JPH09127198A - 改良型テスタタイミングアーキテクチュア - Google Patents

改良型テスタタイミングアーキテクチュア

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JPH09127198A
JPH09127198A JP8240710A JP24071096A JPH09127198A JP H09127198 A JPH09127198 A JP H09127198A JP 8240710 A JP8240710 A JP 8240710A JP 24071096 A JP24071096 A JP 24071096A JP H09127198 A JPH09127198 A JP H09127198A
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JP
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JP8240710A
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Rodolfo Garcia
ガルシア ロドルフォ
Egbert Graeve
グリーブ エグバート
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Schlumberger Technologies Inc
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/317Testing of digital circuits
    • G01R31/3181Functional testing
    • G01R31/319Tester hardware, i.e. output processing circuits
    • G01R31/31917Stimuli generation or application of test patterns to the device under test [DUT]
    • G01R31/31922Timing generation or clock distribution
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
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    • G01R31/317Testing of digital circuits
    • G01R31/3181Functional testing
    • G01R31/319Tester hardware, i.e. output processing circuits
    • G01R31/31917Stimuli generation or application of test patterns to the device under test [DUT]
    • G01R31/31919Storing and outputting test patterns
    • GPHYSICS
    • G06COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06FELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
    • G06F2201/00Indexing scheme relating to error detection, to error correction, and to monitoring
    • G06F2201/86Event-based monitoring

Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【課題】 テスト期間を開始させる周波数を増加させる
自動テストシステム及び方法を提供する。 【解決手段】 回路をテストするためのテストシステム
が2つの動作モード、即ち通常モードと加速モードとを
有している。本テストシステムは、第一スタートメモ
リ、第二スタートメモリ、第一シーケンスメモリ、第二
シーケンスメモリを有している。これらのスタートメモ
リはシーケンスメモリをアドレスするためのシーケンス
メモリアドレスを与え、且つこれらのシーケンスメモリ
はシーケンスメモリアドレスに応答してイベントシーケ
ンスを与える。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、回路をテストする
ための自動テスト装置に関するものであって、更に詳細
には、集積回路をテストするための自動テスト装置に関
するものである。このようなシステムの1つは米国特許
第5,212,443号、発明者WESTet a
l.、「自動テスト装置用イベントシーケンサ(Eve
nt Sequencer For Automati
c Test Equipment)」という名称の米
国特許に記載されており、それを引用により本明細書に
取込む。
【0002】
【従来の技術】この種類のシステムにおいては、テスト
中の装置即ち被検査(「DUT」又は単に「デバイス」
と呼称する)の各ピンにおいて、任意の与えられた時刻
において、高々以下の状態変化のうちの1つが発生する
ことが可能である。
【0003】高状態への駆動 低状態への駆動 オフ状態への駆動 高状態に対するテスト開始 低状態に対するテスト開始 Z状態(高インピーダンス状態)に対するテスト開始 テスト終了 通常、この種類のシステムにおいては、機能的データ
(テストベクトルとも呼称する)を格納するためにメモ
リが設けられている。従って、状態変化は、上に行なっ
たように直接的に状態によって表現することが可能であ
り、又は、機能的データメモリによって与えらえる機能
的データを参照して間接的に表現することも可能であ
る。例えば、nビットの機能的データが与えらえる場合
には、イベントタイプの領域は以下のイベントタイプを
包含することが可能である。
【0004】 D0 0への駆動 D1 1への駆動 DFn 機能的データのn番目のビットへの駆動 DFn_ 機能的データのn番目のビットの補元への駆動 DZ 駆動をターンオフ T0 0に対するテスト T1 1に対するテスト TFn 機能データのn番目のビットに対するテスト TFn_ 機能的データのn番目のビットの補元に対するテスト TZ 高インピーダンスに対するテスト X ウインドストローブターンオフ NOP 動作なし(ダミーイベント) 1つの「イベント」は状態−時間の対であり、特定の時
間において特定の状態への遷移が行なわれるべきである
ことを表わす。例えば、図2Aに示したように、ノンリ
ターンツーゼロ(NRZ)即ちゼロへの復帰なしフォー
マットは、以下のような1つのイベントをプログラミン
グすることによって特定することが可能である。
【0005】DF1 @ 1 ns これは、テスト期間境界マーカーTZ16によって示さ
れるテスト期間のスタート(開始)の後1ナノ秒(1n
s)の時間において機能的データの現在の第一ビットへ
ピンを駆動することをハードウエアへ指示し、該TZ
(時間ゼロ)はイベントが実行されるテスト期間に対す
るものである。図2Aは図示した如く連続する期間境界
マーカーTZ16を有する2つの連続するイベントシー
ケンスにおいて2つのイベントDF1 @ 1 nsを
示しており、最初のイベントにおいては、F1が1であ
り、従ってピンにおける信号17は高状態へ移行し、2
番目のイベントにおいては、F1が0であり、従ってピ
ンにおける信号17は低状態へ移行する。
【0006】集積回路装置の益々増加する速度を受入れ
るために、該装置をテストするための自動テスト装置は
動作速度を増加させねばならない。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、以上の点に
鑑みなされたものであって、上述した如き従来技術の欠
点を解消し、自動テスト装置に関してテスト期間を開始
させることの可能な周波数を増加させるテストシステム
及び方法を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】一般的に、一側面におい
ては、本発明は回路をテストするテストシステムを提供
することを特徴としている。本テストシステムは、通常
モードと加速モードとを含む動作モードを有している。
本テストシステムは、第一スタートメモリ、第二スター
トメモリ、第一シーケンスメモリ、第二シーケンスメモ
リを有している。該スタートメモリは、シーケンスメモ
リをアドレスするためのシーケンスメモリアドレスを供
給し、且つシーケンスメモリはシーケンスメモリアドレ
スに応答してイベントシーケンスを供給する。本テスト
システムが通常モードで動作している場合には、スター
トメモリは、両方のシーケンスメモリに対して単一のシ
ーケンスメモリアドレスを供給するために電子的に結合
(スイッチ)されており、且つ本テストシステムが加速
モードで動作している場合には、スタートメモリは、第
一スタートメモリが第一シーケンスメモリに対して第一
シーケンスメモリアドレスを供給し且つ第二スタートメ
モリが独立した第二シーケンスメモリアドレスを第二シ
ーケンスメモリへ供給するように電子的に結合される。
本発明の実施例においては、第一及び第二スタートメモ
リが同一の寸法であり、第一及び第二シーケンスメモリ
が同一の寸法であり、且つシーケンスメモリによって発
生されるワード(シーケンスメモリアドレスに応答し
て)は少なくとも2つのイベントを保持するのに十分な
幅である。
【0009】一般的に、別の側面においては、本発明
は、基本的なテスト期間を有しており、且つ、通常モー
ド又は加速モードのいずれかで稼動される場合に、各基
本的なテスト期間に対して第一及び第二シーケンスメモ
リの両方に対して何等かのシーケンスメモリアドレスを
供給するテストシステムを提供することを特徴としてい
る。
【0010】一般的に、別の側面においては、本発明
は、テストベクトルを供給する機能的データメモリを特
徴としており、該メモリは、通常モードにおいては、全
てのイベントシーケンスに対して完全なテストベクトル
を供給し、且つ加速モードにおいては、第一シーケンス
メモリからイベントシーケンスへ第一部分的テストベク
トルを供給し且つ第二シーケンスメモリからイベントシ
ーケンスへ第二部分的テストベクトルを供給する。一実
施例においては、機能的データメモリは少なくとも2ビ
ットの機能的データの完全なテストベクトル及び少なく
とも1ビットの機能的データの部分的テストベクトルを
供給する。別の実施例においては、機能的データメモリ
は、少なくとも4ビットの機能的データの完全なテスト
ベクトル及び少なくとも2ビットの機能的データの部分
的テストベクトルを供給する。
【0011】一般的に別の側面においては、本発明は、
第一、第二、第三、第四スタートメモリ及び第一、第
二、第三、第四シーケンスメモリを有するテストシステ
ムを特徴としている。本テストシステムが通常モードで
動作している場合には、これらのスタートメモリは、単
一のシーケンスメモリアドレスを4つのシーケンスメモ
リの全てへ供給するように電子的に結合され、本テスト
システムが加速モードで動作している場合には、これら
のスタートメモリは、最初の2つのスタートメモリが最
初の2つのシーケンスメモリへ第一シーケンスメモリア
ドレスを供給し、且つ次の2つのスタートメモリが次の
2つのシーケンスメモリへ独立した第二のシーケンスメ
モリアドレスを供給するように電子的に結合され、且つ
本テストシステムが二重加速モードで動作している場合
には、これらのスタートメモリは、各々がシーケンスメ
モリのうちの対応する1つへシーケンスメモリアドレス
を供給するように電子的に結合される。
【0012】本発明の利点としては以下のようなものが
ある。本発明は、構成要素の動作速度又は必要とされる
ローカルメモリの量を増加させることなしに、見掛けの
速度(即ち、単位時間において開始させることの可能な
イベントシーケンス又はテストベクトルの数)において
有用な増加を与える費用効果的な態様を提供している。
本発明は、イベントシーケンス内へのイベント及びテス
トベクトルをプログラミングする上でのユーザの柔軟性
を減少させることなしに、先のアーキテクチュアとの動
的互換性を提供している。
【0013】
【発明の実施の形態】図1Aを参照すると、集積化電子
回路をテストするための自動テストシステムがグローバ
ルセクション100と、通常被検査装置の全てのピンに
対して設けられているローカルセクションとしても知ら
れるパーピン(即ち、ピン毎)セクション101を有し
ている。グローバルセクション100はグローバルアド
レスカウンタ(AC)111を有しており、それは、グ
ローバルシーケンス制御メモリ(GSCM)121及び
パーピン機能的データメモリ(FDM)131をアドレ
スするグローバルアドレス信号を与える。グローバルセ
クション100は、更に、被検査装置(DUT)の駆動
側上にテスト期間境界をマーク付けするためのテスト期
間境界マーカー信号タイムゼロ(TD)16(それは、
グローバルタイムゼロクロック信号である)も与える。
それは、更に、被検査装置(DUT)のストローブ(テ
スト)側上に期間をマーク付けするためのテスト期間境
界マーカー信号STZ(不図示)、及びグローバル基本
的クロック信号14及びグローバル期間バーニアオフセ
ット(PV)18(両方とも図3に示してある)も与え
る。一方、期間バーニアオフセット(PV)18の代わ
りにグローバル期間バーニアアドレスを与えることが可
能であり、その場合には、ローカルセクション101
は、グローバル期間バーニアアドレスに従って期間バー
ニア値を与える期間バーニア格納部(不図示)を有して
いる。
【0014】グローバルシーケンス制御メモリ(GSC
M)121は、アドレスカウンタ(AC)111からの
グローバルアドレス信号に応答して、各テスト期間に対
し各ローカルセクション101へグローバルシーケンス
アドレス120を供給する。アドレスカウンタ(AC)
111に並列的に応答して、ローカル機能的データメモ
リ(FDM)131は、更に、各テスト期間に対し1つ
又はそれ以上のビットの機能的データを与える。
【0015】想起されるように、1つのイベントは、与
えられた状態に対する遷移が与えられた時間において発
生することを表わす状態と時間との対である。図2Aを
参照すると、ノンリターンツーゼロ(NRZ)即ちゼロ
への復帰なしのフォーマットは以下の如くにして1つの
イベントをプログラムすることによって特定することが
可能である。
【0016】DF1 @ 1 ns これは、そのイベントが実行されるテスト期間に対する
時間ゼロであるテスト期間境界マーカータイムゼロ(T
Z)16によって示されるテスト期間のスタート即ち開
始の後1ナノ秒(1ns)の時間において機能的データ
の現在の第一ビットへピンを駆動させることをハードウ
エアに対して指示する。図2Aは、図示したように連続
する期間境界マーカー(TZ)16を有する2つの連続
するイベントシーケンスにおいて2つのイベントDF1
@ 1 nsを示しており、最初のイベントにおいて
は、F1は1であり、従って信号17が高状態へ移行
し、2番目のイベントにおいては、F1が0であり、従
って信号17は低状態へ移行する。
【0017】図2Bに示したように、補元による取囲み
(SBC)フォーマットは、以下のイベントシーケンス
をプログラミングすることによって特定することが可能
である。
【0018】 DF1_ @ 2 ns DF1 @ 11 ns DF1_ @ 22 ns 図2Bにおいて、信号17は、F1の値が0(低状態)
である場合の前述したシーケンスから発生する。
【0019】図2Cに示したように、クロックピン信号
17は、以下のイベントシーケンスをプログラミングす
ることによって何等機能的データなしで発生させること
が可能である。
【0020】 D1 @ 0 ns D0 @ 4 ns D1 @ 8 ns D0 @ 12 ns 図2Dはより複雑なプログラムを示しており、それは、
DUTピンが補元による取囲み(SBC)波形で駆動さ
れ、次いでドライバがターンオフされ且つ出力が最初に
トライステートに対してストローブされ、次いで1に対
して、次いで駆動データと異なる場合のある1ビットの
機能的データに対してストローブされる場合の、I/O
サイクルに対する波形の発生を示している。これは以下
のイベントシーケンスによって特定される。
【0021】 DF1_ @ 2 ns 第一ビット機能的データ補元を駆動 DF1 @ 9 ns 第一ビット機能的データを駆動 DF1_ @ 18 ns 第一ビット機能的データ補元を駆動 DZ @ 22 ns 駆動をターンオフ TZ @ 24 ns トライステートに対するテスト X @ 26 ns ウインドストローブをターンオフ T1 @ 32 ns 1に対するテスト X @ 34 ns ウインドストローブをターンオフ TF2 @ 40 ns 第二ビット機能的データに対するテスト X @ 42 ns ウインドストローブをターンオフ 図2Dにおいては、F1が0(低状態)であり、且つス
トローブ領域は斜線を付けたボックスで示してある。図
2DはF2に対する両方の可能な値を示しているが、任
意のイベントシーケンスに対してただ1つの値が存在す
るに過ぎない。
【0022】これらの例においては、機能的データメモ
リ(FDM)131は、各テスト期間(即ち、各イベン
トシーケンス)に対して、少なくとも2ビットの機能的
データを送給することが理解される。機能的データメモ
リ(FDM)131は、1ビット、2ビット、4ビッ
ト、又はその他の任意の数のビットの幅を有するように
実現することが可能である。然しながら、以下に記載す
る理由から、ビット数が偶数であることが望ましい。更
に、本テストシステムは、機能的データのビットが状態
データとしてではなくマスクビットとして使用されるモ
ードにおいて動作させることが可能である。このモード
においては、マスクビットは、例えば、イベントシーケ
ンスにおけるテストイベントのテスト(例えば、TZ又
はT1)が実行されるべきであるか否かを表わすことが
可能である。そうでない場合には、それらはNOPとし
てシステムによって取扱われる。
【0023】本システムは、基本的クロック期間の整数
倍でないテスト期間を実現することが可能である。説明
の便宜上、本明細書においては、図3に示したように、
3.2nsのクロックサイクル及び10nsのテスト期
間を使用している(好適な時間はより短いものである場
合があり、即ち基本的クロックサイクルが2.5nsで
且つテスト期間が5nsである場合、然しながら、前述
した値は説明に便利なものであり、且つ選択した値は本
発明の原理に影響を与えるものではない)。
【0024】10nsのテスト期間が3.2nsの期間
を持った基本的クロック信号(CLK)14から展開さ
れる場合には、3個の基本的なクロックサイクルが9.
6nsの1つの期間を与え、一方4個の基本的なクロッ
クサイクルが12.8nsの1つの期間を与えることを
理解することが可能である。時間50における時間ゼロ
信号タイムゼロ(TZ)16は、テスト期間のスタート
即ち開始を表わしている。2番目の時間ゼロ信号タイム
ゼロ(TZ)16は時間52において発生され、それは
9.6nsにおけるクロック信号14の上昇エッジに対
応している。10nsテスト期間を実現するために、
0.4nsを表わすデジタル値が期間バーニアオフセッ
ト18として与えられる。従って、このオフセットは基
本的クロックサイクル14の一部を表わしている。後に
記載されるように、本システムはこの値を使用して時間
54における次のテスト期間の実際のスタート(開始)
を決定し、それは時間50から10nsである。
【0025】同様に、次の時間ゼロ信号タイムゼロ(T
Z)16は時間56において発生され、0.8nsの期
間バーニアオフセット18が時間58において10ns
期間を発生することを必要とする。このプロセスは、オ
フセット値が時間60においてスタートするテスト期間
を発生させるために2.8となるまで継続して行なわれ
る。次いで、次の期間上において、時間62における時
間ゼロ信号タイムゼロ(TZ)16と時間64における
次のものとの間には4個のクロックパルスが存在してい
る。この点において、オフセット値が適用されことはな
い。何故ならば、テスト期間の開始は基本的クロックパ
ルスの上昇エッジと整合されるからである。
【0026】従って、任意の期間(基本的クロック期間
よりも大)のテスト期間は、単に、期間バーニアオフセ
ット18がインクリメントされるステップ寸法を変化さ
せることによってプログラムすることが可能である(然
しながら、例えばパイプライン型メモリの帯域幅等のそ
の他の考慮事項が選択することの可能なテスト期間の範
囲を制限する場合がある)。
【0027】図1Aを再度参照すると、各テスト期間の
開始において、ローカルイベントシーケンススタートメ
モリ(ESSM)122がローカルイベントシーケンス
スタートアドレス124を与える。イベントシーケンス
スタートアドレス124はローカルイベントシーケンス
格納部(ESS)140へ付与され、ローカル装置ピ
ン、即ちローカルセクション101と関連しているピ
ン、へ付与されるべきイベントシーケンスを選択する。
実際的には、高いデータレートを達成するために、パイ
プライン型構造(不図示)が使用されて、図示した機能
的ブロック間において信号をパスさせる。
【0028】1個のイベントシーケンススタートアドレ
ス124がESS140から1個のワードのイベントを
選択する。ワード当たりの好適なイベントの数は4個で
あるが、主にコストに制約されて任意の範囲の数を使用
することが可能である。ESS140におけるイベント
は次の情報、即ちイベント時間、イベントタイプ、アド
レスインクリメントビット(イベントシーケンスにおけ
る最後のイベントに対してフラッグを立てるために使用
される)を担持している。イベントシーケンススタート
アドレス124を付与すると、複数個のイベントからな
るシーケンスが選択され(即ち、スタートアドレス12
4から開始してESS140内に格納されているも
の)、それらは選択されたワードにおける最初のイベン
トから開始され、且つ該シーケンスの最後のイベントを
介してワード内の次のイベントへ継続し(又はESS1
40におけるその次のワードにおけるイベントへ)、該
シーケンスの最後のイベントはインクリメントビットが
クリアであるものである。従って、各々が4個のイベン
トからなる64個のワードを持ったESS140は、最
大で256個のイベントからなる1個のシーケンスか、
又はシーケンス当たり最大で4個のイベントからなる6
4個のシーケンスを格納することが可能である。ESS
ワード内のイベントは処理を行なうために時間及びイベ
ントデコーダ142へパスされ、その場合にデコーダ当
たり1個のイベントがパスされる。
【0029】イベント時間は基本クロック14のサイク
ルの整数及び小数として表わされる。その小数が8ビッ
ト幅である場合には、基本クロック期間の1/256の
時間分解能を表わすことが可能である。時間及びイベン
トデコーダ142においては、イベント時間が期間バー
ニアオフセット18へ付加されて該イベントに対するサ
イクルカウント+バーニア時間を発生する。時間及びイ
ベントデコーダ142の数は、好適には、ESS140
内の1つのワードにおけるイベント数と一致する。
【0030】時間及びイベントデコーダ(TED)14
2は、更に、イベントタイプを処理し、それを古い状態
から新しい状態への完全な状態遷移を定義する「マーカ
ータイプ」へ変換させる。例えば、イベントタイプがD
F1であり、現在の機能的データ(即ち、現在のテスト
ベクトル)の第一ビットが「1」であり、且つピンドラ
イバの前の状態が低状態である場合には、そのマーカー
タイプは低状態から高状態への駆動(省略記号「D 1
<−0」で表わす)である。イベントタイプをマーカー
タイプへ変換する場合に、時間及びイベントデコーダ1
42はそのテスト期間に対する機能的データ(それは、
マスクデータである場合がある)及び該ピンに対してプ
ログラムされている前の状態を使用する。イベントシー
ケンスにおけるイベントをESS140内へロードする
プロセスは、それらが時間的な順番にあることを確保
し、従って前の状態は前の実効的なイベントから派生す
る(NOPであるか又はそれへ還元するイベントはピン
の状態を変化させるのに効果的なものではない)。時間
及びイベントデコーダ142は、更に、NOP(動作な
し)イベント、NOPイベントへ帰着するイベント(例
えば、該ピンをその前の状態へ駆動させるイベント)、
及びスキップされるべきその他のイベント(例えば、シ
ーケンスにおける最後のイベントとしてフラッグが立て
られたイベントに続くESSワード内のイベント)をと
り、且つそれらを処理すべきイベントのストリームから
取除く。
【0031】次のマーカータイプは上にリストしたイベ
ントタイプのデコーディングから得られる。
【0032】 D 1<−0 低状態から高状態への駆動 D 1<−Z 駆動オフから高状態へ駆動 D 0<−1 高状態から低状態へ駆動 D 0<−Z 駆動オフから低状態へ駆動 DZ 0 低状態から禁止状態へ駆動 DZ 1 高状態から禁止状態へ駆動 T0 低状態に対するテスト(テストに対する前の状態は常に 禁止状態へ駆動である) T1 高状態に対するテスト TZ トライステートに対するテスト X <− T0 低状態に対する終了テスト X <− T1 高状態に対する終了テスト X <− TZ トライステートに対する終了テスト 図1Bを参照すると、時間及びイベントデコーダ142
の各々は、それらのマーカータイプ及びサイクルカウン
ト+バーニア時間をウインドミル(windmill)
マルチプレクサ(WMUX)150を介してバレル(B
ARREL)回路(BC)200へパスさせる。ウイン
ドミルマルチプレクサ(WMUX)150は、イベント
シーケンス格納部140におけるワード境界を考慮する
ことなしに、ラウンドロビン態様でバレル回路(BC)
200に対してデコードしたイベントを割当てる。この
ことは、2つのカウンタで達成される。1つのカウンタ
はESS140の現在のワードにおけるイベントを介し
てステップ動作し、NOPイベントをスキップし且つ新
たなワードが表われる場合には最初から再スタートす
る。他方のカウンタはバレル回路(BC)200の周り
にサクイル動作するために、バレル回路(BC)200
の数のモジュロをカウントする。このように、ウインド
ミルマルチプレクサ(WMUX)150は、時間シーケ
ンスにおいて次の実際のイベントを有する時間及びイベ
ントデコーダ142を最も最近でなく使用されたバレル
回路(BC)200へ接続させる。
【0033】図4を参照すると、各バレル回路200は
マーカータイプ(MRK)302及びウインドミルマル
チプレクサ(WMUX)150を介して受取ったサイク
ルカウント+バーニア時間(TM)304に対する最終
的な時間キャリブレイションを実行する。各バレル回路
(BC)200はキャリブレイション格納部(CALS
T)310を有している。マーカータイプ(MKR)3
02に基づいて、キャリブレイション格納部(CAL
ST)310はキャリブレイションオフセット312を
供給し、それは加算器(ADD)314においてサイク
ルカウント+バーニア時間(TM)304へ加算されて
そのイベントに対してキャリブレイションした時間を発
生する。このキャリブレイションされた時間は、整数部
分(IP)316と小数部分(FP)317とを有して
いる。8ビットの小数の場合には、キャリブレイション
した時間は、基本クロック期間の256における1つの
分解能を有している。3.2nsの基本クロック期間の
場合には、分解能は12.5ピコ秒(ps)である。
【0034】所要の分解能を達成するために、以下に説
明するように、線形遅延線を使用する。約10nsの再
トリガレートを有する遅延線の場合、10nsテスト期
間において4つのイベントが発生することを可能とする
ために4本の遅延線(従って、4個のバレル回路20
0)が使用される。全体的により高速のイベントレート
の場合には、より多くの又はより高速の遅延線が必要と
される。
【0035】イベントタイプ及びイベント時間に加え
て、イベントシーケンスは、それと関連して、期間カウ
ンタ数(PCT)(不図示)を有している。このこと
は、イベントのテスト期間の終了後にストローブ(テス
ト)イベントが発生することを可能とする。例えば、D
UTにおけるメモリからの応答を必要とするイベントシ
ーケンスにおいて、その応答(それはDUTの速度に依
存する)は、イベントシーケンスの期間の終了後に発生
する場合がある。その理由のために、該応答は、イベン
トシーケンスのテスト期間の終了後の時間を有するスト
ローブ(テスト)イベントによって読取られねばならな
い。そのために、期間カウンタ113が設けられてお
り、且つPCTが各テスト期間(即ち、各アドレスはE
SSM122によって与えられる)の開始時において期
間カウンタの数のモジュロをインクリメントさせてその
テスト期間に対する期間カウンタとして期間カウンタ1
13のうちの次のものを識別する。衝突を回避するため
に、期間カウンタの数×テスト期間の長さは、イベント
シーケンスにおける最大のイベント時間を超えるものと
すべきである。
【0036】テスト期間の開始時において、期間バーニ
アオフセット18が保存され且つ新たなカウントがテス
ト期間の期間カウンタ(PC)113においてスタート
され、それは基本クロック14の全ての計時でインクリ
メントされる。バレル回路200においては、キャリブ
レイションしたイベント時間の整数部分316が比較器
(COMP)202によってカウンタ113と比較され
る。それらが等しい場合には、キャリブレイションした
時間の小数部分317が線形遅延線(LDL)204を
使用して実現される。比較器202において一致が存在
する場合には、線形ランプ(LR)206をトリガし、
それは基本クロックサイクルにおいてその範囲にわたり
線形的に上昇する信号を発生する。キャリブレイション
した時間の小数部分はデジタル・アナログ変換器(DA
C)208においてアナログ形態へ変換され、それはキ
ャリブレイションされており、従って255(8ビット
小数を仮定)のDAC206への入力は1つの基本クロ
ックサイクル時間における線形ランプ206の出力か
ら、ランプ206をトリガした後の1ビットの分解能
(12.5ps)を差し引いたものに等しい出力を発生
する。従って、比較器210の出力はキャリブレイショ
ンしたイベント時間におけるエッジである。
【0037】図示していないものは、ピンの状態がテス
トされるストローブ(テスト)側上のイベントの処理で
ある。その論理は、ラウンドトリップの遅延時間がキャ
リブレイションした時間を計算する場合に付加されてお
り且つ信号STZ(不図示)がテスト期間境界を定義す
るために使用されているという点を除いて、駆動側論理
に対応している。別個の線形遅延線(不図示)が設けら
れており、ストローブイベントのタイミングをとるため
に各バレル回路200において1本づつ設けられてい
る。ラウンドトリップ遅延は比較器202と別個の遅延
線との間に挿入されたシフトレジスタにおいて実現され
ており、従って比較器202において発生されたエッジ
は、それが別個の遅延線をトリガする前に、プログラム
可能な数のクロックサイクルだけ遅延される。このラウ
ンドトリップ遅延は、一般的には、例えばケーブル長さ
等のセットアップに特定のファクタを反映させるため
に、特定のテストセットアップに対して固定されてい
る。イベントシーケンスに対するPCT値及び対応する
期間カウンタ113を使用して、ストローブイベントを
テスト期間及びイベントと関連づけさせている。
【0038】加速モード 上述したアーキテクチュアは、加速モードにおいて、基
本クロック14の周波数又はテストシステム構成要素の
速度を増加させることなしに、見掛けのテストレート
(速度)を2倍とさせるアーキテクチュアの1つの動作
モード(通常モ−ド)として実現することが可能であ
る。図5を参照すると、上述したようなテストシステム
が、信号AM=1である場合に加速モードで動作され、
且つ信号AM=0である場合に通常モードで動作され
る。図5に示したアドレス及びその他の信号は、信号帯
域幅に対して適切な任意の種類の信号経路を介して伝送
させることが可能である。
【0039】通常モードにおいて、グローバルアドレス
GA01及びグローバル高次アドレスビットGA01_
MSBがイベントシーケンススタートメモリESSM0
1350及びESSM23 352へ供給される。AM
=0である場合には、セレクタ340がアドレスGA0
1(セレクタの0入力)をESSM23へパスさせる。
従って、同一のグローバルアドレスGA01がESSM
01及びESSM23の両方へ供給され、且つ高次アド
レスビットGA01_MSBの値に依存して、一方又は
他方の出力が使用される。通常モードにおいて、ゲート
355の出力はGA01_MSBである。GA01_M
SBが0である場合には、ゲート355の出力は0であ
り且つセレクタ354はその0入力、即ちESSM01
からのスタートアドレス、をそれを介してイベントシー
ケンス格納部ESS01へパスさせ、且つセレクタ35
6を介してイベントシーケンス格納部ESS23へパス
させる(これらのイベントシーケンス格納物はESS0
1及びESS23として指定されているが、その理由
は、通常モードにおいて1個のメモリとして一緒に使用
される場合には、それらは、4イベントワードESS1
40に対応するイベント0及び1(ESS01 36
0)及びイベント2及び3(ESS23 362)であ
るものに対するイベントシーケンススタートアドレスを
担持するからである。ESSM01及びESSM23の
指定も同一の理由から選択されている)。
【0040】GA01_MSBが通常モードにおいて1
である場合には、ゲート355の出力は1であり、且つ
それはESS01及びESS23の両方へ供給されるE
SSM23からのスタートアドレスである。いずれの場
合においても、AM=0である場合には、GA01及び
GA01_MSBの結合によって形成されるグローバル
アドレスが、イベントシーケンス格納部ESS01及び
ESS23の両方へ供給されるスタートアドレスを選択
し、それらは、各々一対の時間及びイベントデコーダ1
42の各々に対して1個づつ2つのイベントを供給す
る。従って、AM=0である場合には、本テストシステ
ムは前述した如くに動作する。
【0041】一方、加速モードにおいては、AM=1で
ある場合には、ESSM01によって発生されたスター
トアドレスがGA01によって選択され、ESSM23
によって発生されるスタートアドレスはGA23によっ
て選択され、且つGA01_MSBは何の効果もない。
何故ならば、加速モードにおいてゲート355の出力は
常に0だからである。従って、ESS01及びESS2
3は2つの異なるアドレスが与えられ、且つAM=0の
場合にスタートすることが可能である与えられた時間枠
内において2倍のテスト期間をスタートさせることが可
能である。
【0042】図5から明らかなように、GA01_MS
B及びGA23は両方共がアクティブ即ち活性状態とな
ることはない。加速モードにおいては、GA23が使用
されるがGA01_MSBは使用されず、通常モードに
おいては、GA01_MSBが使用されるが、GA23
は使用されない。従って、パーピンセクション101に
対してグローバルアドレスを供給するために必要とされ
るデータ経路の幅を最小とするために、GA23のビッ
トのうちの1つは通常モードにおいてGA01_MSB
を与えるために二重の役目を果たすことが可能である。
【0043】前述したように、各イベントはアドレスイ
ンクリメントビットを担持しており、それは、イベント
シーケンスを終了させる最後のイベントに対してフラッ
グをたてるために使用される。加速モードにおいては、
ESS01及びESS23のイベントシーケンスは別個
に終了され、主要な期間を共用するイベントシーケンス
が同一の長さである必要はない。一方、通常モードにお
いては、イベントシーケンスはESS01又はESS2
3のいずれかで終了させることが可能であり、且つその
終了は次のイベントシーケンスの開始を喚起させる。
【0044】加速モードが選択されたか否かに拘らずに
全イベントシーケンススタートメモリ(ESSM01及
びESSM23)が使用される場合に再形態特定を行な
うことを可能とするために、グローバルシーケンス制御
メモリ121は幅を拡張させて2倍の数のアドレスを提
供し、従ってESSM01及びESSM23の両方にお
ける全ての位置は別個にアドレスすることが可能であ
る。
【0045】バレル回路200において計算された時
間、従ってESS140(又は加速モードにおいてのE
SS01及びESS23)において格納されているイベ
ントのイベント時間は、全て主要期間と呼ばれるものを
定義する信号TIME ZERO(タイムゼロ)16
(即ちストローブイベントに対する信号STZ)を参照
して計算される(従って、定義される)。加速モードに
おいてESS23におけるイベントに対する時間基準と
して作用させるために使用期間の半分に対し境界マーカ
ー信号を実現することが可能である。然しながら、この
ことは必ずしも必要ではない。その代わりに、テストエ
ンジニアによって表現されたテストプログラムをテスト
システム用の命令へ変換させるテストコンパイルプロセ
ス(コンピュータプログラム)は、テストエンジニアが
加速モードでテストを行なうことを要求する場合には、
奇数イベントシーケンス格納部(ESS23)内に格納
されているイベントシーケンスをとり且つそれらのイベ
ント時間を使用期間の半分だけインクリメント即ち増分
させる。従って、テストエンジニアは実際の時間0周波
数の2倍の早さのテスト期間周波数でイベントシーケン
スを容易にプログラムすることが可能である。
【0046】通常モードにおいては、各テスト期間に対
して機能的メモリが4ビットの機能的データを与える場
合には、1個の完全なテストベクトルを構成するビット
は全て各時間及びイベントデコーダ142へ供給され
る。加速モードにおいては、ESS01からのイベント
シーケンスはESS23からのものとは独立的であり、
且つ論理的にこれらのイベントシーケンスに対するテス
トベクトルも独立的である。加速モードにおいて独立し
たテストベクトルを与えるために、機能的データメモリ
131は、ESSM122及びESS140を分割した
のと同一の態様で分割させることが可能であり、それに
より加速モードにおいて独立したより短いテストベクト
ル(部分的テストベクトル)を与えることが可能である
(2ビット部分的テストベクトルにおける機能的データ
の2ビットが図2Dに示したシーケンスをプログラムす
るのに充分なものであることを想起すべきである)。然
しながら、テストプログラムコンパイルプロセスにおい
てプログラムによって同一の効果を達成することが可能
である。例えば、テストエンジニアがイベントシーケン
ス当たり2つのデータビットをもったイベントシーケン
スで加速モードに対するテストをプログラムする場合
に、エンジニアのプログラムにおける全てのイベントシ
ーケンスはF1及びF2(これらの記号は前に定義して
ある)のみを参照するものである。テストシステムにお
ける動作のために変換されると、奇数イベントシーケン
ス格納部(ESS23)へ割当てられたイベントシーケ
ンスは夫々F3及びF4を参照すべく修正され、該デー
タはそのように機能データメモリ131内にロードさ
れ、且つ機能データメモリ131は各テスト期間に対し
4ビットのデータを供給すべく構成される。このよう
に、加速モードをサポートするために、バレル回路20
0又は機能的データメモリ131に対する変更が必要と
されることはない。
【0047】上述した技術を使用して、イベントシーケ
ンススタートメモリ、イベントシーケンス格納部、及び
機能的データメモリの出力を再度分割させ、且つグロー
バルシーケンス制御メモリの幅を再度増加させて、イベ
ントシーケンス当たり4分の1の機能的データで4倍の
イベント期間周波数を与えることが可能である。このテ
スト期間周波数における4倍の増加は二重加速モードと
して言及することが可能である。
【0048】図6を参照すると、上述したようなテスト
システムは、信号671が1である場合に二重加速モー
ド(DAM)で動作され、信号672が1である場合に
加速モード(AM)で動作され、且つ信号673が1で
ある場合に通常モード(NM)で動作される。信号67
1,672,673のうちの1つのみがある時刻におい
て1である。ORゲート674の出力は、テストシステ
ムが通常モードであるか加速モードである場合に、1で
ある。ORゲート675の出力は、テストシステムが加
速モードであるか又は二重加速モードである場合に1で
ある。アドレス経路GA0,GA1,GA2,GA3は
グローバルセクション100からアドレスを与える。説
明の便宜上、これら4つの経路の各々は10個のビット
を与えるものとして取られている。又、従来技術と同様
に、GA0,GA1,GA2,GA3の用語は、アドレ
ス経路上のアドレスを意味するものとして使用すること
が可能である。
【0049】二重加速モードにおいては、4つのイベン
トシーケンススタートメモリ、即ちESSM0 65
0、ESSM1 651、ESSM2 652、ESS
M3653の各々は、独立した10ビット(例えば)
「アドレスによってアドレスされ、従ってGA0,GA
1,GA2,GA3の各々はメモリESSM0,ESS
M1,ESSM2,ESSM3の各々において1Kワー
ド(該アドレスの寸法の対応する励磁的な値)をアドレ
スするために10ビットアドレスを供給せねばならな
い。
【0050】加速モードにおいて、4つのイベントシー
ケンススタートメモリは対毎、即ちESSM0とESS
M1、及びESSM2とESSM3、に動作する。従っ
て、1Kメモリの場合には、2つの独立した11ビット
アドレスが必要とされる。図6に示したように、これら
の2つのアドレスは、各々が10ビットを与えるGA0
及びGA2と、各アドレスに11番目のビットを与える
GA1及びGA3における20個のビットのうちのいず
れかからとることの可能な2つのビットによって与えら
える。加速モードにおいてそれらの役目を表わすため
に、即ち、GA0及びGA2の高次ビットとして機能す
るために、これら2つのビットはGA0MSB及びGA
2MSBとして示されている。
【0051】通常モードにおいて、4つのイベントシー
ケンススタートメモリ、即ちESSM0,ESSM1,
ESSM2,ESSM3、は1つのメモリとして動作す
る。従って、1Kメモリの場合には、1個12ビットア
ドレスが必要とされる。図6に示したように、12ビッ
トアドレスのうちの10ビットはGA0によって与えら
れ、且つその他の2つのビットはGA1,GA2,GA
3における30個のビットのうちのいずれかからとるこ
とが可能である。これら2つのビットはGA0MSB及
びGA0SMSBとして指定され、それらはそのアドレ
スの最大桁ビット及び2番目の最大桁ビットとして機能
することを表わす(注意すべきことであるが、加速モー
ドにおいてGA0MSBとして使用されるアドレスビッ
トは、必要であるというわけではないが、通常モードに
おいてGA0MSBとして使用されるものと同一のビッ
トとすることが可能である)。
【0052】通常モードにおいてアドレスGA0はAN
Dゲート610,613,616を介してゲート動作さ
れ、次いでORゲート614,616,618を介して
ゲート動作され、一方アドレスGA1,GA2,GA3
はANDゲート612,615,617,619によっ
てブロックされる。従って、同一のアドレスは通常モー
ドにおいて4個のメモリESSM0 650,ESSM
1 651,ESSM2 652,ESSM3 653
の各々へ供給される。これら4個のメモリのうちの1つ
の出力がセレクタ655の動作によってイベントシーケ
ンス格納部ESS0 660,ESS1 661,ES
S2 662,ESS3 663へのアドレスとして供
給される。セレクタ655はイベントシーケンススター
トメモリへ供給された12ビットアドレスの高次ビット
として動作する2つのビットGA0MSB及びGA0S
MSBの状態に従って、その4つの入力(ESSM0,
ESSM1,ESSM2,ESSM3)のうちの1つを
選択する。セレクタ655の出力はANDゲート63
3,637,638,642によってゲート動作されて
4つのイベントシーケンス格納部へ供給され、次いでO
Rゲート632,636,640,644を介してゲー
ト動作され、一方これら4つのイベントシーケンス格納
部へのその他の経路はANDゲート630,631,6
34,635,639,641,643,645によっ
てブロックされる。従って、通常モードにおいては、同
一のアドレスが4つのイベントシーケンス格納部ESS
0 660,ESS1 661,ESS2 662,E
SS3 663の各々へ供給される。
【0053】加速モードにおいて、アドレスGA0はA
NDゲート610を介して、次いでORゲート611を
介してゲート動作され、且つアドレスGA2はANDゲ
ート615及び617を介して次いでORゲート618
を介してゲート動作され、一方アドレスGA1及びGA
3はANDゲート612及び619によってブロックさ
れる。従って、加速モードにおいては、GA0はメモリ
ESSM0 650及びESSM1 651の各々へ供
給され、且つGA2はメモリESSM2 652及びE
SSM3 653の各々へ供給される。ESSM0及び
ESSM1の一方の出力はセレクタ654の動作によっ
てイベントシーケンス格納部ESS0660及びESS
1 661へのアドレスとして供給される。同様に、E
SSM2及びESSM3のうちの一方の出力は、セレク
タ656の動作によってイベントシーケンス格納部ES
S2及びESS3へのアドレスとして供給される。セレ
クタ654は、イベントシーケンススタートメモリES
S0及びESS1へ供給される11ビットアドレスの高
次ビットとして動作するビットGA0MSBの状態にし
たがって、その2つの入力(ESSM0又はESSM
1)のうちの一方を選択する。同様に、セレクタ656
は、イベントシーケンススタートメモリESS2及びE
SS3へ供給される11ビットアドレスのうちの高次ビ
ットとして動作するビットGA2MSBの状態に従っ
て、その2つの入力(ESSM2又はESSM3)のう
ちの一方を選択する。セレクタ654及び656の出力
は、ANDゲート631,634,641,643及び
次いでORゲート632,636,640,644を介
して該4つのイベントシーケンス格納部に対してゲート
動作され、一方該4つのイベントシーケンス格納部への
その他の経路はANDゲート630,633,635,
637,638,639,642,645,によってブ
ロックされる。従って、加速モードにおいては、1つの
アドレスがイベントシーケンス格納部ESS0 660
及びESS1 661の対の各々へ供給され、且つ独立
したアドレスが一対のイベントシーケンス格納部ESS
2 662及びESS3 663の各々へ供給される。
【0054】二重加速モードにおいては、アドレスGA
0が直接的にESSM0 650へ供給され(何故なら
ば、それらは他の2つのモードにあるから)、アドレス
GA1はANDゲート612を介し次いでORゲート6
11を介してESSM1 651へゲート動作され、且
つアドレスGA2はANDゲート615を介して且つ次
いでORゲート614を介してESSM2 652に対
してゲート動作され、且つアドレスGA3はANDゲー
ト619を介して且つ次いでORゲート618を介して
ESSM3 653に対してゲート動作され、一方その
他のアドレスはANDゲート610,613,616,
617によってその他のイベントシーケンススタートメ
モリからブロックされる。従って、二重加速モードにお
いては、GA0のみがESSM0 650へ供給され、
GA2のみがESSM1 651へ供給され、GA1の
みがESSM2 652へ供給され、且つGA3のみが
ESSM3 653へ供給される。同様に、ANDゲー
ト630,635,639,645によって、夫々、E
SSM0の出力のみがESS0 660へ供給され、E
SSM1の出力がESS1 661のみへ供給され、E
SSM2の出力がESS2 662のみへ供給され、且
つESSM3の出力はESS3 663のみへ供給され
る。セレクタ654,656,656に介して延在する
その他の回路経路は全てANDゲート631,633,
634,637,638,641,642,643によ
ってブロックされる。従って、二重加速モードにおいて
は、独立したアドレスがイベントシーケンス格納部ES
S0 660,ESS1 661,ESS2 662,
ESS3 663の各々へ供給される。
【0055】図6に示したアドレス及びその他の信号
は、信号帯域幅にとって適切な任意の種類の信号経路を
介して伝送させることが可能であることを理解すべきで
ある。又、パーピンセクション101におけるメモリ
は、同一の寸法である必要はなく、又それらは同数の部
分に分割され又同一の寸法に分割されることが必要なも
のでないことに注意すべきである。
【0056】加速モードを使用することによって、テス
トシステムの見掛けの速度(単位時間において開始させ
ることの可能なイベントシーケンスの数)が2倍とな
り、その際に、必要とされるローカルメモリの量を増加
させたり構成要素の動作速度を増加させることは必要で
はなく且つ先のアーキテクチュアと互換性を維持してお
り、且つイベント及び機能的データをイベントシーケン
スに結合する場合のユーザの柔軟性を低減させるもので
もない。例えば10ns毎に1つのイベントシーケンス
を開始させることに制限されることなく、ユーザはその
時間において2つのイベントシーケンスを開始させるこ
とが可能であり、その場合に別個のグローバルシーケン
スアドレスGA01及びGA23及び別個の機能的デー
タを使用する。このテストサイクル速度の増加における
コストは、単一期間イベントシーケンスが、ESS14
0の各ワード内に格納されているイベントの数ではな
く、ESS01又はESS23の各ワード内に格納され
ているイベントの数を有するに過ぎないということであ
る。
【0057】本発明は、物理的資源をグローバルセクシ
ョンとローカルセクションとに分割することのないアー
キテクチュア、局所的に複製されたアドレス資源でグロ
ーバルアドレスの機能を与えるアーキテクチュア、又は
グローバル又は共通に割当てられたメモリからメモリ資
源内のローカルメモリ機能を与えるアーキテクチュアに
おいて実現することが可能である。
【0058】以上、本発明の具体的実施の態様について
詳細に説明したが、本発明は、これら具体例にのみ限定
されるべきものではなく、本発明の技術的範囲を逸脱す
ることなしに種々の変形が可能であることは勿論であ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1A】 テストシステムの一部を示した概略ブロッ
ク図。
【図1B】 テストシステムの一部を示した概略ブロッ
ク図。
【図2A】 あるイベントシーケンスに対してテストシ
ステムによって発生されたテストパターンを示したグラ
フ図。
【図2B】 あるイベントシーケンスに対してテストシ
ステムによって発生されたテストパターンを示したグラ
フ図。
【図2C】 あるイベントシーケンスに対してテストシ
ステムによって発生されたテストパターンを示したグラ
フ図。
【図2D】 あるイベントシーケンスに対してテストシ
ステムによって発生されたテストパターンを示したグラ
フ図。
【図3】 クロック信号を示した概略図。
【図4】 バレル回路とも呼ばれる一致及び線形遅延線
回路を示した概略ブロック図。
【図5】 通常モード及び加速モードで改善したテスタ
タイミングを与えるべく接続されたメモリを示した概略
ブロック図。
【図6】 通常モード、加速モード、及び二重加速モー
ドで改善したテスタタイミングを与えるべく接続したメ
モリを示した概略ブロック図。
【符号の説明】
100 グローバルセクション 101 パーピンセクション 111 グローバルアドレスカウンタ(AC) 121 グローバルシーケンス制御メモリ(GSCM) 131 パーピン機能的データメモリ(FDM) 140 ローカルイベントシーケンス格納部(ESS) 142 イベントデコーダ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 エグバート グリーブ アメリカ合衆国, カリフォルニア 94022, ロス アルトス, アーバー アベニュー 1400

Claims (11)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 通常モードと加速モードとを含む動作モ
    ードを有しており回路をテストするためのインベントシ
    ーケンスを与えるテストシステムにおいて、 (a)第一スタートメモリ及び第二スタートメモリ、 (b)各々がシーケンスメモリアドレスに応答してイベ
    ントシーケンスを与える第一シーケンスメモリ及び第二
    シーケンスメモリ、 (c)本システムの動作モードに応答する手段であっ
    て、前記通常モードにおいては前記第一スタートメモリ
    及び第二スタートメモリを前記第一シーケンスメモリ及
    び第二シーケンスメモリの両方へ電子的に結合させ従っ
    て前記第一及び第二スタートメモリから単一のシーケン
    スメモリアドレスが前記第一及び第二シーケンスメモリ
    へ供給され、且つ前記加速モードにおいては前記第一ス
    タートメモリを前記第一シーケンスメモリへ電子的に結
    合させ且つ前記第二スタートメモリを前記第二シーケン
    スメモリへ電子的に結合させ、従って第一シーケンスメ
    モリアドレスが前記第一スタートメモリによって前記第
    一シーケンスメモリへ供給され且つ独立した第二シーケ
    ンスメモリアドレスが前記第二スタートメモリによって
    前記第二シーケンスメモリへ供給される本テストシステ
    ムの動作モードに応答する手段、を有することを特徴と
    するテストシステム。
  2. 【請求項2】 請求項1において、前記第一スタートメ
    モリ及び第二スタートメモリが同一の寸法であることを
    特徴とするテストシステム。
  3. 【請求項3】 請求項1において、前記第一シーケンス
    メモリ及び第二シーケンスメモリが同一の寸法であるこ
    とを特徴とするテストシステム。
  4. 【請求項4】 請求項3において、前記第一シーケンス
    メモリが少なくとも2つのイベントを保持するのに充分
    な幅の1個のワードを発生することを特徴とするテスト
    システム。
  5. 【請求項5】 請求項4において、本テストシステムは
    基本的テスト期間上で動作し、且つ前記通常モード及び
    加速モードの両方において稼動されるテスト期間中に、
    各基本的テスト期間に対し、あるシーケンスメモリアド
    レスが前記第一シーケンスメモリ及び第二シーケンスメ
    モリの両方へ供給されることを特徴とするテストシステ
    ム。
  6. 【請求項6】 請求項5において、更に、テストベクト
    ルを供給する機能的データメモリが設けられており、前
    記機能的データメモリは、各基本的テスト期間に対し
    て、前記通常モードにおける完全なテストベクトルにお
    いて少なくとも2ビットの機能的データを与えることを
    特徴とするテストシステム。
  7. 【請求項7】 請求項6において、前記機能的データメ
    モリが、各基本的テスト期間に対して、前記通常モード
    における完全なテストベクトルにおいて少なくとも4ビ
    ットの機能的データを与えることを特徴とするテストシ
    ステム。
  8. 【請求項8】 請求項1において、更に、二重加速モー
    ドを有しており、本テストシステムが、更に、 (a)第三スタートメモリ及び第四スタートメモリ、 (b)各々がシーケンスメモリアドレスに応答してイベ
    ントシーケンスを与える第三シーケンスメモリ及び第四
    シーケンスメモリ、 (c)本テストシステムの動作モードに応答する手段で
    あって、前記通常モードにおいて、前記第一、第二、第
    三及び第四スタートメモリを前記第一、第二、第三及び
    第四シーケンスメモリの全てへ電子的に結合させ、従っ
    て単一のシーケンスメモリアドレスが前記第一、第二、
    第三及び第四スタートメモリから前記第一、第二、第三
    及び第四シーケンスメモリへ供給され、且つ前記加速モ
    ードにおいては、前記第一及び第二スタートメモリを前
    記第一及び第二シーケンスメモリの両方へ電子的に結合
    させ且つ前記第三及び第四スタートメモリを前記第三及
    び第四シーケンスメモリの両方へ電子的に結合させ、従
    って第一シーケンスメモリアドレスが前記第一及び第二
    スタートメモリによって前記第一及び第二シーケンスメ
    モリへ供給され且つ独立した第二シーケンスメモリアド
    レスが前記第三及び第四スタートメモリによって前記第
    三及び第四シーケンスメモリへ供給され、且つ前記二重
    加速モードにおいては、前記第一、第二、第三及び第四
    スタートメモリの各々を夫々前記第一、第二、第三及び
    第四シーケンスメモリへ電子的に結合させ、従って第一
    シーケンスメモリアドレスが前記第一スタートメモリに
    よって前記第一シーケンスメモリへ供給され、独立した
    第二シーケンスメモリアドレスが前記第二スタートメモ
    リによって前記第二シーケンスメモリへ供給され、独立
    した第三シーケンスメモリアドレスが前記第三スタート
    メモリによって前記第三シーケンスメモリへ供給され、
    且つ独立した第四シーケンスメモリアドレスが前記第四
    スタートメモリによって前記第四シーケンスメモリへ供
    給される本システムの動作モードに応答する手段、を有
    することを特徴とするテストシステム。
  9. 【請求項9】 請求項8において、更に、テストベクト
    ルを供給する機能的データメモリが設けられており、前
    記機能的データメモリは、各基本的テスト期間に対し
    て、前記通常モードにおける完全なテストベクトルにお
    いて少なくとも2ビットの機能的データを与えることを
    特徴とするテストシステム。
  10. 【請求項10】 請求項1において、更に、 (a)第一グローバルアドレス用の第一グローバルアド
    レス経路、第二グローバルアドレス用の第二グローバル
    アドレス経路、及びグローバル高次アドレスビット用高
    次ビットアドレス経路が設けられており、 (b)前記第一スタートメモリが前記第一グローバルア
    ドレス経路へ結合されており、 (c)前記第二スタートメモリが、本テストシステムの
    動作モードに応答する第一セレクタを介して、前記動作
    モードが前記通常モードである場合には前記第一グロー
    バルアドレス経路へ結合させ、又前記動作モードが前記
    加速モードである場合には前記第二グローバルアドレス
    経路へ結合され、 (d)その第一入力として前記第一スタートメモリの出
    力及びその第二入力として前記第二スタートメモリの出
    力を受取るべく接続されており且つ前記動作モード及び
    グローバル高次アドレスビットに応答して前記動作モー
    ドが前記加速モードである場合にはその出力としてその
    第一入力を供給し且つ前記動作モードが前記通常モード
    である場合には前記グローバル高次アドレスビットの値
    に従ってその出力としてその第一又は第二入力のいずれ
    かを供給する第二セレクタが設けられており、 (e)その第一入力として前記第二セレクタの出力を且
    つその第二入力として前記第二スタートメモリの出力を
    受取るべく接続されており且つ前記動作モードに応答し
    て前記動作モードが前記通常モードである場合にはその
    出力としてその第一入力を又前記動作モードが前記加速
    モードである場合にはその第二入力を供給する第三セレ
    クタが設けられており、 (f)その第一入力として本テストシステムの動作モー
    ドを且つその第二入力として前記グローバル高次アドレ
    スビットを受取るべく接続されているゲート回路であっ
    て、その出力は、前記動作モードが前記通常モードであ
    る場合には前記グローバル高次アドレスビット入力であ
    り且つ前記動作モードが前記加速モードである場合には
    0であるゲート回路、 (g)前記第二セレクタによって出力されたシーケンス
    メモリアドレスに応答してイベントシーケンスを供給す
    る第一シーケンスメモリが設けられており、 (h)前記第三セレクタによって出力されたシーケンス
    メモリアドレスに応答してイベントシーケンスを供給す
    る第二シーケンスメモリが設けられている、ことを特徴
    とするテストシステム。
  11. 【請求項11】 請求項8において、更に、 (a)第一グローバルアドレス用第一グローバルアドレ
    ス経路、第二グローバルアドレス用第二グローバルアド
    レス経路、第三グローバルアドレス用第三グローバルア
    ドレス経路、第四グローバルアドレス用第四グローバル
    アドレス経路が設けられており、 (b)本テストシステムの動作モードに応答し且つ前記
    第一、第二、第三、第四グローバルアドレス経路を前記
    第一、第二、第三、第四スタートメモリへ結合させ従っ
    て前記通常モードにおいて同一のアドレスが前記第一、
    第二、第三、第四スタートメモリへ供給され、且つ前記
    加速モードにおいて第一アドレスが前記第一及び第二ス
    タートメモリへ供給され且つ異なる第二アドレスが前記
    第三及び第四スタートメモリへ供給され、且つ前記二重
    加速モードにおいて別個のアドレスが前記第一、第二、
    第三、第四スタートメモリの各々へ供給される論理回路
    が設けられており、 (c)本テストシステムの動作モードに応答し且つ前記
    第一、第二、第三、第四スタートメモリを前記第一、第
    二、第三、第四シーケンスメモリへ結合させ、従って前
    記通常モードにおいて、同一のアドレスが前記第一、第
    二、第三、第四シーケンスメモリへ供給され、且つ前記
    加速モードにおいて、第一アドレスが前記第一及び第二
    シーケンスメモリへ供給され且つ異なる第二アドレスが
    前記第三及び第四シーケンスメモリへ供給され、且つ前
    記二重加速モードにおいて、別個のアドレスが前記第
    一、第二、第三、第四シーケンスメモリの各々へ供給さ
    れる論理ゲートが設けられている、ことを特徴とするテ
    ストシステム。
JP8240710A 1995-09-12 1996-09-11 改良型テスタタイミングアーキテクチュア Pending JPH09127198A (ja)

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Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10171676A (ja) * 1996-12-10 1998-06-26 Toshiba Corp マイクロプロセッサのテスト容易化回路
DE19651334A1 (de) * 1996-12-10 1998-06-25 Ericsson Telefon Ab L M Betriebstestvorrichtung und Verfahren zur Ausführung eines Betriebstests für ein zu testendes System
US5835506A (en) * 1997-04-29 1998-11-10 Credence Systems Corporation Single pass doublet mode integrated circuit tester
JPH10332782A (ja) * 1997-05-30 1998-12-18 Ando Electric Co Ltd Icテストシステム
US6128754A (en) * 1997-11-24 2000-10-03 Schlumberger Technologies, Inc. Tester having event generation circuit for acquiring waveform by supplying strobe events for waveform acquisition rather than using strobe events specified by the test program
US5825787A (en) * 1997-11-25 1998-10-20 Xilinx, Inc. System and method for accessing a test vector memory
DK1078458T3 (da) 1998-05-11 2004-04-19 Infineon Technologies Ag Timingindretning og timingfremgangsmåde
US7765443B1 (en) 2001-03-19 2010-07-27 Credence Systems Corporation Test systems and methods for integrated circuit devices
WO2002075335A2 (en) * 2001-03-19 2002-09-26 Nptest, Inc. Test system formatters
DE60204556D1 (de) * 2001-03-20 2005-07-14 Nptest Inc Taktsignalgenerator mit niedrigem jitter für ein test-system
AU2003213174A1 (en) * 2002-02-15 2003-09-09 Npt Est, Inc. Signal paths providing multiple test configurations

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5853368B2 (ja) * 1978-08-30 1983-11-29 三菱電機株式会社 シ−ケンスコントロ−ラ
US4339819A (en) * 1980-06-17 1982-07-13 Zehntel, Inc. Programmable sequence generator for in-circuit digital testing
US4450560A (en) * 1981-10-09 1984-05-22 Teradyne, Inc. Tester for LSI devices and memory devices
US4502127A (en) * 1982-05-17 1985-02-26 Fairchild Camera And Instrument Corporation Test system memory architecture for passing parameters and testing dynamic components
JPS58215123A (ja) * 1982-06-07 1983-12-14 Advantest Corp 多相タイミング発生装置
US5321700A (en) * 1989-10-11 1994-06-14 Teradyne, Inc. High speed timing generator
US5212443A (en) * 1990-09-05 1993-05-18 Schlumberger Technologies, Inc. Event sequencer for automatic test equipment
US5225772A (en) * 1990-09-05 1993-07-06 Schlumberger Technologies, Inc. Automatic test equipment system using pin slice architecture
US5481550A (en) * 1993-04-27 1996-01-02 Schlumberger Technologies, Inc. Apparatus for maintaining stimulation to a device under test after a test stops

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FR2738640B1 (fr) 1997-10-31
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