JPH09282885A - 半導体記憶装置 - Google Patents

半導体記憶装置

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JPH09282885A
JPH09282885A JP8089380A JP8938096A JPH09282885A JP H09282885 A JPH09282885 A JP H09282885A JP 8089380 A JP8089380 A JP 8089380A JP 8938096 A JP8938096 A JP 8938096A JP H09282885 A JPH09282885 A JP H09282885A
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JP
Japan
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column
voltage
semiconductor memory
memory device
static memory
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JP8089380A
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Hirotoshi Sato
広利 佐藤
Kunihiko Kozaru
邦彦 小猿
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Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 データ読出時におけるカラム電流を低減し
て、低消費電力化およびデータ保持の安定化が図られる
SRAMセルを有する半導体記憶装置を提供することで
ある。 【解決手段】 列デコーダ2によって選択されたカラム
を構成する各SRAMセルのアクセストランジスタのバ
ックゲートには、対応する印加セレクタから、Vref
1発生回路16で発生された参照電圧が供給される。一
方、列デコーダ2によって選択されないカラムを構成す
る各SRAMセルのアクセストランジスタのバックゲー
トには、対応する印加セレクタからVbb発生回路14
で発生された基板電圧が供給される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体記憶装置に
関し、さらに詳しくは、スタティックランダムアクセス
メモリ(SRAM)を有する半導体記憶装置に関するも
のである。
【0002】
【従来の技術】図18は、従来のSRAMセルアレイを
有する半導体記憶装置の構成を示す図である。ここで
は、SRAMセルアレイのうち、ロー方向はワード線X
SELm−1からワード線XSELm+1(mは整数)
までの3本、そしてカラム方向はカラム選択線YSEL
n−1からYSELn+1(nは整数)までの3本に対
応する3対のビット線対にそれぞれ接続される9つのS
RAMセル領域を示している。
【0003】この図において、たとえば、行デコーダ1
によってワード線XSELmが、列デコーダ2によって
カラム選択線YSELnが選択された場合には、SRA
Mセル4においてデータが書込まれ、あるいはデータが
読出されることとなる。
【0004】図19は、上記図18のSRAMセルアレ
イを構成する1個のSRAMセルの回路構成を示した回
路図である。図19に示されるように、従来のSRAM
セルにおいては、そのアクセストランジスタ6およびド
ライバトランジスタ8のバックゲートノードは、グラン
ドノードに接続される。
【0005】図20は、図18に示される半導体記憶装
置において、ワード線非選択時のSRAMセル1個の状
態を示す図であり、図21は、図20に示される状態に
おける伝達特性を示す図である。
【0006】図20に示されるように、ワード線非選択
時には、アクセストランジスタ6がオフしているので、
SRAMセルのインバータはドライバトランジスタ8と
高インピーダンスの負荷10で構成され、高いゲインを
持っている。すなわち、図21に示すように、インバー
タ出力の遷移部分の傾きは急峻となる。このとき、SR
AMセルの2本の特性曲線で囲まれた部分の大きさを示
すスタティックノイズマージン(SNM)は非常に大き
く、安定にデータを保持している。なお、図中のS1お
よびS2は、安定点を示す。
【0007】一方、図22は、図18に示される半導体
記憶装置において、ワード線選択時(データ読出時)の
SRAMセル1個の状態を示す図であり、図23は、図
22に示される状態における伝達特性を示す図である。
図22に示されるように、データ読出時のSRAMセル
は2つのアクセストランジスタ6がオンし、カラム電流
が、ローレベルを有する方の記憶ノード(ノードN1ま
たはノードN2)に流れ込む。すなわち、負荷10に並
列に低インピーダンスの負荷が接続されたのと等価にな
り、高インピーダンスを有する負荷10は存在しないの
と同じになる。そして、図23に示されるように、イン
バータのゲインはワード線非選択時よりもかなり低下す
る(インバータ出力の遷移部分の傾きが緩くなる)。こ
の状態においては、スタティックノイズマージンが小さ
く、SRAMセルが最も不安定となり、双安定状態が失
われてデータが破壊される恐れがある。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】SRAMセルアレイに
おいては、データ読出時に1本のワード線を立上げるべ
く昇圧すると、所望のセルからデータが読出されるだけ
ではなく、非選択カラムのSRAMセルに不要なカラム
電流が流れるため、上記のように、非選択カラムのSR
AMセルの双安定状態が失われて記憶データが不安定と
なるという問題を生ずる。
【0009】本発明は、このような問題を解決するため
になされたもので、データ読出時におけるカラム電流を
低減して、低消費電力化およびデータ保持の安定化が図
られるSRAMセルを有する半導体記憶装置を提供する
ことを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】請求項1に係る半導体記
憶装置は、複数の列を有するスタティックメモリセルア
レイと、スタティックメモリセルアレイのうち、データ
の書込または読出の対象とする列を選択する列選択手段
と、基板電圧を発生させる基板電圧発生手段と、参照電
圧を発生させる参照電圧発生手段と、電圧供給手段とを
備える。ここで、電圧供給手段は、列選択手段によって
選択された列を構成する各々のスタティックメモリセル
内のアクセストランジスタのバックゲートには参照電圧
を供給するとともに、列選択手段によって選択されない
列を構成する各々のスタティックメモリセル内のアクセ
ストランジスタのバックゲートには基板電圧を供給する
ものである。
【0011】請求項2に係る半導体記憶装置は、複数の
ワード線と、それらのワード線と交差する複数のビット
線対と、ワード線およびビット線対の交点に対応して設
けられ、各々が第1および第2のアクセストランジスタ
と第1および第2のドライバトランジスタとを含む複数
のスタティックメモリセルと、列アドレス信号に応答し
てビット線対に対応する複数のカラム選択信号を生成す
る列デコーダと、ビット線対の各々に対応して設けら
れ、各々が対応するビット線対に接続され、活性化され
たカラム選択信号に応答してオンとなる複数の列選択ゲ
ートと、基板電圧を発生させる基板電圧発生手段と、参
照電圧を発生させる参照電圧発生手段と、複数の電圧供
給手段とを備える。ここで、電圧供給手段は、ビット線
対に対応して設けられ、各々が、対応する列選択ゲート
に与えられるカラム選択信号に応答してそのカラム選択
信号が活性化されると参照電圧を対応するビット線対に
接続されたスタティックメモリセルの第1および第2の
アクセストランジスタのバックゲートに供給する一方、
カラム選択信号が不活性化されると基板電圧を対応する
ビット線対に接続されたスタティックメモリセルの第1
および第2のアクセストランジスタのバックゲートに供
給するものである。
【0012】請求項3に係る半導体記憶装置は、請求項
2に記載の半導体記憶装置であって、その基板電圧発生
手段は、第1および第2のアクセストランジスタのバッ
クゲートに供給すれば第1および第2のアクセストラン
ジスタのしきい値電圧がワード線を立上げるために必要
な昇圧電圧より高くなるような基板電圧を発生させるも
のである。
【0013】請求項4に係る半導体記憶装置は、請求項
2または3に記載の半導体記憶装置であって、その電圧
供給手段は、さらに、カラム選択信号が活性化された列
を構成する各々のスタティックメモリセルの第1および
第2のドライバトランジスタのバックゲートには参照電
圧を供給するとともに、カラム選択信号が不活性化され
た列を構成する各々のスタティックメモリセルの第1お
よび第2のドライバトランジスタのバックゲートには基
板電圧を供給するものである。
【0014】請求項5に係る半導体記憶装置は、請求項
4に記載の半導体記憶装置であって、その電圧供給手段
は、さらに、カラム選択信号が活性化された列を構成す
る各々のスタティックメモリセルの第1および第2のド
ライバトランジスタのソースノードには参照電圧を供給
するとともに、カラム選択信号が不活性化された列を構
成する各々のスタティックメモリセルの第1および第2
のドライバトランジスタのソースノードには基板電圧を
供給するものである。
【0015】請求項6に係る半導体記憶装置は、請求項
2から5のいずれかに記載の半導体記憶装置であって、
その参照電圧発生手段は、グランド電圧を発生させるも
のである。
【0016】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態を図
面を参照して詳しく説明する。なお、図中同一符号は同
一または相当部分を示す。
【0017】[実施の形態1]図1は、本発明の実施の
形態1に係る半導体記憶装置の構成を示す図である。図
1に示されるように、本発明の実施の形態1に係る半導
体記憶装置は、複数のワード線XSELと、それらのワ
ード線と交差する複数のビット線対BL,/BLと、上
記ワード線XSELおよびビット線対BL,/BLに接
続される複数のSRAMセルと、入力される行アドレス
信号に応答してワード線を選択する行デコーダ1と、入
力される列アドレス信号に応答してカラム選択信号を生
成する列デコーダ2と、列デコーダ2と列選択ゲート1
8および印加セレクタ11,12,13を接続するカラ
ム選択線YSELと、それぞれのビット線対に対応して
設けられ、列デコーダ2からカラム選択線を介して活性
化された上記カラム選択信号を受けることによってオン
となる複数の列選択ゲート18と、基板電圧(Vbb)
を発生させるVbb発生回路14と、参照電圧(Vre
f1)を発生させるVref1発生回路16と、それぞ
れのビット線対に対応して設けられ、列デコーダ2より
カラム選択線を介して入力されるカラム選択信号が活性
化された場合には、Vref1発生回路16から入力さ
れるVref1を出力するとともに、列デコーダ2より
カラム選択線を介して入力されるカラム選択信号が不活
性化された場合には、Vbb発生回路14から入力され
るVbbを出力する複数の印加セレクタ11,12,1
3とを備える。ここで、印加セレクタ11,12,13
は、それぞれ、対応する列を構成する各々のSRAMセ
ルのアクセストランジスタのバックゲートに接続され
る。
【0018】図2は、印加セレクタ11,12,13の
具体的構成の一例を示す回路図である。図2に示される
ように、この印加セレクタは、第1のトランスファゲー
ト20と第2のトランスファゲート22とを備え、それ
ぞれのトランスファゲート20,22はNチャネルMO
SトランジスタとPチャネルMOSトランジスタとを含
む。ここで、トランスファゲート22内のNチャネルM
OSトランジスタのソースノードとバックゲートが接続
される。この印加セレクタによれば、入力されるカラム
選択信号YSELが活性化されたハイレベルを有する場
合には、トランスファゲート22がオフするとともにト
ランスファゲート20がオンすることによってVref
1が出力される。一方、入力されるカラム選択信号YS
ELが不活性なローレベルを有する場合にはトランスフ
ァゲート20がオフするとともにトランスファゲート2
2がオンすることによって、Vbbが出力される。
【0019】図3は、図1に示されたSRAMセルアレ
イを構成する各々のSRAMセルと等価な1つのSRA
Mセルを示した図である。図3に示されるように、個々
のSRAMセルは、負荷10と、2つのドライバトラン
ジスタ8と、2つのアクセストランジスタ6とを含む。
そして、列デコーダ2によって選択された列を構成する
各々のSRAMセル内のアクセストランジスタ6のバッ
クゲートにはVref1発生回路16で発生されたVr
ef1が印加され、その他の列を構成する各々のSRA
Mセルのアクセストランジスタ6のバックゲートにはV
bb発生回路14で発生されたVbbが印加される。こ
こで、Vbbの電位はVref1の電位より低いもので
あるため、アクセストランジスタ6のバックゲートにV
bbを印加したときには、そのアクセストランジスタ6
のしきい値電圧はVref1印加時に比して高くなる。
【0020】次に、本実施の形態1に係る半導体記憶装
置の動作を図4のタイミング図を参照して説明する。
【0021】たとえば図1に示されるワード線XSEL
mおよびビット線対BLn,/BLnに接続されるSR
AMセル4からデータを読出すときの動作においては、
図4(a),(b)に示されるように、ワード線XSE
Lmおよびカラム選択線YSELnがローレベル(L)
からハイレベル(H)へ活性化される。
【0022】なお、このとき、図4(c)に示されるよ
うに、非選択のたとえばカラム選択線YSELn+1は
不活性なLのままとされる。
【0023】そして、カラム選択線YSELnがHに活
性化されると、図1に示される印加セレクタ12から
は、Vref1発生回路16で発生されたVref1が
出力されるため、図4(d)に示されるように、図1に
示されるノードN4の電位はVref1の電位となる。
すなわちこのとき、ビット線対BLn,/BLnに接続
される各SRAMセルのアクセストランジスタ6のバッ
クゲートにはVref1が印加される。
【0024】一方、非選択のカラム選択線YSELn+
1の電位は上記のようにローレベルであるため、図1に
示される印加セレクタ13からはVbb発生回路14で
発生されたVbbが出力されるため、図4(e)に示さ
れるように、図1に示されるノードN6の電位はVbb
の電位となる。そしてこのことは、非選択カラムのSR
AMセルのアクセストランジスタ6のバックゲートには
Vbbが印加されることを意味する。
【0025】これより、本実施の形態1に係る半導体記
憶装置は、全体として、選択カラムのSRAMセル内の
アクセストランジスタ6のバックゲートにはVref1
を印加することによって通常のデータ読出動作を可能と
する一方で、非選択カラムのSRAMセル内のアクセス
トランジスタ6のバックゲートにはVbbを印加するこ
とにより、ワード線が活性化されても非選択カラムのS
RAMセルへの不要なカラム電流を低減するものである
といえる。
【0026】なお、上記において、Vbb発生回路14
はアクセストランジスタ6のしきい値電圧をワード線を
立上げるために必要な昇圧電圧より高くするよう十分に
低いVbbを発生させるものであって、そのようなVb
bを非選択カラムのSRAMセル内におけるアクセスト
ランジスタ6のバックゲートに印加することとすれば、
データ読出時に非選択カラムのSRAMセル内における
アクセストランジスタ6を完全にオフ状態にして、不要
なカラム電流を完全に流れないようにすることができ
る。
【0027】図5は、上記実施の形態1に係る非選択カ
ラムのSRAMセルについて、それに接続されるワード
線が活性化されたときの状態を示す図である。図5に示
されるように、この状態においては、アクセストランジ
スタ6は高インピーダンスとなり、高いゲインを持って
いる。また、この状態における伝達特性は図6の実線に
表わされる。この図に示されるように、インバータ出力
の遷移部分の傾きは急峻であり、スタティックノイズマ
ージンは非常に大きいため、非選択カラムのSRAMセ
ルのデータが安定に保持されることがわかる。なお、こ
の図6においてVthA2は、アクセストランジスタ6
のバックゲートにVbbを印加したときのアクセストラ
ンジスタ6のしきい値電圧を表わし、破線は、アクセス
トランジスタ6がオフのときの伝達特性を示すものであ
る。
【0028】またさらには、上記の本実施の形態1の説
明においては、SRAMセル内のアクセストランジスタ
6のバックゲートに、VbbあるいはVref1を供給
するものを記したが、図7に示されるように、Vref
1の代わりとしてグランド電圧に置換えたものも同様に
考えられる。ただし、このときVbbの電位はグランド
電位より低いという関係を有する。
【0029】[実施の形態2]図8は、本発明の実施の
形態2に係る半導体記憶装置の構成を示す図であり、図
9は、図8に示されたSRAMセルアレイを構成する各
々のSRAMセルと等価な1つのSRAMセルを示した
図である。
【0030】これらの図に示されるように、本発明の実
施の形態2に係る半導体記憶装置は、図1に示される上
記実施の形態1に係る半導体記憶装置と同様な構成を有
するが、さらに、印加セレクタ11,12,13と、そ
のそれぞれに対応するカラムのSRAMセル内における
ドライバトランジスタ8のバックゲートが接続されてい
る点で相違する。
【0031】そして、この本実施の形態2に係る半導体
記憶装置の動作も、上記実施の形態1に係る半導体記憶
装置の動作と同様なものであるが、上記接続関係よりわ
かるように、列デコーダ2から活性化されたハイレベル
のカラム選択信号が供給された印加セレクタは、選択カ
ラムのSRAMセル内におけるアクセストランジスタ6
のバックゲートおよびドライバトランジスタ8のバック
ゲートにVref1を供給するとともに、列デコーダ2
から不活性なローレベルのカラム選択信号が供給された
印加セレクタは、非選択カラムのSRAMセル内におけ
るアクセストランジスタ6のバックゲートおよびドライ
バトランジスタ8のバックゲートにVbbを供給する
(ここで、Vref1>Vbb)。
【0032】図10は、上記実施の形態2に係る非選択
カラムのSRAMセルについて、それに接続されるワー
ド線が活性化されたときの状態を示す図であり、図11
は、この状態における伝達特性を示す図である。
【0033】図10に示されるように、ドライバトラン
ジスタ8のバックゲートにVbbを印加すれば、ドライ
バトランジスタ8のしきい値電圧(VthD2)は大き
くなる。よって、図11の実線に示されるように、この
SRAMセルは、上記実施の形態1に係るSRAMセル
の同様な場合の特性を有するとともに、ドライバトラン
ジスタ8のしきい値電圧(VthD2)が大きくなるこ
とによってスタティックノイズマージンがより大きくな
るため、よりデータを安定に保持できることとなる。な
お、図11のVthA2は、アクセストランジスタ6の
バックゲートにVbbを印加したときのしきい値電圧を
表わし、破線は、アクセストランジスタ6がオフのとき
の伝達特性を示すものである。
【0034】またさらには、上記実施の形態2の説明に
おけるVref1の代わりとして、図12に示されるよ
うにグランド電圧に置換えたものも同様に考えられるこ
とは、上記実施の形態1における場合と同じである。
【0035】[実施の形態3]図13は、本発明の実施
の形態3に係る半導体記憶装置の構成を示す図であり、
図14は、図13に示されたSRAMセルアレイを構成
する各々のSRAMセルと等価な1つのSRAMセルを
示した図である。
【0036】これらの図に示されるように、本発明の実
施の形態3に係る半導体記憶装置は図8に示される上記
実施の形態2に係る半導体記憶装置と同様な構成を有す
るが、さらに、印加セレクタ11,12,13とそのそ
れぞれに対応するカラムのSRAMセル内におけるドラ
イバトランジスタ8のソースノードN8が接続されてい
る点で相違する。
【0037】そして、この本実施の形態3に係る半導体
記憶装置の動作も、上記実施の形態2に係る半導体記憶
装置の動作と同様なものであるが、上記接続関係よりわ
かるように、選択カラムのSRAMセル内におけるアク
セストランジスタ6のバックゲートと、ドライバトラン
ジスタ8のバックゲートおよびドライバトランジスタ8
のソースノードN8にVref1を供給するとともに、
非選択カラムのSRAMセル内におけるアクセストラン
ジスタ6のバックゲートとドライバトランジスタ8のバ
ックゲートおよびドライバトランジスタ8のソースノー
ドN8にVbbを供給する(ここで、Vref1>Vb
b)。
【0038】図15は、上記実施の形態3に係る非選択
カラムのSRAMセルについて、それに接続されるワー
ド線が活性化されたときの状態を示す図であり、図16
は、この状態における伝達特性を示す図である。
【0039】図15に示されるように、ドライバトラン
ジスタ8のバックゲートとソースノードN8は同電位と
されるため、このドライバトランジスタ8のしきい値電
圧の大きさは、バックゲートとソースノードN8の双方
にグランド電圧が印加されるときと同様なものとなる。
また、図16の実線に示されるように、ドライバトラン
ジスタ8のソースノードN8にVbbが印加されその電
位が低下することにより、低電源電圧時にスタティック
ノイズマージンは非常に大きく、データを安定に保持で
きることとなる。なお、図16の破線は、アクセストラ
ンジスタ6がオフのときの伝達特性を示すものである。
【0040】またさらには、上記実施の形態3の説明に
おけるVref1の代わりとして、図17に示されるよ
うにグランド電圧に置換えたものも同様に考えられるこ
とは、上記実施の形態1および2の場合と同じである。
【0041】
【発明の効果】請求項1および2に係る半導体記憶装置
によれば、非選択カラムを構成する各々のスタティック
メモリセル内のアクセストランジスタのバックゲートに
基板電圧が供給されることにより、非選択カラムのスタ
ティックメモリセルのカラム電流が低減されるため、ス
タティックメモリセルを有する半導体記憶装置の低消費
電力化およびデータ保持の安定化を図ることができる。
【0042】請求項3に係る半導体記憶装置によれば、
その基板電圧発生手段は、アクセストランジスタのバッ
クゲートに印加すればそのしきい値電圧がワード線の昇
圧電圧より高くなるような基板電圧を発生させることに
より、ワード線が昇圧された場合に非選択カラムのスタ
ティックメモリセルのカラム電流を完全に流れないこと
とするため、低消費電力化をさらに図るとともに、さら
なるデータ保持の安定化を実現することができる。
【0043】請求項4に係る半導体記憶装置によれば、
その電圧供給手段は、非選択カラムのスタティックメモ
リセルにおけるアクセストランジスタのバックゲートお
よびドライバトランジスタのバックゲートに基板電圧を
供給するため、データ保持の安定化を一層高めることが
できる。
【0044】請求項5に係る半導体記憶装置によれば、
その電圧供給手段は、非選択カラムのスタティックメモ
リセルにおけるアクセストランジスタのバックゲート
と、ドライバトランジスタのバックゲート、および、ド
ライバトランジスタのソースノードに基板電圧を供給す
るため、低電源電圧時に非選択カラムのスタティックメ
モリセルのデータ保持を安定化することができる。
【0045】請求項6に係る半導体記憶装置によれば、
その参照電圧発生手段は、グランド電圧を発生させる
が、このような半導体記憶装置においても、上記請求項
2から5に係る半導体記憶装置と同様な効果を奏するこ
とができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の実施の形態1に係る半導体記憶装置
の構成を示す図である。
【図2】 図1に示される印加セレクタの具体的構成の
一例を示す回路図である。
【図3】 図1に示されるSRAMセルと等価な1つの
SRAMセルを示した図である。
【図4】 図1に示される半導体記憶装置の動作を示す
タイミング図である。
【図5】 図1に示される半導体記憶装置において、非
選択カラムのSRAMセルについてそれに接続されるワ
ード線が活性化されたときの状態を示す図である。
【図6】 図5に示される状態におけるSRAMセルの
伝達特性を示す図である。
【図7】 図3のVref1の代わりにグランド電圧で
置換えたSRAMセルの構成を示す図である。
【図8】 本発明の実施の形態2に係る半導体記憶装置
の構成を示す図である。
【図9】 図8に示されるSRAMセルと等価な1つの
SRAMセルを示した図である。
【図10】 図8に示される半導体記憶装置において、
非選択カラムのSRAMセルについてそれに接続される
ワード線が活性化されたときの状態を示す図である。
【図11】 図10に示される状態におけるSRAMセ
ルの伝達特性を示す図である。
【図12】 図9のVref1の代わりにグランド電圧
で置換えたSRAMセルの構成を示す図である。
【図13】 本発明の実施の形態3に係る半導体記憶装
置の構成を示す図である。
【図14】 図13に示されるSRAMセルと等価な1
つのSRAMセルを示した図である。
【図15】 図13に示される半導体記憶装置におい
て、非選択カラムのSRAMセルについてそれに接続さ
れるワード線が活性化されたときの状態を示す図であ
る。
【図16】 図15に示される状態におけるSRAMセ
ルの伝達特性を示す図である。
【図17】 図14のVref1の代わりにグランド電
圧に置換えたSRAMセルの構成を示す図である。
【図18】 従来のSRAMセルアレイを有する半導体
記憶装置の構成を示す図である。
【図19】 図18に示されるSRAMセルアレイを構
成する1つのSRAMセルを示した回路図である。
【図20】 図18に示される半導体記憶装置におい
て、ワード線非選択時のSRAMセルの状態を示す図で
ある。
【図21】 図20に示される状態におけるSRAMセ
ルの伝達特性を示す図である。
【図22】 図18に示される半導体記憶装置におい
て、ワード線選択時のSRAMセルの状態を示す図であ
る。
【図23】 図22に示される状態におけるSRAMセ
ルの伝達特性を示す図である。
【符号の説明】
1 行デコーダ、2 列デコーダ、4,5 SRAMセ
ル、6 アクセストランジスタ、8 ドライバトランジ
スタ、11,12,13 印加セレクタ、14Vbb発
生回路、16 Vref1発生回路、18 列選択ゲー
ト、XSELm−1,XSELm,XSELm+1 ワ
ード線、BLn−1,BLn,BLn+1 ビット線、
/BLn−1,/BLn,/BLn+1 相補ビット
線、N8ソースノード。

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 複数の列を有するスタティックメモリセ
    ルアレイと、 前記スタティックメモリセルアレイのうち、データの書
    込または読出の対象とする列を選択する列選択手段と、 基板電圧を発生させる基板電圧発生手段と、 参照電圧を発生させる参照電圧発生手段と、 前記列選択手段によって選択された列を構成する各々の
    スタティックメモリセル内のアクセストランジスタのバ
    ックゲートには前記参照電圧を供給するとともに、前記
    列選択手段によって選択されない列を構成する各々のス
    タティックメモリセル内のアクセストランジスタのバッ
    クゲートには前記基板電圧を供給する電圧供給手段とを
    備える半導体記憶装置。
  2. 【請求項2】 複数のワード線と、 前記ワード線と交差する複数のビット線対と、 前記ワード線および前記ビット線対の交点に対応して設
    けられ、各々が第1および第2のアクセストランジスタ
    と第1および第2のドライバトランジスタとを含む複数
    のスタティックメモリセルと、 列アドレス信号に応答して前記ビット線対に対応する複
    数のカラム選択信号を生成する列デコーダと、 前記ビット線対の各々に対応して設けられ、各々が対応
    するビット線対に接続され、活性化された前記カラム選
    択信号に応答してオンとなる複数の列選択ゲートと、 基板電圧を発生させる基板電圧発生手段と、 参照電圧を発生させる参照電圧発生手段と、 前記ビット線対に対応して設けられ、各々が、対応する
    前記列選択ゲートに与えられる前記カラム選択信号に応
    答して前記カラム選択信号が活性化されると前記参照電
    圧を対応するビット線対に接続された前記スタティック
    メモリセルの前記第1および第2のアクセストランジス
    タのバックゲートに供給する一方、前記カラム選択信号
    が不活性化されると前記基板電圧を対応するビット線対
    に接続された前記スタティックメモリセルの前記第1お
    よび第2のアクセストランジスタのバックゲートに供給
    する複数の電圧供給手段とを備える半導体記憶装置。
  3. 【請求項3】 前記基板電圧発生手段は、前記第1およ
    び第2のアクセストランジスタのバックゲートに供給す
    れば前記第1および第2のアクセストランジスタのしき
    い値電圧が前記ワード線を立上げるために必要な昇圧電
    圧より高くなるような基板電圧を発生させる、請求項2
    に記載の半導体記憶装置。
  4. 【請求項4】 前記電圧供給手段は、さらに、前記カラ
    ム選択信号が活性化された列を構成する各々の前記スタ
    ティックメモリセルの前記第1および第2のドライバト
    ランジスタのバックゲートには前記参照電圧を供給する
    とともに、前記カラム選択信号が不活性化された列を構
    成する各々の前記スタティックメモリセルの前記第1お
    よび第2のドライバトランジスタのバックゲートには前
    記基板電圧を供給する、請求項2または3に記載の半導
    体記憶装置。
  5. 【請求項5】 前記電圧供給手段は、さらに、前記カラ
    ム選択信号が活性化された列を構成する各々の前記スタ
    ティックメモリセルの前記第1および第2のドライバト
    ランジスタのソースノードには前記参照電圧を供給する
    とともに、前記カラム選択信号が不活性化された列を構
    成する各々の前記スタティックメモリセルの前記第1お
    よび第2のドライバトランジスタのソースノードには前
    記基板電圧を供給する請求項4に記載の半導体記憶装
    置。
  6. 【請求項6】 前記参照電圧発生手段は、グランド電圧
    を発生させる、請求項2から5のいずれかに記載の半導
    体記憶装置。
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