JPH09189916A

JPH09189916A - 回路集合体及びそれを作製する方法

Info

Publication number: JPH09189916A
Application number: JP267696A
Authority: JP
Inventors: Masanori Takahashi; 雅則高橋; Kenji Niihori; 憲二新堀; Toshimichi Ouchi; 俊通大内; Hideo Mori; 秀雄森; Tetsuo Saito; 哲郎齊藤
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1996-01-10
Filing date: 1996-01-10
Publication date: 1997-07-22

Abstract

(57)【要約】【課題】２つの基板の接続不良を防止する。【解決手段】位置合わせマーク２３は金属製であり、か
つ該マーク近傍の領域ＢＲ，ＢＬには金属電極２２（図
中の斜線部分）は形成されていないため、位置合わせマ
ーク２３と領域ＢＲ，ＢＬとのコントラストが大きくな
り、カメラによって位置合わせマーク２３を画像認識す
る場合においても認識不良を防止できる。また、領域Ｂ
Ｒ，ＢＬは透明であることから、液晶駆動用ＴＡＢフィ
ルム（不図示）を液晶パネルに重ね合わせた場合でも該
フィルム側の位置合わせマーク（同じく不図示）を領域
ＢＲ，ＢＬを介して容易に認識でき、位置合わせが良好
に行なわれる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、表示装置，イメー
ジセンサ，記録ヘッド，発光素子アレイ等に用いられる
回路集合体とそれを作製する方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】回路集合体はあらゆる電気実装品に用い
られる集合体であり、その用途の一例は、液晶素子・プ
ラズマ素子・ＤＭＤ・エレクトロクローミー素子等の表
示装置や、アモルファスシリコンを用いた薄膜型センサ
・ＩＣチップを複数並べたマルチチップ型センサ等のイ
メージセンサや、サーマルヘッド・インクジェットヘッ
ド等の記録ヘッドや、ＬＥＤアレイ・電子放出素子アレ
イ等の発光素子アレイである。

【０００３】まず、回路集合体の理解を容易にする為
に、液晶素子の例を挙げて説明する。

【０００４】図１に、その一例として、液晶パネル（第
１基板）Ｐと液晶駆動用ＴＡＢフィルム（第２基板）７
とを接続した液晶表示装置（回路集合体）を示す。

【０００５】図に示す液晶表示装置１は液晶パネルＰを
備えており、この液晶パネルＰは、情報電極を配したガ
ラス基板２と走査電極を配したガラス基板３とを有して
いる。これらのガラス基板２，３の形状は同一ではな
く、上下両端縁においては幅広形状のガラス基板２が他
方のガラス基板３よりも突出し、左端縁においては細長
形状のガラス基板３が他方のガラス基板２よりも突出す
るように構成されている。そして、一側のガラス基板２
の表面にはストライプ状の情報電極５が多数形成され、
他側のガラス基板３の表面には、同じくストライプ状の
走査電極６が多数形成されており、これらの電極５，６
によってマルチプレキシング駆動に適したマトリクス電
極が形成されている（一部のみ図示）。また、これらの
電極５，６は、ガラス基板２，３の端部にまで延設され
ており、ガラス基板２の上下両端縁においては情報電極
５が外部に露出し、ガラス基板３の左端縁においては走
査電極６が外部に露出している。さらに、これらのガラ
ス基板２，３は、相対向するように配置されており、液
晶を挟持するように構成されている。

【０００６】また、このような構成の液晶パネルＰには
液晶駆動用ＴＡＢフィルム（第２基板）７が接続されて
いる。図２Ａ〜図２Ｃは、ＴＡＢフィルム７の表面、裏
面、断面を示す模式図である。

【０００７】この液晶駆動用ＴＡＢフィルム７は、ポリ
イミド樹脂等からなる柔軟なベースフィルム部（基板）
７ａを備えており、このベースフィルム部７ａには銅泊
等による配線パターンによって入力端子７ｂと出力端子
（電極）７ｃとがそれぞれ形成されている。また、これ
らの端子７ｂ，７ｃの間には、液晶駆動用ＩＣチップ
（駆動用半導体素子）７ｄがＴＡＢ実装されている。そ
して、液晶駆動用ＴＡＢフィルム７の入力端子７ｂに入
力された信号は、液晶駆動用ＩＣチップ７ｄによって所
定波形の信号に変換された上で液晶パネルＰの電極５，
６に印加され、液晶パネルＰが駆動されて種々の情報を
表示することとなる。なお、上述したベースフィルム部
７ａは、フレキシブルな基板であるフィルムキャリアテ
ープにて形成されており、該テープを所定形状に打ち抜
くことにより構成されている。また、入力端子７ｂと出
力端子７ｃとは、ベースフィルム部７ａの表面に成膜し
た銅泊を所定形状にエッチングし、さらにＡｕメッキ或
はＳｎメッキを施すことにより形成されている。又、図
では入力端子７ｂの部分はベースフィルム７ａが除去さ
れていて、オーバーハング構造になっている。

【０００８】次に、上述した液晶駆動用ＴＡＢフィルム
７と液晶パネルＰとの接続方法について述べる。ＴＡＢ
フィルム７とパネルＰとには位置合せのための位置合せ
マークがそれぞれに形成されており、該位置合せのため
の専用の位置合せ装置９０が用いられる。図３は位置合
わせの様子を示す模式図である。また、該接続のために
異方性導電性接着剤９が用いられている。

【０００９】位置合せ装置９０は、液晶パネルＰを載置
する液晶パネル用アライメントユニット（第１の載置部
材）１００を備えており、該ユニットは３次元に移動自
在に構成されていた。また、該装置は、液晶駆動用ＴＡ
Ｂフィルム７を載置するＴＡＢ用アライメントユニット
（第２の載置部材）１０１を備えており、該ユニットも
また３次元に移動自在に構成されていた。さらに、液晶
パネルＰ及び液晶駆動用ＴＡＢフィルム７の位置を認識
するためのカメラ１０が配置されており、液晶パネルＰ
側の位置合せマーク（以下、“基板側マーク”とする）
を垂直落射照明下で認識し、液晶駆動用ＴＡＢフィルム
７側の位置合せマーク（以下、“ＴＡＢ側マーク”とす
る）を側射光による照明下で認識するように構成されて
いた。

【００１０】垂直落射照明は、光学顕微鏡の分野で周知
の技術であり、対物レンズと結像位置との間に半透鏡を
配して、対物レンズを通して試料を照明する方法であ
る。側射光による照明とは、同様に光学顕微鏡の分野で
周知の暗視野照明のことで、照明光を試料に対して斜め
にあてるものである。（朝倉書店発行の光学技術ハンド
ブック８５２頁参照）なお、このカメラ１０は、図３に示すように、液晶パネ
ルＰの裏側（液晶駆動用ＴＡＢフィルム７の反対側）に
配置されており、基板側マークはガラス基板３を介して
認識し、ＴＡＢ側マークはガラス基板３や該基板上に形
成されている透明膜（透明導電膜や異方性導電性接着膜
等）を介して認識する。

【００１１】ついで、位置合せについて説明する。

【００１２】液晶パネルＰが液晶パネル用アライメント
ユニット１００に搭載され、液晶駆動用ＴＡＢフィルム
７がＴＡＢ用アライメントユニット１０１に搭載される
と、まず、カメラ１０がＴＡＢ側マークと基板側マーク
とを認識し、両マークの位置ズレ量を算出する。そし
て、該位置ズレ量に基づいて両アライメントユニット
（１００及び１０１）又は、いずれか一方のアライメン
トユニット（１００又は１０１）が移動され、液晶パネ
ルＰと液晶駆動用ＴＡＢフィルム７との位置調整が行わ
れる。この位置調整により、液晶パネルＰの電極５，６
と液晶駆動用ＴＡＢフィルム７の出力端子７ｃとが一致
する。

【００１３】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した情
報電極５や走査電極６は、ＩＴＯ等の透明電極によって
形成されていたり、或は金属電極によって形成されてい
る。

【００１４】電極５，６が透明電極によって形成されて
いる場合は、基板側マークもその透明電極と同じ材料に
よって形成することが考えられる。該マークを垂直落射
照明により観察する場合には、透明電極の膜厚によって
はガラス基板２，３と基板側マークとのコントラストが
小さくなり、カメラ１０による画像認識が非常に困難に
なることが判明した。

【００１５】また、電極５，６を金属電極によって形成
した場合には、そのような場合には、ＴＡＢ側マークの
認識が、不透明な金属電極によって妨げられ、位置合せ
が不能になることが判明した。図４はその様子を説明す
るための模式図である。同図はカメラ１０のファインダ
ー内に見える像の様子を示している。同図(a) のように
ＴＡＢ側マーク１１が電極６と重なっていない場合には
該マークの認識が可能であるが、同図(b) のように該マ
ーク１１が電極６に隠れている場合にはカメラによる画
像処理に支障を来し、位置合せが不可能となる。

【００１６】本発明の第１の目的は、上述した課題を解
決し、精度の高い位置合わせを可能とする回路集合体を
提供することにある。

【００１７】本発明の第２の目的は、位置合わせが容易
で、自動位置合わせに適した回路集合体を提供すること
にある。

【００１８】本発明の第３の目的は、簡単な構造の位置
合わせマークを用いても精度の高い位置合わせの可能な
回路集合体を提供することにある。

【００１９】

【課題を解決するための手段】本発明は、上述事情に鑑
みなされたものであって、複数の第１電極が設けられた
透明な第１基板と、複数の第２電極が設けられた第２基
板と、の少なくとも一部が重ね合わされて、対応する該
第１電極と該第２電極とが電気的に接続される回路集合
体において、該第１電極は、透光性の層と該透光性の層
に積層された非透光性の層とを有し、該第２基板と重な
りあう部分のうちの少なくとも一部が透光性であり、該
第１又は第２基板の、該第１電極の該透光性の部分に対
応した位置には、位置合わせマークが設けられている、
ことを特徴とする。

【００２０】なお、位置合わせマークは、透光性の部分
に対応した位置に設けられているため、コントラストが
大きくなり、位置合わせマークの認識を良好に行なえ
る。

【００２１】

【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施態様に
ついて説明するが、本発明はこれら実施態様に限定され
ることはなく、本発明の目的が達成されるのであれば、
各構成要素を均等物や代替物に置換したものも本発明
の範疇に属する。

【００２２】図５は本発明の一実施態様による回路集合
体を説明する為の平面図である。

【００２３】２０３は透光性の第１基板、２００は第１
基板２０３の表面に設けられた第１電極群であり、各第
１電極２００は非透光性の部分２０１と透光性の部分２
０２とを有している。

【００２４】２０７は第２基板であり、その表面上には
第２電極群２１７が設けられている。

【００２５】２０９は第２基板２０７の表面に設けられ
た第１の位置合わせマークである。

【００２６】この図５は位置合わせ工程の途中の様子を
示している為、マーク２０９の大部分は第１電極群のう
ちの１つと重なっているが、第１基板２０３をＸ方向
に、又は第２基板２０７をＸと逆の方向に動かせば、対
応する第１及び第２電極同士がそれぞれ重なり合い、マ
ーク２０９は第１電極２００のいずれとも重ならない位
置にくる。この位置が適切な電極の接合位置である。

【００２７】本実施態様によれば、位置合わせマーク２
０９に対応した、第１電極２００の一部分が透光性であ
る為にマーク２０９と第１電極２００とが重なっても該
透光性の部分を通してマーク２０９が認識出来る為に位
置合わせ工程の途中でマーク２０９を見失うことがな
い。

【００２８】該マーク２０９の位置は図５のように第１
電極２００に接している必要はなく、第１電極２００と
離間して設けられていてもよい。但し、図１のように一
方の基板を複数並べて配する場合には、配線密度を高め
る為に第１電極に近い位置としたほうがよい。

【００２９】又、マーク２０９を第１基板２０３側に設
け、第２基板２０７側は第２電極２１７自体を位置合わ
せ用マークとして兼用してもよい。

【００３０】より好ましくは、後述する実施例のよう
に、第１及び第２基板の両方に位置合わせ専用のマーク
を設けることが望ましい。その場合、２つの専用マーク
の位置は、適切な基板接続位置に位置合わせされた時に
重ならない位置とするとよい。

【００３１】又、第１電極２００の全てに透光性の部分
２０２を設ける必要はなく、後述する実施例のように端
部に配された少なくとも１本の第１電極に透光性の部分
を設ければよい。

【００３２】一方、第１基板２０３側に設けられるマー
クとしては非透光性のマークが望ましく、その配置位置
は、第１電極２００の非透光部２０１と離間した位置と
するとよい。

【００３３】図６は、本発明に用いられる透光性の第１
基板の一例を示す模式的平面図である。

【００３４】図では、ｎ個の電極からなるアレイが４つ
示されており、各アレイは左右の端部Ｂにそれぞれｂ個
の透光性を有する電極が設けられ、中心の領域Ａに非透
光性の電極ａ個が設けられている。つまり各アレイは２
ｂ＋ａ個（＝ｎ個）の電極をもっている。

【００３５】ａは、１以上好ましくは２以上、より好ま
しくは４以上であるが、その数に対応した面積であれば
領域Ｂの各電極は互いに分離されていなくてもよい。

【００３６】このうち、領域Ａの電極は少なくとも表示
画素や光電変換素子、発光素子といった機能素子に接続
されている。領域Ｂの電極はこうした素子に接続されて
いないダミー電極であってもよい。

【００３７】領域Ｂの配列方向の長さＰＴ１は、領域Ａ
の配列方向の長さＰＴ２の１０分の１以下、好ましくは
２０分の１以下、より好ましくは５０分の１以下とす
る。

【００３８】各アレイ間の間隔の長さＰＴ３はＰＴ１よ
り大きく、ＰＴ３の２分の１の長さをもつ領域内にマー
ク２３０がそれぞれ配されることで、高密度実装が可能
である。

【００３９】電極の巾は５μｍ乃至８００μｍ、より好
ましくは２０μｍ乃至２５０μｍ、電極の間隔は同じく
５μｍ乃至８００μｍ、より好ましくは２０μｍ乃至２
５０μｍである。

【００４０】こうした数値や大小関係は、図１や図６の
ように１つの基板２，３，２０３に対して、複数の別基
板７が接合される回路集合体に適用されると容易にアセ
ンブリが行える。

【００４１】図７は本発明の回路集合体の一例を示す模
式的断面図であり、位置合わせ後であって接着硬化前の
様子を示す。

【００４２】図６の基板に図２Ａ−２Ｃに示した基板を
接合して、図６のＺＺ一点鎖線による断面をみたものと
考えてほしい。

【００４３】２１２ｄは透光性の電極であり、領域Ｂに
対応している。２１２は透光性導電層、２１１は非透光
性導電層であり、領域Ａに対応している。

【００４４】２１７は対向する第２基板２０７上の非透
光性電極である。２１７ｄは非透光性電極、２０９は位
置合わせマークであり、領域Ｂに対応した位置にある。

【００４５】２５０は異方性導電性接着剤であり、熱硬
化又は光硬化或は熱・光硬化型の接着樹脂、又は、非硬
化型の接着樹脂からなる部分２５２と、導電性微粒子２
５１とを含む。両基板に圧力を加えれば、微粒子２５１
を通じて両電極が導通する。

【００４６】領域Ｂの電極をダミー電極とすれば、熱ひ
ずみや圧縮圧力により、両基板が剥れるような力が加わ
っても、これをダミー電極部分が吸収し、電極２１１，
２１２，２１７は接続状態が安定する。

【００４７】本発明に用いられる第１基板としては、位
置合わせに必要な領域が透光性である透光性の基板を用
いる。具体的には、ガラス、石英、アルミナ、樹脂など
の透光性材料からなる基板が挙げられる。

【００４８】本発明に用いられる第２基板としては、透
光性であっても非透光性であってもよい。又、リジッド
な基板でもフレキシブルな基板であってもよい。

【００４９】リジッドな基板材料としては第１基板と同
じ材料、或は、セラミックス、金属等である。

【００５０】フレキシブルな基板材料としては、ポリイ
ミド、ポリエステル、エポキシガラス等である。

【００５１】第１電極としては、透光性の層と非透光性
の層とを積層した積層電極が望ましい。透光性の層が下
層、非透光性の層が上層となる構造でも、その逆でもよ
い。

【００５２】透光性の層としては、酸化すず、酸化イン
ジウム、酸化インジウムすず（ＩＴＯ）が挙げられる。
非透光性の層としてはアルミニウム、クロム、モリブデ
ン、タングステン、チタン、銅、金、銀、白金及びこれ
らの金属同士又はこれらの金属に他の金属やケイ素、窒
素、酸素等を適量含ませたアロイが挙げられる。

【００５３】本発明でいう透光性とは、位置合わせに必
要な光に対して必要量の透過率をもつ特性であればよ
く、非透光性とは、位置合わせに必要な光に対して必要
量の透過率をもたない特性のものを言う。

【００５４】但し、充分なコントラスを得る為の好まし
い組み合わせは、金属酸化物の透明導電膜と金属であ
る。

【００５５】図８は本発明の回路集合体の作製法のフロ
ーチャートである。

【００５６】第１基板を用意して（Ｓ１１）、透光性導
電膜を成膜し（Ｓ１２）、非透過性の導電膜を成膜する
（Ｓ１３）。次にエッチングにより配線パターンを形成
する（Ｓ１４，Ｓ１５）。

【００５７】一方、第２基板を用意して（Ｓ２１）、非
透光性導電膜を成膜し（Ｓ２２）、パターニングする
（Ｓ２３）。

【００５８】ここで、工程Ｓ１４，Ｓ２３では位置合わ
せマークを形成する工程を同時に行う。

【００５９】次に異方性導電性接着剤を用意して（Ｓ３
３）、第１、第２基板を間に接着剤を介して重ね合わせ
る（Ｓ４１）。目視で粗い位置を合わせを行い（Ｓ４
２）、カメラを用いたオートアライメントにより高精度
な位置合わせを行う（Ｓ４３）。このときに位置合わせ
マークが利用される。

【００６０】位置合わせが終了した後、工程Ｓ４４では
その位置がずれないようにして、電極同士を圧着させて
接続する。この時、接着剤を硬化させる等して、接続の
信頼性を高めるとよい。

【００６１】各工程は適宜代替工程に置換したり、付加
的工程を加えることもできる。詳しくは後述する実施例
を参照されたい。

【００６２】オートアライメントに用いるカメラは、垂
直落射照明と暗視野照明が行えるもので、マークのずれ
量を算出する情報処理回路と、基板を移動させる載置部
材駆動部とを有する。（実施例１）以下、図９〜図１３を参照して、本発明の
実施例について説明する。なお、図１及び図３に示すも
のと同一部分は同一符号を付して説明を省略する。

【００６３】図９は本実施例の回路集合体を用いた液晶
表示装置を示す模式的平面図である。

【００６４】図１０は図９の液晶表示装置の一部分（Ｒ
ＭＫ２）を構成しているガラス基板３の電極パターンを
拡大して示す模式的平面図である。

【００６５】図１１は図９の液晶表示装置の一部分（Ｒ
ＭＫ２）を構成しているＴＡＢフィルム２７の電極パタ
ーンを拡大して示す模式的平面図である。

【００６６】本実施例の液晶表示装置は、液晶パネル
（第１基板）Ｐ１と、駆動用ＩＣチップ２７ｄを有する
ＴＡＢフィルム（第２基板）２７と、バス基板ＢＳＳ，
ＢＳＯ，ＢＳＥと、を有している。バス基板ＢＳＯには
４つのＴＡＢフィルム２７が接続され、奇数番目の情報
電極用の表示データとＩＣチップ２７ｄを駆動制御する
為の信号がバス基板ＢＳＯを介してＩＣチップ２７ｄに
供給される。

【００６７】同様に、バス基板ＢＳＥは偶数番目の情報
電極用の表示データとＩＣチップ２７ｄの駆動制御信号
を転送する機能をもつ。

【００６８】バス基板ＢＳＳはＩＣチップ２７ｄが走査
電極に供給する信号を発生するように、クロック、アド
レスデータ、基準電圧等の信号を転送するものである。

【００６９】バス基板ＢＳＳには１１個のＴＡＢフィル
ムが接続されている。

【００７０】このうちＲＭＫ２にて示される１つのＴＡ
Ｂフィルム２７を例に挙げて詳述する。

【００７１】このうち、液晶パネルＰ１のガラス基板３
には、図１０に示すように、ストライプ形状の走査電極
（第１電極）２０が多数形成されている。これらの走査
電極２０は、ガラス基板３の中央部の領域Ａにおいて
は、透明導電体からなる透明電極（透光性の層）２１と
金属電極（非透光性の層）２２との積層構造となってお
り、多数併設されてガラス基板３の端部（露出部）まで
延設されている。また、領域Ａの両外側の走査電極２０
は、金属電極２２との積層構造はその途中までであり、
領域ＢＲ，ＢＬにおいては透明電極２１のみによって構
成されている（図中、斜線部分が積層構造を示す）。な
お、この金属電極２２は、電極２０の電気抵抗を低減し
て液晶パネルの駆動スピードを上げる役割を果たしてい
る。また、本実施例においては、金属電極２２の幅と透
明電極２１の幅とは同一で、透明電極２１が全幅にわた
って金属電極２２によって被覆されるように構成されて
いる。さらに、本実施例においては、液晶パネルＰ１
は、Ａ領域に形成された電極２０によって駆動されるよ
うになっており、領域ＢＲ，ＢＬに形成された電極２０
は、該駆動に寄与しない電極（いわゆるダミー電極）と
されている。

【００７２】また、これら２つの領域ＢＲ，ＢＬには基
板側マーク（第２の位置合せマーク）２３が形成されて
いる。これらの基板側マーク２３は、最外側の電極２０
の外側で、該電極２０に隣接する位置に形成されてお
り、それぞれ略正方形状をしている。なお、図１０に
は、一方のガラス基板３についてのみ示しているが、他
方のガラス基板２と情報電極に接続されるＴＡＢフィル
ムとの回路集合体においても同形状の電極や基板側マー
クが形成されている。

【００７３】次に、本実施例にて用いるＴＡＢ側マーク
（第１の位置合せマーク）２９を有する液晶駆動用ＴＡ
Ｂフィルム（第２基板）２７の構造について、図１１を
参照して説明する。

【００７４】この液晶駆動用ＴＡＢフィルム２７は、従
来のものとほぼ同様の構造であり、ベースフィルム部
（基板）２７ａと、入力端子２７ｂと、出力端子（第２
電極）２７ｃと、これらの端子の間に実装された液晶駆
動用ＩＣチップ（駆動用半導体素子）２７ｄと、によっ
て構成されている。このうち、出力端子２７ｃは、スト
ライプ形状をしており、銅泊の表面にＡｕメッキ或はＳ
ｎメッキを施すことにより形成されている。なお、これ
らの出力端子２７ｃの間隙及び本数は、上述した電極２
０の間隙や本数に対応している。そして、最外側の出力
端子２７ｃには、それぞれＴＡＢ側マーク２９が連設さ
れている。なお、これらのＴＡＢ側マーク２９は、出力
端子２７ｃと同材質のもので形成されている。具体的に
は、これらのマーク２９は出力端子２７ｃをパターニン
グする際にエッチング除去しないで残されたものであ
る。また、本実施例においては、基板側マーク２３とＴ
ＡＢ側マーク２９とは、液晶パネルＰ１と液晶駆動用Ｔ
ＡＢフィルム２７とが適正に接続された状態において互
いに重ならない位置に形成されている。具体的には、左
右２つの基板側マーク２３の間隙と左右２つのＴＡＢ側
マーク２９の間隙とは等しいが、正規接続位置において
は、図１３に示すように、２つのマーク２３，２９はそ
れぞれ電極２０の長手方向に沿ってずれるように形成さ
れている。

【００７５】次に、液晶パネルＰ１と液晶駆動用ＴＡＢ
フィルム２７との位置合せ工程について、図１２及び図
１３を参照して説明する。ここで、図１２は、位置合せ
途中における液晶駆動用ＴＡＢフィルム２７と液晶パネ
ルＰ１との位置関係を示しており、図１３は、該位置合
せ終了後の位置関係を示している。

【００７６】図１２、１３は、図１０に示すパネルＰ１
のガラス基板３の表面を下向きにして、上向きとなって
いる図１１のＴＡＢフィルム２７上に重ね、領域ＢＲ、
領域ＣＬが含まれる部分をガラス基板３の裏面側からの
ファインダーを通して見た様子を示している。

【００７７】いま、液晶パネルＰ１に液晶駆動用ＴＡＢ
フィルム２７を接続する場合には、液晶パネルＰ１を液
晶パネル用アライメントユニット１００に載置し、液晶
駆動用ＴＡＢフィルム２７をＴＡＢ用アライメントユニ
ット１０１に載置する。この載置作業は、専用の装置で
自動に行っても良く、或は作業者が手動で行っても良
い。但し、この場合、ＴＡＢ側マーク２９がＡ領域以外
の領域、すなわち、ＢＲ領域か、Ｂ領域の更に外側の領
域に位置して金属電極２２と重ならないように、両アラ
イメントユニット１００，１０１のＸ方向の位置を粗調
整する必要がある。同時にＹ方向についても粗調整し
て、電極２０と電極２７ｃとを接続する領域同士を重ね
る。この粗調整の段階では、図１２に示すように、ＴＡ
Ｂ側の出力端子２７ｃとガラス基板側の電極２０とは、
距離ｄ₁ だけずれた状態にある。

【００７８】次に、カメラ等による自動微調整を開始す
ると、前記粗調整により適正位置に保持されているＴＡ
Ｂ側マーク２９は、透明なガラス基板３、異方性導電性
接着剤９及びベースフィルム部２７ａを介してカメラに
よって認識され、他方の基板側マーク２３は透明なガラ
ス基板３を介して認識される。そして、カメラ１０によ
る画像認識情報は情報処理回路（不図示）に送られ、該
処理回路によって両マーク２３，２９のズレ量が計算さ
れる。このズレ量はアライメント駆動部に信号として送
られ、このズレ量が適正値になるように該駆動部によっ
て両アライメントユニット１００，１０１の位置の微調
整が行われる。なお、かかる位置調整は、液晶パネル用
アライメントユニット１００、ＴＡＢ用アライメントユ
ニット１０１、又はそれら両方１００，１０１を駆動し
て行われる。該微調整終了後においては、図１３に示す
ように、両マーク２３，２９は電極２０の長手方向に間
隔をおいて所定の位置にあり、幅方向もズレのない正し
い位置にある。こうして、この微調整終了後において
は、ＴＡＢフィルム側の出力端子２７ｃとガラス基板側
の電極２０とのズレｄ₁ は解消されている。なお、ガラ
ス基板２，３や液晶駆動用ＴＡＢフィルム２７を位置合
せ装置９０にセットする前においては、これらのガラス
基板２等のうち、少なくとも一方の接続端部には予め異
方性導電性接着剤を塗布あるいは、異方性導電性接着膜
を転写しておき、位置合せ終了後においては、熱圧着ヘ
ッド（不図示）によってガラス基板３と液晶駆動用ＴＡ
Ｂフィルム２７とを熱圧着し、両者を正規位置にて固定
する。なお、図１２及び図１３においては、片側（Ｂ
Ｒ，ＣＬ）の位置合せマーク２３，２９についてのみ説
明したが、他側（ＢＬ，ＣＲ）の位置合せマーク２３，
２９を用いても同様に画像認識を行うことができる。ま
た、両側のマークについて画像認識を行えば、位置合せ
はより正確なものとなる。

【００７９】ついで、本実施例の効果について説明す
る。

【００８０】本実施例によれば、基板側マーク２３が、
非透光性の金属製であるのみならず、該マークの近傍の
領域ＢＲ，ＢＬが金属電極２２が形成されておらず透明
であるため、基板側マーク２３と領域ＢＲ，ＢＬとのコ
ントラストが大きくなる。したがって、カメラによる画
像認識において垂直落射照明を用いたとしても、従来の
ように画像認識精度が透明電極の膜厚に左右されること
もなく、液晶パネルＰ１及び液晶駆動用ＴＡＢフィルム
２７の位置合せ精度が向上される。

【００８１】また、一般に、本実施例のようにＴＡＢ側
マーク２９の画像認識を液晶パネルＰ１を介して行う場
合には、ＴＡＢ側マーク２９が金属電極等の不透明な部
材と重なると画像認識が不能になる。しかし、本実施例
においては、ガラス基板２，３に透明な領域ＢＲ，ＢＬ
を設けているため、ＴＡＢ側マーク２９は、該領域Ｂ
Ｒ，ＢＬに位置する限り常に画像認識が可能であり、上
述のような問題もない。

【００８２】一方、基板側マーク２３は金属電極２２を
形成する工程にて簡単に形成され、マークを形成するた
めの専用の工程を必要としない。したがって、液晶パネ
ルＰ１の製造コストの上昇及び製造工程の煩雑化を防止
できる。

【００８３】また本実施例によれば、基板側マーク２３
とＴＡＢ側マーク２９とは、液晶パネルＰ１と液晶駆動
用ＴＡＢフィルム２７とが正規接続位置にある場合にお
いても一定のズレを有するように形成されている。ここ
で、例えば、アライメント１００，１０１上に液晶パネ
ルＰ１か液晶駆動用ＴＡＢフィルム２７かのいずれか一
方の部品しかセットされていない場合や、両方の部品が
正常にセットされていても一方の位置合せマーク２３，
２９がカメラ１０の認識範囲から外れている場合には、
カメラ１０はいずれか一方の位置合せマーク２３又は２
９しか認識しないこととなる。そして、本実施例のよう
に両マーク２３，２９が正規接続位置においてズレ量を
有するように構成されていないとすれば、上述のような
場合であっても位置合せが終了していると誤認識されて
しまうが、本実施例によれば、そのような問題もない。

【００８４】一方、本実施例によれば、液晶パネルＰ１
と液晶駆動用ＴＡＢフィルム２７との接続を自動で行う
ことにより、製造コストを低減できる。（実施例２）次に、本発明の第２実施例について、図１
４乃至図１７を参照して説明する。

【００８５】本実施例に係る液晶表示装置も、上述第１
実施例と同じく図９に示す液晶表示装置と同様の構成で
あり、液晶パネルと多数の液晶駆動用ＴＡＢフィルムと
を備えている。

【００８６】そして、液晶パネルＰ２のガラス基板３の
表面には、図１４に詳示するように、多数の電極（第１
電極）３０が形成されている。但し、図１０とは異なる
のは、この図１４は基板３の電極３０が配設された表面
と反対の裏面から見た様子を示している点である。これ
らの電極３０は、ガラス基板３の中央部の領域Ａにおい
てはストライプ形状をしており、透明電極３１と金属電
極３２との積層構造となっている。また、これらの電極
３０は、ガラス基板３の端部（露出部）まで延設されて
おり、領域Ａで、かつガラス基板３の端部においては、
各電極の両縁のみが透明電極３１と金属電極３２との積
層構造で、各電極の中央部は単層の透明電極３１からな
っている。さらに、ガラス基板３の端部（露出部）以外
においては、金属電極３２の幅と透明電極３１の幅とは
同一で、透明電極３１が全幅にわたって金属電極３２に
よって被覆されるように構成されている。一方、ガラス
基板３の両側部の領域Ｂ₁ ，Ｂ₂ で、かつガラス基板３
の端部（露出部）においては、透明電極による幅広部３
３が長方形状にそれぞれ形成されており、これらの幅広
部３３の表面には、目視により位置合せを行うためのマ
ーク（以下、“基板側目視マーク”とする）３５がそれ
ぞれ２つずつ形成されている。なお、これらの基板側目
視マーク３５は、所定間隙をおいて互いに平行になるよ
うに形成されており、金属電極３２と同じ材質で形成さ
れている。また、一側部（図中右側）の領域Ｂ₁ で、か
つガラス基板３の端部以外の部分においては、複数本
（図では４本）の電極３０が領域Ａと同様に形成されて
おり、各電極３０は透明電極３１と金属電極３２との積
層構造となっている。さらに、これらの電極３０を構成
する透明電極３１と、上述した幅広部３３とは導通され
ている。一方、他側部（図中左側）の領域Ｂ₂ で、かつ
ガラス基板３の端部以外の部分においては、透明電極３
１と金属電極３２との積層構造からなる電極３０が１本
だけ形成されており、この透明電極３１と幅広部３３と
は同じく導通されている。さらに、これらの領域Ｂ₁ 及
びＢ₂ の外側には位置合せマーク（第１の位置合せマー
ク）３６がそれぞれ形成されている。これらの位置合せ
マーク３６は、金属電極３２と同じ材質で形成されてお
り、小円形状をしている。また、上述した基板側目視マ
ーク３５が目視の対象となるものであるのに対して、こ
れらの位置合せマーク３６はカメラによる画像認識の対
象となるものである（以下、“基板側自動マーク３６”
とする）。なお、図１４には、一方のガラス基板３につ
いてのみ示しているが、他方のガラス基板２においても
同形状の電極や基板側マークが形成されている。また、
本実施例においては、液晶パネルは、Ａ領域に形成され
た電極３０によって駆動されるようになっており、Ｂ領
域に形成された電極３０は、該駆動に寄与しない電極
（いわゆるダミー電極）とされている。

【００８７】次に、本実施例にて用いる液晶駆動用ＴＡ
Ｂフィルム（第２基板）３７の構造について、特に、出
力端子（第２電極）３７ｃ及び位置合せマーク３８，３
９の形状及び位置について、図１５を参照して説明す
る。

【００８８】この液晶駆動用ＴＡＢフィルム３７はベー
スフィルム部（基板）３７ａ₁ ，３７ａ₂ を有している
が、このベースフィルム部は、間隙Ｓを形成するように
２つの部分３７ａ₁ 及び３７ａ₂ に分離されている。ま
た、ベースフィルム部３７ａ₁ ，３７ａ₂ の幅方向中央
部の領域Ａにおいては、ガラス基板３の領域Ａに形成さ
れた電極３０と同じ間隙や本数でストライプ形状の出力
端子３７ｃが形成されており、これらの出力端子３７ｃ
は各ベースフィルム部３７ａ₁ ，３７ａ₂ に接着されて
いる。さらに、この領域Ａに隣接する領域Ｂ₁ 及びＢ₂
には、複数本（図では４本）の出力端子３７ｃがそれぞ
れ形成されている。このうち、領域Ｂ₁には、ガラス基
板３の領域Ｂ₁ の電極３０に対応して、該電極３０と同
じ本数及び間隙にて形成されている。また、これらの領
域Ｂ₁ 及びＢ₂ においては、左右両側から数えて３本目
及び４本目の出力端子３７ｃ，３７ｃの間には、目視調
整用の位置合せマーク３８（以下、“ＴＡＢ側目視マー
ク３８”とする）がそれぞれ形成されており、１本目の
出力端子３７ｃと２本目の出力端子３７ｃとが形成され
た部分には自動調整用の位置合せマーク３９（以下、
“ＴＡＢ側自動マーク３９”とする）がそれぞれ形成さ
れている。なお、これらのマーク３８，３９の形成され
た部分にはベースフィルム部が形成されておらず出力端
子３７ｃが露出されているが、もちろんこれに限る必要
はなく、ベースフィルム部を形成するようにしてもよ
い。また、これらのマーク３８，３９は、出力端子３７
ｃと同材質のもの、すなわち、銅泊の表面にＡｕメッキ
或はＳｎメッキを施したもので形成されている。具体的
には、これらのマーク３８，３９は、出力端子３７ｃを
パターニングする際にエッチング除去しないで残された
ものである。さらに、その他の構造は従来のものとほぼ
同様であり、上述した出力端子３７ｃには、ＴＡＢ実装
された液晶駆動用ＩＣチップ（駆動用半導体素子、同じ
く不図示）が接続されており、該ＩＣチップには入力端
子（不図示）が接続されている。また、本実施例におい
ては、図１７に詳示するように、基板側目視マーク３５
は、液晶パネルＰ２と液晶駆動用ＴＡＢフィルム３７と
が適正に接続された状態において、互いに重ならずにＴ
ＡＢ側目視マーク３８を挟み込む位置に形成されてお
り、ＴＡＢ側自動マーク３９と基板側自動マーク３６と
も互いに重ならない位置に形成されている。

【００８９】次に、液晶パネルＰ２と液晶駆動用ＴＡＢ
フィルム３７との位置合せ時の作用について、図１６及
び図１７を参照して説明する。ここで、図１６は、位置
合せ途中における液晶駆動用ＴＡＢフィルム３７と液晶
パネルＰ２との位置関係を示しており、図１７は、該位
置合せ終了後の位置関係を示している。

【００９０】いま、液晶パネルＰ２と液晶駆動用ＴＡＢ
フィルム３７とを、液晶パネル用アライメントユニット
１００とＴＡＢ用アライメントユニット１０１とにそれ
ぞれ載置する。そして、ガラス基板３及び液晶駆動用Ｔ
ＡＢフィルム３７のそれぞれの外形を目視により認識し
ながら大体の位置合せ（粗調整）を行うあるいは、ガラ
ス基板側のマ−クを画像認識し、所定の位置に移動調整
後ＴＡＢフィルムを外形つきあてで粗調整した後にＴＡ
Ｂフィルムを送り込み位置合わせ（粗調整）を行う（図
１６参照）。但し、この場合の粗調整は、ＴＡＢ側目視
マーク３８及びＴＡＢ側自動マーク３９が、Ａ領域以外
の領域（すなわち、Ｂ領域か、Ｂ領域の外側の領域）に
位置して金属電極３２と重ならないようにする必要があ
る。

【００９１】次に、自動微調整を開始すると、ＴＡＢ側
自動マーク３９は、透明なガラス基板３及び異方性導電
性接着剤９を介してカメラによって認識され、他方の基
板側自動マーク３６は透明なガラス基板３を介して認識
される。そして、カメラによる画像認識情報は所定の情
報処理回路に送られ、該処理回路によって両マーク３
６，３９のズレ量が計算される。このズレ量はアライメ
ント駆動部（不図示）に信号として送られ、このズレ量
が適正値になるように該駆動部によって両アライメント
ユニット１００，１０１の位置の微調整が行われる。な
お、かかる位置調整は、液晶パネル用アライメントユニ
ット１００、ＴＡＢ用アライメントユニット１０１、又
はそれら両方１００，１０１を駆動して行われる。ま
た、このような自動微調整が正確になされたか否かを、
目視マーク３５，３８の相対位置により確認する。さら
に、位置合せ終了後においては、上述実施例と同様に、
液晶パネルＰ２と液晶駆動用ＴＡＢフィルム３７との熱
圧着が行われる。ここで、図１６及び図１７において
は、片側の位置合せマーク３６についてのみ説明した
が、他側の位置合せマーク３６についても同時に画像認
識が行われており、また、両側のマークについて画像認
識を行うことにより位置合せは正確なものとなってい
る。

【００９２】ついで、本実施例の効果について説明す
る。

【００９３】本実施例によれば、基板側マーク３５，３
６が非透光な金属製であるのみならず、該マークの近傍
の領域Ｂが金属電極３２が形成されておらず透明である
ため、基板側マーク３５，３６と領域Ｂとのコントラス
トが大きくなる。したがって、カメラによる画像認識に
おいて垂直落射照明を用いたとしても、従来のように画
像認識精度が透明電極の膜厚に左右されることもなく、
液晶パネルＰ２及び液晶駆動用ＴＡＢフィルム３７の位
置合せ精度が向上する。

【００９４】また、一般に、本実施例のようにＴＡＢ側
自動マーク３９の画像認識を液晶パネルＰ２を介して行
う場合には、ＴＡＢ側自動マーク３９が金属電極等の不
透明な部材と重なると画像認識が不能になる。しかし、
本実施例においては、ガラス基板２，３に透明な領域Ｂ
を設けているため、ＴＡＢ側マーク３９は、該領域Ｂに
位置する限り常に画像認識が可能であり、上述のような
問題もない。

【００９５】一方、基板側マーク３５，３６は金属電極
３２を形成する工程にて簡単に形成され、マークを形成
するための専用の工程を必要としない。したがって、液
晶パネルＰ２の製造コストの上昇及び製造工程の煩雑化
を防止できる。

【００９６】また本実施例によれば、基板側自動マーク
３６とＴＡＢ側自動マーク３９とは、液晶パネルＰ２と
液晶駆動用ＴＡＢフィルム３７とが正規接続位置にある
場合においても一定のズレを有するように形成されてい
る。ここで、例えば、アライメント１００，１０１上に
液晶パネルＰ２か液晶駆動用ＴＡＢフィルム３７かのい
ずれか一方の部品しかセットされていない場合や、両方
の部品が正常にセットされていても一方の位置合せマー
ク３６，３９がカメラの認識範囲から外れている場合に
は、カメラはいずれか一方の位置合せマーク３６又は３
９しか認識しないこととなる。そして、本実施例のよう
に両マーク３６，３９が正規接続位置においてズレ量を
有するように構成されていないとすれば、上述のような
場合であっても位置合せが終了していると誤認識されて
しまうが、本実施例によれば、そのような問題もない。

【００９７】さらに本実施例によれば、目視マーク３
５，３８が設けられているため目視による位置合せ及び
位置確認が可能である。したがって、自動による位置合
せと目視による位置確認とを併用することにより、位置
精度を向上することができる。また、例えば自動マーク
３６，３９の形状が不完全で画像認識が不可能な場合に
おいても、本実施例によれば目視によって位置合せがで
きる。

【００９８】一方、本実施例によれば、液晶パネルＰ２
と液晶駆動用ＴＡＢフィルム３７との接続を自動で行う
ことにより、製造コストを低減できる。

【００９９】なお、上述実施例において金属電極の幅は
透明電極と同一のものとしたが、もちろんこれに限る必
要はなく、金属電極の幅を透明電極よりも小さくし、透
明電極の一部を金属電極が覆うようにしてもよい。ま
た、金属電極にて被覆しない透明電極の数は、上述各実
施例において示した数に何ら限定されるものではない。
さらに、上述実施例においては、Ｂ領域に形成された電
極をダミー電極としたが、もちろんこれに限る必要はな
く、液晶パネルの駆動のために使用してもよい。但し、
その場合には、複数の電極を一組として駆動電圧を印加
するなど、低抵抗化のための対策を取る必要がある。ま
た、上述各実施例は、液晶表示装置に本発明を適用した
場合について説明しているが、もちろんこれに限る必要
はなく、液晶パネル以外の透明基板（第１基板）に外部
回路基板（第２基板）を接続する際に用いても良い。

【０１００】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によると、
第１の位置合せマークと該マーク近傍の領域とのコント
ラストが大きくなる。したがって、第１基板と第２基板
との位置合せを専用の位置合せ装置を用いて自動で行う
場合に第１の位置合せマークを垂直落射照明にて画像認
識する場合においても、該画像認識が容易となり、位置
合せは正確なものとなる。

【０１０１】また、前記第１基板における、少なくとも
前記第１の位置合せマークの近傍の領域を透明とした場
合には、該透明の部分と前記第１の位置合せマークとの
コントラストがさらに大きくなって上記効果を確実なも
のとする他、自動位置合せの際に第１基板を介して第２
の位置合せマークを認識でき、位置合せ精度を向上でき
る。

【０１０２】さらに、第１の位置合せマークが非透光性
であることから、目視による位置合せ及び位置確認も容
易となる。そのため、自動による位置合せと目視による
位置確認とを併用することにより、両基板の相対位置精
度を向上できる。

【０１０３】またさらに、前記第１基板と前記第２基板
とが適正に接続された状態において、互いに重ならない
位置に前記第１及び第２の位置合せマークを形成した場
合には、両基板が正規接続位置にあることを確認でき、
両基板を適正に接続できる。

【０１０４】また、前記第１基板に形成する電極を透明
電極と金属電極との積層構造とすることにより、配線抵
抗が低下し、第１基板の駆動スピードも向上される。こ
の場合において、前記第１の位置合せマークの近傍に関
しては電極を透明電極のみによって構成することによ
り、該近傍の領域と前記第１の位置合せマークとのコン
トラストが大きくなり、上述した種々の効果を得ること
ができる。また、前記第１の位置合せマークを前記金属
電極と同材質のもので形成した場合には、該金属電極を
形成する工程にて該マークを簡単に形成でき、マークを
形成するための専用の工程を必要とせず、製造コストの
上昇及び製造工程の煩雑化を防止できる。

【０１０５】一方、前記第１の位置合せマークの近傍に
形成される透明電極を、他の部分の透明電極よりも幅広
のものとすることにより、金属電極の積層された透明電
極と同様に低抵抗化を図ることができ、駆動のための電
極として使用できる。

【０１０６】また、前記第１基板を液晶表示素子とする
ことにより、上述した種々の効果を有する液晶表示素子
を得ることができる。

【０１０７】さらに、前記第１基板と前記第２基板との
接続をカメラ等を利用して自動で行うことにより、製造
コストを低減できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】回路集合体を有する表示装置を示す模式的平面
図である。

【図２】回路集合体に用いられるＴＡＢフィルムを示す
模式図である。

【図３】回路集合体の位置合わせ装置を示す模式的側面
図である。

【図４】回路集合体の位置合わせの様子を示す模式的平
面図である。

【図５】本発明の回路集合体の一例を示す模式的平面図
である。

【図６】本発明の回路集合体に用いられる基板の一例を
示す模式的平面図である。

【図７】本発明の回路集合体の一例を示す模式的断面図
である。

【図８】本発明の回路集合体の作製法を示すフローチャ
ート図である。

【図９】本発明の実施例１による回路集合体を有する液
晶表示装置を示す模式的平面図である。

【図１０】実施例１による回路集合体に用いられる第１
基板を示す模式的平面図である。

【図１１】実施例１による回路集合体に用いられる第２
基板を示す模式的平面図である。

【図１２】回路集合体の位置合わせの前の様子を示す模
式的平面図である。

【図１３】回路集合体の位置合わせの後の様子を示す模
式的平面図である。

【図１４】実施例２による回路集合体に用いられる第１
基板を裏面から見た模式的平面図である。

【図１５】実施例２による回路集合体に用いられる第２
基板を示す模式的平面図である。

【図１６】回路集合体の位置合わせの前の様子を示す模
式的平面図である。

【図１７】回路集合体の位置合わせの後の様子を示す模
式的平面図である。

【符号の説明】

１液晶表示装置（回路集合体）２，３ガラス基板（透明な基板）６走査電極９異方性導電性接着剤（導電性接着剤）１０カメラ２０情報電極（第１電極）２３基板側マーク（第２の位置合せマーク）２７液晶駆動用ＴＡＢ（第２基板、フレキシブル
基板）２７ａベースフィルム部（基板）２７ｂ入力端子２７ｃ出力端子（第２電極）２７ｄＩＣチップ（駆動用半導体素子）２９ＴＡＢ側マーク（第１の位置合せマーク）３０電極（第１電極）３６基板側自動マーク（第２の位置合せマーク）３７液晶駆動用ＴＡＢ（第２基板、フレキシブル
基板）３７ａベースフィルム部（基板）３７ｃ出力端子（第２電極）３９ＴＡＢ側自動マーク（第１の位置合せマー
ク）９０位置合せ装置１００液晶パネル用アライメントユニット（第１の
載置部材）１０１ＴＡＢ用アライメントユニット（第２の載置
部材）２００第１電極２０３第１基板２０７第２基板２０９第１の位置合せマーク２１７第２電極２５０異方性導電性接着剤Ｂ領域（第１の位置合せマークの近傍の領域）Ｐ１液晶パネル（第１基板、液晶表示素子）Ｐ２液晶パネル（第１基板、液晶表示素子）

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者森秀雄東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノン株式会社内 (72)発明者齊藤哲郎東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノン株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】複数の第１電極が設けられた透明な第１
基板と、複数の第２電極が設けられた第２基板と、の少なくとも
一部が重ね合わされて、対応する該第１電極と該第２電
極とが電気的に接続される回路集合体において、該第１電極は、透光性の層と該透光性の層に積層された
非透光性の層とを有し、該第２基板と重なりあう部分の
うちの少なくとも一部が透光性であり、該第１又は第２基板の、該第１電極の該透光性の部分に
対応した位置には、位置合わせマークが設けられてい
る、ことを特徴とする回路集合体。
【請求項２】該透光性の層は透明導電体からなり、該
非透光性の層は金属からなる、請求項１記載の回路集合
体。
【請求項３】該位置合わせマークは非透光性の層を含
む、請求項１記載の回路集合体。
【請求項４】該透光性の層は金属酸化物からなり、該
非透光性の層は金属からなる、請求項１記載の回路集合
体。
【請求項５】該第２基板には第１の位置合わせマーク
が、該第１基板の透光性の部分の近傍に第２の位置合わ
せマークが設けられている、請求項１記載の回路集合
体。
【請求項６】該第１基板は、ガラス、石英、アルミ
ナ、樹脂から選択される材料からなる、請求項１記載の
回路集合体。
【請求項７】該第２基板はフレキシブル基板である、
請求項１記載の回路集合体。
【請求項８】前記第１の位置合せマークと前記第２の
位置合せマークとが、前記第１基板と前記第２基板とが
適正に接続された状態において互いに重ならない位置に
形成される、ことを特徴とする請求項５記載の回路集合体。
【請求項９】前記第２の位置合せマークの近傍の領域
においては、電極は透明電極のみによって構成される、ことを特徴とする請求項１記載の回路集合体。
【請求項１０】前記第２の位置合せマークの近傍に形
成される透明電極は、他の部分の透明電極よりも幅広で
ある、ことを特徴とする請求項１記載の回路集合体。
【請求項１１】前記第１基板と前記第２基板とは導電
性接着剤により接着されている、請求項１記載の回路集
合体。
【請求項１２】前記第１基板と前記第２基板とは異方
性導電性接着剤により接着されている、請求項１記載の
回路集合体。
【請求項１３】第２電極の前記第１電極に接続される
部分は、第２基板が欠如したオーバーハング構造であ
る、請求項１の回路集合体。
【請求項１４】ｎ個の第１電極が一列に並んだ第１電
極アレイが、該列と同じ方向にｍ個並んでいる請求項１
記載の回路集合体。
【請求項１５】前記各アレイの両端部にある第１電極
が該透光性の部分をもつ、請求項１４記載の回路集合
体。
【請求項１６】該透光性の部分は接続部における第１
電極２本分以上に対応した面積をもつ、請求項１４記載
の回路集合体。
【請求項１７】該透光性も部分をもたない第１電極は
該第１基板上の機能素子に接続されており、該透光性の部分をもつ第１電極は該第１基板上の機能素
子に接続されていない、請求項１記載の回路集合体。
【請求項１８】該透光性の部分をもつ第１電極はダミ
ー電極であり、該ダミー電極と接続される該第２電極も
ダミー電極である、請求項１記載の回路集合体。
【請求項１９】該ダミー電極同士も異方性導電性接着
剤で接続されている、請求項１８記載の回路集合体。
【請求項２０】該透光性をもつ第１電極の配列方向の
長さは、透光性をもたない第１電極の配列方向の長さの
１０分１以下である、請求項１記載の回路集合体。
【請求項２１】該第１電極の幅は５ｕｍ乃至８００ｕ
ｍである、請求項１記載の回路集合体。
【請求項２２】該第１電極の隣接する２つの間隔は５
ｕｍ乃至８００ｕｍである、請求項２１記載の回路集合
体。
【請求項２３】隣接する２つのアレイ間の間隔の２分
の１以内の領域に第１基板上の位置合わせマークが配さ
れている、請求項１４記載の回路集合体。
【請求項２４】請求項１記載の回路集合体を有する表
示装置。
【請求項２５】請求項１記載の回路集合体を有するイ
メージセンサ。
【請求項２６】請求項１記載の回路集合体を有する発
光素子。
【請求項２７】請求項１記載の回路集合体を有する液
晶素子。
【請求項２８】透光性の部分を持つ電極と非透光性の
部分を持つ電極とからなる第１電極群を有する透光性の
第１基板と、第２電極群と位置合わせマークとを有する
第２基板と、導電性接着剤と、を用意する工程と、該接着剤を間に介して該第１及び第２基板を合せる工程
と、該マークを利用して対応する第１及び第２電極を位置合
わせする工程と、該第１及び第２基板を接合する工程と、を含む回路集合体の作製法。
【請求項２９】前記第１基板が、多数の電極が形成さ
れると共に相対向するように配置された一対のガラス基
板と、これらのガラス基板間に挟持された液晶と、から
なる液晶表示素子であり、前記第２基板が、所定波形の信号を出力する駆動用半導
体素子を有し、かつ、前記駆動用半導体素子によって出
力された信号が前記液晶表示素子に印加されて、種々の
情報を表示せしめる、ことを特徴とする請求項１記載の回路集合体。
【請求項３０】前記液晶表示素子に形成される電極の
うち、前記第１の位置合せマークの近傍にて透明電極の
みによって形成される複数本の電極には、液晶表示素子
駆動用の信号が印加されないようにした、ことを特徴とする請求項２９記載の回路集合体。
【請求項３１】前記液晶表示素子に挟持される液晶が
強誘電性液晶である、ことを特徴とする請求項２９記載の回路集合体。
【請求項３２】前記第１基板と前記第２基板とが異方
性導電性接着剤を介して接続されてなる、ことを特徴とする請求項２９記載の回路集合体。
【請求項３３】前記第１基板を載置する第１の載置部
材と、前記第２基板を載置する第２の載置部材と、前記第１の位置合せマーク及び前記第２の位置合せマー
クを画像認識するカメラとを有し、該カメラからの画像情報に基づき前記２つの位置合せマ
ークのズレ量を算出し、算出信号に基づき前記第１及び第２の載置部材のうちの
いずれか一方或は両方を移動させて前記第１基板と前記
第２基板との位置合せを行い、かつ、該カメラが、該第１基板を介して前記第２の位置合わせ
マークを認識する回路集合体の作製法。