JP4971006B2 - クリーンルームの改築方法及び改築用仮設設備 - Google Patents
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Description
2 改築作業範囲
5 既存天井面
10 仮設壁
20 トンネルブース
25 防護シート
30 作業台車
Win クリールーム内作業員
Wout 改築工事作業員
Claims (6)
- 既存クリーンルームを仮設壁で仕切り、前記既存クリーンルーム内に改築区間を区切って設けるとともに、該改築区間にトンネルブースを設けて前記既存クリーンルーム間を通行可能とするとともに、前記トンネルブースを跨いで前記改築区間を走行可能な作業台車を配備し、前記既存クリーンルームを稼働しつつ、前記作業台車上で前記改築区間の工事を行うようにしたことを特徴とするクリーンルームの改築方法。
- 前記トンネルブースを、前記既存クリーンルームと同レベルの清浄度に保持させた気密通路とし、前記稼働中の既存クリーンルーム間を往来可能にしたことを特徴とする請求項1に記載のクリーンルームの改築方法。
- 前記作業台車を前記トンネルブースの延長方向に沿って移動させ、該作業台車の作業床で前記改築区間の工事を行うようにしたことを特徴とする請求項1に記載のクリーンルームの改築方法。
- 既存クリーンルームを仮設壁で仕切って両側に前記既存クリーンルームが位置するように設けられた改築区間に設けられ、前記両側の既存クリーンルーム間を往来可能なトンネルブースと、該トンネルブースを跨いで該トンネルブースの延長方向に沿って移動可能に設置され、作業床上で前記改築区間の工事を行う作業台車とを備えたことを特徴とするクリーンルームの改築用仮設設備。
- 前記トンネルブースは、前記既存クリーンルームと同レベルの清浄度に保持されたことを特徴とする請求項4に記載のクリーンルームの改築用仮設設備。
- 前記トンネルブースの両側面に、幅方向に所定のクリアランスをあけて防護シートが張設され、前記改築区間で発生した粉塵を遮断するようにしたことを特徴とする請求項4または請求項5に記載のクリーンルームの改築用仮設設備。
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