JPH0939042A - マーク機構を備えたモールド装置 - Google Patents

マーク機構を備えたモールド装置

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JPH0939042A
JPH0939042A JP19183195A JP19183195A JPH0939042A JP H0939042 A JPH0939042 A JP H0939042A JP 19183195 A JP19183195 A JP 19183195A JP 19183195 A JP19183195 A JP 19183195A JP H0939042 A JPH0939042 A JP H0939042A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 マーク機構のマーク面にレーザー加工により
マーク部分を形成することにより、該マーク部分の寸法
精度のばらつきや製造コストを抑え、成形品の薄型にも
対応可能なマーク機構を備えたモールド装置を提供す
る。 【解決手段】 樹脂封止された成形品10にマークを形
成するマーク機構を兼用する第1エジェクタピン8を備
えたモールド装置において、前記第1エジェクタピン8
の成形品10の封止樹脂に当接するマーク面20は、レ
ーザー加工を施して形成した梨地状マーク部分20aと
その周囲の鏡面部分20bとがコントラストが異なる面
に形成されている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、樹脂封止された成形品
にマークを形成するマーク機構を備えたモールド装置に
関する。
【0002】
【従来の技術】従来、例えば半導体装置の樹脂封止を行
うモールド装置においては、パーティング面上に成形品
成形用のキャビティをそれぞれ凹設した相対的に接離動
可能な上型及び下型を備え、上型および/または下型に
形成された樹脂路を通って溶融樹脂がキャビティ内へ充
填され、樹脂封止が行われる。例えば、モールド金型の
上型,下型において、キャビティ,ゲート,ランナ,カ
ル,及びポットを備えた樹脂路に、下型側より溶融樹脂
をプランジャにより押圧して注入し、溶融樹脂はカル,
ランナ,ゲートを介して各キャビティに充填して半導体
装置等の成形品の樹脂封止を行う。
【0003】また、上記モールド装置においては、上記
キャビティ,ランナ,カルにそれぞれ対応する位置に突
き出し可能な複数のエジェクタピンを上型および/また
は下型にそれぞれ装備している。上記各エジェクタピン
は、エジェクタピンプレートに一体的に支持されてお
り、該エジェクタピンプレートを可動にすることによ
り、各ピンを金型内の樹脂路に突き出し可能に構成して
いる。樹脂封止後、上型と下型を型開する際に、上記各
エジェクタピンを同時に所定量それぞれ突き出させて、
成形品に成形品ゲート,成形品ランナ,成形品カル等の
不要樹脂が一体に付着したまま金型からの離型を行って
いた。また、上記成形品は、次の工程で上記成形品ゲー
ト,成形品ランナ,成形品カル等の不要樹脂が除去され
る。
【0004】上記成形品は、量産品であるため、検査時
に金型のどこでモールドされたものか、アドレスを判明
できるようマーク機構を備えているのが望ましい。そこ
で、図6に示すように、通常、上記成形品51を離型さ
せるためのエジェクタピン52の先端面に、カッタード
リル等により刻印53が施され、該刻印53を用いて成
形品51の離型と共にロット・トレースを行うように構
成されている。この刻印53の深さdは、成形品51の
樹脂厚tにもよるが、例えば、10μm〜20μmの深
さに設定されていた。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来のマーク機構は、エジェクタピン52の先端面に
機械加工により刻印53が形成されているため、加工精
度にばらくきが生じ易い。例えば、加工されたエジェク
タピン52を無作為に抽出して刻印53の深さ精度別に
統計をとると、図7のグラフに示すように、深さが15
±5μmの範囲が理想であるところ実際には最大と最小
の差が20μm以上のばらつきが生じていた。このグラ
フにおいて、正規分布曲線(破線)を作成すると、公差
の中間値が曲線の山からずれた値となってしまい、製品
の20〜30%は不良品としてスペックアウトしてしま
い、歩留りが悪く、製造コストが嵩むことになる。
【0006】また、薄型パッケージのように成形品51
の樹脂厚tが薄くなればなるほど、エジェクタピン52
の成形品51への進入量Dを浅くしなければならず、従
って刻印53の深さに求められる精度もジビアになり、
機械的な加工では限界があった。
【0007】本発明の目的は、上記従来技術の課題を解
決し、マーク機構のマーク面にレーザー加工によりマー
ク部分を形成することにより、該マーク部分の寸法精度
のばらつきや製造コストを抑え、成形品の薄型にも対応
可能なマーク機構を備えたモールド装置を提供すること
を目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明は次の構成を備える。すなわち、樹脂封止さ
れた成形品にマークを形成するマーク機構を備えたモー
ルド装置において、前記マーク機構の成形品の封止樹脂
に当接するマーク面は、レーザー加工を施して形成した
マーク部分とその周囲とがコントラストが異なる面に形
成されていることを特徴とする。
【0009】上記構成によれば、マーク機構の成形品の
封止樹脂に当接するマーク面は、レーザー加工を施して
マーク部分を形成することにより、マーク部分の深さを
高精度に形成することができる。また、マーク部分とそ
の周囲とがコントラストが異なる面に形成することによ
り、マーク面の封止樹脂への進入量が浅くてもマークを
鮮明に形成することが可能となる。
【0010】
【発明の実施の形態】次に本発明のマーク機構を備えた
モールド装置の一実施例について図面を参照して説明す
る。図1はモールド装置の主要部の構成を示す断面図、
図2はレーザーマーカーの構成図、図3はターゲットの
保持構成を示す説明図、図4は本実施例と従来の加工面
の対比説明図である。
【0011】先ず、図1を参照してモールド装置の概略
構成について説明する。図1において、1は下型プレー
トであり、例えばトランスファモールド装置の下型チェ
イスプレート(図示せず)へ固定されている。2は上型
プレートであり、上型チェイスプレート(図示せず)に
固定されている。本実施例では、下型1側に後述する樹
脂供給機構が設けられており、該下型プレート1がプレ
ス装置(例えばモータプレス装置)へ連結されて上下動
可能になっている。よって、上記下型プレート1が上型
プレート2に対して上下動することにより金型を型開或
いは型閉を行うように構成されている。
【0012】3は樹脂供給機構を構成するポットであ
り、下型プレート1内に設けられている。上記ポット3
は、下型1の長さ方向へ所定間隔をおいて複数個列設さ
れており、各ポット3内には図示しないプランジャが上
下方向へ摺動可能に配されている。複数のプランジャ
は、下型プレスプラテン側に設けられているプランジャ
駆動機構(不図示)により、同時に同一動作が可能にな
っている。樹脂成形を行う場合、ポット3内には熱硬化
性樹脂のタブレットが投入され、ポット3内で溶融さ
れ、プランジャが上動して後述する樹脂路内へ溶融樹脂
を供給する。
【0013】4は半導体装置を収容して樹脂成形するた
めのキャビティであり、上記下型プレート1及び上型プ
レート2の対向する面(パーティング面)上に凹設され
ている。5はカルでありポット3に対応して上型プレー
ト2に設けられている。6はランナであり、下型プレー
ト1の上面に水平方向に形成されている。7はゲートで
あり、上記ランナ6より上記各キャビティ4への連絡口
となっている。上記カル5,ランナ6,及びゲート7に
より樹脂路が形成されている。
【0014】8は第1エジェクタピンであり、上記下型
プレート1及び上型プレート2のキャビティ4に対応す
る部分に突き出し可能に装備されている。9は第2エジ
ェクタピンであり、上記下型プレート1及び上型プレー
ト2の樹脂路を構成するカル5及びランナ6に対応する
部分に突き出し可能に装備されている。上記第1,第2
エジェクタピン8,9は、可動可能なエジェクタピンプ
レート(図示せず)に一体的に支持して該プレートを移
動させて移動量だけ突き出し可能に構成されており、或
いは金型内に装備されたコイルスプリング,ソレノイ
ド,圧電素子等により常時付勢して突き出し可能に構成
することも可能である。
【0015】次に、上述のように構成されたモールド金
型の離型装置を用いて半導体装置を樹脂封止する方法、
及び成形品の離型方法について図1を参照して詳述す
る。型開状態において、ポット3へ樹脂タブレットが投
入され、パーティング面上へ半導体装置がセットされた
状態で下型プレート1が上動し、図1(a)に示すよう
に固定された上型プレート2との間で型閉状態となる。
このとき、上記第1エジェクタピン8の先端部はキャビ
ティ4と、第2エジェクタピン9の先端部は樹脂路と、
ほぼ面一になるようにそれぞれ保持されている。この状
態でポット3内の樹脂タブレットが溶解され、図示しな
いプランジャが上動すると、溶融樹脂はポット3からカ
ル5,ランナ6,ゲート7よりなる樹脂路を通ってキャ
ビティ4内へ充填される。
【0016】樹脂成形が終了し、樹脂が固化したら下型
プレート1は下動され、型開が行われる。下型プレート
1が下方へ移動し始めると、図1(b)に示すように、
エジェクタピンプレートを移動させて第1,第2エジェ
クタピン8,9を突き出して成形品10及び成形品ラン
ナ6にそれぞれ突き当てて、金型より成形品10及びこ
れと一体化した不要樹脂の離型を行う。
【0017】なお、下型プレート1への半導体装置のセ
ッティング、取り出しは、マニュアルで行ってもよい
し、専用のローディング機構を設けて自動的に行っても
よい。
【0018】次に上記モールド装置に装備されるマーク
機構について図2〜図4を参照して説明する。本実施例
では、マーク機構として成形品10を金型より離型させ
るための第1エジェクタピン8を用い、該エジェクタピ
ン8の先端面をマーク面とした。上記第1エジェクタピ
ン8の先端面への加工は、図2に示すレーザーマーカー
を用いて行う。
【0019】図2において、11は、例えばYAG(y
ttrium aluminiumganet)レーザ
ーを照射するレーザー照射装置であり、レーザー出力源
12よりパワーを供給されて駆動される。上記レーザー
照射装置11は、そのX−Yスキャンヘッド13より後
述する保持機構によりX−Yテーブル14に保持された
ターゲット(エジェクタピン)15の端面に対し、マー
キングパターン信号に応じてレーザー光を照射すること
により、表面を焼いてマーク部分となる文字,図形等を
形成する。16とマーク面のうちマーク部分を形成する
文字,図形やターゲット15の位置情報等を入力した
り、レーザー照射装置11やレーザー出力源12の動作
を制御するパーソナルコンピュータ等を備えた制御部で
ある。
【0020】次に上記ターゲット15の保持構成につい
て、図3を参照して説明する。X−Yテーブル14上に
はテーブル原点Oに合わせてL字状の突き当てブロック
17が固定配置されており、該突き当てブロック17に
X方向に長手となるブロック状の保持具18が並設され
ている。上記保持具18はボルト19により相互にクラ
ンプできるように構成されている。上記保持具18の
内、一方の対向面にはV字状の凹溝18aが等間隔で複
数本穿設されており、該凹溝18aに沿ってターゲット
15は配列され、ボルト19を閉めることにより保持具
18間にクランプされる。
【0021】上記X−Yテーブル14上に固定されたタ
ーゲット15は、制御部16のNC制御によりX−Yス
キャンヘッド13よりYAGレーザー光を照射され、ま
たX−Yテーブル14を所定方向に移動させることで、
マーク面(端面)20に高精度に加工を施されて所望の
文字や図形等のマーク部分20aが形成される。この加
工面の状態を図4に示す。
【0022】ターゲット15としてステンレススチール
製の第1エジェクタピン8を用いた場合、マーク面20
にレーザー光を照射すると図4(b)に示すようにマー
ク部分20aは光沢のない梨地状にざらついた面となり
その周囲は鏡面部分20bとなる。上記梨地状マーク部
分20aの刻印の深さdはおよそ1μm〜2μmとな
り、従来の機械加工による刻印の深さに比べておよそ1
/10の深さとすることが可能となり、しかも深さが浅
くてもコントラストの差が歴然としているため、封止樹
脂へのマークを鮮明に行うことができる。これに対し、
図4(a)に示す機械加工によるマーク面20は、カッ
タードリルでマーク部分20aを形成するため、マーク
周縁部がテーパー状に面取りされる(Rがつく)ため、
周囲の鏡面部分20bとのコントラストの差がなく、あ
る程度刻印の深さdを深くしないと、具体的にはdが1
0μm以上とならないと、封止樹脂へのマークが不鮮明
となる。
【0023】上記構成によれば、第1エジェクタピン8
の成形品10の封止樹脂に当接するマーク面20は、レ
ーザー加工を施してマーク部分を形成することにより、
マーク部分20aの深さをばらつくことなく高精度に形
成することができる。従って、不良品の発生を抑えて、
歩留りを向上させ、製造コストを低減することができ
る。また、文字,図形等を書き込む場合、NC制御によ
り行うことが可能であるため、自由度が高い。また、マ
ーク部分とその周囲とがコントラストが異なる面に形成
することにより、マーク面の封止樹脂への進入量が浅く
てもマークを鮮明に形成することが可能となるため、成
形品の薄型化に十分対応することができる。
【0024】次に上記マーク機構の他例について図5を
参照して説明する。前記実施例ではマーク機構として、
成形品離型用のエジェクタピンを用いたが、これに限定
されるものではなく、他の構成でもよい。例えば、図5
(b)に示すように、下型プレート1のキャビティ4に
相当する面に駒21を面一になるように着脱可能に装着
し、該駒21のマ−ク面(キャビティ壁面)22にYA
Gレーザー光を照射してマーク部分を形成したものを用
いる。上記マーク面22には光沢のない梨地状のマーク
部分が形成され、その周囲は鏡面部が形成されている。
よって、樹脂封止するとき、図5(a)に示すように、
樹脂がキャビティ4に充填されて硬化すると自動的に成
形品23の封止樹脂面にマークが形成される。上記構成
によれば、上記マーク面22を駒21にしておくと、該
駒21を取り替えることで、マーク部分を変更して使用
することができ、汎用性を高めることができる。
【0025】以上、本発明の好適な実施例について種々
述べてきたが、本発明は上述の実施例に限定されるので
はなく、例えば、樹脂供給機構が上型側に設けられてい
ても良く、また成形品成形用のモールド金型は、本実施
例のように、両面モールド用でも、BGA(ball・
grid・array)用のように片面モールド用でも
良い等、発明の精神を逸脱しない範囲で多くの改変を施
し得るのはもちろんである。
【0026】
【発明の効果】本発明に係るマーク機構を備えたモール
ド装置を用いると、マーク機構の成形品の封止樹脂に当
接するマーク面は、レーザー加工を施してマーク部分を
形成することにより、マーク部分の深さをばらつくこと
なく高精度に形成することができる。従って、不良品の
発生を抑えて、歩留りを向上させ、製造コストを低減す
ることができる。また、文字,図形等を書き込む場合、
NC制御により行うことが可能であるため、自由度が高
い。また、マーク部分とその周囲とがコントラストが異
なる面に形成することにより、マーク面の封止樹脂への
進入量が浅くてもマークを鮮明に形成することが可能と
なるため、成形品の薄型化に十分対応することができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1はモールド装置の主要部の構成を示す断面
図である。
【図2】レーザーマーカーの構成図である。
【図3】ターゲットの保持構成を示す説明図である。
【図4】本実施例と従来の加工面の対比説明図である。
【図5】他例にかかるマーク機構の説明図である。
【図6】従来のマーク機構を備えたモールド装置の説明
図である。
【図7】従来のマーク機構の製品精度を示すグラフであ
る。
【符号の説明】
1 下型プレート 2 上型プレート 3 ポット 4 キャビティ 5 カル 6 ランナ 7 ゲート 8 第1エジェクタピン 9 第2エジェクタピン 10,23 成形品 11 レーザー照射装置 12 レーザー出力源 13 X−Yスキャンヘッド 14 X−Yテーブル 15 ターゲット 16 制御部 17 突き当てブロック 18 保持具 18a 凹溝 19 ボルト 20,22 マーク面 21 駒

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 樹脂封止された成形品にマークを形成す
    るマーク機構を備えたモールド装置において、 前記マーク機構の成形品の封止樹脂に当接するマーク面
    は、レーザー加工を施して形成したマーク部分とその周
    囲とがコントラストが異なる面に形成されていることを
    特徴とするマーク機構を備えたモールド装置。
  2. 【請求項2】 前記マーク機構のマーク面は、レーザー
    加工により表面を焼いた梨地状のマーク部分とその周囲
    に鏡面部分を有していることを特徴とする請求項1記載
    のマーク機構を備えたモールド装置。
  3. 【請求項3】 前記マーク機構として、モールド金型に
    装備され樹脂封止後の成形品を離型させるエジェクタピ
    ンを用い、該エジェクタピンの先端面をマーク面とした
    ことを特徴とする請求項2記載のマーク機構を備えたモ
    ールド装置。
  4. 【請求項4】 前記マーク機構として、モールド金型の
    成形品成形用のキャビテイを用い、該キャビティの壁面
    をマーク面としたことを特徴とする請求項2記載のマー
    ク機構を備えたモールド装置。
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