JP3489530B2 - ワイヤソー用ワイヤの製造方法 - Google Patents
ワイヤソー用ワイヤの製造方法Info
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Description
電池等の硬質材料の切断、スライスに用いられるワイヤ
ソー用のワイヤを製造する方法に関するものである。 【０００２】 【従来の技術とその課題】ワイヤソーは、複数の溝ロー
ラに所定のピッチでワイヤを巻き掛けたワイヤ列を走行
させ、このワイヤ列に被切断材（ワーク）を押し付けな
がら、ワイヤ列とワークとの間に砥液を注ぎつつ、砥粒
の研削作用により、ワークを多数のウエハに切断する装
置である。 【０００３】ところで、このようなワイヤソーに使用さ
れるワイヤに求められる特性としては、切断工程におい
てワイヤのフリーコイル径やねじれ、うねりといった線
癖が変化しないということが重要である。切断後、フリ
ーコイル径が初期よりも小さくなったり、ワイヤに微小
な波（うねり）といった悪い線癖が付くと、スライス面
の精度を著しく低下させるという問題が生じる。 【０００４】そこで、この発明は、切断後においても、
良好な線癖を保持するワイヤソー用ワイヤを製造する方
法を提供しようとするものである。 【０００５】 【課題を解決するための手段】この発明は、伸線加工工
程を経て、シリコン、太陽電池等の硬質材料の切断、スラ
イスに使用されるワイヤソー用ワイヤを製造する方法に
おいて、伸線加工工程の後に熱処理を行うようにしたも
のである。 【０００６】通常、ワイヤソー用ワイヤを製造する場
合、伸線加工工程は、最終工程である。 【０００７】この発明は、最終の伸線加工工程後に、さ
らに、熱処理を行うことにより、必要な引張り強度を低
下させることなく、使用後における線癖の低下を抑制し
たものである。 【０００８】使用後のワイヤの線癖を良好に保持するこ
とができる熱処理の温度は、１００℃以上２５０℃以下
であり、好ましくは１５０℃以上２５０℃以下である。
特に、１５０℃以上の温度で、線癖を良好に保持する効
果が顕著である。また、３００℃以上の温度では、ワイ
ヤソー用ワイヤとして、必要な引張り強度を保持できな
くなる。 【０００９】上記熱処理は、伸線後リールに巻き取って
から、リール巻きの状態のまま行ってもよいし、伸線時
の最終ダイスを通過した後に、ワイヤを通電等の方法で
加熱し、それからリールに巻き取るようにしてもよい。 【００１０】 【発明の実施の形態】φ０．１６ｍｍのワイヤソー用ワ
イヤを伸線加工によって作製し、熱処理を施さないもの
と、１００℃から３００℃の温度で熱処理を施したもの
とを使用して、シリコンインゴットの切断を行い、使用
後のワイヤの線癖を評価した。表１に、熱処理の有無、
使用後のワイヤの線癖、総合評価を示す。但し、総合評
価は、ワイヤソー用ワイヤとしての十分な強度を有し、
使用後の線癖が良好なものを○とした。 【００１１】 【表１】 【００１２】表１の通り、熱処理を施していない試料Ａ
のワイヤは、使用後の線癖が悪い。一方、試料Ａのワイ
ヤに熱処理を施したＢ〜Ｅのワイヤは、使用後も３００
ｍｍ以上のフリーコイル径を保持し、うねりも存在せ
ず、良好な線癖を有する。また、３００℃の高温で熱処
理を施したＦのワイヤは、ワイヤソー用ワイヤとして必
要な引張り強さが低下したため、総合評価は×とした。
また、表１の通り、１００℃の熱処理で、使用後のワイ
ヤのうねりがなくなり、フリーコイル径も熱処理を施し
ていないＡ材よりも大きく、線癖が良好になる。この傾
向は、１５０℃以上の熱処理でさらに顕著になる。以上
のことから、伸線加工後に、１００〜２５０℃、好まし
くは１５０〜２５０℃の温度で熱処理を行ったワイヤ
は、使用後において良好な線癖を有することが確認でき
た。 【００１３】 【発明の効果】この発明によれば、使用後においても線
癖が良好で、３００ｍｍ以上のフリーコイル径を保持
し、うねりも存在しない、良好なワイヤソー用ワイヤを
製造することができる。
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 【請求項１】 伸線加工工程を経て、硬質材料の切断、
スライスに使用されるワイヤソー用ワイヤを製造する方
法において、伸線加工工程の後に、１００℃以上２５０
℃以下の範囲で熱処理を行うことを特徴とするワイヤソ
ー用ワイヤの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000072188A JP3489530B2 (ja) | 2000-03-15 | 2000-03-15 | ワイヤソー用ワイヤの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000072188A JP3489530B2 (ja) | 2000-03-15 | 2000-03-15 | ワイヤソー用ワイヤの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001262229A JP2001262229A (ja) | 2001-09-26 |
| JP3489530B2 true JP3489530B2 (ja) | 2004-01-19 |
Family
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Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| JP2000072188A Expired - Fee Related JP3489530B2 (ja) | 2000-03-15 | 2000-03-15 | ワイヤソー用ワイヤの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3489530B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101069557B1 (ko) * | 2008-03-03 | 2011-10-05 | 홍덕정선 주식회사 | 절삭성이 우수한 케이블 소우 |
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2000
- 2000-03-15 JP JP2000072188A patent/JP3489530B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2001262229A (ja) | 2001-09-26 |
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