JPH09123011A

JPH09123011A - Ｆｅ−Ｎｉ系薄板およびその製造方法

Info

Publication number: JPH09123011A
Application number: JP28157195A
Authority: JP
Inventors: Takayuki Nagashio; 隆之長塩; Shozo One; 昌三大根
Original assignee: Hitachi Metals Ltd
Current assignee: Proterial Ltd
Priority date: 1995-10-30
Filing date: 1995-10-30
Publication date: 1997-05-13

Abstract

(57)【要約】【課題】簡単にかつ精度良くバリの発生を抑えたＦｅ
−Ｎｉ系薄板およびその製造方法を提供する。【解決手段】圧延されたＦｅ−Ｎｉ系薄板を所定の幅
にスリット加工し、次いでスリット加工された破断面側
に研削または研磨手段を押し当てバリを除去することに
よって、破断面側が長手方向に研削または研磨除去され
たＦｅ−Ｎｉ系薄板およびその製造方法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、シャドウマスク、
リードフレーム等の素材となるＦｅ−Ｎｉ系薄板および
その製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】Ｆｅ−Ｎｉ系の薄板材料は、その低熱膨
張特性からアンバー合金と呼ばれ、低熱膨張特性が要求
されるシャドウマスクやリードフレームに用いられてい
る。また、軟磁気特性にも優れており、いわゆるパーマ
ロイとしても用いられている。上述したＦｅ−Ｎｉ系薄
板の製造は、通常次のように行なわれている。先ず、材
料の溶解および鋳造後、適宜の熱間圧延等の工程を経由
し、そして冷間工程にて所定の板厚にまで圧延する。そ
して、製品に要求される幅にスリットして所定の板幅に
まで圧延する。そして、製品に要求される幅にスリット
してＦｅ−Ｎｉ系薄板を得る。得られたＦｅ−Ｎｉ系薄
板はその後コイル上に巻取られ、その後、各製品に適し
た加工が施される。

【０００３】例えば、Ｆｅ−Ｎｉ系薄板をシャドウマス
ク素材とする場合には、脱脂され、フォトレジストを両
面に塗布してから、パターンを真空引きで素材に完全密
着後露光して焼付け現像後、電子ビーム通過用の孔をエ
ッチング穿孔する。その後、個々に切断され、プレス、
黒化処理を経てシャドウマスクとなる。またＦｅ−Ｎｉ
系薄板をリードフレーム素材とする場合には、上述した
シャドウマスクと同様にエッチング加工を行ない、微細
なリードパターンが形成される。

【０００４】またリードフレーム素材や各種磁性部品に
おいては、プレス打抜きによる加工も行なわれている。
Ｆｅ−Ｎｉ系薄板を得る上において上述したスリット加
工の工程は必須である。スリット加工は、例えば上下に
配した円形刃間に、スリット加工前のＦｅ−Ｎｉ系薄板
を通過させることによって所定の板幅を得るものであ
る。そのため、スリットされた薄板の断面は、図３に示
すようになだらかな肩を有する剪断面側ａと、バリが発
生する破断面側ｂを有する形態となる。このようなバリ
が発生したＦｅ−Ｎｉ系薄板に精密なエッチング加工を
施そうとすると、フォトレジストを塗布したＦｅ−Ｎｉ
系薄板をパターンに真空引きで密着させる際に、前記ス
リットにより発生したバリが素材を浮かせるという問題
が生ずる。こうなると、素材がパターンに密着せず精密
なエッチングパターンの形成不良となる。

【０００５】また、バリにより極めて精密で高価なパタ
ーンを傷つけてしまう可能性もある。また、製造工程
中にバリが脱落し、エッチング不良の原因になる場合も
ある。また、バリのあるＦｅ−Ｎｉ系薄板をリードフレ
ーム等を得るために、プレス打抜き加工を行おうとする
と、バリによって側端部と幅中央部の板厚が変化するた
め、その結果、プレス加工度が落ちるという問題が発生
する。この他にも前記スリット後に発生したバリはスリ
ット後のコイル状巻取りの際やコイル取扱いの際等にお
いて、素材自身を傷つけてしまい、その結果、製品の質
を劣化させるという問題が発生する。

【０００６】上述したバリ発生の問題に対して、特公平
６−６９５６７号公報はシャドウマスク素材において、
スリット加工した後に、さらに冷間圧延することによっ
てバリを除去することを提案している。特公平６−６９
５６７号公報によれば、この方法によって破断面側に発
生したバリは除去され、しかも、側端部がエッジドロッ
プによる板厚減少を幅中央部より大きく受けるため、各
種のトラブルの要因を小さくすることができるとされて
いる。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】上述した特公平６−６
９５６７号公報に記載の方法は、バリを低減する一つの
方法として有効である。しかし、特公平６−６９５６７
号公報に記載の方法では、スリット工程後の冷間圧延に
よってシャドウマスク素材を所定の板厚に加工すること
になるため、圧下率によっては幅縮みを生じ、幅精度の
管理が難しくなる。また、スリット後に新たに冷間圧延
工程が一回増えるため、製造工数が増えシャドウマスク
の製造における効率が低下し、コストも上昇する。ま
た、近年ではＦｅ−Ｎｉ系合金薄肉化の要求が著しく、
板厚に対するバリの高さが大きくなってきたため、圧延
によるバリの除去が難しくなってきている。そこで本発
明は上述した問題点に鑑み、簡単にかつ精度良くバリの
発生を抑えたＦｅ−Ｎｉ系薄板およびその製造方法を提
供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明者は、スリット加
工によって生じたバリを除去する手法を検討した結果、
バイトやスリをＦｅ−Ｎｉ系薄板のスリットされた面に
あて、相対的に摺動させることによりバリが容易に除去
できることを見出した。そして、Ｆｅ−Ｎｉ系薄板の製
造においては、通常、長尺の薄板をスリット加工のライ
ンの最後でコイル状に巻取るため、このコイルからの巻
出し速度を利用して、バイトやヤスリなどの研削あるい
は研磨手段に接触させれば、長手方向のバリを連続して
除去できることを見出したのである。

【０００９】すなわち、本発明の製造方法は、圧延され
たＦｅ−Ｎｉ系薄板を所定の幅にスリット加工し、次い
でスリット加工された面の破断面側に研削または研磨手
段を押し当てバリを除去することを特徴とするＦｅ−Ｎ
ｉ系薄板の製造方法である。好ましくは、スリット加工
と同じライン上で、連続してバリの除去を行うものとす
る。上述した本発明の製造方法によって、スリットされ
た面の破断面側が、長手方向に研削または研磨除去され
た新規なＦｅ−Ｎｉ系薄板が得られる。また、Ｆｅ−Ｎ
ｉ系薄板の研削または研磨面に鋭角な部分が存在する
と、バリ状になっていなくても、Ｆｅ−Ｎｉ系薄板を傷
つける場合があるため、好ましくは研削または研磨除去
された面を傾斜面とする。

【００１０】

【発明の実施の形態】本発明の特徴の一つは、Ｆｅ−Ｎ
ｉ系薄板を所定幅にスリットした後、スリットされた面
の破断面側を研削または研磨することにある。スリット
されたＦｅ−Ｎｉ系薄板に発生するバリは、図３に示す
ように板厚方向に伸びた形状を有するため、そのまま使
用したのでは、前述したようにエッチングパターンの形
成不良の原因や、取扱時の傷の発生の原因となる。本発
明は、このバリを研削または研磨により除去するもので
ある。これにより、特公平６−６９５６７号公報に記載
の方法のように、スリット工程後に例か圧延によって幅
縮みのため、幅精度の管理が難しくなるという問題がな
くなる。また、スリット後の新たな冷間圧延工程が不要
となり、製造工数が低減でき、製造コストの低減が可能
である。

【００１１】また、通常、Ｆｅ−Ｎｉ系薄板は、スリッ
ト加工のラインの最後でコイル状に巻取るため、このコ
イルからの巻出し速度を利用して、バイトやヤスリなど
の研削あるいは研磨手段に接触させれば、長手方向のバ
リを連続して除去できるため、研磨あるいは研削手段を
移動してバリの除去を行う場合より、合理的にバリの除
去が可能となる。また、スリット加工と同じライン上
で、連続してバリの除去を行うようにすると、バリの発
生したＦｅ−Ｎｉ系薄板がコイルに巻き取られることに
よってＦｅ−Ｎｉ系薄板同士が傷つけあうことがなくな
り好ましい。さらに、発生したバリを速やかに除去する
ことは、薄板の取扱いの際に、側端部のバリによる怪我
の発生を防ぐことができ、取扱い性および安全性が向上
する。

【００１２】上述した製造方法により、スリットされた
面の破断面側が、長手方向に研削または研磨除去された
新規なＦｅ−Ｎｉ系薄板が得られるのである。また、Ｆ
ｅ−Ｎｉ系薄板の研削または研磨面に鋭角な部分が存在
すると、バリ状になっていなくても、Ｆｅ−Ｎｉ系薄板
を傷つける場合があるため、好ましくは研削または研磨
除去された面を傾斜面とする。具体的には、図４に示す
ように、破断面側が傾斜状の研削面ｂとなり、反対側は
なだらかな肩を有する剪断面側ａとなったＦｅ−Ｎｉ系
薄板とする。

【００１３】なお、本発明にいうＦｅ−Ｎｉ系薄板と
は、ＦｅとＮｉを主体とする素材である。特に、０．５
ｍｍ以下の薄板に本発明を適用することが望ましい。こ
れは、板厚が薄くなればなるほど、取扱時のねじれ、撓
み等により傷がつきやすく、不良になり易いためであ
る。また、板厚が薄くなればなるほど、板厚に対するバ
リの大きさが大きくなる。こうなると上述した特公平６
−６９５６７号公報に記載される圧延によるバリの除去
は、実質的に板厚の変動を抑えなければならないため難
しくなる。本発明でより効果的なのは０．３ｍｍ以下の
板厚の素材である。

【００１４】

【実施例】冷間圧延によって、幅５００ｍｍ、板厚
０．１５ｍｍの、表１の試料Ｎo.1,2に示す３６ｗｔ％
Ｎｉ−Ｆｅ系合金の薄板を得た。次にタングステンカー
バイド製の円形刃２を上下に組み合わせた図１に示すス
リッタ装置に導入し、４５０ｍｍの幅になるように帯板
１の両方のエッジを切断する、いわゆる耳切り切断を行
った。また、同様の冷間圧延によって、幅５００ｍ
ｍ、板厚０．１２ｍｍの、表１の試料Ｎo.3,4に示す４
２ｗｔ％Ｎｉ−Ｆｅ系合金の帯板を得た。

【００１５】

【表１】

【００１６】これをタングステンカーバイド製の円形刃
を上下に組み合わせたスリッタ装置に導入し、４５０ｍ
ｍの幅になるように帯板の両方を切断する耳切り切断を
行うとともに、５０ｍｍ幅ずつ切断する９条取りの条取
り切断を行った。図１に示す円形刃を上下に組み合わせ
たスリッタ装置において得られる帯板のスリットされた
面は、図３に示すなだらかな肩を有する剪断面側ａと、
バリが発生する破断面側ｂを有する形態を取っている。
上述した切断後、図１に示すようにスリッタ装置と同じ
ライン上に設けた、バイト３を帯板の破断面側から押し
つけておき、バイトによりバリを除去しつつ、巻き取る
構成にした。図２にバイトの形状を示しておく。

【００１７】なお、図示しないが、バイトによる研削で
は、研削屑が発生するため、エアノズルにより研削屑が
挾み込まれないようにしてある。得られた製品の平均断
面形状を図４に示す。図４に示すように、破断面側が傾
斜状の研削面ｂとなり、反対側はなだらかな肩を有する
剪断面側ａとなった。このような断面形状を有すること
により、帯板のスリットされた面は、全体に鋭角な部分
がなくなり、バリによる傷の発生を防止することができ
るものとなった。また、実際のバリ高さを図３に示すバ
リ高さで評価した。その結果を表２に示す。比較例とし
て、図１に示すバイト３を使用しないで同様の切断を行
い、バリの発生状態を同様に評価した。その結果を表２
に示す。表２に示すように、本発明の試料のバリ高さ
は、実質的に０となっている。これに対して、切削処理
をしない場合は、本発明による破断面研削後の試料のバ
リ高さの４倍以上のバリが発生し、好ましくないもので
あることがわかる。

【００１８】

【表２】

【００１９】

【発明の効果】この様に、スリット加工されたＦｅ−Ｎ
ｉ系薄板の側端部の破断面側に研削または研磨手段を押
し当てバリを除去し、さらに、研削または研磨除去され
た面を傾斜面とすることによって、低コストかつ簡単
に、しかも、精度良くバリが除去されたＦｅ−Ｎｉ系薄
板が得られる。また、スリット加工後、スリット加工と
同じライン上で、連続して側端部の破断面側を研削また
は研磨除去してからコイル状に巻取ることで、Ｆｅ−Ｎ
ｉ系薄板の製造工程を高効率化することができる。これ
らによって、品質が高く加工精度に優れたＦｅ−Ｎｉ系
薄板を供給することができ、シャドウマスクやリードフ
レーム等の製造の効率化に大きく貢献できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のＦｅ−Ｎｉ系薄板の製造方法の一例を
説明する図である。

【図２】本発明に使用するバイトの形状の一例を説明す
る図である。

【図３】スリット後のＦｅ−Ｎｉ系薄板の断面形状の一
例を説明する図である。

【図４】本発明のＦｅ−Ｎｉ系薄板の断面形状の一例を
説明する図である。

フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号庁内整理番号ＦＩ技術表示箇所Ｈ０１Ｊ 29/07 Ｈ０１Ｊ 29/07 Ｈ０１Ｌ 23/50 Ｈ０１Ｌ 23/50 Ｂ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】スリットされた面の破断面側が、長手方
向に研削または研磨除去されたＦｅ−Ｎｉ系薄板。
【請求項２】研削または研磨除去された面が傾斜面と
なっていることを特徴とする請求項１に記載のＦｅ−Ｎ
ｉ系薄板。
【請求項３】圧延されたＦｅ−Ｎｉ系薄板を所定の幅
にスリット加工し、次いでスリットされた破断面側に研
削または研磨手段を押し当てバリを除去することを特徴
とするＦｅ−Ｎｉ系薄板の製造方法。
【請求項４】スリット加工と同じライン上で、連続し
てバリの除去を行なうことを特徴とする請求項３に記載
のＦｅ−Ｎｉ系薄板の製造方法。