JPH09324049A - 架橋ポリイミド、その前駆体および製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】従来のポリイミドと比較して特に耐薬品性が良
好な塗膜を提供する。 【解決手段】硬化により主鎖あるいは末端の少なくとも
一部がシロキサン結合で架橋された線状ポリイミドを与
える前駆体、および該架橋ポリイミド。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は半導体用バッファコ
−ト、層間絶縁膜、パッシベ−ション膜等を形成する電
子材料に関するものであり、特に液晶素子におけるカラ
−フィルタ−の画素を形成するのに好適な材料を提供す
るポリイミド、その前駆体およびその製造方法に関する
ものである。

【０００２】

【従来の技術】芳香族テトラカルボン酸２無水物または
その誘導体と芳香族ジアミンとをＮ−メチル−２−ピロ
リドン等の非プロトン性極性溶剤中において、通常８０
℃以下で付加重合させポリアミック酸として、これをイ
ミド閉環させて得られるポリイミドは耐熱性、電気絶縁
性、強靭性、耐薬品性等に優れた特性を有することが知
られ、特に電子材料として広く使用されている。また、
近年、液晶素子に色分解用カラ−フィルタ−を組み合わ
せたカラ−液晶表示素子が、多々提案されているが、こ
のカラ−フィルタ−を構成する画素あるいはブラックマ
トリックスの担体樹脂としても、ポリイミドが有効に使
用されている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、ポリ
イミドの有する耐熱性、電気絶縁性、強靭性、耐薬品性
さらには密着性等の特性を容易な手法でさらに優れたも
のとすることにあり、特に電子材料としての利用範囲を
拡げることにある。

【０００４】

【課題を解決するための手段】かかる本発明の目的は、
主鎖あるいは末端の少なくとも一部がシロキサン結合で
架橋されていることを特徴とする線状ポリイミドによっ
て達成され、かかるポリイミドは下記（１）〜（７）の
構成を有するポリイミド前駆体を加熱硬化せしめること
により、容易に得ることができるものである。

【０００５】（１）ポリイミド前駆体が下記Ａ、Ｂ、成
分から主としてなることを特徴とする請求項２記載のポ
リイミド前駆体。

【０００６】（Ａ）一般式（１）で表される構造単位を
主成分とするポリアミック酸

【化２】 （但し、Ｒ1 は多価カルボン酸残基、Ｒ2 は多価アミン
残基であり、ｎは０あるいは１〜４の整数である） （Ｂ）アミノアルキル多価アルコキシシランあるいはア
ミノアリール多価アルコキシシランの加水分解物、ある
いはこれらの縮合物と多価カルボン酸無水物の反応体。

【０００７】（２）ポリイミド前駆体が下記Ａ、Ｂ、成
分から主としてなることを特徴とする請求項２記載のポ
リイミド前駆体。

【０００８】（Ａ）一般式（１）で表される構造単位を
主成分とするポリアミック酸。

【０００９】（Ｂ）アミノアルキル多価アルコキシシラ
ンの加水分解物あるいはアミノアリール多価アルコキシ
シランの加水分解物ないしこれらの縮合物と多価カルボ
ン酸との反応体。

【００１０】（３）ポリイミド前駆体が下記Ａ、Ｂ、成
分から主としてなることを特徴とする請求項２記載のポ
リイミド前駆体。

【００１１】（Ａ）一般式（１）で表される構造単位を
主成分とするポリアミック酸。

【００１２】（Ｂ）アミノアルキル多価アルコキシシラ
ンあるいはアミノアリール多価アルコキシシランと多価
カルボン酸無水物の反応体。

【００１３】（４）ポリイミド前駆体が下記Ａ、Ｂ、成
分から主としてなることを特徴とする請求項２記載のポ
リイミド前駆体。

【００１４】（Ａ）一般式（１）で表される構造単位を
主成分とするポリアミック酸。

【００１５】（Ｂ）アミノアルキル多価アルコキシシラ
ンあるいはアミノアリール多価アルコキシシランと多価
カルボン酸の反応体。

【００１６】（５）ポリイミド前駆体が下記Ａ、Ｂ、成
分から主としてなることを特徴とする請求項２記載のポ
リイミド前駆体。

【００１７】（Ａ）一般式（１）で表される構造単位を
主成分とするポリアミック酸。

【００１８】（Ｂ）アミノアルキル多価アルコキシシラ
ンあるいはアミノアリール多価アルコキシシランの加水
分解物、あるいはこれらの縮合物。

【００１９】（６）ポリイミド前駆体が下記Ａ、Ｂ、成
分から主としてなることを特徴とする請求項２記載のポ
リイミド前駆体。

【００２０】（Ａ）一般式（１）で表される構造単位を
主成分とするポリアミック酸。

【００２１】（Ｂ）アミノアルキル多価アルコキシシラ
ン縮合体、あるいはアミノアリール多価アルコキシシラ
ンの縮合体。

【００２２】（７）アミノアルキル多価アルコキシシラ
ンあるいはアミノアリール多価アルコキシシランの加水
分解縮合物、あるいは縮合物を多価アミン成分の少なく
とも一部としてテトラカルボン酸無水物と反応せしめて
得られるポリアミック酸。

【００２３】

【発明の実施の形態】本発明者等は線状芳香族ポリイミ
ドの有する耐熱性、電気絶縁性、強靭性、耐薬品性、さ
らには接着性等の特性をさらに優れたものとするため
に、主鎖あるいは末端にシロキサン結合架橋を導入する
ことを着想し、鋭意検討した結果、上記の（１）〜
（６）の構成における（Ｂ）成分が線状ポリイミドの主
鎖あるいは末端にシロキサン結合架橋を生じさせる架橋
剤となり、これを（Ａ）成分であるポリアミック酸と混
合してなるポリイミド前駆体を加熱硬化せしめることに
より、容易に目的とするポリイミドを得ることができる
ことを見出だし、本発明に到達したものである。 架橋
構造の存在は極性溶剤に溶解性を持つポリイミドへの顕
著な耐溶剤性の付与効果から間接的に証明することが可
能である。

【００２４】本発明において（Ａ）成分として使用され
るポリアミック酸としては公知のポリアミック酸のすべ
てを使用することができるが、通常は芳香族テトラカル
ボン酸２無水物またはその誘導体と芳香族ジアミンとを
Ｎ−メチル−２−ピロリドン等の非プロトン性極性溶剤
中において、通常８０℃以下で付加重合させて得られる
ポリアミック酸である。芳香族テトラカルボン酸２無水
物としては特に限定されるものではないが、具体的には
ピロメリット酸２無水物、３，３´，４，４´−ベンゾ
フェノンテトラカルボン酸２無水物、３，３´，４，４
´−ビフェニルテトラカルボン酸２無水物、３，３´，
４，４´−ジフェニルエ−テルテトラカルボン酸２無水
物、３，３´，４，４´−ジフェニルスルフォンテトラ
カルボン酸２無水物等が挙げられ、芳香族ジアミンして
はp-フェニレンジアミン、m-フェニレンジアミン、３，
３´−ジアミノジフェニルエーテル、４，４´−ジアミ
ノジフェニルエーテル、３，４´−ジアミノジフェニル
エーテル、４，４´−ジアミノジフェニルメタン、３，
３´−ジアミノジフェニルスルフォン、４，４´−ジア
ミノジフェニルスルフォン、４，４´−ジアミノジフェ
ニルサルファイド等が挙げられるがこれらに限定される
ものではない。

【００２５】本発明において（Ｂ）成分の原料として使
用されるアミノアルキル多価アルコキシシランあるいは
アミノアリール多価アルコキシシランとしては特に限定
されるものではないが、具体的にはγ−アミノプロピル
トリエトキシシラン、γ−アミノプロピルメチルジエト
キシシラン、アミノフェニルトリメトキシシラン、γ−
アミノプロピルトリメトキシシラン、γ−アミノプロピ
ルメチルジメトキシシラン、２−アミノエチルアミノメ
チルトリメチルシラン、２−アミノエチルアミノメチル
トリメトキシシラン、３−アミノプロピルジメチルエト
キシシラン、２−（２−アミノエチルチオエチル）トリ
エトキシシラン等を挙げることができ、本発明ではこれ
らの加水分解物および／あるいは加水分解縮合物を使用
することができる。これらのアミノアルキルアルコキシ
シラン、アミノアリールアルコキシシラン、これらの加
水分解物および／あるいは加水分解縮合物と反応せしめ
る多価カルボン酸あるいはその酸無水物としては公知の
該当多価カルボン酸あるいはその酸無水物が広く使用で
きるが、具体的にはピロメリット酸、３，３´，４，４
´−ベンゾフェノンテトラカルボン酸、３，３´，４，
４´−ビフェニルテトラカルボン酸、３，３´，４，４
´−ジフェニルエ−テルテトラカルボン酸、１，２，
３，４−シクロブタンテトラカルボン酸、１，２，３，
４−ブタンテトラカルボン酸、トリメリット酸、ナジッ
ク酸もしくはこれらの混合物あるいはその酸無水物等を
挙げることができ、特に芳香族テトラカルボン酸、脂肪
族テトラカルボン酸、芳香族トリカルボン酸、マレイン
酸あるいはその酸無水物から選ばれた少なくとも一つで
あることが望ましい。これら多価カルボン酸は酸無水物
の状態で使用されても良く、また酸無水物の状態で使用
され熱硬化性組成物の調製工程で加水分解あるいは部分
エステル化を受けたものであっても良い。

【００２６】本発明における（Ｂ）成分の製造方法とし
てはアミノアルキルアルコキシシラン、アミノアリール
アルコキシシランの加水分解物および／あるいは加水分
解縮合物と多価カルボン酸無水物の反応は有機溶剤中で
２０℃ないし１００℃で行なうことができ、通常はアミ
ノアルキルアルコキシシラン、アミノアリールアルコキ
シシランを有機溶剤に溶解し、攪拌下に水を添加して加
水分解および／あるいは加水分解縮合を進行せしめた
後、多価カルボン酸無水物を添加せしめて、さらに加熱
・攪拌して行われるものであり、多価カルボン酸無水物
としてはテトラカルボン酸無水物が好ましく使用され
る。またアミノアルキルアルコキシシラン、アミノアリ
ールアルコキシシランの加水分解物および／あるいは加
水分解縮合物と多価カルボン酸の反応は、まず多価カル
ボン酸無水物とアミノアルキルアルコキシシラン、アミ
ノアリールアルコキシシランを有機溶剤に溶解した後、
これに水を添加して多価カルボン酸無水物の加水分解と
アミノアルキルアルコキシシラン、アミノアリールアル
コキシシランの加水分解および／あるいは加水分解縮合
を同時進行させることが好ましく、有機溶剤中で８０
℃、好ましくは１００℃以上で行なうことができる。

【００２７】またアミノアルキルアルコキシシラン、ア
ミノアリールアルコキシシランと多価カルボン酸無水
物、あるいは多価カルボン酸の反応は有機溶剤中で２０
℃ないし１００℃で行なうことができる。

【００２８】また本発明の（Ｂ）成分として、アミノア
ルキルアルコキシシラン、アミノアリールアルコキシシ
ランの加水分解物および／あるいは加水分解縮合物を使
用することもでき、この加水分解および／あるいは加水
分解縮合も有機溶剤中で行われることが好ましい。

【００２９】これらのアミノアルキルアルコキシシラ
ン、アミノアリールアルコキシシランの縮合体、アミノ
アルキル多価アルコキシシランの加水分解物、アミノア
リール多価アルコキシシランの加水分解縮合物を多価ア
ミン原料成分の少なくとも一部として、テトラカルボン
酸２無水物と反応せしめることによっても本発明のシロ
キサン架橋ポリイミド前駆体を得ることができる。

【００３０】さらに本発明の（Ｂ）成分としてアミノア
ルキルアルコキシシラン、アミノアリールアルコキシシ
ランの縮合体をそのまま使用することも可能である。

【００３１】これらの製造に使用される有機溶剤は、特
に限定されるものではないが、塗布性の良好なコ−テイ
ング用組成物を得るために好ましく使用される溶剤主成
分としては分子内に少なくとも一個の水酸基を含有する
沸点１００〜３００℃の液体および／あるいは分子内に
少なくとも一個のエーテル結合を含有する沸点１００〜
３００℃の液体が挙げられる。このような有機溶剤成分
としては、例えば３−メチル−３−メトキシブタノ−
ル、３−メチル−３−メトキシブチルアセテ−ト、プロ
ピレングリコ−ル−モノ−メチルエ−テル、プロピレン
グリコ−ル−モノ−メチルエ−テルアセテ−ト、ジプロ
ピレングリコ−ル−モノ−メチルエ−テル、トリプロピ
レングリコ−ル−モノ−メチルエ−テル、プロピレング
リコ−ル−モノ−３級−ブチルエ−テル、イソブチルア
ルコ−ル、イソアミルアルコ−ル、エチルセロソルブ、
エチルセロソルブアセテ−ト、ブチルセロソルブ、ブチ
ルセロソルブアセテ−ト、メチルカルビト−ル、メチル
カルビト−ルアセテ−ト、エチルカルビト−ル、エチル
カルビト−ルアセテ−ト等が挙げられるがこれらに限定
されるものではない。また特に本発明の（Ｂ）成分調製
においてはＮ−メチルピロリドン、γブチロラクトン、
Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド等の極性溶剤を併用する
ことが好ましい。

【００３２】本発明のポリイミド前駆体は上記の（Ａ）
成分溶液と（Ｂ）成分溶液を混合することで得ることが
できるが、本発明のポリイミド前駆体溶液の塗布性をさ
らに改良するために公知の界面活性剤、その他の添加剤
を使用することができる。

【００３３】本発明のポリイミド前駆体溶液は塗布性、
保存安定性に優れ、基板塗布後、通常、加熱により硬化
するものであり、この工程で（Ａ）成分と（Ｂ）成分の
アミド交換反応あるいはアミノリシス反応が生じ、主鎖
あるいは末端がシロキサン結合で架橋されたポリイミド
となるものであり、この硬化膜は優れた耐熱性、耐薬品
性、透明性を兼ね備え、接着性、靭性に優れているの
で、液晶表示素子の画素形成用の熱硬化性組成物として
有用であるが、半導体素子の保護膜、層間絶縁膜、さら
には各種電子部品の保護膜としても用いることができ
る。

【００３４】

【実施例】次に、実施例により本発明をさらに詳細に説
明する。

【００３５】参考例１ ３，３´，４，４´−ビフェニルテトラカルボン酸二無
水物１４４．１７ｇ（０．４９モル）をＮ−メチル−２
−ピロリドン７７３．６７ｇとともに仕込み、これを攪
拌しながら４，４´−ジアミノジフェニルメタン４７．
０９ｇ（０．２３７５モル）、３，３´−ジアミノジフ
ェニルスルフォン５８．９５ｇ（０．２３７５モル）お
よびビス（３−アミノプロピル）テトラメチルジシロキ
サン６．２１ｇ（０．０２５モル）を添加し、６０℃で
２時間反応させた後、無水マレイン酸１．７７ｇ（０．
０１８モル）を加えてさらに６０℃で２時間反応させ、
粘度１００ポイズのポリアミック酸溶液を得た。

【００３６】参考例２ ３，３´，４，４´−ベンゾフェノンテトラカルボン酸
二無水物１６１．１１ｇ（０．５０モル）およびピロメ
リット酸二無水物９７．２０ｇ（０．４９モル）をγブ
チロラクトン２６７７．７ｇとともに仕込み、これを攪
拌しながら４，４´−ジアミノジフェニルエーテル１５
０．２０ｇ（０．７５モル）、３，３´−ジアミノジフ
ェニルスルフォン４９．６４ｇ（０．２モル）およびビ
ス（３−アミノプロピル）テトラメチルジシロキサン１
２．４２ｇ（０．０５０モル）を添加し、６０℃で２時
間反応させた後、無水マレイン酸１．９７ｇ（０．０２
０モル）を加えてさらに６０℃で２時間反応させ、粘度
９．２ポイズのポリアミック酸溶液を得た。

【００３７】参考例３ ４，４´−オキシジフタル酸二無水物３１０．２ｇ
（１．００モル）をγブチロラクトン１４８６ｇ、およ
びＮ−メチル−２−ピロリドン１４８６ｇとともに仕込
み、これを攪拌しながら３，４´−ジアミノジフェニル
エーテル１５０．２０ｇ（０．７５モル）、３，３´−
ジアミノジフェニルスルフォン４９．６４ｇ（０．２モ
ル）およびビス（３−アミノプロピル）テトラメチルジ
シロキサン１２．４２ｇ（０．０５０モル）を添加し、
６０℃で２時間反応させた後、無水マレイン酸１．９７
ｇ（０．０２０モル）を加えてさらに６０℃で２時間反
応させ、粘度７．２ポイズのポリアミック酸溶液を得
た。

【００３８】参考例４ メチルトリメトキシシラン１３．６ｇ（０．１モル）と
フェニルトリメトキシシラン１９．８ｇ（０．１モル）
およびγアミノプロピルメチルジエトキシシラン９６．
０ｇ（０．５モル）を３−メチル−３−メトキシブタノ
−ル４２８．０ｇおよびγブチロラクトン３３３．３ｇ
の混合液に加えて、３０℃攪拌下に蒸留水２８．８ｇ
（１．８モル）を添加した。この溶液を６０℃で２時間
攪拌した後、３，３´，４，４´−ベンゾフェノンテト
ラカルボン酸二無水物８０．６ｇ（０．２５モル）を加
えて、そのまま２時間攪拌を続けアミック酸含有のシロ
キサン溶液を得た。本溶液の粘度をＥ型粘度計で測定す
ると２２．５センチポイズ（２５℃）であった。

【００３９】参考例５ メチルトリメトキシシラン１３．６ｇ（０．１モル）と
フェニルトリメトキシシラン１９．８ｇ（０．１モル）
および３，３´，４，４´−ベンゾフェノンテトラカル
ボン酸二無水物８０．６ｇ（０．２５モル）を３−メチ
ル−３−メトキシブタノ−ル４２８．０ｇおよびγブチ
ロラクトン３３３．３ｇの混合液に加えて、３０℃攪拌
下に蒸留水２８．８ｇ（１．８モル）を添加した。この
溶液を６０℃で２時間攪拌した後、γアミノプロピルメ
チルジエトキシシラン９６．０ｇ（０．５モル）を加え
て、そのまま２時間攪拌を続けテトラカルボン酸のアミ
ン塩含有のシロキサン溶液を得た。本溶液の粘度をＥ型
粘度計で測定すると２４．３センチポイズ（２５℃）で
あった。

【００４０】参考例６ ３，３´，４，４´−ベンゾフェノンテトラカルボン酸
二無水物３２．２３ｇ（０．１０モル）を３−メチル−
３−メトキシブタノ−ル１００．０ｇおよびγブチロラ
クトン１００．０ｇの混合液に加え、溶解させた後、γ
アミノプロピルメチルジエトキシシラン３８．４０ｇ
（０．２モル）を３−メチル−３−メトキシブタノ−ル
６８．１ｇに溶解した液を約１０分間で滴下して、４０
℃で１時間反応させた。本溶液の粘度をＥ型粘度計で測
定すると１７．５センチポイズ（２５℃）であった。

【００４１】参考例７ γアミノプロピルメチルジエトキシシラン３８．４０ｇ
（０．２モル）を３−メチル−３−メトキシブタノ−ル
１１３．９ｇおよびγブチロラクトン１１３．９ｇの混
合液に加え、３０℃で攪拌しながら、蒸留水１．８ｇを
添加した後、６０℃で２時間反応させた。本溶液の粘度
をＥ型粘度計で測定すると４．８センチポイズ（２５
℃）であった。

【００４２】参考例８ γアミノプロピルトリエトキシシラン４４．２８ｇ
（０．２モル）を３−メチル−３−メトキシブタノ−ル
１１３．９ｇおよびγブチロラクトン１１３．９ｇの混
合液に加え、３０℃で攪拌しながら、蒸留水１．８ｇを
添加した後、５０℃で２時間反応させた。本溶液の粘度
をＥ型粘度計で測定すると７．８センチポイズ（２５
℃）であった。

【００４３】実施例１ 参考例１で得られたポリアミック酸溶液１００ｇをＮ−
メチル−２−ピロリドン１００ｇで稀釈した後、参考例
４で得られた溶液１０ｇを添加、混合し、ポリイミド前
駆体溶液を得た。この溶液を孔径０．２μのフィルタ−
で濾過しコ−テイング塗液を調製した。この塗液を１ｍ
ｍ厚みの無アルカリガラス板上にスピンコ−タで塗布
し、１００℃熱風乾燥機中で５分間プレキュアした後２
５０℃で３０分のキュアを行ない１．５μｍの塗膜を形
成させた。

【００４４】この塗膜付きガラス板をＮ−メチル−２−
ピロリドン中に浸漬して、３０℃で１週間放置したが、
変化を生じることが無かった。

【００４５】比較例１ 参考例１で得られたポリアミック酸溶液１００ｇをＮ−
メチル−２−ピロリドン１００ｇで稀釈した後、孔径
０．２μのフィルタ−で濾過しコ−テイング塗液を調製
した。この塗液を１ｍｍ厚みの無アルカリガラス板上に
スピンコ−タで塗布し、１００℃熱風乾燥機中で５分間
プレキュアした後２５０℃で３０分のキュアを行ない
１．５μｍの塗膜を形成させた。

【００４６】この塗膜付きガラス板をＮ−メチル−２−
ピロリドン中に浸漬して、３０℃で１週間放置したとこ
ろ、塗膜はＮ−メチル−２−ピロリドン中に溶解あるい
は膨潤微細化分散して、ガラス板上に原形をとどめるこ
とは無かった。

【００４７】実施例２、３ 実施例１において、参考例４で得られた溶液１０ｇの代
わりに参考例５、６で得られた溶液各１０ｇを使用し
て、同様の実験を行なったところ、同様の結果を得るこ
とができた。

【００４８】実施例４ 参考例２で得られたポリアミック酸溶液１００ｇをＮ−
メチル−２−ピロリドン５０ｇで稀釈した後、調製例４
で得られた溶液１０ｇを添加、混合し、孔径０．２μの
フィルタ−で濾過しコ−テイング塗液を調製した。この
塗液を１ｍｍ厚みの無アルカリガラス板上にスピンコ−
タで塗布し、１２０℃熱風乾燥機中で１０分間プレキュ
アした後２９０℃で４０分のキュアを行ない５μｍの塗
膜を形成させた。この塗膜付きガラス板をＮ−メチル−
２−ピロリドン中に浸漬して、３０℃で２４時間放置し
たが、変化を生じることが無かった。

【００４９】比較例２ 実施例４において参考例４で得られた溶液１０ｇを使用
しないで、同様の実験を行ない、Ｎ−メチル−２−ピロ
リドン中に浸漬、３０℃で２４時間放置後の塗膜を顕微
鏡観察したところ無数のクラックの発生が観察された。

【００５０】実施例５ 実施例４において、参考例４で得られた溶液１０ｇの代
わりに参考例６で得られた溶液１０ｇを使用して、同様
の実験を行なったところ、同様の結果を得ることができ
た。

【００５１】実施例６ 実施例４において、参考例４で得られた溶液１０ｇの代
わりに参考例７で得られた溶液１０ｇを使用して、同様
の実験を行なったところ、同様の結果を得ることができ
た。

【００５２】実施例７ 実施例４において、参考例４で得られた溶液１０ｇの代
わりに参考例８で得られた溶液５ｇを使用して、同様の
実験を行なったところ、同様の結果を得ることができ
た。

【００５３】実施例８ 実施例４において、参考例４で得られた溶液１０ｇの代
わりにγアミノプロピルメチルジエトキシシランを４量
体（平均）化した縮合体（信越シリコーン（株）製“Ｘ
−１５−９０２”）のＮ−メチル−２−ピロリドン中１
０％溶液１０ｇを使用して、同様の実験を行ない、同様
の結果を得ることができた。

【００５４】実施例９ 参考例３で得られたポリアミック酸溶液１００ｇをＮ−
メチル−２−ピロリドン１００ｇで稀釈した後、参考例
８で得られた溶液１０ｇを添加、混合し、ポリイミド前
駆体溶液を得た。この溶液を孔径０．２μのフィルタ−
で濾過しコ−テイング塗液を調製した。この塗液を１ｍ
ｍ厚みの無アルカリガラス板上にスピンコ−タで塗布
し、１００℃熱風乾燥機中で５分間プレキュアした後２
８０℃で３０分のキュアを行ない１．５μｍの塗膜を形
成させた。

【００５５】この塗膜付きガラス板上にスパッタ装置
（日電アメルバ（株）製、ＳＰＬ−５００）を使用し
て、設定温度２５０℃で１２００オングストロームのＩ
ＴＯ膜を形成させたところ、平坦な膜を形成させること
ができた。

【００５６】比較例３ 実施例９において参考例８で得られた溶液１０ｇを使用
しないで、同様の実験を行なったところ、塗膜およびＩ
ＴＯ膜に無数のシワが発生していることがわかった。

【００５７】

【発明の効果】本発明の架橋ポリイミド前駆体から得ら
れる主鎖あるいは末端の少なくとも一部がシロキサン結
合で架橋された線状ポリイミドからなる塗膜は従来のポ
リイミドと比較して耐熱性、耐薬品性さらには基板との
密着性が良好である。

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 主鎖あるいは末端の少なくとも一部がシ
   ロキサン結合で架橋されていることを特徴とする塗膜形
   成性ポリイミド。
2. 【請求項２】 硬化により主鎖あるいは末端の少なくと
   も一部がシロキサン結合で架橋された塗膜形成性ポリイ
   ミドを与えることを特徴とするポリイミド前駆体。
3. 【請求項３】 ポリイミド前駆体が下記Ａ、Ｂ、成分か
   ら主としてなることを特徴とする請求項２記載のポリイ
   ミド前駆体。 （Ａ）一般式（１）で表される構造単位を主成分とする
   ポリアミック酸 【化１】 （但し、Ｒ1 は多価カルボン酸残基、Ｒ2 は多価アミン
   残基であり、ｎは０〜４の整数である） （Ｂ）アミノアルキル多価アルコキシシランあるいはア
   ミノアリール多価アルコキシシランの加水分解物ないし
   これらの縮合物と多価カルボン酸２無水物の反応体
4. 【請求項４】 ポリイミド前駆体が下記Ａ、Ｂ、成分か
   ら主としてなることを特徴とする請求項２記載のポリイ
   ミド前駆体。 （Ａ）一般式（１）で表される構造単位を主成分とする
   ポリアミック酸 （Ｂ）アミノアルキル多価アルコキシシランあるいはア
   ミノアリール多価アルコキシシランの加水分解物ないし
   これらの縮合物と多価カルボン酸との反応体
5. 【請求項５】 ポリイミド前駆体が下記Ａ、Ｂ、成分か
   ら主としてなることを特徴とする請求項２記載のポリイ
   ミド前駆体。 （Ａ）一般式（１）で表される構造単位を主成分とする
   ポリアミック酸 （Ｂ）アミノアルキル多価アルコキシシランあるいはア
   ミノアリール多価アルコキシシランと多価カルボン酸２
   無水物の反応体
6. 【請求項６】 ポリイミド前駆体が下記Ａ、Ｂ、成分か
   ら主としてなることを特徴とする請求項２記載のポリイ
   ミド前駆体。 （Ａ）一般式（１）で表される構造単位を主成分とする
   ポリアミック酸 （Ｂ）アミノアルキル多価アルコキシシランあるいはア
   ミノアリール多価アルコキシシランと多価カルボン酸の
   反応体
7. 【請求項７】 ポリイミド前駆体が下記Ａ、Ｂ、成分か
   ら主としてなることを特徴とする請求項２記載のポリイ
   ミド前駆体。 （Ａ）一般式（１）で表される構造単位を主成分とする
   ポリアミック酸 （Ｂ）アミノアルキル多価アルコキシシランあるいはア
   ミノアリール多価アルコキシシランの加水分解物ないし
   これらの縮合物
8. 【請求項８】 ポリイミド前駆体が下記Ａ、Ｂ、成分か
   ら主としてなることを特徴とする請求項２記載のポリイ
   ミド前駆体。 （Ａ）一般式（１）で表される構造単位を主成分とする
   ポリアミック酸 （Ｂ）アミノアルキル多価アルコキシシラン縮合体、あ
   るいは、アミノアリール多価アルコキシシランの縮合体
9. 【請求項９】 一般式（１）で表される構造単位を主成
   分とするポリアミック酸にアルコキシシリル基あるいは
   シラノール基を有するアミン化合物の加水分解縮合物溶
   液あるいはアルコキシシリル基あるいはシラノール基を
   有するアミド酸化合物溶液を加えることを特徴とする請
   求項２記載のポリイミド前駆体の製造方法。
10. 【請求項１０】 ポリアミック酸の製造において、アミ
    ノアルキル多価アルコキシシランあるいはアミノアリー
    ル多価アルコキシシランの加水分解物、加水分解縮合物
    あるいは縮合物を多価アミン原料成分の少なくとも一部
    として、テトラカルボン酸２無水物と反応せしめること
    を特徴とする請求項２記載のポリイミド前駆体の製造方
    法。