JP3190156B2 - 液晶セルに対するｔａｂの位置合わせ光学系 - Google Patents
液晶セルに対するｔａｂの位置合わせ光学系Info
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- JP3190156B2 JP3190156B2 JP04210793A JP4210793A JP3190156B2 JP 3190156 B2 JP3190156 B2 JP 3190156B2 JP 04210793 A JP04210793 A JP 04210793A JP 4210793 A JP4210793 A JP 4210793A JP 3190156 B2 JP3190156 B2 JP 3190156B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、液晶セルに対してＴ
ＡＢを接続するために両者を位置合わせする光学系に関
する。
ＡＢを接続するために両者を位置合わせする光学系に関
する。
【０００２】
【従来の技術】最近急速に進歩している液晶パネルは、
複雑で精密な多段階の加工または組み立て工程により製
作されている。図４は製造工程の１段階における液晶パ
ネル１の外観を示す。図において、方形をなす２枚のガ
ラス板21,22 の間に、Ｘ，Ｙ電極、またはＴＦＴ（薄膜
トランジスタ）がアレイ配列されたＴＦＴ基板が積層さ
れ、さらにこの間に液晶材が封入されて液晶セル２が構
成され、一方のガラス板22の周辺に、Ｘ，Ｙ電極または
ＴＦＴ基板に対する複数組の入力リード線群が形成され
ている。各入力リード線群に対して、次に述べるＴＡＢ
（テープ オートメイテッド ボンデング）３の出力リ
ード線が位置合わせされた後、互いに接続される。ま
た、これらを搭載するプリント基板４の配線パターンに
対して、複数のＴＡＢ３の各入力リード線群が接続され
て液晶パネル１が構成される。なお、カラー液晶パネル
の場合は、カラーフィルタなどの必要部品が所定の位置
に積層されている。
複雑で精密な多段階の加工または組み立て工程により製
作されている。図４は製造工程の１段階における液晶パ
ネル１の外観を示す。図において、方形をなす２枚のガ
ラス板21,22 の間に、Ｘ，Ｙ電極、またはＴＦＴ（薄膜
トランジスタ）がアレイ配列されたＴＦＴ基板が積層さ
れ、さらにこの間に液晶材が封入されて液晶セル２が構
成され、一方のガラス板22の周辺に、Ｘ，Ｙ電極または
ＴＦＴ基板に対する複数組の入力リード線群が形成され
ている。各入力リード線群に対して、次に述べるＴＡＢ
（テープ オートメイテッド ボンデング）３の出力リ
ード線が位置合わせされた後、互いに接続される。ま
た、これらを搭載するプリント基板４の配線パターンに
対して、複数のＴＡＢ３の各入力リード線群が接続され
て液晶パネル１が構成される。なお、カラー液晶パネル
の場合は、カラーフィルタなどの必要部品が所定の位置
に積層されている。
【０００３】図５は上記のＴＡＢ３の構成を示すもの
で、ポリイミドなどのフィルム31をベースとし、その表
面のほぼ中央部にＬＳＩチップ32が搭載され、プリント
基板４に対する入力リード線群33と、液晶セル２に対す
る出力リード線群34とが形成され、その両側に適当な形
状の位置合わせマークＭTa，ＭTbを設けて１フレームが
構成され、１フレームごとに切断して使用される。な
お、ＬＳＩチップ32と各リード線群33,34 の間には絶縁
膜35を貼り付けて保護されている。上記のＴＡＢ３の大
きさは各種があって両マークＭTa，ＭTbの間隔Ｗは１０
〜５０ｍｍであり、また、(イ) に示す出力リード線群34
の各リード線341 の間隔ｄは約２００ｎｍである。
で、ポリイミドなどのフィルム31をベースとし、その表
面のほぼ中央部にＬＳＩチップ32が搭載され、プリント
基板４に対する入力リード線群33と、液晶セル２に対す
る出力リード線群34とが形成され、その両側に適当な形
状の位置合わせマークＭTa，ＭTbを設けて１フレームが
構成され、１フレームごとに切断して使用される。な
お、ＬＳＩチップ32と各リード線群33,34 の間には絶縁
膜35を貼り付けて保護されている。上記のＴＡＢ３の大
きさは各種があって両マークＭTa，ＭTbの間隔Ｗは１０
〜５０ｍｍであり、また、(イ) に示す出力リード線群34
の各リード線341 の間隔ｄは約２００ｎｍである。
【０００４】次に、図６は液晶セル２に対するＴＡＢ３
の接続を説明するもので、(a) において、液晶セル２の
ガラス板22に形成された入力リード線群23の両側には、
ＴＡＢ３の位置合わせマークＭTa，ＭTbに対応して、適
当な形状の位置合わせマークＭLa，ＭLbが設けられ、さ
らにそれらの上には異方性導電シート24が貼り付けられ
ている。液晶セル２に対するＴＡＢ３の接続において
は、ＸＹ移動テーブルに載置された液晶セル２に対し
て、ＴＡＢ３をロボットハンドにより搬送して接近さ
せ、位置合わせ光学系により、各位置合わせマーク
ＭLa，ＭLb，ＭTa，ＭTbのＸＹ座標をそれぞれ検出す
る。検出された各ＸＹ座標に従って、ロボットハンドの
制御によりＴＡＢ３を(b) に示すようにθ回転し、マー
クＭLa−ＭLbのＸ方向に対してマークＭTa−ＭTbの方向
を平行とする。ＸＹ移動テーブルの制御により液晶セル
２をＸ方向に移動して両者のＸ座標を一致させた後、Ｙ
方向に移動してマークＭLaとＭTa、およびマークＭLbと
ＭTbをそれぞれ重ね合わせて、両者が位置合される。位
置合わせされたＴＡＢ３は、(c) に示すように、適当な
圧力Ｆで押圧され、異方性導電シート24により両者のリ
ード線群23と34が電気的に接続される。
の接続を説明するもので、(a) において、液晶セル２の
ガラス板22に形成された入力リード線群23の両側には、
ＴＡＢ３の位置合わせマークＭTa，ＭTbに対応して、適
当な形状の位置合わせマークＭLa，ＭLbが設けられ、さ
らにそれらの上には異方性導電シート24が貼り付けられ
ている。液晶セル２に対するＴＡＢ３の接続において
は、ＸＹ移動テーブルに載置された液晶セル２に対し
て、ＴＡＢ３をロボットハンドにより搬送して接近さ
せ、位置合わせ光学系により、各位置合わせマーク
ＭLa，ＭLb，ＭTa，ＭTbのＸＹ座標をそれぞれ検出す
る。検出された各ＸＹ座標に従って、ロボットハンドの
制御によりＴＡＢ３を(b) に示すようにθ回転し、マー
クＭLa−ＭLbのＸ方向に対してマークＭTa−ＭTbの方向
を平行とする。ＸＹ移動テーブルの制御により液晶セル
２をＸ方向に移動して両者のＸ座標を一致させた後、Ｙ
方向に移動してマークＭLaとＭTa、およびマークＭLbと
ＭTbをそれぞれ重ね合わせて、両者が位置合される。位
置合わせされたＴＡＢ３は、(c) に示すように、適当な
圧力Ｆで押圧され、異方性導電シート24により両者のリ
ード線群23と34が電気的に接続される。
【０００５】図７は上記の位置合わせに使用されてい
る、従来の光学系５の概略の構成を示す。光学系５の光
源51よりの照明光ＬT がハーフミラー52を経て対物レン
ズ53に入射し、液晶セル２とＴＡＢ３のそれぞれの一方
の両マーク（ＭLa，ＭTa）、または他方の両マーク（Ｍ
Lb，ＭTb）を照明する。照明された一方または他方の各
マークの反射光は、対物レンズ53により集光されてハー
フミラー52を透過し、受像カメラ（ＴＶ）54に受像され
て各マークのＸＹ座標が求められる。図には、えられた
各マーク（ＭTa，ＭLa）のそれぞれの座標（ｘ1,ｙ
1 ），（ｘ2,ｙ2 ）を示す。上記によりえられた各マー
クの座標データは制御部55に入力し、ロボットハンドの
回転角θの制御信号と、ＸＹ移動テーブルに対するＸま
たはＹ移動の制御信号が出力され、それぞれの回転また
は移動により、対応する各マークが位置合わせされる。
る、従来の光学系５の概略の構成を示す。光学系５の光
源51よりの照明光ＬT がハーフミラー52を経て対物レン
ズ53に入射し、液晶セル２とＴＡＢ３のそれぞれの一方
の両マーク（ＭLa，ＭTa）、または他方の両マーク（Ｍ
Lb，ＭTb）を照明する。照明された一方または他方の各
マークの反射光は、対物レンズ53により集光されてハー
フミラー52を透過し、受像カメラ（ＴＶ）54に受像され
て各マークのＸＹ座標が求められる。図には、えられた
各マーク（ＭTa，ＭLa）のそれぞれの座標（ｘ1,ｙ
1 ），（ｘ2,ｙ2 ）を示す。上記によりえられた各マー
クの座標データは制御部55に入力し、ロボットハンドの
回転角θの制御信号と、ＸＹ移動テーブルに対するＸま
たはＹ移動の制御信号が出力され、それぞれの回転また
は移動により、対応する各マークが位置合わせされる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】さて上記において、液
晶セル２とＴＡＢ３の両側の各位置合わせマークの間隔
Ｗは、前記したように１０〜５０ｍｍあり、これに対し
て従来の光学系５は対物レンズ53の視野が十分広くない
ため、両側の各マークを同時に受像することができな
い。このため光学系５を移動して、一方の両マーク（Ｍ
La, ＭTa）と他方の両マーク（ＭLb, ＭTb）とを交互に
受像し、それぞれの位置合わせがなされている。しか
し、それぞれの位置合わせは単に１度の受像ではなされ
ず、交互の受像を何回か繰り返してはじめて正確に位置
合わせできるもので、従って光学系５の交互の繰り返し
移動にはかなりの時間を必要とする欠点がある。これに
対して、視野が十分広くて両側の各マークを同時に受像
し、交互移動を必要としない光学系が望ましい。この発
明は以上に鑑みてなされたもので、液晶セル２とＴＡＢ
３の接続に対する両者の位置合わせにおいて、両者にそ
れぞれ設けられた広い間隔の位置合わせマークを同時に
受像できる、位置合わせ光学系を提供することを目的と
する。
晶セル２とＴＡＢ３の両側の各位置合わせマークの間隔
Ｗは、前記したように１０〜５０ｍｍあり、これに対し
て従来の光学系５は対物レンズ53の視野が十分広くない
ため、両側の各マークを同時に受像することができな
い。このため光学系５を移動して、一方の両マーク（Ｍ
La, ＭTa）と他方の両マーク（ＭLb, ＭTb）とを交互に
受像し、それぞれの位置合わせがなされている。しか
し、それぞれの位置合わせは単に１度の受像ではなされ
ず、交互の受像を何回か繰り返してはじめて正確に位置
合わせできるもので、従って光学系５の交互の繰り返し
移動にはかなりの時間を必要とする欠点がある。これに
対して、視野が十分広くて両側の各マークを同時に受像
し、交互移動を必要としない光学系が望ましい。この発
明は以上に鑑みてなされたもので、液晶セル２とＴＡＢ
３の接続に対する両者の位置合わせにおいて、両者にそ
れぞれ設けられた広い間隔の位置合わせマークを同時に
受像できる、位置合わせ光学系を提供することを目的と
する。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この発明は、液晶セルに
対するＴＡＢの位置合わせ光学系であって、ＸＹ移動テ
ーブルに載置された液晶セルの１組の入力リード線群に
対して、ロボットハンドによりＴＡＢの出力リード線群
を接近させる。接近した入力リード線群と出力リード線
群の、それぞれの両端に設けられた液晶セルの位置合わ
せマークＭLa，ＭLb、およびＴＡＢの位置合わせマーク
ＭTa，ＭTbに対して、照明光を照射する光源とハーフミ
ラーよりなる投光系を設ける。各位置合わせマークを包
含する視野を有し、各位置合わせマークの反射光を共通
に集光して結像する１個の対物レンズと、対物レンズに
より集光された、それぞれ対応する両マーク（ＭTa，Ｍ
La）の反射光と、両マーク（ＭTb，ＭLb）の反射光とを
それぞれ区別して反射する２つの反射面を有するプリズ
ムミラー、およびプリズムミラーの各反射面による反射
光をそれぞれ受光し、対物レンズにより結像された両マ
ーク（ＭTa，ＭLa）と、両マーク（ＭTb，ＭLb）の各映
像を別個に、かつ同時に受像する２個の受像カメラより
なる受像系とを設けて構成される。
対するＴＡＢの位置合わせ光学系であって、ＸＹ移動テ
ーブルに載置された液晶セルの１組の入力リード線群に
対して、ロボットハンドによりＴＡＢの出力リード線群
を接近させる。接近した入力リード線群と出力リード線
群の、それぞれの両端に設けられた液晶セルの位置合わ
せマークＭLa，ＭLb、およびＴＡＢの位置合わせマーク
ＭTa，ＭTbに対して、照明光を照射する光源とハーフミ
ラーよりなる投光系を設ける。各位置合わせマークを包
含する視野を有し、各位置合わせマークの反射光を共通
に集光して結像する１個の対物レンズと、対物レンズに
より集光された、それぞれ対応する両マーク（ＭTa，Ｍ
La）の反射光と、両マーク（ＭTb，ＭLb）の反射光とを
それぞれ区別して反射する２つの反射面を有するプリズ
ムミラー、およびプリズムミラーの各反射面による反射
光をそれぞれ受光し、対物レンズにより結像された両マ
ーク（ＭTa，ＭLa）と、両マーク（ＭTb，ＭLb）の各映
像を別個に、かつ同時に受像する２個の受像カメラより
なる受像系とを設けて構成される。
【０００８】
【作用】上記の位置合わせ光学系においては、液晶セル
の１組の入力リード線群と、これに対してロボットハン
ドにより接近したＴＡＢの出力リード線群との、それぞ
れの両端に設けられた液晶セルの位置合わせマーク
ＭLa，ＭLb、およびＴＡＢの位置合わせマークＭTa，Ｍ
Tbに対して、投光系の光源よりの照明光がハーフミラー
を介して照射される。受像系の対物レンズは各位置合わ
せマークを包含する視野を有し、それぞれ対応する両マ
ーク（ＭTa，ＭLa）と両マーク（ＭTb，ＭLb）の各反射
光が共通に集光され、それぞれがプリズムミラーの２つ
の反射面により区別して反射され、対物レンズにより結
像された各両マークの映像が２個の受像カメラに別個
に、かつ同時に受像される。以上により、液晶セルの入
力リード線群とＴＡＢの出力リード線群の両側に設けら
れた、それぞれ対応する両マーク（ＭTa，ＭLa）と両マ
ーク（ＭTb，ＭLb）の映像が、２個の受像カメラに同時
に受像されるので、各マークのＸＹ座標を迅速に求める
ことができる。
の１組の入力リード線群と、これに対してロボットハン
ドにより接近したＴＡＢの出力リード線群との、それぞ
れの両端に設けられた液晶セルの位置合わせマーク
ＭLa，ＭLb、およびＴＡＢの位置合わせマークＭTa，Ｍ
Tbに対して、投光系の光源よりの照明光がハーフミラー
を介して照射される。受像系の対物レンズは各位置合わ
せマークを包含する視野を有し、それぞれ対応する両マ
ーク（ＭTa，ＭLa）と両マーク（ＭTb，ＭLb）の各反射
光が共通に集光され、それぞれがプリズムミラーの２つ
の反射面により区別して反射され、対物レンズにより結
像された各両マークの映像が２個の受像カメラに別個
に、かつ同時に受像される。以上により、液晶セルの入
力リード線群とＴＡＢの出力リード線群の両側に設けら
れた、それぞれ対応する両マーク（ＭTa，ＭLa）と両マ
ーク（ＭTb，ＭLb）の映像が、２個の受像カメラに同時
に受像されるので、各マークのＸＹ座標を迅速に求める
ことができる。
【０００９】
【実施例】図１は、この発明の位置合わせ光学系の一実
施例における構成図を示し、これによる各マークの位置
合わせ方法を説明する。図１において、位置合わせ光学
系８は、投光系81と受像系82とにより構成される。投光
系81は光源811 とハーフミラー812 よりなり、受像系82
は適当に広い視野を有する対物レンズ821 と、２つの反
射面Ｒa,Ｒb を有するプリズムミラー822 、および２個
の受像カメラ（ＴＶ．Ａ、ＴＶ．Ｂ）823a,823b よりな
る。
施例における構成図を示し、これによる各マークの位置
合わせ方法を説明する。図１において、位置合わせ光学
系８は、投光系81と受像系82とにより構成される。投光
系81は光源811 とハーフミラー812 よりなり、受像系82
は適当に広い視野を有する対物レンズ821 と、２つの反
射面Ｒa,Ｒb を有するプリズムミラー822 、および２個
の受像カメラ（ＴＶ．Ａ、ＴＶ．Ｂ）823a,823b よりな
る。
【００１０】位置合わせにおいては、ＸＹ移動テーブル
６に載置された液晶セル２に対して、ＴＡＢ３をロボッ
トハンド７にチャックして搬送し、液晶セル２の位置合
わせマークＭLa，ＭLbに対してＴＡＢ３の位置合わせマ
ークＭTa，ＭTbを接近させる。接近した各マークとその
周辺に対して、光源811 よりの照明光ＬT をハーフミラ
ー812 を介して照射する。受像系82の対物レンズ821 に
は、それぞれ対応する両側の各マークを包含する視野を
有するものを使用し、これにより両側の各マーク
（ＭTa，ＭLa）と（ＭTb，ＭLb）のそれぞれの反射光Ｌ
RaとＬRbが、ともに対物レンズ821 により集光される。
集光された反射光ＬRaとＬRbはプリズムミラー822 の反
射面Ｒa とＲb により区別されて反射され、それぞれが
各受像カメラ（ＴＶ．Ａ，ＴＶ．Ｂ）に受光されて各マ
ークの映像が結像される。
６に載置された液晶セル２に対して、ＴＡＢ３をロボッ
トハンド７にチャックして搬送し、液晶セル２の位置合
わせマークＭLa，ＭLbに対してＴＡＢ３の位置合わせマ
ークＭTa，ＭTbを接近させる。接近した各マークとその
周辺に対して、光源811 よりの照明光ＬT をハーフミラ
ー812 を介して照射する。受像系82の対物レンズ821 に
は、それぞれ対応する両側の各マークを包含する視野を
有するものを使用し、これにより両側の各マーク
（ＭTa，ＭLa）と（ＭTb，ＭLb）のそれぞれの反射光Ｌ
RaとＬRbが、ともに対物レンズ821 により集光される。
集光された反射光ＬRaとＬRbはプリズムミラー822 の反
射面Ｒa とＲb により区別されて反射され、それぞれが
各受像カメラ（ＴＶ．Ａ，ＴＶ．Ｂ）に受光されて各マ
ークの映像が結像される。
【００１１】図２は、上記により各受像カメラ（ＴＶ．
Ａ，ＴＶ．Ｂ）にそれぞれ同時に受像された映像の一例
を示す。ＴＶ．Ａには、液晶セル２の入力リード線群23
の一部と、その片側のマークＭLa、およびＴＡＢ３の出
力リード線群34の一部と、その片側のマークＭTaが受像
され、ＴＶ．Ｂには、同様に反対側のマークＭLbとＭTb
が受像されている。図３は、各受像カメラの画像データ
を処理して座標データを求め、必要な制御信号を作成す
る制御部９の概略の構成を示す。各画像データは画像処
理回路91に入力して画像処理され、各マーク（ＭTa，Ｍ
La）の座標（ｘ1,ｙ1 、ｘ2,ｙ2 ）と、各マーク
（ＭTb，ＭLb）の座標（ｘ3,ｙ3 、ｘ4,ｙ4 ）がそれぞ
れ求められ、この座標データよりＴＡＢ３の回転角度θ
に対する制御信号と、液晶セル２のＸまたはＹ方向移動
に対する制御信号が作成され、それぞれがロボット制御
回路92とテーブル制御回路93に与えられ、ロボットハン
ド７とＸＹ移動テーブル６が駆動されて各マークの位置
合わせがなされる。
Ａ，ＴＶ．Ｂ）にそれぞれ同時に受像された映像の一例
を示す。ＴＶ．Ａには、液晶セル２の入力リード線群23
の一部と、その片側のマークＭLa、およびＴＡＢ３の出
力リード線群34の一部と、その片側のマークＭTaが受像
され、ＴＶ．Ｂには、同様に反対側のマークＭLbとＭTb
が受像されている。図３は、各受像カメラの画像データ
を処理して座標データを求め、必要な制御信号を作成す
る制御部９の概略の構成を示す。各画像データは画像処
理回路91に入力して画像処理され、各マーク（ＭTa，Ｍ
La）の座標（ｘ1,ｙ1 、ｘ2,ｙ2 ）と、各マーク
（ＭTb，ＭLb）の座標（ｘ3,ｙ3 、ｘ4,ｙ4 ）がそれぞ
れ求められ、この座標データよりＴＡＢ３の回転角度θ
に対する制御信号と、液晶セル２のＸまたはＹ方向移動
に対する制御信号が作成され、それぞれがロボット制御
回路92とテーブル制御回路93に与えられ、ロボットハン
ド７とＸＹ移動テーブル６が駆動されて各マークの位置
合わせがなされる。
【００１２】
【発明の効果】以上の説明のとおり、この発明による位
置合わせ光学系においては、液晶セルの入力リード線群
とＴＡＢの出力リード線群の両側に設けられた、それぞ
れ対応する両マーク（ＭTa，ＭLa）と両マーク（ＭTb，
ＭLb）のそれぞれの反射光が、１個の対物レンズにより
集光され、プリズムミラーにより区別されて反射され、
２個の受像カメラに別個に、かつ同時に受像されるもの
で、各マークのＸＹ座標が迅速に求められ、従来の光学
系における、両側の各マークに対する交互の繰り返し移
動による受像が不必要となり、その分位置合わせ時間が
短縮され、液晶パネルの製作工程の改善に寄与するとこ
ろには大きいものがある。
置合わせ光学系においては、液晶セルの入力リード線群
とＴＡＢの出力リード線群の両側に設けられた、それぞ
れ対応する両マーク（ＭTa，ＭLa）と両マーク（ＭTb，
ＭLb）のそれぞれの反射光が、１個の対物レンズにより
集光され、プリズムミラーにより区別されて反射され、
２個の受像カメラに別個に、かつ同時に受像されるもの
で、各マークのＸＹ座標が迅速に求められ、従来の光学
系における、両側の各マークに対する交互の繰り返し移
動による受像が不必要となり、その分位置合わせ時間が
短縮され、液晶パネルの製作工程の改善に寄与するとこ
ろには大きいものがある。
【図１】 この発明の位置合わせ光学系の一実施例にお
ける構成図を示す。
ける構成図を示す。
【図２】 各受像カメラ（ＴＶ．Ａ，ＴＶ．Ｂ）にそれ
ぞれ同時に受像された映像の一例を示す。
ぞれ同時に受像された映像の一例を示す。
【図３】 各受像カメラの画像データを処理して制御信
号を作成する制御部９の概略の構成図を示す。
号を作成する制御部９の概略の構成図を示す。
【図４】 液晶パネル１の外観図を示す。
【図５】 ＴＡＢ３の構成図を示す。
【図６】 液晶セル２に対するＴＡＢ３の接続の説明図
である。
である。
【図７】 従来の位置合わせ光学系５の概略の構成図で
ある。
ある。
１…液晶パネル、２…液晶セル、21,22 …ガラス板、23
…液晶セルの入力リード線群、24…異方性導電シート、
３…ＴＡＢ、31…ポリイミドなどのフィルムベース、32
…ＬＳＩチップ、33…ＴＡＢの入力リード線群、34…Ｔ
ＡＢの出力リード線群、341 …出力リード線、35…絶縁
膜、４…プリント基板、５…従来の位置合わせ光学系、
51…光源、52…ハーフミラー、53…対物レンズ 54…受像カメラ（ＴＶ）、55…制御部、６…ＸＹ移動テ
ーブル、７…ロボットハンド、８…この発明の位置合わ
せ光学系、81…投光系、811 …光源、812 …ハーフミラ
ー、82…受像系、821 …対物レンズ、822 …プリズムミ
ラー 823a,823b …受像カメラ（ＴＶ．Ａ，ＴＶ．Ｂ）、９…
制御部、91…画像処理回路、92…ロボット制御回路、93
…テーブル制御回路、ＭLa，ＭLb…液晶セル２の位置合
わせマーク、ＭTa，ＭTb…ＴＡＢ３の位置合わせマー
ク。
…液晶セルの入力リード線群、24…異方性導電シート、
３…ＴＡＢ、31…ポリイミドなどのフィルムベース、32
…ＬＳＩチップ、33…ＴＡＢの入力リード線群、34…Ｔ
ＡＢの出力リード線群、341 …出力リード線、35…絶縁
膜、４…プリント基板、５…従来の位置合わせ光学系、
51…光源、52…ハーフミラー、53…対物レンズ 54…受像カメラ（ＴＶ）、55…制御部、６…ＸＹ移動テ
ーブル、７…ロボットハンド、８…この発明の位置合わ
せ光学系、81…投光系、811 …光源、812 …ハーフミラ
ー、82…受像系、821 …対物レンズ、822 …プリズムミ
ラー 823a,823b …受像カメラ（ＴＶ．Ａ，ＴＶ．Ｂ）、９…
制御部、91…画像処理回路、92…ロボット制御回路、93
…テーブル制御回路、ＭLa，ＭLb…液晶セル２の位置合
わせマーク、ＭTa，ＭTb…ＴＡＢ３の位置合わせマー
ク。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭56−39407（ＪＰ，Ａ) 実願 昭63−38356号（実開 平１− 142924号）の願書に添付した明細書及び 図面の内容を撮影したマイクロフィルム （ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G02F 1/1345 G02F 1/13 101
Claims (1)
- 【請求項１】 方形をなす液晶セルをＸＹ移動テーブル
に載置し、該液晶セルの周辺部に形成された複数組の入
力リード線群に対して、ＴＡＢをロボットハンドにチャ
ックし、その出力リード線群を接続するための位置合わ
せにおいて、前記液晶セルの１組の入力リード線群に対
して、前記ロボットハンドにより前記ＴＡＢの出力リー
ド線群を接近させ、該接近した入力リード線群と出力リ
ード線群の、それぞれの両端に設けられた液晶セルの位
置合わせマークＭLa，ＭLb、およびＴＡＢの位置合わせ
マークＭTa，ＭTbに対して、照明光を照射する光源とハ
ーフミラーよりなる投光系を設け、該各位置合わせマー
クを包含する視野を有し、該各位置合わせマークの反射
光を共通に集光して結像する１個の対物レンズと、該対
物レンズにより集光された、それぞれ対応する前記両マ
ーク（ＭTa，ＭLa）の反射光と、前記両マーク（ＭTb，
ＭLb）の反射光とをそれぞれ区別して反射する２つの反
射面を有するプリズムミラー、および該プリズムミラー
の各反射面による反射光をそれぞれ受光し、前記対物レ
ンズにより結像された該両マーク（ＭTa，ＭLa）と、該
両マーク（ＭTb，ＭLb）の各映像を別個に、かつ同時に
受像する２個の受像カメラよりなる受像系とを設けて構
成されたことを特徴とする、液晶セルに対するＴＡＢの
位置合わせ光学系。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04210793A JP3190156B2 (ja) | 1993-02-05 | 1993-02-05 | 液晶セルに対するｔａｂの位置合わせ光学系 |
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| JP04210793A JP3190156B2 (ja) | 1993-02-05 | 1993-02-05 | 液晶セルに対するｔａｂの位置合わせ光学系 |
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