JPH09120062A - カラーフィルタ基板及びその製造方法、それを用いた液晶表示素子及びその製造方法 - Google Patents

カラーフィルタ基板及びその製造方法、それを用いた液晶表示素子及びその製造方法

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JPH09120062A
JPH09120062A JP22896795A JP22896795A JPH09120062A JP H09120062 A JPH09120062 A JP H09120062A JP 22896795 A JP22896795 A JP 22896795A JP 22896795 A JP22896795 A JP 22896795A JP H09120062 A JPH09120062 A JP H09120062A
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Daisuke Miyazaki
大輔 宮崎
Shoichi Kurauchi
昭一 倉内
Hitoshi Hado
仁 羽藤
Takeshi Yamamoto
武志 山本
Teruyuki Midorikawa
輝行 緑川
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Toshiba Corp
Toshiba Development and Engineering Corp
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Toshiba Corp
Toshiba Electronic Engineering Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 液晶表示素子20のスペーサ3としてスペー
サ用着色層3R,3G,3Bを積層して形成する場合の
スペーサ用着色層3R,3G,3Bの積層時の位置ずれ
によるスペーサ3の太さのばらつきの発生を減少させる
ことを課題とする。 【解決手段】 スペーサ3の複数色のスペーサ用着色層
のうち少なくとも隣あう2層の接触する面の面積を異な
らせる、例えば1層目3Rと2層目3Gとの接触する面
の面積を2層目3Gが1層目3Rより小さくする。これ
により、表示用着色層及びスペーサ用着色層形成時の位
置ずれが起きても、隣り合う2層の接触する面の面積が
最も小さい層は最も大きい層の面積にほぼおさまるよう
に他の層が形成されることになり、スペーサ3の太さの
ばらつきの発生を減少させることができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明はカラーフィルタ及び
液晶表示素子に関する。
【0002】
【従来の技術】従来のカラー液晶表示素子は、例えば図
16に示すように、透明基板1上に遮光膜4、この遮光
膜4の間を埋めるように配置された赤(R)2R,緑
(G)2G,青(B)2Bの3色からなる着色層2、電
極5、配向膜14が順次形成されたカラーフィルタ基板
50と、透明基板11上に電極12、配向膜14が順次
形成された対向基板51とを、各々の透明基板1、11
上の電極5、12が対向するように配置され、基板間隙
には液晶層7が狭持されている。そして、2枚の基板間
距離はスペーサとしてプラスチックビーズ63を基板間
に配置することにより保持されている。
【0003】この2枚の基板は図15に示すように、そ
の周辺部を液晶注入口63を残した形状のシール部62
によって張り合わさっており、この液晶注入口63より
液晶が注入され、両基板間間隙に液晶層7が形成され
る。
【0004】液晶注入口63付近には、液晶注入口63
付近の基板間距離を一定に保ち、かつ液晶組成物に溶融
した不純物が液晶と同時に注入されるのを防止するため
に、図15に示すように、約1mmの島状スペーサ61
をシール部62の形成と同時にディスペンサで塗布、形
成している。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかし、スペーサとし
てプラスチックビーズを設けた場合、プラスチックビー
ズの密度を一定にして基板上に分散させる事は難しく、
このため密度のばらつきによる基板間距離の部分的ばら
つき等の問題があった。更に、プラスチックビーズの移
動による基板表面の傷つき等の問題があった。
【0006】一方、ディスペンサによる島状スペーサ6
1の形成は厚さを一定に保つことが難しく、液晶注入口
63付近の基板間距離を一定に制御することが難しいと
いう問題があった。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明は、複数色の着色
層材料と同様の材料からなるスペーサ用着色層を複数色
積層してなるスペーサを形成する際に、各複数色のスペ
ーサ用着色層の上面積と底面積がほぼ同じまたは上面積
より底面積の方が大きく、かつ、前記スペーサの複数色
のスペーサ用着色層のうち少なくとも隣り合う2層の接
触する側の面の面積が互いに異なるように形成するの
で、着色層形成時の位置ずれによるスペーサの太さのば
らつきを防止する事ができる。ここで、各複数色のスペ
ーサ用着色層、例えば円柱状のスペーサ用着色層3Rを
例にあげて、上面積と底面積の説明をすると、図17に
示すように、上面積とは72、底面積とは71の部分を
示し、表示用着色層とは表示画素領域に対応する着色層
をいい、以下同様に用いる。
【0008】着色層と同様の材料からなるスペーサ用着
色層3R,3G,3Bを積層して柱状スペーサを形成す
る場合、表示用着色層及びスペーサ用着色層形成時に位
置ずれが起きて図10に示すようなスペーサが形成され
ることがある。図10からもわかるように、幅aのスペ
ーサを得る場合、この位置ずれを起こすと幅bのスペ−
サを得ることになって、スペーサの太さのばらつきが生
じるという不具合が生じる可能性がある。また、着色層
材料の粘性が低い場合に位置ずれが起きても、図18に
示すようにスペーサの太さのばらつきが生じるという不
具合が生じる可能性がある。この際、図7に示すよう
に、円柱型の3色のスペーサ用着色層を、第1層目の着
色層3R、第2層目の着色層3G、第3層目の着色層3
Gという順に積層していくにしたがって、スペーサ用着
色層の円柱の太さが細くなっていくスペーサを形成して
いくと、表示用着色層及びスペーサ用着色層形成時の位
置ずれが起きても、積層する隣り合う2層の接触する側
の面の面積が最も大きい層の面積にほぼ収まるように他
の層が形成され、スペーサ3の太さのばらつきの発生を
減少させることができる。すなわち、最終的に形成され
るスペーサ3の太さは面積が大きい層の太さに影響され
るので、面積が大きい層のスペーサ3の太さでほぼ最終
的に形成されるスペーサ3の太さを制御することができ
る。この場合、積層する隣り合う2層の接触する側の面
積が最も大きい層の面積に他の層がほぼ収まらなくと
も、面積を異ならせればスペーサ3の太さのばらつき
を、従来の同じ太さの着色層を積層するよりも、小さく
することができる。
【0009】また、本発明は、表示用着色層形成と同時
に、液晶注入口付近にも島状パターンのスペーサを同時
に形成するものである。これにより液晶注入口付近の基
板間距離を一定に保つことができる。
【0010】
【発明の実施の形態】
(実施例1)本発明の一実施例をシンプルマトリクス型
液晶表示素子を例にあげて以下に説明する。
【0011】まず、構造について説明する。図1に示す
ように、本実施例の液晶表示素子20は、第1の透明基
板11上に電極12を形成した対向基板51と第2の透
明基板1上に複数色の表示用着色層3が形成されたカラ
ーフィルタ基板10との2枚の透明基板間に液晶層7を
狭持している。この2枚の透明基板間距離は複数色の着
色層材料と同様の材料からなる複数色のスペーサ用着色
層3R,3G,3Bが積層された円柱状スペーサ3によ
り保持している。スペーサ用着色層3R,3G,3B
は、各複数色のスペーサ用着色層の上面積と底面積がほ
ぼ同じでかつ、隣り合う2層の接触する側の面積が異な
るように形成されている。本実施例の場合、隣り合う2
層である3R,3Gは、上層である3Gのほうが下層で
ある3Rよりもこの2層の接触する側の面積が小さく、
隣り合う2層である3G,3Bは、上層である3Bのほ
うが下層である3Gよりもこの2層の接触する側の面積
が小さい。対向基板51は、透明基板11上にストライ
プ状に透明電極12が形成され、その上に配向膜14が
形成されている。一方、カラーフィルタ基板10は、透
明基板1上に遮光膜4が形成され、この遮光膜4の間を
埋めるように赤(R)2R,緑(G)2G,青(B)2
Bの3色からなる表示用着色層2が対向基板上のストラ
イプ状の透明電極12と直交するような形状でストライ
プ状に形成されている。そして、この着色層上には、ス
トライプ状の表示用着色層2と直交するしたストライプ
形状の透明電極5、配向膜14が形成されている。
【0012】また、この液晶表示素子は図15に示すよ
うに、2枚の基板間に液晶を注入する液晶注入口63に
複数色のスペーサ用着色層3R,3G,3Bが積層され
た島状スペーサ61が形成されている。尚、図14では
スペーサ3の形成位置がカラーフィルタ基板10の透明
電極5の形成位置に重なっているが、透明電極5が形成
されない位置にスペーサ3を配置しても良く、スペーサ
3上の透明電極5と対向基板51の透明電極12との短
絡を考えた場合、透明電極5が形成されない位置にスペ
ーサ3を配置した方が好ましい。
【0013】次に製造方法について図2、3を用いて説
明する。図2(a)に示すように、透明基板1として
1.1mmの厚みの無アルカリガラス上にアルカリ現像
可能な光硬化型アクリル樹脂にカーボンブラックを分散
させた材料をスピンナーで塗布する。これを、90℃、
10分の乾燥後、所定のパターン形状のフォトマスクを
用いて300mj/cm2 の露光量で露光したあとpH
11.5のアルカリ水溶液にて現像し、200℃、1時
間の焼成にて膜厚2.0μmの格子状パターンの遮光膜
4を形成した。
【0014】この遮光膜4を形成したガラス基板1上
に、図2(b)に示すようにアルカリ現像可能な市販の
赤色着色レジストCR−2000(富士ハントテクノロ
ジー(株))6Rをスピンナーにより塗布、仮焼成後、
図6に示すようなストライプ状の表示用着色層パターン
32、円形状のスペーサ用着色層パターン31、液晶注
入口付近に対応した島状スペーサパターン(図示せず)
が形成されたマスク30を用いて、100mj/cm2
の露光量で露光したあとpH11.5の現像液で現像す
る。その後、図2(c)に示すように200℃で1時間
焼成し、膜厚2.0μmの表示用着色層2R、遮光膜4
上に円柱状のスペーサ用着色層3R、液晶注入口付近に
対応した島状スペーサパターン着色層61R(図示せ
ず)を形成した。
【0015】次に、図2(d)に示すように、アルカリ
現像可能な市販の緑色着色レジストCG−2000(富
士ハントテクノロジー(株))6Gをスピンナーにより
塗布、仮焼成後、図6に示すような表示用着色層パター
ン32、スペーサ用着色層パターン31、液晶注入口付
近に対応した島状スペーサパターン(図示せず)が形成
されたマスク30を用いて、100mj/cm2 の露光
量で露光したあとpH11.5の現像液で現像する。図
2(e)に示すように、その後、200℃で1時間焼成
し、膜厚2.0μmの表示用着色層2G、円柱状のスペ
ーサ用着色層3R上に積層するように円柱状スペーサ用
着色層3Gを形成する。この時用いるマスクの円形状の
スペーサ用着色層パターン31の面積は、赤色着色層形
成時に使用したマスクの円形状スペーサ用着色層パター
ン31の面積と異なる小さいものを使用した。
【0016】次に、図3(a)に示すように、アルカリ
現像可能な市販の青色着色レジストCB−2000(富
士ハントテクノロジー(株))6Bをスピンナーにより
塗布、仮焼成後、図6に示すような表示用着色層パター
ン32、円柱状スペーサ用着色層パターン31、液晶注
入口付近に対応した島状スペーサパターン(図示せず)
が形成されたマスク30を用いて、100mj/cm2
の露光量で露光したあとpH11.5の現像液で現像す
る。その後、図17b)に示すように、200℃で1時
間焼成し、膜厚2.0μmの表示用着色層2B、円柱状
スペーサ用着色層3G上に積層するようにスペーサ用着
色層3Bを形成する。この時用いるマスクの円形状のス
ペーサ用着色層パターン31の面積は、緑色着色層形成
時に使用したマスクの円形状スペーサ用着色層パターン
31の面積と異なる小さいものを使用した。
【0017】このようにして、基板1上に表示用着色層
2R,2G,2Bと、スペーサ用着色層3R,3G,3
Bが積層されたスペーサ3、液晶注入口付近島状スペー
サ用着色層61R,61G,61Bを形成してカラーフ
ィルタ基板10を製造した。
【0018】この時、露光機の重ね合わせ精度は±2μ
mであったので、スペーサ用着色層3R,3G,3Bの
積層時の位置ずれによるスペーサ3の太さが変わらない
ように、円柱状スペーサ用着色層3Rの直径を20μ
m、円柱状スペーサ用着色層3Gの直径を16μm、円
柱状スペーサ用着色層3Bの直径を12μmとした。こ
のように形成されたスペーサ3は、赤色の円柱状スペー
サ用着色層3R上に緑色の円柱状スペーサ用着色層3
G、青色の円柱状スペーサ用着色層3Bの3色の複数色
のスペーサ用着色層が積層した形状をしている。積層す
るにしたがってスペーサ用着色層形成のマスクの孔を小
さくするため、1層目である赤色の円柱状スペーサ用着
色層3Rと2層目である緑色の円柱状スペーサ用着色層
3Gとの接触する側の1層目、2層目の各層の面の面
積、2層目である緑色の円柱状スペーサ用着色層3Gと
3層目である青色の円柱状スペーサ用着色層3Bとの接
触する側の2層目、3層目の各層の面の面積は異なる。
このようにすることにより、着色層形成時の位置ずれに
よるスペーサ3の太さのばらつきの発生を防止すること
ができる。
【0019】次に、このカラーフィルタ基板10上にI
TOからなる電極5を着色層2のストライプ形状と直交
するストライプ形状に形成した。そして、この電極5を
形成したカラーフィルタ基板10上にポリイミドを塗
布、これを配向処理して配向膜14を形成した。
【0020】そして、図1に示すように、このカラーフ
ィルタ基板10と、第1の透明基板11上にストライプ
状の電極12を形成、これにポリイミドを塗布、これを
配向処理をして配向膜14を形成して製造した対向基板
51とを、両基板上の電極が直交するように配置して、
液晶の注入口部分を残してシール剤を基板周辺部にもう
けて両基板を貼合わせた。その後、注入口より液晶を注
入して液晶層7を設け、注入口を紫外線硬化樹脂で封止
して液晶表示素子20を形成した。液晶注入口付近には
表示用着色層と同時に島状パターンのスペーサを形成し
たため、液晶注入口付近の基板間距離を一定に保つこと
ができた。 (実施例2)本発明の一実施例をアクティブマトリクス
型液晶表示素子を例にあげて以下に説明する。
【0021】まず、構造について説明する。図14に示
すように、本実施例の液晶表示素子20は、第1の透明
基板11に電極12を形成した対向基板51と第2の透
明基板1上に複数色の表示用着色層2R,2G,2Bが
形成されたカラーフィルタ基板10との2枚の透明基板
間に液晶層7を狭持している。この2枚の基板間距離は
表示用着色層3R,3G,3Bと同様の材料からなる、
各複数色のスペーサ用着色層の上面積と底面積がほぼ同
じ複数色のスペーサ用着色層3R,3G,3Bを積層し
た円柱状スペーサ3により保持している。対向基板51
には、透明基板11上にべタ状に透明電極12が形成さ
れ、その上に配向膜14が形成されている。一方、カラ
ーフィルタ基板10は、図9に示すように、透明基板1
上に交差するように配列された複数の走査線32と複数
の信号線33と、これら走査線32と信号線33の交差
部毎に形成されたスイッチング素子31と、このスイッ
チング素子31毎に接続された画素電極13、表示用着
色層2、スペーサ用着色層3とが形成されている。図1
4に示すように、画素電極13に対応して画素電極13
上に表示用着色層2が形成されており、これらの上に配
向膜14が形成されている。尚、図9はアクティブマト
リクス型液晶表示素子の走査線32、信号線33、スイ
ッチング素子31、画素電極13が形成された状態を示
す一般図であり、図13はこれに着色層を形成した本実
施例のカラーフィルタ基板を線B−Bで、図14はこれ
を用いた本実施例の液晶表示素子を線B−Bで切った時
の各々縦断面図を示す。
【0022】次に製造方法について説明する。液晶表示
素子に用いるカラーフィルタ基板10は図13に示すよ
うなカラーフィルタ基板に配向膜を形成したものであ
り、まずこのカラーフィルタ基板10の製造方法につい
て説明する。
【0023】このカラーフィルタ基板10は、まず透明
基板1上に交差するように配列された複数の走査線32
と複数の信号線33と、これら走査線32と信号線33
の交差部毎に形成されたスイッチング素子31とを形成
した。
【0024】その後、実施例1と同様の方法で、膜厚
2.0μmの走査線32、信号線31に対応させた格子
状パターンの遮光膜4を形成した。この遮光膜4を形成
したガラス基板1上に、走査線32上の遮光膜4上にス
ペーサ3が形成されるように、実施例1と同様の方法
で、表示用着色層2R,2G,2Bと、スペーサ用着色
層3R,3G,3Bが積層されたスペーサ3を形成して
カラーフィルタ基板10を製造した。
【0025】この時、露光機の重ね合わせ精度は±2μ
mであったので、スペーサ用着色層3R,3G,3Bが
積層時の位置ずれによるスペーサ3の太さが変わらない
ように、円柱状スペーサ用着色層3Rの直径を20μ
m、円柱状スペーサ用着色層3Gの直径を16μm、円
柱状スペーサ用着色層3Bの直径を12μmとした。
【0026】次に、このカラーフィルタ基板10上に表
示用着色層2に対応させて、画素電極13を形成し、ス
イッチング素子31毎にこの画素電極13とを接続し
た。そして、これにポリイミドを塗布、これを配向処理
をして配向膜14を形成してカラーフィルタ基板10を
製造した。
【0027】次に、図14に示すように、このカラーフ
ィルタ基板10と、第1の透明基板11上にベタ状の電
極5を形成、これにポリイミドを塗布、これを配向処理
をして配向膜14を形成した対向基板51とを、両基板
上の電極が対向するように配置して、液晶の注入口を残
してシール剤を基板周辺部にもうけて両基板を貼合わせ
た。その後、注入口より液晶を注入して液晶層7を設
け、注入口を紫外線硬化樹脂で封止して液晶表示素子2
0を形成した。
【0028】以上実施例1ではシンプルマトリクス型液
晶表示素子、実施例2ではアクティブマトリクス型液晶
表示素子で着色層上に画素電極を形成する例をあげて、
複数色のスペーサ用着色層を積層したスペーサを説明し
たが、これに限られるものではない。例えば、図5に示
すように透明基板11上に走査線32(図示せず)、信
号線33、スイッチング素子31(図示せず)、画素電
極13が形成された対向基板51と、着色層2が形成さ
れたカラーフィルタ基板50との間に液晶層7を形成し
たアクティブマトリクス型液晶表示素子のように、画素
電極等と着色層が別々の基板に形成されていても良い。
なお、図5は図9の線A−Aで切った縦断面図である。
また、実施例3ではアクティブマトリクス型液晶表示素
子で着色層上に画素電極を形成する例をあげたが、画素
電極上に着色層を形成した構造にも用いることができ
る。
【0029】上記実施例では、円柱状のスペーサを設け
たが、このような形状に限定されるものではなく、直方
体状等の形状でも良い。また、スペーサの形成を、積層
するにしたがって接触するスペーサ用着色層のうち隣り
合う2層の接触する側の各層の面の面積を上層の方が小
さくなるような例をあげて説明した。
【0030】しかし、図11(a),(c)に示すよう
に、2層目と3層目というように、少なくとも隣り合う
2層の接触する側の面の面積が1箇所異なれば、積層す
るすべてのスペーサ用着色層の各層の太さが同じである
場合と比べて、スペーサ用着色層の積層時の位置ずれに
よるスペーサの太さのばらつきをを防止できる。
【0031】また、図11(b),(c)のように少な
くとも隣り合う2層の接触する側の面の面積が異なり、
上層が下層よりもこの面積が大きい場合も同様の効果が
得られる。なお、この場合、上層の面積は、図11
(b)に示すように接触面Cに沿って上層を切った時の
面における面積をいう。また、図11(b)に示すよう
に、スペーサ用着色層3B,3Gの底面とは、各層の底
面積側の層との接触面Cに沿って切った時の面における
面積をいう。さらに、図12(a),(b)に示すよう
に上層が下層を包み込む場合でも同様の効果を得ること
ができる。
【0032】このように、最も大きい層の面積が積層後
のスペーサの太さに関わり、少なくとも他の層1層の面
積を最も大きい層の面積より小さく設定すれば、スペー
サ用着色層の積層時の位置ずれによるスペーサの太さの
ばらつきを防止できる。
【0033】また、本実施例では、表示用着色層とスペ
ーサ用着色層とが独立して形成された場合を例に挙げ
て、スペーサ用着色層の各層の太さを変えることを説明
したが、図8のように、表示用着色層2Rとスペーサ用
着色層3Rとが、表示用着色層2Gとスペーサ用着色層
3Gとつながったパターンで、スペーサ用着色層3Bが
独立して形成される場合でも、スペーサ用着色層の大き
さを変える事により、同様の効果を得ることができる。
また、図4のようなマスクを使って着色層およびスペー
サを形成する場合、3色同じマスクを用いることも可能
である。
【0034】
【発明の効果】本発明は、複数色のスペーサ用着色層を
積層してスペーサを形成する際、少なくとも隣り合う2
層の接触する側の面の面積が異なれば、スペーサ用着色
層の積層時の位置ずれによるスペーサの太さのばらつき
を防止することができる。
【0035】また、液晶注入口付近に、表示用着色層形
成と同時にスペーサ用着色層を形成することにより、容
易に液晶注入口付近の基板間距離を一定に保つことがで
きる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例を示すカラーフィルタ基板を
示す縦断面図。
【図2】本発明のカラーフィルタ基板の製造方法を示す
概略図。
【図3】図2のカラーフィルタ基板の製造方法の次の工
程示す概略図。
【図4】本発明の一実施例であるカラーフィルタ基板の
着色層の形成時に用いるマスクを示す平面図。
【図5】本発明の一実施例を示すアクティブマトリクス
型液晶表示素子の縦断面図。
【図6】本発明の一実施例であるカラーフィルタ基板の
着色層の形成時に用いるマスクを示す平面図。
【図7】本発明の一実施例を示すカラーフィルタ基板の
スペーサ部の形状を示す縦断面図。
【図8】本発明の一実施例を示すカラーフィルタ基板の
スペーサ部の形状を示す平面図。
【図9】本発明のアクティブマトリクス型液晶表示素子
の走査線、信号線、スイッチング素子、画素電極の形成
状態を示す概略図。
【図10】従来のカラーフィルタ基板のスペーサ部の形
状を示す縦断面図。
【図11】本発明のカラーフィルタ基板のスペーサ部の
他の実施例を示す縦断面図。
【図12】本発明のカラーフィルタ基板のスペーサ部の
他の実施例を示す縦断面図。
【図13】本発明の一実施例であるカラーフィルタ基板
の縦断面図。
【図14】本発明の一実施例を示すアクティブマトリク
ス型液晶表示素子の縦断面図。
【図15】本発明の一実施例であるカラーフィルタ基板
の液晶注入口付近の概略図。
【図16】本発明のカラーフィルタ基板の製造方法を示
す概略図。
【図17】スペーサ用着色層の形状を示す斜視図。
【図18】従来のカラーフィルタ基板のスペーサ部の形
状を示す縦断面図。
【符号の説明】
1…透明基板 2…表示用着色層 3…スペーサ 3R…赤色スペーサ用着色層 3G…緑色スペーサ用着
色層 3B…青色スペーサ用着色層 11…透明基板 12…透明基板 13…画素電極 20…液晶表示素子 31…スイッチング素子 32…走査線 33…信号線 50…カラーフィルタ基板 51…対向基板 61…島状スペーサ 62…液晶注入口
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 羽藤 仁 神奈川県横浜市磯子区新杉田町8番地 株 式会社東芝横浜事業所内 (72)発明者 山本 武志 神奈川県横浜市磯子区新杉田町8番地 株 式会社東芝横浜事業所内 (72)発明者 緑川 輝行 神奈川県川崎市川崎区日進町7番地1 東 芝電子エンジニアリング株式会社内

Claims (17)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】透明基板上に複数色の表示用着色層とこの
    複数色の着色層材料と同様の材料からなるスペーサ用着
    色層を複数色積層してなるスペーサが形成されたカラー
    フィルタ基板において、前記各複数色のスペーサ用着色
    層は上面積と底面積がほぼ同じまたは上面積より底面積
    が大きく、かつ、前記スペーサの複数色のスペーサ用着
    色層のうち少なくとも隣り合う2層の接触する側の面の
    面積が互いに異なることを特徴とするカラーフィルタ基
    板。
  2. 【請求項2】前記表示用着色層と前記スペーサ用着色層
    が独立して形成されていることを特徴とする請求項1記
    載のカラーフィルタ基板。
  3. 【請求項3】前記隣り合う2層の上層のスペーサ用着色
    層と下層のスペーサ用着色層との接触する側の面の面積
    が、上層より下層が大きいことを特徴とする請求項1ま
    たは2記載のカラーフィルタ基板。
  4. 【請求項4】透明基板上に複数色の表示用着色層とこの
    複数色の着色層材料と同様の材料からなるスペーサ用着
    色層を複数色積層してスペーサを形成するカラーフィル
    タ基板の製造方法において、前記各複数色のスペーサ用
    着色層は上面積と底面積がほぼ同じまたは上面積より底
    面積が大きく、かつ、前記スペーサの複数色のスペーサ
    用着色層のうち少なくとも隣り合う2層の接触する側の
    面の面積が互いに異なるようにスペーサを形成すること
    を特徴とするカラーフィルタ基板の製造方法。
  5. 【請求項5】透明基板上に第1色目の第1の表示用着色
    層と第1層目のスペーサ用着色層とを形成する工程と、
    前記第1の表示用着色層及び前記第1層目のスペーサ用
    着色層が形成された透明基板上に、第2色目の第2の表
    示用着色層と前記第1層目のスペーサ用着色層上に第2
    層目のスペーサ用着色層を形成する工程と、前記第1、
    第2の表示用着色層及び前記第1層目、第2層目のスペ
    ーサ用着色層が形成された透明基板上に、第3色目の第
    3の表示用着色層と前記第2層目のスペーサ用着色層上
    に第3層目のスペーサ用着色層を形成する工程とからな
    る複数色の着色層が形成されたカラーフィルタ基板の製
    造方法において、前記各複数色のスペーサ用着色層は上
    面積と底面積がほぼ同じまたは上面積より底面積が大き
    く、かつ、前記スペーサの複数色のスペーサ用着色層の
    うち少なくとも隣り合う2層の接触する側の面の面積が
    互いに異なるようにスペーサを形成することを特徴とす
    るカラーフィルタ基板の製造方法。
  6. 【請求項6】前記表示用着色層と前記スペーサ用着色層
    が独立して形成されていることを特徴とする請求項4ま
    たは5記載のカラーフィルタ基板の製造方法。
  7. 【請求項7】前記隣り合う2層の上層のスペーサ用着色
    層と下層のスペーサ用着色層との接触する側の面の面積
    が、上層より下層が大きいことを特徴とする請求項4、
    5、6いずれか1つ記載のカラーフィルタ基板の製造方
    法。
  8. 【請求項8】第1の透明基板上に第1の電極が形成され
    た第1の基板と第2の透明基板上に第2の電極が形成さ
    れた第2の基板と基板間に液晶注入口より注入した液晶
    層が狭持され、前記2枚の基板の内少なくとも一方の基
    板上に複数色の着色層と、前記複数色の着色層材料と同
    様の材料からなるスペーサ用着色層を複数色積層してな
    るスペーサが形成され、このスペーサにより前記2枚の
    基板間距離を保持した液晶表示素子において、前記液晶
    注入口付近に前記柱状スペーサが形成されていることを
    特徴とする液晶表示素子。
  9. 【請求項9】第1の透明基板上に第1の電極が形成され
    た第1の基板と第2の透明基板上に第2の電極が形成さ
    れた第2の基板と基板間に液晶注入口より注入した液晶
    層が狭持され、前記2枚の基板の内少なくとも一方の基
    板上に複数色の着色層と、前記複数色の着色層材料と同
    様の材料からなるスペーサ用着色層を複数色積層してな
    るスペーサが形成され、このスペーサにより前記2枚の
    基板間距離を保持した液晶表示素子において、前記各複
    数色のスペーサ用着色層は上面積と底面積がほぼ同じま
    たは上面積より底面積が大きく、かつ、前記スペーサの
    複数色のスペーサ用着色層のうち少なくとも隣り合う2
    層の接触する側の面の面積が互いに異なるようにスペー
    サを形成することを特徴とする液晶表示素子。
  10. 【請求項10】前記表示用着色層と前記スペーサ用着色
    層が独立して形成されていることを特徴とする請求項9
    記載の液晶表示素子。
  11. 【請求項11】前記隣り合う2層の上層のスペーサ用着
    色層と下層のスペーサ用着色層との接触する側の面の面
    積が、上層より下層が大きいことを特徴とする請求項9
    または10記載の液晶表示素子。
  12. 【請求項12】第1の透明基板上に第1の電極が形成さ
    れた第1の基板と第2の透明基板上に第2の電極が形成
    された第2の基板との基板間に液晶注入口より注入され
    た液晶層が狭持され、前記2枚の基板の内少なくとも一
    方の基板上に複数色の着色層と、前記複数色の着色層材
    料と同様の材料からなるスペーサ用着色層を複数色積層
    してなるスペーサが形成され、このスペーサにより前記
    2枚の基板間距離が保持された液晶表示素子の製造方法
    において、前記液晶注入口付近に前記柱状スペーサを形
    成することを特徴とする液晶表示素子の製造方法。
  13. 【請求項13】第1の透明基板上に第1の電極が形成さ
    れた第1の基板と第2の透明基板上に第2の電極が形成
    された第2の基板との基板間に液晶層が狭持され、前記
    2枚の基板の内少なくとも一方の基板上に複数色の着色
    層と、前記複数色の着色層材料と同様の材料からなるス
    ペーサ用着色層を複数色積層してなるスペーサが形成さ
    れ、このスペーサにより前記2枚の基板間距離が保持さ
    れた液晶表示素子の製造方法において、前記各複数色の
    スペーサ用着色層は上面積と底面積がほぼ同じまたは上
    面積より底面積が大きく、かつ、前記スペーサの複数色
    のスペーサ用着色層のうち少なくとも隣り合う2層の接
    触する側の面の面積が互いに異なるようにスペーサを形
    成することを特徴とする液晶表示素子の製造方法。
  14. 【請求項14】前記表示用着色層と前記スペーサ用着色
    層が独立して形成されていることを特徴とする請求項1
    3記載の液晶表示素子の製造方法。
  15. 【請求項15】前記2層の上層のスペーサ用着色層と下
    層のスペーサ用着色層との接触する側の面の面積が、上
    層より下層が大きいことを特徴とする請求項13または
    14記載の液晶表示素子の製造方法。
  16. 【請求項16】前記第1の基板または前記第2の基板の
    内一方の基板上には、互いに交差するように配列された
    走査線と、複数の信号線と、該走査線及び該信号線の交
    差部毎に形成された該走査線及び該信号線に接続された
    スイッチング素子と、該スイッチングごとに接続された
    画素電極とが形成されていることを特徴とする請求項
    8、9、10、11のうちのいずれか1つ記載の液晶表
    示素子。
  17. 【請求項17】前記第1の基板または前記第2の基板の
    内一方の基板上には、互いに交差するように配列された
    走査線と、複数の信号線と、該走査線及び該信号線の交
    差部毎に形成された該走査線及び該信号線に接続された
    スイッチング素子と、該スイッチングごとに接続された
    画素電極とが形成されていることを特徴とする請求項1
    2、13、14、15のうちのいずれか1つ記載の液晶
    表示素子の製造方法。
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