JPS58215123A - 多相タイミング発生装置 - Google Patents

多相タイミング発生装置

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JPS58215123A
JPS58215123A JP57097415A JP9741582A JPS58215123A JP S58215123 A JPS58215123 A JP S58215123A JP 57097415 A JP57097415 A JP 57097415A JP 9741582 A JP9741582 A JP 9741582A JP S58215123 A JPS58215123 A JP S58215123A
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timing
mark
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memory
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Junji Nishiura
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Advantest Corp
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    • G01R31/319Tester hardware, i.e. output processing circuits
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    • GPHYSICS
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は例えば半導体集積回路を試験するために用い
られ、基準タイミングに対し位相の異なる各種のタイミ
ングを発生するようにした多相タイミング発生装置に関
する。
従来のこの種のタイミング発生装置としては、各チャネ
ルごとにカウンタを設け、このカウンタを基準タイミン
グでリセットし、これらカウンタにて共通のクロックを
計数すると共にチャネルごとに発生すべきタイミングに
対応した値をレジスタに設定し、その設定値と対応チャ
ネルのカウンタの計数値とを比較し、両者が一致したと
きにそのチャネルのタイミングを発生させるものがある
このようなものにおいてはチャネル数が多くなると、そ
れぞれにカウンタ、発生タイミング設定レジスタ、比較
器を必懺とするため、全体の構成素子数が非常に多くな
る欠点があった。
この発明の目的は比較的簡単に多数のチャネルについて
所望の位相のタイミングを発生することができる多相タ
イミング発生装置を提供することにある。
この発明によれば、各チャネルに対応してマークメモリ
が設けられ、そのi−クメモリには、基準タイミングよ
シ発生すべきタイミングまでの間隔に対応したアドレス
位置にマーク”1”が記憶されており、基準タイミング
によってカウンタが例えばゼロにプリセットされ、この
カウンタLクロックを計数する。そのカウンタの計数内
容によって各マークメモリのアドレスがアクセスされ、
各マークメモリの読出し出力がそれぞれ各チャネルの発
生タイミング出力とされる。従ってマークメモリのマー
クを記憶したアドレスを変えることによってそのチャネ
ルに対する発生タイミングの基準タイミングとの位相を
容易に変更できる。i−クメモリとしては読み書き可能
なメモリを用いて全体としては構成素子数の少ない多相
タイミング発生装置が得られる。
次にこの発明による多相タイミング発生装置を図面を参
照して説明しよう。第1図に示すようににビットのカウ
ンタ11が設けられ、カウンタ11は端子12からの基
準タイミングTpによってプリセットされ、例えばゼロ
にセットされるとともに端子13よりのり四ツクToを
計数する。またマークメモリ14が設けられる。マーク
メモリ14はカウンタ11の計数内容によってアクセス
される。
従ってにビットカウンタに対し、マークメモリ14は1
乃至2にのアドレスを持っておシ、各アドレスにおける
ビット数、っまシ各ワードの構成ビット数は必要とする
チャネル数nとされている。各アドレスが読出されると
とKnピットがそれぞれ出力端子11〜1nKそれぞれ
読出される。っまシチャネルCH1〜CHnのそれぞれ
に対し、各アドレスについて1ビツトの記憶容量をもち
、1乃至2にのアドレスのマークメモリM1乃至Mnが
設けられていることに々る。これらのマークメモリM1
〜Mnがカウンタ11の計数値によって共通にアクセス
される。
このマークメモリM1〜Mnには各チャネルごとに発生
すべきタイミングに対応したアドレスにマーク11#が
記憶されている。例えば第2図AK示すように端子12
よりの基準タイミングTpがカウンタ11に与えられる
と、これよシ端子13から入力される第2図Bに示すク
ロックTcにょシヵウンタ11が順次歩進する。このク
ロックTcは例えば10ナノ秒の周期とされる。第1チ
ヤネルCHIに発生すべきタイミングが基準タイミング
Tpに対して70ナノ秒遅れている場合においてはマー
クメモリM+の7番目のアドレス7にマーク@1#が書
込まれている。従ってカウンタ11が歩進すると共にそ
の計数値が7になるとマークメモリM1から第7図Cに
示すようにマークが読出され、これが出力端子11に発
生タイミングとして出力される。
なお第2チヤネルCHlのマークメモリM!には311
にマーク”1”が記憶されておシ、従って第2図りに示
すように基準タイミングTcよシ3番目のクロックが発
生した時に出力端子1!にタイミング出力が発生する。
つまり基準タイミングTcに対してこの例によっては3
0ナノ秒遅れたタイミングが得られる。このようにこの
例においてはカウンタ11とマークメモリ14との二つ
の素子でn相のタイミングを発生することができる。各
発生タイミングを変更するには対応するチャネルのマー
クメモリにおけるマーク1の記憶アドレスを変更すれば
よく、これは簡単に行うことができる。
一般にメモリをアクセスして読出し出力が得られるまで
の時間はメモリセルなどによって多少バラツキが生じる
。従って例えば第3図に第1図と対応する部分に同一符
号を付けて示すように、マークメモリM!乃至Mnの出
力側にANDゲー)At乃至Anを挿入し、また端子1
2及び13よシの基準タイミング及びクロックをORゲ
ート15を通じ、東に遅延回路16を通じてANDゲー
)AI乃至Anに共通に与える。この遅延回路16の遅
延量を調整して、例えば第2図Eに示すようにマークメ
モリ14がアクセスされて得られた出力の中心の平均的
な位置に、遅延回路16の出力パルスが得られるように
する。このようにして各メモリセルのアクセスに対する
出力のバラツキに基づく変動がなく、設定したタイミン
グに正しく一致した出力を得ることができる。
更に半導体集積回路の試験装置においては、同一チャネ
ルについて基準タイミングに対する遅延量を変えて出力
し力ければならないことがある。
この場合、この発明においては例えば第4図に示すよう
に端子17よりタイミングセットデータTsがアドレス
としてマークメモリ14に与えられる。
マークメモリ141乃至144のように複数個設けられ
、タイミングセットデータTsはマークメモリ14の上
位ビットを構成し、このタイミングセットデータTsK
よってマークメモリの141乃至144の何れの領域を
読出すかが決定される。これら各領域141乃至144
にはその各チャネルごとに基準タイミングに対して読出
されるべき位置に対応してマークが記憶されておシ、従
って各基準タイミングごとに端子17のタイミングセッ
トデータを切替えることによって実時間でその一つのチ
ャネルについての発生タイミングを変更することができ
る。
例えば@5図Aに示すように基準タイミングTpに対し
て端子17に与えるタイミングセットデータT8は′w
J5図Bに示すように各基準タイミングTpl、Tp倉
、Tps*s*・ ごとにこの例においては12 、3
 、 * IT 11・と変化し、これによシ読出され
るべき領域141,11,14sが順次指定されて最初
の基準タイミングTpsにおいては領域14+が読出さ
れて、例えばチャネルCHIについて見れば!545図
Cに示すように基準タイミングTp1に対し。
T+たけ遅れたタイミングを発生し、次の基準タイミン
グTpzにおいては領域14!がタイミングセットデー
タTsとによって指定され、この場合においてはチャネ
ルCI(+は基準タイミングTp意に対してT!だけ遅
れてタイミングを発生する。更に次の基準タイミングT
pmにおいては領域14@が指定されて読出されて基準
タイミングTpmに対しT1だけ遅れたタイミングが発
生する。なおこのようにタイミングセットデータTsは
マークメモリ14に対する上位アドレスとして与えると
マークメモリへの書き込みの変更が便利であるが、必ず
しもそのようにする必要はなく、タイミングセットデー
タTmにより指定するアドレスは下位ビットチも上位ビ
ットでも任意に選定できる。
このように構成素子数が少なくて各種のタイミングを発
生することができるが、その発生するタイミングの種類
を多くすると例えばクロック4T Cの周期を16ナノ
秒とし、最大1.048576ミリ秒の遅延量を得るこ
とができるようにしようとすると、65536ワード(
番地)のマークメモリが心安となる。しかもこのように
クロックTcM 6ナノ秒の場合はマークメモリに対す
るアクセスタイムは10ナノ秒程度のものを必要とする
。このように高速度に動作し、かつ記憶容量の大きなメ
モリは烏価なものとなる。
このように高速度でしかも大容量のメモリを使用するこ
とは好ましくない。そのような点上りカウンタ11を例
えば第6図に示すように順次下位桁より複数桁ずつの計
数部11a、11b+11c、11dに分け、これらカ
ウンタの計数部に灼♂してマークメモリ14 a 、 
14 b 、 14 c、14 dを設ける。これらマ
ークメモリ14&乃至14dはそれぞれ各チャネルに対
応して存在し、つまりその各ワードはこの例においては
nビットとされるが、そのワード数はそれぞれ各計数部
11a乃至lidのビット数に対応して減少されている
基準タイミングに対する発生タイミングの遅れ時間に対
応してこれらマークメモリ14L乃至14dにそれぞれ
i−りが記憶される。これらマークメモIJ 14 B
乃至14dは各チャネルごとにその読出し出力がゲート
21乃至2nによってそれぞれ論理積がとられて出力端
子11乃至InVC供給される。
例えはクロックTcの周期が16ナノ秒で最大必要とす
る遅延値が1.048576 ミIJ秒とする場合はカ
ウンタ11は16桁(ビット)必要であシ、これらは4
桁(ビット)ずつに分割され、計数部11a乃至11d
はそれぞれ16進カウンタであシ、これらは縦続接続さ
れる。この場合、マークメモリi4a乃至14dは1ワ
ードnビツトでワード数は16のメモリでよい。最下位
の16進カウンタ、つまり計数部11aでは256ナノ
秒まで計数し、次の計数部11bでは4096ナノ秒ま
で、更に次の計数部lieでは65.536マイクロ秒
、最後の計数部11dで1.048576 ミリ秒まで
計数する。例えばチャネルCHsK対し1ミリ秒の遅延
量を得るには1ミリ秒は先のように最小ビット、つまシ
クロツクTcの周期を16ナノ秒としたとき、2進数で
は1111010000010100となる。これを4
桁ごとに分割した場合いちばん下位桁は0100となり
、従って対応したマークメモリ141LのチャネルCH
sには4番地にのみマーク@1#が書き込まれ、次の4
桁は0001であるからマークメモリ14bのチャネル
CHsには1番地にのみマーク゛1”が誓き込まれ、次
の4桁は0100であシ、マークメモリ14cのチャネ
ルCHIには4番地にのみマーク”1#が書き込まれ、
最後の4桁は1111であり、マークメモリ14dのチ
ャネルc tt tには155番地のみマーク@1′が
書き込まれる。従って端子12よシの基準タイミングに
よってカウンタ11がリセットされると、このカウンタ
11の計数値が1111010000010100とな
ったときにマークメモリ14a乃至14dのチャネルC
HIの読出し出力がすべて′″1#となってANDゲー
ト2Iよシ出力が得られる。このようにしてチャネルC
Hsに基準タイミングTp に対して1ミリ秒遅れたタ
イミングが得られる。
このように第6図に示した構成によれば、マークメモリ
14の容量を著しく減少することができ例えば先に述べ
たように第1図に示した構成においては65536ワー
ドを必俄としたところ、この例においては64ワードで
よい。特に第4図について説明したようにタイミングセ
ットデータTI!を用いて読出し領域を切替える場合に
おいては、例えば各チャネルについて16通シの異った
遅延量を実時間で得る場合においては更に16倍のメモ
リ容量が必要となり、著しくメモリ容量が増大するが、
この第6図に示した場合についてもタイミングセットデ
ータによる読出し領域を選択することができる。その例
を第7図に対応する部分には同一符号を付けて説明は省
略するが、この場合のメモリの容量の減少は著しく効果
がある。読出し速度が高速、例えばアクセスタイムが1
0ナノ秒であっても記憶容量が小さい場合は値段が著し
く安くなる。第7図に示した例において、つまシマーク
メモIJ 14 a乃至14dのそれぞれが16通りの
タイミングを発生する場合において祉250ワードとな
るが、この程度のメモリの容量の場合においては高速度
のものを現在でも安価に入手することができる。
多相タイミング発生装置において分解能の高いタイミン
グが要求され、例えば100ピコ秒や120ピコ秒の分
解能が、必要となることがある。一般に第2図の出力端
子11乃至1nの後段に可変遅延回路が設けられてその
遅延量を設定して微細な遅延量を与えている。一方基準
タイミングTpは1ナノ秒程度の分解能であシ、このた
め例えば第8図Aに示す基準タイミングTplに対し、
第8図BのクロックTcによシ次の基準タイミングTp
tの直前、例えば100ピコ秒前のように非常に近いと
ころでタイミングを発生したい場合がおる。この場合そ
のタイミングを発生するクロックTeaと次の基準タイ
ミングTpgとのパルスが重なってしまい、基準タイミ
ングTp11によるプリセットが優先して目的とするタ
イミング出力を得ることができなくなるおそれがある。
つまシクロツクTeaがカウンタ11にて計数され、そ
の計数結果によシマークメモリ14がアクセスされ、こ
れよシ発生した読出し出力をタイミング出力とするとき
、マークメモリをアクセスしてから目的とするタイミン
グが発生するまでに次の基準タイミングTPIが発生し
てしまうことがある。
このような場合、例えば第9図にg% 2図と対応する
部分に同一符号を付けて示すように、各チャネルCH+
乃至CHnの発生すべきタイミングが基準タイミングT
pに対してクロックTcの1周期以内に発生すべきであ
るか否かを示すビットをそれぞれ微小遅延指示レジスタ
18内の対応するビットに記憶しておき、例えばその基
準タイミングよシクロツク周期以にタイミングを発生す
る場合においては@1#を記憶しておき、微小遅延指示
レジスタ18の各ビットの出力と端子12よシの基準タ
イミングTpとの論理積をANDゲート191乃至19
nでそれぞれとる。
これらANDゲート191乃至19nの出力はORゲー
ト211乃至21nをそれぞれ通じて出力端子11乃至
1nに供給される。一方、端子13のクロックTcは必
要に応じて遅延回路22を通じてカラ/り11のクロッ
ク端子に供給され、、かつカウンタ11に対す”る端子
120基準タイミングTpによるプリセットioではな
く計数値1とする。マークメモリ14の各チャネルCH
I〜CHnの出力はANDゲートA1乃至Anをそれぞ
れ通じ、更に必要に応じて遅延回路231乃至23nを
通じてORゲート211乃至21nに供給される。
このように構成されているため、例えばチャネルCHI
に対しては基準タイミングTpよシクロツク周期以内に
タイミングを発生する場合はレジスタ18の第1ビツト
目18目び1#が記憶されており、従って第8図Aに示
すように基準タイミングTpsが発生すると、これに伴
って第8図Cに示すクロックTcは端子13に供給され
るが、その前に端子工2よりの基準タイミング出力亀と
レジスタ18の第1ビツト目18にの出力との一致がA
NDゲート19でとられて第8図りに示すように端子1
1 に出力され、これに対し、図に示してないが端子1
1に接続された遅延回路によって所要の遅延が与えられ
て基準タイミングに対するクロック周期以下の遅mjt
のタイミングが得られる。
チャネルC1(1の発生タイミングを基準タイミングT
pに対し1クロック周期以下の遅延とする場合はマーク
メモリ14の第1チヤネルCHIの0番地にマーク″1
”が肖己憶されている。しかしカウンタ11L1にプリ
セットされるため、基準タイミングTpが発生したとき
にカウンタ11の出力に座っでマークメモリ14は1番
地がアクセスされるため、チャネルCHsよシ出力は生
じない。またこのカウンタ11には端子13よシのクロ
ックが遅延回路122を通じて供給され、例えば江8図
Eに示すようなりロックとして与えられる。1′の関係
は第8図に示すように例えば第8図Cの基゛鼻タイミン
グTpから1番目のクロックTc1がA N D ’、
’−)AI乃至Anに与えられた時はカウンタ11のB
r数(ilf 1li1となっており、2番目の一りロ
ックTC!が与えられた時は、その前のクロックTel
によってカウンタ11が歩進して既に計数値が2となっ
ており、つまシ基準タイミング′vpよシ1番目、2番
目、3誉目Φφ−の各クロックの発生前に、マークメモ
リ14の1番地、2番地、3番地・・・・がそれぞれア
クセスされており、従って各対応番地の読出し出力を直
ちに出力端子11〜1nに出力することができる。
例えば第1チヤネルCHIのマークメモリには2番地に
マーク@1#が記憶されている場合においては、クロッ
ク’l’ciが発生すると、第8図Fに示すように出力
端子1nにタイミング出力が得られる。
従って例えば最後のクロックTeaに対応するアクセス
は、これよ#)1周期前のクロックを計数した時に既に
行われており、マークメモリから読出された最後の番地
に対応する出力はクロックTeaの発生と同時に出力端
子に出力することができ、この最後のクロックTeaよ
シカウンタ11を進める必要がない。従ってクロックT
eaと次の基準タイミングTpとが重なっても問題はな
い。
なおりウンタ11にり四ツクが入力されて歩進し、更に
そのカウンタ11の新たな計数値によシマークメモリ1
4がアクセスされてメそりから出力される−までに遅れ
を伴うため遅延回路22は必ずしも必要としない。遅延
回路231乃至23nは、ANDゲー)AS乃至Anの
出力より出力端子1里乃至1nに供給されるものと、A
NDゲート191乃至19nより出力端子へ供給される
ものとの各時間遅れの差を調整するためのものである。
つまりANDゲート191乃至19nよυ出力端子II
乃至111に出力されるタイミンクに対してマークメモ
リ14の1番地の読出しに対応するタイミングがクロッ
クTcの1周期、例えば16ナノ秒だけちょうど遅れる
ように調整するものである。
このように微小遅延指示レジスタ18を設けて遅延タイ
ミングの短いものと区別する手法は第6図に示したよう
にマークメモリ14を分割する場合にも適用でき、その
例を対応する部分に同一符号を付けて第10図に示す。
更に第7図に示した例についてもこの考えを適用でき、
その一部を第11図に対応する部分に同一符号を付けて
示す。
この場合微小遅延指示レジスタ18としては1ワードが
nビットのメモリを用い、このメモリ18を端子17よ
シのタイミングセットデータT8によって胱出すように
すればよい。
汗6図、7図、10図、11図にそれぞれ示した例にお
いてマークメモ!J14a乃至14dはそれぞれ対応す
る各チャネルについてANDゲート21乃至2nにおい
て同時に出力が得られる必要がある。このような点よシ
これらマークメモリ14a乃至14dはすべて同一のア
クセスタイムを持ったメモリとする必要がある。例えば
クロックTcの周期が16ナノ秒である場合、マークメ
モリ14&〜14dのすべて社アクセス時間が10ナノ
秒程度の高速度のメモリとする必要があり、^価なもの
となる。しかしクロック周期が16ナノ秒の場合におい
ても、マークメモリ14bに対するアドレスは256ナ
ノ秒ごとにしか変化しない。
またi−クメモリ140に対しては4096ナノ秒ごと
にしか変化しない。このような点よυカウンタ11の下
位桁部分をアドレスとするマークメモリ14aのみを高
速度カウンタとし、他のマークメモリ14b、14c、
14dなどを低速度、例えばアクセスタイムが200ナ
ノ秒程度の低速度メモリとすることもできる。
例えば第12図に第10図と対応する部分に同−符号を
付けて示すが、この例においてはカウンタ11の下位桁
計数部11aの計数内容によって読出されるi−クメモ
リ14JLは例えばアクセスタイムが10ナノ秒の高速
度メモリとし、その他のマークメモリ14b、14c 
、14dはマークメモリ14aより遅い、例えばアクセ
スタイムが200ナノ秒の低速度メモリとする。更にカ
ウンタ11の下位桁計数部11aに対する上位桁計数部
11bへの入力クロック間隔よシも小さい遅延を、基準
タイミングと発生タイミングとの間に与えるか否かを示
すデータを各チャネルごとに小遅延指示レジスタ25に
記憶する。この小遅延指示レジスタ25は各チャネルC
H+乃至CHnに対して1ビツトずつ割当てられておシ
、計数部11bへの入力クロックの周期よシも短かい遅
延量とする場合はチャネルと対応するビットに@1”が
記憶される。小遅延指示レジスタ25が小遅延であるこ
とを指示している場合は高速度マークメモリ14aの対
応チャネルよりマークが読出された時、これをタイミン
グ出力として出力し、その他の場合においては各チャネ
ルごとの各マークメモリ14a乃至14dの出力の一理
禎が得られたときにタイミング出力とする。
とのためには例えば第1チヤネルCHIについて示すよ
うに低速度メモ!J14b乃至14dの対応するチャネ
ルの出力がANDゲート261で論理オ責がとられる。
一方、カウンタの高位計数部11bに対する入力クロッ
ク、つまシ低位計数部11aの出力端子27のクロック
が分岐してフリップフロップ281舖見られ、このクロ
ックによシゲート26Iの出力がフリップフロップ28
rに読込まれる。小遅延指示レジスタ25の第1チヤネ
ルCHsに対応する出力と端子120基準タイミングT
pとの論理積をとったANDゲート291の出力によっ
て7リツプフロツグ28にはセットされ、小遅延指示レ
ジスタ25のmlチャネルの出力の反転値と基準タイミ
ングTpとの論理積をとったゲー)311の出力によっ
てフリップフロップ28にはリセットされる。フリップ
フロップ281のQ出力はANDゲート321に与えら
れている。ANDグー)32+KrJ:高速マークメモ
リ14aの第1チヤネルCUtの出力と端子13のクロ
ックTcが与えられている。
従って基準タイミングTpが与えられた時に第1チヤネ
ルCHIが小遅延指示されている場合にはゲート29菫
の出力によってフリップフロップ281がセットされ、
そのQ出力は高レベルとなる。従って高速マークメモリ
14aのチャネルCHIの出力からマークが読出される
と、ANDゲート321からそのマークは端子13のク
ロックTcによりORゲート21Kを通じて出力端子1
Kにタイミングとして出力される。
一方、第1チヤネルCHIに対し小遅延指示が与えられ
ていない場合においては基準タイミングTpが与えられ
た時にANDゲート311より出力が発生してフリップ
フロップ281がリセットされ、この状態でカウンタ1
1の歩進が進み、低速マークメモリ14b、14c、1
4dのチャネルCHIに対する出力の一致がANDゲー
ト26宜で検出されるとこれが7リツプフロツプ281
に読込まれ、そのQ出力が高レベルとなる。この状態に
おいて高速度マークメモリ14aよりの第1チヤネルC
HIに対するマークが読出されるとANDゲート321
より一致出力が得られて端子11にタイミングが出力さ
れる0、 先の例においては小遅延指示メモリ18はそのチャネル
の発生タイミングが基準タイミングTpに対して256
ナノ秒以下の遅延の場合に@1”が記憶される。またカ
ウンタl1mをプリセットする際に計数部11biJ、
最下位ビットが1にプリセットされる。このようKして
高速度のメモリはマークメモリ14aのみとし、マーク
メモリ14b乃至14dは安価な低速メモリを使用する
ことができる。
このような処理を行なうには例えば第13図に第1チヤ
ネルCHIについて一部を示すように低速度マークメモ
リの一致出力であるANDゲート261を、端子27の
低速度のクロックでフリップフロップ281に読込み、
またフリップフロップ281のQ出力と小遅蝙指示レジ
スタ25の第1チャネルCHIに対する出力とをORゲ
ート331を通じてANDゲート321に供給するよう
にし、ANDゲート321には第12図の場合と同様に
高速度マークメモリll&のチャネルC)(+の出力と
、端子13のクロックTcとを与えるようにしてもよい
。これら第12図、第13図についても先のタイミング
セットデータT@の考えを適用することもできる。
発生するタイミングが次の基準タイミングTpよりも遅
れた遅延量を必要とする場合がある。即ち例えば第14
図Aに示すように基準タイミングTp+、Tp*、・拳
−・・と順次発生し、これらに対し第14図Bに示すよ
うにあるチャネルの発生タイミングを発生する場合、こ
の例においては基準タイミングTplに対する発生タイ
ミングは次の基準タイミングTpsよシも遅れて出力し
たい場合がある。
このような場合においては例えば次のようにすればよい
。即ち第14図C,Iに示すように基準タイミングをT
ps 、Tps 、・・・・響、Tp箕*Tp’*・・
J4・のように複数の系列に分配し、その各基準タイミ
ングに対してそれぞれクロックを第14図り、Fにそれ
ぞれ示すように発生させる。
即ち、例えば第15図に示すように端子12よシの基準
タイミングTpはトルク型のフリップフロップ33を駆
動し、トルク型フリップフロップ33のQ出力及びQ出
力はANDゲート340及び34eにそれぞれ供給され
、これらANDグー)34o。
34eには端子12の基準タイミングTpが与えられて
おシ、従ってANDゲー) 34o、34eにはそれぞ
れ第14図C,Eにそれぞれ示す基準タイミングが分配
された出力が得られる。これら分配された基準タイミン
グ出力によシクロツク発生器350及び35eがそれぞ
れ駆動される。これらクロック発生器35o、35eは
基準信号源36よシの基準信号を基準として同一の周期
のクロックを、その入力基準タイミングを基準として発
生し、これらクロック発生器35o及び35eから第1
4図り及びFにそれぞれ示すクロックTCO及び’l’
ceがそれぞれ得られる。カウンタ11としてllo及
び111が設けられ、カウンタllo及びlieはそれ
ぞれANDゲー) 34o、34eよシの各基準タイミ
ングTpo。
Tpeが端子120,121!1を通じて与えられてプ
リセットされ、またクロック発生器35o、35eの各
クロックTco、Tceが端子13o、13eを通じて
クロック端子に与えられる。
カウンタ110.lieの各計数値によシ、マークメモ
リ14o、14Bがアクセスされる。マークメモ’J 
14o、14Bはそれぞれ必要なチャネル数のnビット
の1ワードであシ、かつその番地数は最大遅延に対応し
た記憶容l、を持っておシ、従ってその最大遅延量が例
えば基準タイミングを越えるような場合にはそれに対応
するだけ、基準タイミング間隔よシも大きな遅延が得ら
れるように、最大番地が選定されている。またタイミン
グセットデータT8が端子17よりマークメモリ14o
、14gK共通に与えられる。マークメモリ14o、1
4s+  のタイミングセットデータによシ選択される
各領域にはそれぞれそのチャネルにおいて発生すべきタ
イミング量に対応したアドレスにマーク@1″が記憶さ
れておシ、各マークメモリ14oe141よシの各出力
はそのチャネルごとKORゲート37急乃至37nで論
理和かとられて出力端子is乃至Inに出力される。
例えば第1チヤネルCutについて第14図Bに示すよ
うなタイミング出力を得る場合において、基準タイミン
グTpsによってカウンタlloがプリセットされ、こ
れによシマアクメモリ14oが読出されて、その読出し
によシ第14図Gに示すように出力タイミングが発生し
、基準タイミングJf p mが発生した場合にカウン
タlloはプリセットされることなく、カウンタlie
のみがプリセットされ、そのまま両カウンタllo、l
ie’はそれぞれのクロックTco、Tceを計数し、
マークメモリ14o。
14gがそれぞれアクセスされる。これによシ次の基準
タイミングTpsが発生するまでの間にマークメモリ1
4Bからマークの読出しが第1チヤネルC出には得られ
ないが、この次のタイミングTpsが発生した場合に、
カウンタlloのみがプリセットされ、カウンタlie
はそのiま計数を続けるため、第14図Hに示すように
基準タイミングTpmに対応したタイミングが次の基準
タイミングT p sよシ遅れた位置においてi−クメ
モ!J 14i+のマークの胱出しによシ得られる。こ
のようにしてマークメモ!J 14o、14i+よりそ
れぞれ得られた第14図G 、 Hに示す出力はORゲ
ー)−371にて合成されて第1チヤネルに対する出力
タイミングとされる。
なおマークメモ!J 14o、14gには同一のデータ
が記憶される。つtbその各チャネルに対するマークの
記憶番地は同一とされている。このようにして次の基準
タイミングを越えた遅延量のタイミングを発生すること
ができる。これを第7図に示すようにカウンタ11を分
割してマークメモリ14の容量を減少させる場合につい
て適用した例を対応する部分に同一符号を付けて第16
図に示す。
同様にして図に示してないが、第10図及び第12図に
示した構成にも第15図の考えを適用することが可能で
ある。このように基準タイミングを2系列に分配するの
みならず、3系列、或はそれ以上に分配し、これと対応
してそれぞれカウンタ及びマークメモリを設けることに
よって更に複数の基準タイミングを越えて遅れたタイミ
ングを発生させることもできる。
発生タイミングを次の基準タイミングよりも遅れて発生
させる場合、マークメモリは複数個設けるが、カウンタ
を共通にして発生させることもできる。例えば第17図
に示すようにカウンタ11の内容によってマークメモリ
14及び14’が共通にアクセスされ、またこのマーク
メモリ14は端子17よりのタイミングセットデータに
よってアクセスされる。マークメモリ141については
そのタイミングセットデータを基準タイミングの一つ分
だけ遅らせて与えるようにする。例えば端子17のタイ
ミングセットデータTaをD型フリッグフロツプ38の
データ端子に与えると共に端子12よυの基準タイミン
グをフリップフロップ38のクロック端子に与える。フ
リップ70ツブ38の出力をマークメモリ141にアド
レスとして与える。
マークメモリ14 、14’は今までのものと同様に各
チャネルごとに設けられておυ、マークメモリ14につ
いては基準タイミングから次の基準タイミンクまでにお
いて発生すべき位置に対応したアドレスにマークが6己
憶されているが、マークメモ!J14’については次の
基準タイミングを越えて発生する場合に使われ、その場
合次の基準タイミングより越えて発生するタイミングま
での位itK応しいマークの記憶位置が決定される。例
えば第18図Aの基準タイミングTp’ 、TP” t
TP’ +TP’・・・・に対し、飢1チャネルCHI
のタイミング81.Sg、Sg、ass−を発生する場
合であり、この場合タイミングS!は基準タイミングT
p!に対して見付るものであるが、次の基準タイミング
Tp8よシも後に発生する。この遅延量は基準タイミン
グTp!から発生タイミングS童までの遅延tD1であ
るが、マークメモリ14’の第1チヤネルに対しマーク
を記憶する位置は次の基準タイミングTpIIよシ発生
タイミングS!までの期間D!に対応するアドレス位置
に記憶する。マークメモリ14 、14’の各チャオル
の対応出力はそれぞれORゲート371 乃至37nに
よって論理和がとられてANDゲー)As乃至Anを通
じて出力端子11乃至10に供給される。
第18図Aに示すような基準タイミングが端子12より
入力されるとこれを基準としてカウンタ11祉端子13
のクロックTeを計数し、この時端子17には第18図
Cに示すようなタイミングセットデータがそれぞれ与え
られているとすると、基準タイミングTptが発生した
時にhタイミングセットデータの1番が端子17に与え
られ、これ社マークメモリ14に与えられて先に示しだ
ようにタイミングS1の発生が行われる。次に2番目の
基準タイミングTp!が発生すると、これによりカウン
タ11がプリセットされると共に、フリップフロップ3
8にf418図りに示すように端子17のタイミングセ
ットデータの1番目のものが取込まれる。従ってこのタ
イミングセットデータの1番目のものがマークメモ!j
14’に与えられ、2番目のタイミングセットデータは
マークメモリ14に与えられる。この例においては第1
チヤネルCHtは基準タイミングTpmに対する発生タ
イミングSIが次の基準タイミングTpsよシも遅れる
ため基準タイミングTp!、Tps間ではマークメモリ
14゜14“のイβJれからもマークは読出されない。
更に次の基準タイミング1゛p8が入力されると、これ
Kよりカウンタ11がプリセットされ、また端子170
2番目のタイミングセットデータがフリップフロップ3
8に読込まれ、従ってこの基準タイミングTp8が発生
した後においてはマークメモリ14には3番目のタイミ
ングセットデータが与えられ、マークメモリ141に1
よ2査目のタイミングセットデータが与えられる。この
時マークメモリ14’の第1チヤネルC)11について
発生タイミングS!に対応した位置にカウンタ11の計
数値がなるとマークが読出され、また基準タイミングT
palC1jする発生タイミング3mに対応した計数値
になると、マークメモリ14の第1チヤネルからマーク
が読出され、これらがとの例においてはORゲート37
1を通じ端子11に読出される。
この第17図に示した手法は他の今まで述べたもの゛に
対しても適用できる。例えば第6図に示したようにマー
クメモリ14をマークメモリ14a乃至14dに分割し
、かつカウンタ11もカウンタlla乃至lidに分割
し、そのマークメモリのチャネルの出力の論理積をAN
Dゲートで取るようにした場合にも第17図の考えを適
用できる。
この第17図の手法を第6図に適用し九191jを対応
する部分に同一符号を付けて第19図に示す。即ち端子
17よシのタイミングセットデータTsはマークメモI
J 14 a乃至14dに与えられると共にこれは基準
タイミングの一つ分だけスリップフロップ38で遅らさ
れてそのフリップフロップ38の出力はマークメモリ1
4a1乃至14d’にタイミングセットデータとして与
えられる。これらマークメモリ14a′乃至146 ′
#よりウンタ11の計数部11B乃至lidの1を数内
容でそれぞれアクセスされ、マークメモリ14a乃至1
4dの対応するチャネルはANDグー)2sによって論
理積がとられ、同様にマークメモリ14a′乃至14d
’の対応チャオルはANDゲート211によって論理積
がとられる。
このANDゲートの対応するもの例えば21及び21′
の出力はORゲート371を通じ、更にANDゲー)A
Iを通じて出力端子1に出力される。仮りに次の基準タ
イミングまでの期間が1ミリ秒とし発生タイミングの遅
延量が1.5 ミIJ秒の場合、つまり1.5ミリ秒−
1ミリ秒=0.5ミリ秒だけ、次の基糸タイミングを越
える場合で、かつクロックTcの周期を16ナノ秒とし
た時、0.5ミリ秒の2進数は01111010000
01010となる。これを4桁ごとに分割していちばん
下位の桁1010に対応してマークメモ’)14a’の
10番地にマークを記ifし、次の桁000oと対応し
てマークメモリ14b’00番地にマークを記憶し、次
の桁1゜10と対応してマークメモリ14c1の10番
地にマークを記憶し、最上位桁は0111と対応してマ
ークメモリ14d1の7番地にマークを記憶する。
このようにして基準タイミングに対して次の基準タイミ
ングを過ぎてから0.5ミリ秒経過すると、例えば第1
チヤネルにおいてANDゲート21′よυ出力が得られ
て目的とするタイミングの発生が得られる。
更に第17図に示した考えを第12図について適用し、
その第1チヤネルの部分についての図を第20図に対応
する部分に同一符号を付けて示す。
この場合マークメモIJ14a’乃至14d’が同様に
設けられてこれらh7リツプフロツプ38よシの1基準
タイミングだけ遅らされたタイミングセットデータによ
ってアクセスされるが、このマークメモリ14a’ti
高速度動作とし、マークメモリ14b1乃至14d′は
低速製とされる。またこれらマークメモリ14b’乃至
14d1はANDゲート261と対応して各対応チャネ
ルごとのA N Dグー)261’が設けられる。更に
基準クロック以下の遅延を与える微少遅延指示レジスタ
18と対応して微少遅延指示レジスタ18’が設けられ
るが、これLその基準タイミングに対して次の基準タイ
ミングを越えるが、その越えた量がクロックの1周期よ
りも短かい場合か否かを示すデータが各チャネル毎に記
憶される。この微少遅延指示レジスタ18.18’の対
応チャネルの出力はORゲート39sを通じてANDゲ
ート191に供給される。また小遅延指示レジスタ25
と対応して小遅延指示レジスタ25’が設けられ、この
小遅延指示レジスタ251も次の基準タイミングを越え
るが、その越えた量が端子27のクロック、つまシカウ
ンタ1.1bへの入力クロック周期よりも小さいか否か
を示すデータが記憶される。この小遅延指示レジスタ2
5′の各チャネル出力は小遅延指示レジスタ25の出力
と同様にANDゲート291’+311’に与えられる
と共に端子12の基準タイミングが与えられる。AND
ゲート29t ’ 、31に’によりフリップフロップ
2811がセットリセットされる。フリップフロップ2
81′のデータ端子にはANDゲート261’の出力が
与えられ、クロック端子には端子27のクロックが与え
られ、更KQ出力がANDゲート3211に与えられる
。このANDゲート321’にはマークメモリ14a’
の対応チャネル、即ちこの例では第1チヤネルの出力が
与えられてANDゲート321,321’の出力はOR
ゲート371を通じ更にANDゲート411、遅延回路
231を通じORゲート211に出力される。微少遅延
指示レジスタ18、小)!!延指示レジスタ25には端
子17のれ、微少遅延指示レジスタ18′1小遅延指示
レジスタ25’にはフリップフロップ38によって遅延
されたタイミングセットデータがアドレスとして与えら
れる。この出20図の動作については今までの説明から
理解□されると思われるので省略する。
第20図において微少遅延指示レジスタ及び小遅延指示
レジスタはそれぞれ一つのみとしてもよい。その例を第
21図に変更した部分のみを第20図と対応して第1チ
ヤネルについて示す。即ちこの場合においては次の基準
タイミングを越えているか否かを示すデータを記憶した
大遅延指示レジスタ43が設けられ、大遅延指示レジス
タ43はそのチャネルがそのタイミングにおいて次の基
準タイミングを越えて発生する場合には”1#がその対
応チャネルのしかも対応タイミングセットデータ位td
に記憶されている。このレジスタ43も端子17のタイ
ミングセットデータによって読出される。大遅延指示レ
ジスタ43、微少遅延指示レジスタ18、小遅延指示レ
ジスタ25のそれぞれの紀1チャネルの出力けD型フリ
ップフロップ441.451,461のデータ端子に与
えられ、かつこれらフリップフロップ4t+ 、45t
 、461のクロック端子には端子12よりの基準タイ
ミングが与えられている。従ってこれらフリップフロッ
プ44+、45+ 、46+のQ出力にはそれぞれ次の
基準タイミングを越えて遅延を発生するか否かのデータ
、更に発生タイミングが1クロック周期以下の遅延かど
うかを示すデータ、更に発生タイミングが低速クロック
の周期以下か否かを示すデータがそれぞれ基準タイミン
グの一つ分だけ遅れて現われる。
大遅延指示レジスタ43の第1チヤネル出力はインバー
タ49+を通じてANDゲート471及びANDゲート
321に与えられ、まだフリップフロップ411の出力
はANDゲート481及び3211に与えられる。微少
遅延指示レジスタ18の第1チヤネル出力及びそれを1
基準タイミングだけ遅らせたフリップフロップ451の
出力はANDゲート47+、48Iにそれぞれ与えられ
ている。ANDゲート471.481の出力#′10R
ゲート391に与えられている。フリップフロップ46
1の出力はANDゲート291“、311’に与えられ
ている。従っていまの基準タイミングにおいて端子17
のタイミングセットデータによって読出されたレジスタ
43の内容が次の基準タイミングを越えない場合におい
てはANDゲート471の出力がANDゲート47を通
じて微少遅延指示レジスタ18の出力がORグー)39
1に供給され、また小゛−パ↓罎1ひd4壮蔽モ」シト
=±4j1ポJ(給1−れYゴ1だ11℃遅延指示レジ
スタ25の出力と更にフリップフロップ281、AND
ゲート321の出力が有効となって第12図について説
明したのと同様の動作を行う。しかし大遅延指示レジス
タ43の出力が”1#の場合は、つまり次の基準タイミ
ングを越える遅延を行う場合においてはその次のタイミ
ングにおいてフリップフロップ441の出力が高レベル
となυ、これによシグート481が開き、従ってその時
微少遅延指示レジスタ18の1基準タイミングの前にお
けるデータの内容に応じた出力がグー)481゜ORゲ
ート391を通じて出力され、また同様に小遅延指示レ
ジスタ25の1基準タイミング前におけるデータかフリ
ップフロップ461に出力され、これによシANDグー
) 291’ 、31t’、フリップフロップ28凰1
、更にANDゲート321′によって例えば第18図B
のタイミングS!に対応したように次の基準タイミング
Tpsを越えた遅延タイミングを得ることができる。
次にマークメモリ14に対するマークデータの引込みの
例を紹22図を参照して説明する。端子47からの何れ
のチャネルに対してマークを書込むかを示すチャネル選
択データがデコーダ48に与えられ、デコーダ48でデ
コードされてチャネルCl11乃至C)i nのマーク
メモIJMI乃至Mnに対し一つの書込みイネーブル端
子WEが選択して与えられ、その選択されたチャネルの
マークメモリに対して書込みが可能となる。一方カウン
タ11には端子49を通じてそのチャネルに対する基準
タイミングに対して発生すべきタイミングの遅れに対応
したアドレスがカウンタ11にプリセットされ、このカ
ウンタ11によってそのマークメモリ14がアクセスさ
れ、その時デコーダ48によって選択されているチャネ
ルに対するマークメモリが書込み可能となシ、端子51
よシその各マークメモljM1乃至Mnに対してマーク
1が与えられ、従ってデコーダ48によって選択された
チャネルのカウンタ11によって指定されたアドレスに
マークが書込まれる。このマークが書込まれる前にその
チャネルのマークメモリの他のアドレスはすべてゼロと
しておく必要がある。従ってその前に同様にしてそのマ
ークメモリの各アドレスに対しゼロを書込む。ゼロを畳
込む時には端子51にゼロを与える。
このようにゼロをマークメモリのぞのチャネルのすべて
の番地に書込む操作は比較的時間が長くかかる。このよ
うな点を改善するには例えば第23図に示すようにマー
クアドレスメモリ52を設ケておき、書込みに当っては
端子47の書込むべきチャネルを示すデータ、チャネル
選択データによってマークアドレスメモリ52を読出し
、その読出したアドレスをカウンタ11にプリセットし
、これと共にアドレスレジスタ52に端子49より新た
にマークを書込むべきアドレスを設定しておき、このア
ドレスレジスタのアドレスをマークアドレスメモリ52
に端子47のチャネル選択データで指定されて書込む。
このカウンタ11によりプリセットされた、即ちマーク
アドレスメモリ52に記憶されていたそれまでのマーク
“1′″が記憶されているアドレスがプリセットされ、
これによりデコーダ48で指定されたチャンネルのマー
クメモリのアドレスに対して端子51よりゼロが書込ま
れて、これによりそれまで記憶されていたマークが消さ
れる。次にマークアドレスメモリ52から読出した、つ
まりそれまでにアドレスレジスタ53に格納されていた
新たなマークメモリに対するアドレスをカウンタ11に
プリセットし、このカウンタ11のアドレスによってデ
コーダ48によって選択されたマークメモリに対して端
子51よりマーク′″1”を書込む。
このようにしてマークアドレスメモリ52には各チャネ
ルに対応したマークメモリMl乃至Mnのマークが書込
まれているアドレスが各チャネルに対応して記憶されて
おり、このメモリ52のアドレスによってまずそれまで
に記憶されていたチャネルのマークメモリ1こ対するマ
ークを消して次1ど新た1こアドレスを指定してマーク
を書込む。従って2回の書込み操作で新たなマークの書
込みが可能となる。このように第23図に示した書込み
のためのマークアドレスメモリを設けて行うことは、先
に説明したマークメモリ14をマークメモ914&乃至
14dのように分割して行う場合についても適用できる
ことは当然である。
マイクロプロセッサの集積回路に対するテストのだめの
タイミングを発生する場合においては、被試験回路に与
えるクロックを基準として各種タイミングを決めるので
はなく、その被試験回路から出てくる例えばアドレスラ
ッチイネ−グル信号を基準としてタイミングを決める場
合がある。このような場合そのクロックとアドレスラッ
チイネーブル信号との間の位相差は被測定試験デバイス
によって異ることがある。よってその位相差を測定し、
各その位相差に対応した分だけ発生するタイミングをず
らすことを行い、そのずらした値についてマークメモリ
のマーク書込み番地をそれぞれ設定して必要なタイミン
グが発生するようにすることになる。しかしこのような
演算を各チャネルごとに、しかも各タイミングセットデ
ータごとに演算を行って出力することは煩雑なこととな
る。
このようなことを簡単にやるには例えば第24図のよう
にすればよい。即ち一般に発生タイミングを示すデータ
は例えば、中央処理装置54から設定タイミングデータ
レジスタ55に与えられ、マークメモリのマークが書込
まれるべきアドレスがこのレジスタ55に書込まれ、か
つその対応チャネルを示すチャネル選択データが中央処
理装置54より端子47へ与えられる。この場合各チャ
ネルとと′にその設定データに対してつまり発生タイミ
ングに対して補正をするか否かを示すデータをオフセッ
トデータレジスタ56内に記憶しておき、このデータを
端子47のチャネル選択データによってセレクタ5−7
において選択する。発生タイミングの補正をする場合は
論理″″1”がANDゲート58へ与えられる。AND
ゲート58にはオフセットデータレジスタ59よりその
補正タイミングと対応したデータ、先の例においてはク
ロックを与えてからアドレスラッチイネーブル信号が発
生するまでの期間に対応した値が予めセットされており
、このオフセットデータがゲート58を通じて加算回路
61に与えられ、加算回路61でレジスタ55よりの設
定タイミングデータと加算されて、つまり加減算されて
端子49に与えられ、即ち第23図或は第22図におけ
るマークが記憶されるべきアドレスとして出力される。
このようにしである被試験回路1こついてのタイミング
のずれを各タイミングについていちいち中央処理V4 
ff?54で補正−演算して端子49に供給することな
く、レジスタ59にオフセットデータをセットすれば自
動的に加算回路61において修正が施されて発生タイミ
ングの位置が修正される。勿論被試験回路によって先に
述べたようにレジスタ59にセットするオフセットデー
タは変更される。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明の原理を示すブロック図、第2図は第
1Vの動作を説明するためのタイムチャート、第3図は
第1図においてマークメモリのアクセスタイムのパラつ
きに対し影響をなくすよう化した例を示すブロック図、
第4図は基準タイミングを変更する場合のタイミング発
生装置の原理を示すブロック図、第5図は第4図の動作
の説明に供するためのタイムチャート、第6図はマーク
メモリの容量を減少するようにしたタイミング発生装置
の一例を示すブロック図、第7図は第6図に基準タイミ
ングの変更を可能とした例を示すブロック図、第8同は
基準タイミングとクロックが接近した状態における問題
を説明するだめのタイムチャート、第9図は第8図につ
いて説明した問題を解決したタイミング発生装置の例を
示すブロック図、第10図は第9図に示した考えを第6
聞に示したタイミング発生装置に適用した例を示すブロ
ック図、第11図は第10図において基準タイミングを
変更可能とした例を示すブロック図、第12図はマーク
メモリの一部を低速度メモリとしたタイミング発生装置
の例を示したブロック図、第13図は第12図における
一部変形を示すブロック図、第14図は次の基準タイミ
ングを越えて遅延する場合の例を示すタイムチャート、
第15図は次の基準タイミングを越えて遅延する場合の
タイミング発生装面の例を示すブロック図、第16図は
第15図をマークメモリを分割した場合に適用した例を
示すブロック図、第17図は基準タイミングを越えて遅
延する場合のタイミング発生装置の他の例を示すブロッ
ク図、第18図は第17図の動作の説明に供するための
タイムチャート、第19図は117図の原理をマークメ
モリを分割した場合に涜用した例を示すブロック図、第
20図は第12図に第17図の原理を適用した例を示す
ブロック図、第21図は第20図の一部変形例を示すブ
ロック図、第22図はマークメモリに対する書込み手段
の例を示すブロック図、第23図はマークメモリに対す
るνI込み手段の他の例を示すブロック図、第24図は
書込みアドレスの修正例を示すブロック図である。 11:カウンタ、12:基準タイミング入力端子、13
:クロック入力端子、14:マークメモリ、11乃至1
n;出力端子、17:タイミングセットデータ入力端子
、18:M1少遅延指示レジスタ、25:小遅延指示レ
ジスタ、38:遅延用フリツプフbツブ。 特許出願人  タケダ理研工業株式会社代理人 草野 
卓 第1図 才 2 図 第3図 第4図 +5図 オ 8 図 オ6 図 木7図 1’)1516 ′7710図 (Owl   (J   OLtJ   L   (り
   工第24図 第23図

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)基準タイミングにょシブリセットされ、クロック
    を計数するカウンタと、とのカウンタの計数内容をアド
    レスとしてそれぞれ読出され、上記基準タイミングと発
    生すべきタイミングとの間隔に応じたアドレス位置にマ
    ークが記憶され、各チャネルごとに設けられたマークメ
    モリとを具備する多相タイミング発生装置。
  2. (2)上記マークメモリの上記カウンタによシアクセス
    される領域を決定するタイミングセットデータが各チャ
    ネルのマークメモリに共通に与えられていることを特徴
    とする特許請求の範囲第1項記載の多相タイミング発生
    装置。
  3. (3)基準タイミングととにリセットされ、クロックを
    計数するカウンタと、そのカウンタの連続した複数の計
    数部の各計数内容によってそれぞれアクセスされ、チャ
    ネルととに設けられ、上記基準タイミングに対する発生
    タイミングの位置に応じてマークが記憶されたマークメ
    モリと、これらマークメモリの出力をチャネルごとに論
    理積をとるゲートとを具備する多相タイミング発生装置
  4. (4)基準タイミングによシリセットされ、クロックを
    計数するカウンタと、このクロックの計数内容によシア
    クセスされ、基準タイミングと発生タイミングとの間に
    応じたアドレス位置にマークが記憶され、各チャネルご
    とに設けられたマークメモリと、上記基準タイミングに
    対し発生タイミングが上記クロック間隔未満か否かを示
    すデータが記憶された微小遅延指示レジスタと、そのレ
    ジスタの各チャネルごとの出力と基準タイミングとの論
    理積をとるAND回路と、各チャネルごとのAND回路
    の出力及び上記マークメモリの出力との論理和をとるO
    Rゲートとを具備する多相タイミング発生装置。
  5. (5)上記カウンタの低位桁の計数内容をアドレスとす
    るマークメモリを高速メモリとし、上記カウンタの高位
    桁の計数部の計数内容をアドレスとするマークメモリを
    上記高速メモリよシもアクセス速度の遅い低速メモリと
    し、基準タイミングと発生タイミングとの間隔が上記カ
    ウンタの高位桁の泪数部への入力クロック間隔未満か否
    かを各チャネルごとに記憶するレジスタと、そのレジス
    タの内容が上記間隔以下の場合は対応チャネルの高速メ
    モリへの出力を発生タイミングとする手段を具備する特
    許請求の範囲第3項記載の多相タイミング発生装置。
  6. (6)  複数のカウンタと、これら各カウンタと対応
    し、かつチャネルごとに設けられ、それぞれそのカウン
    タの計数値によシ対応するものが共通にそれぞれアクセ
    スされ、チャネルごとに基準パルス、発生パルス間の間
    隔に対応したアドレス位置にマークが記憶され、タイミ
    ングセットデータによυ読出し領域が決定される複数の
    マークメモリと、上記基準タイミングを上記複数のカウ
    ンタに順次分配してそのカウンタをプリセットする分配
    手段と、各カウンタに供給される基準タイミングと同期
    したクロックを各カウンタへ供給する手段と、上記各マ
    ークメモリの同一チャネルの出力の論理和をとる手段と
    を具備する多相タイミング発生装置。
  7. (7)  基準タイミングによりプリセットされ、クロ
    ックを計数するカウンタと、基準タイミングに対して発
    生すべき複数のタイミングとの各間隔に対応したアドレ
    ス位置にマークが記憶された複数のマークメモリと、こ
    れらマークメモリのアクセス領域を決定するタイミング
    セットデータを上記基準タイミングごとに順次遅延して
    上記マークメモリへ与える遅延手段と、上記マークメモ
    リの各対応チャネルの出力の論理和をとる手段を具備す
    る多相タイミング発生装置。
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