JP3480293B2 - 電子部品の実装装置、その実装方法および液晶パネルの製造方法 - Google Patents
電子部品の実装装置、その実装方法および液晶パネルの製造方法Info
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Description
置、その実装方法および液晶パネルの製造方法に係り、
例えば、液晶パネル(LCD)の入力端子に、ICの端
子を電気的に接続する場合等、ファインピッチの端子同
士の接続に利用される異方導電性接着剤を用いて各電子
部品を圧着して実装する実装装置、その実装方法および
液晶パネルの製造方法に関する。
力端子とICの端子との接続のように、半導体デバイス
等の電子部品同士の接続、特にファインピッチの端子間
の接続には異方導電性接着剤が用いられる。そして、異
方導電性接着剤を用いた接着は、各電子部品間に異方導
電性接着剤を仮接着した後、図6に示すように、圧着ヘ
ッド100を用いて行われる。
のガラス基板11の延長部分の上に液晶ドライバIC2
0を直接取り付けたCOG(Chip On Glass )タイプの
場合では、先ず、ガラス基板11上に異方導電性接着剤
30を介して液晶ドライバIC20を仮止めした後、液
晶パネル10をステージ101上に配置し、この後、黒
塗り矢印方向に移動させてガラス基板11の端面11A
を位置決め部材102に当接させ、これにより液晶パネ
ル10全体の位置決めを行う。
された圧着ヘッド100を下方(白抜き矢印側)に移動
させ、図示しない保護テープを介して液晶ドライバIC
20を本圧着する。そして、所定時間圧着した後、圧着
ヘッド100を上方に戻す。以上により、液晶ドライバ
IC20のガラス基板11上への実装が完了する。
ライバICの本圧着とは、ガラス基板11の位置と本圧
着用の圧着ヘッド100の位置との再現性があれば、そ
れぞれ別の場所で行われることもある。
は、携帯電話や小型情報機器等の各種電子機器における
情報表示デバイスとして広く利用されているが、これら
の電子機器では、携帯性を向上させるために、より一層
の小型化が求められている反面、液晶画面に表示するデ
ータ量の増加に伴い、画面サイズは大型化が求められて
いる。
ガラス基板11における延長部分の延長寸法を小さくし
たいという要望があった。この場合、液晶ドライバIC
20を、ガラス基板11上に設けられたもう一つのガラ
ス基板12側にできる限り近づけ、ガラス基板12の端
面12Aおよび液晶ドライバIC20間の隙間寸法Gを
より小さくする必要がある。
ス基板11の端面11Aを位置決め部材102に当接さ
せて液晶パネル10の位置決めを行っているため、隙間
寸法Gをより小さくしてしまうと、ガラス基板11の図
面左右方向の寸法が小さかったり、ガラス基板12の寸
法が大きかったり等の寸法誤差により、ガラス基板12
と圧着ヘッド100とが近づき過ぎて互いに干渉してし
まい、液晶ドライバIC20の圧着を行えないという問
題が生じる。
晶ドライバIC20の仮止め位置に対応したアライメン
トマーク11Bを設け、このアライメントマーク11B
をCCDカメラ等の光学的手段で検出して画像処理等
し、この処理結果に基づいて圧着ヘッド100を補正移
動させることが行われており、圧着ヘッド100を常に
液晶ドライバIC20のみを押圧できる位置に補正移動
させることで正確な圧着が行われるようになっている。
分実装装置が高価になるという問題がある。そして、光
学手段および圧着ヘッド100をともに液晶ドラバIC
20の上方に配置する必要があることや、圧着ヘッド1
00を水平方向にも移動させる機構にしなければならな
いこと等により、実装装置の構造が複雑になって一層高
価になるという問題がある。
の縮小に安価に対応できる電子部品の実装装置、その実
装方法および液晶パネルの製造方法を提供することにあ
る。
装置は、積層された二枚の基板からなるパネルの一方の
基板を延長させるとともに、この延長部分における他方
の基板側上に当該他方の基板の表面位置よりも低い電子
部品を異方導電性接着剤を介して圧着ヘッドで圧着する
電子部品の実装装置であって、他方の基板における電子
部品側の端面と当接する位置決め部材を備えていること
を特徴とするものである。
の端面と位置決め部材とを当接させるので、パネルが前
記端面を基準にして位置決めされるようになる。従っ
て、その位置決め部材と圧着ヘッドとの位置出しさえ正
確に行っておけば、各基板の寸法誤差に関係なく圧着ヘ
ッドと他方の基板との近づき過ぎを防いで互いの干渉が
防止される。このため、電子部品の実装スペースが確実
に縮小され、電子部品も確実に圧着されるようになる。
また、従来より用いられているような光学手段が不要な
ため、実装装置が安価となる。
は、積層された二枚の基板からなるパネルの一方の基板
を延長させるとともに、この延長部分における他方の基
板側上に当該他方の基板の表面位置よりも低い電子部品
を異方導電性接着剤を介して圧着ヘッドで圧着する電子
部品の実装装置であって、電子部品における他方の基板
とは反対側の側面と当接する位置決め部材を備え、電子
部品と当接する圧着ヘッドの圧着面は、電子部品よりも
他方の基板側にはみ出ない状態に位置されることを特徴
とするものである。
決め部材とを当接させるので、前述と同様に位置決め部
材と圧着ヘッドとの位置出しさえ正確に行っておけば、
各基板の寸法誤差に関係なく圧着ヘッドが常に正確な位
置で電子部品を圧着するようになる。そして、圧着ヘッ
ドの圧着面を電子部品よりも他方の基板側にはみ出ない
状態に位置させるため、圧着ヘッドが他方の基板と干渉
する心配もない。従って、やはり電子部品の実装スペー
スを縮小可能であるとともに、電子部品が確実に圧着さ
れるようになる。また、光学手段を用いないことで実装
装置が安価となる。
ッドの圧着面の幅寸法は、電子部品の幅寸法よりも大き
く、その圧着面における他方の基板側の端縁は、電子部
品の少なくとも他方の基板側の側面と略面一であること
が好ましい。
着面が他方の基板から離間する方向にのみはみ出るた
め、このはみ出た部分を利用することにより、電子部品
と他方の基板との間隔を小さく維持しつつ、同一の圧着
ヘッドを用いてより大きい幅寸法の電子部品を圧着可能
になる。また、圧着面の端縁と電子部品の前記側面とが
略面一であることにより、同じ圧着ヘッドで幅寸法の大
きい電子部品を圧着する際にも、その幅寸法の全域にわ
たって圧着面が当接するから、良好な圧着状態が得られ
る。
述の各装置を用いて行うものであり、その一つの方法
は、積層された二枚の基板からなるパネルの一方の基板
を延長させるとともに、この延長部分における他方の基
板側上に当該他方の基板の表面位置よりも低い電子部品
を異方導電性接着剤を介して圧着ヘッドで圧着する電子
部品の実装方法であって、他方の基板における電子部品
側の端面に位置決め部材を当接させて前記パネルを位置
決めした後、電子部品を圧着ヘッドで圧着することを特
徴とするものである。
の基板とは反対側の側面に位置決め部材を当接させてパ
ネルを位置決めした後、圧着ヘッドの圧着面を電子部品
の少なくとも他方の基板側にはみ出ない状態に位置させ
て電子部品を圧着することを特徴とするものである。
用が得られ、本発明の目的が達成される。
ドの圧着面の幅寸法を電子部品の幅寸法よりも大きく
し、その圧着面における他方の基板側の端縁を電子部品
における他方の基板側の側面と略面一にすることが好ま
しく、そうすることにより、同一の圧着ヘッドでより大
きい幅寸法の電子部品を良好な状態に圧着可能になる。
また、本発明の液晶パネルの製造方法は、積層された二
枚の基板のうちの一方の基板を延長させるとともに、こ
の延長部分における他方の基板側上に当該他方の基板の
表面位置よりも低い電子部品を異方導電性接着剤を介し
て圧着ヘッドで圧着する液晶パネルの製造方法であっ
て、前記他方の基板における前記電子部品側の端面に位
置決め部材を当接させて前記積層された二枚の基板を位
置決めする工程と、前記電子部品を前記圧着ヘッドで圧
着する工程と、を具備することを特徴とする。この本発
明の液晶パネルの製造方法によれば、他方の基板の端面
と位置決め部材とを当接させるので、積層された二枚の
基板が前記端面を基準にして位置決めされるようにな
る。従って、その位置決め部材と圧着ヘッドとの位置出
しさえ正確に行っておけば、各基板の寸法誤差に関係な
く圧着ヘッドと他方の基板との近づき過ぎを防いで互い
の干渉が防止される。このため、電子部品の実装スペー
スが確実に縮小され、電子部品も確実に圧着されるよう
になる。また、従来より用いられているような光学手段
が不要なため、実装装置が安価となる。また、本発明の
液晶パネルの製造方法は、積層された二枚の基板のうち
の一方の基板を延長させるとともに、この延長部分にお
ける他方の基板側上に当該他方の基板の表面位置よりも
低い電子部品を異方導電性接着剤を介して圧着ヘッドで
圧着する液晶パネルの製造方法であって、前記電子部品
における前記他方の基板とは反対側の側面に位置決め部
材を当接させて前記積層された二枚の基板を位置決めす
る工程と、前記圧着ヘッドの圧着面を前記電子部品より
も前記他方の基板側にはみ出ない状態に位置させて前記
電子部品を圧着する工程と、を具備することを特徴とす
る。この本発明の液晶パネルの製造方法によれば、電子
部品と位置決め部材とを当接させるので、前述と同様に
位置決め部材と圧着ヘッドとの位置出しさえ正確に行っ
ておけば、各基板の寸法誤差に関係なく圧着ヘッドが常
に正確な位置で電子部品を圧着するようになる。そし
て、圧着ヘッドの圧着面を電子部品よりも他方の基板側
にはみ出ない状態に位置させるため、圧着ヘッドが他方
の基板と干渉する心配もない。従って、やはり電子部品
の実装スペースを縮小可能であるとともに、電子部品が
確実に圧着されるようになる。また、光学手段を用いな
いことで実装装置が安価となる。上記の液晶パネルの製
造方法において、圧着ヘッドの圧着面の幅寸法を前記電
子部品の幅寸法よりも大きくし、その圧着面における前
記他方の基板側の端縁を前記電子部品における前記他方
の基板側の側面と略面一にすることが好ましい。この本
発明の液晶パネルの製造方法によれば、圧着ヘッドの圧
着面が他方の基板から離間する方向にのみはみ出るた
め、このはみ出た部分を利用することにより、電子部品
と他方の基板との間隔を小さく維持しつつ、同一の圧着
ヘッドを用いてより大きい幅寸法の電子部品を圧着可能
になる。また、圧着面の端縁と電子部品の前記側面とが
略面一であることにより、同じ圧着ヘッドで幅寸法の大
きい電子部品を圧着する際にも、その幅寸法の全域にわ
たって圧着面が当接するから、良好な圧着状態が得られ
る。
に基づいて説明する。なお、前述の従来例と同様な部材
には同一符号を付し、それらの説明を省略または簡略化
する。
液晶パネル10に電子部品である複数の液晶ドライバI
C20を実装する本実施形態の実装装置1が示されてい
る。
うに、積層された二枚の基板であるガラス基板11,1
2間にシール材13を介して液晶14を封入することで
構成されている。各ガラス基板11,12の対向面に
は、表示パターンに対応したITO膜などからなる透明
電極15および入力端子16が形成されている。
板12よりも外側まで延長されており、その延長部分に
は、ガラス基板12に近接するように各液晶ドライバI
C20が異方導電性接着剤30を介して取り付けられ、
各端子21で前記電極15、入力端子16に電気的に接
続されている。つまり、本実施形態では、COG(Chip
On Glass )タイプの液晶パネル10を用いている。そ
して、各液晶ドライバIC20の上下寸法は、電極1
5、入力端子16から上側のガラス基板12の表面まで
の高さ寸法よりも小さいものとされている。
る支持台2と、この支持台2に隣接して配置されたセラ
ミック製のステージ3と、ステージ3の上方に対向配置
されてステージ3に向かって上下移動可能に構成された
圧着ヘッド4と、上側のガラス基板12における液晶ド
ライバIC20側の端面12Aと当接する位置決め部材
5とを備えている。
移動可能に構成されている。すなわち、支持台2は、液
晶パネル10を図2中の黒塗り矢印方向に移動させるこ
とでガラス基板12の端面12Aを位置決め部材5に当
接させ、これによって液晶パネル10の位置決めを行
い、また、液晶パネル10を各液晶ドライバIC20の
配置方向に移動させることで各液晶ドライバIC20を
順次圧着ヘッド4の下方に位置させるものである。さら
に、このような支持台2は、複数台用意されてステージ
3および圧着ヘッド4間から取り外し可能に構成されて
いるとともに、液晶パネル10を他の場所で着脱できる
ようにされており、一方の支持台2がステージ3、圧着
ヘッド4間に配置されて圧着工程を行っている際に、他
の支持台2では液晶パネル10の着脱が行われるように
なっている。
る端面12Aの長手方向の両側と当接するように一対設
けられ、支持台2に向けて同時に進退するように構成さ
れている。そして、この位置決め部材5が進出した状態
(図2中一点鎖線で図示)で液晶パネル10の前述した
位置決めが行われ、後退した状態で支持台2が各液晶ド
ライバIC20の配置方向に移動するようになってい
る。
台2上において、液晶パネル10におけるガラス基板1
1上の所定位置に異方導電性接着剤30を配置し、各異
方導電性接着剤30の上に液晶ドライバIC20を仮固
定する。次いで、支持台2を移動させて実装装置1内に
搬入した後、実装装置1の各位置決め部材5を進出させ
る。そして、支持台2を位置決め部材5側に移動させて
ガラス基板12の端面12Aを各位置決め部材5に当接
させ、これによって液晶パネル10の位置決めを行う。
この後、位置決め部材5を後退させ、圧着ヘッド4を下
降させて最初の液晶ドライバIC20を圧着し、さら
に、支持台2を移動させて各液晶ドライバIC20を順
次圧着する。
うな効果がある。
基板12の端面12Aに位置決め部材5を当接させて液
晶パネル10の位置決めを行うため、この位置決め部材
5と圧着ヘッド4との位置出しさえ正確に行っておけ
ば、各ガラス基板11,12に寸法誤差が生じていて
も、圧着ヘッド4とガラス基板12との近づき過ぎを防
いで互いの干渉を防止することができる。従って、ガラ
ス基板12および液晶ドライバIC20間の隙間寸法G
をより小さくして液晶パネル10の小型化を促進できる
うえ、液晶ドライバIC20を確実に圧着できる。
手段を不要にでき、実装装置1を安価にできる。
ため、液晶ドライバIC20と干渉することなく支持台
2を各液晶ドライバIC20の配置方向に沿って移動さ
せることができる。
IC20の配置方向の両側と当接するように一対設けら
れているため、液晶パネル10を位置決め部材5に当接
させた際、液晶パネル10が傾いて位置決めされるのを
防止できる。
の第2実施形態が示されている。なお、本実施形態にお
いて、前述と同様な構成部材には同じ符号を付してそれ
らの説明を省略または簡略化し、以下には相違点のみを
説明する。
1に比して、圧着ヘッド4における圧着面4Aの幅寸法
W1が液晶ドライバIC20の幅寸法W2よりも小さい
く、その圧着面4Aが液晶ICドライバ20よりもガラ
ス基板12側および位置決め部材5側にはみ出ない状態
に位置される点、および位置決め部材5が液晶ドライバ
IC20の側面20Aに当接するように構成されている
点で相違している。
決め部材5側に向けて支持第2を移動させることによ
り、液晶ドライバIC20の側面20Aを位置決め部材
5に当接させて液晶パネル10全体の位置決めを行い、
この後に液晶ドライバIC20を圧着ヘッド4で圧着す
る。
時の位置精度を高めておくことにより、支持台2および
位置決め部材5の進退(すなわち、液晶パネル10の位
置決め)を一度だけ行えばよく、液晶ドライバIC20
を圧着する毎に行う必要はない。また、位置決め部材5
の当接面の幅寸法を大きくし、三つの液晶ドライバIC
20を同時に当接させて液晶パネル10の位置決めを行
ってもよい。
0と位置決め部材5とが当接するため、前述と同様に位
置決め部材5と圧着ヘッド4との位置出しさえ正確に行
っておけば、各ガラス基板11,12の寸法誤差に関係
なく圧着ヘッド4を常に正確な位置で液晶ドライバIC
20に圧着させることができる。そして、圧着ヘッド4
の圧着面4Aの幅寸法W1が液晶ドライバIC20の幅
寸法W2より小さく、その圧着面4Aが液晶ICドライ
バ20の少なくともガラス基板12側にはみ出ない状態
に位置されているため、圧着ヘッド4が上側のガラス基
板12と干渉する心配もない。従って、やはり液晶ドラ
イバIC20の実装スペースを縮小可能であるととも
に、液晶ドライバIC20を確実に圧着でき、また、光
学手段を用いないことで実装装置1を安価にできる。
圧着面4Aが液晶ICドライバ20の少なくともガラス
基板12側にはみ出ない状態に位置されていること、お
よび圧着ヘッド4の位置が個々の液晶ドライバIC20
に確実に対応することにより、液晶ドライバIC20を
さらにガラス基板12側に近づけることができ、ガラス
基板12および液晶ドライバIC20間の隙間寸法Gを
一層小さくして液晶パネル10の小型化を格段に促進で
きる。
実施形態が示されている。なお、本実施形態において
も、前述と同様な構成部材には同じ符号を付してそれら
の説明を省略または簡略化し、以下には相違点のみを説
明する。
Aの幅寸法W1は液晶ドライバIC20の幅寸法W2よ
りも大きいが、圧着面4Aのガラス基板12側の端縁4
Bが常に液晶ドライバIC20のガラス基板12側の側
面20Bと略面一となるように構成されている。
ガラス基板12の端面12A(図2)を各位置決め部材
(図2)に当接させて液晶パネル10全体の位置決めを
行ってもよく、第2実施形態のように、液晶ドライバI
C20の側面20A(図4)を位置決め部材(図4)に
当接させてその位置決めを行ってもよい。
の効果に加え、圧着ヘッド4の圧着面4Aがガラス基板
12から離間する方向にのみはみ出るため、このはみ出
た部分を利用することにより、液晶ドライバIC20と
ガラス基板12との間隔を第2実施形態と同様に小さく
維持しつつ、図中の一点鎖線で示すように、同一の圧着
ヘッド4を用いてより大きい幅寸法の液晶ドライバIC
20′を圧着できるという効果がある。
が変わる毎に圧着ヘッド4を交換する必要がなく、段取
り時間を削減でき、生産性を向上させることができる。
バIC20の側面20Bとが略面一であることにより、
幅寸法の大きい液晶ドライバIC20′を圧着する際に
も、その幅寸法の全域にわたって圧着面4Aを当接させ
ることができ、良好な圧着状態を得ることができる。
るものではなく、本発明の目的を達成できる他の構成等
を含み、以下に示すような変形等も本発明に含まれる。
ス基板12の端面12Aに位置決め部材5を当接させる
場合でも、圧着ヘッド4の圧着面4Aの幅寸法W1を液
晶ドライバIC20の幅寸法W2より小さくしてもよ
く、こうすることにより、第2実施形態と同様、ガラス
基板12と液晶ドライバIC20との間隔をより小さく
できる。
0が三つ実装されていたが、液晶ドライバIC20の数
は任意であり、一つであっても、四つ以上であってもよ
い。また、本発明は、ガラス基板11上に液晶ドライバ
IC20が実装されたCOG方式による電子部品の実装
に限らず、プリント基板等の回路基板にICが設けられ
たCOB方式の実装にも適用できる。
ドライバIC20を実装する場合に限らず、液晶パネル
に抵抗やコンデンサを実装する場合や、サーマルプリン
タに用いられる電子印字素子(サーマルプリンタヘッ
ド)や、光学センサ等の各種パネル状の部品に、IC、
抵抗、コンデンサ等の電子部品を実装する際にも適用で
きる。
電子部品の実装スペースの縮小に安価に対応できるとい
う効果がある。
示す概略斜視図である。
ある。
示す概略斜視図である。
ある。
拡大して示す縦断面図である。
る。
Claims (9)
- 【請求項1】 積層された二枚の基板からなるパネルの
一方の基板を延長させるとともに、この延長部分におけ
る他方の基板側上に当該他方の基板の表面位置よりも低
い電子部品を異方導電性接着剤を介して圧着ヘッドで圧
着する電子部品の実装装置であって、前記他方の基板に
おける前記電子部品側の端面と当接する位置決め部材を
備えていることを特徴とする電子部品の実装装置。 - 【請求項2】 積層された二枚の基板からなるパネルの
一方の基板を延長させるとともに、この延長部分におけ
る他方の基板側上に当該他方の基板の表面位置よりも低
い電子部品を異方導電性接着剤を介して圧着ヘッドで圧
着する電子部品の実装装置であって、前記電子部品にお
ける前記他方の基板とは反対側の側面と当接する位置決
め部材を備え、前記電子部品と当接する前記圧着ヘッド
の圧着面は、前記電子部品の少なくとも前記他方の基板
側にはみ出ない状態に位置されることを特徴とする電子
部品の実装装置。 - 【請求項3】 請求項1または請求項2に記載の電子部
品の実装装置において、前記圧着ヘッドの圧着面の幅寸
法は、前記電子部品の幅寸法よりも大きく、その圧着面
における前記他方の基板側の端縁は、前記電子部品にお
ける前記他方の基板側の側面と略面一であることを特徴
とする電子部品の実装装置。 - 【請求項4】 積層された二枚の基板からなるパネルの
一方の基板を延長させるとともに、この延長部分におけ
る他方の基板側上に当該他方の基板の表面位置よりも低
い電子部品を異方導電性接着剤を介して圧着ヘッドで圧
着する電子部品の実装方法であって、前記他方の基板に
おける前記電子部品側の端面に位置決め部材を当接させ
て前記パネルを位置決めした後、前記電子部品を前記圧
着ヘッドで圧着することを特徴とする電子部品の実装方
法。 - 【請求項5】 積層された二枚の基板からなるパネルの
一方の基板を延長させるとともに、この延長部分におけ
る他方の基板側上に当該他方の基板の表面位置よりも低
い電子部品を異方導電性接着剤を介して圧着ヘッドで圧
着する電子部品の実装方法であって、前記電子部品にお
ける前記他方の基板とは反対側の側面に位置決め部材を
当接させて前記パネルを位置決めした後、前記圧着ヘッ
ドの圧着面を前記電子部品よりも前記他方の基板側には
み出ない状態に位置させて前記電子部品を圧着すること
を特徴とする電子部品の実装方法。 - 【請求項6】 請求項4または請求項5に記載の電子部
品の実装方法において、圧着ヘッドの圧着面の幅寸法を
前記電子部品の幅寸法よりも大きくし、その圧着面にお
ける前記他方の基板側の端縁を前記電子部品における前
記他方の基板側の側面と略面一にすることを特徴とする
電子部品の実装方法。 - 【請求項7】 積層された二枚の基板のうちの一方の基
板を延長させるとともに、この延長部分における他方の
基板側上に当該他方の基板の表面位置よりも低い電子部
品を異方導電性接着剤を介して圧着ヘッドで圧着する液
晶パネルの製造方法であって、 前記他方の基板における前記電子部品側の端面に位置決
め部材を当接させて前記積層された二枚の基板を位置決
めする工程と、 前記電子部品を前記圧着ヘッドで圧着する工程と、を具
備することを特徴とする液晶パネルの製造方法。 - 【請求項8】 積層された二枚の基板のうちの一方の基
板を延長させるとともに、この延長部分における他方の
基板側上に当該他方の基板の表面位置よりも低い電子部
品を異方導電性接着剤を介して圧着ヘッドで圧着する液
晶パネルの製造方法であって、 前記電子部品における前記他方の基板とは反対側の側面
に位置決め部材を当接させて前記積層された二枚の基板
を位置決めする工程と、 前記圧着ヘッドの圧着面を前記電子部品よりも前記他方
の基板側にはみ出ない状態に位置させて前記電子部品を
圧着する工程と、を具備することを特徴とする液晶パネ
ルの製造方法。 - 【請求項9】 請求項7または請求項8に記載の電子部
品の実装方法において、圧着ヘッドの圧着面の幅寸法を
前記電子部品の幅寸法よりも大きくし、その圧着面にお
ける前記他方の基板側の端縁を前記電子部品における前
記他方の基板側の側面と略面一にすることを特徴とする
液晶パネルの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1623498A JP3480293B2 (ja) | 1998-01-28 | 1998-01-28 | 電子部品の実装装置、その実装方法および液晶パネルの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1623498A JP3480293B2 (ja) | 1998-01-28 | 1998-01-28 | 電子部品の実装装置、その実装方法および液晶パネルの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JPH11212485A JPH11212485A (ja) | 1999-08-06 |
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