JPH09330952A - プリント回路基板および半導体チップの積層方法 - Google Patents

プリント回路基板および半導体チップの積層方法

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JPH09330952A
JPH09330952A JP8152357A JP15235796A JPH09330952A JP H09330952 A JPH09330952 A JP H09330952A JP 8152357 A JP8152357 A JP 8152357A JP 15235796 A JP15235796 A JP 15235796A JP H09330952 A JPH09330952 A JP H09330952A
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semiconductor chip
electrode
wiring board
printed wiring
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Shinichiro Baba
慎一郎 馬場
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Toshiba Computer Engineering Corp
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Toshiba Corp
Toshiba Computer Engineering Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】ベアチップを容易にかつ安価に積層実装できる
プリント回路基板および半導体チップの積層方法を提供
することにある。 【解決手段】1層目のベアチップ18aは、背面24が
プリント配線板12に対向した状態でプリント配線板上
に固定され、その電極20には導電性突起34が形成さ
れ、この導電性突起は、導電性ワイヤ32を介してプリ
ント配線板のパッド16に電気的に接続されている。2
層目のベアチップ18bは、電極形成面22が1層目の
ベアチップの電極形成面と対向し、かつ、電極が1層目
のベアチップの導電性突起に接触した状態で、1層目の
半導体チップ上に実装されている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明はプリント回路基
板、特に、プリント配線板上に複数のベアチップを積層
して配置したプリント回路基板、および電子部品の実装
方法に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、電子部品として、従来の半導体パ
ッケージに比べて実装面積を大幅に削減可能なベアチッ
プが注目されている。一般に、半導体パッケージは、リ
ードフレーム上に半導体チップを実装した後、樹脂パッ
ケージで覆うことにより構成されている。これに対し
て、ベアチップは、リードフレームおよび樹脂パッケー
ジを持たず半導体チップ単体で形成されていることか
ら、半導体パッケージに比較して大幅な小型化が可能と
なる。
【0003】ベアチップをプリント配線板上に実装する
際、ベアチップの電極とプリント配線板の導体ハッドと
を電気的に接続する方法としては、ワイヤボンンディン
グ実装、あるいは、フリップチップ実装が挙げられる。
【0004】ワイヤボンディング実装は、ベアチップ表
面に設けられた電極と、ベアチップの実装先であるプリ
ント配線板ので応対パッドとを導電性ワイヤによって接
続する方法である。この場合、ベアチップは、電極の形
成された電極形成面を上に向けた状態で、その背面が硬
化性ペーストによってプリント配線板上に固定される。
そして、ベアチップ表面の電極とプリント配線板ので応
対パッドとを導電性ワイヤによって接続し、電気的に導
通させる。
【0005】また、フリップチップ実装は、ベアチップ
表面に設けられた電極上に導電性の突起、つまり、バン
プ、を設け、これらのバンプをプリント配線板上の導体
パッドに電気的に接続する方法である。この場合、ベア
チップは、電極の形成された電極形成面をプリント配線
板に向けて配置され、硬化性ペーストを介してプリント
配線板に固定される。そして、バンプは、プリント配線
板の導体パッド上に突き合わされ、加熱、加圧すること
によって導体パッドに電気的に接続される。
【0006】一方、近年、電子部品の実装密度を一層向
上させるため、複数のベアチップを積層状態でプリント
配線板上に実装する構造が考えられている。例えば、ワ
イヤボンディング実装によってベアチップを積層実装す
る場合、1層目のベアチップは、上記と同様に、電極形
成面を上に向けた状態でプリント配線板上に実装され
る。そして、2層目のベアチップは、電極形成面を上に
向けた状態で、その背面側が熱硬化性ペーストを介して
1層目のベアチップの電極形成面上に固定され、電極と
プリント配線板上の導体パッドとが導電性ワイヤによっ
て電気的に接続される。ここで、2層目のベアチップの
背面周縁部には、1層目のベアチップの電極やワイヤの
破損、接触を避けるための凹所が形成されている。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】上述したように、プリ
ント配線板上に、複数のベアチップを積層状態で実装す
ることにより実装密度が向上し、プリント回路基板の小
型化、および多機能化が可能となる。
【0008】しかしながら、2層目以降のベアチップの
背面周縁部を微細加工して凹所を設ける必要があり、ベ
アチップの製造工程および製造コストが増大するととも
に、ベアチップの機械的強度も低下する。
【0009】この発明は以上の点に鑑みなされたもの
で、その目的は、ベアチップを容易に積層実装でき電子
部品の実装密度の向上を図れるとともに、安価なプリン
ト回路基板および電子部品の実装方法を提供することに
ある。
【0010】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項1に係るこの発明のプリント回路基板は、パ
ッドを含む導体パターンの形成されたプリント配線板
と、電極の形成された電極形成面、およびこの電極形成
面と対向した背面をそれぞれ有し、上記プリント配線板
上に積層状態で実装された複数の半導体チップと、を備
えている。
【0011】上記半導体チップの内、1層目の半導体チ
ップは、背面が上記プリント配線板に対向した状態でプ
リント配線板上に固定されているとともに、上記1層目
の半導体チップの電極に設けられ導電性ワイヤを介して
上記プリント配線板のパッドに電気的に接続された導電
性突起を有し、2層目の半導体チップは、上記電極形成
面が上記1層目の半導体チップの電極形成面と対向し、
かつ、上記電極が上記1層目の半導体チップの導電性突
起に接触した状態で、1層目の半導体チップ上に実装さ
れていることを特徴としている。
【0012】請求項2に係るこの発明のプリント回路基
板は、パッドを含む導体パターンの形成されたプリント
配線板と、電極の形成された電極形成面、およびこの電
極形成面と対向した背面をそれぞれ有し、上記プリント
配線板上に積層状態で実装された複数の半導体チップ
と、を備えている。
【0013】上記半導体チップの内、1層目の半導体チ
ップは、背面が上記プリント配線板に対向した状態でプ
リント配線板上に固定されているとともに、上記1層目
の半導体チップの電極に設けられ導電性ワイヤを介して
上記プリント配線板のパッドに電気的に接続された導電
性突起を有し、2層目の半導体チップは、上記電極形成
面が上記1層目の半導体チップの電極形成面と対向し、
かつ、上記電極が上記1層目の半導体チップの導電性突
起に接触した状態で、1層目の半導体チップ上に実装さ
れている。
【0014】3層目の半導体チップは、その背面が上記
2層目の半導体チップの背面上に固定された状態で2層
目の半導体チップ上に積層されているとともに、上記3
層目の半導体チップの電極に設けられ導電性ワイヤを介
して上記プリント配線板のパッドに電気的に接続された
導電性突起を有し、4層目の半導体チップは、上記電極
形成面が上記3層目の半導体チップの電極形成面と対向
し、かつ、上記電極が上記3層目の半導体チップの導電
性突起に接触した状態で、3層目の半導体チップ上に実
装されていることを特徴としている。
【0015】請求項7に係るこの発明の半導体チップの
積層方法は、パッドを含む導体パターンの形成されたプ
リント配線板上に、電極の形成された電極形成面および
この電極形成面と対向した背面をそれぞれ有する複数の
半導体チップを積層実装する半導体チップの積層方法に
おいて、1層目の半導体チップを、その背面が上記プリ
ント配線板に対向した状態でプリント配線板上に固定
し、上記プリント配線板上に固定された上記1層目の半
導体チップの電極を、ワイヤボンディングによって上記
プリント配線板のパッドに電気的に接続し、上記ワイヤ
ボンディングの際、上記1層目の半導体チップの電極上
に、ボールボンディングにより導電性突起を形成し、2
層目の半導体チップを、その電極形成面が上記1層目の
半導体チップの電極形成面と対向し、かつ、上記電極が
上記1層目の半導体チップの導電性突起に接触した状態
で、1層目の半導体チップ上に実装することを特徴とし
ている。
【0016】また、請求項8に係るこの発明の半導体チ
ップの積層方法は、パッドを含む導体パターンの形成さ
れたプリント配線板上に、電極の形成された電極形成面
およびこの電極形成面と対向した背面をそれぞれ有する
複数の半導体チップを積層実装する半導体チップの積層
方法において、1層目の半導体チップを、その背面が上
記プリント配線板に対向した状態でプリント配線板上に
固定し、上記プリント配線板上に固定された上記1層目
の半導体チップの電極を、ワイヤボンディングによって
上記プリント配線板のパッドに電気的に接続し、上記ワ
イヤボンディングの際、上記1層目の半導体チップの電
極上に、ボールボンディングにより導電性突起を形成
し、2層目の半導体チップを、その電極形成面が上記1
層目の半導体チップの電極形成面と対向し、かつ、上記
電極が上記1層目の半導体チップの導電性突起に接触し
た状態で、1層目の半導体チップ上に実装し、3層目の
半導体チップを、その背面が上記2層目の半導体チップ
の背面上に固定された状態で2層目の半導体チップ上に
積層し、上記2層目の半導体チップ上に固定された上記
3層目の半導体チップの電極を、ワイヤボンディングに
よって上記プリント配線板のパッドに電気的に接続し、
上記ワイヤボンディングの際、上記3層目の半導体チッ
プの電極上に、ボールボンディングにより導電性突起を
形成し、4層目の半導体チップを、その電極形成面が上
記1層目の半導体チップの電極形成面と対向し、かつ、
上記電極が上記3層目の半導体チップの導電性突起に接
触した状態で、3層目の半導体チップ上に実装すること
を特徴としている。
【0017】上記のように構成されたこの発明のプリン
ト回路基板および半導体チップの積層方法によれば、1
層目および2層目の半導体チップは、電極形成面同志を
対向させた状態で積層されているとともに、1層目の半
導体チップの電極に設けられた導電性突起を端子として
用いることにより、2層目の半導体チップをプリント配
線板のパッドに電気的に導通させている。
【0018】それにより、2層目の半導体チップに特殊
加工やワイヤ保護処理等を施すことなく、複数の半導体
チップをプリント配線板上に容易にかつ安価に積層実装
することが可能となる。
【0019】
【発明の実施の形態】以下図面を参照しながら、この発
明の実施の形態に係るプリント回路基板について詳細に
説明する。図1および図2に示すように、プリント回路
基板10はプリント配線板12を備え、このプリント配
線板上には、半導体チップとして複数のベアチップが積
層実装されている。プリント配線板12は、ポリイミド
等からなる絶縁基板14と、絶縁基板の表面に形成され
た導体パターンと、を備え、この導体パターンは絶縁基
板14の表面に露出した複数の導体パッド16を有して
いる。
【0020】本実施の形態においては、2つのベアチッ
プ18a、18bがプリント配線板12上に積層状態で
実装されている。ベアチップ18aは半導体シリコンチ
ップであり、電源供給や信号の入出力を行うための複数
の電極20が形成された電極形成面22と、この電極形
成面に対向した背面24とを有する矩形状に形成されて
いる。ベアチップ18bもベアチップ18aと同一構造
に形成されている。
【0021】第1層目となるベアチップ18aは、熱硬
化性ペースト30により、その背面24がプリント配線
板12の表面に接着固定されている。それにより、電極
形成面22は上方を向いている。
【0022】ベアチップ18aの各電極20は、ワイヤ
ボンディングにより、金ワイヤ32を介してプリント配
線板12上の所望の導体パッド16に接続され、電気的
に導通している。この際、各電極20側において、金ワ
イヤ32はボールボンディングにより丸められて電極2
0に固定された導電性突起34を形成し、導体パッド1
6側においては、ウェッジボンディングにより導体パッ
ドに接続されている。
【0023】第2層目となるベアチップ18bは、電極
形成面22を第1層目のベアチップ18aに向けて、つ
まり、第1層目のベアチップ18aの電極形成面22と
向かい合わせて、ベアチップ18a上に実装されてい
る。
【0024】ベアチップ18bは、各電極20がベアチ
ップ18aの導電性突起34と接触した状態で実装さ
れ、その結果、各電極20は導電性突起34および金ワ
イヤ32を介してプリント配線板12の導体パッド16
と電気的に導通している。この際、ベアチップ18bの
電極20と導電性突起34との間に、導電性ペースト、
導電性フィルム、異方性導電ペースト等を介在させるこ
とにより、これらの間の導電性を向上されることができ
る。
【0025】なお、第1層目および第2層目のベアチッ
プ18a、18bは、同一特性を有する電極20同志が
互いに導通するように積層実装されている。上記のよう
に構成されたプリント回路基板10によれば、第1層目
および第2層目のベアチップ18a、18bは、電極形
成面22同志を対向させた状態で積層されているととも
に、第1層目のベアチップ18aの電極20に設けられ
た導電性突起34を端子として用いることにより、第2
層目のベアチップ18bをプリント配線板12の導体パ
ッド16に電気的に導通させている。
【0026】従って、第2層目のベアチップ18bに、
従来のような凹所を特殊加工する必要がなく、また、金
ワイヤ保護処理等を施す必要もなくなる。そのため、複
数のベアチップを容易にかつ安価に積層実装することが
可能となり、実装密度の高いプリント回路基板を提供す
ることができる。
【0027】図3はこの発明の第2の実施の形態に係る
プリント回路基板10を示している。上述した実施の形
態と同様に、プリント配線板12上に第1層目のベアチ
ップ18aおよび第2層目のベアチップ18bが順に積
層実装されている。そして、第2の実施の形態によれ
ば、第2層目のベアチップ18b上に、更に、第3層お
よび第4層目のベアチップ18c、18dが積層実装さ
れている。
【0028】すなわち、第3層目のベアチップ18c
は、その背面24が第2層目のベアチップ18bの背面
24上に熱硬化性ペースト30を介して接着固定され、
電極形成面22は上方を向いている。
【0029】ベアチップ18cの各電極20は、ワイヤ
ボンディングにより、金ワイヤ32を介してプリント配
線板12上の所望の導体パッド16に接続され、電気的
に導通している。この際、各電極20側において、金ワ
イヤ32はボールボンディングにより丸められて電極2
0に固定された導電性突起34を形成し、導体パッド1
6側においては、ウェッジボンディングにより導体パッ
ドに接続されている。
【0030】第4層目となるベアチップ18dは、電極
形成面22を第3層目のベアチップ18cに向けて、つ
まり、第3層目のベアチップ18cの電極形成面22と
向かい合わせて、ベアチップ18c上に実装されてい
る。
【0031】ベアチップ18dは、各電極20がベアチ
ップ18cの導電性突起34と接触した状態で実装さ
れ、その結果、各電極20は導電性突起34および金ワ
イヤ32を介してプリント配線板12の導体パッド16
と電気的に導通している。この際、ベアチップ18dの
電極20と導電性突起34との間に、導電性ペースト、
導電性フィルム、異方性導電ペースト等を介在させるこ
とにより、これらの間の導電性を向上されることができ
る。
【0032】第3層目および第4層目のベアチップ18
c、18dは、同一特性を有する電極20同志が互いに
導通するように積層実装されている。なお、他の構成は
上述した実施の形態と同一であり、同一の部分には、同
一の参照符号を付してその詳細な説明を省略する。
【0033】上記のように構成されたプリント回路基板
10によれば、第1層目および第2層目のベアチップ1
8a、18b、並びに、第3層目および第4層目のベア
チップ18c、18dは、電極形成面22同志を対向さ
せた状態で積層されているとともに、第1、第3層目の
ベアチップ18a、18cの電極20に設けられた導電
性突起34を端子として用いることにより、第2、第4
層目のベアチップ18b、18dをプリント配線板12
の導体パッド16にそれぞれ電気的に導通させている。
【0034】従って、ベアチップに従来のような凹所を
特殊加工する必要がなく、また、金ワイヤ保護処理等を
施す必要もなくなる。そのため、複数のベアチップを容
易にかつ安価に積層実装することが可能となるととも
に、一層実装密度の高いプリント回路基板を提供するこ
とができる。
【0035】図4および図5に示す第3の実施の形態に
よれば、図1および図2に示す実施の形態と同様に、プ
リント配線板12上には、2つのベアチップ18a、1
8bが積層実装されている。第1層目となるベアチップ
18aは、熱硬化性ペースト30により、その背面24
がプリント配線板12の表面に接着固定されている。そ
れにより、電極形成面22は上方を向いている。
【0036】ベアチップ18aの各電極20は、ワイヤ
ボンディングにより、金ワイヤ32を介してプリント配
線板12上の所望の導体パッド16に接続され、電気的
に導通している。この際、各電極20側において、金ワ
イヤ32はボールボンディングにより丸められて電極2
0に固定された導電性突起34を形成し、導体パッド1
6側においては、ウェッジボンディングにより導体パッ
ドに接続されている。
【0037】第3の実施の形態によれば、第2層目とな
るベアチップ18bの各電極上には、導電性突起、例え
ば、金バンプ40が取り付けられている。そして、ベア
チップ18bは、電極形成面22を第1層目のベアチッ
プ18aに向けて、つまり、第1層目のベアチップ18
aの電極形成面22と向かい合わせて、各金バンプ40
がベアチップ18aの導電性突起34と接触した状態で
実装されている。その結果、各電極20は金バンプ4
0、導電性突起34および金ワイヤ32を介してプリン
ト配線板12の導体パッド16と電気的に導通してい
る。
【0038】この際、ベアチップ18bの金バンプ40
と導電性突起34との間に、導電性ペースト、導電性フ
ィルム、異方性導電ペースト等を介在させることによ
り、これらの間の導電性を向上されることができる。
【0039】なお、他の構成は前述した実施の形態と同
一であり、同一の部分には同一の参照符号を付してその
詳細な説明を省略する。上記のように構成された第3の
実施の形態に係るプリント回路基板10においても、図
1および図2に示すプリント回路基板と同様に、第2層
目のベアチップ18bに凹所等を特殊加工する必要がな
く、また、金ワイヤ保護処理等を施す必要もなくなる。
そのため、複数のベアチップを容易にかつ安価に積層実
装することが可能となり、実装密度の高いプリント回路
基板を提供することができる。また、第2層目のベアチ
ップ18bの電極20に導電性突起としての金バンプ4
0を設けることにより、第1層目のベアチップ18aと
の接続性を一層向上させることができる。
【0040】図6はこの発明の第4の実施の形態に係る
プリント回路基板10を示すもので、第2の実施の形態
と同様に、ベアリップ18aないし18dを4層に積層
してプラント配線板12上に実装している。また、第2
層および第4層目のベアチップ18b、18dの電極2
0には、第3の実施の形態と同様に、導電性突起として
機能する金バンプ40が設けられている。他の構成は、
第2および第3の実施の形態と同一であり、同一の部分
には同一の参照符号を付してその詳細な説明を省略す
る。
【0041】このように構成された第4の実施の形態に
おいても、複数のベアチップを容易にかつ安価に積層実
装することが可能となり、実装密度の高いプリント回路
基板を提供することができる。また、第2層および第4
層目のベアチップ18b、18dの電極20に導電性突
起としての金バンプ40を設けることにより、ベアチッ
プ同志の接続性を一層向上させることができる。
【0042】なお、この発明は上述した実施の形態に限
定されることなく、この発明の範囲内で種々変形可能で
ある。例えば、ベアチップの積層数は、2層、4層に限
らず、必要に応じて増加可能である。
【0043】また、図7に示すように、プリント配線板
12の両面に導体パッド16を有する導体パターンを形
成し、プリント配線板の両面にそれぞれ複数のベアチッ
プを積層実装するようにしてもよい。この場合、ベアチ
ップの積層構造は上述した実施の形態と同一であり、2
層あるいは4層のいずれでもよく、また、金バンプ40
を設けても設けなくてもよい。
【0044】図8に示すように、プリント配線板12上
に第1層目のベアチップ18aを複数個実装し、これら
第1層目のベアチップ18上に、単一の第2層目のベア
チップ18eを積層実装するようにしてもよい。そし
て、第2層目のベアチップ18e上に、更に、複数の第
3層目、第4層目のベアチップを順次積層実装すること
も可能である。なお、図7および図8において、前述し
た実施の形態と同一の部分には、同一の参照符号を付し
てその詳細な説明を省略する。
【0045】
【発明の効果】以上詳述したように、この発明によれ
ば、複数のベアチップを、電極形成面同志を対向させた
状態で積層し、第1層目のベアチップの電極に設けられ
た導電性突起を端子として用いることにより、第2層目
のベアチップをプリント配線板の導体パッドに電気的に
導通させることができ、従来のようにベアチップに特殊
加工や金ワイヤ保護処理等を施す必要がなく、複数のベ
アチップを容易にかつ安価に積層実装することが可能な
実装密度の高いプリント回路基板を提供することができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の実施の形態に係るプリント回路基板
において、第2層目のベアチップを積層する前の状態を
示す断面図。
【図2】上記プリント回路基板の断面図。
【図3】この発明の第2の実施の形態に係るプリント回
路基板の断面図。
【図4】この発明の第3の実施の形態に係るプリント回
路基板において、第2層目のベアチップを積層する前の
状態を示す断面図。
【図5】上記第3の実施の形態に係るプリント回路基板
の断面図。
【図6】この発明の第4の実施の形態に係るプリント回
路基板の断面図。
【図7】この発明の第5の実施の形態に係るプリント回
路基板の断面図。
【図8】この発明の第6の実施の形態に係るプリント回
路基板の断面図。
【符号の説明】
10…プリント回路基板 12…プリント配線板 16…導体パッド 18a、18b、18c、18d、18e…ベアチップ 20…電極 22…電極形成面 24…背面 30…熱硬化性ペースト 32…金ワイヤ 34…導電性突起 40…金バンプ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H05K 1/18

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】パッドを含む導体パターンの形成されたプ
    リント配線板と、 電極の形成された電極形成面、およびこの電極形成面と
    対向した背面をそれぞれ有し、上記プリント配線板上に
    積層状態で実装された複数の半導体チップと、を備え、 上記半導体チップの内、1層目の半導体チップは、背面
    が上記プリント配線板に対向した状態でプリント配線板
    上に固定されているとともに、上記1層目の半導体チッ
    プの電極に設けられ導電性ワイヤを介して上記プリント
    配線板のパッドに電気的に接続された導電性突起を有
    し、 2層目の半導体チップは、上記電極形成面が上記1層目
    の半導体チップの電極形成面と対向し、かつ、上記電極
    が上記1層目の半導体チップの導電性突起に接触した状
    態で、1層目の半導体チップ上に実装されていることを
    特徴とするプリント回路基板。
  2. 【請求項2】パッドを含む導体パターンの形成されたプ
    リント配線板と、 電極の形成された電極形成面、およびこの電極形成面と
    対向した背面をそれぞれ有し、上記プリント配線板上に
    積層状態で実装された複数の半導体チップと、を備え、 上記半導体チップの内、1層目の半導体チップは、背面
    が上記プリント配線板に対向した状態でプリント配線板
    上に固定されているとともに、上記1層目の半導体チッ
    プの電極に設けられ導電性ワイヤを介して上記プリント
    配線板のパッドに電気的に接続された導電性突起を有
    し、 2層目の半導体チップは、上記電極形成面が上記1層目
    の半導体チップの電極形成面と対向し、かつ、上記電極
    が上記1層目の半導体チップの導電性突起に接触した状
    態で、1層目の半導体チップ上に実装され、 3層目の半導体チップは、その背面が上記2層目の半導
    体チップの背面上に固定された状態で2層目の半導体チ
    ップ上に積層されているとともに、上記3層目の半導体
    チップの電極に設けられ導電性ワイヤを介して上記プリ
    ント配線板のパッドに電気的に接続された導電性突起を
    有し、 4層目の半導体チップは、上記電極形成面が上記3層目
    の半導体チップの電極形成面と対向し、かつ、上記電極
    が上記3層目の半導体チップの導電性突起に接触した状
    態で、3層目の半導体チップ上に実装されていることを
    特徴とするプリント回路基板。
  3. 【請求項3】パッドを含む導体パターンの形成されたプ
    リント配線板と、 電極の形成された電極形成面、およびこの電極形成面と
    対向した背面をそれぞれ有し、上記プリント配線板上に
    実装された複数の1層目の半導体チップと、 上記複数の1層目の半導体チップ上に積層実装された2
    層目の半導体チップと、を備え、 上記各1層目の半導体チップは、背面が上記プリント配
    線板に対向した状態でプリント配線板上に固定されてい
    るとともに、上記各1層目の半導体チップの電極に設け
    られ導電性ワイヤを介して上記プリント配線板のパッド
    に電気的に接続された導電性突起を有し、 上記2層目の半導体チップは、上記電極形成面が複数の
    上記1層目の半導体チップの電極形成面と対向し、か
    つ、上記電極が上記1層目の半導体チップの導電性突起
    に接触した状態で、複数の上記1層目の半導体チップ上
    に実装されていることを特徴とするプリント回路基板。
  4. 【請求項4】上記半導体チップの導電性突起は、ボール
    ボンディングにより形成された突起であることを特徴と
    する請求項1叉は2に記載のプリント回路基板。
  5. 【請求項5】上記2層目の半導体チップは、上記電極上
    に形成された導電性突起を有し、上記導電性突起が上記
    1層目の半導体チップの導電性突起に接触した状態で、
    上記1層目の半導体チップ上に実装されていることを特
    徴とする請求項1、3、4のいずれか1項に記載のプリ
    ント回路基板。
  6. 【請求項6】上記2層目および4層目の半導体チップ
    は、上記電極上に形成された導電性突起を有し、上記導
    電性突起が上記1層目および3層目の半導体チップの導
    電性突起に接触した状態で、上記1層目および3層目の
    半導体チップ上にそれぞれ実装されていることを特徴と
    する請求項2叉は4のいずれか1項に記載のプリント回
    路基板。
  7. 【請求項7】パッドを含む導体パターンの形成されたプ
    リント配線板上に、電極の形成された電極形成面および
    この電極形成面と対向した背面をそれぞれ有する複数の
    半導体チップを積層実装する半導体チップの積層方法に
    おいて、 1層目の半導体チップを、その背面が上記プリント配線
    板に対向した状態でプリント配線板上に固定し、 上記プリント配線板上に固定された上記1層目の半導体
    チップの電極を、ワイヤボンディングによって上記プリ
    ント配線板のパッドに電気的に接続し、 上記ワイヤボンディングの際、上記1層目の半導体チッ
    プの電極上に、ボールボンディングにより導電性突起を
    形成し、 2層目の半導体チップを、その電極形成面が上記1層目
    の半導体チップの電極形成面と対向し、かつ、上記電極
    が上記1層目の半導体チップの導電性突起に接触した状
    態で、1層目の半導体チップ上に実装することを特徴と
    する半導体チップの積層方法。
  8. 【請求項8】パッドを含む導体パターンの形成されたプ
    リント配線板上に、電極の形成された電極形成面および
    この電極形成面と対向した背面をそれぞれ有する複数の
    半導体チップを積層実装する半導体チップの積層方法に
    おいて、 1層目の半導体チップを、その背面が上記プリント配線
    板に対向した状態でプリント配線板上に固定し、 上記プリント配線板上に固定された上記1層目の半導体
    チップの電極を、ワイヤボンディングによって上記プリ
    ント配線板のパッドに電気的に接続し、 上記ワイヤボンディングの際、上記1層目の半導体チッ
    プの電極上に、ボールボンディングにより導電性突起を
    形成し、 2層目の半導体チップを、その電極形成面が上記1層目
    の半導体チップの電極形成面と対向し、かつ、上記電極
    が上記1層目の半導体チップの導電性突起に接触した状
    態で、1層目の半導体チップ上に実装し、 3層目の半導体チップを、その背面が上記2層目の半導
    体チップの背面上に固定された状態で2層目の半導体チ
    ップ上に積層し、 上記2層目の半導体チップ上に固定された上記3層目の
    半導体チップの電極を、ワイヤボンディングによって上
    記プリント配線板のパッドに電気的に接続し、 上記ワイヤボンディングの際、上記3層目の半導体チッ
    プの電極上に、ボールボンディングにより導電性突起を
    形成し、 4層目の半導体チップを、その電極形成面が上記1層目
    の半導体チップの電極形成面と対向し、かつ、上記電極
    が上記3層目の半導体チップの導電性突起に接触した状
    態で、3層目の半導体チップ上に実装することを特徴と
    する半導体チップの積層方法。
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