JP2981951B2 - ワイヤボンデイング装置 - Google Patents
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- Power Engineering (AREA)
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はワイヤボンデイング装置
に関する。
に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のワイヤボンデイング装置は、ＸＹ
テーブルによってＸＹ方向に駆動されるボンデイングヘ
ッドに直接又はリフタアームを介してボンデイングアー
ムを上下動又は揺動可能に取付けてなり、ボンデイング
アームの先端にはワイヤが挿通されるキャピラリが取付
けられている。またボンデイングアームの後方（ボンデ
イングヘッド側）にはボンデイングアームに振動を伝え
る振動子が取付けられ、ワイヤの先端に形成されたボー
ル又はワイヤを試料にボンデイングする時は、振動子を
駆動するＰＬＬ（フエーズロックドループ）発振回路で
振動子を振動させてボンデイングアームを共振周波数に
保ちボンデイングしていた。ここで、ＰＬＬ発振回路
は、絶えず周波数を追尾して共振周波数から外れないよ
うにするための発振回路である。
テーブルによってＸＹ方向に駆動されるボンデイングヘ
ッドに直接又はリフタアームを介してボンデイングアー
ムを上下動又は揺動可能に取付けてなり、ボンデイング
アームの先端にはワイヤが挿通されるキャピラリが取付
けられている。またボンデイングアームの後方（ボンデ
イングヘッド側）にはボンデイングアームに振動を伝え
る振動子が取付けられ、ワイヤの先端に形成されたボー
ル又はワイヤを試料にボンデイングする時は、振動子を
駆動するＰＬＬ（フエーズロックドループ）発振回路で
振動子を振動させてボンデイングアームを共振周波数に
保ちボンデイングしていた。ここで、ＰＬＬ発振回路
は、絶えず周波数を追尾して共振周波数から外れないよ
うにするための発振回路である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術は、ボン
デイングアームを共振周波数に追従させていたので、ボ
ンデイング時にリードフレーム又は半導体チップ等と共
振し、半導体チップにクラック等が生じ、ボンデイング
に悪影響を及ぼしていた。またボンデイング時の負荷変
動により共振周波数がずれるので、周波数追尾回路を設
けて追尾させる必要があった。
デイングアームを共振周波数に追従させていたので、ボ
ンデイング時にリードフレーム又は半導体チップ等と共
振し、半導体チップにクラック等が生じ、ボンデイング
に悪影響を及ぼしていた。またボンデイング時の負荷変
動により共振周波数がずれるので、周波数追尾回路を設
けて追尾させる必要があった。
【０００４】本発明の目的は、安定した振動エネルギー
が供給でき、また個々のボンデイング中に周波数及び振
幅を可変でき、安定したボンデイングが可能なワイヤボ
ンデイング装置を提供することにある。
が供給でき、また個々のボンデイング中に周波数及び振
幅を可変でき、安定したボンデイングが可能なワイヤボ
ンデイング装置を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明の構成は、ボンデイングアームに組み込まれキ
ャピラリに電歪又は磁歪効果により振動を伝達する圧電
素子と、周波数データ及び振幅を決める振幅データを出
力するマイクロコンピュータと、このマイクロコンピュ
ータからの周波数データ及び振幅データによって出力波
形データ及び振幅を決めて出力電圧又は電流を圧電素子
に印加する制御回路から成ることを特徴とする。
の本発明の構成は、ボンデイングアームに組み込まれキ
ャピラリに電歪又は磁歪効果により振動を伝達する圧電
素子と、周波数データ及び振幅を決める振幅データを出
力するマイクロコンピュータと、このマイクロコンピュ
ータからの周波数データ及び振幅データによって出力波
形データ及び振幅を決めて出力電圧又は電流を圧電素子
に印加する制御回路から成ることを特徴とする。
【０００６】
【作用】キャピラリの先端に突出したワイヤの先端に形
成されたボール又はワイヤをキヤピラリで試料に押圧し
てボンデイングする時は、圧電素子に、ある周波数で電
圧が印加される。圧電素子に、ある周波数で電圧を印加
すると、圧電素子は、電歪又は磁歪効果により伸縮を繰
り返す。この圧電素子の伸縮による振動がボンデイング
アームを介してキャピラリに伝達される。このキャピラ
リへ伝達された振動エネルギーにより、ワイヤは試料に
ボンデイングされる。またマイクロコンピュータから試
料に適する周波数データ及び振幅データが制御回路に入
力され、制御回路は前記データによって出力波形データ
及び振幅を決めて圧電素子へ出力電圧又は電流が印加さ
れる。
成されたボール又はワイヤをキヤピラリで試料に押圧し
てボンデイングする時は、圧電素子に、ある周波数で電
圧が印加される。圧電素子に、ある周波数で電圧を印加
すると、圧電素子は、電歪又は磁歪効果により伸縮を繰
り返す。この圧電素子の伸縮による振動がボンデイング
アームを介してキャピラリに伝達される。このキャピラ
リへ伝達された振動エネルギーにより、ワイヤは試料に
ボンデイングされる。またマイクロコンピュータから試
料に適する周波数データ及び振幅データが制御回路に入
力され、制御回路は前記データによって出力波形データ
及び振幅を決めて圧電素子へ出力電圧又は電流が印加さ
れる。
【０００７】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図により説明す
る。図２及び図３に示すように、リフタアーム１には、
ボンデイングアーム２の一端がボルト３によって固定さ
れており、ボンデイングアーム２の先端には、ワイヤ４
が挿通されるキャピラリ５がボルト６で固定されてい
る。ここで、ボンデイングアーム２に形成されたキャピ
ラリ用穴２ａは、段付穴となっており、キャピラリ５の
高さ設定ができるようになっている。ボンデイングアー
ム２にはほぼ四角状の圧電素子取付け用穴２ｂが形成さ
れており、圧電素子取付け用穴２ｂには、積層圧電アク
チュエータ（以下、圧電素子という）７の両端部が接着
剤によって固定されている。ここで、圧電素子７は、そ
の歪方向がキャピラリ５の中心軸線に直交するように配
設されている。またボンデイングアーム２には、キャピ
ラリ用穴２ａのキャピラリ５と反対側に薄肉部２ｃを形
成するように穴２ｄが形成され、前記薄肉部２ｃを押圧
するようにボルト８が螺合されている。そこで、ボルト
８を回すと、薄肉部２ｃを介して圧電素子７に予圧がか
けられる。この予圧は、例えばトルクレンチにより２乃
至８Ｋｇ程度かける。予圧をかけた後は、ボルト８は接
着剤で固定しておく。なお、図中、９は試料を示す。
る。図２及び図３に示すように、リフタアーム１には、
ボンデイングアーム２の一端がボルト３によって固定さ
れており、ボンデイングアーム２の先端には、ワイヤ４
が挿通されるキャピラリ５がボルト６で固定されてい
る。ここで、ボンデイングアーム２に形成されたキャピ
ラリ用穴２ａは、段付穴となっており、キャピラリ５の
高さ設定ができるようになっている。ボンデイングアー
ム２にはほぼ四角状の圧電素子取付け用穴２ｂが形成さ
れており、圧電素子取付け用穴２ｂには、積層圧電アク
チュエータ（以下、圧電素子という）７の両端部が接着
剤によって固定されている。ここで、圧電素子７は、そ
の歪方向がキャピラリ５の中心軸線に直交するように配
設されている。またボンデイングアーム２には、キャピ
ラリ用穴２ａのキャピラリ５と反対側に薄肉部２ｃを形
成するように穴２ｄが形成され、前記薄肉部２ｃを押圧
するようにボルト８が螺合されている。そこで、ボルト
８を回すと、薄肉部２ｃを介して圧電素子７に予圧がか
けられる。この予圧は、例えばトルクレンチにより２乃
至８Ｋｇ程度かける。予圧をかけた後は、ボルト８は接
着剤で固定しておく。なお、図中、９は試料を示す。
【０００８】図４は本発明を適用したワイヤボンデイン
グ装置を示す。架台１０上には、ＸＹ方向に駆動される
ＸＹテーブル１１が搭載されており、ＸＹテーブル１１
上には、ボンデイングヘッド１２が固定されている。ボ
ンデイングヘッド１２には、前記したリフタアーム１が
上下動可能に設けられており、リフタアーム１はモータ
１３によって上下動させられる。リフタアーム１には、
ワイヤ切断用クランパ１４を保持したクランパ支持体１
５が固定されている。またボンデイングヘッド１２に
は、ワイヤ４を軽く挟持するワイヤ保持用クランパ２０
を保持するクランパ支持体２１と、ワイヤ４が巻回され
たスプール２２を保持するスプール支持体２３と、試料
９を検出するカメラ２４を保持したカメラ支持体２５と
が固定されている。前記ワイヤ４は、スプール２２より
ワイヤ保持用クランパ２０、ワイヤ切断用クランパ１４
を通してキャピラリ５に挿通されている。なお、図中、
３０は試料９を送るフイーダ、３１は試料９をガイドす
るガイドレールである。
グ装置を示す。架台１０上には、ＸＹ方向に駆動される
ＸＹテーブル１１が搭載されており、ＸＹテーブル１１
上には、ボンデイングヘッド１２が固定されている。ボ
ンデイングヘッド１２には、前記したリフタアーム１が
上下動可能に設けられており、リフタアーム１はモータ
１３によって上下動させられる。リフタアーム１には、
ワイヤ切断用クランパ１４を保持したクランパ支持体１
５が固定されている。またボンデイングヘッド１２に
は、ワイヤ４を軽く挟持するワイヤ保持用クランパ２０
を保持するクランパ支持体２１と、ワイヤ４が巻回され
たスプール２２を保持するスプール支持体２３と、試料
９を検出するカメラ２４を保持したカメラ支持体２５と
が固定されている。前記ワイヤ４は、スプール２２より
ワイヤ保持用クランパ２０、ワイヤ切断用クランパ１４
を通してキャピラリ５に挿通されている。なお、図中、
３０は試料９を送るフイーダ、３１は試料９をガイドす
るガイドレールである。
【０００９】図１は圧電素子７の制御装置を示す。４０
はワイヤボンデイング装置を制御するマイクロコンピュ
ータ、４１は基準周波数（クロック信号）を発振するク
ロック回路、４２はマイクロコンピュータ４０からの周
波数データによりクロック回路４１の基準周波数を可変
（分周）するプログラマブル周波数発生器、４３は出力
波形データが記録されているＰＲＯＭ等より成る記憶素
子４４の出力波形データのアドレスを決めるカウンタ
で、プログラマブル周波数発生器４２の出力によって動
作する。４５は記憶素子４４より入力された出力波形デ
ータの出力電圧を制御するＤ／Ａコンバータ、４６はＤ
／Ａコンバータ４５の出力電圧の振幅を決めるＤ／Ａコ
ンバータ、４７はＤ／Ａコンバータ４５からの出力電圧
を増幅して圧電素子７を駆動するアンプである。４８は
マイクロコンピュータ４０のアドレスデータを判断して
プログラマブル周波数発生器４２、カウンタ４３、記憶
素子４４、Ｄ／Ａコンバータ４６の選択を行なうデコー
ダである。
はワイヤボンデイング装置を制御するマイクロコンピュ
ータ、４１は基準周波数（クロック信号）を発振するク
ロック回路、４２はマイクロコンピュータ４０からの周
波数データによりクロック回路４１の基準周波数を可変
（分周）するプログラマブル周波数発生器、４３は出力
波形データが記録されているＰＲＯＭ等より成る記憶素
子４４の出力波形データのアドレスを決めるカウンタ
で、プログラマブル周波数発生器４２の出力によって動
作する。４５は記憶素子４４より入力された出力波形デ
ータの出力電圧を制御するＤ／Ａコンバータ、４６はＤ
／Ａコンバータ４５の出力電圧の振幅を決めるＤ／Ａコ
ンバータ、４７はＤ／Ａコンバータ４５からの出力電圧
を増幅して圧電素子７を駆動するアンプである。４８は
マイクロコンピュータ４０のアドレスデータを判断して
プログラマブル周波数発生器４２、カウンタ４３、記憶
素子４４、Ｄ／Ａコンバータ４６の選択を行なうデコー
ダである。
【００１０】次に作用について説明する。先ずボンデイ
ング動作を図２乃至図４により説明する。ボンデイング
動作は、ＸＹテーブル１のＸＹ方向への移動及びモータ
１３によるリフタアーム１の上下動により、キャピラリ
５がＸＹ方向及び上下方向に移動させられ、従来周知の
方法によって行われるので、その詳細な説明は省略す
る。キャピラリ５が試料９に接触（正確には、第１ボン
ド点においてはワイヤ４の先端に形成されたボールが試
料９に接触、第２ボンド点においてはワイヤ４が試料９
に接触）してワイヤ４を試料９にボンデイングする時
は、圧電素子７の配線７ａにある周波数で電圧が印加さ
れる。圧電素子７に、ある周波数で電圧を印加すると、
圧電素子７は、電歪又は磁歪効果により伸縮を繰り返
す。この圧電素子７の伸縮による振動がボンデイングア
ーム２を介してキャピラリ５に伝達される。このキャピ
ラリ５へ伝達された振動エネルギーにより、ワイヤ４は
試料９に接合、即ちボンデイングされる。
ング動作を図２乃至図４により説明する。ボンデイング
動作は、ＸＹテーブル１のＸＹ方向への移動及びモータ
１３によるリフタアーム１の上下動により、キャピラリ
５がＸＹ方向及び上下方向に移動させられ、従来周知の
方法によって行われるので、その詳細な説明は省略す
る。キャピラリ５が試料９に接触（正確には、第１ボン
ド点においてはワイヤ４の先端に形成されたボールが試
料９に接触、第２ボンド点においてはワイヤ４が試料９
に接触）してワイヤ４を試料９にボンデイングする時
は、圧電素子７の配線７ａにある周波数で電圧が印加さ
れる。圧電素子７に、ある周波数で電圧を印加すると、
圧電素子７は、電歪又は磁歪効果により伸縮を繰り返
す。この圧電素子７の伸縮による振動がボンデイングア
ーム２を介してキャピラリ５に伝達される。このキャピ
ラリ５へ伝達された振動エネルギーにより、ワイヤ４は
試料９に接合、即ちボンデイングされる。
【００１１】このように、圧電素子７の電歪又は磁歪効
果によるので、共振波長にボンデイングアーム２の長さ
を合わす必要がなくなり、軽量及び小型化が図れる。ま
た従来の振動子は約３０ｇｒであったが、本実施例にお
ける圧電素子７は約３ｇｒであり、約１／１０の重さと
なり、この点からも軽量及び小型化が図れる。また従来
の共振によるボンデイング方法では、ボンデイング時の
負荷変動により共振周波数にずれが生じ、周波数追尾回
路で追尾させる必要があったが、本実施例は非共振のた
め、周波数追尾回路は不要であり、安定した振動エネル
ギーを供給することができる。
果によるので、共振波長にボンデイングアーム２の長さ
を合わす必要がなくなり、軽量及び小型化が図れる。ま
た従来の振動子は約３０ｇｒであったが、本実施例にお
ける圧電素子７は約３ｇｒであり、約１／１０の重さと
なり、この点からも軽量及び小型化が図れる。また従来
の共振によるボンデイング方法では、ボンデイング時の
負荷変動により共振周波数にずれが生じ、周波数追尾回
路で追尾させる必要があったが、本実施例は非共振のた
め、周波数追尾回路は不要であり、安定した振動エネル
ギーを供給することができる。
【００１２】次に前記した圧電素子７への電圧印加を図
１、図５及び図６により説明する。マイクロコンピュー
タ４０から試料９に適する周波数データがプログラマブ
ル周波数発生器４２に送られると、その周波数データに
従って、プログラマブル周波数発生器４２はクロック回
路４１の基本周波数を分周して出力４２ａする。この出
力４２ａは前記したマイクロコンピュータ４０からの周
波数データによって変わり、例えば図５（ａ）又は図６
（ａ）のような出力となる。この出力４２ａは記憶素子
４４に記録された出力波形データのアドレス切り換え信
号になる。プログラマブル周波数発生器４２から出力４
２ａされたアドレス切り換え信号がカウンタ４３に入力
されてカウンタ４３が動作し、記憶素子４４に記録され
ている出力波形データのアドレスが決まる。カウンタ４
３によって指定された記憶素子４４のアドレスの出力波
形データはＤ／Ａコンバータ４５に入力される。この
時、マイクロコンピュータ４０よりＤ／Ａコンバータ４
６に別途振幅を決める信号が送られ、Ｄ／Ａコンバータ
４６からＤ／Ａコンバータ４５の出力電圧の振幅が決め
られる。Ｄ／Ａコンバータ４５は記憶素子４４より入力
された出力波形データ及びＤ／Ａコンバータ４６より入
力された振幅を決める信号によって、アンプ４７に入力
する周波数及び波形の決まった電圧を決める。このＤ／
Ａコンバータ４５の出力４５ａは、例えば図５（ｂ）又
は図６（ｂ）のような出力となる。Ｄ／Ａコンバータ４
５より出力する電圧は、アンプ４７によって増幅され、
圧電素子７が駆動される。なお、アンプ４７の出力は、
電流駆動方式にしてもよい。
１、図５及び図６により説明する。マイクロコンピュー
タ４０から試料９に適する周波数データがプログラマブ
ル周波数発生器４２に送られると、その周波数データに
従って、プログラマブル周波数発生器４２はクロック回
路４１の基本周波数を分周して出力４２ａする。この出
力４２ａは前記したマイクロコンピュータ４０からの周
波数データによって変わり、例えば図５（ａ）又は図６
（ａ）のような出力となる。この出力４２ａは記憶素子
４４に記録された出力波形データのアドレス切り換え信
号になる。プログラマブル周波数発生器４２から出力４
２ａされたアドレス切り換え信号がカウンタ４３に入力
されてカウンタ４３が動作し、記憶素子４４に記録され
ている出力波形データのアドレスが決まる。カウンタ４
３によって指定された記憶素子４４のアドレスの出力波
形データはＤ／Ａコンバータ４５に入力される。この
時、マイクロコンピュータ４０よりＤ／Ａコンバータ４
６に別途振幅を決める信号が送られ、Ｄ／Ａコンバータ
４６からＤ／Ａコンバータ４５の出力電圧の振幅が決め
られる。Ｄ／Ａコンバータ４５は記憶素子４４より入力
された出力波形データ及びＤ／Ａコンバータ４６より入
力された振幅を決める信号によって、アンプ４７に入力
する周波数及び波形の決まった電圧を決める。このＤ／
Ａコンバータ４５の出力４５ａは、例えば図５（ｂ）又
は図６（ｂ）のような出力となる。Ｄ／Ａコンバータ４
５より出力する電圧は、アンプ４７によって増幅され、
圧電素子７が駆動される。なお、アンプ４７の出力は、
電流駆動方式にしてもよい。
【００１３】このように、マイクロコンピュータ４０か
らボンデイングされる試料に適する周波数データ及び振
幅データが制御回路に入力され、制御回路は前記データ
によって出力波形データ及び振幅を決めて圧電素子７へ
出力電圧又は電流が印加されるので、試料の共振領域か
ら周波数をずらすことにより、ボンデイング時のエネル
ギーを安定供給できる。またボンデイング中に周波数及
び圧電素子７に供給する出力を可変できるので、理想的
なボンデイングが行なえる。
らボンデイングされる試料に適する周波数データ及び振
幅データが制御回路に入力され、制御回路は前記データ
によって出力波形データ及び振幅を決めて圧電素子７へ
出力電圧又は電流が印加されるので、試料の共振領域か
ら周波数をずらすことにより、ボンデイング時のエネル
ギーを安定供給できる。またボンデイング中に周波数及
び圧電素子７に供給する出力を可変できるので、理想的
なボンデイングが行なえる。
【００１４】
【発明の効果】本発明によれば、ボンデイングアームに
組み込まれキャピラリに電歪又は磁歪効果により振動を
伝達する圧電素子と、周波数データ及び振幅を決める振
幅データを出力するマイクロコンピュータと、このマイ
クロコンピュータからの周波数データ及び振幅データに
よって出力波形データ及び振幅を決めて出力電圧又は電
流を圧電素子に印加する制御回路から成るので、安定し
た振動エネルギーが供給でき、また個々のボンデイング
中に周波数及び振幅を可変でき、安定したボンデイング
が行なえる。
組み込まれキャピラリに電歪又は磁歪効果により振動を
伝達する圧電素子と、周波数データ及び振幅を決める振
幅データを出力するマイクロコンピュータと、このマイ
クロコンピュータからの周波数データ及び振幅データに
よって出力波形データ及び振幅を決めて出力電圧又は電
流を圧電素子に印加する制御回路から成るので、安定し
た振動エネルギーが供給でき、また個々のボンデイング
中に周波数及び振幅を可変でき、安定したボンデイング
が行なえる。
【図１】本発明になるワイヤボンデイング装置の一実施
例を示す制御回路装置のブロック図である。
例を示す制御回路装置のブロック図である。
【図２】本発明になるワイヤボンデイング装置の一実施
例を示すボンデイングアーム部分の平面図である。
例を示すボンデイングアーム部分の平面図である。
【図３】図２のＡーＡ線断面図である。
【図４】本発明を適用したワイヤボンデイング装置の側
面図である。
面図である。
【図５】出力の１例を示し、（ａ）はプログラマブル周
波数発生器の出力図、（ｂ）は圧電素子に出力するＤ／
Ａコンバータの出力図である。
波数発生器の出力図、（ｂ）は圧電素子に出力するＤ／
Ａコンバータの出力図である。
【図６】出力の他の例を示し、（ａ）はプログラマブル
周波数発生器の出力図、（ｂ）は圧電素子に出力するＤ
／Ａコンバータの出力図である。
周波数発生器の出力図、（ｂ）は圧電素子に出力するＤ
／Ａコンバータの出力図である。
２ ボンデイングアーム ４ ワイヤ ５ キャピラリ ７ 圧電素子 ４０ マイクロコンピュータ ４１ クロック回路 ４２ プログラマブル周波数発生器 ４３ カウンタ ４４ 記憶素子 ４５ Ｄ／Ａコンバータ ４６ Ｄ／Ａコンバータ ４８ デコーダ
Claims (2)
- 【請求項１】 ワイヤが挿通されるキャピラリを一端に
固定してなるボンデイングアームを上下動又は揺動可能
に設けて成るワイヤボンデイング装置において、前記ボ
ンデイングアームに組み込まれキャピラリに電歪又は磁
歪効果により振動を伝達する圧電素子と、周波数データ
及び振幅を決める振幅データを出力するマイクロコンピ
ュータと、このマイクロコンピュータからの周波数デー
タ及び振幅データによって出力波形データ及び振幅を決
めて出力電圧又は電流を圧電素子に印加する制御回路か
ら成ることを特徴とするワイヤボンデイング装置。 - 【請求項２】 請求項１において、制御回路は、出力波
形データが記録された記憶素子と、マイクロコンピュー
タからの周波数データによって周波数を可変して記憶素
子のアドレス切り換え信号を出力するプログラマブル周
波数発生器と、マイクロコンピュータの振幅データによ
って振幅を決める第１のＤ／Ａコンバータと、プログラ
マブル周波数発生器のアドレス切り換え信号によって記
憶素子に記録されたアドレスの出力波形データと第１の
Ｄ／Ａコンバータからの決められた振幅による出力電圧
又は電流を圧電素子に印加する第２のＤ／Ａコンバータ
とから成ることを特徴とするワイヤボンデイング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4187322A JP2981951B2 (ja) | 1992-06-23 | 1992-06-23 | ワイヤボンデイング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4187322A JP2981951B2 (ja) | 1992-06-23 | 1992-06-23 | ワイヤボンデイング装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH065666A JPH065666A (ja) | 1994-01-14 |
| JP2981951B2 true JP2981951B2 (ja) | 1999-11-22 |
Family
ID=16203984
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4187322A Expired - Fee Related JP2981951B2 (ja) | 1992-06-23 | 1992-06-23 | ワイヤボンデイング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2981951B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7241630B2 (en) * | 2000-04-10 | 2007-07-10 | Randox Laboratories, Ltd. | Paramagnetic particle detection |
| JP6180736B2 (ja) | 2009-08-12 | 2017-08-23 | クリック アンド ソッファ インダストリーズ、インク． | ワイヤーボンディング用の超音波トランスデューサ、ならびに超音波トランスデューサを使ってワイヤーボンドを形成する方法 |
-
1992
- 1992-06-23 JP JP4187322A patent/JP2981951B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH065666A (ja) | 1994-01-14 |
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