JPH10108075A - 信号増幅型撮像装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 単位セルを構成する各トランジスタの入出力
特性の補正テーブルを作成する場合に、光学系を使用せ
ずに前記補正テーブルの作成が可能な信号増幅型撮像装
置を提供する。 【解決手段】 電圧印加手段（リセット電圧線１１３）
によりリセットトランジスタ１０４を介して光電変換素
子１０１の信号出力端および増幅トランジスタ１０２の
ゲートに電圧を印加すると、増幅トランジスタ１０２の
ソース側に電圧が現れる。この電圧を補正データ演算手
段（画像処理装置１）に取り込み、該演算手段で各単位
セル毎の補正データを演算し、補正データ格納手段（メ
モリ２）に格納しておき、撮像の際にこの補正データで
画像を補正する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、信号増幅型撮像装
置に係り、特に光電変換した信号を単位セル内で増幅す
る増幅型センサを用いた信号増幅型撮像装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】図８，図９は、従来の半導体，ガラス，
プラスチック等からなる絶縁性基板上に形成された撮像
素子を用いた信号増幅型撮像装置のシステム構成図およ
び該信号増幅型撮像装置を構成する撮像素子の回路図で
ある。ここに、撮像装置（検出器）の大型化を進める場
合には、ピンホールが少なく、大面積に渡って均一に製
造可能な薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）の使用が好まし
い。

【０００３】図８に示すように、撮像装置Ｓ0 は、次に
詳細に説明する撮像素子１００と、該撮像素子１００を
構成する単位セル（後述する）からの信号読み出しの位
置を指定する垂直シフトレジスタ１０５と、撮像素子１
００から信号を順次読み出すと共に順次送り出すマルチ
プレクサ１１０と、該マルチプレクサ１１０から出力さ
れたアナログ信号をデジタル信号に変換するＡ／Ｄ変換
器１１８と、該Ａ／Ｄ変換器１１８の出力を表示および
記録する表示および記録媒体１２０等により構成されて
いる。

【０００４】前記撮像素子１００は、図９に示すよう
に、受光した光に対応した電気信号を発生する光電変換
素子１０１と、該光電変換素子１０１の出力信号を増幅
する増幅トランジスタ１０２と、信号を読み出す単位セ
ルを選択する垂直選択トランジスタ１０３と、光電変換
素子１０１に蓄えられた信号電荷をリセットするリセッ
トトランジスタ１０４とを備えた単位セルＣ1 ，Ｃ2 〜
Ｃn が、２次元行列（２次元マトリクス）に配列されて
構成されている。

【０００５】前記垂直シフトレジスタ１０５から水平方
向に配線された垂直選択線１０６は垂直選択トランジス
タ１０３のゲートに接続され、信号を読み出すラインを
決めている。同様に、垂直シフトレジスタ１０５から水
平方向に配線されたリセット線１０７は、リセットトラ
ンジスタ１０４のゲートに接続されている。増幅トラン
ジスタ１０２のソースは列方向に配置された垂直信号線
１０８に接続され、垂直信号線１０８の一端には負荷ト
ランジスタ１０９が接続されている。垂直信号線１０８
の他端にはマルチプレクサ１１０が接続され、該マルチ
プレクサ１１０の画像信号出力端子から前記単位セルＣ
1 ，Ｃ2 〜Ｃn から読み出された信号が出力される。

【０００６】垂直シフトレジスタ１０５から垂直選択線
１０６をハイレベルにするアドレスパルスが印加される
と、この垂直選択線（ライン）１０６に接続された垂直
選択トランジスタ１０３のみがオンされ、このラインの
増幅トランジスタ１０２と負荷トランジスタ１０９でソ
ースホロア回路が構成される。そして、増幅トランジス
タ１０２のゲート電圧変化（＝光電変換素子１０１の出
力電圧変化）が該増幅トランジスタ１０２で増幅されて
垂直信号線１０８に現れる。

【０００７】次いで、マルチプレクサ１１０で入力側の
垂直信号線１０８を順次切り替えることにより、画像信
号出力線１１４から垂直選択線１０６の１ライン分の信
号（即ち、垂直信号線１０８の電圧）を順次読み出す。
１ラインの信号の読み出しが終わると、垂直シフトレジ
スタ１０５からリセット線１０７をハイレベルにするリ
セットパルスを印加し、このライン（リセット線）のリ
セットトランジスタ１０４をオンにして、そのラインの
光電変換素子１０１に蓄えられた信号電荷をリセットす
る。なお、１１１は負荷トランジスタのゲート線であ
り、１１２は負荷トランジスタのソース線であり、１１
３はリセット電圧線である。

【０００８】以上の動作を、順次各ライン（垂直選択線
１０６）に対して繰り返すことにより、全画素（全単位
セル）の信号（光電変換素子１０１の出力端電圧）を読
み出すことができる。ところで、ＴＦＴからなる各トラ
ンジスタ１０２，１０３，１０４，１０９（特に、増幅
トランジスタ１０２と負荷トランジスタ１０９）のしき
い値電圧は個体差が大きく、単位セル間の入出力特性に
バラツキがあるときには、そのままでは正確な信号（光
電変換素子１０１の出力端電圧）を得ることができな
い。

【０００９】従って、初期状態（信号増幅型撮像装置の
工場出荷時または使用開始時）において前記バラツキを
補正する補正テーブルを用意し、バラツキのある入出力
特性を補正する必要がある。そのための手段としては、
例えば基準光を実際に撮像装置Ｓ0 に照射して、各画素
の入出力特性を計測し、補正テーブルの作成に必要な補
正データを得ていた。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述の
如く実際に基準光を撮像装置に照射して入出力特性の補
正データを得るという方法は、基準光照射用の光学系を
準備しなければならず、装置が大型化し、装置のコスト
アップの要因となっていた。そこで、本発明の目的は、
単位セルを構成する各トランジスタの入出力特性の補正
テーブルを作成する場合に、光学系を使用せずに前記補
正テーブルの作成が可能な信号増幅型撮像装置を提供す
ることである。

【００１１】

【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に請求項１記載の発明は、光を電気信号に変換する光電
変換素子と、該光電変換素子の出力を増幅する増幅トラ
ンジスタと、該増幅トランジスタに接続された垂直選択
トランジスタと、前記光電変換素子に電圧を印加するこ
とにより該光電変換素子に蓄積された信号を除去するリ
セットトランジスタとを有する単位セルをマトリクス状
に配列した信号増幅型撮像装置において、前記リセット
トランジスタから前記光電変換素子に電圧を印加した状
態の時に前記増幅トランジスタから出力される信号を補
正データとして取り込む電圧取込手段と、前記補正デー
タに基づいて、撮影時に前記増幅トランジスタから出力
される画像信号の値を補正する補正手段とを備えたこと
を特徴とする。請求項１記載の発明によれば、電圧取込
手段はリセットトランジスタから光電変換素子に電圧を
印加した状態の時に増幅トランジスタから出力される信
号を補正データとして取り込む。補正手段は前記補正デ
ータに基づいて、撮影時に増幅トランジスタから出力さ
れる画像信号の値を補正する。

【００１２】また、請求項２記載の発明は、前記光電変
換素子に電圧を印加する手段は、印加電圧が可変である
ことを特徴とする。請求項２記載の発明によれば、電圧
を印加する手段は光電変換素子の信号出力端および増幅
トランジスタのゲートに印加する電圧を可変する。

【００１３】また、請求項３記載の発明は、前記補正デ
ータ演算手段が演算した各単位セル毎の補正データを格
納する補正データ格納手段を備えたことを特徴とする。
請求項３記載の発明によれば、補正データ格納手段には
補正データ演算手段が演算した各単位セル毎の補正デー
タが格納される。

【００１４】また、請求項４記載の発明は、当該信号増
幅型撮像装置の動作用電源の投入毎に、前記補正データ
格納手段に格納された補正データを更新するようにした
ことを特徴とする。請求項４記載の発明によれば、補正
データ格納手段に格納された補正データは当該信号増幅
型撮像装置の動作用電源の投入毎に更新されるので、使
用時には常に補正済みの信号（画像データ）を得ること
ができる。

【００１５】また、請求項５記載の発明は、所定時間の
経過毎に、前記補正データ格納手段に格納された補正デ
ータを更新するようにしたことを特徴とする。請求項５
記載の発明によれば、補正データ格納手段に格納された
補正データは所定時間の経過毎に更新されるので、使用
時には常に補正済みの信号（画像データ）を得ることが
できる。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下、本発明を図示の実施形態例
に基づいて説明する。なお、既に説明した部分には同一
符号を付し、重複記載を省略する。

【００１７】（１）第１実施形態例 図１は本実施形態例の撮像装置Ｓ1 のシステム構成図で
ある。図１に示すように、撮像装置Ｓ1 は、前記撮像装
置Ｓ0 （従来例、図８参照）に、撮像素子１００を構成
する各トランジスタの入出力特性のバラツキに対して補
正を施すためのデータを演算する画像処理装置１と、該
画像処理装置１により得られた補正用データを記憶する
メモリ２と、Ｘ線管装置４に高電圧を印加する高電圧発
生部５と、前記画像処理装置１，高電圧発生部５，シフ
トレジスタ１０５，Ａ／Ｄ変換器１１８を制御する制御
回路６とを追加したものである。

【００１８】ここで、以下の説明において使用する各種
記号の意味を定義する。 Ｖin；光電変換素子１０１の出力であり、図４における
信号線Ａの値である。

【００１９】Ｖout ；光電変換素子１０１の出力を増幅
トランジスタ１０２で増幅した出力であり、信号線１０
８の値である（図４参照）。 Ｖin’；Ｖout の値を補正テーブルに基づいて補正した
後の値であり、各実施形態例では前記Ｖinと等しい値と
する（図１，図５参照）。但し、変形例としてＶinとＶ
in’とを異なる値としてもよい。

【００２０】ＶGND ；光電変換素子１０１に印加される
所定のリセット電圧であり、リセット電圧線１１３の値
である（図２，図３参照）。 ＶGND1；光電変換素子１０１に印加される所定のリセッ
ト電圧であり、リセット電圧線１１３の値である（図７
参照）。

【００２１】ＶGND2；光電変換素子１０１に印加される
所定のリセット電圧であり、リセット電圧線１１３の値
である。ＶGND1より高い電圧である（ＶGND2＞ＶGND
1），（図７参照）。 Ｖd ；ＶGND の電圧が信号線Ａ（図４参照）に印加され
たときのＶout の値であり、信号線１０８の電圧である
（図２，図５参照）。

【００２２】Ｖd1；ＶGND1の電圧が信号線Ａに印加され
たときのＶout の値であり、信号線１０８の電圧である
（図５，図７参照）。 Ｖd2；ＶGND2の電圧が信号線Ａに印加されたときのＶou
t の値であり、信号線１０８の電圧である（図５，図７
参照）。

【００２３】次に本実施形態例の動作を、図１〜図５を
参照しつつ説明する。 先ず、第１番目の単位セルＣ1 （図９参照）の入出
力特性を補正する補正係数の確定およびその確定した補
正係数の補正テーブル（メモリ２）への格納について説
明する。

【００２４】図２に示すように、撮像装置Ｓ1 への入射
光を遮断した状態（Ｘ線を曝射しない状態、図１）で
（ステップＳ１）、１本目のリセット電圧線１１３（図
４）を所定のリセット電圧ＶGND （０Ｖ以外の値）に設
定する（ステップＳ２）。そして、リセットトランジス
タ１０４（図４）をオン状態にすることにより光電変換
素子１０１の出力端の電圧をリセット電圧ＶGND （図５
（Ａ））にする（ステップＳ３）。

【００２５】すると、第１番目の単位セルＣ1 （図１）
の増幅トランジスタ１０２がオンになり、該増幅トラン
ジスタ１０２の固有のしきい値に対応した電圧（固有電
圧）が該増幅トランジスタ１０２のソース、即ち、垂直
信号線１０８に現れる。このとき、マルチプレクサ１１
０（図１）が読み取った電圧値をＶd （図５（Ａ））と
する（ステップＳ４）。

【００２６】この電圧Ｖd をＡ／Ｄ変換器１１８を介し
て画像処理装置１に取り込み、該画像処理装置１が電圧
Ｖd を補正係数として補正テーブル（メモリ２）の第１
番目の単位セルＣ1 に対応したアドレス（画素に対応し
たアドレス）に格納する（ステップＳ５）。以上のステ
ップＳ１〜Ｓ５を順次単位セルＣ1 ，Ｃ2 ，Ｃ3 〜Ｃn
に繰り返し、撮像装置Ｓ1 の補正テーブルを完成させる
（ステップＳ６）。この補正テーブルをグラフ化したの
が図５（Ａ）であって、各単位セル毎に図５（Ａ）に示
すグラフ（補正テーブル）を、補正係数としてメモリ２
に格納する。

【００２７】 ところで、トランジスタの入出力特性
の変化（初期特性に対して変化した現在の特性）では、
各種の態様が考えられる。例えば、図５（Ａ）に示すよ
うに、［直線であって、入出力特性の傾きＫは等しい
が、縦軸の切片が変化する場合］がある。初期特性はＤ
I1である。

【００２８】この場合は、１個の単位セルにおいて、リ
セット電圧線１１３の或る電圧（ＶGND ）に対する信号
線１０８の出力Ｖd が分かれば、当該単位セルに対する
補正テーブル（入出力特性図）を作成することが可能で
ある。即ち、当該単位セルに対する入出力特性図（例え
ば、図５（Ａ））を描くことが可能である。

【００２９】いま、図４，図５（Ａ）に示すように、リ
セット電圧線１１３の電圧ＶGND に対する或る単位セル
の現在値を電圧Ｖd とする。このとき、この単位セルの
出力Ｖout と補正後の画像信号（入力信号）Ｖin’と傾
きＫとの間には次の関係がある。

【００３０】

【数１】 Ｖin’＝［（Ｖout −Ｖd ）／Ｋ］＋ＶGND …（１） ここで上式（１）の求め方を説明する。補正係数の測定
を前記図２に示したフローチャートに沿って行う。これ
により各画素（単位セル）毎に電圧Ｖd の値を求める。
また、ＶGND の値は電圧Ｖd を求める際の印加リセット
電圧なので既知である。更に、本実施形態例では傾きＫ
が一定の係数として予め定められている。即ち、上式
（１）におけるＶd ，ＶGND ，Ｋはいずれも判明してい
る。これらＶd ，ＶGND ，Ｋの値を（１）式に適用する
と、（１）式はＶin’とＶout を変数とする式となる。

【００３１】次にＸ線の曝射を行いＸ線像の撮影を行
う。このとき得られるＶout （信号線１０８に現れる電
圧）を（１）式に代入する。これにより、Ｖd ，ＶGND
，Ｋ，Ｖout の値は全て判明するので、補正画素値Ｖi
n’を求めることができる。即ち、図５（Ａ）に示す特
性を有する撮像素子１００を備えた撮像装置Ｓ1 の補正
テーブルが完成する。

【００３２】（２）第２実施形態例 ところで、トランジスタの入出力特性として、例えば、
図５（Ｂ）に示すように、［直線であって、傾きＫと縦
軸の切片との双方が変化する場合］がある。

【００３３】本実施形態例はかかる場合の補正テーブル
の作成である。本実施形態例と前記第１実施形態例との
ハード上の構成の相違点は、図６に示すように、第１実
施形態例にリセットトランジスタ１０４（図４参照）の
ソース電圧を任意に設定することができる可変電圧源３
を追加した点である。

【００３４】次に本実施形態例の動作を説明する。図３
（Ｂ），図６，図７に示すように、撮像装置Ｓ1 への入
射光を遮断した状態（Ｘ線を曝射しない状態）で（ステ
ップＳ１１）、１本目のリセット電圧線１１３を可変電
圧源３によりリセット電圧ＶGND1に設定する（ステップ
Ｓ１２）。そして、リセットトランジスタ１０４をオン
状態にすることにより光電変換素子１０１の出力端の電
圧をリセット電圧ＶGND1（図５（Ｂ）参照）にする（ス
テップＳ１３）。

【００３５】すると、第１番目の単位セルＣ1 の増幅ト
ランジスタ１０２がオンになり、該増幅トランジスタ１
０２の固有のしきい値に対応した電圧（固有電圧）が該
増幅トランジスタ１０２のソース、即ち、垂直信号線１
０８に現れる。このときマルチプレクサ１１０（図９参
照）が読み取った電圧値をＶd1（図５（Ｂ）参照）とす
る（ステップＳ１４）。この電圧Ｖd1をＡ／Ｄ変換器１
１８を介して画像処理装置１に取り込み、該画像処理装
置１が電圧Ｖd1を補正係数として補正テーブル（メモリ
２）の第１番目の単位セルＣ1 に対応したアドレス（画
素に対応したアドレス）に格納する（ステップＳ５）。

【００３６】以上のステップＳ１１〜Ｓ１５を順次単位
セルＣ1 ，Ｃ2 ，Ｃ3 〜Ｃn に繰り返し全画素（単位セ
ル）について終了させる（ステップＳ１６）。 ステップＳ１６；ＹＥＳでＶGND1における全画素の補正
係数のアドレス格納が終了した場合には、ステップＳ１
７に移行する。

【００３７】ステップＳ１７において、１本目のリセッ
ト電圧線１１３を可変電圧源３によりリセット電圧ＶGN
D2に設定する。そして、リセットトランジスタ１０４を
オン状態にすることにより光電変換素子１０１の出力端
の電圧をリセット電圧ＶGND2（図５（Ｂ）参照）にする
（ステップＳ１８）。すると、第１番目の単位セルＣ1
の増幅トランジスタ１０２がオンになり、該増幅トラン
ジスタ１０２の固有のしきい値に対応した電圧（固有電
圧）が該増幅トランジスタ１０２のソース、即ち、垂直
信号線１０８に現れる。このときマルチプレクサ１１０
（図９参照）が読み取った電圧値をＶd2（図５（Ｂ）参
照）とする（ステップＳ１９）。

【００３８】この電圧Ｖd2をＡ／Ｄ変換器１１８を介し
て画像処理装置１に取り込み、該画像処理装置１が電圧
Ｖd2を補正係数としてを補正テーブル（メモリ２）の第
１番目の単位セルＣ1 に対応したアドレス（画素に対応
したアドレス）に格納する（ステップＳ２０）。以上の
ステップＳ１７〜Ｓ２０を順次単位セルＣ1 ，Ｃ2 ，Ｃ
3 〜Ｃn に繰り返し全画素（単位セル）について終了さ
せる（ステップＳ２１）。この補正テーブルをグラフ化
した例が図５（Ｂ）であって、各単位セル毎に図５
（Ｂ）に示すグラフ（補正テーブル）を、補正係数とし
てメモリ２に格納する。

【００３９】本実施形態例の単位セルの出力Ｖout に対
する補正した画像信号Ｖin’は、次のようにして求めら
れる。

【数２】 Ｖin’＝［（Ｖout −Ｖd1）・（ＶGND2−ＶGND1）／（Ｖd2−Ｖd1）］＋ ＶGND1 …（２） （３）第３実施形態例 更に、例えば図５（Ｃ）に示すように、［初期特性は直
線であっても、現在の入出力特性が曲線を示す場合］が
ある。この場合、入出力特性を格納するのに必要な数の
補正テーブルを確保し、複数のポイントＰ1 ，Ｐ2 ，Ｐ
3 〜Ｐn における現在値を求め補正後の入出力曲線を計
算する。

【００４０】以上の各実施形態例によれば、しきい値電
圧の時間的変化が大きいＴＦＴを用いても、補正テーブ
ルを修正することにより、より正確な補正画像を得るこ
とが可能になる。よって、ガラス基板やプラスチック基
板上のＴＦＴを用いることにより、１辺が十数〜数十ｃ
ｍの２次元検出器の実現が可能になり、ＭＯＳセンサよ
り大型の受光部を持つ検出器を構成することも十分可能
となる。また、可視光検出器の前面にＸ線を可視光に変
換する蛍光体を設けたり、Ｘ線の直接変換素子を用いて
検出器を構成することにより、Ｘ線撮像装置としても利
用できる。この場合は、作業者への余分な被爆を避ける
ことができる。特に、必要に応じて補正テーブルを修正
することにより、より正確な画像信号を検出することが
可能になる。

【００４１】なお、前記各実施形態例では、Ｖd ，Ｖd
1，Ｖd2をテーブルに補正係数として記憶する場合を説
明したが、このＶd ，Ｖd1，Ｖd2から演算により補正係
数を求め、他の係数に置き換えて記憶する構成としても
よい。例えば、前記式（２）において、Ｖd2の代りにｋ
＝（ＶGND2−ＶGND1）／（Ｖd2−Ｖd1）］として、該ｋ
をテーブルに記憶させることにより補正時の演算を簡単
にすることができる。この場合は前記（２）は次式のよ
うになる。

【００４２】Ｖin’＝［（Ｖout −Ｖd1）・ｋ］＋Ｖ また、撮像装置を医療用Ｘ線診断装置に使用する場合に
は、光電変換素子１０１（図９参照）として、ａ−Ｓｉ
（アモルファス・シリコン）を用いたフォトダイオード
やａ−Ｓｅ（アモルファス・セレン）を用いたＸ線を電
荷に直接変換する素子を用いればよい。

【００４３】更に、補正テーブルの修正タイミングとし
ては、次の場合がある。 撮像装置の電源を入れた際に、補正テーブルの修正を
１回行う。 一定時間毎に補正テーブルの修正を行う。但し、撮像
操作を行っている場合には、修正動作は行わない。この
制御を行うために、特別に光を照射する必要がある場合
（Ｘ線撮像装置として利用する場合など）には、光（Ｘ
線）の発生信号に基づいて補正動作を停止させ、特に光
の照射が行われない場合には撮像開始の信号に基づいて
補正動作を停止する必要がある。

【００４４】使用者が、手動で撮像の実行または補正
テーブルの作成を切り替えることができるようにしても
よい。 入出力特性の時間的変化が大きく、補正データを補正
テーブルから連続読み出しを行う場合には、強制的に読
み出し動作の合間に補正データの修正を行う必要があ
る。例えば、交互に撮像と補正の動作を行ったり、読み
出し動作数回につき１回補正データの修正を行う。

【００４５】

【発明の効果】以上説明したように各請求項記載の発明
によれば、光電変換素子の信号出力端に電圧を印加して
各単位セル毎の補正係数を求め、該補正係数をメモリに
格納するようにしているので、光電変換素子に基準光を
照射しないでも、補正テーブルを作成することができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施形態例のブロック図である。

【図２】同第１実施形態例における補正テーブル作成の
フローチャートである。

【図３】本発明の各実施形態例における各種タイムチャ
ートであって、（Ａ）は補正モード１、（Ｂ）は補正モ
ード２、（Ｃ）は撮影モードである。

【図４】同第１実施形態例における単位セルの動作を説
明する図である。

【図５】本発明の各実施形態例におけるリセット電圧線
からの印加電圧に対する補正データ出力の関係を示すグ
ラフであって、（Ａ）は第１実施形態例のグラフが平行
移動する場合、（Ｂ）は第２実施形態例のグラフの傾き
が変化する場合、（Ｃ）は第３実施形態例のグラフが特
殊な変化をする場合である。

【図６】同第２実施形態例のブロック図である。

【図７】同第２実施形態例のフローチャートである。

【図８】従来の撮像装置のブロック図である。。

【図９】従来の撮像装置における撮像素子の回路図であ
る

【符号の説明】

１ 画像処理装置 ２ 補正データ用画像メモリ ３ 可変電圧源 ４ Ｘ線管装置 ５ 高電圧発生部 ６ 制御回路 １００ 撮像素子 １０１ 光電変換素子 １０２ 増幅トランジスタ １０３ 垂直選択トランジスタ １０４ リセットトランジスタ １０５ 垂直シフトレジスタ １０６ 垂直選択線 １０７ リセット線 １０８ 垂直信号線 １０９ 負荷トランジスタ １１０ マルチプレクサ １１１ 負荷トランジスタのゲート線 １１２ 負荷トランジスタのソース線 １１３ リセット電圧線 １１４ 画像信号出力端子 １２０ 表示及び記録媒体

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 光を電気信号に変換する光電変換素子
   と、該光電変換素子の出力を増幅する増幅トランジスタ
   と、該増幅トランジスタに接続された垂直選択トランジ
   スタと、前記光電変換素子に電圧を印加することにより
   該光電変換素子に蓄積された信号を除去するリセットト
   ランジスタとを有する単位セルをマトリクス状に配列し
   た信号増幅型撮像装置において、 前記リセットトランジスタから前記光電変換素子に電圧
   を印加した状態の時に前記増幅トランジスタから出力さ
   れる信号を補正データとして取り込む電圧取込手段と、 前記補正データに基づいて、撮影時に前記増幅トランジ
   スタから出力される画像信号の値を補正する補正手段と
   を備えたことを特徴とする信号増幅型撮像装置。
2. 【請求項２】 前記光電変換素子に電圧を印加する手段
   は、印加電圧が可変であることを特徴とする請求項１記
   載の信号増幅型撮像装置。
3. 【請求項３】 前記補正手段が補正した各単位セル毎の
   補正データを格納する補正データ格納手段を備えたこと
   を特徴とする請求項１または請求項２記載の信号増幅型
   撮像装置。
4. 【請求項４】 当該信号増幅型撮像装置の動作用電源の
   投入毎に、前記補正データ格納手段に格納された補正デ
   ータを更新するようにしたことを特徴とする請求項３記
   載の信号増幅型撮像装置。
5. 【請求項５】 所定時間の経過毎に、前記補正データ格
   納手段に格納された補正データを更新するようにしたこ
   とを特徴とする請求項３記載の信号増幅型撮像装置。
6. 【請求項６】 前記増幅トランジスタは、薄膜トランジ
   スタであることを特徴とする請求項１記載の信号増幅型
   撮像装置。