JP2010179374A - ウォータージェット加工装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】加工水噴射ノズルを備えた加工手段と、被加工物保持テーブルをXY軸方向に移動させるためのXY軸方向移動手段と、被加工物保持テーブルを垂直に移動させるためのZ軸方向移動手段と、被加工物保持テーブルのZ軸方向位置を検出するためのZ軸方向位置検出手段とを具備するウォータージェット加工装置であって、被加工物の表面にエアーを噴出するエアーノズルと、背圧検出センサーと、ノズル移動手段と、を具備し、被加工物の表面からエアーノズの先端までの距離を検出するための背圧式間隔検出機構と、加工水噴射ノズルおよびエアーノズルの先端を接触させることにより加工水噴射ノズルおよびエアーノズルの基準位置を設定するための基準位置検出センサーと、制御手段と、を具備している。
【選択図】図1
Description
また、CSP基板に限らず、半導体ウエーハ等の被加工物を切削ブレードによって切削すると、被加工物の表面に微細な切削屑が付着して汚染するという問題もある。
該被加工物保持テーブルに保持された被加工物の表面にエアーを噴出するエアーノズルと、該エアーノズルから噴出されるエアーの背圧を検出する背圧検出センサーと、該エアーノズルをZ軸方向に移動せしめるノズル移動手段とを具備し、被加工物の表面から該エアーノズの先端までの距離を検出するための背圧式間隔検出機構と、
該被加工物保持テーブルに配設され該加工水噴射ノズルおよび該エアーノズルの先端を接触させることにより該加工水噴射ノズルおよび該エアーノズルの基準位置を設定するための基準位置検出センサーと、
該Z軸方向位置検出手段と該背圧検出センサーと該基準位置検出センサーからの検出信号に基づいて該Z軸方向移動手段に制御信号を出力し、該被加工物保持テーブルの保持面に保持された被加工物の表面から加工水噴射ノズルの先端までの距離が所定の値になるように制御する制御手段と、を具備している、
ことを特徴とするウォータージェット加工装置が提供される。
図5および図6に示すCSP基板70は、金属板700に3個のブロック70a、70b、70cが連続して形成されている。CSP基板70を構成する3個のブロック70a、70b、70cの表面700aには、それぞれ所定の方向に延びる複数の第1の分割予定ライン701と、該第1の分割予定ライン701と直交する方向に延びる第2の分割予定ライン702が格子状に形成されている。第1の分割予定ライン701と第2の分割予定ライン702によって区画された複数の領域にそれぞれチップサイズパッケージ(CSP)703が配置されており、このチップサイズパッケージ(CSP)703は各ブロック70a、70b、70c毎に金属板700の裏面側から合成樹脂部710a、710b、710cによってモールディングされている。なお、CSP基板70を構成する金属板700の外周部は3個のブロック70a、70b、70cより外側に突出して形成されており、この長手方向両側の突出部に位置決め用の複数の穴704(図示の実施形態においては、それぞれ4個)が設けられている。このように形成されたCSP基板70は、第1の分割予定ライン701および第2の分割予定ライン702に沿って切断され個々にパッケージされたチップサイズパッケージ(CSP)703に分割される。
(1)制御手段10は、X軸方向移動手段30およびY軸方向移動手段50を作動して被加工物保持テーブル6に配設された基準位置検出センサー9を加工水噴射ノズル71の直下に位置付けた後、Z軸方向移動手段40を作動して被加工物保持テーブル6を上昇させ基準位置検出センサー9が加工水噴射ノズル71に接触したら(基準位置検出センサー9がONしたら)Z軸方向移動手段40の作動を停止する。
(2)制御手段10は、被加工物保持テーブル6のZ軸方向位置を維持した状態でX軸方向移動手段30およびY軸方向移動手段50を作動して被加工物保持テーブル6に配設された基準位置検出センサー9を背圧式間隔検出機構8のエアーノズル832の直下に位置付けた後、ノズル移動手段87を作動してエアーノズル832を下降させ基準位置検出センサー9がエアーノズル832に接触したら(基準位置検出センサー9がONしたら)ノズル移動手段87の作動を停止する。この状態で、加工水噴射ノズル71の先端とエアーノズル832の先端のZ軸方向位置が合致する。
(3)制御手段10は、X軸方向移動手段30およびY軸方向移動手段50を作動して被加工物保持テーブル6に保持されたCSP基板70(第1の被加工物保持治具90aにセットされている状態)の表面を背圧式間隔検出機構8のエアーノズル832の直下に位置付けた後、Z軸方向移動手段40を作動して被加工物保持テーブル6を上昇させ背圧式間隔検出機構8の背圧検出センサー84からの出力電圧が例えば4Vになった際、Z軸方向移動手段40を作動を停止するとともに、上記Z軸方向位置検出手段45からの検出信号に基づいて被加工物保持テーブル6のZ軸方向位置(Z1)を求め、このZ軸方向位置(Z1)をランダムアクセスメモリ103(RAM)に格納する。なお、背圧検出センサー84からの出力電圧が4Vの場合は、図示の実施形態においては図3に示すように被加工物保持テーブル6に保持されたCSP基板70の表面からエアーノズル132までの距離(間隔)は30μmである。
(4)次に、被加工物保持テーブル6に保持されたCSP基板70(第1の被加工物保持治具90aにセットされている状態)の表面から加工水噴射ノズル71の先端(下端)までの距離(間隔)を所定の値(例えば100μm)に調整する。即ち、制御手段10は、X軸方向移動手段30およびY軸方向移動手段50を作動して被加工物保持テーブル6に保持されたCSP基板70(第1の被加工物保持治具90aにセットされている状態)の表面を加工水噴射ノズル71の直下に位置付けた後、Z軸方向移動手段40を作動して被加工物保持テーブル6を、(Z1)+30μm−100μmのZ軸方向位置に位置付ける。この結果、被加工物保持テーブル6に保持されたCSP基板70(第1の被加工物保持治具90aにセットされている状態)の表面から加工水噴射ノズル71の先端(下端)までの距離(間隔)は、100μmに調整される。
21:案内レール
3:第1の可動基台
30:X軸方向移動手段
4:第2の可動基台
40:Z軸方向移動手段
45:Z軸方向位置検出手段
5:第3の可動基台
50:Y軸方向移動手段
6:被加工物保持テーブル
61:開口
62:位置決めピン
60:水槽
7:加工水噴射ノズル
8:ノズル支持部材
9:加工水供給手段
10:背圧式間隔検出機構
100:基準位置検出センサー
200:制御手段
70:CSP基板
80a:第1の被加工物保持治具
80b:第2の被加工物保持治具
Claims (1)
- 被加工物を保持する保持面を有する被加工物保持テーブルと、該被加工物保持テーブルの保持面に保持された被加工物に加工水を噴射する加工水噴射ノズルを備えた加工手段と、該被加工物保持テーブルを該保持面と平行にX軸方向に移動させるためのX軸方向移動手段と、該被加工物保持テーブルを該保持面と平行にX軸方向と直交するY軸方向に移動させるためのY軸方向移動手段と、該被加工物保持テーブルを該保持面に対して垂直なZ軸方向に移動させるためのZ軸方向移動手段と、該被加工物保持テーブルのZ軸方向位置を検出するためのZ軸方向位置検出手段と、を具備するウォータージェット加工装置において、
該被加工物保持テーブルに保持された被加工物の表面にエアーを噴出するエアーノズルと、該エアーノズルから噴出されるエアーの背圧を検出する背圧検出センサーと、該エアーノズルをZ軸方向に移動せしめるノズル移動手段とを具備し、被加工物の表面から該エアーノズの先端までの距離を検出するための背圧式間隔検出機構と、
該被加工物保持テーブルに配設され該加工水噴射ノズルおよび該エアーノズルの先端を接触させることにより該加工水噴射ノズルおよび該エアーノズルの基準位置を設定するための基準位置検出センサーと、
該Z軸方向位置検出手段と該背圧検出センサーと該基準位置検出センサーからの検出信号に基づいて該Z軸方向移動手段に制御信号を出力し、該被加工物保持テーブルの保持面に保持された被加工物の表面から加工水噴射ノズルの先端までの距離が所定の値になるように制御する制御手段と、を具備している、
ことを特徴とするウォータージェット加工装置。
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