(n)を含む補正データSR ’が補正演算回路
12に対して出力されることとなる。このように修正感
度補正係数値g’(n)を用いた多点補正により各受光
素子の経時変化による出力信号のずれを補正することが
できるのは、図2に示す補正出力信号SOR(図5に符号
D’で示した特性曲線に相当する。)が、その傾きを補
正するのみで経時変化に対応した適切な補正を行えるこ
とによるものである。
【0063】以上説明したように、第2実施形態によれ
ば、第1実施形態と同様に、各受光素子Dに経時変化に
よる受光特性の変動が生じている場合でも、それを適切
に補正して画像むら等のない良好な画像が得られるとい
う効果に加えて、単一の補正演算回路12により多点補
正だけでなく経時変換に対応した補正も可能であるの
で、赤外線撮像装置S2 全体をより簡略化及び小型化す
ることが可能となる。 (III )変形形態 以上説明した第1及び第2実施形態においては、チョッ
パCにより撮像対象からの赤外線IRを一時的に遮ると
ともに、当該チョッパCを一定温度に保って均一な赤外
線IR’を撮像素子100に照射するように構成した
が、本発明はこれに限らず、ミラー等を用いて、撮像対
象内の均一温度部分からの赤外線のみが撮像素子100
に入射するようにすることもできる。
【0064】また、多点補正方法におけるレベル区分
は、四つに区分するだけでなく、更に最分化して区分す
れば、補正の精度を向上させることができる。
【0065】
【発明の効果】以上説明したように、請求項1又は3に
記載の発明によれば、入射光を均一化したときの各出力
信号の平均値を用いて各受光素子毎の出力信号の変動を
補正するので、各受光素子の出力信号特性が経時変化等
により変動した場合でも、当該変動を補正して良好な撮
像画像を得ることができる。
【0066】請求項2又は4に記載の発明によれば、入
射光を均一化したときの各出力信号の平均値を用いて各
受光素子毎の出力信号の変動を再補正するので、各受光
素子の出力信号特性が経時変化等により変動した場合で
も、当該変動を補正して良好な撮像画像を得ることがで
きる。
【0067】また、第1補正値を用いた補正におけるレ
ベル区分を細分化することにより、更にきめの細かい良
好な補正を行うことができる。請求項5に記載の発明に
よれば、請求項4に記載の発明の効果に加えて、各受光
素子の出力信号特性が経時変化等により変動した場合で
も、当該変動を補正した良好な撮像画像が得られる撮像
装置を実現できる。
【0068】請求項6に記載の発明によれば、入射光を
均一化したときの各出力信号の平均値を用いて各受光素
子毎の出力信号の変動を再補正するので、各受光素子の
出力信号特性が経時変化等により変動した場合でも、当
該変動を補正して良好な撮像画像を得ることができる。
【0069】また、第1補正値を用いた補正におけるレ
ベル区分を細分化することにより、更にきめの細かい良
好な補正を行うことができる。更に、第1補正値を用い
て補正を行う補正手段と修正第1補正値を用いて補正を
行う再補正手段とを共通化することができるので、受光
素子特性補正装置の構成を簡略化することができる。
【0070】請求項7に記載の発明によれば、請求項6
に記載の発明の効果に加えて、各受光素子の出力信号特
性が経時変化等により変動した場合でも、当該変動を補
正した良好な撮像画像が得られる撮像装置を実現でき
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1実施形態の赤外線撮像装置の概要構成ブロ
ック図である。
【図2】第1実施形態の赤外線撮像装置による補正後の
特性曲線を示すグラフ図である。
【図3】第2実施形態の赤外線撮像装置の概要構成ブロ
ック図である。
【図4】受光素子の出力信号の基準値からのずれを説明
するグラフ図である。
【図5】多点補正方法による出力信号の補正を説明する
グラフ図である。
【図6】従来技術の赤外線撮像装置の概要構成ブロック
図である。
【図7】撮像素子の細部構成を示す図である。
【図8】出力信号とオフセット補正係数の関係を示すグ
ラフ図である。
【符号の説明】
1、10…補正値算出回路 2、13、103…記憶回路 3、12、104…補正演算回路 4、11、105…制御回路 5…チョッパ制御回路 100…撮像素子 101…A/D変換器 102…レベル判定回路 106…画像生成回路 107…ディスプレイ D、D1 、D2 、D3 、D4 …受光素子 SO …出力信号 SJ …判定信号 SR 、SR ’…補正データ SOR…補正出力信号 SV …画像信号 SS1、SS2、SS3、SS4、SS5、SS6、SS7、SS8、S
SC…制御信号 SCR…補正値 SORR …再補正出力信号 IR、IR’…赤外線 SC…スキャナ C…チョッパ RZ…集光レンズ R、R’…補正部 R2 …第2補正部 S1 、S2 、S’…赤外線撮像装置 g(n)…感度補正係数値 g’(n)…修正感度補正係数値

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 複数の受光素子を備えた撮像素子におけ
    る各前記受光素子毎の受光特性を補正する受光素子特性
    補正方法において、 入射光を均一化し、均一化入射光を生成して前記複数の
    受光素子に照射する入射光均一化工程と、 前記均一化入射光が入射しているときの前記受光素子の
    出力信号の平均値を算出する平均値算出工程と、 前記平均値と前記均一化入射光が入射しているときの各
    前記出力信号との誤差を各前記出力信号毎に算出する誤
    差算出工程と、 各前記誤差に基づいて、当該誤差を補正する補正値を算
    出する補正値算出工程と、 撮像時において、各前記補正値に基き、当該補正値に対
    応する各前記出力信号を補正する補正工程と、 を備えたことを特徴とする受光素子特性補正方法。
  2. 【請求項2】 複数の受光素子からの出力信号のレベル
    に応じて各前記出力信号を複数のレベル区分に分類し、
    前記レベル区分に対応し、且つ、各前記受光素子に対応
    する第1補正値を用いて各前記出力信号を補正する受光
    素子補正方法において、 入射光を均一化し、均一化入射光を生成して前記複数の
    受光素子に照射する入射光均一化工程と、 前記均一化入射光が入射しているときの前記第1補正値
    を用いた補正後の前記出力信号である補正後出力信号の
    平均値を算出する平均値算出工程と、 前記平均値と各前記補正後出力信号との誤差を各前記補
    正後出力信号毎に算出する誤差算出工程と、 各前記誤差及び前記第1補正値に基づいて、当該誤差を
    補正する第2補正値を算出する第2補正値算出工程と、 各前記第2補正値に基き、撮像時における各前記出力信
    号を前記第1補正値を用いて補正した第1補正出力信号
    を再補正する再補正工程と、 を備えたことを特徴とする受光素子特性補正方法。
  3. 【請求項3】 複数の受光素子を備えた撮像素子におけ
    る各前記受光素子毎の受光特性を補正する受光素子特性
    補正装置において、 入射光を均一化し、均一化入射光を生成して全起伏数の
    受光素子に照射する入射光均一化手段と、 前記均一化入射光が入射しているときの前記受光素子の
    出力信号の平均値を算出する平均値算出手段と、 前記平均値と前記均一化入射光が入射しているときの各
    前記出力信号との誤差を各前記出力信号毎に算出する誤
    差算出手段と、 各前記誤差に基づいて、当該誤差を補正する補正値を算
    出する補正値算出手段と、 撮像時において、各前記補正値に基き、当該補正値に対
    応する各前記出力信号を補正し、補正出力信号を出力す
    る補正手段と、 を備えたことを特徴とする受光素子特性補正装置。
  4. 【請求項4】 複数の受光素子からの出力信号のレベル
    に応じて各前記出力信号を複数のレベル区分に分類し、
    前記レベル区分に対応し、且つ、各前記受光素子に対応
    する第1補正値を用いて各前記出力信号を補正する受光
    素子補正装置において、 入射光を均一化し、均一化入射光を生成して前記複数の
    受光素子に照射する入射光均一化手段と、 前記均一化入射光が入射しているときの前記第1補正値
    を用いた補正後の前記出力信号である補正後出力信号の
    平均値を算出する平均値算出手段と、 前記平均値と各前記補正後出力信号との誤差を各前記補
    正後出力信号毎に算出する誤差算出手段と、 各前記誤差及び前記第1補正値に基づいて、当該誤差を
    補正する第2補正値を算出する第2補正値算出手段と、 各前記第2補正値に基き、撮像時における各前記出力信
    号を前記第1補正値を用いて補正した第1補正出力信号
    を再補正し、第2補正出力信号を出力する再補正手段
    と、 を備えたことを特徴とする受光素子特性補正装置。
  5. 【請求項5】 請求項4に記載の受光素子特性補正装置
    と、 前記受光素子に対して前記入射光を集光する集光手段
    と、 前記第2補正出力信号に基づき、前記入射光に対応する
    画像信号を生成する画像生成手段と、 前記画像信号に基づく画像を表示する表示装置と、 を備えたことを特徴とする撮像装置。
  6. 【請求項6】 複数の受光素子からの出力信号のレベル
    に応じて各前記出力信号を複数のレベル区分に分類し、
    前記レベル区分に対応し、且つ、各前記受光素子に対応
    する第1補正値を用いて各前記出力信号を補正する受光
    素子補正装置において、 前記第1補正値を記憶する記憶手段と、 入射光を均一化し、均一化入射光を生成して前記複数の
    受光素子に照射する入射光均一化手段と、 前記均一化入射光が入射しているときの前記第1補正値
    を用いた前記補正後の前記出力信号である補正後出力信
    号の平均値を算出する平均値算出手段と、 前記平均値と各前記補正後出力信号との誤差を各前記補
    正後出力信号毎に算出する誤差算出手段と、 各前記誤差及び前記第1補正値に基づいて、当該誤差を
    補正する第2補正値を算出する第2補正値算出手段と、 前記記憶手段から前記第1補正値を読み出すとともに、
    当該第1補正値を前記第2補正値に基づき修正して修正
    第1補正値を算出し、撮像時における各前記出力信号に
    対して各前記修正第1補正値を用いて前記補正を施し、
    補正出力信号を出力する補正手段と、 を備えたことを特徴とする受光素子特性補正装置。
  7. 【請求項7】 請求項6に記載の受光素子特性補正装置
    と、 前記受光素子に対して前記入射光を集光する集光手段
    と、 前記補正出力信号に基づき、前記入射光に対応する画像
    信号を生成する画像生成手段と、 前記画像信号に基づく画像を表示する表示装置と、 を備えたことを特徴とする撮像装置。
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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003518615A (ja) * 1999-12-24 2003-06-10 ペルキンエルメル オプトエレクトロニクス ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング 赤外放射多重素子センサの出力信号の補正方法および赤外放射多重素子センサ・システム
JP2006226968A (ja) * 2005-02-21 2006-08-31 Ricoh Co Ltd 媒体種類判別装置
US7420599B2 (en) 2001-04-03 2008-09-02 Institut Für Mikroelektronik Stuttgart Method and device for the FPN correction of image signals

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2003518615A (ja) * 1999-12-24 2003-06-10 ペルキンエルメル オプトエレクトロニクス ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング 赤外放射多重素子センサの出力信号の補正方法および赤外放射多重素子センサ・システム
US7420599B2 (en) 2001-04-03 2008-09-02 Institut Für Mikroelektronik Stuttgart Method and device for the FPN correction of image signals
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