JPH09165669A - 成膜用マスクおよびその製造方法 - Google Patents
成膜用マスクおよびその製造方法Info
- Publication number
- JPH09165669A JPH09165669A JP7327296A JP32729695A JPH09165669A JP H09165669 A JPH09165669 A JP H09165669A JP 7327296 A JP7327296 A JP 7327296A JP 32729695 A JP32729695 A JP 32729695A JP H09165669 A JPH09165669 A JP H09165669A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mask
- linear pattern
- thin plates
- sheets
- film
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 マスクの板厚より狭い溝幅を有すると共に機
械的に変形しない成膜用マスクおよびその製造方法を提
供する。 【解決手段】 互に同一の線状パターン溝５が形成され
たマスク薄板１ないし３を複数枚形成し、複数枚のマス
ク薄板１ないし３をそれぞれの線状パターン溝５をマス
ク薄板に直交する方向に整列整合して積層し、マスク薄
板相互間を接合する成膜用マスクおよびその製造方法。
械的に変形しない成膜用マスクおよびその製造方法を提
供する。 【解決手段】 互に同一の線状パターン溝５が形成され
たマスク薄板１ないし３を複数枚形成し、複数枚のマス
ク薄板１ないし３をそれぞれの線状パターン溝５をマス
ク薄板に直交する方向に整列整合して積層し、マスク薄
板相互間を接合する成膜用マスクおよびその製造方法。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、成膜用マスクお
よびその製造方法に関し、特に、マスクの板厚より狭い
溝幅を有する成膜用マスクおよびその製造方法に関す
る。
よびその製造方法に関し、特に、マスクの板厚より狭い
溝幅を有する成膜用マスクおよびその製造方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来例を図２を参照して説明する。成膜
用マスク４とはパターンニングされた膜を基板に成膜す
るに際して蒸着源或はターゲット側に向けられた基板に
設置して使用されるものである。この成膜用マスク４
は、１枚のステンレス鋼薄板に化学的エッチング技術を
施して線状のパターン溝５を形成することにより製造さ
れる。板厚ｄが０. １ｍｍのオーダーのステンレス鋼薄
板に化学的エッチング技術を施して線状のパターン溝５
を形成する場合、精度よく線状のパターン溝５を形成す
ることができる溝幅ｗは０. ０８ｍｍが最小限度であっ
て、これより狭い溝幅のパターン溝５を形成しようとし
ても設計通りの正確なパターン溝を形成することはでき
ない。この程度の板厚ｄのステンレス鋼薄板に精度よく
線状のパターン溝を形成することができる溝幅ｗの最小
限度は、一般に、薄板の板厚程度ｗ＝ｄであるとされて
いる。薄板に形成するパターン溝５の溝幅ｗをこれより
狭くしようとすると、設計通りの溝幅のパターン溝を形
成することができなくなる以上、成膜用マスクの厚さよ
り狭い溝幅のパターン溝を有する成膜用マスクを製造す
ることはできない。
用マスク４とはパターンニングされた膜を基板に成膜す
るに際して蒸着源或はターゲット側に向けられた基板に
設置して使用されるものである。この成膜用マスク４
は、１枚のステンレス鋼薄板に化学的エッチング技術を
施して線状のパターン溝５を形成することにより製造さ
れる。板厚ｄが０. １ｍｍのオーダーのステンレス鋼薄
板に化学的エッチング技術を施して線状のパターン溝５
を形成する場合、精度よく線状のパターン溝５を形成す
ることができる溝幅ｗは０. ０８ｍｍが最小限度であっ
て、これより狭い溝幅のパターン溝５を形成しようとし
ても設計通りの正確なパターン溝を形成することはでき
ない。この程度の板厚ｄのステンレス鋼薄板に精度よく
線状のパターン溝を形成することができる溝幅ｗの最小
限度は、一般に、薄板の板厚程度ｗ＝ｄであるとされて
いる。薄板に形成するパターン溝５の溝幅ｗをこれより
狭くしようとすると、設計通りの溝幅のパターン溝を形
成することができなくなる以上、成膜用マスクの厚さよ
り狭い溝幅のパターン溝を有する成膜用マスクを製造す
ることはできない。
【０００３】一方、基板にスパッタリングするに際し
て、成膜したい膜が基板に成膜されるのと同時に成膜用
マスク４にもスパッタリング成膜される。成膜用マスク
４に成膜されると、付着した成膜の応力により薄過ぎる
成膜用マスク４は機械的に変形するので、基板に正確な
パターンニングができなくなる。従って、成膜用マスク
４には或る一定限度以上の板厚ｄを持たせる必要があ
り、成膜用マスク４の板厚を無制限に薄くすることはし
ない。
て、成膜したい膜が基板に成膜されるのと同時に成膜用
マスク４にもスパッタリング成膜される。成膜用マスク
４に成膜されると、付着した成膜の応力により薄過ぎる
成膜用マスク４は機械的に変形するので、基板に正確な
パターンニングができなくなる。従って、成膜用マスク
４には或る一定限度以上の板厚ｄを持たせる必要があ
り、成膜用マスク４の板厚を無制限に薄くすることはし
ない。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】以上の成膜用マスク４
は、１枚のステンレス鋼薄板に化学的エッチング技術を
施して製造することに起因して、形成される溝幅ｗの最
小限度は薄板の板厚ｄの程度に制限されていた。即ち、
成膜用マスク４として必要とされる機械的強度を充分に
満足するステンレス鋼薄板の板厚ｄ＝０. ３ｍｍの１枚
のステンレス鋼薄板に化学的エッチング技術を施して線
状のパターン溝５を形成して成膜用マスク４を製造する
場合、上述した通り、ステンレス鋼薄板に精度よく線状
のパターン溝を形成することができる溝幅は薄板の板厚
程度であるので、設計溝幅の最小値はｗ＝０. ３ｍｍに
制限される。ステンレス鋼薄板の板厚がｄ＝０. ３ｍｍ
である以上、溝幅をｗ＝０. ３ｍｍより狭くすることは
できない。
は、１枚のステンレス鋼薄板に化学的エッチング技術を
施して製造することに起因して、形成される溝幅ｗの最
小限度は薄板の板厚ｄの程度に制限されていた。即ち、
成膜用マスク４として必要とされる機械的強度を充分に
満足するステンレス鋼薄板の板厚ｄ＝０. ３ｍｍの１枚
のステンレス鋼薄板に化学的エッチング技術を施して線
状のパターン溝５を形成して成膜用マスク４を製造する
場合、上述した通り、ステンレス鋼薄板に精度よく線状
のパターン溝を形成することができる溝幅は薄板の板厚
程度であるので、設計溝幅の最小値はｗ＝０. ３ｍｍに
制限される。ステンレス鋼薄板の板厚がｄ＝０. ３ｍｍ
である以上、溝幅をｗ＝０. ３ｍｍより狭くすることは
できない。
【０００５】この発明は、同一の線状のパターン溝が形
成されたマスク薄板を２枚以上重ね合わせることにより
構成してマスクの板厚より狭い溝幅を有すると共に、機
械的に変形しない成膜用マスクおよびその製造方法を提
供するものである。
成されたマスク薄板を２枚以上重ね合わせることにより
構成してマスクの板厚より狭い溝幅を有すると共に、機
械的に変形しない成膜用マスクおよびその製造方法を提
供するものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】互に同一の線状パターン
溝５が形成されたマスク薄板１ないし３を複数枚形成
し、複数枚のマスク薄板１ないし３をそれぞれの線状パ
ターン溝５をマスク薄板に直交する方向に整列整合して
積層し、マスク薄板相互間を接合する成膜用マスクの製
造方法を構成した。
溝５が形成されたマスク薄板１ないし３を複数枚形成
し、複数枚のマスク薄板１ないし３をそれぞれの線状パ
ターン溝５をマスク薄板に直交する方向に整列整合して
積層し、マスク薄板相互間を接合する成膜用マスクの製
造方法を構成した。
【０００７】そして、先の成膜用マスクの製造方法にお
いて、マスク薄板の原材料はステンレス鋼薄板とし、マ
スク薄板相互間をレーザ溶接或は接着剤により接合する
成膜用マスクの製造方法を構成した。ここで、互に同一
のパターン溝が形成されたマスク薄板を２枚以上重ね合
わせることにより構成してマスクの板厚より狭い溝幅を
有する成膜用マスクを構成した。
いて、マスク薄板の原材料はステンレス鋼薄板とし、マ
スク薄板相互間をレーザ溶接或は接着剤により接合する
成膜用マスクの製造方法を構成した。ここで、互に同一
のパターン溝が形成されたマスク薄板を２枚以上重ね合
わせることにより構成してマスクの板厚より狭い溝幅を
有する成膜用マスクを構成した。
【０００８】また、先の成膜用マスクにおいて、マスク
薄板はステンレス鋼薄板より成り、マスク薄板相互間は
レーザ溶接或は接着剤により接合されたものである成膜
用マスクを構成した。
薄板はステンレス鋼薄板より成り、マスク薄板相互間は
レーザ溶接或は接着剤により接合されたものである成膜
用マスクを構成した。
【０００９】
【発明の実施の形態】この発明の実施の形態を図１を参
照して説明する。図１（ａ）はこの発明により構成され
た成膜用マスクの断面を示す図であり、図１（ｂ）は正
面を示す図である。マスク薄板１ないしマスク薄板３の
原材料はステンレス鋼薄板であり、これに化学的エッチ
ング技術を施して線状のパターン溝５を形成する。マス
ク薄板１ないしマスク薄板３は、すべての点において互
に同一に形成される。形成される線状のパターン溝５は
すべて同一パターンに形成されており、その溝幅ｗの最
小値は薄板の板厚ｄとほぼ同程度とされている。そし
て、マスク薄板１ないしマスク薄板３は、それぞれのパ
ターン溝５をマスク薄板に直交する方向に整列整合して
積層され、マスク薄板相互間をレーザ溶接或は接着剤に
より接合して成膜用マスクを構成する。
照して説明する。図１（ａ）はこの発明により構成され
た成膜用マスクの断面を示す図であり、図１（ｂ）は正
面を示す図である。マスク薄板１ないしマスク薄板３の
原材料はステンレス鋼薄板であり、これに化学的エッチ
ング技術を施して線状のパターン溝５を形成する。マス
ク薄板１ないしマスク薄板３は、すべての点において互
に同一に形成される。形成される線状のパターン溝５は
すべて同一パターンに形成されており、その溝幅ｗの最
小値は薄板の板厚ｄとほぼ同程度とされている。そし
て、マスク薄板１ないしマスク薄板３は、それぞれのパ
ターン溝５をマスク薄板に直交する方向に整列整合して
積層され、マスク薄板相互間をレーザ溶接或は接着剤に
より接合して成膜用マスクを構成する。
【００１０】ここで、ステンレス鋼薄板の板厚をｄ＝
０. １ｍｍとしてこれに化学的エッチング技術を施し、
線状のパターン溝５を形成して合計３枚の互に同一のマ
スク薄板１ないしマスク薄板３を製造すると、マスク薄
板１ないしマスク薄板３の線状のパターン溝５の溝幅は
ｗ＝０. １ｍｍであり、そしてｄ＝０. １ｍｍの板厚の
マスク薄板１ないしマスク薄板３を相互に接合して３ｄ
＝０. ３ｍｍの板厚の成膜用マスクを構成することがで
きる。結局、出来上りの成膜用マスクは、板厚は０. ３
ｍｍであって溝幅は０. １ｍｍである。即ち、線状パタ
ーン溝の溝幅を出来上りの成膜用マスクの薄板の板厚よ
り狭くすることができる。
０. １ｍｍとしてこれに化学的エッチング技術を施し、
線状のパターン溝５を形成して合計３枚の互に同一のマ
スク薄板１ないしマスク薄板３を製造すると、マスク薄
板１ないしマスク薄板３の線状のパターン溝５の溝幅は
ｗ＝０. １ｍｍであり、そしてｄ＝０. １ｍｍの板厚の
マスク薄板１ないしマスク薄板３を相互に接合して３ｄ
＝０. ３ｍｍの板厚の成膜用マスクを構成することがで
きる。結局、出来上りの成膜用マスクは、板厚は０. ３
ｍｍであって溝幅は０. １ｍｍである。即ち、線状パタ
ーン溝の溝幅を出来上りの成膜用マスクの薄板の板厚よ
り狭くすることができる。
【００１１】そして、この発明は、互に同一の線状パタ
ーン溝５が形成されたマスク薄板１ないし３を複数枚形
成し、複数枚のマスク薄板１ないし３をそれぞれの線状
パターン溝５をマスク薄板に直交する方向に整列整合し
て積層し、マスク薄板相互間を接合するものであり、マ
スク薄板自体は付着した成膜の応力により薄過ぎて機械
的に変形する恐れのある程の薄いものとされる場合もあ
る。この場合も、マスク薄板の原材料をステンレス鋼薄
板とすることにより充分に精度の高いマスク薄板を構成
することができると共に、これら相互間をレーザ溶接或
は接着剤により接合することによりスパッタリング時の
応力による機械的変形に充分耐え得るマスク薄板を容易
に製造することができる。
ーン溝５が形成されたマスク薄板１ないし３を複数枚形
成し、複数枚のマスク薄板１ないし３をそれぞれの線状
パターン溝５をマスク薄板に直交する方向に整列整合し
て積層し、マスク薄板相互間を接合するものであり、マ
スク薄板自体は付着した成膜の応力により薄過ぎて機械
的に変形する恐れのある程の薄いものとされる場合もあ
る。この場合も、マスク薄板の原材料をステンレス鋼薄
板とすることにより充分に精度の高いマスク薄板を構成
することができると共に、これら相互間をレーザ溶接或
は接着剤により接合することによりスパッタリング時の
応力による機械的変形に充分耐え得るマスク薄板を容易
に製造することができる。
【００１２】
【発明の効果】以上の通りであって、この発明は、互に
同一の線状パターン溝が形成されたマスク薄板を２枚以
上積層して成膜用マスクとすることにより、線状パター
ン溝の溝幅を出来上りの成膜用マスクの薄板の板厚より
狭くすることができる。また、出来上りの成膜用マスク
はスパッタリング時の応力による機械的変形に充分耐え
得るものであり、その製造も容易に実施することができ
る。
同一の線状パターン溝が形成されたマスク薄板を２枚以
上積層して成膜用マスクとすることにより、線状パター
ン溝の溝幅を出来上りの成膜用マスクの薄板の板厚より
狭くすることができる。また、出来上りの成膜用マスク
はスパッタリング時の応力による機械的変形に充分耐え
得るものであり、その製造も容易に実施することができ
る。
【図１】実施例を説明する図。
【図２】従来例を説明する図。
１ マスク薄板 ２ マスク薄板 ３ マスク薄板 ４ 成膜用マスク ５ 線状パターン溝
Claims (4)
- 【請求項１】 互に同一の線状パターン溝が形成された
マスク薄板を複数枚形成し、複数枚のマスク薄板をそれ
ぞれの線状パターン溝をマスク薄板に直交する方向に整
列整合して積層し、マスク薄板相互間を接合することを
特徴とする成膜用マスクの製造方法。 - 【請求項２】 請求項１に記載される成膜用マスクの製
造方法において、 マスク薄板の原材料はステンレス鋼薄板とし、マスク薄
板相互間をレーザ溶接或は接着剤により接合することを
特徴とする成膜用マスクの製造方法。 - 【請求項３】 互に同一のパターン溝が形成されたマス
ク薄板を２枚以上重ね合わせることにより構成してマス
クの板厚より狭い溝幅を有することを特徴とする成膜用
マスク。 - 【請求項４】 請求項３に記載される成膜用マスクにお
いて、 マスク薄板はステンレス鋼薄板より成り、マスク薄板相
互間はレーザ溶接或は接着剤により接合されたものであ
ることを特徴とする成膜用マスク。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7327296A JPH09165669A (ja) | 1995-12-15 | 1995-12-15 | 成膜用マスクおよびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7327296A JPH09165669A (ja) | 1995-12-15 | 1995-12-15 | 成膜用マスクおよびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09165669A true JPH09165669A (ja) | 1997-06-24 |
Family
ID=18197553
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7327296A Pending JPH09165669A (ja) | 1995-12-15 | 1995-12-15 | 成膜用マスクおよびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09165669A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2011111134A1 (ja) * | 2010-03-09 | 2011-09-15 | シャープ株式会社 | 蒸着マスク、蒸着装置及び蒸着方法 |
| US11942250B2 (en) | 2020-03-12 | 2024-03-26 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Winding core with electrodes and coil component |
-
1995
- 1995-12-15 JP JP7327296A patent/JPH09165669A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2011111134A1 (ja) * | 2010-03-09 | 2011-09-15 | シャープ株式会社 | 蒸着マスク、蒸着装置及び蒸着方法 |
| KR101442941B1 (ko) * | 2010-03-09 | 2014-09-22 | 샤프 가부시키가이샤 | 증착 마스크, 증착장치 및 증착방법 |
| US9246101B2 (en) | 2010-03-09 | 2016-01-26 | Sharp Kabushiki Kaisha | Deposition mask, deposition apparatus, and deposition method |
| US11942250B2 (en) | 2020-03-12 | 2024-03-26 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Winding core with electrodes and coil component |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20000307 |