JPH09283568A - 電子部品の接続方法 - Google Patents

電子部品の接続方法

Info

Publication number
JPH09283568A
JPH09283568A JP8097968A JP9796896A JPH09283568A JP H09283568 A JPH09283568 A JP H09283568A JP 8097968 A JP8097968 A JP 8097968A JP 9796896 A JP9796896 A JP 9796896A JP H09283568 A JPH09283568 A JP H09283568A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
substrate
electronic component
capillary
conductor
mounting surface
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP8097968A
Other languages
English (en)
Inventor
Toru Mizuno
亨 水野
Koji Tanaka
浩二 田中
Kazumasa Shiraishi
一雅 白石
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
TDK Corp
Original Assignee
TDK Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by TDK Corp filed Critical TDK Corp
Priority to JP8097968A priority Critical patent/JPH09283568A/ja
Publication of JPH09283568A publication Critical patent/JPH09283568A/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/80Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
    • H01L24/81Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a bump connector
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/10Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/11Manufacturing methods
    • H01L2224/113Manufacturing methods by local deposition of the material of the bump connector
    • H01L2224/1133Manufacturing methods by local deposition of the material of the bump connector in solid form
    • H01L2224/1134Stud bumping, i.e. using a wire-bonding apparatus
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/10Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/15Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
    • H01L2224/16Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/10Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/15Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
    • H01L2224/16Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
    • H01L2224/161Disposition
    • H01L2224/16104Disposition relative to the bonding area, e.g. bond pad
    • H01L2224/16105Disposition relative to the bonding area, e.g. bond pad the bump connector connecting bonding areas being not aligned with respect to each other
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/10Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/15Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
    • H01L2224/16Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
    • H01L2224/161Disposition
    • H01L2224/16151Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/16221Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/74Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and for methods related thereto
    • H01L2224/78Apparatus for connecting with wire connectors
    • H01L2224/7825Means for applying energy, e.g. heating means
    • H01L2224/783Means for applying energy, e.g. heating means by means of pressure
    • H01L2224/78301Capillary
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/80Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
    • H01L2224/81Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a bump connector
    • H01L2224/811Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a bump connector the bump connector being supplied to the parts to be connected in the bonding apparatus
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/80Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
    • H01L2224/85Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a wire connector
    • H01L2224/852Applying energy for connecting
    • H01L2224/85201Compression bonding
    • H01L2224/85205Ultrasonic bonding
    • H01L2224/85206Direction of oscillation
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/0001Technical content checked by a classifier
    • H01L2924/00011Not relevant to the scope of the group, the symbol of which is combined with the symbol of this group
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/0001Technical content checked by a classifier
    • H01L2924/00013Fully indexed content

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Wire Bonding (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 導体ボールにより電子部品の電極と基板のラ
ンドとを電気的に接続する電子部品の接続方法を提供す
ること。 【解決手段】 電子部品の側面部の電極と、該電子部品
を実装する基板のランドとを導体ボールで電気的に接続
する電子部品の接続方法に於いて、導体線の先端部を、
電子部品の側面と基板の実装面との交線の近傍に、キャ
ピラリの先端部により押圧し、且つ、前記キャピラリ
を、電子部品の側面と基板の実装面との交線と平行な方
向に振動させることにより導体ボールを形成することを
特徴とする電子部品の接続方法。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】電子部品の電極と、該電子部
品を実装する基板のランドとを電気的に接続するボール
ボンディング方法に係り、特に、電子部品の側面部の電
極と、基板のランドとを導体ボールで電気的に接続する
ボールボンディング方法に関する。
【0002】
【従来の技術】従来より、ボンディング装置は、フリッ
プチップのような電子部品の電極にバンプを形成する際
に用いられていた。かかるバンプは、半田により基板の
ランドと電気的に接続する部分であって、電子部品の電
極と基板のランドとを電気的に接続するための介在物で
あった。
【0003】例えば、図7に示したように、ICチップ
21の電極22上に金バンプ23、半田バンプ24、フ
ラックス膜25を順次積層した後、このICチップ21
を基板26上に実装し、半田バンプを昇温溶融させ、金
バンプ23と基板26のランド27とを電気的に接続さ
せた例が特開平5-218046号公報に示されている。
【0004】ここでは、金バンプ23を、キャピラリ1
1から供給される金ワイヤー12により形成している。
【0005】又、金バンプの上層に半田バンプを設けず
に金バンプを溶融させることにより電子部品の電極と基
板のランドを電気的に接続した例も知られている。
【0006】しかし、この場合も、金バンプ23を形成
する工程は、ICチップ21を基板26上に実装するた
めの前工程であり、金バンプ23を形成する工程とこの
金バンプ23と基板26のランド27とを電気的に接続
する工程は、別の工程になっている。
【0007】つまり、バンプの形成と、ICチップの電
極と基板のランドとの電気的接続を同時に行ったもので
はない。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】上述のように、従来は
ボンディング装置を用いたバンプの形成工程と、ICチ
ップの電極と基板のランドとを電気的に接続する工程は
別の工程であり、バンプの形成と、ICチップの電極と
基板のランドとの電気的接続は、同時に行われていなか
った。
【0009】そこで、本発明は、ボンディング装置を用
いて導体ボールを設け、その導体ボールにより電子部品
の電極と基板のランドとを電気的に接続する電子部品の
接続方法を提供するものである。
【0010】
【課題を解決するための手段】請求項1の電子部品の接
続方法は、電子部品の側面部の電極と、該電気部品を実
装する基板のランドとを導体ボールで電気的に接続する
電子部品の接続方法に於いて、導体線の先端部を、電子
部品の側面と基板の実装面との交線の近傍に、キャピラ
リの先端部により押圧し、且つ、前記キャピラリを、電
子部品の側面と基板の実装面との交線と平行な方向に振
動させることにより導体ボールを形成することを特徴と
するものである。
【0011】請求項2の電子部品の接続方法は、請求項
1記載の電子部品の接続方法に於いて、連続的に導体ボ
ールを設けるときに、導体ボールを設ける部分に対する
上記キャピラリの相対的移動方向が、電子部品の側面と
基板の実装面との交線と平行な方向であることを特徴と
するものである。
【0012】つまり、請求項2に於いては、基板を傾斜
配置した場合であっても、連続的に導体ボールを設ける
部分を、同一の水平面上に配列することができる。
【0013】請求項3の電子部品の接続方法は、請求項
1記載の電子部品の接続方法に於いて、キャピラリの押
圧方向が電子部品の側面とがなす角度と、キャピラリの
押圧方向と基板の実装面とがなす角度がほぼ同一である
ことを特徴徴とするものである。
【0014】つまり、請求項3に於いては、キャピラリ
の押圧方向と基板の実装面とがなす角度は、電子部品の
側面と基板の実装面とがなす角度の1/2になる。
【0015】尚、キャピラリの押圧方向は電子部品の側
面と基板の実装面との交線に平行なので、この交線に垂
直な断面においては、キャピラリの押圧方向は電子部品
の側面と基板の実装面とがなす角度の2等分線とほぼ平
行となる。
【0016】
【発明の実施の態様】
[本発明に於ける接続部]本発明の電子部品の接続方法
は、図1に示したような側面部に電極2を有する電子部
品1を基板3に実装するときに有効な方法であり、電子
部品1の側面部にある電極2及び基板3のランド4の双
方と電気的に接続する導体ボール5により、電子部品1
の電極2と基板3のランドと4を電気的に接続させるも
のである。
【0017】又、本発明に於いては、電子部品1の側面
部にある電極2と基板3のランド4とを導体ボール5を
介して電気的に接続することを目的とするため、導体ボ
ール5を、電子部品1の側面と基板3の実装面との交線
の近傍に設けている。
【0018】尚、上記導体ボールは、ワイヤーボンディ
ング等を行うときに使用されるボンディング装置を用い
て設けている。又、ボンディングを行うときの条件や導
体線(ワイヤー)については、一般的なワイヤーボンデ
ィングと同様の条件で、同様の導体線を用いて行うこと
ができる。
【0019】[キャピラリの押圧方向]図2は、導体ボ
ール5を設けた部分の断面図を示す。ここで、αは電子
部品1の側面と基板3の実装面とがなす角度であり、β
は導体ボール13を設けるためのキャピラリ11が導体
線12の先端部を押圧する方向と基板3の実装面とがな
す角度である。従って、角度α、βの関係は下記の関係
を満たす。
【0020】0≦β≦α・・・(1) 尚、角度βは、ほぼα/2であることが望ましい。
【0021】又、ボールボンディング装置の構造等を考
慮すれば、図3に示したようにキャピラリ11が導体線
12の先端部を押圧する方向を鉛直方向とし、基板の水
平面に対する傾斜角度γを調整することにより、所望の
角度βを設定することが望ましい。
【0022】又、電極が設けられている電子部品1の側
面は、図4に示したように必ずしも基板の実装面に対し
て垂直である必要はない。つまり、本発明のボールボン
ディング方法は、角度αが90゜以外の場合であっても
実施することができる。又、この場合も、角度βは、式
(1)を満たす範囲であればよく、望ましくはα/2で
ある。
【0023】尚、図2から3に示したトーチ13はスパ
ークを発生させるものであり、発生したスパークによ
り、切断後の導体線12の先端部の形状を球状にしてい
る。又、この導体線12としては、金を主成分とする一
般的な材料等を使用することができる。
【0024】[キャピラリの振動方向]導体ボールを設
けるとき、つまり導体ボールを電子部品の電極及び基板
のランドの双方に接続するときには、キャピラリの先端
部で導体線の先端部を接続部に押圧すると同時に、この
接続部に振動(押圧方向と垂直な方向の振動)を加える
必要がある。
【0025】この振動の方向は、図5に示したd1方
向、つまり電子部品1の側面と基板3の実装面との交線
にほぼ平行な方向であることが望ましい。ここで、キャ
ピラリ11の振動方向を、d2方向(d1と直交する方
向)とした場合、導体ボール5の接着強度が低下し、接
着強度や設けられた導体ボールの縦w1と横w2の比の
ばらつきも増加する。又、装置側については、キャピラ
リ11の先端部に破損が生じ易くなる。
【0026】例えば、導体線として金線を用い、キャピ
ラリの振動周波数を62kHz、振動の出力を2Wとし
て、キャピラリ11をd1方向に振動させたときとd2
方向に振動させたときのシェア強度試験を行った場合、
d2方向に振動させたときのシェア強度が著しく低下す
る。
【0027】[導体ボールを設ける部分に対するキャピ
ラリの相対的移動方向]連続的に導体ボールを設けると
きに、導体ボールを設ける部分に対するキャピラリの相
対的移動方向を、図6に示したように電子部品1の側面
と基板3の実装面との交線と平行な方向(M1方向)に
すれば、基板3が水平面に対して傾斜している場合であ
っても、導体ボールを設ける部分に高低差を生じること
なく効率的にボールボンディングを行うことができる。
【0028】従って、導体ボールを設ける部分に対する
キャピラリの相対的移動方向、及びキャピラリの振動方
向は、共に電子部品1の側面と基板3の実装面との交線
と平行な方向であることが望ましい。
【0029】尚、通常のボンディング装置に於いては、
キャピラリ11はアーム14の長手方向に振動するの
で、電子部品1の側面と基板3の実装面との交線が、ア
ーム14の長手方向と平行になるように、基板3を配置
することが望ましい。
【0030】
【発明の効果】本発明の電子部品の接続方法によれば、
以上説明したようにボンディング装置を用いて導体ボー
ルを設けことにより、電子部品の電極と基板のランドと
を電気的に接続することができる。
【0031】又、キャピラリの振動方向を、電子部品の
側面と基板3の実装面との交線と平行な方向にすること
により、導体ボールの縦横比のばらつきの増加や、キャ
ピラリの先端部の破損の発生を抑制することができる。
【0032】又、導体ボールを設ける部分に対するキャ
ピラリの相対的移動方向、及びキャピラリの振動方向
を、共に電子部品1の側面と基板3の実装面との交線と
平行な方向にすれば、連続的に導体ボールを設けるとき
の作業効率を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の電子部品の接続方法で電気的に接続す
る電子部品の電極と基板のランドを示した斜視図である
【図2】本発明の電子部品の接続方法で電気的に接続す
る部分とキャピラリの押圧方向との関係を示した模式図
(基板3が水平な場合)である。
【図3】本発明の電子部品の接続方法で電気的に接続す
る部分とキャピラリの押圧方向との関係を示した模式図
(基板3が傾斜配置されている場合)である。
【図4】本発明の電子部品の接続方法で電気的に接続す
る部分とキャピラリの押圧方向との関係しめした模式図
(基板3が傾斜配置され、電子部品1の側面が基板3の
実装面に垂直でない場合)である。
【図5】キャピラリの振動方向を説明するための模式図
である。
【図6】導体ボールを設ける部分に対するキャピラリの
相対的移動方向を説明するための模式図である。
【図7】従来方法により、ICチップの電極にバンプを
形成した後、このICチップを基板に実装する工程を示
した模式図である。
【符号の説明】
1 電子部品 2 電極 3、26 基板 4、27 ランド 5 導体ボール 11 キャピラリ 12 導体線 13 トーチ 14 アーム 21 ICチップ 22 電極 23 金バンプ 24 半田バンプ 25 フラックス

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 電子部品の側面部の電極と、該電子部品
    を実装する基板のランドとを導体ボールで電気的に接続
    する電子部品の接続方法に於いて、導体線の先端部を、
    電子部品の側面と基板の実装面との交線の近傍に、キャ
    ピラリの先端部により押圧し、且つ、前記キャピラリ
    を、電子部品の側面と基板の実装面との交線と平行な方
    向に振動させることにより導体ボールを形成することを
    特徴とする電子部品の接続方法。
  2. 【請求項2】 請求項1記載の電子部品の接続方法に於
    いて、連続的に導体ボールを設けるときに、導体ボール
    を設ける部分に対する上記キャピラリの相対的移動方向
    が、電子部品の側面と基板の実装面との交線と平行な方
    向であることを特徴とする電子部品の接続方法。
  3. 【請求項3】 請求項1記載の電子部品の接続方法に於
    いて、キャピラリの押圧方向と電子部品の側面とがなす
    角度と、キャピラリの押圧方向と基板の実装面とがなす
    角度がほぼ同一であることを特徴とする電子部品の接続
    方法。
JP8097968A 1996-04-19 1996-04-19 電子部品の接続方法 Withdrawn JPH09283568A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP8097968A JPH09283568A (ja) 1996-04-19 1996-04-19 電子部品の接続方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP8097968A JPH09283568A (ja) 1996-04-19 1996-04-19 電子部品の接続方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH09283568A true JPH09283568A (ja) 1997-10-31

Family

ID=14206477

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP8097968A Withdrawn JPH09283568A (ja) 1996-04-19 1996-04-19 電子部品の接続方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH09283568A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7128255B2 (en) * 2000-01-24 2006-10-31 Tdk Corporation Magnetic head, and device and method for manufacturing the same

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7128255B2 (en) * 2000-01-24 2006-10-31 Tdk Corporation Magnetic head, and device and method for manufacturing the same

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR20010082628A (ko) 전자 회로 장치의 제조 방법
JP2735022B2 (ja) バンプ製造方法
US6670706B2 (en) Semiconductor device including a semiconductor pellet having bump electrodes connected to pad electrodes of an interconnect board and method for manufacturing same
JP2001291742A (ja) Icチップの接合方法及びこれを用いた水晶発振器
JPH09283568A (ja) 電子部品の接続方法
JPH0799202A (ja) ワイヤボンディング装置用のキャピラリー及びそのキャピラリーを用いた電気的接続バンプの形成方法
JPH09172021A (ja) 半導体装置、半導体装置の製造方法及び実装方法
JPH10112479A (ja) 基板の接続方法
JPH05326601A (ja) ワイヤボンディング方法
JP3061017B2 (ja) 集積回路装置の実装構造およびその実装方法
JP3233194B2 (ja) ワイヤボンディング方法
JP2003282629A (ja) 超音波フリップチップ実装方法
JP2002299374A (ja) 半導体装置及びその製造方法
JPH08236575A (ja) 半導体装置及びその製造方法
JP3003435B2 (ja) 電子部品の製造方法および電子部品のボンディング方法
KR100685869B1 (ko) 범핑과 압착을 동시에 행하는 와이어본더
JP2004303952A (ja) 接合方法および接合装置
JPH0566982U (ja) 半田バンプの形成方法
JPH11224888A (ja) 半導体装置およびその製造方法
JPS61117846A (ja) 接合用金属突起の製造方法
JP4044559B2 (ja) 電子部品等の接合方法、およびそれに用いる接合装置
JPH09153524A (ja) 電子回路装置の製造方法
JPH10199913A (ja) ワイヤボンディング方法
JPH1126502A (ja) バンプのレベリング方法
JPH1074803A (ja) 電子部品及びその実装方法

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Withdrawal of application because of no request for examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20030701