JPH09255144A - 基板旋回装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 特に長さ寸法の小さい基板にも適用すること
のできる基板旋回装置を提供することを目的とする。 【解決手段】 上流側装置から延びた上流基板搬送路１
００と下流側装置に延びる下流基板搬送路２００とが互
いに角度をもって配置されている場合に、上流搬送路１
００から下流搬送路２００に基板が移動できるように両
者の交点部に配置され、受け取った基板の向きを変更す
る基板旋回装置２０において；基板を支持し水平面内で
旋回させる基板受け部２１を有し；基板受け部は、上流
搬送路１００からの基板を受け取って下流搬送路２００
に引き渡せるように、基板受け部２１が旋回した際に上
流搬送路又は下流搬送路の端部に近接する受け渡し端部
２１Ａ，２１Ｂを有しており；この受け渡し端部２１
Ａ，２１Ｂを水平軸回りに回動させる端部回動手段２５
が設けられている；ことを特徴とする基板旋回装置。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は基板旋回装置に係わ
り、特に、基板搬送路と旋回装置の基板受け部との間の
隙間を減少させることのできる基板旋回装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】図７は従来の基板旋回装置１の一例を示
している。この基板旋回装置１は、図示しない上流側装
置から延びた上流基板搬送路（以下、「上流搬送路」と
略す）１００と図示しない下流側装置に延びる下流基板
搬送路（以下、「下流搬送路」と略す）２００とが、図
示の如く平面視において互いに角度をもって配置されて
いる場合（図示例では９０度）に、上流搬送路１００か
ら前記下流搬送路２００に基板が移動できるようにこれ
ら両基板搬送路の交点部に配置され、上流搬送路からの
基板を一時的に受け取り、基板の向きを変更した後、下
流搬送路に引き渡すものである。

【０００３】上流搬送路１００及び下流搬送路２００は
通常、それぞれ対を成す平行な二本のレール１０２，１
０２、及び２０２，２０２を有して成る。両レールの内
側にレールの延在方向に沿って移動する駆動ベルトが設
けられており、基板は、それら両駆動ベルト間に股がる
ようにそれら両ベルト上に載って移動される。

【０００４】基板旋回装置１は、上部に、上流搬送路１
００からの基板を受け取りかつその基板を下流搬送路２
００に送り渡す基板受け部１１を有している。この基板
受け部１１も、前記搬送路１００，２００と同様、駆動
ベルトを備えた一対のレール１２を備えて構成されてい
る。また基板受け部１１は、図中Ｏで示す旋回中心の回
りに水平面内で回転するよう構成されている。

【０００５】また、基板搬送路１００，２００及び基板
受け部１１を構成する前記各レール１０２，２０２，１
２は、異なる幅を有する基板にも対応し得るように対を
成す二本のレール間の間隔が調節できるものとなってい
る。

【０００６】以上の構成に基づき、図示の如く上流搬送
路１００と下流搬送路２００とが角度を介して配置され
ている場合、すなわち一直線上に配列されていない場合
においても、上流搬送路１００上を搬送されてきた基板
を、一旦基板旋回装置１の基板受け部１１に載せて方向
転換し、その後下流搬送路２００に送ることができる。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記従来の
基板旋回装置１では、旋回装置１の基板受け部１１が方
向転換のために回転する際に、該基板受け部のレール１
２と基板搬送路のレール１０２，２０２とが干渉し合わ
ないように、両者間には図示の如く隙間Ｇを設ける必要
がある。この隙間Ｇは、例えば約５０〜２５０mm 幅を
持つ標準的な基板を対象とした場合で約９０mm （最小
でも６０mm ）を開けるように設定されている。

【０００８】しかしながら上記の如き隙間Ｇが存在する
ために、サイズの小さい基板、特に搬送方向の長さ寸法
の小さい基板はこの隙間を通過できないという問題があ
る。

【０００９】本発明は上記の事情に鑑みてなされたもの
で、特に長さ寸法の小さい基板にも適用することのでき
る基板旋回装置を提供することを目的とするものであ
る。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明の請求項１記載の
発明は、上流側装置から延びた上流基板搬送路と下流側
装置に延びる下流基板搬送路とが平面視において互いに
角度をもって配置されている場合に、前記上流基板搬送
路から前記下流基板搬送路に基板が移動できるようにこ
れら両基板搬送路の交点部に配置され、基板を一時的に
受け取って基板の向きを水平面内で変更する基板旋回装
置において、前記基板を支持しかつ水平面内で旋回する
基板受け部を有し、該基板受け部は、前記上流基板搬送
路からの基板を受け取りかつ同基板を前記下流基板搬送
路に引き渡せるように、該基板受け部が旋回した際に前
記上流基板搬送路又は前記下流基板搬送路の端部に近接
する受け渡し端部を有しており、該受け渡し端部が水平
軸回り回動自在に構成されるとともに、該受け渡し端部
を前記回動方向に回動させる端部回動手段が設けられて
いる、ことを特徴としている。

【００１１】請求項１記載のこの装置では、基板受け部
を構成するレールの一端又は両端の所定長さの部分を水
平軸回り回動自在に構成し、この回動自在とされた基板
受け渡し端部に例えば駆動シリンダの伸縮ロッドが連結
されている。駆動シリンダを作動させることによりこの
受け渡し端部が上方又は下方に回動し、受け渡し端部は
上流搬送路又は下流搬送路と対峙した位置から外れる。
この状態で基板受け部を回転させれば、基板受け部の受
け渡し端部が上流／下流搬送路と干渉することはない。
基板受け渡し端部の回動は駆動シリンダの以外の手段に
より行うようにしてもよい。

【００１２】本発明の請求項２記載の発明は、上流側装
置から延びた上流基板搬送路と下流側装置に延びる下流
基板搬送路とが平面視において互いに角度をもって配置
されている場合に、前記上流基板搬送路から前記下流基
板搬送路に基板が移動できるようにこれら両基板搬送路
の交点部に配置され、基板を一時的に受け取って基板の
向きを水平面内で変更する基板旋回装置において、前記
基板を支持しかつ水平面内で旋回する基板受け部と、前
記上流基板搬送路と前記下流基板搬送路とが成す二つの
角のうち大きい角の方向に、前記基板受け部を水平方向
に移動させる水平移動手段と、を備えることを特徴とし
ている。

【００１３】請求項２記載の装置では、基板受け部が水
平方向に移動することにより上流搬送路及び下流搬送路
の端部から離れる。基板受け部がこのように水平方向に
退去した位置では基板受け部が回動しても搬送路と干渉
することはない。よって、基板受け渡し時に、基板受け
部と上流／下流搬送路との隙間を小さく設定することが
できる。

【００１４】本発明の請求項３記載の発明は、上流側装
置から延びた上流基板搬送路と下流側装置に延びる下流
基板搬送路とが平面視において互いに角度をもって配置
されている場合に、前記上流基板搬送路から前記下流基
板搬送路に基板が移動できるようにこれら両基板搬送路
の交点部に配置され、基板を一時的に受け取って基板の
向きを水平面内で変更する基板旋回装置において、前記
基板を支持しかつ水平面内で旋回する基板受け部と、該
基板受け部を上昇又は下降させる昇降手段と、を備えて
いることを特徴としている。

【００１５】請求項３記載の装置では、基板受け部が昇
降することにより上流搬送路及び下流搬送路の端部から
離れる。基板受け部が上方または下方に退去した位置で
は基板受け部が回動しても搬送路と干渉することはな
く、よって、基板受け渡し時における基板受け部と上流
／下流搬送路との隙間を小さく設定することができる。

【００１６】本発明は、請求項１ないし３の何れによる
ものも、上流搬送路又は下流搬送路（あるいはその両
方）が複数存在する場合にも適用することができる。た
だしその場合には、特に請求項１及び請求項３に記載し
た発明を適用するのがより好ましい。

【００１７】本発明の基本概念は、要は、基板受け渡し
時においては搬送路端部と旋回装置の基板受け部との隙
間をできるだけ小さくする一方で、基板旋回時には基板
受け部が搬送路と干渉しないように回転できる構成を実
現することである。よって、上述した解決手段手段の他
には、例えば、基板受け部の受け渡し端部を基板受け部
のレール延在方向に伸縮自在とし、基板移載時には受け
渡し端部を伸張させ、基板回転時には受け渡し端部を引
っ込める構成とすることも可能である。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を添付
図面を参照して説明する。これらの図において図７に示
したものと同じ構成要素には同一符号を付してある。図
１は請求項１記載に係る発明の一実施の形態による基板
旋回装置２０を示しており、また、図２は旋回装置２０
の基板受け部２１を構成する対を成す二本のレール２
２，２２のうちの片方のレール２２の一端部を示してい
る。このように、レールの端部が基板受け部２１の受け
渡し端部２１Ａを構成している。

【００１９】このレール２２の受け渡し端部２１Ａは、
先端からの所定長部分が、水平方向に延在した回動軸２
３回りに回動自在に構成されている。この受け渡し端部
２１Ａのレール２２Ａの上面所定箇所には立ち上がり部
２４ａを持ったブラケット２４が例えばネジ留め等によ
り設けられており、立ち上がり部２４ａの上端近傍に駆
動シリンダ２５（例えばエアシリンダ）の伸縮ロッド２
５ａの先端が連結されている。駆動シリンダ２５は、図
示の如く伸縮ロッド２５ａを短縮させた際に前記受け渡
し端部におけるレール２２Ａが上方に回動できるよう
に、例えば本体側レール２２に取り付けられている。そ
して、本実施形態では、主として前記レール２２Ａ，前
記回動軸２３，駆動シリンダ２５等によって本発明に係
る端部回動手段が構成されている。

【００２０】図２中符号２７，２７Ａで示すものは基板
搬送用の駆動ベルトである。この場合、駆動ベルトは、
本体部駆動ベルト２７と基板受け渡し端部駆動ベルト２
７Ａとを有して成っている。本体部駆動ベルト２７は、
本体部レール２２の内面の、前記回動軸側端部の近傍に
設けられた第三のプーリ３３と、同内面の図示されない
端部に設けられた図示しない第四のプーリ間に無端形態
に張設されている。基板受け渡し部駆動ベルト２７Ａ
は、基板受け渡し端部２１Ａを構成しているレール２２
Ａの内面の先端部近傍に設けられた第一のプーリ３１
と、同内面の基端部（前記回動軸２３の設けられた方の
端部）近傍に設けられた第二のプーリ３２との間に無端
形態に張設されている。

【００２１】さらに、前記回動軸２３のレール内面側端
部には中間ホイール３５が回転自在に取り付けられてい
る。中間ホイール３５は前記第二のプーリ３２と前記第
三のプーリ３３との間に位置しており、該中間ホイール
３５の外周面には、前記本体部駆動ベルト２７の外面及
び前記基板受け渡し端部駆動ベルト２７Ａの外面が適宜
な接触圧をもって接触している。またこの場合、前記第
三のプーリ３３が駆動プーリとなっている。この構成に
より、第三のプーリ３３が駆動すると、本体部駆動ベル
ト２７が駆動されるとともに、中間ホイール３５を介し
て基板受け渡し部駆動ベルト２７Ａも駆動されるように
なっている。

【００２２】以上、旋回装置２０の基板受け部２１のレ
ール２２，２２の一方のみ、かつその一端のみについて
説明したが、上記同様の機構は、対を成す他方のレール
２２にも構成されており、さらに基板受け部２１の他方
の受け渡し端部２１Ｂ（図１）にも上記同様に構成され
ている。

【００２３】そして、前記基板受け部２１の受け渡し端
部２１Ａ，２１Ｂは、該端部が水平とされた状態で上流
搬送路１００の端部又は下流搬送路２００の端部に対向
する位置に向けられたときに、それら基板搬送路１０
０，２００の端部との間に僅かな寸法（例えば１０mm）
の間隙Ｇが形成される長さに設定されている。

【００２４】次に、上記構成による基板旋回装置２０の
作動について説明する。初期状態において、旋回装置２
０の基板受け部２１は、上流搬送路１００と軸線が一致
する方向とされている。また、駆動シリンダ２５は伸縮
ロッド２５ａが伸張した状態とされており、よって回動
可能とされた基板受け渡し部２１Ａは本体部と同一平面
にあって水平となっている。なお、上流／下流搬送路１
００，２００のレール幅、及び旋回装置２０の基板受け
部２１のレール幅を一致させておくことは言うまでもな
い。

【００２５】この状態において、上流搬送路１００上を
搬送されてきた基板は旋回装置２０の基板受け部２１上
に移載される。このとき、基板受け部２１の駆動ベルト
２７，２７Ａも上流搬送路の搬送速度と同期して同一速
度で同一方向に駆動されている。この際、上流搬送路１
００と旋回装置２０の基板受け部２１の受け渡し端部２
１Ａとの間の隙間寸法は上記の如く小さいため、例えば
搬送方向の長さが５０mm 程度でしかない通常の最小寸
法クラスの基板もなんなく移載される。

【００２６】基板が旋回装置２０の基板受け部２１に完
全に移載された時点で該旋回装置２２０の駆動ベルト２
７，２７Ａの駆動は停止される。ここで、基板が基板受
け部２１に完全に移載された状態とは、基板が基板受け
部２１の前記受け渡し端部２１Ａを完全に通過した状態
を言う。また、本実施形態では、受け渡し端部が基板受
け部２１の他端側にも（すなわち基板受け部の両側に）
構成されているので、このような場合には、前記受け渡
し端部２１Ａを通過後、他端側の基板受け渡し部２１Ｂ
に至る手前で基板の移動を停止する。

【００２７】次に、前記駆動シリンダ２５を駆動させて
伸縮ロッド２５ａを短縮させる。これによって受け渡し
端部２１Ａが前記回動軸２３を中心として上方に回動す
る。このときの回動量（回動角）は、基板受け部２１が
回転したときに受け渡し端部２１Ａの先端が上流搬送路
１００と対向せず上流搬送路１００の端部と接触しない
位置となるまででよい。このとき、本実施形態では、他
端側の受け渡し端部２１Ｂも上記同様に上方に回動させ
ておく。

【００２８】上記状態となったならば基板受け部２１を
図示しない回動機構により図１中矢印Ｆで示す方向に９
０度回転させる。このとき、前記受け渡し端部２１Ａ
は、図２に二点鎖線で示す如く上方に逃げているため上
流搬送路１００の端部と干渉し合うことがない。また、
上記旋回によって、今度は基板受け部２１の他端側の受
け渡し端部２１Ｂが下流搬送路２００の端部と対向する
ことになるが、この他端側の受け渡し端部２１Ｂも上方
に回動した退去位置とされているので下流搬送路２００
と干渉することがない。

【００２９】次いで、前記他端側の受け渡し端部２１Ｂ
の回動機構を作動させてその受け渡し端部２１Ｂを水平
に戻し、該受け渡し端部２１Ｂを下流搬送路２００の端
部に対向させる。

【００３０】その後、基板受け部の駆動ベルト２７を駆
動させて基板をこの旋回装置２０から下流搬送路２００
上に移載する。ここにおいても、受け渡し端部２１Ｂと
下流搬送路２００との隙間Ｇは極めて小さく、最小寸法
クラスの基板もなんなく移載される。

【００３１】その後は、上記他端側の受け渡し端部２１
Ｂを再度上方に回動退去させた後、旋回装置２０の基板
受け部２１を前記矢印Ｆとは反対方向に回動させる。こ
の時、前記受け渡し端部２１Ａが再び上流搬送路１００
と対向するが、該受け渡し端部２１Ａは上方に退去した
状態のままであるから、上流搬送路の端部と干渉するこ
となく元の位置に旋回復帰することができる。

【００３２】その後は、前記駆動シリンダ２５の伸縮ロ
ッド２５ａを伸張させて前記受け渡し端２１Ａを水平に
戻し、これにより該旋回装置は初期状態に復帰する。

【００３３】なお、上記実施の形態において、基板受け
部２１の駆動ベルト２７の駆動、受け渡し端部２１Ａ，
２１Ｂの回動操作、基板受け部２１の旋回等の一連の作
動はシーケンシャル制御により自動制御されているもの
である。

【００３４】また、上記実施の形態では、両受け渡し端
部２１Ａ，２１Ｂを上方に回動させることにより水平位
置から退去させるものとしたが、要は基板受け部２１の
受け渡し端部が上流／下流搬送路の端部と干渉しない位
置に逃げればよいわけであるから、受け渡し端部２１
Ａ，２１Ｂを下方に回動させるよう構成しても構わな
い。

【００３５】また、上記実施の形態では、上流搬送路１
００と下流搬送路２００とが９０度の角度を介して配設
されたものとして説明したが、本発明は両搬送路が９０
度以外の角度で配置されている場合も同様に適用でき、
かつ上記同様の効果を奏することができる。

【００３６】また、上記実施の形態では、基板受け部２
１を矢印Ｆの方向に回転させるものとした。これは、基
板の前後搬送方向を上流搬送路と下流搬送路とで変わら
ないようにするためである。しかし、基板の前後方向が
変化しても構わない場合には、基板受け部２１が基板を
受け取った後、基板受け部２１を矢印Ｆとは反対方向に
９０度回転させるようにしてもよい。その場合には、常
に一方の受け渡し端部２１Ａのみが上流搬送路１００及
び下流搬送路２００と対峙することになるから、基板受
け部２１には一方の受け渡し端部２１Ａのみを構成すれ
ばよい。

【００３７】また、上記実施の形態では、受け渡し端部
２１Ａの対向配置された二本のレール２２Ａ，２２Ａの
それぞれに対して駆動シリンダ２５を設けた構成とした
が、回動自在とされた対のレール２２Ａ，２２Ａどうし
を接続部材で接続し、対を成す双方のレールが一個の駆
動シリンダで回動するように構成することもできる。

【００３８】さらに、上記の実施の形態では、基板受け
部２１の駆動ベルト２７の駆動機構において、第三プー
リ３３のみを駆動プーリとし、これにより受け渡し部駆
動ベルト２７Ａも駆動させるように構成したが、第一プ
ーリ３１又は第二プーリ３２を駆動プーリとして、受け
渡し部駆動ベルト２７Ａを独立して駆動するようにして
もよい。

【００３９】次に、図３ないし図５は、本発明の請求項
２記載の発明の一実施の形態による基板旋回装置４０を
示している。この基板旋回装置４０の主たる特徴は、基
板受け部４１を水平移動させる機構（水平移動手段）５
０を備えている点にある。

【００４０】水平移動機構５０はこの場合、図４に示す
如く、基台フレーム５１の上面に斜め方向に平行に横架
された２本のガイドロッド５２と、それらガイドロッド
に摺動自在に設けられた各二つずつのスライダブロック
５３と、それら四つのスライドブロックの上部に固定さ
れたベースプレート５４と、前記基台フレーム５１の上
部に前記ガイドロッド５２，５２と平行に設けられ、伸
縮ロッド５５ａの先端がベースプレート５４に連結され
た駆動シリンダ５５と、を有して構成されている。

【００４１】そして図５に示すように、前記ベースプレ
ート５４に、前記レール４２，４２を備えた前記基板受
け部４１の下部がベアリング部５６を介して旋回自在に
設けられている。基板受け部４１は、ベアリング部５６
を介してベースプレート５４の下方に設けられたロータ
リアクチュエータ５７の駆動により旋回される。符号５
８はレール４２に付属する図示されない駆動ベルトを駆
動するためのモータ、また符号５９は、基板受け部４１
を所要の回転位置で止まるように基板受け部４１の回転
を双方向においてそれぞれ規制するストッパである。な
お、図５においては、図の繁雑化を避けるため、ベース
プレートのためのガイド部（すなわち前記ガイドロッド
５２及びスライダブロック５３）については図示を省略
してある。

【００４２】上記の基板旋回装置４０による作動は以下
の如くである。上流搬送路１００から基板Ｐを受け取る
状態を初期状態とする。この状態において前記駆動シリ
ンダ５５の伸縮ロッド５５ａは短縮されている。これに
より、前記ペースプレート５４すなわち基板受け部４１
は両搬送路１００，２００に最も接近した位置とされ、
従って基板受け部４１のレール４２は図３に実線で示す
位置にある。

【００４３】上記状態で上流搬送路１００から搬送され
きた基板は、旋回装置４０の基板受け部４１に移載され
る。この際、上流搬送路１００の端部と基板受け部６１
の受け渡し端部との隙間は極めて小さいため、通常の最
小寸法の基板もなんなく移載できる。

【００４４】次に、その場で前記駆動シリンダ５５を作
動させて伸縮ロッド５５ａを伸張させる。これによりス
ライダブロック５３に取り付けられたベースプレート５
４が二本のガイドロッド５２，５２に沿って図４におけ
る紙面右上方にスライド移動する。これに伴い基板受け
部４１も同様に移動するから、レール４２は図３に二点
鎖線で示す位置まで移動する。

【００４５】その後、前記ロータリーアクチュエータ５
７を駆動して、基板受け部４１を他方のストッパ５９に
当接するまで回転させる。この際、基板受け部４１は図
３に一点鎖線で示す回転軌跡を描くから、基板受け部４
１が両搬送路１００，２００と干渉することはない。

【００４６】方向転換完了後、前記伸縮ロッド５５ａを
短縮すれば、基板受け部４１の受け渡し端部が下流搬送
路２００の端部と対峙する。

【００４７】この状態となったならば基板受け部４１の
図示しない駆動ベルトを駆動して、基板受け部４１上に
載っている基板を下流搬送路２００に移載する。ここに
おいても、基板受け部６１の受け渡し端部と下流搬送路
２００の端部との隙間Ｇは極めて小さいから、小寸法の
基板も不都合なく移載される。

【００４８】基板移載完了後は、上記と逆の要領で、駆
動シリンダ５５を再度伸張させて基板受け部４１を再度
スライド移動させて逃がし、一方のストッパ５９により
回転が規制されるまで基板受け部４１を回転させ、そこ
で基板受け部を初期位置に復帰させる。以降は、その作
動が繰り返される。

【００４９】図３ないし図５に示した装置において、基
板受け部４１を逃がす方向としては、両搬送路１００，
２００の何れからも均等に遠ざかる方向とすることが機
構上最も効率的であることは明らかである。

【００５０】次に、図６は、本発明の請求項３記載の発
明の一実施の形態による基板旋回装置６０を示してい
る。この基板旋回装置６０の主たる特徴は、基板受け部
６１を上下させる昇降機構（昇降手段）７０を介して支
持されている点にある。

【００５１】基板受け部６１を構成する部材について簡
単に触れておくと、符号６２は基板が載る一対のレー
ル、６３はベルト駆動用プーリ、６４はベルト駆動用モ
ータ、６５は駆動ベルト、６６はテンションローラ、６
７は底板、Ｐはレール６２，６２間に架け渡されて該基
板受け部６１上に一時移載された基板である。なお、駆
動ベルト６５はこの場合、この図において、ベルト駆動
用プーリ６３の上部からテンションローラ６６の下部を
通ってレール６２の溝６２ａを通るループを形成してい
る。

【００５２】図６において、符号９０はこの基板旋回装
置５０の基台フレームで、該基台フレーム９０上に昇降
機構７０が構成されている。符号７１はロータリアクチ
ュエータで、その出力軸７１ａに、回転円板７２の下面
中心部から垂下した軸７３が連結されている。この軸７
３は、前記フレーム９０の上部横行材９１に固定された
ベアリングハウジング７４内に設けられたベアリング７
５を介して回転自在に支持されている。

【００５３】前記回転円板７２の上面中心部には例えば
エアシリンダ等の駆動シリンダ７６がその伸縮ロッド７
６ａを上向きにして設置されており、この伸縮ロッド７
６ａの先端部に基板受け部６１の底板６７が固定されて
いる。また、前記回転円板７２の外縁部近傍から筒状の
複数のガイドスリーブ７７が立ち上がっており、これら
ガイドスリーブの中心孔内には、基板受け部の底板６７
から垂下したガイドシャフト７８が摺動可能に挿入され
ている。従って基板受け部６１は、前記駆動シリンダ７
６を作動させることにより、前記ガイドスリーブ７７に
ガイドされながら上昇又は下降することができる。

【００５４】図中符号８０で示すものは、ガイドシャフ
ト７８に装着されたセットスクリュー７９付きの位置決
めリングで、ガイドシャフト７８に対する該位置決めリ
ング８０の位置を変えることで基板受け部６１の最下降
位置を設定することが可能となっている。また、基台フ
レーム９０の上部横行材９１上の所定の二箇所にはスト
ッパ８１，８１が固定されており、これらストッパによ
って、基板受け部６１が所要の回転位置で止まるように
基板受け部６１の回転が双方向においてそれぞれ規制さ
れている。

【００５５】上記の基板旋回装置６０は、駆動シリンダ
７６の伸縮ロッド７６ａを短縮させて前記位置決めリン
グ８０の下面がガイドスリーブ７７の上面に当接したと
きに、基板受け部６１を構成する二本のレール６２のレ
ベルが上流搬送路１００及び下流搬送路２００のレベル
と一致するように設定される。また、前記両ストッパ８
１は、基板受け部６１の受け渡し端部が上流搬送路１０
０の端部と対峙したときに該基板受け部６１の回転が一
方のストッパ８１により規制され、基板受け部６１の受
け渡し端部が下流搬送路２００の端部と対峙したときに
該基板受け部６１の回転が他方のストッパ８１により規
制されるように、その位置を設定されている。

【００５６】また、基板受け部６１の受け渡し端部が上
流搬送路１００の端部又は下流搬送路２００の端部と対
峙する位置となったときには、受け渡し端部とそれら搬
送路の端部との隙間Ｇは僅かな寸法（例えば１０mm）と
なるように設定されている。

【００５７】上記の基板旋回装置６０による作動は以下
の如くである。上流搬送路１００から基板Ｐを受け取る
状態を初期状態とする。この状態において前記駆動シリ
ンダ７６の伸縮ロッド７６ａは短縮されており、基板受
け部６１は位置決めリング８０によって所定の最下方位
置に位置決めされ、よって基板受け部６１の両レール６
２は上流搬送路１００のレールと同一高さにある。ま
た、基板受け部６１の回動も前記ストッパ８１の一方に
より規制された状態にある。

【００５８】上記状態で上流搬送路１００から搬送され
きた基板Ｐは、旋回装置６０の基板受け部６１に移載さ
れる。この際、上流搬送路１００の端部と基板受け部６
１の受け渡し端部との隙間は極めて小さいため、通常の
最小寸法の基板もなんなく移載できる。

【００５９】次に、その場で駆動シリンダ７６を作動さ
せて伸縮ロッド７６ａを伸張し、基板受け部６１を、該
基板受け部を回転させても上流搬送路と干渉しない高さ
まで上昇させる。その後、ロータリーアクチュエータ７
１を駆動して、基板受け部６１を他方のストッパ８１に
当接するまで回転させる。その位置で、伸縮ロッド７６
ａを短縮すれば、基板受け部６１の受け渡し端部が下流
搬送路２００の端部と対峙する。

【００６０】この状態となったならば基板受け部６１の
駆動ベルト６５を駆動して、基板受け部上に載っている
基板Ｐを下流搬送路２００に移載する。ここにおいて
も、基板受け部６１の受け渡し端部と下流搬送路２００
の端部との隙間Ｇは極めて小さいから、小寸法の基板も
なんなく移載される。

【００６１】基板の移載完了後は、上記と逆の要領で、
基板受け部６１を再度上昇させ、一方のストッパ８１に
より回転が規制されるまで基板受け部６１を回転させ、
そこで基板受け部を降下させれば、旋回装置６０は初期
状態に復帰する。以降は、その作動が繰り返される。

【００６２】上記実施形態では、基板受け部６１を上方
に逃がすように構成したが、基板受け部６１を下方に逃
がすように構成してもよい。その場合には、駆動シリン
ダ７６の伸縮ロッド７６ａの伸張量が規制されるように
前記位置決めリング８０を取り付ければよい。それには
例えば、位置決めリング８０をガイドシャフト７８の下
端側（ガイドスリーブ７７の下方側）に取り付ければよ
い。

【００６３】また、本発明による場合には、昇降機構７
０の上下位置の位置決め手段を適宜設定することによ
り、特に上流搬送路１００と下流搬送路２００のレベル
が異なる場合にも適用することが可能である。

【００６４】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１記載の発
明によれば、基板受け部を回転させる際に、基板の受け
渡し端部を水平軸回りに回動させることにより受け渡し
端部が搬送路端部と干渉しない構成としたので、基板移
載時には旋回装置の基板受け渡し端部と搬送路端部を近
接させることが可能となり、従来不可能（あるいは困
難）であった最小寸法クラスの基板の旋回装置への、及
び旋回装置からの移載を容易に行うことができる。

【００６５】請求項２記載の発明によれば、基板受け部
を回転させる際に、基板の受け渡し端部を水平方向に逃
がすことにより受け渡し端部が搬送路端部と干渉しない
構成としたので、これにより上記請求項１記載の発明と
同様の効果を奏することができる。

【００６６】請求項３記載の発明によれば、基板受け部
を回転させる際に、基板受け部を昇降させることにより
受け渡し端部と搬送路端部とが干渉しない構成としたの
で、これにより上記請求項１記載の発明及び請求項２記
載の発明と同様の効果を奏することができる。

【００６７】また、特に、請求項１及び請求項３記載の
発明によるものでは、上流搬送路及び下流搬送路が複数
存在する場合にも容易に適用することができ、さらに請
求項３記載のものでは、上流搬送路と下流搬送路との高
さが異なる場合にも対応することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 請求項１に係る発明の一実施の形態による基
板旋回装置を、上流基板搬送路及び下流基板搬送路の一
部と共に示す平面図である。

【図２】 図１に示した基板旋回装置の部分斜視図であ
る。

【図３】 請求項２に係る発明の一実施の形態による基
板旋回装置を、上流基板搬送路及び下流基板搬送路の一
部と共に示す平面図である。

【図４】 請求項２に係る発明の水平移動機構を示す平
面図である。

【図５】 図４に示した装置の側面図である。

【図６】 請求項３に係る発明の一実施の形態による基
板旋回装置を示す一部断面正面立面図である。

【図７】 従来の基板旋回装置の一例を、上流基板搬送
路及び下流基板搬送路の一部と共に示す平面図である。

【符号の説明】

２０，４０，６０ 基板旋回装置 ２１，４１，６
１ 基板受け部 ２１Ａ，２１Ｂ 受け渡し端部 ２３ 回動軸 ２５ 駆動シリンダ ５０ 水平移動
機構（水平移動手段） ７０ 昇降機構（昇降手段） ７６ 駆動シリ
ンダ ７７ ガイドスリーブ ７８ ガイドシ
ャフト １００ 上流基板搬送路 ２００ 下流基
板搬送路 Ｐ 基板 Ｇ 隙間 Ｏ 旋回中心

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 上流側装置から延びた上流基板搬送路と
   下流側装置に延びる下流基板搬送路とが平面視において
   互いに角度をもって配置されている場合に、前記上流基
   板搬送路から前記下流基板搬送路に基板が移動できるよ
   うにこれら両基板搬送路の交点部に配置され、基板を一
   時的に受け取って基板の向きを水平面内で変更する基板
   旋回装置において、 前記基板を支持しかつ水平面内で旋回する基板受け部を
   有し、 該基板受け部は、前記上流基板搬送路からの基板を受け
   取りかつ同基板を前記下流基板搬送路に引き渡せるよう
   に、該基板受け部が旋回した際に前記上流基板搬送路又
   は前記下流基板搬送路の端部に近接する受け渡し端部を
   有しており、 該受け渡し端部が水平軸回り回動自在に構成されるとと
   もに、該受け渡し端部を前記回動方向に回動させる端部
   回動手段が設けられている、 ことを特徴とする基板旋回装置。
2. 【請求項２】 上流側装置から延びた上流基板搬送路と
   下流側装置に延びる下流基板搬送路とが平面視において
   互いに角度をもって配置されている場合に、前記上流基
   板搬送路から前記下流基板搬送路に基板が移動できるよ
   うにこれら両基板搬送路の交点部に配置され、基板を一
   時的に受け取って基板の向きを水平面内で変更する基板
   旋回装置において、 前記基板を支持しかつ水平面内で旋回する基板受け部
   と、 前記上流基板搬送路と前記下流基板搬送路とが成す二つ
   の角のうち大きい角の方向に、前記基板受け部を水平方
   向に移動させる水平移動手段と、を備えることを特徴と
   する基板旋回装置。
3. 【請求項３】 上流側装置から延びた上流基板搬送路と
   下流側装置に延びる下流基板搬送路とが平面視において
   互いに角度をもって配置されている場合に、前記上流基
   板搬送路から前記下流基板搬送路に基板が移動できるよ
   うにこれら両基板搬送路の交点部に配置され、基板を一
   時的に受け取って基板の向きを水平面内で変更する基板
   旋回装置において、 前記基板を支持しかつ水平面内で旋回する基板受け部
   と、 該基板受け部を上昇又は下降させる昇降手段と、を備え
   ていることを特徴とする基板旋回装置。