JPH09317184A - クリーンルームの施行方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】クリーンルームの施行期間を大幅に短縮するこ
とのできるクリーンルームの施行方法を提案する。 【解決手段】グレーチング床１４の床上に清浄空気が供
給される清浄室１６が形成され、床下に清浄室１６の空
気を排気する排気室１８を形成する際に、グレーチング
床１４を敷設する高さにグレーチング床用の梁部材２６
を横架すると共に、該梁部材２６上に作業進行方向に沿
ってレール２８を敷設し、レール２８上に足場台車３０
を移動自在に設けて該足場台車３０を適宜移動させなが
ら、足場台車３０に乗って清浄室１６の作業を行うと共
に、清浄室１６の作業と並行して排気室１８の作業を行
う。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はクリーンルームの施
行方法に係り、特に半導体製造工場等に設けられるクリ
ーンルームを短期間で構築するためのクリーンルームの
施行方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体製造工場等の精密機器製造工場で
は、製造ラインにおける空気中の浮遊物質を規定レベル
量以下に管理すると共に、必要に応じて温度、湿度、圧
力等の製造環境を管理するために、製造ラインを収納す
るクリーンルームが設けられる。

【０００３】クリーンルームは、一般的に、温湿度が調
整された空調エアが、クリーンルームの天井裏空間に供
給され、天井面に敷設されたファンフィルタユニットを
介して半導体製造装置等が配設される清浄室に清浄な空
調エアを吹き出す。そして、清浄室の塵埃を含んだ空気
はグレーチング床から床下の排気室に排気される。この
排気室には、ダクトや純水配管等の付帯設備の他にも、
例えば、清浄室に空調エアを供給する空調装置等が設置
される。

【０００４】従来のクリーンルームの施行方法は、図５
に示すように、先ず、クリーンルーム建屋１の床スラブ
面２（排気室３の床面）に天井スラブ面４の近傍までの
高さの固定足場５を組み立てる。そして、作業者６は、
固定足場５に乗って天井スラブ面４に近い作業から順に
清浄室７の施行作業を行う。清浄室７の施行作業として
は、例えば、ケーブルダクトの布設やケーブルの配線作
業、ファンフィルタユニット用の格子状支持フレームの
取り付け及びファンフィルタユニットの載置作業、照明
器具の取付け作業等を行う。次に、固定足場５の上部
を、グレーチング床８の敷設高さまで解体してグレーチ
ング床用の梁の配設及びグレーチング床８の敷設作業を
行う。グレーチング床８の敷設が終わったら固定足場５
を解体して、最後に床下空間である排気室３の、例えば
ダクトや純水配管等の配設を行う。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
クリーンルームの施行方法は、先ずクリーンルームの清
浄室の施行作業を行い、次にグレーチング床、最後に排
気室の施行作業を行うというように、一つの作業が終了
しないと次の作業を行うことができないために、施行期
間が長期化してしまうという問題がある。特に、半導体
装置のように、新商品をいち早く市場に供給する必要の
ある商品にとって、クリーンルームの施行期間が長期化
することは致命的な問題となる。

【０００６】クリーンルームの施行期間が長期化するも
う一つの理由として、従来のクリーンルームの施行方法
は、クリーンルームの施行が完了しない前にグレーチン
グ床の敷設がなされるために、グレーチング床上に施行
作業中のゴミ等がたまり、クリーンルームの施行完了後
のグレーチング床の清掃に長時間を要するという問題が
ある。

【０００７】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たもので、クリーンルームの施行期間を大幅に短縮する
ことのできるクリーンルームの施行方法を提案すること
を目的とする。

【０００８】

【課題を解決する為の手段】本発明は前記目的を達成す
る為に、グレーチング床の床上空間に清浄空気が供給さ
れる清浄室を形成すると共に、床下空間に前記清浄室の
空気が排気される排気室を形成して成るクリーンルーム
の施行方法に於いて、前記グレーチング床を敷設する高
さにグレーチング床用の梁部材を横架すると共に、該梁
部材上に作業進行方向に沿ってレールを敷設し、前記レ
ール上に足場台車を移動自在に設けて該足場台車を適宜
移動させながら、前記足場台車に乗って前記清浄室の施
行作業を行うと共に、前記清浄室の施行作業と並行して
前記排気室の施行作業を行うことを特徴とする。

【０００９】本発明によれば、清浄室の施行作業と排気
室の施行作業を並行して行うことができるので、施行期
間を大幅に短縮することができると共に、施行の最後に
グレーチング床を敷設することができる。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
るクリーンルームの施行方法の実施の形態について詳説
する。図１乃至図４は、本発明に係るクリーンルームの
施行方法を説明する説明図であり、例えば直方体空間を
有するクリーンルーム建屋１０内にクリーンルーム１２
を構築する場合である。そして、本発明のクリーンルー
ムの施行方法は、グレーチング床１４（仮想線）の床上
空間に清浄空気が供給される清浄室１６が形成され、床
下空間に清浄室１６の空気が排気される排気室１８が形
成されるクリーンルーム１２、即ち、グレーチング床１
４の床上と床下の両方を施行対象としたクリーンルーム
１２に適用される。

【００１１】本発明の施行方法は、先ず、図１（作業進
行方向の前側から見た図）に示すように、クリーンルー
ム建屋１０内の床スラブ面２０上に、床スラブ面２０か
ら天井スラブ面２２までの高さの１／３程度の高さにな
るように支柱部材２４をトラス構造に立設させると共
に、その支柱部材２４にグレーチング床用の梁部材２６
を格子状に横架する。この梁部材２６及び支柱部材２４
の建材としてはＨ型鋼を用いることができる。

【００１２】次に、図２に示すように、格子状に形成さ
れた梁部材２６の上に、作業開始位置Ａから作業終了位
置Ｂの作業進行方向に沿って３本のレール２８、２８、
２８を平行に敷設し、梁部材２６上でレール２８上を走
行させるための足場台車３０を組み立てる。足場台車３
０の組み立ては、図３に示すユニット３２を図１に示す
ようにボルト３３で結合することにより行われる。ユニ
ット３２は、両端にフランジ３４を有する複数の横パイ
プ３６と縦パイプ３８で直方体状の枠体を溶接接合によ
り形成し、その枠体の補強として横パイプ３６同士を補
強部材４０でトラス構造を形成するように溶接接合した
ものである。

【００１３】このように形成されたユニット３２を、梁
部材２６上に並べてユニット３２のフランジ３４同士を
ボルト３３で結合することにより、直方体状の足場台車
３０の胴体枠４１を組み立てる。組立てた胴体枠４１の
上に足場板３５を敷設すると共に、足場板３５の周囲に
落下防止用の手摺り３９を配設する。この足場台車３０
の組立てにおいて、レール２８位置に配設されるユニッ
ト３２には予め車輪４２Ａ、４２Ｂを組付けておく。た
とえば、図２に示したように、３本のレール２８のそれ
ぞれについて足場台車３０の前輪４２Ａと後輪４２Ｂが
配置されるようにする。また、足場台車３０の上には後
輪３６Ｂを駆動させる駆動源４４が搭載されると共に、
足場台車３０の前側には足場台車３０に乗る時の梯子４
６が設けられる。足場台車３０の大きさのうち、作業進
行方向に直交する方向の長さ（Ｌ）を、クリーンルーム
建屋１０の幅と略同等にするのが作業効率の点で効果的
である。

【００１４】図４は、上記の如く組み立てた足場台車３
０をレール２８上に２台設けて施行作業を行う場合を示
した図であり、高さが天井スラブ面２２近くまでの背の
高い第１の足場台車３０Ａと、第１の足場台車３０Ａよ
りも背の低い第２の足場台車３０Ｂで構成される。先
ず、作業進行方向の作業開始地点Ａで、前記した要領で
第１の足場台車３０Ａを組み立てる。この第１の足場台
車３０Ａを作業進行方向のＢ方向に適宜移動させなが
ら、足場台車３０Ａに乗った作業員４８が清浄室１６の
施行作業を行うと共に、清浄室１６の施行作業と並行し
て排気室１８では別の作業員４８が排気室１８の施行作
業を行う。

【００１５】第１の足場台車３０Ａでは、天井スラブ面
２２近くの高所作業を行う。例えば、天井スラブ面２２
近傍に配設されるケーブルトレー５０を吊る吊り具５２
を天井スラブに固定すると共にケーブルトレー５０を取
り付け、そのケーブルトレー５０にケーブルを敷設する
作業を行う。また、ケーブルトレー５０の下方にファン
フィルタユニット５４の支持フレーム５６を取り付ける
と共に、その支持フレーム５６にファンフィルタユニッ
ト５４を載置する作業等を行う。

【００１６】次に、第１の足場台車３０ＡをＢ方向に前
進させて、第１の足場台車３０Ａを次の高所作業場所に
移動させる。そして、作業開始位置Ａに、第１の足場台
車３０Ａよりも背の低い第２の足場台車３０Ｂを組み立
てる。第２の足場台車３０Ｂは、第１の足場台車３０Ａ
の完了した作業位置に適宜移動して、第１の足場台車３
０Ａでの作業高さよりも低い高さの作業を行う。第２の
足場台車３０Ｂでの作業としては、例えば、ファンフィ
ルタユニット５４の支持フレーム５６の開口部分に天井
板５８を取り付けて天井裏空間６０を形成する作業、そ
の天井板５８の下側に照明器具６２等を取り付ける作
業、或いは塗装作業等を行う。

【００１７】第１の足場台車３０Ａでの作業が作業終了
位置Ｂまで終了したら、第１の足場台車３０Ａを解体す
る。同様に第２の足場台車３０Ｂでの作業が作業終了位
置Ｂまで終了したら、第２の足場台車３０Ｂを解体す
る。これにより、クリーンルーム１２の清浄室１６の施
行が完了する。一方、排気室１８では、清浄室１６での
施行作業と並行してクリーンルーム１２に必要な、例え
ば、排気室１８に排気されたエアを天井裏空間６０に循
環するダクト６４や、純水の配管６６等の取付作業を行
う。

【００１８】清浄室１６及び排気室１８の施行作業が全
て終了したら、梁部材２６の上のレール２８を取り外し
て、最後に梁部材２６上にグレーチング床１４を敷設す
る。これにより、クリーンルーム１２の施行作業が終了
する。そして、クリーンルーム１２の施行が全て完了し
たら、清浄室１６、排気室１８及びグレーチング床１４
の清掃を行う。また、解体した足場台車３０は別のフロ
アでのクリーンルーム１２の構築時に、再び組み立てて
使用する。

【００１９】このように、本発明のクリーンルームの施
行方法によれば、清浄室の施行作業と排気室の施行作業
を並行して行うことができるので、施行期間を大幅に短
縮することができる。また、本発明のクリーンルームの
施行方法は、施行の最後にグレーチング床を敷設するの
で、例えば清浄室の作業により発生したゴミ等は、排気
室の床（スラブ床）にたまる。従って、施行中にグレー
チング床が汚れないので、グレーチング床にかかる清掃
時間が殆ど必要なくなり、クリーンルーム室全体の清掃
時間を大幅に短縮できる。

【００２０】尚、本実施の形態のクリーンルームの施行
方法では、第１及び第２の足場台車を使用して効率的に
施行する例で説明したが、これは足場台車の台数を限定
するものではなく、１台でもよく、２台以上でもよい。

【００２１】

【発明の効果】以上説明したように、本発明のクリーン
ルームの施行方法によれば、清浄室の施行作業と排気室
の施行作業を並行して行うことができるので、施行期間
を大幅に短縮することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るクリーンルームの施行方法を説明
する側面図

【図２】本発明に係るクリーンルームの施行方法を説明
する上面図

【図３】足場台車を組み立てるユニットを説明する斜視
図

【図４】本発明に係るクリーンルームの施行方法におい
て２台の足場台車を使用した施行している状態図

【図５】従来のクリーンルームの施行方法を説明する側
面図

【符号の説明】

１０…クリーンルーム建屋 １２…クリーンルーム １４…グレーチング床 １６…清浄室 １８…排気室 ２０…床スラブ面 ２２…天井スラブ面 ２４…支柱部材 ２６…梁部材 ２８…レール ３０…足場台車 ３０Ａ…第１の足場台車 ３０Ｂ…第２の足場台車 ３２…ユニット ４２Ａ…前輪 ４２Ｂ…後輪 ５０…ケーブルトレー ５４…ファンフィルタユニット ５６…支持フレーム ５８…天井板

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】グレーチング床の床上空間に清浄空気が供
   給される清浄室を形成すると共に、床下空間に前記清浄
   室の空気が排気される排気室を形成して成るクリーンル
   ームの施行方法に於いて、 前記グレーチング床を敷設する高さにグレーチング床用
   の梁部材を横架すると共に、該梁部材上に作業進行方向
   に沿ってレールを敷設し、 前記レール上に足場台車を移動自在に設けて該足場台車
   を適宜移動させながら、前記足場台車に乗って前記清浄
   室の施行作業を行うと共に、前記清浄室の施行作業と並
   行して前記排気室の施行作業を行うことを特徴とするク
   リーンルームの施行方法。
2. 【請求項２】前記レール上には、前記清浄室の高所作業
   用の第１の足場台車と低所作業用の第２の足場台車を配
   設すると共に、前記作業進行方向の前側に第１の足場台
   車を配設し、後側に第２の足場台車を配設することを特
   徴とする請求項１のクリーンルームの施行方法。