JPH09306416A - 電子増倍器及び光電子増倍管 - Google Patents
電子増倍器及び光電子増倍管Info
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- JPH09306416A JPH09306416A JP8120376A JP12037696A JPH09306416A JP H09306416 A JPH09306416 A JP H09306416A JP 8120376 A JP8120376 A JP 8120376A JP 12037696 A JP12037696 A JP 12037696A JP H09306416 A JPH09306416 A JP H09306416A
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J43/00—Secondary-emission tubes; Electron-multiplier tubes
- H01J43/04—Electron multipliers
- H01J43/06—Electrode arrangements
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J43/00—Secondary-emission tubes; Electron-multiplier tubes
- H01J43/04—Electron multipliers
- H01J43/06—Electrode arrangements
- H01J43/18—Electrode arrangements using essentially more than one dynode
- H01J43/22—Dynodes consisting of electron-permeable material, e.g. foil, grid, tube, venetian blind
Landscapes
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
- Common Detailed Techniques For Electron Tubes Or Discharge Tubes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 クロストークの発生を抑制することのできる
電子増倍器及び光電子増倍管を提供することを目的とす
る。 【解決手段】 本発明による電子増倍器及び光電子増倍
管は、入射した電子を増倍するためのダイノード１１を
複数段に積層させた電子増倍部１０と、電子増倍部１０
から出射した電子を通過させる複数の電子通過孔１４を
形成させるための複数の陽極部２４をもった陽極１３
と、陽極１３の各電子通過孔１４を通過した電子を各陽
極部２４に入射させる電子入射面１８を有する最終段ダ
イノード１５とを備え、複数のチャンネル８をもった電
子増倍器２７において、電子入射面１８は、電子通過孔
１４に対峙する電子入射主要面１８ａと、陽極１３の電
子通過孔１４に対応する位置で電子入射主要面１８ａの
端部１８ｂから陽極１３に向けて立ち上がる起立面１８
ｃとを有することを特徴としている。
電子増倍器及び光電子増倍管を提供することを目的とす
る。 【解決手段】 本発明による電子増倍器及び光電子増倍
管は、入射した電子を増倍するためのダイノード１１を
複数段に積層させた電子増倍部１０と、電子増倍部１０
から出射した電子を通過させる複数の電子通過孔１４を
形成させるための複数の陽極部２４をもった陽極１３
と、陽極１３の各電子通過孔１４を通過した電子を各陽
極部２４に入射させる電子入射面１８を有する最終段ダ
イノード１５とを備え、複数のチャンネル８をもった電
子増倍器２７において、電子入射面１８は、電子通過孔
１４に対峙する電子入射主要面１８ａと、陽極１３の電
子通過孔１４に対応する位置で電子入射主要面１８ａの
端部１８ｂから陽極１３に向けて立ち上がる起立面１８
ｃとを有することを特徴としている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、最終段ダイノード
を有する電子増倍器及び光電子増倍管に関するものであ
る。
を有する電子増倍器及び光電子増倍管に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】従来からある光電子増倍管の一例とし
て、特開平６−３１４５５０号公報がある。この公報に
開示された電子増倍器は、図１３に示すように、入射し
た電子を増倍させるためのブロック状の電子増倍部１０
０を備え、この電子増倍部１００の下方には平板状の陽
極１０１が設けられ、この陽極１０１には、電子増倍部
１００から出射した電子を通過させるための複数の電子
通過孔１０２が形成され、各電子通過孔１０２は複数の
陽極部１０３で形成され、陽極１０１は複数の陽極部１
０３によりマルチチャンネル化されている。更に、陽極
１０１の下方には平板状の最終段ダイノード１０４が設
けられ、この最終段ダイノード１０４には、電子通過孔
１０２を通過した電子を増倍して各陽極部１０３に入射
させるためのフラットな電子入射面１０５が複数設けら
れている。
て、特開平６−３１４５５０号公報がある。この公報に
開示された電子増倍器は、図１３に示すように、入射し
た電子を増倍させるためのブロック状の電子増倍部１０
０を備え、この電子増倍部１００の下方には平板状の陽
極１０１が設けられ、この陽極１０１には、電子増倍部
１００から出射した電子を通過させるための複数の電子
通過孔１０２が形成され、各電子通過孔１０２は複数の
陽極部１０３で形成され、陽極１０１は複数の陽極部１
０３によりマルチチャンネル化されている。更に、陽極
１０１の下方には平板状の最終段ダイノード１０４が設
けられ、この最終段ダイノード１０４には、電子通過孔
１０２を通過した電子を増倍して各陽極部１０３に入射
させるためのフラットな電子入射面１０５が複数設けら
れている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の光電子増倍管は、次のような課題を有してい
る。
た従来の光電子増倍管は、次のような課題を有してい
る。
【０００４】すなわち、従来の光電子増倍管において、
最終段ダイノード１０４の各電子入射面１０５は全面に
亘ってフラットに形成されているので、電子が最終段ダ
イノード１０４の電子入射面１０５に入射して２次電子
が発生した場合、図１３に示すように、２次電子の方向
性が安定せず、各２次電子は、予定された陽極部１０３
以外に、隣接する陽極部１０３にも捕捉されてしまう。
そして、このことがクロストークの原因になっていた。
最終段ダイノード１０４の各電子入射面１０５は全面に
亘ってフラットに形成されているので、電子が最終段ダ
イノード１０４の電子入射面１０５に入射して２次電子
が発生した場合、図１３に示すように、２次電子の方向
性が安定せず、各２次電子は、予定された陽極部１０３
以外に、隣接する陽極部１０３にも捕捉されてしまう。
そして、このことがクロストークの原因になっていた。
【０００５】本発明は、上述した課題に鑑みてなされた
もので、クロストークの発生を抑制することのできる電
子増倍器及び光電子増倍管を提供することを目的とす
る。
もので、クロストークの発生を抑制することのできる電
子増倍器及び光電子増倍管を提供することを目的とす
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明による電子増倍器
は、入射した電子を増倍するためのダイノードを複数段
に積層させた電子増倍部と、電子増倍部から出射した電
子を通過させる複数の電子通過孔を形成させるための複
数の陽極部をもった陽極と、陽極の各電子通過孔を通過
した電子を各陽極部に入射させる電子入射面を有する最
終段ダイノードとを備え、複数のチャンネルをもった電
子増倍器において、電子入射面は、電子通過孔に対峙す
る電子入射主要面と、陽極の電子通過孔に対応する位置
で電子入射主要面の端部から陽極に向けて立ち上がる起
立面とを有することを特徴としている。
は、入射した電子を増倍するためのダイノードを複数段
に積層させた電子増倍部と、電子増倍部から出射した電
子を通過させる複数の電子通過孔を形成させるための複
数の陽極部をもった陽極と、陽極の各電子通過孔を通過
した電子を各陽極部に入射させる電子入射面を有する最
終段ダイノードとを備え、複数のチャンネルをもった電
子増倍器において、電子入射面は、電子通過孔に対峙す
る電子入射主要面と、陽極の電子通過孔に対応する位置
で電子入射主要面の端部から陽極に向けて立ち上がる起
立面とを有することを特徴としている。
【０００７】本発明による電子増倍器によれば、電子増
倍部の所定のチャンネルに電子を入射させた場合、この
電子は、各ダイノードで多段増倍され、陽極の電子通過
孔を通過したのち最終段ダイノードに入射し、最終段ダ
イノードの電子入射面で２次電子を発生させる。ここ
で、電子入射面の起立面及び電子入射主要面は、それぞ
れ同じチャンネルに属する陽極部に向けられているの
で、各電子入射面と各陽極部との間に作り出される等電
位面により、電子入射面で発生した２次電子を、等電位
面に直交する方向、すなわち、同じチャンネルに属する
陽極部に集中させることができる。このため、各チャン
ネル毎に電子入射面と陽極部とを一対一で確実に対応さ
せることができ、隣り合う陽極部の間でのクロストーク
の発生が抑制されることになる。
倍部の所定のチャンネルに電子を入射させた場合、この
電子は、各ダイノードで多段増倍され、陽極の電子通過
孔を通過したのち最終段ダイノードに入射し、最終段ダ
イノードの電子入射面で２次電子を発生させる。ここ
で、電子入射面の起立面及び電子入射主要面は、それぞ
れ同じチャンネルに属する陽極部に向けられているの
で、各電子入射面と各陽極部との間に作り出される等電
位面により、電子入射面で発生した２次電子を、等電位
面に直交する方向、すなわち、同じチャンネルに属する
陽極部に集中させることができる。このため、各チャン
ネル毎に電子入射面と陽極部とを一対一で確実に対応さ
せることができ、隣り合う陽極部の間でのクロストーク
の発生が抑制されることになる。
【０００８】また、起立面を電子入射主要面に対して湾
曲又は傾斜させる構成とした。
曲又は傾斜させる構成とした。
【０００９】また、電子入射主要面と起立面とのコーナ
ー部分を、湾曲状又は直角状又は傾斜状にさせる構成と
した。
ー部分を、湾曲状又は直角状又は傾斜状にさせる構成と
した。
【００１０】また、陽極部をリニアに配列させる構成と
した。
した。
【００１１】また、本発明による電子増倍器は、２×２
マトリクス状の陽極に対応して、最終段ダイノードに設
けられた仕切部には、陽極の電子通過孔に対応する位置
で、電子入射主要面の端部から陽極に向けて立ち上がる
仕切面が更に設けられる構成とした。
マトリクス状の陽極に対応して、最終段ダイノードに設
けられた仕切部には、陽極の電子通過孔に対応する位置
で、電子入射主要面の端部から陽極に向けて立ち上がる
仕切面が更に設けられる構成とした。
【００１２】また、仕切面を電子入射主要面に対して湾
曲又は傾斜させる構成とした。
曲又は傾斜させる構成とした。
【００１３】また、電子入射主要面と仕切面とのコーナ
ー部分を、湾曲状又は直角状又は傾斜状にさせる構成と
した。
ー部分を、湾曲状又は直角状又は傾斜状にさせる構成と
した。
【００１４】また、本発明による光電子増倍管は、前述
した電子増倍器において、光電面をもった受光面板を更
に備える構成とした。
した電子増倍器において、光電面をもった受光面板を更
に備える構成とした。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、図面と共に本発明による光
電子増倍管の第１実施形態について詳細に説明する。
電子増倍管の第１実施形態について詳細に説明する。
【００１６】図１に示すように、光電子増倍管１は角筒
形状の金属容器２を有し、この金属容器２の一端部に
は、ガラス製の受光面板３が気密に取り付けられてい
る。この受光面板３の内側には、光を電子に変換するた
めの光電面４が設けられ、この光電面４は受光面板３に
蒸着したアンチモンにアルカリ金属を反応させることで
形成される。また、金属容器２の他端部は開放され、電
子増倍部２７の挿入に利用されている。この電子増倍部
２７は、図２に示すように、金属容器２に対して気密に
取り付けられる平板状の金属製ステム５を有している。
このステム５の中央には、金属容器２の内部と外部とを
連通させる円筒状の金属製の排気管６が固定されてい
る。この排気管６は、金属容器２と電子増倍部２７とを
組み付けた後、金属容器２の内部を真空ポンプ（図示せ
ず）によって排気して真空状態にするのに利用されると
共に、光電面４の形成時に反応させるアルカリ金属蒸気
を金属容器２内に入れる場合にも利用される。
形状の金属容器２を有し、この金属容器２の一端部に
は、ガラス製の受光面板３が気密に取り付けられてい
る。この受光面板３の内側には、光を電子に変換するた
めの光電面４が設けられ、この光電面４は受光面板３に
蒸着したアンチモンにアルカリ金属を反応させることで
形成される。また、金属容器２の他端部は開放され、電
子増倍部２７の挿入に利用されている。この電子増倍部
２７は、図２に示すように、金属容器２に対して気密に
取り付けられる平板状の金属製ステム５を有している。
このステム５の中央には、金属容器２の内部と外部とを
連通させる円筒状の金属製の排気管６が固定されてい
る。この排気管６は、金属容器２と電子増倍部２７とを
組み付けた後、金属容器２の内部を真空ポンプ（図示せ
ず）によって排気して真空状態にするのに利用されると
共に、光電面４の形成時に反応させるアルカリ金属蒸気
を金属容器２内に入れる場合にも利用される。
【００１７】図２に示すように、電子増倍器２７は、光
電面４の真下に配置される平板状の集束電極７を有し、
この集束電極７には、スリット状の開口部９が１６本形
成され、この１６本の開口部９は一方向にリニアに配列
され、それぞれチャンネル８ａを構成している。
電面４の真下に配置される平板状の集束電極７を有し、
この集束電極７には、スリット状の開口部９が１６本形
成され、この１６本の開口部９は一方向にリニアに配列
され、それぞれチャンネル８ａを構成している。
【００１８】電子増倍器２７は、集束電極７の下方に配
置されるブロック状の電子増倍部１０を有し、この電子
増倍部１０は、平板状のダイノード１１を８枚積層させ
ることで一体に形成され、各ダイノード１１にはスリッ
ト状の電子増倍孔１２が１６本形成され、１６本の電子
増倍孔１２はそれぞれチャンネル８ｂを構成し、各チャ
ンネル８ｂは集束電極７のチャンネル８ａに対応してい
る。
置されるブロック状の電子増倍部１０を有し、この電子
増倍部１０は、平板状のダイノード１１を８枚積層させ
ることで一体に形成され、各ダイノード１１にはスリッ
ト状の電子増倍孔１２が１６本形成され、１６本の電子
増倍孔１２はそれぞれチャンネル８ｂを構成し、各チャ
ンネル８ｂは集束電極７のチャンネル８ａに対応してい
る。
【００１９】電子増倍器２７は、電子増倍部１０の下方
に配置される陽極１３を有し、この陽極１３は１６個の
独立した細長い陽極部２４で構成されている。各陽極部
２４は、チャンネル８ａ，８ｂと同一方向にリニアに配
列されている。隣接する陽極部２４間には、それぞれ電
子通過孔１４が形成され、各電子通過孔１４は、電子増
倍部１０の各チャンネル８ｂに対応している。
に配置される陽極１３を有し、この陽極１３は１６個の
独立した細長い陽極部２４で構成されている。各陽極部
２４は、チャンネル８ａ，８ｂと同一方向にリニアに配
列されている。隣接する陽極部２４間には、それぞれ電
子通過孔１４が形成され、各電子通過孔１４は、電子増
倍部１０の各チャンネル８ｂに対応している。
【００２０】図２及び図３に示すように、電子増倍器２
７は、陽極１３の下方に配置される平板状の最終段ダイ
ノード１５を有し、この最終段ダイノード１５は、１６
本の電子入射部１７を有し、各電子入射部１７はそれぞ
れチャンネル８ｃを構成し、隣接する電子入射部１７間
にはスリット状の貫通孔１６が形成されている。各電子
入射部１７は、電子通過孔１４を通過した電子が入射す
る位置に配設され、陽極部２４の配列方向と同一の方向
に１６本配列されている。
７は、陽極１３の下方に配置される平板状の最終段ダイ
ノード１５を有し、この最終段ダイノード１５は、１６
本の電子入射部１７を有し、各電子入射部１７はそれぞ
れチャンネル８ｃを構成し、隣接する電子入射部１７間
にはスリット状の貫通孔１６が形成されている。各電子
入射部１７は、電子通過孔１４を通過した電子が入射す
る位置に配設され、陽極部２４の配列方向と同一の方向
に１６本配列されている。
【００２１】図４に示すように、各電子入射部１７の表
面には電子入射面１８が形成されている。この電子入射
面１８は、電子通過孔１４を通過した電子が入射する位
置に形成されている。電子入射面１８は、図５に示すよ
うに、フラットな電子入射主要面１８ａと、この電子入
射主要面１８ａの端部１８ｂから陽極１３の各陽極部２
４に向けて立ち上がる起立面１８ｃとから構成されてい
る。
面には電子入射面１８が形成されている。この電子入射
面１８は、電子通過孔１４を通過した電子が入射する位
置に形成されている。電子入射面１８は、図５に示すよ
うに、フラットな電子入射主要面１８ａと、この電子入
射主要面１８ａの端部１８ｂから陽極１３の各陽極部２
４に向けて立ち上がる起立面１８ｃとから構成されてい
る。
【００２２】起立面１８ｃは、電子入射主要面１８ａに
対して湾曲しているのが好ましい。このように起立面１
８ｃを湾曲させることで、起立面１８ｃと陽極部２４と
の間には、起立面１８ｃの湾曲形状に対応した形状の等
電位面（図示せず）が形成され、この等電位面が、同一
チャンネル８に属する陽極部２４で捕捉し得る２次電子
数を増加させる。このような電子入射面１８はエッチン
グ等により形成されている。また、電子入射面１８は、
アンチモン及びアルカリ金属等の２次電子放出物質で形
成され、電子が入射した場合に２次電子を発生させる。
なお、図６の一点鎖線で示すように、起立面１８ｃは電
子入射主要面１８ａに対して傾斜させてもよく、図６の
実線で示すように、起立面１８ｃと主要面１８ａとのコ
ーナー部分２９を直角状に形成してもよい。また、図示
しないが、コーナー部分２９のみを傾斜状又は湾曲状に
形成してもよい。
対して湾曲しているのが好ましい。このように起立面１
８ｃを湾曲させることで、起立面１８ｃと陽極部２４と
の間には、起立面１８ｃの湾曲形状に対応した形状の等
電位面（図示せず）が形成され、この等電位面が、同一
チャンネル８に属する陽極部２４で捕捉し得る２次電子
数を増加させる。このような電子入射面１８はエッチン
グ等により形成されている。また、電子入射面１８は、
アンチモン及びアルカリ金属等の２次電子放出物質で形
成され、電子が入射した場合に２次電子を発生させる。
なお、図６の一点鎖線で示すように、起立面１８ｃは電
子入射主要面１８ａに対して傾斜させてもよく、図６の
実線で示すように、起立面１８ｃと主要面１８ａとのコ
ーナー部分２９を直角状に形成してもよい。また、図示
しないが、コーナー部分２９のみを傾斜状又は湾曲状に
形成してもよい。
【００２３】更に、図３及び図７に示すように、電子入
射面１８の両端部には、電子入射主要面１８ａの両端部
１８ｄから陽極１３に向けて立ち上がる側壁面２８が形
成されている。各側壁面２８は、前述した起立面１８ｃ
と同様に、電子入射主要面１８ａに対して直角状、傾斜
状又は湾曲状に形成されている。
射面１８の両端部には、電子入射主要面１８ａの両端部
１８ｄから陽極１３に向けて立ち上がる側壁面２８が形
成されている。各側壁面２８は、前述した起立面１８ｃ
と同様に、電子入射主要面１８ａに対して直角状、傾斜
状又は湾曲状に形成されている。
【００２４】ここで、電子増倍器２７を組み立てるに際
して、図２に示すように、集束電極７と電子増倍部１０
と陽極１３と最終段ダイノード１５とは、金属容器２の
外部からステム５を貫通して垂直に延びるステムピン２
３によって固定されている。また、電子増倍部１０、陽
極１３及び最終段ダイノード１５は、このピン２３によ
って、所定の電位が与えられ、光電面４と集束電極７と
は同じ電位に設定され、電子増倍部１０、最終段ダイノ
ード１５、陽極１３は、この順に高い電位に設定されて
いる。
して、図２に示すように、集束電極７と電子増倍部１０
と陽極１３と最終段ダイノード１５とは、金属容器２の
外部からステム５を貫通して垂直に延びるステムピン２
３によって固定されている。また、電子増倍部１０、陽
極１３及び最終段ダイノード１５は、このピン２３によ
って、所定の電位が与えられ、光電面４と集束電極７と
は同じ電位に設定され、電子増倍部１０、最終段ダイノ
ード１５、陽極１３は、この順に高い電位に設定されて
いる。
【００２５】次に、前述した構成に基づき、光電子増倍
管１の作用について図面と共に説明する。
管１の作用について図面と共に説明する。
【００２６】まず、集束電極７、電子増倍部１０、陽極
１３及び最終段ダイノード１５に、ピン２３を介して所
定の電位を与える。この状態で、金属容器２の外部から
光が入射した場合、図８の実線矢印で示すように、この
光は、光電面４で光電子に変換され、光電子は、集束電
極７の各開口部９に集束された後、ダイノード１１の電
子増倍孔１２に入射し、各ダイノード１１で多段増倍さ
れて、電子増倍部１０から出射される。そして、光電子
は、陽極部２４同士間の電子通過孔１４を通過し、最終
段ダイノード１５の電子入射面１８に入射した後、電子
入射面１８で多数の２次電子を発生させ、この２次電子
が各陽極部２４で検出される。
１３及び最終段ダイノード１５に、ピン２３を介して所
定の電位を与える。この状態で、金属容器２の外部から
光が入射した場合、図８の実線矢印で示すように、この
光は、光電面４で光電子に変換され、光電子は、集束電
極７の各開口部９に集束された後、ダイノード１１の電
子増倍孔１２に入射し、各ダイノード１１で多段増倍さ
れて、電子増倍部１０から出射される。そして、光電子
は、陽極部２４同士間の電子通過孔１４を通過し、最終
段ダイノード１５の電子入射面１８に入射した後、電子
入射面１８で多数の２次電子を発生させ、この２次電子
が各陽極部２４で検出される。
【００２７】ここで、図４及び図５に示すように、電子
入射面１８の起立面１８ｃ及び電子入射主要面１８ａが
それぞれ、同じチャンネル８に属する陽極部２４に向け
られているので、電子入射面１８と陽極部２４との間に
作り出される等電位面により、電子入射面１８で発生し
た２次電子を、等電位面に直交する方向、すなわち、同
じチャンネル８に属する陽極部２４に集中させるように
向かわせることができる。従って、各チャンネル毎に、
各電子入射面１８と各陽極部２４とを一対一で確実に対
応させることができ、隣り合う陽極部２４の間でのクロ
ストークの発生が抑制されることになる。
入射面１８の起立面１８ｃ及び電子入射主要面１８ａが
それぞれ、同じチャンネル８に属する陽極部２４に向け
られているので、電子入射面１８と陽極部２４との間に
作り出される等電位面により、電子入射面１８で発生し
た２次電子を、等電位面に直交する方向、すなわち、同
じチャンネル８に属する陽極部２４に集中させるように
向かわせることができる。従って、各チャンネル毎に、
各電子入射面１８と各陽極部２４とを一対一で確実に対
応させることができ、隣り合う陽極部２４の間でのクロ
ストークの発生が抑制されることになる。
【００２８】次に、本発明による光電子増倍管の第２実
施形態について図９ないし図１１を参照して説明する。
なお、光電子増倍管の第１実施形態と同一又は同等の構
成部分については同一符号を付す。
施形態について図９ないし図１１を参照して説明する。
なお、光電子増倍管の第１実施形態と同一又は同等の構
成部分については同一符号を付す。
【００２９】図９に示すように、陽極１３Ａは２×２マ
トリクス状に分割され、各陽極１３Ａには、スリット状
の電子通過孔１４が７個形成され、各電子通過孔１４は
一方向にリニアに配列されている。また、この配列方向
において、隣接する陽極１３Ａ同士間の空間１４ａも電
子通過孔１４として機能している。
トリクス状に分割され、各陽極１３Ａには、スリット状
の電子通過孔１４が７個形成され、各電子通過孔１４は
一方向にリニアに配列されている。また、この配列方向
において、隣接する陽極１３Ａ同士間の空間１４ａも電
子通過孔１４として機能している。
【００３０】陽極１３Ａの下方には、図１０に示すよう
に、平板状の最終段ダイノード１５Ａが配置され、この
最終段ダイノード１５Ａの中央には仕切部２５が設けら
れ、この仕切部２５は、左右の陽極１３Ａ同士を離間さ
せる直線状の空隙部１３Ｂ（図９参照）に対峙して直線
状に設けられている。この仕切部２５により、最終段ダ
イノード１５Ａは２つの領域１５Ａａ，１５Ａｂに分割
され、各領域１５Ａa，１５Ａｂには、複数のチャンネ
ル８ｄが仕切部２５の長手方向に平行に且つリニアに配
列され、各チャンネル８ｄは、各陽極１３Ａの電子通過
孔１４に対応する位置に配置されている。
に、平板状の最終段ダイノード１５Ａが配置され、この
最終段ダイノード１５Ａの中央には仕切部２５が設けら
れ、この仕切部２５は、左右の陽極１３Ａ同士を離間さ
せる直線状の空隙部１３Ｂ（図９参照）に対峙して直線
状に設けられている。この仕切部２５により、最終段ダ
イノード１５Ａは２つの領域１５Ａａ，１５Ａｂに分割
され、各領域１５Ａa，１５Ａｂには、複数のチャンネ
ル８ｄが仕切部２５の長手方向に平行に且つリニアに配
列され、各チャンネル８ｄは、各陽極１３Ａの電子通過
孔１４に対応する位置に配置されている。
【００３１】図１０及び図１１に示すように、各チャン
ネル８ｄに対応する各電子入射面１８は、フラットな電
子入射主要面１８ａを有し、この電子入射主要面１８ａ
は、この電子入射主要面１８ａの幅方向の端部１８ｂか
ら、陽極１３Ａに向けて立ち上がる起立面１８ｃを有し
ている。更に、電子入射主要面１８ａは、この電子入射
主要面１８ａの延在方向の端部１８ｅから、仕切部２５
の頂縁部に向けて立ち上がる仕切面２６を有している。
この仕切面２６は、フラットな電子入射主要面１８ａに
対して湾曲している。
ネル８ｄに対応する各電子入射面１８は、フラットな電
子入射主要面１８ａを有し、この電子入射主要面１８ａ
は、この電子入射主要面１８ａの幅方向の端部１８ｂか
ら、陽極１３Ａに向けて立ち上がる起立面１８ｃを有し
ている。更に、電子入射主要面１８ａは、この電子入射
主要面１８ａの延在方向の端部１８ｅから、仕切部２５
の頂縁部に向けて立ち上がる仕切面２６を有している。
この仕切面２６は、フラットな電子入射主要面１８ａに
対して湾曲している。
【００３２】従って、最終段ダイノード１５Ａの仕切部
２５に、湾曲した仕切面２６が形成されているので、仕
切部２５を境にして隣接するチャンネル８ｄ同士のクロ
ストークを抑制することができる。また、チャンネル８
ｄの幅方向において、各起立面１８ｃにより、隣接する
チャンネル８ｄ同士のクロストークを抑制することがで
きる。なお、仕切面２６を電子入射主要面１８ａに対し
て傾斜させてもよく、電子入射主要面１８ａと仕切面２
６とのコーナー部分のみを湾曲状又は直角状又は傾斜状
としてもよい。
２５に、湾曲した仕切面２６が形成されているので、仕
切部２５を境にして隣接するチャンネル８ｄ同士のクロ
ストークを抑制することができる。また、チャンネル８
ｄの幅方向において、各起立面１８ｃにより、隣接する
チャンネル８ｄ同士のクロストークを抑制することがで
きる。なお、仕切面２６を電子入射主要面１８ａに対し
て傾斜させてもよく、電子入射主要面１８ａと仕切面２
６とのコーナー部分のみを湾曲状又は直角状又は傾斜状
としてもよい。
【００３３】ただし、光電子増倍管の第２実施形態にお
いて、図示しないが、この光電子増倍管は平板状の集束
電極を有し、この集束電極は中央に仕切部を有し、この
仕切部によって２つの領域に分割されている。分割され
た各領域には、スリット状の１４個のチャンネルが一方
向にリニアに配列されている。この集束電極の下方に
は、ブロック状の電子増倍部が配置され、電子増倍部を
構成する平板状の各ダイノードには、集束電極の各チャ
ンネルに対応して、１つの電子増倍孔により構成される
スリット状のチャンネルが形成されている。すなわち、
各ダイノードには、２８個のチャンネルがマトリクス状
に配列され、各チャンネルは集束電極に形成された開口
部とほぼ一致する位置に配列されている。
いて、図示しないが、この光電子増倍管は平板状の集束
電極を有し、この集束電極は中央に仕切部を有し、この
仕切部によって２つの領域に分割されている。分割され
た各領域には、スリット状の１４個のチャンネルが一方
向にリニアに配列されている。この集束電極の下方に
は、ブロック状の電子増倍部が配置され、電子増倍部を
構成する平板状の各ダイノードには、集束電極の各チャ
ンネルに対応して、１つの電子増倍孔により構成される
スリット状のチャンネルが形成されている。すなわち、
各ダイノードには、２８個のチャンネルがマトリクス状
に配列され、各チャンネルは集束電極に形成された開口
部とほぼ一致する位置に配列されている。
【００３４】本発明は、前述した第１及び第２実施形態
に限られない。例えば、図１２に示すように、厚めの最
終段ダイノード１５を深く切欠くことにより、起立面１
８ｃを有する長い突出部Ｐを陽極１３の各電子通過孔１
４に入り込ませる構成としてもよい。この場合、陽極部
２４間を突出部Ｐで略完全に遮断することができ、各チ
ャンネル８毎に各電子入射面１８と各陽極部２４との対
応関係をより明確にすることができるので、クロストー
クの発生を極めて低減させることができる。
に限られない。例えば、図１２に示すように、厚めの最
終段ダイノード１５を深く切欠くことにより、起立面１
８ｃを有する長い突出部Ｐを陽極１３の各電子通過孔１
４に入り込ませる構成としてもよい。この場合、陽極部
２４間を突出部Ｐで略完全に遮断することができ、各チ
ャンネル８毎に各電子入射面１８と各陽極部２４との対
応関係をより明確にすることができるので、クロストー
クの発生を極めて低減させることができる。
【００３５】また、電子増倍器２７は、前述した金属容
器２が無い状態の単体部品として使用された場合、真空
チャンバ（図示せず）内で使用される。
器２が無い状態の単体部品として使用された場合、真空
チャンバ（図示せず）内で使用される。
【００３６】
【発明の効果】以上説明したように本発明による電子増
倍器又は光電子増倍管は、前述したように構成されてい
るので、以下に示す効果を有する。
倍器又は光電子増倍管は、前述したように構成されてい
るので、以下に示す効果を有する。
【００３７】すなわち、本発明による電子増倍器又は光
電子増倍管は、電子入射面は、電子通過孔に対峙する電
子入射主要面と、陽極の電子通過孔に対応する位置で電
子入射主要面の端部から陽極に向けて立ち上がる起立面
とを有する構成としているので、各チャンネル毎に各電
子入射面と各陽極部とを一対一で確実に対応させること
ができ、隣り合う陽極部間でのクロストークの発生が抑
制される。
電子増倍管は、電子入射面は、電子通過孔に対峙する電
子入射主要面と、陽極の電子通過孔に対応する位置で電
子入射主要面の端部から陽極に向けて立ち上がる起立面
とを有する構成としているので、各チャンネル毎に各電
子入射面と各陽極部とを一対一で確実に対応させること
ができ、隣り合う陽極部間でのクロストークの発生が抑
制される。
【図１】本発明の光電子増倍管の外観を示す斜視図であ
る。
る。
【図２】本発明に係る光電子増倍管の第１実施形態に適
用させる電子増倍器を示す分解斜視図である。
用させる電子増倍器を示す分解斜視図である。
【図３】最終段ダイノードを示す平面図である。
【図４】図３のＩＶ−ＩＶ線に沿う断面の端面図であ
る。
る。
【図５】最終段ダイノードと陽極部と電子増倍部との関
係を示す斜視図である。
係を示す斜視図である。
【図６】電子入射面の変形例を示す断面図である。
【図７】電子入射部の端部を示す拡大斜視図である。
【図８】光電子増倍管の断面図である。
【図９】光電子増倍管の第２実施形態で用いられる陽極
を示す平面図である。
を示す平面図である。
【図１０】光電子増倍管の第２実施形態で用いられる最
終段ダイノードを示す平面図である。
終段ダイノードを示す平面図である。
【図１１】図１０の最終段ダイノードの要部を示す斜視
図である。
図である。
【図１２】最終段ダイノードの変形例を示す断面図であ
る。
る。
【図１３】従来の光電子増倍管の要部を示す断面図であ
る。
る。
３…受光面板、４…光電面、８，８ａ，８ｂ，８ｃ…チ
ャンネル、１０…電子増倍部、１１…ダイノード、１４
…電子通過孔、１３…陽極、１５…最終段ダイノード、
１８…電子入射面、１８ａ…電子入射主要面、１８ｂ…
端部、１８ｃ…起立面、２４…陽極部、２５…仕切部、
２６…仕切面、２９…コーナー部分。
ャンネル、１０…電子増倍部、１１…ダイノード、１４
…電子通過孔、１３…陽極、１５…最終段ダイノード、
１８…電子入射面、１８ａ…電子入射主要面、１８ｂ…
端部、１８ｃ…起立面、２４…陽極部、２５…仕切部、
２６…仕切面、２９…コーナー部分。
Claims (8)
- 【請求項１】 入射した電子を増倍するためのダイノー
ドを複数段に積層させた電子増倍部と、前記電子増倍部
から出射した電子を通過させる複数の電子通過孔を形成
させるための複数の陽極部をもった陽極と、前記陽極の
前記各電子通過孔を通過した電子を前記各陽極部に入射
させる電子入射面を有する最終段ダイノードとを備え、
複数のチャンネルをもった電子増倍器において、 前記電子入射面は、前記電子通過孔に対峙する電子入射
主要面と、前記陽極の前記電子通過孔に対応する位置で
前記電子入射主要面の端部から前記陽極に向けて立ち上
がる起立面とを有することを特徴とする電子増倍器。 - 【請求項２】 前記起立面を前記電子入射主要面に対し
て湾曲又は傾斜させたことを特徴とする請求項１記載の
電子増倍器。 - 【請求項３】 前記電子入射主要面と前記起立面とのコ
ーナー部分を、湾曲状又は直角状又は傾斜状にさせたこ
とを特徴とする請求項１記載の電子増倍器。 - 【請求項４】 前記陽極部をリニアに配列させたことを
特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の電子増
倍器。 - 【請求項５】 ２×２マトリクス状の前記陽極に対応し
て前記最終段ダイノードに設けられた仕切部には、前記
陽極の前記電子通過孔に対応する位置で、前記電子入射
主要面の端部から前記陽極に向けて立ち上がる仕切面が
更に設けられたことを特徴とする請求項１〜３のいずれ
か一項に記載の電子増倍器。 - 【請求項６】 前記仕切面を前記電子入射主要面に対し
て湾曲又は傾斜させたことを特徴とする請求項５記載の
電子増倍器。 - 【請求項７】 前記電子入射主要面と前記仕切面とのコ
ーナー部分を、湾曲状又は直角状又は傾斜状にさせたこ
とを特徴とする請求項５記載の電子増倍器。 - 【請求項８】 請求項１〜７のいずれか一項に記載の電
子増倍器において、光電面をもった受光面板を更に備え
たことを特徴とする光電子増倍管。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12037696A JP3640464B2 (ja) | 1996-05-15 | 1996-05-15 | 電子増倍器及び光電子増倍管 |
| US08/954,961 US5917281A (en) | 1996-05-15 | 1997-10-21 | Photomultiplier tube with inverting dynode plate |
| EP97308433A EP0911864B1 (en) | 1996-05-15 | 1997-10-23 | An electron multiplier |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12037696A JP3640464B2 (ja) | 1996-05-15 | 1996-05-15 | 電子増倍器及び光電子増倍管 |
| US08/954,961 US5917281A (en) | 1996-05-15 | 1997-10-21 | Photomultiplier tube with inverting dynode plate |
| EP97308433A EP0911864B1 (en) | 1996-05-15 | 1997-10-23 | An electron multiplier |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09306416A true JPH09306416A (ja) | 1997-11-28 |
| JP3640464B2 JP3640464B2 (ja) | 2005-04-20 |
Family
ID=27238681
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12037696A Expired - Fee Related JP3640464B2 (ja) | 1996-05-15 | 1996-05-15 | 電子増倍器及び光電子増倍管 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5917281A (ja) |
| EP (1) | EP0911864B1 (ja) |
| JP (1) | JP3640464B2 (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003098658A1 (fr) * | 2002-05-15 | 2003-11-27 | Hamamatsu Photonics K.K. | Tube photomultiplicateur et son procédé d'utilisation |
| WO2007099956A1 (ja) * | 2006-02-28 | 2007-09-07 | Hamamatsu Photonics K.K. | 光電子増倍管および放射線検出装置 |
| WO2007111103A1 (ja) * | 2006-03-24 | 2007-10-04 | Hamamatsu Photonics K.K. | 光電子増倍管および放射線検出装置 |
| US7741758B2 (en) | 2003-06-17 | 2010-06-22 | Hamamatsu Photonics K.K. | Electron multiplier including dynode unit, insulating plates, and columns |
| US7812532B2 (en) | 2006-02-28 | 2010-10-12 | Hamamatsu Photonics K.K. | Photomultiplier tube, radiation detecting device, and photomultiplier tube manufacturing method |
| US7838810B2 (en) | 2006-02-28 | 2010-11-23 | Hamamatsu Photonics K.K. | Photomultiplier tube and a radiation detecting device employing the photomultiplier tube |
| US7847232B2 (en) | 2006-02-28 | 2010-12-07 | Hamamatsu Photonics K.K. | Photomultiplier tube and radiation detecting device employing the photomultiplier tube |
| US11302522B2 (en) | 2018-06-06 | 2022-04-12 | Hamamatsu Photonics K.K. | First-stage dynode and photomultiplier tube |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4246879B2 (ja) * | 2000-04-03 | 2009-04-02 | 浜松ホトニクス株式会社 | 電子増倍管及び光電子増倍管 |
| JP4108905B2 (ja) * | 2000-06-19 | 2008-06-25 | 浜松ホトニクス株式会社 | ダイノードの製造方法及び構造 |
| EP1369899B1 (en) * | 2001-02-23 | 2010-01-06 | Hamamatsu Photonics K.K. | Photomultiplier |
| GB2435614A (en) * | 2006-03-01 | 2007-09-05 | Samuel George | Transducer holder for maintaining signal-receiving contact with a patient's body |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2925020B2 (ja) * | 1989-11-10 | 1999-07-26 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光電子増倍管 |
| JP3078905B2 (ja) * | 1991-12-26 | 2000-08-21 | 浜松ホトニクス株式会社 | 電子増倍器を備えた電子管 |
| JP3215486B2 (ja) * | 1992-04-09 | 2001-10-09 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光電子増倍管 |
| EP0622827B1 (en) * | 1993-04-28 | 1997-11-12 | Hamamatsu Photonics K.K. | Photomultiplier |
| JP3312771B2 (ja) * | 1993-04-30 | 2002-08-12 | 浜松ホトニクス株式会社 | 電子増倍管 |
| US5572089A (en) * | 1993-04-28 | 1996-11-05 | Hamamatsu Photonics K.K. | Photomultiplier for multiplying photoelectrons emitted from a photocathode |
| JP3466712B2 (ja) * | 1994-06-28 | 2003-11-17 | 浜松ホトニクス株式会社 | 電子管 |
| JP3445663B2 (ja) * | 1994-08-24 | 2003-09-08 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光電子増倍管 |
-
1996
- 1996-05-15 JP JP12037696A patent/JP3640464B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1997
- 1997-10-21 US US08/954,961 patent/US5917281A/en not_active Expired - Fee Related
- 1997-10-23 EP EP97308433A patent/EP0911864B1/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003098658A1 (fr) * | 2002-05-15 | 2003-11-27 | Hamamatsu Photonics K.K. | Tube photomultiplicateur et son procédé d'utilisation |
| US7741758B2 (en) | 2003-06-17 | 2010-06-22 | Hamamatsu Photonics K.K. | Electron multiplier including dynode unit, insulating plates, and columns |
| WO2007099956A1 (ja) * | 2006-02-28 | 2007-09-07 | Hamamatsu Photonics K.K. | 光電子増倍管および放射線検出装置 |
| US7812532B2 (en) | 2006-02-28 | 2010-10-12 | Hamamatsu Photonics K.K. | Photomultiplier tube, radiation detecting device, and photomultiplier tube manufacturing method |
| US7838810B2 (en) | 2006-02-28 | 2010-11-23 | Hamamatsu Photonics K.K. | Photomultiplier tube and a radiation detecting device employing the photomultiplier tube |
| US7847232B2 (en) | 2006-02-28 | 2010-12-07 | Hamamatsu Photonics K.K. | Photomultiplier tube and radiation detecting device employing the photomultiplier tube |
| US7902509B2 (en) | 2006-02-28 | 2011-03-08 | Hamamatsu Photonics K.K. | Photomultiplier tube and radiation detecting device |
| WO2007111103A1 (ja) * | 2006-03-24 | 2007-10-04 | Hamamatsu Photonics K.K. | 光電子増倍管および放射線検出装置 |
| US7906754B2 (en) | 2006-03-24 | 2011-03-15 | Hamamatsu Photonics K.K. | Photomultiplier tube and radiation detecting device |
| US11302522B2 (en) | 2018-06-06 | 2022-04-12 | Hamamatsu Photonics K.K. | First-stage dynode and photomultiplier tube |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3640464B2 (ja) | 2005-04-20 |
| US5917281A (en) | 1999-06-29 |
| EP0911864A1 (en) | 1999-04-28 |
| EP0911864B1 (en) | 2006-06-28 |
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