JP3255094B2 - クリーンルームを有する工場における生産領域拡張方法 - Google Patents
クリーンルームを有する工場における生産領域拡張方法Info
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、クリーンルーム機
能を順次拡張しつつ、生産領域を拡大する方法に関し、
特にクリーンルームの増減に応じて空調規模をそれに見
合った規模とすることで、省エネルギー化を図る方法に
関する。
能を順次拡張しつつ、生産領域を拡大する方法に関し、
特にクリーンルームの増減に応じて空調規模をそれに見
合った規模とすることで、省エネルギー化を図る方法に
関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造工場など高度な清浄空間を必
要とする工場には、クリーンルームが設けられている。
このようなクリーンルームを備えた工場における生産領
域の拡張方法の従来技術として、例えば特開平６−３０
７１０８号公報に示す技術がある。
要とする工場には、クリーンルームが設けられている。
このようなクリーンルームを備えた工場における生産領
域の拡張方法の従来技術として、例えば特開平６−３０
７１０８号公報に示す技術がある。
【０００３】この公報に記載された技術は、初期生産段
階において、初期生産領域と、初期非生産領域とを暫定
的な隔壁によって仕切り、初期生産段階を終え、拡張生
産時期に入った時点で、非生産領域に必要な生産設備を
増設した上で、前記暫定的な隔壁を撤去し、生産領域と
なるクリーンルーム領域を広げる方法である。
階において、初期生産領域と、初期非生産領域とを暫定
的な隔壁によって仕切り、初期生産段階を終え、拡張生
産時期に入った時点で、非生産領域に必要な生産設備を
増設した上で、前記暫定的な隔壁を撤去し、生産領域と
なるクリーンルーム領域を広げる方法である。
【０００４】この方法は、予め将来の需要を見越して工
場の建屋規模を大きく作っておき、市場などのニーズに
応じて小規模生産から生産を開始し、需要の拡大に伴っ
て工場内設備および空調空間を拡張していく方式である
ため、拡張工事によるライン停止時間が最少となり、拡
張性が高い。
場の建屋規模を大きく作っておき、市場などのニーズに
応じて小規模生産から生産を開始し、需要の拡大に伴っ
て工場内設備および空調空間を拡張していく方式である
ため、拡張工事によるライン停止時間が最少となり、拡
張性が高い。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この種
の従来方法にあっては、クリーンルームの空調系におい
て、通常は天井裏が使用されるプレナム（サプライ）チ
ャンバーについては、初期生産領域であっても拡張後の
領域まで使用していた。周知のようにクリーンルームの
ような空調設備はイニシァルコスト、ランニングコスト
とも高価であるため、以上のような使用形態では、空調
エネルギーを過大に必要とし、無駄となっているほか、
非生産領域には十分な管理が行届かないことから、レタ
ン空気の清浄度低下の原因ともなっていた。
の従来方法にあっては、クリーンルームの空調系におい
て、通常は天井裏が使用されるプレナム（サプライ）チ
ャンバーについては、初期生産領域であっても拡張後の
領域まで使用していた。周知のようにクリーンルームの
ような空調設備はイニシァルコスト、ランニングコスト
とも高価であるため、以上のような使用形態では、空調
エネルギーを過大に必要とし、無駄となっているほか、
非生産領域には十分な管理が行届かないことから、レタ
ン空気の清浄度低下の原因ともなっていた。
【０００６】本発明は、以上の課題を解決するものであ
り、その目的は、初期生産時点ではその領域に見合った
規模の空調とし、生産領域拡大に伴い、空調規模も拡大
していくことで、省エネルギー化を図ることのできるク
リーンルームを有する工場における生産領域拡張方法を
提供するものである。
り、その目的は、初期生産時点ではその領域に見合った
規模の空調とし、生産領域拡大に伴い、空調規模も拡大
していくことで、省エネルギー化を図ることのできるク
リーンルームを有する工場における生産領域拡張方法を
提供するものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】以上の目的を達成するた
め、本発明は、生産初期段階において、初期生産領域
と、初期非生産領域とを床下および天井裏を含めて暫定
的な隔壁で仕切り、クリーンルームの空調系統における
天井裏のサプライチャンバを初期生産領域のみとし、初
期生産段階を終えた時点で、初期非生産領域の一部ない
し全てに生産に必要な設備を設置した上で、前記暫定的
な隔壁を撤去ないしは一部を開口させて初期生産領域と
初期非生産領域とを連通することを特徴とするものであ
る。したがって、本発明方法にあっては、生産規模と空
調規模とを調和しつつ生産領域を拡張できる。
め、本発明は、生産初期段階において、初期生産領域
と、初期非生産領域とを床下および天井裏を含めて暫定
的な隔壁で仕切り、クリーンルームの空調系統における
天井裏のサプライチャンバを初期生産領域のみとし、初
期生産段階を終えた時点で、初期非生産領域の一部ない
し全てに生産に必要な設備を設置した上で、前記暫定的
な隔壁を撤去ないしは一部を開口させて初期生産領域と
初期非生産領域とを連通することを特徴とするものであ
る。したがって、本発明方法にあっては、生産規模と空
調規模とを調和しつつ生産領域を拡張できる。
【０００８】また、本発明方法では、前記暫定的隔壁を
二重壁とし、この二重壁を通じて床下レタンスペースと
天井裏のサプライチャンバとを連通させることが望まし
い。
二重壁とし、この二重壁を通じて床下レタンスペースと
天井裏のサプライチャンバとを連通させることが望まし
い。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の好ましい実施の形
態につき、添付図面を参照して詳細に説明する。
態につき、添付図面を参照して詳細に説明する。
【００１０】図１は本発明方法の生産領域拡張手順を示
すものであり、工場建屋１の内部は田の字型に交叉する
廊下２によって予め四つの区画に仕切られた平面形状と
なっている。
すものであり、工場建屋１の内部は田の字型に交叉する
廊下２によって予め四つの区画に仕切られた平面形状と
なっている。
【００１１】この建屋１の生産初期段階（例えば半年
後）においては、（ａ）に示すように、建屋１の中心、
すなわち廊下２同士が交叉する位置の周囲に、各区画内
に初期生産領域３が構築される。
後）においては、（ａ）に示すように、建屋１の中心、
すなわち廊下２同士が交叉する位置の周囲に、各区画内
に初期生産領域３が構築される。
【００１２】初期生産領域３と初期非生産領域４とは、
ユニットパネル式の暫定的な隔壁５によって仕切られ
る。また、符号６は生産領域３内に設置された生産設
備、符号７は生産領域４と廊下２とを結ぶドアである。
ユニットパネル式の暫定的な隔壁５によって仕切られ
る。また、符号６は生産領域３内に設置された生産設
備、符号７は生産領域４と廊下２とを結ぶドアである。
【００１３】そして、生産開始から一年後ないし二年後
には、（ｂ），（ｃ）に示すように、生産領域３は順次
拡張し、それに伴い、必要な生産設備６が導入されると
ともに、暫定的隔壁５もその拡張形状に応じた仕切配置
となり、ドア７の数も増す。
には、（ｂ），（ｃ）に示すように、生産領域３は順次
拡張し、それに伴い、必要な生産設備６が導入されると
ともに、暫定的隔壁５もその拡張形状に応じた仕切配置
となり、ドア７の数も増す。
【００１４】さらに三年後には（ｄ）に示すように、建
屋１の各区画全体が生産領域となり、フル操業となるよ
うに計画されている。
屋１の各区画全体が生産領域となり、フル操業となるよ
うに計画されている。
【００１５】前記隔壁５は、初期状態においては、図２
に断面して示すように、生産領域３および非生産領域４
の床下空間３ａ，４ａおよび天井裏空間３ｂ，４ｂも仕
切っている。そして、生産領域３の室内における壁面は
二重となっていて、レタンスペースである床下空間３ａ
と、サプライチャンバである天井裏空間３ｂ間を連通さ
せ、床下空間３ａからの空調空気を室内天井に設けたフ
ィルタ８を通じて室内に循環させている。
に断面して示すように、生産領域３および非生産領域４
の床下空間３ａ，４ａおよび天井裏空間３ｂ，４ｂも仕
切っている。そして、生産領域３の室内における壁面は
二重となっていて、レタンスペースである床下空間３ａ
と、サプライチャンバである天井裏空間３ｂ間を連通さ
せ、床下空間３ａからの空調空気を室内天井に設けたフ
ィルタ８を通じて室内に循環させている。
【００１６】また、図３（ａ）に示すように天井裏空間
３ｂに隔壁５を貫通して配管されるダクト９は、ユニッ
ト塞ぎパネル１０により、非生産領域４側の天井裏空間
４ｂと気密に仕切られる。
３ｂに隔壁５を貫通して配管されるダクト９は、ユニッ
ト塞ぎパネル１０により、非生産領域４側の天井裏空間
４ｂと気密に仕切られる。
【００１７】同様にして、（ｂ）に示すように、隔壁５
を貫通して配管されるパイプ１１もユニット塞ぎパネル
１２により非生産領域４側の床下空間４ａと気密に仕切
られ、これらによって空調空気は、生産領域３のみ空調
空気が循環され、建屋外などに設置される図示しない空
調ユニットも、それに応じた空調負荷のものが使用され
る。
を貫通して配管されるパイプ１１もユニット塞ぎパネル
１２により非生産領域４側の床下空間４ａと気密に仕切
られ、これらによって空調空気は、生産領域３のみ空調
空気が循環され、建屋外などに設置される図示しない空
調ユニットも、それに応じた空調負荷のものが使用され
る。
【００１８】次に、前記生産領域３の拡張時における工
事手順について、図３を用いて説明する。まず、（ａ）
は初期状態を示している。この状態から生産領域３の外
側には（ｂ）に示すように拡張生産領域３’と非生産領
域４とを隔壁５によって仕切られる。以上の工事は、生
産領域３内で作業を続行しながらこれと並行して行うこ
とができる。
事手順について、図３を用いて説明する。まず、（ａ）
は初期状態を示している。この状態から生産領域３の外
側には（ｂ）に示すように拡張生産領域３’と非生産領
域４とを隔壁５によって仕切られる。以上の工事は、生
産領域３内で作業を続行しながらこれと並行して行うこ
とができる。
【００１９】次いで（ｃ）に示すように、その仕切られ
た内部に生産設備６の搬入、据付けを行うとともに、天
井面にフィルタ８を配置する。もちろん、ダクト、パイ
プなどの配管類もそれぞれの天井裏および床下に通す。
この時点では生産領域３と拡張生産領域３’との間には
隔壁５が配置され、両者は気密に仕切られたままであ
る。また、空調ユニットの増設が必要ならば、その増設
工事も並行して行われる。
た内部に生産設備６の搬入、据付けを行うとともに、天
井面にフィルタ８を配置する。もちろん、ダクト、パイ
プなどの配管類もそれぞれの天井裏および床下に通す。
この時点では生産領域３と拡張生産領域３’との間には
隔壁５が配置され、両者は気密に仕切られたままであ
る。また、空調ユニットの増設が必要ならば、その増設
工事も並行して行われる。
【００２０】増設工事後、拡張生産領域３’内の空調環
境の清浄度が生産領域３の清浄度まで上がった時点で、
（ｄ）に示すごとく、両者を仕切る隔壁５を撤去すれ
ば、生産領域３が拡張することになる。
境の清浄度が生産領域３の清浄度まで上がった時点で、
（ｄ）に示すごとく、両者を仕切る隔壁５を撤去すれ
ば、生産領域３が拡張することになる。
【００２１】以上の各種工事は、生産の妨げを行うこと
なくできるが、隔壁５の撤去工事だけは、工場が生産停
止する時間帯である夜間、あるいは２４時間操業である
場合には、休日のみに特定されることが望ましい。但
し、その解体工事はユニット式の隔壁５を解体する工事
なので、短時間のうちに行うことができる。
なくできるが、隔壁５の撤去工事だけは、工場が生産停
止する時間帯である夜間、あるいは２４時間操業である
場合には、休日のみに特定されることが望ましい。但
し、その解体工事はユニット式の隔壁５を解体する工事
なので、短時間のうちに行うことができる。
【００２２】また、新たに拡張された生産領域３内で、
必要に応じて区画が必要な箇所は、間仕切りとして隔壁
５を残し、作業形態が互いに連通する空間を必要とする
箇所のみ全部、またはその一部を取外せばよい。
必要に応じて区画が必要な箇所は、間仕切りとして隔壁
５を残し、作業形態が互いに連通する空間を必要とする
箇所のみ全部、またはその一部を取外せばよい。
【００２３】なお、以上の実施の形態では、建屋１が田
の字型平面設計であるため、その内部中心から、外側四
方に向けて順次生産領域を拡張する説明としたが、建屋
平面の設計形態に応じて、拡張方向を建屋の一方から他
方へと順次拡張する方法も採用できることはも勿論であ
り、この場合には一方向なので仕切り変更工事が容易と
なる。
の字型平面設計であるため、その内部中心から、外側四
方に向けて順次生産領域を拡張する説明としたが、建屋
平面の設計形態に応じて、拡張方向を建屋の一方から他
方へと順次拡張する方法も採用できることはも勿論であ
り、この場合には一方向なので仕切り変更工事が容易と
なる。
【００２４】
【発明の効果】以上の説明により明らかなように、本発
明による生産領域拡張方法にあっては、初期生産時点で
はその領域に見合った規模の空調とし、生産領域拡大に
伴い、空調規模も拡大していくため、生産規模と空調規
模とを調和しつつ生産領域を拡張でき、省エネルギー化
を図ることができる。
明による生産領域拡張方法にあっては、初期生産時点で
はその領域に見合った規模の空調とし、生産領域拡大に
伴い、空調規模も拡大していくため、生産規模と空調規
模とを調和しつつ生産領域を拡張でき、省エネルギー化
を図ることができる。
【図１】（ａ）〜（ｄ）は本発明方法の一実施の形態に
おける拡張手順を示す平面説明図である。
おける拡張手順を示す平面説明図である。
【図２】図１（ａ）におけるＡ−Ａ線の断面説明図であ
る。
る。
【図３】（ａ），（ｂ）は図２のＢ部およびＣ部拡大図
である。
である。
【図４】（ａ）〜（ｄ）は拡張時における施工手順を示
す断面説明図である。
す断面説明図である。
１ 建屋 ２ 廊下 ３ （初期）生産領域 ４ （初期）非生産領域 ５ 隔壁 ６ 生産設備 ８ フィルタ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) E04H 5/02 F24F 7/06 E04G 23/02
Claims (2)
- 【請求項１】 生産初期段階において、初期生産領域
と、初期非生産領域とを床下および天井裏を含めて暫定
的なユニット式の隔壁で仕切り、 クリーンルームの空調系統における天井裏のサプライチ
ャンバを初期生産領域のみとし、 初期生産段階を終えた時点で、初期非生産領域の一部な
いし全てに生産に必要な設備を設置した上で、前記暫定
的な隔壁を撤去ないしは一部を開口させて初期生産領域
と初期非生産領域とを連通することを特徴とするクリー
ンルームを有する工場における生産領域拡張方法。 - 【請求項２】 前記暫定的隔壁を二重壁とし、この二重
壁を通じて床下のレタンスペースと天井裏のサプライチ
ャンバとを連通させたことを特徴とする請求項１に記載
のクリーンルームを有する工場における生産領域拡張方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26201097A JP3255094B2 (ja) | 1997-09-26 | 1997-09-26 | クリーンルームを有する工場における生産領域拡張方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26201097A JP3255094B2 (ja) | 1997-09-26 | 1997-09-26 | クリーンルームを有する工場における生産領域拡張方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11101015A JPH11101015A (ja) | 1999-04-13 |
| JP3255094B2 true JP3255094B2 (ja) | 2002-02-12 |
Family
ID=17369774
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26201097A Expired - Fee Related JP3255094B2 (ja) | 1997-09-26 | 1997-09-26 | クリーンルームを有する工場における生産領域拡張方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3255094B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DK174537B1 (da) * | 2000-11-17 | 2003-05-19 | L Hammerich & Co As | System og fremgangsmåde til klimakontrol i et rum, et loft til brug herved samt en fremgangsmåde til installation heraf |
| JP4971006B2 (ja) * | 2007-03-30 | 2012-07-11 | 安藤建設株式会社 | クリーンルームの改築方法及び改築用仮設設備 |
-
1997
- 1997-09-26 JP JP26201097A patent/JP3255094B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH11101015A (ja) | 1999-04-13 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |