KR20140118371A - 복층 구조의 패턴 형성용 마스크 및 이의 제조 방법 - Google Patents

복층 구조의 패턴 형성용 마스크 및 이의 제조 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 복층 구조의 패턴 형성용 마스크 및 이의 제조 방법에 관한 것으로서, 형성시키고자 하는 패턴에 대응되어 각각 개구 패턴부가 형성된 복수개의 마스크층; 및 상기 복수개의 마스크층이 순차적으로 적층되어 결합되되, 상기 개구 패턴부가 서로 일정 간격 어긋나서 겹쳐져 복수개의 상기 개구 패턴부의 공통된 관통부분의 연결로 형성된 미세 개구 패턴부를 포함하는 것을 특징으로 하는 복층 구조의 패턴 형성용 마스크와 이를 제조하는 방법이며, 이와 같은 본 발명에 의하면 미세 가공이 가능한 고가의 마스크 가공 장비를 이용하지 않고도 미세한 패턴이 형성된 마스크를 제공할 수 있으며, 일반적인 가공 장비로 간단한 공정을 통해 미세 패턴 형성용 마스크를 제작할 수 있으므로 마스크 제작 비용을 더욱 줄일 수 있게 된다.

Description

복층 구조의 패턴 형성용 마스크 및 이의 제조 방법 {Mask for forming pattern with double structure and method of manufacturing this}
본 발명은 복층 구조의 패턴 형성용 마스크 및 이의 제조 방법에 대한 것으로서, 보다 상세하게는 형성시키고자 하는 패턴에 대응되어 각각 개구 패턴부가 형성된 복수개의 마스크층을 상기 개구 패턴부들이 서로 어긋나서 겹치도록 결합하여 상기 개구 패턴부들에 의해 미세 개구 패턴부가 형성된 마스크와 이를 제조하는 방법에 관한 것이다.
반도체, 태양전지, 터치스크린 등을 제조하는데 있어서, 메탈 마스크나 쉐도우 마스크 등의 패턴 형성용 마스크를 이용한 증착 또는 인쇄 공정을 통해 미세 전극 등의 패턴을 형성하고 있다.
일반적으로 패턴 형성용 마스크는 레이저 머신(Laser machine)이나 에칭 라인 머신(Etching line machine) 등을 이용하여 제작이 가능한데, 도 1은 레이저 머신을 이용하여 패턴 형성용 마스크를 제조하는 과정으로서, 형성하고자 하는 패턴(50)에 대응되는 CAM(Computer Aided Manufacturing) 데이터를 생성한 후 상기 CAM 데이터에 따라 레이저 머신(20)이 마스크 기판(10)을 가공하여 마스크 기판(10) 상에 개구 패턴(20)을 형성함으로써 패턴 형성용 마스크를 제작할 수 있다.
기술발전에 따른 기기의 소형화, 대용량화 및 슬림화의 요구로 인해 형성시키는 패턴은 마이크로 단위의 선폭, 피치가 필요하게 되었으며, 패턴의 형상 또한 파인 라인이어야 함은 물론 위치 공차까지 제어가 필요한 실정이며, 이와 같이 정밀하고 미세한 패턴 형성의 필요로 인해 형성된 패턴의 미세한 오차나 변형에 따라 제품 불량률이 높아지는 문제점이 있다.
따라서 패턴 형성용 마스크에 얇은 선폭과 얇은 간격으로 미세 개구 패턴을 형성하기 위해 마스크의 제작에 정밀 가공 장치들이 요구되는데, 가령 레이저 머신을 이용하여 패턴 형성용 마스크를 제작하는 경우에 레이저 머신의 성능에 따라서 마스크에 형성되는 개구 패턴의 선폭과 간격 조절에 상당한 차이가 발생한다. 고성능의 레이저 머신은 정밀하게는 10~30um 수준의 선폭까지 제어하여 개구 패턴의 형성이 가능하지만 현재 많이 보급되어 사용되고 있는 레이저 머신은 대략적으로 30~100um 수준으로 선폭의 제어가 가능하다.
정밀 가공을 위한 고성능 레이저 머신이 상당히 고가의 장비이며 또한 고가의 장비를 운영에도 상당한 비용이 소요됨으로써 전체적으로 마스크의 제작 비용을 높이는 문제점이 있으며, 일반적인 레이저 머신을 이용하는 경우에는 미세 패턴을 형성하기 위한 개구 패턴의 선폭과 간격 제어가 어렵거나 제품의 불량률이 높아지는 문제점이 있다.
본 발명은 상술한 바와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하고자 하는 것으로서, 반도체, 태양전지, 터치스크린 등에서 요구되는 미세 패턴을 형성하기 위한 패턴 형성용 마스크를 제공하는 것을 주된 목적으로 한다.
패턴 형성용 마스크에 얇은 선폭과 얇은 간격으로 미세 개구 패턴을 형성하기 위해 마스크의 제작에 위한 고성능 정밀 가공 장치들이 상당히 고가의 장비이고 또한 고가의 장비를 운영에도 상당한 비용이 소요됨으로써 전체적으로 마스크의 제작 비용을 높이는 문제점을 해결하고자 한다.
특히 일반적인 패턴 가공 장치를 이용하여 마스크에 미세 개구 패턴을 형성시에 개구 패턴의 선폭과 간격 제어가 어렵거나 제품의 불량률이 높아지는 문제점을 극복하여 보다 저렴한 가격으로 미세한 개구 패턴이 형성된 마스크를 제공하고자 한다.
상기 기술적 과제를 달성하고자 본 발명에 따른 복층 구조의 패턴 형성용 마스크는, 형성시키고자 하는 패턴에 대응되어 각각 개구 패턴부가 형성된 복수개의 마스크층; 및 상기 복수개의 마스크층이 순차적으로 적층되어 결합되되, 상기 개구 패턴부가 서로 일정 간격 어긋나서 겹쳐져 복수개의 상기 개구 패턴부의 공통된 관통부분의 연결로 형성된 미세 개구 패턴부를 포함하여 구성될 수 있다.
바람직하게는 형성시키고자 하는 패턴에 대응되는 제1 개구 패턴부가 형성된 제1 마스크층; 상기 제1 개구 패턴부에 대응하여 제2 개구 패턴부가 형성된 제2 마스크층; 및 상기 제1 개구 패턴부와 상기 제2 개구 패턴부가 서로 일정 간격 어긋나서 겹쳐지도록 상기 제1 마스크층과 상기 제2 마스크층이 결합되어 상기 제1 개구 패턴부와 상기 제2 개구 패턴부의 공통된 관통부분으로 형성된 미세 개구 패턴부를 포함할 수 있다.
또한 본 발명에 따른 패턴 형성용 마스크 제조 방법은, 형성시키고자 하는 패턴에 대응되는 제1 개구 패턴부를 제1 마스크 기판에 형성시키고, 상기 제1 개구 패턴부에 대응되는 제2 개구 패턴부를 제2 마스크 기판에 형성시키는 개구 패턴부 형성 단계; 및 상기 제1 개구 패턴부와 상기 제2 개구 패턴부가 서로 일정 간격 어긋나도록 겹쳐져 상기 제1 개구 패턴부와 상기 제2 개구 패턴부의 공통된 관통부분으로 미세 개구 패턴부가 형성되도록 상기 제1 마스크 기판과 상기 제2 마스크 기판을 결합하는 마스크 기판 결합 단계를 포함하여 구성될 수 있다.
여기서 상기 패턴부 형성 단계는, 상기 제1 마스크 기판과 상기 제2 마스크 기판 각각에 서로 대응되는 정렬키를 형성시키는 단계; 상기 제1 마스크 기판에 상기 정렬키를 기준으로 일정 거리 이격된 지점에 형성시키고자 하는 패턴에 대응되어 일정 폭을 갖는 제1 개구 패턴부를 형성하는 단계; 및 상기 제2 마스크 기판에 상기 정렬키를 기준으로 형성시키고자 하는 패턴의 선폭에 반비례하는 일정 거리 이격된 지점에 상기 제1 개구 패턴부에 대응되는 제2 개구 패턴부를 형성하는 단계를 포함하며, 상기 마스크 기판 결합 단계는, 상기 제1 마스크 기판과 상기 제2 마스크 기판에 각각 형성된 상기 정렬키를 서로 대응시켜 상기 제1 마스크 기판과 상기 제2 마스크 기판을 적층하여 결합시킬 수 있다.
또는 상기 패턴부 형성 단계는, 상기 제1 마스크 기판과 상기 제2 마스크 기판 각각의 끝단에 마스크 정렬 간격으로 순차적으로 이격시켜 복수개의 정렬키를 형성하는 단계; 및 상기 제1 마스크 기판에 형성시키고자 하는 패턴에 대응되는 제1 개구 패턴부를 형성하고, 상기 제2 마스크 기판에 상기 제1 개구 패턴부와 동일한 폭을 갖는 제2 개구 패턴부를 형성하는 단계를 포함하며, 상기 마스크 기판 결합 단계는, 상기 형성시키고자 하는 패턴의 선폭에 따라 상기 제1 마스크 기판에 형성된 복수개의 정렬키 중 선택된 제1 정렬키와 상기 제2 마스크 기판에 형성된 복수개의 정렬키 중 선택된 제2 정렬키를 서로 대응시켜 상기 제1 마스크 기판과 상기 제2 마스크 기판을 적층하여 결합시킬 수도 있다.
이와 같은 본 발명에 의하면, 미세 가공이 가능한 고가의 고성능 가공 장비를 이용하지 않고도 미세한 개구 패턴이 형성된 마스크를 제공할 수 있으며, 특히 일반적인 패턴 가공 장비로 간단한 공정을 통해 패턴 형성용 마스크를 제작할 수 있으므로 마스크 제작 비용을 더욱 줄일 수 있게 된다.
도 1은 레이저 머신을 이용하여 패턴 형성용 마스크를 제조하는 과정을 도시하며,
도 2는 본 발명에 따른 복층 구조의 패턴 형성용 마스크의 실시예를 도시하며,
도 3은 본 발명에 따른 복층 구조의 패턴 형성용 마스크의 단면 구조를 도시하며,
도 4는 본 발명에 따른 복층 구조의 패턴 형성용 마스크를 제작하는 방법에 대한 제1 실시예를 도시하며,
도 5는 본 발명에 따른 복층 구조의 패턴 형성용 마스크를 제작하는 방법에 대한 제2 실시예를 도시한다.
본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 설명하기 위하여 이하에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하고 이를 참조하여 살펴본다.
먼저, 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로서, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니며, 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함할 수 있다. 또한 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.
본 발명은, 형성시키고자 하는 패턴에 대응되어 각각 개구 패턴부가 형성된 복수개의 마스크층을 상기 개구 패턴부들이 서로 어긋나서 겹치도록 결합하여 상기 개구 패턴부들의 공통된 관통부분의 연결로 미세 개구 패턴부가 형성된 마스크와 이를 제조하는 방법을 개시한다.
도 2는 본 발명에 따른 복층 구조의 패턴 형성용 마스크의 실시예를 도시한다.
본 발명에 따른 패턴 형성용 마스크(100)는 제1 마스크(110)와 제2 마스크(150)가 적층되어 각각 제1 마스크층과 제2 마스크층을 이루어 형성되며, 제1 마스크(110)에는 제1 개구 패턴부(210)가 형성되어 있고, 제2 마스크(150)에는 제2 개구 패턴부(250)가 형성되어 있다.
제1 마스크(110)에 형성된 제1 개구 패턴부(210)와 제2 마스크(150)에 형성된 제2 개구 패턴부(250)는 각각 형성시키고자 하는 패턴의 모양에 대응되는데, 실제 형성시키고자 하는 패턴에는 미세 라인 패턴이 포함되어 있으며, 여기서 제1 개구 패턴부(210)와 제2 개구 패턴부(250)는 고가의 정밀 가공 머신을 이용하지 않고 일반적인 가공 머신으로 형성될 수 있는 패턴의 선폭 수준이므로 제1 개구 패턴부(210)와 제2 개구 패턴부(250)는 상기 미세 라인 패턴의 선폭보다 더 넓은 폭으로 형성된다.
그리고 제1 개구 패턴부(210)와 제2 개구 패턴부(250)가 서로 일정 간격 어긋나서 겹쳐지도록 제1 마스크(110)와 제2 마스크(150)가 결합되어 각각 제1 마스크층과 상기 제2 마스크층을 형성함으로써 제1 개구 패턴부(210)와 제2 개구 패턴부(250)의 공통된 관통부분으로 미세 개구 패턴부(200)가 형성된다.
즉, 미세 개구 패턴부(200)는 제1 개구 패턴부(210)와 제2 개구 패턴부(250)가 서로 어긋나서 형성되는 공통된 관통부분이므로 미세 개구 패턴으로 조절이 가능하여 실제 형성시키고자 하는 패턴에 포함된 미세 라인 패턴의 선폭 수준으로 형성이 가능하다.
도 3은 본 발명에 따른 복층 구조의 패턴 형성용 마스크의 단면 구조를 도시하는데, 이를 참조하여 본 발명에 따른 패턴 형성용 마스크의 구조를 살펴보면, 제1 마스크층을 형성하는 제1 마스크(110)의 제1 개구 패턴부(210)는 그 폭이 D1으로 형성되어 있으며, 제2 마스크층을 형성하는 제2 마스크(150)의 제2 개구 패턴부(250)는 D2로 형성되어 있다. 여기서 패턴 형성용 마스크(100)의 개구 패턴부(200)의 폭을 보다 용이하게 제어하기 위해서는 제1 개구 패턴부(210)의 폭 D1과 제2 개구 패턴부(250)의 폭 D2가 서로 동일하게 형성된 것이 바람직할 것이다.
상기 도 3에 도시된 바와 같이 제1 마스크층의 제1 개구 패턴부(210)와 제2 마스크층의 제2 개구 패턴부(250)는 서로 어긋나 있는데, 제1 개구 패턴부(210)와 제2 개구 패턴부(250)의 어긋남 정도는 형성시키고자 하는 패턴의 폭에 따라 정해질 수 있다. 즉, 제1 개구 패턴부(210)와 제2 개구 패턴부(250)의 폭 D1과 D2는 실제 형성시키고자 하는 패턴에 포함된 미세 라인 패턴의 선폭에 비해 넓게 형성되지만, 제1 개구 패턴부(210)와 제2 개구 패턴부(250)의 공통된 관통부분으로 형성된 미세 개구 패턴부(200)의 폭 W가 형성시키고자 하는 패턴의 폭이 될 수 있다.
나아가서 상기 도 2 및 도 3의 실시예에서 본 발명에 따른 패턴 형성용 마스크는 제1 마스크(110)와 제2 마스크(150)가 적층된 두 개의 마스크층으로 도시되어 있으나 이에 국한되지 않고 복수개의 마스크를 적층하여 복수개의 마스크층으로 구성될 수도 있다.
또한 본 발명에서는 상기에서 살펴본 본 발명에 따른 복층 구조의 패턴 형성용 마스크를 제작하는 방법을 개시하는데, 이하에서는 실시예를 통해 본 발명에 따른 복층 구조의 패턴 형성용 마스크를 제작하는 방법에 대하여 살펴보기로 한다.
도 4는 본 발명에 따른 복층 구조의 패턴 형성용 마스크를 제작하는 방법에 대한 제1 실시예를 도시한다.
상기 도 4의 (a)에 도시된 바와 같이 마스크 기판에 제1 개구 패턴부(210a)를 형성하여 제1 마스크(110a)를 제작하는데, 가령 형성하고자 하는 패턴이 상기 도 1에 도시된 바와 같은 미세 라인 패턴(50)인 경우에 일반적인 패턴 가공 장치를 이용해서는 미세 라인 패턴(50)의 선폭 수준으로 개구 패턴을 가공할 수 없으므로 제1 마스크(110a)에 형성되는 제1 개구 패턴부(210a)는 미세 라인 패턴(50)의 모양에 대응되지만 그 선폭보다는 넓게 형성된다.
제1 개구 패턴부(210a)를 형성할 때 제1 마스크(110a)의 끝단에 형성된 정렬키(300)를 기준으로 소정 간격 이격된 위치에 제1 개구 패턴부(210a)를 형성시키는데, 상기 도 4의 (a)에서는 정렬키(300)로부터 X거리만큼 이격된 위치에 폭 D를 갖는 제1 개구 패턴부(210a)를 형성시켰다.
그리고 상기 도 4의 (b)에 도시된 바와 같이 마스크 기판에 제2 개구 패턴부(250a)를 형성하여 제2 마스크(150a)를 제작하는데, 여기서 제2 개구 패턴부(250a)는 제1 개구 패턴부(210a)에 대응되는 크기와 모양으로 형성시키며 바람직하게는 상기 도 4의 (b)와 같이 제1 개구 패턴부(210a)의 폭 D와 동일하게 제2 개구 패턴부(250a)를 형성시킨다.
제2 개구 패턴부(250a)도 제2 마스크(150a)의 끝단에 형성된 정렬키(300)를 기준으로 소정 간격 이격된 위치에 형성시키며 이때 제2 마스크(150a)의 정렬키(300)와 제1 마스크(110a)의 정렬키(300)는 제1 마스크(110a)와 제2 마스크(150a)를 매칭시켜 정렬시킬 수 있도록 서로 동일한 위치에 대응되도록 형성시키는 것이 바람직한다. 제2 개구 패턴부(250a)는 정렬키(300)로부터 X+S거리만큼 이격된 위치에 폭 D를 갖도록 형성시키는데, 즉, 정렬키(300)를 기준으로 제1 개구 패턴부(210a)가 형성된 위치보다 S만큼 거리를 더 이동시켜서 제2 개구 패턴부(250a)를 형성시킨다. 여기서 거리 S는 형성시키고자 하는 패턴(50)의 선폭에 반비례하는데, 이에 대해서는 상기 도 4의 (d)를 통해 자세히 살펴보기로 한다.
제1 개구 패턴부(210a)가 형성된 제1 마스크(110a)와 제2 개구 패턴부(250a)가 형성된 제2 마스크(150a)가 준비되면, 상기 도 4의 (c)와 같이 제1 마스크(110a)에 제2 마스크(150a)를 적층하여 결합시키는데, 이때 제1 마스크(110a)의 정렬키(300)와 제2 마스크(150a)의 정렬키(300)를 서로 대응시켜 제1 마스크(110a)와 제2 마스크(150a)를 결합시킨다.
상기 도 4의 (d)는 제1 마스크(110a)와 제2 마스크(150a)를 결합시켜 제1 마스크(110a)로 제1 마스크층을 형성하고 제2 마스크(150a)로 제2 마스크층을 형성한 모습을 도시하는데, 제1 마스크(110a)와 제2 마스크(150a)를 정렬키(300)가 서로 일치되도록 정렬시켜 결합함으로써 제1 개구 패턴부(210a)와 제2 개구 패턴부(250a)는 거리 S만큼 서로 어긋나게 되며 여기서 제1 개구 패턴부(210)와 제2 개구 패턴부(250a)의 공통된 관통부분으로 형성된 미세 개구 패턴부의 폭 W는 형성시키고자 하는 패턴(50)의 선폭과 동일하게 된다. 즉 상기 도 4의 (b)에서 제2 개구 패턴부(250a)를 형성함에 있어서 정렬키(300)로부터 X+S만큼 이격된 거리에 제2 개구 패턴부(250a)를 형성시킴으로써, 제1 개구 패턴부(210a)와 제2 개구 패턴부(250a)가 S만큼 어긋나게 되고, 제1 개구 패턴부(210a)와 제2 개구 패턴부(250a)의 폭 D에서 어긋난 거리 S만큼 좁아져셔 제1 개구 패턴부(210)와 제2 개구 패턴부(250a)의 공통된 관통부분으로 형성된 미세 개구 패턴부(200)가 W 폭으로 형성되므로 상기 S를 조절하여 형성하고자 하는 패턴(50)의 선폭과 동일한 폭 W를 갖는 미세 개구 패턴부(200)가 형성될 수 있다.
본 발명에 따른 다른 실시예로서, 도 5는 본 발명에 따른 복층 구조의 패턴 형성용 마스크를 제작하는 방법에 대한 제2 실시예를 도시한다.
상기 도 5의 (a)에 도시된 바와 같이 마스크 기판(400) 상의 끝단에는 정렬 간격 G로 이격시켜 순차적으로 복수개의 정렬키(330)를 형성시키는데, 첫번째 정렬키(331)와 두번째 정렬키(332) 간이 상기 정렬 간격 G만큼 이격된 거리를 가지며 또한 두번째 정렬키(332)와 세번째 정렬키(333) 간이 상기 정렬 간격 G만큼 이격된 거리를 가진다. 여기서 상기 정렬 간격 G는 형성시키고자 하는 패턴의 선폭에 따라 다양하게 선택적으로 설정될 수도 있고 또는 획일적으로 설정된 치수가 될 수도 있다.
그리고 마스크 기판(400) 상에 형성시키고자 하는 패턴의 모양에 대응되는 개구 패턴부를 형성시키는데, 앞서 상기 도 4를 통해 살펴본 바와 같이 가령 상기 도 1에 도시된 미세 라인 패턴(50)의 선폭과 동일한 수준의 개구 패턴을 형성시키기 위해서는 고성능의 패턴 가공 장치가 필요하며 일반적인 패턴 가공 장치를 이용하는 경우에는 형성시키는 개구 패턴의 폭 D가 미세 라인 패턴(50)의 선폭 보다는 넓게 형성되게 된다.
상기 도 5의 (a)에 도시된 바와 같이 개구 패턴과 복수개의 정렬키(330)가 형성된 마스크 기판(400)을 복수개 준비하는데, 상기 도 5의 실시예에서는 두 개의 마스크 기판을 이용하는 경우에 대한 실시예이다.
상기 도 5의 (b)는 두 개의 마스크 기판(400)을 정렬하여 결합시키는 과정으로서, 하나의 마스크 기판이 제1 마스크(400a)가 되고 다른 하나의 마스크 기판이 제2 마스크(400b)가 된다.
제1 마스크(400a)와 제2 마스크(400b)를 각각에 형성된 복수개의 정렬키(330a, 330b)를 이용하여 정렬시켜 결합하는데, 제1 마스크(400a)의 두번째 정렬키(332a)와 제2 마스크(400b)의 첫번째 정렬키(331b)를 서로 대응시켜 제1 마스크(400a)와 제2 마스크(400b)를 적층시켜 결합하면 상기 도 5의 (c)에 도시된 바와 같이 정렬 간격 G만큼 제1 마스크(400a)의 개구 패턴부(230)와 제2 마스크(400b)의 개구 패턴부(270)가 서로 G 간격만큼 어긋나게 되며, 제1 마스크(400a)의 개구 패턴부(230)와 제2 마스크(400b)의 개구 패턴부(270)가 정렬 간격 G만큼 어긋남으로써 형성되는 공통된 관통부분인 미세 개구 패턴부(200)는 상기 D와 상기 G 차이값인 폭 W가 된다.
만약 상기 도 5의 (b)와 (c)에서 제1 마스크(400a)의 세번째 정렬키(333a)와 제2 마스크(400b)의 첫번째 정렬키(331a)를 선택하여 제1 마스크(400a)와 제2 마스크(440b)를 정렬하여 결합하는 경우에는 공통된 관통부분인 미세 개구 패턴부(200)는 D-2G의 폭으로 형성될 수 있따.
이와 같이 미세 개구 패턴부(200)의 폭 W는 실제 형성시키고자 하는 패턴(50)의 선폭으로서 상기 도 5의 실시예와 같이 제1 마스크(400a)의 정렬키(330a)와 제2 마스크(400b)의 정렬키(330b)의 선택적 조합으로 다양한 미세 패턴의 선폭을 자유롭게 조절하여 패턴 형성용 마스크를 제작할 수 있게 된다.
상기에서 살펴본 본 발명에 따른 복층 구조의 패턴 형성용 마스크 및 이의 제조 방법을 통해 미세 가공이 가능한 고가의 고성능 가공 장비를 이용하지 않고도 미세한 개구 패턴이 형성된 마스크를 제공할 수 있으며, 특히 일반적인 패턴 가공 장비로 간단한 공정을 통해 패턴 형성용 마스크를 제작할 수 있으므로 마스크 제작 비용을 더욱 줄일 수 있게 된다.
이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서 본 발명에 기재된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상이 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의해서 해석되어야하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
100 : 복층 구조의 패턴 형성용 마스크,
110, 110a : 제1 마스크, 150, 150a : 제2 마스크,
200 : 개구 패턴부,
210, 210a : 제1 개구 패턴부, 250, 250a : 제2 개구 패턴부,
300, 330 : 정렬키.
400a : 제1 마스크, 400b : 제2 마스크,
230 : 제1 개구 패턴부, 270 : 제2 개구 패턴부.

Claims (5)

  1. 형성시키고자 하는 패턴에 대응되어 각각 개구 패턴부가 형성된 복수개의 마스크층; 및
    상기 복수개의 마스크층이 순차적으로 적층되어 결합되되, 상기 개구 패턴부가 서로 일정 간격 어긋나서 겹쳐져 복수개의 상기 개구 패턴부의 공통된 관통부분의 연결로 형성된 미세 개구 패턴부를 포함하는 것을 특징으로 하는 복층 구조의 패턴 형성용 마스크.
  2. 제 1 항에 있어서,
    형성시키고자 하는 패턴에 대응되는 제1 개구 패턴부가 형성된 제1 마스크층;
    상기 제1 개구 패턴부에 대응하여 제2 개구 패턴부가 형성된 제2 마스크층; 및
    상기 제1 개구 패턴부와 상기 제2 개구 패턴부가 서로 일정 간격 어긋나서 겹쳐지도록 상기 제1 마스크층과 상기 제2 마스크층이 결합되어 상기 제1 개구 패턴부와 상기 제2 개구 패턴부의 공통된 관통부분으로 형성된 미세 개구 패턴부를 포함하는 것을 특징으로 하는 복층 구조의 패턴 형성용 마스크.
  3. 형성시키고자 하는 패턴에 대응되는 제1 개구 패턴부를 제1 마스크 기판에 형성시키고, 상기 제1 개구 패턴부에 대응되는 제2 개구 패턴부를 제2 마스크 기판에 형성시키는 개구 패턴부 형성 단계; 및
    상기 제1 개구 패턴부와 상기 제2 개구 패턴부가 서로 일정 간격 어긋나도록 겹쳐져 상기 제1 개구 패턴부와 상기 제2 개구 패턴부의 공통된 관통부분으로 미세 개구 패턴부가 형성되도록 상기 제1 마스크 기판과 상기 제2 마스크 기판을 결합하는 마스크 기판 결합 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 패턴 형성용 마스크 제조 방법.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 패턴부 형성 단계는,
    상기 제1 마스크 기판과 상기 제2 마스크 기판 각각에 서로 대응되는 정렬키를 형성시키는 단계;
    상기 제1 마스크 기판에 상기 정렬키를 기준으로 일정 거리 이격된 지점에 형성시키고자 하는 패턴에 대응되어 일정 폭을 갖는 제1 개구 패턴부를 형성하는 단계; 및
    상기 제2 마스크 기판에 상기 정렬키를 기준으로 형성시키고자 하는 패턴의 선폭에 반비례하는 일정 거리 이격된 지점에 상기 제1 개구 패턴부에 대응되는 제2 개구 패턴부를 형성하는 단계를 포함하며,
    상기 마스크 기판 결합 단계는,
    상기 제1 마스크 기판과 상기 제2 마스크 기판에 각각 형성된 상기 정렬키를 서로 대응시켜 상기 제1 마스크 기판과 상기 제2 마스크 기판을 적층하여 결합시키는 것을 특징으로 하는 패턴 형성용 마스크 제조 방법.
  5. 제 3 항에 있어서,
    상기 패턴부 형성 단계는,
    상기 제1 마스크 기판과 상기 제2 마스크 기판 각각의 끝단에 마스크 정렬 간격으로 순차적으로 이격시켜 복수개의 정렬키를 형성하는 단계; 및
    상기 제1 마스크 기판에 형성시키고자 하는 패턴에 대응되는 제1 개구 패턴부를 형성하고, 상기 제2 마스크 기판에 상기 제1 개구 패턴부와 동일한 폭을 갖는 제2 개구 패턴부를 형성하는 단계를 포함하며,
    상기 마스크 기판 결합 단계는,
    상기 형성시키고자 하는 패턴의 선폭에 따라 상기 제1 마스크 기판에 형성된 복수개의 정렬키 중 선택된 제1 정렬키와 상기 제2 마스크 기판에 형성된 복수개의 정렬키 중 선택된 제2 정렬키를 서로 대응시켜 상기 제1 마스크 기판과 상기 제2 마스크 기판을 적층하여 결합시키는 것을 특징으로 하는 패턴 형성용 마스크 제조 방법.
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