JPH09269343A - 被測定試料の電気的測定方法 - Google Patents
被測定試料の電気的測定方法Info
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- JPH09269343A JPH09269343A JP10329496A JP10329496A JPH09269343A JP H09269343 A JPH09269343 A JP H09269343A JP 10329496 A JP10329496 A JP 10329496A JP 10329496 A JP10329496 A JP 10329496A JP H09269343 A JPH09269343 A JP H09269343A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 トリガー信号は、画一的に入力されるため、
安定状態を得るための所要時間に見込み違いがあると不
安定状態にもかかわらず、実測定が開始される不都合が
あった。 【解決手段】 発振器１１と、被測定試料を保持して被
測定信号を取り込む試料チャック手段１２と、取り込ま
れた被測定信号を電流もしくは電圧として検出する検出
回路部１３と、検出された電流もしくは電圧をデジタル
変換するＡ／Ｄ変換器１４と、必要データの演算や装置
全体を統括制御をする中央処理手段１５と、必要情報を
出力する出力手段１６とを少なくとも備え、試料チャッ
ク手段１２を経て取り込まれる被測定データのうち、サ
ンプリングデータとして取り込まれる当初被測定データ
は、試料チャック手段１２のチャック状態の良否を判定
するために予め設定されているしきい値と比較され、こ
のしきい値を前記当初被測定データが上回っている場合
に限り、実測定を開始するようにした。
安定状態を得るための所要時間に見込み違いがあると不
安定状態にもかかわらず、実測定が開始される不都合が
あった。 【解決手段】 発振器１１と、被測定試料を保持して被
測定信号を取り込む試料チャック手段１２と、取り込ま
れた被測定信号を電流もしくは電圧として検出する検出
回路部１３と、検出された電流もしくは電圧をデジタル
変換するＡ／Ｄ変換器１４と、必要データの演算や装置
全体を統括制御をする中央処理手段１５と、必要情報を
出力する出力手段１６とを少なくとも備え、試料チャッ
ク手段１２を経て取り込まれる被測定データのうち、サ
ンプリングデータとして取り込まれる当初被測定データ
は、試料チャック手段１２のチャック状態の良否を判定
するために予め設定されているしきい値と比較され、こ
のしきい値を前記当初被測定データが上回っている場合
に限り、実測定を開始するようにした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は被測定試料の電気的
測定方法に係り、さらに詳しくは、最適な測定開始状態
にあることを自己点検した上で回路素子などの被測定試
料に対する電気的な実測定を自動的に開始する被測定試
料の電気的測定方法に関する。
測定方法に係り、さらに詳しくは、最適な測定開始状態
にあることを自己点検した上で回路素子などの被測定試
料に対する電気的な実測定を自動的に開始する被測定試
料の電気的測定方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】コンデンサや抵抗などの回路素子の電圧
値や抵抗値といった電気的特性を測定する自動測定装置
においては、通常、被測定試料の被測定部位に例えば２
本の測定端子を各別に接触させた状態で被測定試料を保
持する試料チャック部などを備えた自動駆動手段と、前
記２本の測定端子を介して得られた被測定信号を測定値
に演算処理する測定手段とを備えて形成されている。
値や抵抗値といった電気的特性を測定する自動測定装置
においては、通常、被測定試料の被測定部位に例えば２
本の測定端子を各別に接触させた状態で被測定試料を保
持する試料チャック部などを備えた自動駆動手段と、前
記２本の測定端子を介して得られた被測定信号を測定値
に演算処理する測定手段とを備えて形成されている。
【０００３】この場合、前記自動測定装置では、通常、
種々の要因により被測定信号が安定した状態で取り込ま
れてくるまでにある程度の時間を要することから、被測
定信号が安定状態となった時点を見計らって、実測定を
開始させるためのトリガ信号を入力し、これが契機とな
って初めて実測定が開始されるようになっている例が多
い。
種々の要因により被測定信号が安定した状態で取り込ま
れてくるまでにある程度の時間を要することから、被測
定信号が安定状態となった時点を見計らって、実測定を
開始させるためのトリガ信号を入力し、これが契機とな
って初めて実測定が開始されるようになっている例が多
い。
【０００４】この際におけるトリガ信号の入力手法とし
ては、取り込まれてくる被測定信号の安定状態を測定作
業者が確認して人為的にトリガ信号を入力する手動入力
方式と、前記測定端子が被測定部位に接触した後、タイ
マにより設定された所定時間経過後に自動的に前記トリ
ガ信号を入力する自動入力方式とに大別することができ
る。
ては、取り込まれてくる被測定信号の安定状態を測定作
業者が確認して人為的にトリガ信号を入力する手動入力
方式と、前記測定端子が被測定部位に接触した後、タイ
マにより設定された所定時間経過後に自動的に前記トリ
ガ信号を入力する自動入力方式とに大別することができ
る。
【０００５】このうち、手動入力方式による場合、測定
の開始は、人為的に入力されるトリガ信号に依存してい
るので、あくまでも測定作業者が被測定信号の安定状態
を見極めた上で前記トリガ信号を入力しなければなら
ず、そのタイミングの取り方に熟練を要するだけでな
く、作業的にも煩雑になるという不都合があった。
の開始は、人為的に入力されるトリガ信号に依存してい
るので、あくまでも測定作業者が被測定信号の安定状態
を見極めた上で前記トリガ信号を入力しなければなら
ず、そのタイミングの取り方に熟練を要するだけでな
く、作業的にも煩雑になるという不都合があった。
【０００６】一方、自動入力方式は、上記手動入力方式
にみられた不都合を解消するものであり、例えば図４に
示すタイムチャートに従って一連の処理を行うことによ
り、所望に応じて設定される待機時間を経た後に自動的
にトリガ信号を入力して、被測定信号が安定状態へと移
行した後に実測定を行うことができるようになってい
る。
にみられた不都合を解消するものであり、例えば図４に
示すタイムチャートに従って一連の処理を行うことによ
り、所望に応じて設定される待機時間を経た後に自動的
にトリガ信号を入力して、被測定信号が安定状態へと移
行した後に実測定を行うことができるようになってい
る。
【０００７】すなわち、図４によれば、演算終了信号で
ある「ＥＯＭ」を図にとして示すように自動駆動手段
の側に与えることにより、自動駆動手段が備える試料チ
ャック部がその駆動を開始してこれから測定すべき所定
の被測定試料を保持しながら例えば２本の測定端子を各
別に被測定部位に接触させる。
ある「ＥＯＭ」を図にとして示すように自動駆動手段
の側に与えることにより、自動駆動手段が備える試料チ
ャック部がその駆動を開始してこれから測定すべき所定
の被測定試料を保持しながら例えば２本の測定端子を各
別に被測定部位に接触させる。
【０００８】前記試料チャック部が被測定試料を保持し
た後、予めタイマにより設定されている所定時間経過
後、つまり被測定信号が安定化するに要する一定時間の
経過後に図にとして示すように自動的にトリガ信号で
ある「ＴＲＩＧ」が入力され、実測定が開始される。
た後、予めタイマにより設定されている所定時間経過
後、つまり被測定信号が安定化するに要する一定時間の
経過後に図にとして示すように自動的にトリガ信号で
ある「ＴＲＩＧ」が入力され、実測定が開始される。
【０００９】予め定めてある所定の実測定時間が経過す
ると、図にとして示すように実測定の終了信号である
「ＩＮＤＥＸ」が入力され、実測定により取り込まれた
被測定信号を測定値に変換するための演算処理が開始さ
れ、同時に試料チャック部が現在保持している被測定試
料が開放され、次の測定に供される被測定試料を保持す
るための態勢へと移行する。
ると、図にとして示すように実測定の終了信号である
「ＩＮＤＥＸ」が入力され、実測定により取り込まれた
被測定信号を測定値に変換するための演算処理が開始さ
れ、同時に試料チャック部が現在保持している被測定試
料が開放され、次の測定に供される被測定試料を保持す
るための態勢へと移行する。
【００１０】かくして、測定手段の側が被測定信号を測
定値に変換するための演算処理を終えた際には、演算処
理の終了信号である「ＥＯＭ」が自動駆動手段の側に与
えられ、試料チャック部がその駆動を開始して次の被測
定試料を保持して、以下、同様の処理が再び開始され、
順次、被測定試料に対する測定処理が自動的に行われる
ことになる。
定値に変換するための演算処理を終えた際には、演算処
理の終了信号である「ＥＯＭ」が自動駆動手段の側に与
えられ、試料チャック部がその駆動を開始して次の被測
定試料を保持して、以下、同様の処理が再び開始され、
順次、被測定試料に対する測定処理が自動的に行われる
ことになる。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】ところで、図４に示す
自動入力方式によっても、被測定信号が安定化するに要
する一定時間の経過後に自動的にトリガ信号を「ＴＲＩ
Ｇ」として入力することができるので、実測定された被
測定信号から望ましい測定値を得ることはできる。
自動入力方式によっても、被測定信号が安定化するに要
する一定時間の経過後に自動的にトリガ信号を「ＴＲＩ
Ｇ」として入力することができるので、実測定された被
測定信号から望ましい測定値を得ることはできる。
【００１２】しかし、上記自動入力方式による場合に
は、予め設定されている条件のもとで「ＴＲＩＧ」が自
動的に、かつ、画一的に入力されるものであるため、仮
に安定した状態となるまでに要する時間に見込み違いが
あるような場合には、実際には未だ不安定な状態にある
にもかかわらず、実測定が開始されてしまうなど、状況
の変化に十分に対応しきれないという不都合があった。
は、予め設定されている条件のもとで「ＴＲＩＧ」が自
動的に、かつ、画一的に入力されるものであるため、仮
に安定した状態となるまでに要する時間に見込み違いが
あるような場合には、実際には未だ不安定な状態にある
にもかかわらず、実測定が開始されてしまうなど、状況
の変化に十分に対応しきれないという不都合があった。
【００１３】また、上記自動入力方式による場合には、
被測定部位に対し測定端子が正しく接触していない状態
にあっても、画一的に入力される「ＴＲＩＧ」が契機と
なって実測定が開始されてしまう不都合があり、かかる
不都合を回避させるために被測定部位と接触端子との間
の接触状態の良否を確認するための機械的な装置を別途
配設しておく必要があり、それだけ装置構成を複雑化さ
せるほか、作業効率の低下を招く不具合もあった。
被測定部位に対し測定端子が正しく接触していない状態
にあっても、画一的に入力される「ＴＲＩＧ」が契機と
なって実測定が開始されてしまう不都合があり、かかる
不都合を回避させるために被測定部位と接触端子との間
の接触状態の良否を確認するための機械的な装置を別途
配設しておく必要があり、それだけ装置構成を複雑化さ
せるほか、作業効率の低下を招く不具合もあった。
【００１４】本発明は上記課題に鑑みてなされたもので
あり、その目的は、被測定試料から取り込まれてくる被
測定信号との関係で、測定端子との接触状態の良否と、
被測定信号の安定状態の良否とを自動的に判定し、良状
態と判定された時点でトリガ信号を利用することなく自
動的に実測定処理を開始する被測定試料の測定方法を提
供することにある。
あり、その目的は、被測定試料から取り込まれてくる被
測定信号との関係で、測定端子との接触状態の良否と、
被測定信号の安定状態の良否とを自動的に判定し、良状
態と判定された時点でトリガ信号を利用することなく自
動的に実測定処理を開始する被測定試料の測定方法を提
供することにある。
【００１５】
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
しようとするものであり、その構成上の特徴は、交流信
号を発振する発振器と、被測定試料を保持して被測定信
号を取り込む試料チャック手段と、取り込まれた被測定
信号を電流もしくは電圧として検出する検出回路部と、
検出された電流もしくは電圧を被測定データにデジタル
変換するＡ／Ｄ変換器と、前記被測定データを含む必要
データの演算や装置全体を統括制御をする中央処理手段
と、必要情報を出力する出力手段とを少なくとも備え、
前記試料チャック手段を介して取り込まれる被測定デー
タのうち、サンプリングデータとして取り込まれる当初
被測定データは、試料チャック手段のチャック状態の良
否を判定するために予め設定されているしきい値と比較
され、このしきい値を前記当初被測定データが上回って
いる場合に限り、実測定を開始することにある。なお、
前記しきい値は、被測定データが信号的に安定状態にあ
るか否かをも同時に判定できるように予め設定されてい
るものであってもよい。
しようとするものであり、その構成上の特徴は、交流信
号を発振する発振器と、被測定試料を保持して被測定信
号を取り込む試料チャック手段と、取り込まれた被測定
信号を電流もしくは電圧として検出する検出回路部と、
検出された電流もしくは電圧を被測定データにデジタル
変換するＡ／Ｄ変換器と、前記被測定データを含む必要
データの演算や装置全体を統括制御をする中央処理手段
と、必要情報を出力する出力手段とを少なくとも備え、
前記試料チャック手段を介して取り込まれる被測定デー
タのうち、サンプリングデータとして取り込まれる当初
被測定データは、試料チャック手段のチャック状態の良
否を判定するために予め設定されているしきい値と比較
され、このしきい値を前記当初被測定データが上回って
いる場合に限り、実測定を開始することにある。なお、
前記しきい値は、被測定データが信号的に安定状態にあ
るか否かをも同時に判定できるように予め設定されてい
るものであってもよい。
【００１６】
【発明の実施の形態】図１は、本発明の実施に供される
装置構成の概要を示すブロック図であり、その全体は、
交流信号を発振する発振器１１と、被測定試料を保持し
て被測定信号を取り込む試料チャック手段１２と、取り
込まれた被測定信号を電圧として検出する電圧検出回路
１３ａと電流として検出する電流検出回路１３ｂとから
なる検出回路部１３と、検出された電流もしくは電圧を
被測定データにデジタル変換するＡ／Ｄ変換器１４と、
前記被測定データを含む必要データの演算や装置全体を
統括制御をする中央処理手段（Ｉ／Ｏポート，ＲＡＭ，
ＲＯＭを含む）１５と、必要情報を出力する出力手段１
６とを少なくとも備えて構成されている。
装置構成の概要を示すブロック図であり、その全体は、
交流信号を発振する発振器１１と、被測定試料を保持し
て被測定信号を取り込む試料チャック手段１２と、取り
込まれた被測定信号を電圧として検出する電圧検出回路
１３ａと電流として検出する電流検出回路１３ｂとから
なる検出回路部１３と、検出された電流もしくは電圧を
被測定データにデジタル変換するＡ／Ｄ変換器１４と、
前記被測定データを含む必要データの演算や装置全体を
統括制御をする中央処理手段（Ｉ／Ｏポート，ＲＡＭ，
ＲＯＭを含む）１５と、必要情報を出力する出力手段１
６とを少なくとも備えて構成されている。
【００１７】この場合、前記中央処理手段１５は、被測
定試料の保持状態の良否を判定するチャック状態判定部
１５ａと、このチャック状態判定部１５ａがチャック状
態良と判定した際に被測定データを実測定値として取り
込んで演算処理を行い、図示しない測定手段と自動駆動
手段とに対し必要なインターフェース制御信号１７を出
力する演算処理部１５ｂとを備えている。なお、前記イ
ンターフェース制御信号１７には、許可信号発生部１５
ｃを経て実測定終了信号として出力される「ＩＮＤＥ
Ｘ」信号と、演算終了信号として出力される「ＥＯＭ」
信号とを含む。
定試料の保持状態の良否を判定するチャック状態判定部
１５ａと、このチャック状態判定部１５ａがチャック状
態良と判定した際に被測定データを実測定値として取り
込んで演算処理を行い、図示しない測定手段と自動駆動
手段とに対し必要なインターフェース制御信号１７を出
力する演算処理部１５ｂとを備えている。なお、前記イ
ンターフェース制御信号１７には、許可信号発生部１５
ｃを経て実測定終了信号として出力される「ＩＮＤＥ
Ｘ」信号と、演算終了信号として出力される「ＥＯＭ」
信号とを含む。
【００１８】図２は、本発明の実施の形態につき図１に
示す装置に適用して実行する際の処理手順を例示するフ
ローチャートであり、図３に示すタイムチャートを参照
しながら以下に具体的に説明する。
示す装置に適用して実行する際の処理手順を例示するフ
ローチャートであり、図３に示すタイムチャートを参照
しながら以下に具体的に説明する。
【００１９】すなわち、まず、前記試料チャック手段１
２が被測定試料を保持し、例えば二本の測定端子を被測
定部位に接触させるなどして被測定部位から当初被測定
データであるサンプリングデータの取込みを開始し、図
３に示すように例えば電流検出波形ＶI がｔ時間経過し
て安定状態にあると確実に想定されるｎ番目のサンプリ
ングデータＶI (n) が予め設定されているしきい値ｘと
比較され、その大小の別が判定される。なお、ここでい
うしきい値ｘとは、被測定試料が試料チャック手段１２
に確実に保持されているか否かを判別するための値のみ
をいうほか、例えば取り込まれた当初被測定データに対
応する電流検出波形が安定状態にあるか否かをも判別す
ることができる値を含むものであってもよい。以下、上
記しきい値ｘは、当初被測定データに対応する電流検出
波形が安定状態にあるか否かをも判別できる場合を例に
して説明する。
２が被測定試料を保持し、例えば二本の測定端子を被測
定部位に接触させるなどして被測定部位から当初被測定
データであるサンプリングデータの取込みを開始し、図
３に示すように例えば電流検出波形ＶI がｔ時間経過し
て安定状態にあると確実に想定されるｎ番目のサンプリ
ングデータＶI (n) が予め設定されているしきい値ｘと
比較され、その大小の別が判定される。なお、ここでい
うしきい値ｘとは、被測定試料が試料チャック手段１２
に確実に保持されているか否かを判別するための値のみ
をいうほか、例えば取り込まれた当初被測定データに対
応する電流検出波形が安定状態にあるか否かをも判別す
ることができる値を含むものであってもよい。以下、上
記しきい値ｘは、当初被測定データに対応する電流検出
波形が安定状態にあるか否かをも判別できる場合を例に
して説明する。
【００２０】この判定処理ステップにおいてＶI (n) ＜
ｘと判定された場合は、試料チャック手段１２による被
測定試料の保持状態が不良であるか、取り込まれた当初
被測定データに対応する電流検出波形が未だ不安定であ
るとして次の処理ステップに移行することなく元に戻
り、ＶI (n) ＞ｘと判定された場合は、試料チャック手
段１２による被測定試料の保持状態が良であり、取り込
まれた当初被測定データに対応する電流検出波形も安定
状態にあるとして、次の実測定処理ステップへと移行す
る。
ｘと判定された場合は、試料チャック手段１２による被
測定試料の保持状態が不良であるか、取り込まれた当初
被測定データに対応する電流検出波形が未だ不安定であ
るとして次の処理ステップに移行することなく元に戻
り、ＶI (n) ＞ｘと判定された場合は、試料チャック手
段１２による被測定試料の保持状態が良であり、取り込
まれた当初被測定データに対応する電流検出波形も安定
状態にあるとして、次の実測定処理ステップへと移行す
る。
【００２１】この実測定処理ステップにおいては、実測
定された一定時間分の被測定データが取り込まれ、その
すべての取り込みを終えた際には、次の処理ステップに
て演算処理部１５ｂから許可信号発生部１５ｃを経るこ
とにより、実測定終了信号として「ＩＮＤＥＸ」信号が
出力され、この「ＮＤＥＸ」信号が契機となって取り込
まれた被測定データを測定値に変換するための演算処理
が行われ、同時に、図３に示すように試料チャック手段
１２が保持している被測定試料が開放されることにな
る。
定された一定時間分の被測定データが取り込まれ、その
すべての取り込みを終えた際には、次の処理ステップに
て演算処理部１５ｂから許可信号発生部１５ｃを経るこ
とにより、実測定終了信号として「ＩＮＤＥＸ」信号が
出力され、この「ＮＤＥＸ」信号が契機となって取り込
まれた被測定データを測定値に変換するための演算処理
が行われ、同時に、図３に示すように試料チャック手段
１２が保持している被測定試料が開放されることにな
る。
【００２２】上記演算処理ステップを経て測定値が算出
された後は、演算終了を示す「ＥＯＭ」信号が出力さ
れ、出力手段１６に対し測定値を出力する出力処理が行
われると同時に、図３に示すように前記試料チャック手
段１２が次の被測定試料を保持し、被測定部位から当初
被測定データであるサンプリングデータの取込みを開始
する処理が同様にして再び行われることになる。
された後は、演算終了を示す「ＥＯＭ」信号が出力さ
れ、出力手段１６に対し測定値を出力する出力処理が行
われると同時に、図３に示すように前記試料チャック手
段１２が次の被測定試料を保持し、被測定部位から当初
被測定データであるサンプリングデータの取込みを開始
する処理が同様にして再び行われることになる。
【００２３】本発明はこのようにして構成されているの
で、まず、当初被測定データである前記サンプリングデ
ータＶI (n) が予め設定されているしきい値ｘと比較さ
れ、ＶI (n) ＞ｘと判定された場合、つまり当初被測定
データが安定状態にあり、かつ、試料チャック手段１２
に確実に保持された状態のもとで取り込まれたものであ
ることを確認した上で、実測定処理へと移行させること
ができる。
で、まず、当初被測定データである前記サンプリングデ
ータＶI (n) が予め設定されているしきい値ｘと比較さ
れ、ＶI (n) ＞ｘと判定された場合、つまり当初被測定
データが安定状態にあり、かつ、試料チャック手段１２
に確実に保持された状態のもとで取り込まれたものであ
ることを確認した上で、実測定処理へと移行させること
ができる。
【００２４】したがって、上記実測定処理においては、
実測定開始命令であるトリガ信号をわざわざ入力するこ
となく開始させることができるので、しきい値ｘをその
時々の状況に応じて変更させることにより、常に安定し
た状態のもとで測定作業を円滑に行うことができる。
実測定開始命令であるトリガ信号をわざわざ入力するこ
となく開始させることができるので、しきい値ｘをその
時々の状況に応じて変更させることにより、常に安定し
た状態のもとで測定作業を円滑に行うことができる。
【００２５】しかも、サンプリングデータＶ1 (n) をし
きい値ｘと比較することにより、被測定試料のチャック
状態の良否をも判別することができるので、被測定試料
のチャック状態の良否を機械的に判別する場合に比較し
て装置構成をそれだけ簡素化することができ、装置コス
トの低減のほか、保守作業の簡易化をも実現することが
できる。
きい値ｘと比較することにより、被測定試料のチャック
状態の良否をも判別することができるので、被測定試料
のチャック状態の良否を機械的に判別する場合に比較し
て装置構成をそれだけ簡素化することができ、装置コス
トの低減のほか、保守作業の簡易化をも実現することが
できる。
【００２６】
【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、当初
被測定データであるサンプリングデータが試料チャック
手段に確実に保持された状態のもとで取り込まれたもの
であることを確認することにより、実測定開始命令であ
るトリガ信号をわざわざ入力することなく実測定処理を
開始させることができるので、しきい値をその時々の状
況に応じて変更させることにより、常に安定した状態の
もとで測定作業を円滑に行うことができる。なお、予め
設定されているしきい値が信号的に安定した状態にある
か否かをも判定できるものである場合には、当初被測定
データであるサンプリングデータが信号的に安定した状
態となっていることをも確認した上で実測定処理を開始
させることができることになる。
被測定データであるサンプリングデータが試料チャック
手段に確実に保持された状態のもとで取り込まれたもの
であることを確認することにより、実測定開始命令であ
るトリガ信号をわざわざ入力することなく実測定処理を
開始させることができるので、しきい値をその時々の状
況に応じて変更させることにより、常に安定した状態の
もとで測定作業を円滑に行うことができる。なお、予め
設定されているしきい値が信号的に安定した状態にある
か否かをも判定できるものである場合には、当初被測定
データであるサンプリングデータが信号的に安定した状
態となっていることをも確認した上で実測定処理を開始
させることができることになる。
【００２７】さらに、サンプリングデータをしきい値と
比較することにより、直ちに被測定試料のチャック状態
の良否を判別することができるので、被測定試料のチャ
ック状態の良否を機械的に判別する場合に比較して装置
構成をそれだけ簡素化することができ、装置コストの低
減のほか、保守作業の簡易化をも実現することができ
る。
比較することにより、直ちに被測定試料のチャック状態
の良否を判別することができるので、被測定試料のチャ
ック状態の良否を機械的に判別する場合に比較して装置
構成をそれだけ簡素化することができ、装置コストの低
減のほか、保守作業の簡易化をも実現することができ
る。
【図１】本発明が適用される装置構成の概要を例示する
ブロック図である。
ブロック図である。
【図２】本発明の実施の形態につき、その処理手順の一
例を示すフローチャートである。
例を示すフローチャートである。
【図３】図２に示す処理との対応関係を示すタイムチャ
ートである。
ートである。
【図４】従来手法による処理手順についての時間的な対
応関係を示すタイムチャートである。
応関係を示すタイムチャートである。
１１ 発振器 １２ 試料チャック手段 １３ 検出回路部 １３ａ 電圧検出回路 １３ｂ 電流検出回路 １４ Ａ／Ｄ変換器 １５ 中央処理手段 １５ａ チャック状態判定部 １５ｂ 演算処理部 １５ｃ 許可信号発生部 １６ 出力手段 １７ インターフェース制御信号
Claims (2)
- 【請求項１】 交流信号を発振する発振器と、被測定試
料を保持して被測定信号を取り込む試料チャック手段
と、取り込まれた被測定信号を電流もしくは電圧として
検出する検出回路部と、検出された電流もしくは電圧を
被測定データにデジタル変換するＡ／Ｄ変換器と、前記
被測定データを含む必要データの演算や装置全体を統括
制御をする中央処理手段と、必要情報を出力する出力手
段とを少なくとも備え、 前記試料チャック手段を介して取り込まれる被測定デー
タのうち、サンプリングデータとして取り込まれる当初
被測定データは、試料チャック手段のチャック状態の良
否を判定するために予め設定されているしきい値と比較
され、このしきい値を前記当初被測定データが上回って
いる場合に限り、実測定を開始することを特徴とする被
測定試料の電気的測定方法。 - 【請求項２】 前記しきい値は、被測定データが信号的
に安定状態にあるか否かをも同時に判定できるように予
め設定されていることを特徴とする請求項１記載の被測
定試料の電気的測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10329496A JPH09269343A (ja) | 1996-03-29 | 1996-03-29 | 被測定試料の電気的測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10329496A JPH09269343A (ja) | 1996-03-29 | 1996-03-29 | 被測定試料の電気的測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09269343A true JPH09269343A (ja) | 1997-10-14 |
Family
ID=14350266
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10329496A Pending JPH09269343A (ja) | 1996-03-29 | 1996-03-29 | 被測定試料の電気的測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09269343A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007278977A (ja) * | 2006-04-11 | 2007-10-25 | Hioki Ee Corp | 測定装置 |
-
1996
- 1996-03-29 JP JP10329496A patent/JPH09269343A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007278977A (ja) * | 2006-04-11 | 2007-10-25 | Hioki Ee Corp | 測定装置 |
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