JP4034468B2 - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本願発明は、複数のウエハを積層してウエハユニットとした後に、このユニットを分画して個別の半導体装置を製造する方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
電子機器を小型化する観点からは、これに組み込まれる半導体装置などの電子部品や回路基板などを小型化し、また回路基板に対して高密度に電子部品を実装することが要求される。このため、ベアチップの状態の半導体チップを、フェイスダウン方式で回路基板に実装することも考えられるが、これでは半導体チップの回路素子が十分に保護されないため好ましくない。そこで、半導体チップの回路素子を保護しつつ、半導体チップのサイズにより近づけた形態の半導体装置が提案されている。
【0003】
このような半導体装置としては、図9に示したものがある。同図に示した半導体装置1Aは、絶縁基板5Aの一面側に、樹脂接着剤3Aを介してフェイスダウン方式で半導体チップ2Aが実装されている。そして、絶縁基板5Aの他面側には、半導体チップ2Aに設けられた端子部20Aに導通するようにしてボール状端子4Aが複数個設けられている。このように構成された半導体装置1Aは、ボール状端子4Aを再溶融・固化させることによって回路基板などに実装可能とされているとともに、絶縁基板5Aや、樹脂接着剤3Aによって半導体チップ2Aの端子部20Aが形成された面側(回路素子など)が保護されている。そして、絶縁基板5Aの平面視サイズが、半導体チップ2Aの平面視サイズと略同サイズとされ、半導体装置1Aの小型化が図られている。
【0004】
また、図10に示したように、複数(同図では2つ)の半導体チップ2A,2Bを積層した形態の半導体装置1Bもある。この半導体装置1Bは、図9に示した半導体チップ2A上に、さらに第2の半導体チップ2Bが実装されており、当該半導体チップ2Bの端子部21Bが絶縁基板5Aの周縁部に設けられた端子部50AとワイヤWを介して電気的に接続されている。そして、第1の半導体チップ2Aに導通するボール状端子4Aとともに、第2の半導体チップ2Bに導通するようにして、絶縁基板5Aの他面側にボール状端子4Bが形成され、ワイヤWや各半導体チップ2A,2Bを封止するようにして樹脂パッケージ6Aが形成されている。このように構成された半導体装置1Bでは、樹脂パッケージ6Aや絶縁基板5Aによって各半導体チップ2A,2Bの回路素子が保護されているとともに、平面視サイズが半導体チップ2A,2Bのサイズに近づけられている。そして、2種類の半導体チップ2A,2Bがシステム化されていることから、当該半導体装置1Bを回路基板に実装した場合には、実質的には2つの半導体装置が実装されたのと同様な効果が得られ、実質的な実装密度を高めることができる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
図9に示した半導体装置1Aは、ウエハを分割して得られた半導体チップ2Aを、樹脂接着剤3Aを介して絶縁基板5Aに実装した後に、絶縁基板5Aの裏面側にハンダなどによってボール状端子4Aを形成することによって製造される。一方、図10に示した半導体装置1Aは、ウエハを分割して得られた第1の半導体チップ2Aを樹脂接着剤3Aを介して絶縁基板5Aに実装するとともに第2の半導体チップ2Bを積層し、ワイヤボンディング工程、樹脂パッケージング工程、およびボール状端子形成工程を経て得られる。
【0006】
すなわち、上記した各半導体装置1A,1Bでは、半導体チップ2A(2B)を得るべくウエハ状態で行なわれる工程と、半導体チップ2A(2B)の状態で行なわれる工程とがあり、作業効率が悪く、コスト的に不利である。とくに、半導体チップ2A(2B)の状態で行なわれる工程は、複数の半導体チップ2A(2B)について個別に行なわれることから、ウエハ状態で一括して処理する場合に比較して効率が悪い。とくに、図10に示した半導体装置では、2つの半導体チップ2A,2Bが積層された形態とされていることから、著しく効率が悪いばかりか、ワイヤボンディング工程や樹脂パッケージング工程も必要となる。
【0007】
本願発明は、上記した事情のもとで考え出されたものであって、半導体チップの回路素子が適切に保護され、半導体チップのサイズにより近づけられた半導体装置を、作業効率良くコスト的に有利に提供できるようにすることをその課題としている。
【0008】
【発明の開示】
上記の課題を解決するため、本願発明では、次の技術的手段を講じている。すなわち、本願発明により提供される半導体装置の製造方法は、回路素子およびこれに導通する端子部が形成された領域が一面側に複数設けられたウエハどうしを、各々の領域の端子部どうしが互いに対向した状態で電気的に導通するようにして接続する工程と、各ウエハをそれらの他面側から平面的に削ることにより厚みを小さくする工程と、一方のウエハにおける他面側に、当該ウエハの一面側に設けられた各端子部に対して電気的に導通する複数の外部端子を形成する工程と、一方のウエハおよび他方のウエハを接続したウエハユニットを、上記各領域毎に分割して個々の半導体装置とする工程と、を含み、上記外部端子を形成する工程は、上記一方のウエハの他面から、当該ウエハの一面側に形成された端子部が臨むようにして孔を形成した後に、この孔内に導体を充填してビアホールを形成する工程を含むとともに、上記一方のウエハには、上記ビアホールから突出するようにして上記外部端子が設けられることを特徴としている。
【0009】
従来の半導体装置の製造方法では、回路素子などを造り込んだウエハを分画(ダイシング)して個々の半導体チップする段階と、個々の半導体チップとしてからの段階(たとえば絶縁基板に半導体チップを実装する工程やハンダ端子を形成する工程)とからなり、これが作業効率を悪化させていたのは上述の通りである。
【0010】
これに対して本願発明は、回路素子などを造り込んだウエハを分画して個々の半導体チップとせずに、複数(たとえば2つ)のウエハを接続してウエハユニットとした後に、ウエハユニットの状態で外部端子を形成し、これを分割して複数の半導体チップが積層された形態の個々の半導体装置が得られるようになされている。
【0011】
このように本願発明では、半導体装置ができあがるまでのプロセスの全てがウエハユニットの状態で行なわれ、個別化された半導体チップの状態で作業を行なうことがないため、作業効率が著しく改善される。しかも、本願発明では、ウエハユニットを分画した状態で半導体装置とされていることから、半導体装置の平面視サイズが半導体チップのそれと同一であり、本願発明によって得られる半導体装置は、小型化が達成されている。
【0012】
また、本願発明の製造方法によって得られる半導体装置は、複数の半導体チップが積層され、システム化された恰好となっている。このため、当該半導体装置を回路基板に実装した場合には、1チップのスペースに複数の半導体装置が同時に実装された恰好となり、回路基板における実質的な実装密度を高めることができる。
【0013】
ここで、一方のウエハと他方のウエハとの接続は、たとえばこれらのウエハの各領域に形成された端子部の配置が鏡像関係にない場合には集合配線板を介して行なわれ、鏡像関係にある場合には直接的に行なわれる。
【0014】
前者の場合、集合配線板としては、一方のウエハの各端子部の配置に対応して一面側に複数の端子部が形成され、かつ他方のウエハの各端子部の配置に対応して他面側に複数の端子部が形成されたものが使用される。また、各ウエハと集合配線板との接続は、たとえば絶縁性樹脂成分内に導体成分を分散させた形態を有する異方性導電接着剤の導体成分を、各ウエハの端子部と集合配線板の端子部との間に介在させて端子部どうしを電気的に接続するとともに、一方のウエハ一面と配線板の一面の間および他方のウエハの一面と配線板の他面との間の双方に、樹脂成分を介在させて機械的に接続することによって行なわれる。
【0015】
後者の場合、ウエハどうしの接続は、たとえば上記した異方性導電接着剤の導体成分を、各ウエハの端子部の間に介在させて端子部どうしを電気的に接続するとともに、各ウエハの一面の間に樹脂成分を介在させて機械的に接続することによって行なわれる。また、各ウエハの端子部どうしを導体ペーストを用いて直接的かつ電気的に接続するとともに、各ウエハの一面をどうしを樹脂接着剤を用いて機械的に接続することによってウエハどうしの接続を行なってもよい。
【0016】
外部端子を形成する工程は、一方のウエハの他面から、当該ウエハの端子部が臨むようにして孔を形成した後に、この孔内に導体を充填してビアホールを形成する工程を含んでおり、たとえば、ビアホールから突出するようにしてボール状ないしバンプ状の外部端子が設けられる。
【0017】
もちろん、一方のウエハおよび他方のウエハからなるウエハユニットを分割する以前において、他方のウエハの他面に、当該ウエハの一面側に設けられた各端子部に導通する接続用端子部を形成するとともに、第3のウエハを、これに設けられた端子部と上記各接続用端子部とが導通するようにして積層してウエハユニットとし、また、同様にして第4、第5のウエハといったように順次ウエハを積層してウエハユニットを形成してもよい。
【0018】
本願発明のその他の特徴および利点は、添付図面を参照して以下に行う詳細な説明によって、より明らかとなろう。
【0019】
【発明の実施の形態】
以下、本願発明の好ましい実施の形態を、図面を参照して具体的に説明する。なお、図1は、本願発明に係る製造方法によって得られる半導体装置の一例を表す断面図、図2ないし図8は、本願発明に係る半導体装置の製造方法を説明するための図である。
【0020】
図1に示した半導体装置1は、同じ平面視サイズを有する第1から第3の半導体チップ2a,2b,2cが積層された形態となっており、第1の半導体チップ2aと第2の半導体チップ2bとは第1の配線板5aを介して、第2の半導体チップ2bと第3の半導体チップ2cとは第2の配線板5bを介してそれぞれ接続されている。そして、各半導体チップ2a,2b,2cと各配線板5a,5bとは、異方性導電接着剤3を介して電気的かつ機械的に接続されている。
【0021】
第1から第3の半導体チップ2a,2b,2cのそれぞれの一面側には、回路素子(図示略)およびこれに導通する複数の端子パッド20a,20b,20cが一体的に造り込まれており、これらの端子パッド20a,20b,20c上には、金などによってバンプ端子21a,21b,21cが形成されている。
【0022】
第1の半導体チップ2aの他面側には、ハンダによってボール状に形成された複数の外部端子4が形成されている。これらの外部端子4は、タングステンなどによって形成されたビアホール22aを介して、対応する端子パッド20aと導通している。
【0023】
第2の半導体チップ2bの他面側には、金などによってバンプ端子23bが形成されており、これらのバンプ端子23bは、タングステンなどによって形成されたビアホール22bを介して、対応する端子パッド20bと導通している。
【0024】
第1の配線板5aは、基材がポリイミド樹脂などの絶縁性を有する材料によって形成されており、その両面に複数の端子部50a,51aがそれぞれ形成されている。一面側に形成された端子部50aは、第1の半導体チップ2aの一面側に形成されたバンプ端子21aの配置に対応して形成されており、他面側に形成された端子部51aは、第2の半導体チップ2bの一面側に形成されたバンプ端子21bに対応して形成されている。そして、一面側に形成された端子部50aは、基材を貫通するようにして形成されたビアホール52aを介して、対応する他面側の端子部51aと導通接続されている。
【0025】
第2の配線板5bも同様に、絶縁性を有する基材の両面に複数の端子部50b,51bがそれぞれ形成されている。一面側に形成された端子部50bは、第2の半導体チップ2bの他面側に形成されたバンプ端子23bの配置に対応して形成されており、他面側に形成された端子部51bは、第3の半導体チップ2cの一面側に形成されたバンプ端子21cに対応して形成されている。そして、一面側に形成された端子部50bは、基材を貫通するようにして形成されたビアホール52bを介して、対応する他面側の端子部51bと導通接続されている。
【0026】
異方性導電接着剤3は、エポキシ樹脂などの絶縁性を有する樹脂成分3b内に、金ボールなどの導体成分3aを分散させた形態となっている。そして、半導体チップのバンプ端子と配線板の端子部との間に導体成分3aが介在させられて半導体チップと配線板が電気的に接続され、半導体チップと配線板に介在する樹脂成分3bによって半導体チップと配線板とが機械的に接続されている。
【0027】
結局、第1から第3の半導体チップ2a,2b,2cは、機械的かつ電気的に相互に接続されてシステム化されており、各半導体チップ2a,2b,2cは、相互に電気的な信号の送受を行なえるとともに、外部端子4を介して、半導体装置1の外部との電気的な信号などの送受が可能とされている。
【0028】
このように構成された半導体装置1は、たとえば以下の工程を経て製造される。
【0029】
まず、図2に示したように、同一平面視形状とされた第1のウエハWf1、異方性導電膜30、集合配線板50A、異方性導電膜30、および第2のウエハWf2のそれぞれを順次積層する。第1のウエハWf1は、回路素子(図示略)やバンプ端子21aなどを含む第1の半導体チップ2a(図1参照)となるべき矩形領域A1が複数設けられたものであり、第2のウエハWf2は、回路素子(図示略)やバンプ端子21bなどを含む第2の半導体チップ2b(図1参照)となるべき矩形領域が複数設けられたものである。異方性導電膜30は、エポキシ樹脂などの絶縁性を有する樹脂成分3b内に、金ボールなどの導体成分3aを分散させた形態となっている(図3参照)。第1の集合配線板50Aは、第1の配線板5aとなるべき矩形領域A2が複数設けられ、その一面側には第1のウエハWf1のバンプ端子21aの配置に対応して複数の端子部50aが形成されており、他面側には第2のウエハWf2のバンプ端子21bの配置に対応して複数の端子部51aが形成されている。
【0030】
上記した順序で各ウエハWf1,Wf2や集合配線板50Aなどを積層した場合には、各ウエハWf1,Wf2と集合配線板50Aとの間に異方性導電膜30がそれぞれ介在することから、この異方性導電膜30によって各ウエハWf1,Wf2と集合配線板50Aと機械的かつ電気的に接続される。具体的には、加熱により樹脂成分30bを軟化させ、第2のウエハWf2を押圧しつつ樹脂成分30bを熱硬化させればよい。
【0031】
このとき、各ウエハWf1,Wf2のバンプ端子21a,21bと集合配線板50Aの端子部50a,51aの間に存在する軟化させられた樹脂成分30bは、第2のウエハWf2を押圧することによって押し退けられ、各ウエハWf1,Wf2のバンプ端子21a,21bと集合配線板50Aの端子部50a,51aの間には導電成分30aが選択的に介在させられる。これにより、各ウエハWf1,Wf2のバンプ端子21a,21bと集合配線板50Aの端子部50a,51aの間が電気的に接続され、ひいては第1のウエハWf1と第2のウエハWf2とが電気的に接続される。
【0032】
一方、第1のウエハWf1の一面と集合配線板50Aの一面との間、および第2のウエハWf2の一面と集合配線板50Aの他面との間には、熱硬化した樹脂成分30bが介在しており、この樹脂成分30bによって各ウエハWf1,Wf2と集合配線板50Aとの間が機械的に接続される。この状態においては、各ウエハWf1,Wf2における各回路素子が形成された面が樹脂成分30bによって覆われて保護されている。
【0033】
次に、図5に示したように、各ウエハWf1,Wf2のそれぞれの厚みを、他面側から研磨するなどして小さくする。各ウエハWf1,Wf2は、一面側の表層部にのみ回路素子が一体的に造り込まれていることから、他面側から一定厚み分だけ研磨しても回路素子にダメージを与えることはない。
【0034】
次いで、図4に示したように、各ウエハWf1,Wf2に複数のビアホール22a,22bをそれぞれ形成するとともに、第2のウエハWf2の他面側に複数のバンプ端子23bを形成する。
【0035】
各ビアホール22a,22bは、各ウエハWf1,Wf2の各々の端子パッド20a,20bが露出するようにして各ウエハWf1,Wf2を他面側から孔を形成した後に、これらの孔内に導体を充填することによって形成される。各孔の形成は、エッチング処理、NC加工などの機械加工を施すことによって行なわれ、各孔に充填する導体としては、タングステンが好適に採用される。
【0036】
バンプ端子23bは、たとえば電解メッキあるいは無電解メッキによって形成される。具体的には、第2のウエハWf2の他面側にレジスト層を形成するとともにビアホール22bが露出するようにしてレジスト層に貫通孔を形成し、この状態において金メッキなどを施した後に、レジスト層を除去することによって形成される。
【0037】
次に、図6および図7に示したように、同一平面視形状とされた異方性導電膜30、第2の集合配線板50B、異方性導電膜30、および第3のウエハWf3のそれぞれを、これらの順序で、先に述べた方法と同様な方法で積層する。すなわち、異方性導電膜30の樹脂成分30bを加熱により軟化させるとともに、この状態において、第3のウエハWf3を他のウエハWf1,Wf2側に押圧しつつ樹脂成分30bを熱硬化させることによって行なわれる。こうすれば、ウエハWf3と他のウエハWf1,Wf2とが、第2の集合配線板50Bを介して電気的に導通するとともに、異方性導電膜30の樹脂成分30bによって機械的に接続されて複数のウエハWf1,Wf2,Wf3が積層されたウエハユニットが得られる。
【0038】
次いで、図8に示したように、ウエハユニットの状態において、第1のウエハWf1の他面側に、各ビアホール22aに対応してボール状の外部端子4を形成する。これらの外部端子4は、たとえばハンダボールを各ビアホール22aに固着するなどして形成される。
【0039】
最後に、図8などにおいて仮想線で示したラインに沿ってウエハユニットを分画(ダイシング)することによって、図1に示したような個々の半導体装置1が得られる。
【0040】
以上に説明した製造方法では、回路素子などを造り込んだウエハを分画して個々の半導体チップとせずに、ウエハWf1,Wf2,Wf3どうしを接続してウエハユニットとした後に、この状態で外部端子4を形成し、これを分割して半導体チップ2a,2b,2cが積層された形態の個々の半導体装置1(図1参照)が得られるようになされている。
【0041】
このように、本実施形態の製造方法は、半導体装置1が出来上がるまでのプロセスの全てがウエハ状態で行なわれ、個別化された半導体チップの状態で作業を行なうことがないため、作業工程が簡略化されるとともに、作業効率が著しく改善される。しかも、ウエハユニットを分画した状態で個々の半導体装置1とされることから、半導体装置1の平面視サイズが半導体チップ2a,2b,2cのそれと同一であり(図1参照)、当該半導体装置1は限りなく半導体チップの平面視サイズに近づけられて、小型化が達成されている。
【0042】
また、本実施形態に係る製造方法によって得られる半導体装置1は、3つの半導体チップ2a,2b,2cが積層され、システム化された恰好となっている(図1参照)。このため、当該半導体装置1を回路基板に実装した場合には、1チップのスペースに3つの半導体装置が同時に実装された恰好となり、回路基板における実質的な実装密度を高めることができる。
【0043】
なお、本実施形態では、3枚のウエハWf1,Wf2,Wf3を積層してウエハユニットを構成していたが、2枚のウエハによって、あるいは4枚以上のウエハによってウエハユニットを構成して半導体装置を得る場合においても、本願発明の技術思想を適用することができる。
【0044】
また、本実施形態では、第1および第2のウエハWf1,Wf2にビアホール22a,22bを形成する際に、各ウエハWf1,Wf2の他面側を研磨するなどしてその厚みを小さくしたが、ビアホール22a,22bの形成に際して、必ずしも各ウエハWf1,Wf2の厚みを小さくする必要はない。
【0045】
さらに、第1のウエハWf1の一面および第2のウエハWf2の一面に形成されたバンプ端子21a,21bの配置、あるいは第2のウエハWf2の他面に形成されたバンプ端子23bおよび第3のウエハWf3の一面に形成されたバンプ端子21cの配置が鏡像関係となるように形成されている場合には、必ずも集合配線板50A,50Bを採用して各ウエハWf1,Wf2,Wf3を接続する必要はない。
【0046】
その他、第1および第2のウエハWf1,Wf2のビアホール22a,22bは、これらのウエハWf1,Wf2を接続する以前において、個々のウエハWf1,Wf2の状態で予め形成しておいてもよく、研磨などによる第1および第2のウエハWf1,Wf2の厚みの削減もまた、各ウエハWf1,Wf2を接続する以前において、個々のウエハWf1,Wf2の状態で予め行なっておいてもよい。
【図面の簡単な説明】
【図1】本願発明に係る製造方法によって得られる半導体装置の一例を表す断面図である。
【図2】本願発明に係る半導体装置の製造方法を説明するための斜視図である。
【図3】本願発明に係る半導体装置の製造方法を説明するための要部断面図である。
【図4】本願発明に係る半導体装置の製造方法を説明するための要部断面図である。
【図5】本願発明に係る半導体装置の製造方法を説明するための要部断面図である。
【図6】本願発明に係る半導体装置の製造方法を説明するための斜視図である。
【図7】本願発明に係る半導体装置の製造方法を説明するための要部断面図である。
【図8】本願発明に係る半導体装置の製造方法を説明するための要部断面図である。
【図9】従来の半導体装置の一例を表す断面図である。
【図10】従来の半導体装置の他の例を表す断面図である。
【符号の説明】
1 半導体装置
Wf1 第1のウエハ
Wf2 第2のウエハ
Wf3 第3のウエハ
30 異方性導電膜
30a 導電成分(異方性導電膜の)
30b 樹脂成分(異方性導電膜の)
4 外部端子
50A 第1の集合配線板
50B 第2の集合配線板
21a バンプ端子(第1の半導体チップまたはウエハの)
21b,23b バンプ端子(第2の半導体チップまたはウエハの)
21c バンプ端子(第3の半導体チップまたはウエハの)
50a,51a バンプ端子(第1の集合配線板または配線板の)
50b,51b バンプ端子(第2の集合配線板または配線板の)
A1 領域(第1のウエハの)
A2 領域(第1の集合配線板の)
Claims (6)
- 回路素子およびこれに導通する端子部が形成された領域が一面側に複数設けられたウエハどうしを、各々の領域の端子部どうしが互いに対向した状態で電気的に導通するようにして接続する工程と、
各ウエハをそれらの他面側から平面的に削ることにより厚みを小さくする工程と、
一方のウエハにおける他面側に、当該ウエハの一面側に設けられた各端子部に対して電気的に導通する複数の外部端子を形成する工程と、
一方のウエハおよび他方のウエハを接続したウエハユニットを、上記各領域毎に分割して個々の半導体装置とする工程と、を含み、
上記外部端子を形成する工程は、上記一方のウエハの他面から、当該ウエハの一面側に形成された端子部が臨むようにして孔を形成した後に、この孔内に導体を充填してビアホールを形成する工程を含むとともに、上記一方のウエハには、上記ビアホールから突出するようにして上記外部端子が設けられることを特徴とする、半導体装置の製造方法。 - 上記一方のウエハと上記他方のウエハとを接続する工程は、上記一方のウエハの各端子部の配置に対応して一面側に複数の端子部が形成され、かつ上記他方のウエハの各端子部の配置に対応して他面側に複数の端子部が形成された集合配線板を、上記各ウエハの間に介在させ、上記集合配線板の端子部と上記各ウエハの端子部のそれぞれとを電気的に接続する工程を含んでいる、請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 上記各ウエハと上記集合配線板との接続は、絶縁性樹脂成分内に導体成分を分散させた形態を有する異方性導電接着剤の上記導体成分を、各ウエハの端子部と上記集合配線板の端子部との間に介在させて端子部どうしを電気的に接続するとともに、上記一方のウエハの一面と上記集合配線板の一面の間および上記他方のウエハの一面と上記集合配線板の他面との間の双方に、上記樹脂成分を介在させて機械的に接続することによって行なわれる、請求項2に記載の半導体装置の製造方法。
- 上記ウエハどうしの接続は、絶縁性樹脂成分内に導体成分を分散させた形態を有する異方性導電接着剤の上記導体成分を、上記各ウエハの端子部の間に介在させて端子部どうしを電気的に接続するとともに、上記各ウエハの一面の間に上記樹脂成分を介在させて機械的に接続することによって行なわれる、請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 上記ウエハどうしの接続は、上記各ウエハの端子部どうしを導体ペーストを用いて直接的かつ電気的に接続するとともに、上記各ウエハの一面どうしを樹脂接着剤を用いて機械的に接続することによって行なわれる、請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 上記一方のウエハおよび他方のウエハからなるウエハユニットを分割する以前において、上記他方のウエハの他面に、当該ウエハの一面側に設けられた各端子部に導通する接続用端子部を形成するとともに、第3のウエハを、これに設けられた端子部と上記各接続用端子部とが導通するようにして積層する工程をさらに含んでいる、請求項1ないし5のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。
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