JPH0951013A - ワイヤクランプ機構及びこれを具備したワイヤボンディング装置 - Google Patents

ワイヤクランプ機構及びこれを具備したワイヤボンディング装置

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 ワイヤクランプ機構及びワイヤボンディング
装置において、例えば、ワイヤ把持動作時の衝撃力を緩
和すること及びその他。 【解決手段】 一対のクランプ部材３１、３２のうちい
ずれか一方の揺動速度を他方よりも遅くし、以て、ワイ
ヤを把持する際の衝突エネルギーを小として衝撃を緩和
する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体デバイスの
組立工程において、例えばＩＣチップ上のパッドを第１
ボンディング点とし、該ＩＣチップが貼着されているリ
ードフレームに形成された外部リードを第２ボンディン
グ点として、該両ボンディング点間を導電性を有するワ
イヤを用いて接続するワイヤボンディング装置に関す
る。詳しくは、該ワイヤボンディング装置が具備する各
種の機構のうち、ワイヤのカットを行なうワイヤクラン
プ機構に関する。また、本発明は、ワイヤボンディング
装置に装備されるべきワイヤクランプ機構に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のワイヤクランプ機構の一例を図１
０に示す。なお、図１０に示すワイヤクランプ機構につ
いては特開平５−２５９２１３号公報に開示されてい
る。
【０００３】図１０に示すワイヤクランプ機構は次のよ
うに構成されている。
【０００４】このワイヤクランプ機構は、ワイヤ２０１
を把持する把持部２１２ａ、２１３ａが各々の先端部に
設けられた一対のクランプ部材２１２及び２１３につい
て、双方共に揺動自在となされている。詳しくは、該両
クランプ部材２１２及び２１３は、ベース２１５上に固
着された取付板２１６とくびれ部２１２ｂ、２１３ｂを
夫々介して一体に成形され、該各くびれ部２１２ｂ、２
１３ｂの可撓性を利用して揺動する。
【０００５】上記両クランプ部材２１２及び２１３に
は、上記くびれ部２１２ｂ、２１３ｂの近傍に、他のく
びれ部２１２ｃ、２１３ｃを介して結合片２１７が一体
に形成されており、該結合片２１７と上記取付板２１６
との間に駆動手段としての圧電素子２１８が介装されて
いる。該圧電素子２１８は、コントローラ２１９によっ
て所要の電圧を印加されることによって伸縮する。
【０００６】上記構成のワイヤクランプ機構において
は、圧電素子２１８が伸縮（矢印Ｓにて示す）すること
によって両クランプ部材２１２、２１３にモーメントが
付与されてこれらが揺動（矢印Ｔで示す）し、ワイヤ２
０１の把持及びその解除が行われる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上述のワイヤクランプ
機構においては、下記の問題が懸念される。
【０００８】すなわち、伸び変位している圧電素子２１
８への給電が断たれて縮むことにより両クランプ部材２
１２及び２１３が閉じ、ワイヤ２０１が把持されるので
あるが、このとき該両クランプ部材２１２、２１３の揺
動速度が大きいと比較的大きな衝撃力が生ずる。この衝
撃力によってワイヤ２０１が損傷したり、両クランプ部
材２１２、２１３の各把持部２１２ａ、２１３ａの摩耗
が促進される恐れがある。
【０００９】また、衝撃に伴う振動、いわゆるバウンド
（ｂｏｕｎｄ）の振幅も大きく、しかも、該振幅は把持
動作毎に若干異なるから、把持動作開始から把持完了ま
での時間、すなわちバウンド消滅までに要する時間に誤
差が生じてワイヤのフィード量（本発明実施例の説明用
として添付した図４ので記号ｆにて示す量）がバラつ
く可能性がある。
【００１０】本発明は上記した点に鑑みてなされたもの
であって、その第１の目的とするところはワイヤ把持動
作時の衝撃力を緩和したワイヤクランプ機構及びワイヤ
ボンディング装置を提供することである。
【００１１】また、本発明は、ワイヤ把持動作等に有用
な他の効果を奏し得るワイヤクランプ機構及びワイヤボ
ンディング装置を提供することを第２の目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】上記第１の目的達成のた
めに、本発明によるワイヤクランプ機構は、双方共に揺
動自在にしてワイヤを把持するための一対のクランプ部
材と、該クランプ部材を作動させる駆動手段とを備え、
該駆動手段は該クランプ部材に対して駆動力を付与する
変位手段からなり、該クランプ部材各々の作動ストロー
クが異なるようになされている。また、同目的達成のた
め、本発明によるワイヤボンディング装置は、ボンディ
ングツールを用いてワイヤを被ボンディング部品に接続
し、ワイヤクランプ機構によって該ワイヤを把持するこ
とにより該ワイヤをカットし、前記ワイヤクランプ機構
は、双方共に揺動自在にしてワイヤを把持するための一
対のクランプ部材と、該クランプ部材を作動させる駆動
手段とを備え、該駆動手段は該クランプ部材に対して駆
動力を付与する変位手段からなり、該クランプ部材各々
の作動ストロークが異なるようになされている。また、
上記第２の目的の一つを達成するため、本発明によるワ
イヤクランプ機構は、双方共に揺動自在にしてワイヤを
把持するための一対のクランプ部材と、該クランプ部材
を作動させる駆動手段とを備え、該駆動手段は該クラン
プ部材に対して駆動力を付与する変位手段からなり、該
変位手段は位置制御手段により駆動制御されて前記クラ
ンプ部材の開閉プロファイルを制御するように構成され
ている。また、同目的達成のため、本発明によるワイヤ
ボンディング装置は、ボンディングツールを用いてワイ
ヤを被ボンディング部品に接続し、ワイヤクランプ機構
によって該ワイヤを把持することにより該ワイヤをカッ
トし、前記ワイヤクランプ機構は、双方共に揺動自在に
してワイヤを把持するための一対のクランプ部材と、該
クランプ部材を作動させる駆動手段とを備え、該駆動手
段は該クランプ部材に対して駆動力を付与する変位手段
からなり、該変位手段は位置制御手段により駆動制御さ
れて前記クランプ部材の開閉プロファイルを制御するよ
うに構成されている。更に、上記第２の目的の他を達成
するため、本発明によるワイヤクランプ機構は、双方共
に揺動自在にしてワイヤを把持するための一対のクラン
プ部材と、該クランプ部材を作動させる駆動手段とを備
え、該駆動手段は該クランプ部材に対して駆動力を付与
する変位手段からなり、該変位手段の変位量及び変位力
を増減して伝える増減手段を有するように構成されてい
る。また、同目的達成のため、本発明によるワイヤボン
ディング装置は、ボンディングツールを用いてワイヤを
被ボンディング部品に接続し、ワイヤクランプ機構によ
って該ワイヤを把持することにより該ワイヤをカット
し、前記ワイヤクランプ機構は、双方共に揺動自在にし
てワイヤを把持するための一対のクランプ部材と、該ク
ランプ部材を作動させる駆動手段とを備え、該駆動手段
は該クランプ部材に対して駆動力を付与する変位手段か
らなり、該変位手段の変位量及び変位力を増減して伝え
る増減手段を有するように構成されている。
【００１３】
【発明の実施の形態】本発明は、ボンディングツールを
用いてワイヤを被ボンディング部品に接続し、該ボンデ
ィングツールを該被ボンディング部品から離間させる際
にワイヤクランプ機構によって該ワイヤを把持すること
により該ワイヤを切断するワイヤボンディング装置にお
いて実施される。詳しくは、該ワイヤクランプ機構につ
いて、そのワイヤ把持動作時における衝撃の緩和、ま
た、把持・解除動作の高精度化及び高効率化、更には、
把持力設定の自由度の増大を図るべく実施される。
【００１４】
【実施例】次に、本発明の実施例を、添付図面を参照し
つつ説明する。
【００１５】図１及び図２は、本発明の第１実施例とし
てのワイヤボンディング装置（ワイヤクランプ機構を含
む）を示すものである。
【００１６】図１は、当該ワイヤボンディング装置の要
部を示し、図２は、図１に関するＡ−Ａ矢視図である。
【００１７】図１において、ホーン１を支持して該ホー
ン１と共にボンディングアームを構成する保持枠２は、
回転可能な支持シャフト１１に嵌着されている。また、
該支持シャフト１１には揺動アーム１２が揺動自在に嵌
合されている。この支持シャフト１１は、図示せぬＸＹ
テーブル等に搭載されている。なお、保持枠２内には、
ホーン１を励振するための超音波振動子（図示せず）が
組み込まれている。
【００１８】揺動アーム１２及び保持枠２には夫々、ソ
ノレイド１４ａ及び電磁吸着片１４ｂが互いに対応する
ように固設されており、保持枠２を揺動させる際には、
ソノレイド１４ａに対して図示せぬ電源から通電して電
磁吸着片１４ｂとの間に吸着力を生ぜしめることによっ
て該保持枠２と揺動アーム１２とを相互に固定状態とす
る。但し、互いに所定距離以下に近接しないように、揺
動アーム１２にねじ等で固定された調整可能なストッパ
１３が設けられている。
【００１９】揺動アーム１２及び保持枠２には、上記ソ
ノレイド１４ａ及び電磁吸着片１４ｂからなる電磁吸着
手段の前方位置に、マグネット１５ａ及びコイル１５ｂ
が各々取り付けられている。これらマグネット１５ａ及
びコイル１５ｂは、ボンディング時にホーン１の先端、
すなわちボンディングツールとしてのキャピラリ４を保
持する部位を図１における下向きに付勢するための吸着
力を発生する手段を構成する。
【００２０】揺動アーム１２の先端には、ワイヤクラン
プ機構５が設けられている。このワイヤクランプ機構５
については後に詳述する。
【００２１】上記キャピラリ４の近傍に位置するように
電気トーチ６が配設されており、この電気トーチ６は所
定の電圧を印加してワイヤ９の先端にボールを形成する
作用をなす。また、上記ワイヤクランプ機構５の上方に
は、長尺のワイヤ９が巻回されたスプール７と、該スプ
ール７から引き出される該ワイヤ９を案内するガイド８
と、テンションクランプ機構３とが配設されている。該
テンションクランプ機構３はガイド８と共に図示せぬフ
レームに取り付けられており、スプール７から送給され
るワイヤ９に所定の張力をかけて該ワイヤ９を常にキャ
ピラリ４の先端まで真直ぐな状態になるように保持する
ものである。
【００２２】図２にも示すように、揺動アーム１２の後
端部には支軸１６ａが植設されており、アーム側カムフ
ォロア１６と揺動ベース１９ａとがこの支軸１６ａの周
りに回転自在となっている。揺動ベース１９ａにはベア
リングガイド１９ｂがその下端にて固着され、このベア
リングガイド１９ｂの上端部には予圧アーム１９ｄが支
持ピン１９ｅを介して回転自在に取り付けられている。
予圧アーム１９ｄの自由端部には支軸１７ａが設けられ
ており、該支軸１７ａにカムフォロア１７が回転自在に
取り付けられている。そして、この予圧アーム１９ｄの
先端と揺動ベース１９ａの先端とには引張ばねである予
圧ばね１９ｆが掛け渡されており、アーム側カムフォロ
ア１６及びカムフォロア１７は、略ハート型に形成され
たカム１８の外周面であるカム面に圧接されている。な
お、アーム側カムフォロア１６及びカムフォロア１７の
カム１８に対する２つの接点は、カム１８の回転中心を
挟んで位置している。
【００２３】上記揺動ベース１９ａと、ベアリングガイ
ド１９ｂと、予圧アーム１９ｄとによりフレーム構造が
形成されており、これを揺動フレーム１９と総称する。
揺動フレーム１９の構成部材としてのベアリングガイド
１９ｂは、カム１８が嵌着されたカム軸２２に取り付け
られたラジアルベアリング２１の外輪に接している。な
お、カム１８は、モータ２３よりカム軸２２に付与され
るトルクによって正逆回転する。ホーン１及び保持枠２
からなるボンディングアームは、このカム１８の正逆回
転によって揺動アーム１２と一体的に揺動し、これによ
りキャピラリ４が被ボンディング部品としてのボンディ
ング対象（後述）に対して近接及び離間する。
【００２４】ここで、上記ワイヤクランプ機構５の構成
について、図３に基づいて詳述する。
【００２５】図３に示すように、当該ワイヤクランプ機
構５は、ワイヤ９を把持する把持部３１ａ、３２ａが各
々の先端部に設けられた一対のクランプ部材３１及び３
２を有している。これらクランプ部材３１、３２は双方
共に揺動自在となされている。当該ワイヤクランプ機構
５はベース３５を備えており、一対の取付板３６及び３
７が該ベース３５の一端側とくびれ部３６ａ、３７ａを
介して一体に形成され、両クランプ部材３１、３２は各
々、該取付板３６、３７に対してねじ３９により締結さ
れている。すなわち、両クランプ部材３６及び３７は、
該両くびれ部３６ａ、３７ａの可撓性を利用して、各取
付板３６、３７と一体に揺動（図３において矢印Ｆ1 、
Ｆ2 にて示している）する。
【００２６】なお、上記ベース３５については、合成樹
脂製の取付ブロック４１にねじ４２により締結され、該
取付ブロック４１は自体に形成されたねじ挿通孔４１ａ
に挿通されるねじ（図示せず）によって前述の揺動アー
ム１２に対して締結される。
【００２７】上記ベース３５及び両取付板３６、３７に
は、更に他のくびれ部３５ｃ、３６ｃ及び３７ｃが形成
されている。そして、これらのくびれ部３５ｃ、３６
ｃ、３７ｃ間に、変位手段、すなわち駆動手段としての
圧電素子５０が２本、直列に介装されている。但し、取
付板３６、３７に形成された二つのくびれ部３６ｃ及び
３７ｃに関しては、該圧電素子５０に直接結合されては
おらず、該両くびれ部３６ｃ、３７ｃに一体に連続する
一つのくびれ部５２が該圧電素子５０に結合されてい
る。
【００２８】上記の圧電素子５０は、これに電圧を印加
するとその電圧に比例して伸縮を行い、両クランプ部材
３１、３２に対して駆動力を付与する。該両圧電素子５
０に対する給電は、端子５４を通じてなされる。
【００２９】上記両クランプ部材３１、３２は、上記圧
電素子５０に電圧が印加されていない状態、すなわち伸
びも縮みも生じていない状態において、図３で実線にて
示す閉位置に位置するように設定される。
【００３０】なお、図３において、参照符号５６は、所
定の粘弾性を有するシリコンであり、該シリコン５６は
圧電素子５０を挿通すべくベース３５に形成された開口
部３５ｅ内に充填され、前述した両取付板３６、３７に
達している。このシリコン５６は、その弾性によって両
クランプ部材３１及び３２を閉方向に向けて付勢すると
共に、当該ワイヤクランプ機構５の作動時に発生する振
動を制する作用をなす。
【００３１】上記した構成のワイヤクランプ機構５にお
いては、電圧の印加による圧電素子５０の作動、具体的
には伸び変位によって両クランプ部材３１、３２が開方
向に揺動（図３において二点鎖線で示している）せしめ
られる。そして、圧電素子５０への給電が断たれると該
圧電素子５０は元の長さに戻り、両クランプ部材３１、
３２も該圧電素子５０によって引かれ、且つシリコン５
６の弾発力によって閉位置へと揺動させられ、ワイヤ９
を把持する。
【００３２】ここで、当該ワイヤクランプ機構５では、
図３から明らかなように、両クランプ部材３１及び３２
に対する圧電素子５０による振動力付与点が、該各クラ
ンプ部材３１、３２の揺動支点であるくびれ部３６ａ、
３７ａと各把持部３１ａ、３２ａとの間に設定されてい
る。
【００３３】詳しくは、図示のように、両クランプ部材
３１、３２に対する圧電素子５０の駆動力付与点である
くびれ部３６ｃ、３７ｃは、該各クランプ部材３１、３
２の把持部３１ａ、３２ａと揺動支点であるくびれ部３
６ａ、３７ａとを夫々結ぶ仮想直線５８、５９に対して
交差する方向において、該各くびれ部３６ａ、３７ａか
ら距離ｎ1 、ｎ2 の位置に設定されている。これは、該
揺動支点（くびれ部３６ａ、３７ａ）を中心として該各
距離ｎ1 、ｎ2 を半径とする仮想円６１、６２を描くこ
とによって明らかなように、該各クランプ部材３１、３
２を梃子として該揺動支点周りのモーメントを考えれ
ば、圧電素子５０の駆動力は上記仮想直線５８、５９上
で該揺動支点から該距離ｎ1 、ｎ2 の位置に加えられる
ことと等価となる。
【００３４】上記構成では、両クランプ部材３１、３２
を梃子として置き換えてみた場合、該両クランプ部材３
１、３２の各把持部３１ａ、３２ａが作用点、揺動支点
であるくびれ部３６ａ、３７ａが支点、駆動力付与点と
してのくびれ部３６ｃ、３７ｃが力点となる。この構成
において、該各作用点の、支点からの距離を夫々Ｎ1、
Ｎ2 とすれば、変位手段としての圧電素子５０の変位量
及び変位力について、梃子としてその増減をなす両クラ
ンプ部材３１、３２による増減比は、夫々、Ｎ1 ／
ｎ1 、Ｎ2 ／ｎ2 となる。但し、ここで言うところの増
減の意味は下記の通りである。
【００３５】すなわち、上記Ｎ1 ／ｎ1 、Ｎ2 ／ｎ2 は
各々、梃子の倍加比であり、圧電素子５０の変位量をこ
の倍加比を以て増大させようとすれば、変位力について
は逆にその逆数比を以て減少することを示すものであ
る。
【００３６】上記構成において、当該ワイヤクランプ機
構５では、両クランプ部材３１及び３２の梃子としての
倍加比Ｎ1 ／ｎ1 、Ｎ2 ／ｎ2 が互いに異なるように設
定されている。具体的には、支点と作用点との距離Ｎ1
及びＮ2 は等しく設定され、支点から力点までの距離ｎ
1 及びｎ2 が異なる。
【００３７】上記構成により、両クランプ部材３１及び
３２各々の作動ストローク、詳しくは該両クランプ部材
の各把持部３１ａ、３２ａの移動ストロークが異なる。
【００３８】この構成は、すなわち、いずれか一方のク
ランプ部材、この場合クランプ部材３１の作動ストロー
クを他方のクランプ部材３２の作動ストロークよりも小
さく設定することである。かかる構成によれば、このス
トロークの小さなクランプ部材３１の揺動速度は遅くな
り、その結果、両クランプ部材３１、３２がワイヤ９を
把持する際の衝突エネルギーはその分小さくなって衝撃
力は緩和される。よって、ワイヤ９の損傷が防止され、
また、両クランプ部材３１、３２の把持部３１ａ、３２
ａは摩耗し難くなって寿命が長くなる。
【００３９】また、衝撃が緩和されることによって、振
動、すなわちバウンド（ｂｏｕｎｄ）が発生してもその
振幅は極く小さくなり、直ちに消滅し、把持動作毎のフ
ィード量（後述：図４のにおいて記号ｆで示す）はバ
ウンドの影響を受けることがなく、バラつかず常に一定
となる。
【００４０】なお、両クランプ部材３１及び３２の作動
ストロークを異ならしめるには、上記構成によらずとも
可能である。すなわち、例えば、両クランプ部材３１、
３２を夫々異なる専用の圧電素子によって作動させるよ
うになし、これら圧電素子の変位量を異ならしめること
が考えられる。
【００４１】しかしながら、この構成では、必要な圧電
素子の数が多くなり、コスト面等から好ましくない。前
述のように、両クランプ部材３１及び３２の梃子として
の倍加比を異ならしめる構成によれば圧電素子の数は少
なくて済み、経済的である。
【００４２】ところで、当該ワイヤクランプ機構５にお
いては、図３から明らかなように、両クランプ部材３
１、３２の梃子としての支点が、力点を挟んで作用点と
は反対側に位置している。このような梃子においては、
支点から作用点までの距離Ｎ1、Ｎ2 が梃子としての全
長となり、支点から力点までの距離ｎ1 、ｎ2 との比、
すなわち倍加比Ｎ1 ／ｎ1 、Ｎ2 ／ｎ2 を得るにはこの
長さＮ1 、Ｎ2 で足りる。それ故に、この長さの方向に
おいてワイヤクランプ機構全体の寸法が小さく抑えられ
てワイヤボンディング装置のコンパクト化を図る上で有
効である。
【００４３】また、このワイヤクランプ機構５において
は、上記両クランプ部材３１、３２に関し、これらを担
持する取付板３６、３７に対して着脱可能とされてい
る。具体的には、これらクランプ部材３１、３２は、ね
じ３９によって該取付板３６、３７に締結されている。
これらのねじ３９を外すことによって両クランプ部材３
１、３２の交換を行うことができる。故に、該両クラン
プ部材３１、３２の把持部３１ａ、３２ａが摩耗等を生
じた場合に、ワイヤクランプ機構５全体を交換する必要
はなく、クランプ部材３１及び３２のみ交換すればよい
ので、経済的である。
【００４４】なお、本実施例においては、圧電素子５０
を変位手段として採用しているが、他の種々の変位手段
を用いてもよいことは勿論である。
【００４５】また、本実施例においては、圧電素子５０
の伸び変位によってクランプ部材３１、３２を揺動させ
ているが、この揺動を圧電素子５０の縮み変位によって
行うことも可能である。
【００４６】次に、上記した構成のワイヤボンディング
装置の動作について簡単に説明する。
【００４７】図１に示すように、当該ワイヤボンディン
グ装置においては、複数のＩＣチップ７１が長手方向
（図における紙面に垂直な方向）に並べて粘着されたリ
ードフレームＬ＼Ｆが扱われる。ボンディング作業開始
に際し、ヒーターブロック（図示せず）によって加熱さ
れているボンディングステージ７２上に該リードフレー
ムＬ＼Ｆが開示しない搬送手段によって搬入され、且
つ、最先のＩＣチップ７１がボンディング作業位置に位
置決めされる。この状態で、図１に示すボンディング手
段７６が作動し、ＩＣチップ７１上のパッド（図示せ
ず）を第１ボンディング点とし、該ＩＣチップ７１が粘
着されているリードフレームＬ＼Ｆに形成された外部リ
ード（後述）を第２ボンディング点として、該両ボンデ
ィング点間を金等を素材とするワイヤ９により接続す
る。なお、図示してはいないが、当該ボンディング手段
７６はＸＹテーブル上に搭載されており、適宜二次元的
に移動され、位置決めされる。
【００４８】このボンディング工程を図４を用いて説明
する。
【００４９】まず、上記ＩＣチップ７１上のパッド（電
極：図示せず）にワイヤボンディングしようとする時、
まず、先端にボール９ａが形成されたワイヤ９が挿通さ
れたキャピラリ４を、図示せぬ撮像装置等からの情報に
基づいて上記ＸＹテーブル（図示せず）の作動により該
パッドの直上に位置決めする。その後、ホーン１及び保
持枠２からなるボンディングアームをカム１８の作動を
以て下方に揺動させ、キャピラリ４を図４の乃至に
示すように下降させて上記パッドにボール９ａを押しつ
ぶして熱圧着ボンディングを行う。この時、前述の超音
波励振手段を以てキャピラリ４を励振させることを行
う。
【００５０】なお、この工程で→は上記ボンディン
グアームを高速で下降移動させ、→では低速で移動
させる。図において参照符号３１ａ、３２ａは前述の両
クランプ部材３１、３２が具備する把持部を示すもので
あるが、この時該各把持部３１ａ、３２ａは開となって
いる。次に、この第１ボンディング点への接続が終わる
と、→では該把持部３１ａ、３２ａが開状態のまま
上記ボンディングアームが図４に示す上方向、即ちＺ軸
方向に上昇し、所定のループコントロールにしたがって
に示すように把持部３１ａ、３２ａが開の状態でワイ
ヤ９が引き出され、に示す第２ボンディング点となる
リード７７に接続される。
【００５１】この接続後、キャピラリ４の先端部にワイ
ヤ９をに示すように所定のフィード量ｆだけ引き出し
た状態で把持部３１ａ、３２ａを閉じる。この状態で更
にボンディングアームを所定の高さまで上昇させる過程
でに示すようにワイヤ９がカットされて、再びワイヤ
先端部に電気トーチ６（図１参照）を用いてボール９ａ
を形成し、把持部３１ａ、３２ａを開状態にさせての
状態に復帰する。このような一連の工程によりワイヤボ
ンディングがなされる。
【００５２】以降、ＩＣチップ７１に複数設けられたパ
ッドとこれらに対応して配設された各リードについて上
記一連の動作が繰り返され、この最先のＩＣチップに関
するボンディングを完了する。
【００５３】この後、リードフレームＬ＼Ｆ（図１参
照）がＩＣチップ７１の配設ピッチの１ピッチ分だけ移
送されて次のＩＣチップについてのボンディング作業が
行われ、順次同様に続行され、全てのＩＣチップのボン
ディング接続を終了する。
【００５４】図５は、本発明の第２実施例としてのワイ
ヤクランプ機構８１を示すものである。このワイヤクラ
ンプ機構８１は、図３に示したワイヤクランプ機構５に
代えて、図１に示すワイヤボンディング装置に装備する
ことができるものである。
【００５５】続いて、このワイヤクランプ機構８１につ
いて説明する。但し、該ワイヤクランプ機構８１は、以
下に説明する部分以外は図３に示したワイヤクランプ機
構５と同様に構成されており、機構全体としての構成及
び動作の説明は重複する故に省略し、要部のみの説明に
留める。
【００５６】また、以下の説明並びに図面において、上
記ワイヤクランプ機構５の構成部分と同一又は対応する
構成部分については同じ参照符号を付して示している。
【００５７】図５から明らかなように、当該ワイヤクラ
ンプ機構８１においては、両クランプ部材３１及び３２
の梃子としての倍加比は共にＮ3 ／ｎ3 となされてお
り、該両クランプ部材３１、３２の作動ストロークは等
しい。
【００５８】次に、当該ワイヤクランプ機構８１が備え
る変位手段としての圧電素子５０を用いてクランプ部材
３１、３２の開閉プロファイル、すなわち位置、速度及
び力の制御を行なうための位置制御手段について説明す
る。
【００５９】図６に示すように、入力端子ＴＰ1 には、
ファンクションジェネレータ等で構成される入力信号発
生手段（図示せず）から図７に示す方形波などの入力信
号が入力される。しかし、この入力波形は、図７（ａ）
乃至（ｆ）に示すように必要な開閉プロファイルに応じ
て方形波（図７（ａ），（ｄ））に限らず、正弦波（図
７（ｃ），（ｆ））や三角波（図７（ｂ），（ｅ））そ
の他任意の波形でよいことは勿論である。したがって、
駆動信号としては種々の波形を用いることが可能である
が、圧電素子の性質上、加える電圧は正極性又は負極性
が用いられる。この入力端子ＴＰ1 は、抵抗Ｒ1 を介し
て増幅手段としての演算増幅器８５の非反転入力端子
（＋）に接続される。また、反転入力端子（−）は接地
されている。この演算増幅器８５の出力端は、ダイオー
ドＤ1 を介して電源＋Ｖ1 に接続され、ダイオードＤ1
のカソードにはコンデンサＣ1 が接続されて接地されて
いる。
【００６０】また、演算増幅器８５の反転入力端子側に
は電源−Ｖ3 が供給され、該電源−Ｖ3 間にはコンデン
サＣ4 が接続されて接地され、このコンデンサＣ4 の他
端はダイオードＤ2 を介して演算増幅器８５の出力端と
接続されている。この演算増幅器８５の出力は、またコ
ンデンサＣ2 を介して非反転入力端子（＋）と接続され
ている。このコンデンサＣ2 は発振を抑えるためのもの
である。
【００６１】入力端子ＴＰ1 、抵抗Ｒ1 と演算増幅器８
５の非反転入力端子間と抵抗Ｒ9 、出力端子ＴＰ2 間に
は第１の経路、すなわち抵抗Ｒ2 と該抵抗Ｒ2 の両端に
並列にコンデンサＣ3 が接続されている。
【００６２】次に、第２の経路となる演算増幅器８５の
出力端は、２つのトランジスタＴｒ1 、Ｔｒ2 のベース
に接続されている。
【００６３】このトランジスタＴｒ1 は、ＮＰＮトラン
ジスタであり、このトランジスタＴｒ1 のコレクタは抵
抗Ｒ3 を介してＰＮＰトランジスタＴｒ3 のエミッタ、
トランジスタＴｒ3 のコレクタ及びＰＮＰトランジスタ
Ｔｒ4 のベースに接続されている。トランジスタＴｒ3
のエミッタには電源＋Ｖ2 が供給され、該＋Ｖ2 間には
抵抗Ｒ8 を介してトランジスタＴｒ3 のベース及びＰＮ
ＰトランジスタＴｒ4のエミッタに接続されている。
【００６４】このトランジスタＴｒ4 のエミッタとコレ
クタ間にはコンデンサＣ5 が接続されている。このトラ
ンジスタＴｒ4 のコレクタは、抵抗Ｒ9 を介して出力端
子ＴＰ2 及び後述するＮＰＮトランジスタＴｒ6 のコレ
クタと接続されている。
【００６５】一方、トランジスタＴｒ2 は、ＰＮＰトラ
ンジスタであり、該トランジスタＴｒ2 のエミッタと前
記トランジスタＴｒ1 のエミッタ間には分割抵抗Ｒ4 、
Ｒ5が接続され、該抵抗Ｒ4 とＲ5 の中点は接地されて
いる。トランジスタＴｒ2 のコレクタは、ＮＰＮトラン
ジスタＴｒ5 のコレクタ及び抵抗Ｒ6 を介してエミッタ
と接続され、このトランジスタＴｒ5 のエミッタには電
源−Ｖ4 が供給接続されている。また、この電極−Ｖ4
は、抵抗Ｒ7 を介してトランジスタＴｒ5 のベース及び
トランジスタＴｒ6 のエミッタと接続されている。この
トランジスタＴｒ6 のエミッタとコレクタ間にはコンデ
ンサＣ4 が接続されている。
【００６６】以上のような構成により位置制御手段が構
成されている。
【００６７】次に、この位置制御手段の作用について以
下に説明する。
【００６８】図６に示す位置制御手段は、全体がいわゆ
る増幅回路となっていて、入力端子ＴＰ1 に方形波など
の入力信号が印加されると、例えば抵抗Ｒ1 を３ＫΩ、
抵抗Ｒ2 を３００ＫΩとして設定しておくと、入力信号
として約１Ｖを加えると、出力端子ＴＰ2 には約１００
倍の出力電圧が発生するように構成されている。要する
に、トランジスタＴＰ1 に印加する電圧を高くすればＴ
Ｐ2 にあらわれる応答特性も早くなり、電圧を低くすれ
ば逆に遅くなるから、これを制御することによって図３
に示すクランプ部材３１及び３２の開き量、開閉プロフ
ァイルを制御することができる。
【００６９】しかしながら、上記のように抵抗Ｒ1 、Ｒ
2 の作用のみでは実際には増幅することができないの
で、演算増幅器８５には＋Ｖ1 、−Ｖ3 の電源、例えば
約±１５Ｖが供給されるように構成されており、また電
圧制御手段としてのＴｒ1 乃至Ｔｒ6 のトランジスタ側
には＋Ｖ2 、−Ｖ4 に例えば約±１６０Ｖの電源が供給
されている。
【００７０】そこで、図７（ａ）に示すような０Ｖでク
ランプ部材３１、３２が閉、正極性の電圧が加えられて
開となるような方形波が入力端子ＴＰ1 に印加される
と、演算増幅器８５の出力端には増幅された出力がトラ
ンジスタＴｒ1 に印加される。演算増幅器８５の出力波
形が正のときはトランジスタＴｒ1 がオンする。このト
ランジスタＴｒ1 がオンすると、トランジスタＴｒ3 及
びＴｒ4 もオンして図６に示す矢印Ａ1 、Ａ2 方向に電
流が流れる。
【００７１】上記のように電圧制御手段としてのトラン
ジスタＴｒ1 、Ｔｒ3 、Ｔｒ4 が作動することによって
出力端子ＴＰ2 には入力信号が例えば１Ｖのときは約１
００Ｖの出力が出力されることとなる。このような位置
制御手段を用いることによって入力信号を制御すればク
ランプ部材の開閉プロファイルを容易に制御することが
できる。
【００７２】また、図７（ｄ）乃至（ｆ）に示すような
負極性の波形が用いられる場合、すなわちトランジスタ
Ｔｒ2 は、演算増幅器８５の出力波形が負となると、オ
ンする。このトランジスタＴｒ2 がオンすると、トラン
ジスタＴｒ5 及びＴｒ6 がオンとなって矢印Ａ3 、Ａ4
のように電流が流れる。
【００７３】そして、上記と同様に電圧制御手段として
のトランジスタＴｒ2 、Ｔｒ5 、Ｔｒ6 が作動すること
によって出力端子ＴＰ2 には入力信号が例えば−１Ｖの
ときは約−１００Ｖの出力が出力されることとなる。こ
のような位置制御手段を用いることによって入力信号を
制御すればクランプ部材の開閉プロファイルを容易に制
御することができる。
【００７４】このようにクランプ部材の開閉プロファイ
ルを制御することによってクランプ部材の開閉位置、速
度及び力を制御することができる。すなわち図７（ａ）
乃至（ｃ）に示すような任意の波形を用いて電圧を上げ
ることによって位置、速度を変えることができるが、逆
にワイヤをクランプする時に電圧を下げることによって
力を制御することができる。つまり、例えば図７（ａ）
に示すような波形で示すように閉の状態から開のときに
は急峻なスピードでクランプ部材を開き、逆に閉じる時
には例えば図７（ｆ）に示すような波形（この場合は正
極性で用いる）を用いて滑らかな閉じ方をするなどして
振動等を抑え、更にワイヤに接触した時点で更に電圧を
下げることによってクランプ力を制御することができ
る。要するに、本発明に係る開閉プロファイルを制御す
る入力信号としては図７（ａ）乃至（ｆ）に示すような
任意の波形を用い、またそれらの波形を組み合わせて最
適な入力波形を用いることができる。
【００７５】上記したように、当該ワイヤクランプ機構
８１においては、変位手段としての圧電素子５０が位置
制御手段によって駆動制御され、クランプ部材３１、３
２の開閉プロファイル、すなわち位置、速度及び力の制
御がなされる。従って、ワイヤ９の把持及びその解除は
極めて高精度且つ効率的に行われ、ワイヤボンディング
作業の高能率化が達成される。
【００７６】なお、上記した位置制御手段による開閉プ
ロファイルの制御は、図３に示したワイヤクランプ機構
５や、後述する第３実施例としてのワイヤクランプ機構
にも適用可能である。
【００７７】図８は本発明の第３実施例としてのワイヤ
クランプ機構９１を示すものであり、続いてこのワイヤ
クランプ機構９１について説明する。このワイヤクラン
プ機構９１も、図３に示したワイヤクランプ機構５に代
えて、図１に示すワイヤボンディング装置に装備するこ
とができるものである。
【００７８】図示のように、当該ワイヤクランプ機構９
１も、ワイヤ９を把持する把持部１３１ａ、１３２ａが
各々の先端部に設けられた一対のクランプ部材１３１及
び１３２を有している。これらクランプ部材１３１、１
３２は双方共に揺動自在となされている。当該ワイヤク
ランプ機構９１はベース１３５を備えており、一対の取
付板１３６及び１３７が該ベース１３５の一端側とくび
れ部１３６ａ、１３７ａを介して一体に形成され、両ク
ランプ部材１３１、１３２は各々、該取付板１３６、１
３７に対してねじ１３９により締結されている。すなわ
ち、両クランプ部材１３６及び１３７は、該両くびれ部
１３６ａ、１３７ａの可撓性を利用して、各取付板１３
６、１３７と一体に揺動（図８において矢印Ｆ5 にて示
している）する。
【００７９】なお、図から明らかなように、上記各ねじ
１３９が挿通されるべく両クランプ部材１３１及び１３
２に形成されたねじ挿通孔１３１ｂ、１３２ｂは長孔で
あり、該各ねじ挿通孔は夫々同じ向きに伸長している。
従って、各ねじ１３９を緩めることによって両クランプ
部材１３１、１３２の位置を相互近接離間方向において
調節することができる。
【００８０】上記ベース１３５を左右から挟むように一
対のアーム部材１４１及び１４２が配置されている。図
から明らかなように、これらアーム部材１４１、１４２
は略Ｃ字状に屈曲成形されており、各々その一端部近傍
にてベース１３５に対してくびれ部１４１ａ、１４２ａ
を介して一体に連結されている。すなわち、両アーム部
材１４１、１４２はこのくびれ部１４１ａ、１４２ａの
可撓性によって揺動自在である。そして、該両アーム部
材１４１、１４２の他端は、上記両クランプ部材１３
１、１３２の自由端部に結合されている。
【００８１】上記ベース１３５の中央には開口部１３５
ａが形成されており、この開口部１３５ａ内に、変位手
段、すなわち駆動手段としての圧電素子１４５が配設さ
れている。該圧電素子１４５の一端はベース１３５に形
成されたくびれ部１３５ｃに連結されている。そして、
該圧電素子１４５の他端には、上記両アーム部材１４
１、１４２の各一端に対してくびれ部１４１ｃ、１４２
ｃを介して一体に連結された結合片１４７が、くびれ部
１４７ａを介して連結されている。
【００８２】上記の圧電素子１４５は、これに電圧を印
加するとその電圧に比例して伸縮を行い、両アーム部材
１４１、１４２、従って両クランプ部材１３１、１３２
に対して駆動力を付与する。
【００８３】上記両アーム部材１４１、１４２及び両ク
ランプ部材１３１、１３２は、上記圧電素子１４５に電
圧が印加されていない状態、すなわち伸びも縮みも生じ
ていない状態において、図８で二点鎖線にて示す開位置
に位置するように設定される。
【００８４】なお、図８において、参照符号１５０は、
所定の粘弾性を有するシリコンであり、該シリコン１５
０は、圧電素子１４５を挿通すべくベース１３５に形成
された開口部１３５ａ内、並びに、ベース１３５と両ア
ーム部材１４１、１４２との間に充填され、前述した両
取付板１３６、１３７にも達している。このシリコン１
５０は、その弾性によって両アーム部材１４１、１４２
及び両クランプ部材１３１、１３２を開方向に向けて付
勢すると共に、当該ワイヤクランプ機構９１の作動時に
発生する振動を制する作用をなす。
【００８５】上記した構成のワイヤクランプ機構９１に
おいては、電圧の印加による圧電素子１４５の作動、具
体的には伸び変位によって両アーム部材１４１、１４２
及び両クランプ部材１３１、１３２が閉方向に揺動（図
８において実線で示している）せしめられ、両クランプ
部材１３１、１３２の把持部１３１ａ、１３２ａがワイ
ヤ９を把持する。そして、圧電素子１４５への給電が断
たれると該圧電素子１４５は元の長さに戻り、両アーム
部材１４１、１４２及び両クランプ部材１３１、１３２
も該圧電素子１４５によって引かれ、且つシリコン１５
０の弾発力によって開位置へと揺動させられる。
【００８６】これまでの説明から、当該ワイヤクランプ
機構９１においては、圧電素子１４５の伸び変位によっ
て両クランプ部材１３１、１３２が閉方向に揺動するよ
うになされている。かかる構成によれば、ワイヤ９が無
い状態で両クランプ部材１３１、１３２が閉方向の揺動
限界位置に達した時点における該両クランプ部材１３
１、１３２の把持部１３１ａ、１３２ａ間の隙間（後
述）の調整（当業者間においてはこの調整を面出しと称
している）について、煩雑な機械的調整を何等必要とし
ない。
【００８７】何となれば、両クランプ部材１３１、１３
２の閉方向への作動は圧電素子１４５により付与される
押圧力によってなされる故、該圧電素子１４５に加える
電圧を適宜調節すれば該両クランプ部材１３１、１３２
の閉方向揺動限界位置、従って両クランプ部材１３１、
１３２の把持部１３１ａ、１３２ａ間の隙間を高い精度
を以て設定し得るからである。
【００８８】上記構成により、クランプ力の調整は、熟
練を要すことなく、しかも短時間にて簡単且つ高精度に
行うことができ、作業能率が向上する。
【００８９】上記のようにして設定すべき両把持部１３
１ａ、１３２ａ間の隙間を、図９において記号ｅにて示
している。この隙間ｅは、ワイヤ９の線径ｄよりも所定
量α1 ＋α2 だけ小さくなるように設定される。すなわ
ち、該両把持部１３１ａ、１３２ａがワイヤ９を把持し
た状態において、両クランプ部材１３１、１３２の自由
端部が夫々α1 、α2 ずつ撓み、この撓みに基づく弾発
力がクランプ力となる訳である。
【００９０】次に、前述した圧電素子１４５の変位量及
び変位力の増減をなすべく当該ワイヤクランプ機構９１
が備える機能について説明する。この増減の作用は、両
クランプ部材１３１及び１３２、並びに両アーム部材１
４１、１４２がなす。但し、当該ワイヤクランプ機構９
１は左右対称に形成されている故、片側のクランプ部材
１３２及びアーム部材１４２についてのみ説明し、他側
に関する説明は省略する。
【００９１】まず、アーム部材１４２の増減作用につい
て説明する。
【００９２】図８において、該アーム部材１４２に対す
る圧電素子１４５による駆動力付与点は、クランプ部材
１３２に対する該アーム部材１４２の結合点１４２ｅと
該アーム部材１４２の揺動支点であるくびれ部１４２ａ
との間に設定されている。
【００９３】詳しくは、図示のように、アーム部材１４
２に対する圧電素子１４５の駆動力付与点であるくびれ
部１４２ｃは、クランプ部材１３２に対する該アーム部
材１４２の結合点１４２ｅと揺動支点であるくびれ部１
４２ａとを結ぶ仮想直線１６１に対して交差する方向に
おいて、該くびれ部１４２ａから距離ｎ4 の位置に設定
されている。これは、該揺動支点（くびれ部１４２ａ）
を中心として該距離ｎ4 を半径とする仮想円１６２を描
くことによって明らかなように、該アーム部材１４２を
梃子として該揺動支点周りのモーメントを考えれば、圧
電素子１４５の駆動力は上記仮想直線１６１上で該揺動
支点から該距離ｎ4 の位置に加えられることと等価とな
る。
【００９４】上記構成では、アーム部材１４２を梃子と
して置き換えてみた場合、クランプ部材１３２に対する
該アーム部材１４２の結合点１４２ｅが作用点、揺動支
点であるくびれ部１４２ａが支点、駆動力付与点として
のくびれ部１４２ｃが力点となる。この構成において、
該作用点の、支点からの距離をＮ4 とすれば、変位手段
としての圧電素子１４５の変位量及び変位力について、
梃子としてその増減をなす該アーム部材１４２による増
減比は、Ｎ4 ／ｎ4 となる。但し、ここで言う増減の意
味は、前述の通りである。
【００９５】上記構成によれば、圧電素子１４５の変位
量及び変位力は夫々、アーム部材１４２によって上記の
倍加比Ｎ4 ／ｎ4 を以て増減せしめられてクランプ部材
１３２に伝達される。
【００９６】続いて、クランプ部材１３２による変位量
及び変位力の増減作用に関して説明する。
【００９７】図８において、クランプ部材１３２に対す
る上記アーム部材１４２による駆動力付与点は、該クラ
ンプ部材１３２の揺動支点であるくびれ部１３７ａと把
持部１３２ａとの間に設定されている。
【００９８】詳しくは、図示のように、クランプ部材１
３２に対するアーム部材１４２の駆動力付与点である結
合点１４２ｅは、該クランプ部材１３２の把持部１３２
ａと揺動支点であるくびれ部１３７ａとを結ぶ仮想直線
１６５に対して交差する方向において、該くびれ部１３
７ａから距離ｎ5 の位置に設定されている。これは、該
揺動支点（くびれ部１３７ａ）を中心として該距離ｎ5
を半径とする仮想円１６６を描くことによって明らかな
ように、該クランプ部材１３２を梃子として該揺動支点
周りのモーメントを考えれば、アーム部材１４２の駆動
力は上記仮想直線１６５上で該揺動支点から該距離ｎ5
の位置に加えられることと等価となる。
【００９９】上記構成では、クランプ部材１３２を梃子
として置き換えてみた場合、該クランプ部材１３２の把
持部１３２ａが作用点、揺動支点であるくびれ部１３７
ａが支点、駆動力付与点としての結合点１４２ｅが力点
となる。この構成において、該作用点の、支点からの距
離をＮ5 とすれば、アーム部材１４２の自由端の変位量
及び変位力について、梃子としてその増減をなす該クラ
ンプ部材１３２による増減比は、Ｎ5 ／ｎ5 となる。
【０１００】上記構成によれば、アーム部材１４２の自
由端の変位量及び変位力は夫々、クランプ部材１３２に
よって上記の倍加比Ｎ5 ／ｎ5 を以て増減せしめられ
る。
【０１０１】これまでの説明から明らかなように、当該
ワイヤクランプ機構９１においては、変位手段たる圧電
素子１４５の変位量及び変位力を増減して各クランプ部
材１３１、１３２に伝える増減手段として作用するアー
ム部材１４１、１４２を備えている。
【０１０２】すなわち、クランプ部材１３１及び１３２
自体が梃子であり、圧電素子１４５の変位量及び変位力
の増減をなす増減手段として作用するのに加え、更なる
増減手段（アーム部材１４１、１４２）を付加している
のである。この構成によれば、ワイヤクランプ機構９１
全体としての増減比、すなわち、圧電素子１４５の変位
量及び変位力に対するクランプ部材１３１、１３２の把
持部１３１ａ、１３２ａのそれの増減比は、梃子である
クランプ部材１３１、１３２による増減比Ｎ4／ｎ4 と
新たに付加した増減手段による増減比Ｎ5 ／ｎ5 との
積、すなわちＮ4・Ｎ5 ／ｎ4 ・ｎ5 として得られる。
故に、ワイヤクランプ機構９１全体としての増減比が多
様化され、把持力設定の自由度が高まっている。
【０１０３】なお、圧電素子１４５の変位量及び変位力
を増減して各クランプ部材１３１、１３２に伝える増減
手段としては他にも種々考えられるが、単純な梃子の構
造を有するアーム部材１４１、１４２を増減手段として
採用したことによって、ワイヤクランプ機構９１全体と
しての構造が簡単となっている。
【０１０４】また、本発明は、前述した各実施例の構成
に限らず、これら各実施例が含む構成を互いに組み合わ
せたり、応用させ合うことなどにより、多岐にわたる構
成を実現できるものである。
【０１０５】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によるワイ
ヤクランプ機構及びワイヤボンディング装置において
は、ワイヤを把持するための一対のクランプ部材につい
て、その各々の作動ストロークが異なるようになされて
いる。すなわち、いずれか一方のクランプ部材の作動ス
トロークを他方よりも小さく設定することである。かか
る構成によれば、このストロークの小さなクランプ部材
の揺動速度は遅くなり、その結果、両クランプ部材がワ
イヤを把持する際の衝突エネルギーはその分小さくなっ
て衝撃力は緩和される。よって、ワイヤの損傷が防止さ
れ、また、両クランプ部材の把持部は摩耗し難くなって
寿命が長くなる。また、衝撃が緩和されることによっ
て、振動、すなわちバウンド（ｂｏｕｎｄ）か発生して
もその振幅は極く小さくなり、直ちに消滅し、把持動作
毎のフィード量はバウンドの影響を受けることがなく、
バラつかず常に一定となる。次に、本発明に係る他のワ
イヤクランプ機構及びワイヤボンディング装置において
は、変位手段（例えば圧電素子）が位置制御手段によっ
て駆動制御され、以て、クランプ部材の開閉プロファイ
ル、すなわち位置、速度及び力の制御がなされる。従っ
て、ワイヤの把持及びその解除は極めて高精度且つ効率
的に行われ、ワイヤボンディング作業の高能率化が達成
される。また、本発明に係る更に他のワイヤクランプ機
構及びワイヤボンディング装置においては、変位手段の
変位量及び変位力を増減して各クランプ部材に伝える増
減手段を備えている。すなわち、クランプ部材自体が梃
子であり、変位手段の変位量及び変位力の増減をなす増
減手段として作用するのに加え、更なる増減手段を付加
しているのである。この構成によれば、ワイヤクランプ
機構全体としての増減比、すなわち、変位手段の変位量
及び変位力に対するクランプ部材のワイヤ把持部のそれ
の増減比は、梃子であるクランプ部材による増減比と新
たに付加した増減手段による増減比との積として得られ
る。故に、ワイヤクランプ機構全体としての増減比が多
様化され、把持力設定の自由度が高まっている。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、本発明の第１実施例としてのワイヤボ
ンディング装置の要部の、一部断面を含む側面図であ
る。
【図２】図２は、図１に関するＡ−Ａ矢視図である。
【図３】図３は、図１に示したワイヤボンディング装置
が具備するワイヤクランプ機構の平面図である。
【図４】図４は、図１乃至図３に示したワイヤボンディ
ング装置の動作の工程を示す図である。
【図５】図５は、本発明の第２実施例としてのワイヤク
ランプ機構の平面図である。
【図６】図６は、本発明の実施例としての位置制御手段
の構成を示す回路図である。
【図７】図７（ａ）乃至（ｆ）は、図６に示すＴＰ1 に
印加される入力波形の一例を示す図である。
【図８】図８は、本発明の第３実施例としてのワイヤク
ランプ機構の平面図である。
【図９】図９は、図８に示したワイヤクランプ機構の一
部の拡大図である。
【図１０】図１０は、従来のワイヤクランプ機構の平面
図である。
【符号の説明】
４ キャピラリ（ボンディングツール） ５、８１、９１ ワイヤクランプ機構 ９ ワイヤ ３１、３２、１３１、１３２ クランプ部材 ３１ａ、３２ａ、１３１ａ、１３２ａ （クランプ部
材３１、３２、１３１、１３２の）把持部 ５０、１４５ 圧電素子（変位手段） ５６、１５０ シリコン ７１ ＩＣチップ ７２ ボンディングステージ ７６ ボンディング手段 ７７ リード １４１、１４２ アーム部材（増減手段）

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 双方共に揺動自在にしてワイヤを把持す
    るための一対のクランプ部材と、該クランプ部材を作動
    させる駆動手段とを備え、該駆動手段は該クランプ部材
    に対して駆動力を付与する変位手段からなり、該クラン
    プ部材各々の作動ストロークが異なるようになされてい
    ることを特徴とするワイヤクランプ機構。
  2. 【請求項２】 前記クランプ部材各々のワイヤ把持部、
    揺動支点及び駆動力付与点は梃子としての作用点、支点
    及び力点であり、夫々のクランプ部材の梃子としての倍
    加比が異なることを特徴とする請求項１記載のワイヤク
    ランプ機構。
  3. 【請求項３】 ボンディングツールを用いてワイヤを被
    ボンディング部品に接続し、ワイヤクランプ機構によっ
    て該ワイヤを把持することにより該ワイヤをカットする
    ワイヤボンディング装置において、前記ワイヤクランプ
    機構は、双方共に揺動自在にしてワイヤを把持するため
    の一対のクランプ部材と、該クランプ部材を作動させる
    駆動手段とを備え、該駆動手段は該クランプ部材に対し
    て駆動力を付与する変位手段からなり、該クランプ部材
    各々の作動ストロークが異なるようになされていること
    を特徴とするワイヤボンディング装置。
  4. 【請求項４】 双方共に揺動自在にしてワイヤを把持す
    るための一対のクランプ部材と、該クランプ部材を作動
    させる駆動手段とを備え、該駆動手段は該クランプ部材
    に対して駆動力を付与する変位手段からなり、該変位手
    段は位置制御手段により駆動制御されて前記クランプ部
    材の開閉プロファイルを制御するようにしたことを特徴
    とするワイヤクランプ機構。
  5. 【請求項５】 ボンディングツールを用いてワイヤを被
    ボンディング部品に接続し、ワイヤクランプ機構によっ
    て該ワイヤを把持することにより該ワイヤをカットする
    ワイヤボンディング装置において、前記ワイヤクランプ
    機構は、双方共に揺動自在にしてワイヤを把持するため
    の一対のクランプ部材と、該クランプ部材を作動させる
    駆動手段とを備え、該駆動手段は該クランプ部材に対し
    て駆動力を付与する変位手段からなり、該変位手段は位
    置制御手段により駆動制御されて前記クランプ部材の開
    閉プロファイルを制御するようにしたことを特徴とする
    ワイヤボンディング装置。
  6. 【請求項６】 双方共に揺動自在にしてワイヤを把持す
    るための一対のクランプ部材と、該クランプ部材を作動
    させる駆動手段とを備え、該駆動手段は該クランプ部材
    に対して駆動力を付与する変位手段からなり、該変位手
    段の変位量及び変位力を増減して伝える増減手段を有す
    ることを特徴とするワイヤクランプ機構。
  7. 【請求項７】 前記変位手段は梃子部材からなり、該梃
    子部材の力点に前記変位手段が連結され、同作用点が前
    記クランプ部材の自由端部に結合されていることを特徴
    とする請求項６記載のワイヤクランプ機構。
  8. 【請求項８】 ボンディングツールを用いてワイヤを被
    ボンディング部品に接続し、ワイヤクランプ機構によっ
    て該ワイヤを把持することにより該ワイヤをカットする
    ワイヤボンディング装置において、前記ワイヤクランプ
    機構は、双方共に揺動自在にしてワイヤを把持するため
    の一対のクランプ部材と、該クランプ部材を作動させる
    駆動手段とを備え、該駆動手段は該クランプ部材に対し
    て駆動力を付与する変位手段からなり、該変位手段の変
    位量及び変位力を増減して伝える増減手段を有すること
    を特徴とするワイヤボンディング装置。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20020036875A (ko) * 2000-11-11 2002-05-17 서경석 와이어 본더용 와이어 클램핑 장치
JP2011049498A (ja) * 2009-08-28 2011-03-10 Kaijo Corp クランプ機構及びこれを具備したワイヤボンディング装置
CN114433993A (zh) * 2022-03-07 2022-05-06 深圳市泰达智能装备有限公司 切刀调节装置

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR20020036875A (ko) * 2000-11-11 2002-05-17 서경석 와이어 본더용 와이어 클램핑 장치
JP2011049498A (ja) * 2009-08-28 2011-03-10 Kaijo Corp クランプ機構及びこれを具備したワイヤボンディング装置
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