JP2002162913A - 電気光学装置用基板ユニットおよび電気光学装置用基板ユニットの製造方法、電気光学装置および電気光学装置の製造方法、並びに電子機器 - Google Patents
電気光学装置用基板ユニットおよび電気光学装置用基板ユニットの製造方法、電気光学装置および電気光学装置の製造方法、並びに電子機器Info
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Abstract
よく位置合わせを行うことができ、貼り合わせずれを防
止することができる電気光学装置用基板ユニットを提供
する。 【解決手段】 互いに対向する一対の基板からなる電気
光学装置用基板ユニットであって、前記一対の基板のう
ちの一方の基板には、前記一方の基板から他方の基板に
向かって細くなるテーパー状の凸部が設けられ、他方の
基板には、前記凸部に嵌合し得る凹部が設けられ、前記
凸部と前記凹部とを嵌合させた状態で、前記凸部の外径
と前記凹部の内径とがほぼ同じ寸法となる部分を有する
電気光学装置用基板ユニットとする。
Description
板ユニットおよび電気光学装置用基板ユニットの製造方
法、電気光学装置および電気光学装置の製造方法、並び
に電子機器に関し、とくに、一対の基板を貼り合わせる
際に、容易に精度よく位置合わせを行うことができ、貼
り合わせずれを防止することができる電気光学装置用基
板ユニットおよびその製造方法、この電気光学装置用基
板ユニットを備えた電気光学装置およびその製造方法、
並びに電子機器に関するものである。
た液晶パネルの一例を示す概略断面図である。
複数のデータ線および走査線101が格子状に形成され
るとともに、画素電極、この画素電極を駆動する薄膜ト
ランジスタ(Thin Film Transistor, 以下、TFTと略
記する)からなるスイッチング素子等がマトリクス状に
配置された素子基板102(TFTアレイ基板)と、対
向電極103、カラーフィルター等が配置された対向基
板104(カラーフィルター基板)とが所定の間隔をも
って配置されている。素子基板102と対向基板104
とは、シール材106により一定の間隔を保って互いに
電極形成面が対向するように貼付され、2枚の基板10
2,104間の間隙に液晶107が封入されている。ま
た、素子基板102、対向基板104の外面側には偏光
板108,109がそれぞれ貼付されている。
は、まず、素子基板102と対向基板104とをそれぞ
れ作製する。その後、例えば、素子基板102の電極が
形成されている側の面に、2枚の基板間の間隔を一定に
保持するためのスペーサ(図示略)を散布し、一方、対
向基板104の電極が形成されている側の面に、液晶を
封止するためのシール材106をスクリーン印刷等によ
り形成する。次に、これら2枚の基板102,104を
貼り合わせ、液晶注入装置を用いて2枚の基板102、
104間の間隙に液晶107を注入する。その後、両面
に偏光板108、109を貼り付けることによって液晶
パネル100が完成する。
置の製造工程において、素子基板と対向基板とを貼り合
わせる工程では、例えば、画像処理を使用した自動アラ
イメント装置によって両基板のアライメントマーク同士
をミクロン精度で合わせ込み、シール材をシール材内部
に混入されたシールスペーサー径まで加圧プレスし、所
定のセルギャップを保ちながらシール材を硬化させると
いう方法を採る。この2枚の基板を貼り合わせる工程
は、それぞれの基板が持つ製造時のパターニング誤差と
アライメント精度とを含む、いわゆる貼り合わせ技術の
精度の限界によって貼り合わせずれが生じる要因を持っ
ている。そのため、通常、素子基板と対向基板との重ね
合わせは、5〜10μmのマージンを持って設計され
る。このマージンを少なくすることは、液晶パネルの高
開口率化につながり、明るさを向上させるための重要な
課題である。
材硬化等の基板を貼り合わせる際のの各工程において、
セルギャップの均一化を図りながら貼り合わせずれを抑
止することは難しく、歩留まりが悪いことが問題となっ
ていた。
開口率の要求が高まっている。それに伴って、貼り合わ
せずれに対する要求も厳しくなっている。そして、今
後、さらに貼り合わせ精度を向上させる要求が高まるこ
とが想定されている。
されたものであって、一対の基板を貼り合わせる際に、
容易に精度よく位置合わせを行うことができ、貼り合わ
せずれを防止することができる電気光学装置用基板ユニ
ットおよびその製造方法を提供することを目的とする。
備えた高品位な電気光学装置およびその製造方法、並び
に電子機器を提供することを目的とする。
めに、本発明の電気光学装置用基板ユニットは、互いに
対向する一対の基板からなる電気光学装置用基板ユニッ
トであって、前記一対の基板のうちの一方の基板には、
前記一方の基板から他方の基板に向かって細くなるテー
パー状の凸部が設けられ、他方の基板には、前記凸部に
嵌合し得る凹部が設けられ、前記凸部と前記凹部とを嵌
合させた状態で、前記凸部の外径と前記凹部の内径とが
ほぼ同じ寸法となる部分を有することを特徴とする。
ットには、1個の電気光学装置が得られるものも、分割
することにより複数個の電気光学装置が得られるものも
含まれる。
明の電気光学装置用基板ユニットの製造方法は、互いに
対向する一対の基板からなる電気光学装置用基板ユニッ
トの製造方法であって、前記一対の基板のうちの一方の
基板に、前記一方の基板から他方の基板に向かって細く
なるテーパー状の凸部を設けるとともに、他方の基板
に、前記凸部に嵌合し得る凹部を設け、前記凸部および
前記凹部は、前記凸部と前記凹部とを嵌合させた状態
で、前記凸部の外径と前記凹部の内径とがほぼ同じ寸法
となる部分を有するように形成し、前記凸部と前記凹部
とを嵌合させることにより位置合わせを行い、前記一対
の基板を貼り合わせることを特徴とする。
は、一対の基板のうちの一方の基板には凸部が設けら
れ、他方の基板には前記凸部に嵌合し得る凹部が設けら
れたものであるので、前記凸部と前記凹部とを嵌合させ
ることにより、2枚の基板の位置合わせを行うことがで
きる。
トは、前記一方の基板から他方の基板に向かって細くな
るテーパー状の凸部が設けられたものであるので、前記
凸部と前記凹部とを嵌合させる際に2枚の基板の位置が
多少ずれていても、前記凸部の頭頂部が前記凹部内に入
りさえすれば、前記凸部と前記凹部とを嵌合させること
ができるので、容易に2枚の基板の位置合わせを行うこ
とができる。
状態で、前記凸部の外径と前記凹部の内径とがほぼ同じ
寸法となる部分を有するものであるので、2枚の基板を
重ね合わせた状態では、これら基板が動きにくく、製造
工程で生じる貼り合わせずれを防止することができる。
したがって、貼り合わせずれに対応するためのマージン
を少なくすることができ、開口率を向上することができ
る。
の製造方法によれば、一対の基板を容易に精度よく貼り
合わせることができ、高品質な電気光学装置用基板ユニ
ットが得られる。
明の電気光学装置用基板ユニットは、互いに対向する一
対の基板からなる電気光学装置用基板ユニットであっ
て、前記一対の基板のうちの一方の基板には、前記一方
の基板から他方の基板に向かって広くなるテーパー状の
内面を有する凹部が設けられ、他方の基板には、前記凹
部に嵌合し得る凸部が設けられ、前記凸部と前記凹部と
を嵌合させた状態で、前記凸部の外径と前記凹部の内径
とがほぼ同じ寸法となる部分を有することを特徴とす
る。
トの製造方法は、互いに対向する一対の基板からなる電
気光学装置用基板ユニットの製造方法であって、前記一
対の基板のうちの一方の基板に、前記一方の基板から他
方の基板に向かって広くなるテーパー状の内面を有する
凹部を設けるとともに、他方の基板に、前記凹部に嵌合
し得る凸部を設け、前記凸部および前記凹部は、前記凸
部と前記凹部とを嵌合させた状態で、前記凸部の外径と
前記凹部の内径とがほぼ同じ寸法となる部分を有するよ
うに形成し、前記凸部と前記凹部とを嵌合させることに
より位置合わせを行い、前記一対の基板を貼り合わせる
ことを特徴とする。
は、一対の基板のうちの一方の基板には凹部が設けら
れ、他方の基板には前記凹部に嵌合し得る凸部が設けら
れたものであるので、前記凸部と前記凹部とを嵌合させ
ることにより、2枚の基板の位置合わせを行うことがで
きる。
トは、前記一方の基板から他方の基板に向かって広くな
るテーパー状の内面を有する凹部が設けられたものであ
るので、前記凸部と前記凹部とを嵌合させる際に2枚の
基板の位置が多少ずれていても、前記凸部の頭頂部が前
記凹部内に入りさえすれば、前記凸部と前記凹部とを嵌
合させることができるので、容易に2枚の基板の位置合
わせを行うことができる。
の製造方法によれば、一対の基板を容易に精度よく貼り
合わせることができ、高品質な電気光学装置用基板ユニ
ットが得られる。
明の電気光学装置用基板ユニットは、互いに対向する一
対の基板からなる電気光学装置用基板ユニットであっ
て、前記一対の基板のうちの一方の基板には、前記一方
の基板から他方の基板に向かって細くなるテーパー状の
凸部が設けられ、他方の基板には、前記他方の基板から
一方の基板に向かって広くなるテーパー状の内面を有
し、前記凸部に嵌合し得る凹部が設けられ、前記凸部と
前記凹部とを嵌合させた状態で、前記凹部の内面全面に
前記凸部の外面全面が接触することを特徴とする。
トの製造方法は、互いに対向する一対の基板からなる電
気光学装置用基板ユニットの製造方法であって、前記一
対の基板のうちの一方の基板に、前記一方の基板から他
方の基板に向かって細くなるテーパー状の凸部を設ける
とともに、他方の基板に、前記他方の基板から一方の基
板に向かって広くなるテーパー状の内面を有し、前記凸
部に嵌合し得る凹部を設け、前記凸部および前記凹部
は、前記凸部と前記凹部とを嵌合させた状態で、前記凹
部の内面全面に前記凸部の外面全面が接触するように形
成し、前記凸部と前記凹部とを嵌合させることにより位
置合わせを行い、前記一対の基板を貼り合わせることを
特徴とする。
は、前記一対の基板のうちの一方の基板には、前記一方
の基板から他方の基板に向かって細くなるテーパー状の
凸部が設けられ、他方の基板には、前記他方の基板から
一方の基板に向かって広くなるテーパー状の内面を有
し、前記凸部に嵌合し得る凹部が設けられたものである
ので、前記凸部と前記凹部とを嵌合させる際に2枚の基
板の位置が多少ずれていても、前記凸部の頭頂部が前記
凹部内に入りさえすれば、前記凸部と前記凹部とを嵌合
させることができるので、容易に2枚の基板の位置合わ
せを行うことができる。
の製造方法によれば、一対の基板を容易に精度よく貼り
合わせることができ、高品質な電気光学装置用基板ユニ
ットが得られる。
ては、前記凸部および前記凹部が、各基板の四隅に設け
られていることが望ましい。
よれば、2枚の基板の位置合わせをより一層合理的にか
つ正確に行うことができる。また、位置合わせ後の凹部
と凸部とが嵌合している状態が安定した状態となるた
め、貼り合わせずれをより一層効果的に防止することが
できる。
においては、前記凸部と前記凹部とを嵌合させた状態で
の前記一対の基板間の距離が、1μmないし10μmの
範囲であることが望ましい。
パネルにおける現状のセルギャップを考慮すると、前記
凸部と前記凹部とを嵌合させた状態での前記一対の基板
間の距離は、1μmないし10μmの範囲であることが
望ましい。
深さを所定の値に調整する方法などにより、前記凸部と
前記凹部とを嵌合させた状態での前記一対の基板間の距
離が所定の範囲となるようにしておけば、2枚の基板を
貼り合わせると同時に必然的に所定の寸法のセルギャッ
プが形成される。このため、セルギャップの制御を容易
にかつ精度よく行うことができ、セルギャップの制御を
合理的に行うことができる。
造方法においては、前記凸部または前記凹部を感光性樹
脂で形成し、フォトリソグラフィー工程において露光機
のプロキシミリティーを制御することにより、前記凸部
または前記凹部をテーパー状に形成することが望まし
い。
製造方法とすることにより、容易に前記凸部または前記
凹部を、テーパー状に形成することができる。
脂で形成し、フォトリソグラフィー工程においてグレイ
マスクを用いることにより、前記凸部または前記凹部を
テーパー状に形成してもよい。
製造方法とすることによっても、容易に前記凸部または
前記凹部を、テーパー状に形成することができる。
明の電気光学装置は、上記のいずれかに記載の電気光学
装置用基板ユニットを備え、前記電気光学装置用基板ユ
ニットの前記一対の基板の間に電気光学材料が挟持され
ていることを特徴とする。
かに記載の電気光学装置用基板ユニットを備えたもので
あるので、2枚の基板が精度よく貼り合わされた高品位
なものとなる。
明の電気光学装置の製造方法は、上記の電気光学装置用
基板ユニットを用いることを特徴とする。
ば、2枚の基板が精度よく貼り合わされた高品位な電気
光学装置を得ることができる。
学装置を備えたことを特徴とするものである。
置を備えたことにより表示品位の高い表示部を備えた電
子機器を実現することができる。
明の第1の実施の形態を図1〜図4を参照して説明す
る。
る液晶装置に備えられた液晶パネルの層構成を示す概略
断面図であり、図2は、図1に示す液晶パネルを表示面
側から見た概略を示す平面図である。ただし、図1およ
び図2において、本発明の説明に不要な要素は省略して
ある。また、各構成要素の寸法や数は、実体を反映する
ものではない。なお、以下の説明において、液晶の駆動
方式は、便宜上パッシブマトリクス方式としたが、他の
方式、例えば、アクティブマトリクス方式その他であっ
ても差し支えない。
ネルは、基本的には、互いに対向配置された一対のガラ
ス基板である第1基板10および第2基板20からなる
電気光学装置用基板ユニットを備え、この電気光学装置
用基板ユニットの第1基板10と第2基板20との間
に、液晶41が充填されてなるものであり、四隅に凸部
4と凹部5とからなる嵌合部6を有している。
に、ITOなどの透明導電材からなる多数のストライプ
状の第1電極12…が形成されている。第1電極12…
は、一方の端末がシール材30より外側の基板上に延出
し接続端末を形成している。第1電極12…の上には、
ポリイミド樹脂からなる配向膜11が形成されている。
配向膜11は、所定の方向に配向処理されている。
10から第2基板20に向かって先端部が徐々に細くな
る平面視円形のテーパー状の凸部4が設けられている。
から順に、画素領域に対応してR(赤),G(緑),B
(青)の順に配列されたカラーフィルター23…、セル
ギャップを隔てて第1電極12…と交差する位置に形成
されたITOなどの透明導電材からなる多数のストライ
プ状の第2電極22…と、ポリイミド樹脂からなる配向
膜21とが形成されている。第2電極22…は、一方の
端末がシール材30より外側の基板上に延出し、接続端
末を形成している。また、配向膜21は、所定の方向に
配向処理されている。
の四隅に設けられた凸部4に対向する位置には、凹部5
が設けられている。この凹部5は、凸部4に嵌合し得る
ものとされ、平面視円形の凹部5の内面5aは、第2基
板20から第1基板10に向かって徐々に広くなるテー
パー状に形成されている。そして、図1に示すように、
凹部5と凸部4とを嵌合させた状態で、凹部5の内面5
a全面に凸部4の外面4a全面が接触するようにされて
いる。つまり、凹部5の底部5bとテーパー状の内面
(内側面部)5aとが凸部4の頭頂部4bとテーパー状
の外面(外側面部)4aとが面接触されている。
法は、凸部4の高さ寸法と同じであり、この寸法が、前
記凸部4と前記凹部5とを嵌合させた状態での一対の基
板10、20間の距離(セルギャップ)dとなってい
る。この一対の基板10、20間の距離dは、液晶パネ
ルとして使用する場合、1μmないし10μmの範囲で
あることが望ましい。
相差板および偏光板が設けられるが、図示および説明を
省略する。
方法を図3を参照して説明する。
10の上に、第1電極12…をパターニングして形成す
る。第1電極12…は、一方の端末が接続端末となるよ
うにシール材30に囲まれる領域よりも外側の基板上に
延出している。
0の外側の四隅に感光性樹脂による凸部4を形成する。
凸部4は、第1基板10から第2基板20(又は頭頂部
4b)に向かって徐々に細くなるテーパー状に形成され
る。このとき、凸部4の高さ寸法は、1μmないし10
μmの範囲であることが望ましい。
形成する好ましい方法としては、例えば、露光機のプロ
キシミリティーを制御する方法やグレイマスクを用いる
方法になどが挙げられる。
ミリティーを制御する方法を説明する。図10におい
て、符号65は、プロキシミリティーを示している。図
10(a)に示すように、プロキシミリティー65を大
きくすると、フォトマスク62により遮光される遮光エ
リア63の前面側(第1基板10側)に光64が回り込
む。この回り込む光64の量は、遮光エリア63の中央
(中心)部に向かうほど少なくなる。このことにより、
感光性樹脂61に照射される光の量に差が生じ、図10
(b)に示すテーパー66が形成される。
いる方法を説明する。図11において、符号67は、グ
レイマスクを示している。グレイマスク67は、図11
に示すように、テーパーをつけたい部分のフォトマスク
パターン69の開口率が、遮光しない部分から完全遮光
部68に向かってを徐々に小さくなるようになっている
ものである。凸部4を形成するフォトリソグラフィーを
行う際に、図11に示すグレイマスク67を用いると、
テーパーをつけたい部分のフォトマスクパターン69の
開口率の差により、完全遮光部68に近い部分ほど現像
レートが遅く、完全遮光部68から遠い部分ほど現像レ
ートが早くなり、テーパーが形成される。
する領域に配向膜11を印刷して、所定の方向に配向さ
せる。
樹脂インクを液晶パネルにおけるシール材に相当する位
置にディスペンサを用いて描画し、未硬化のシール材3
0'を形成する。この際、未硬化のシール材30'の1部
位に注入口31を形成する。
に示すように、第2基板20の内側面に、個々の液晶パ
ネルに対応するカラーフィルター23…を形成し、その
上に第2電極22…を形成する。第2電極22…は、一
方の端末が接続端末となるように、第1基板10上に形
成されるシール材30より外側の基板上に延出させる。
0の四隅に設けられた凸部4に対向する位置に凹部5を
形成する。凹部5の内面5aは、第2基板20から第1
基板10に向かって広くなるテーパー状に形成され、凹
部5と凸部4とを嵌合させたときに、凹部5の内面5a
全面に凸部4の外面4a全面が接触するようにされる。
このため、凹部5の深さ寸法は、凸部4の高さ寸法と同
じとされる。
方法としては、上述した凸部4の場合と同様の方法など
が好ましく、例えば、露光機のプロキシミリティーを制
御する方法やグレイマスクを用いる方法になどが挙げら
れる。
印刷して所定の方向に配向させる。
10と第2基板20とを、配向膜11,21が内側を向
くように対向させて、図3(D)に示すように、凹部5
と凸部4とを嵌合させることにより位置合わせを行う。
このとき、2枚の基板の位置が多少ずれていても、凸部
4の頭頂部4bを凹部5内に入れ、第1基板10と第2
基板20とを圧着して凸部4と凹部5とを嵌合させるこ
とにより、必然的に第1基板10と第2基板20との位
置が合わせられる。その後、未硬化のシール材30を硬
化させることにより、2枚の基板が貼り合わせられて電
気光学装置用基板ユニットとされる。
…を通して液晶パネルのセル40内に液晶を注入する。
その後、注入口31を封止材31Aで封止して液晶パネ
ルを完成する。
は、第1基板10に凸部4が設けられ、第2基板20に
第1基板10に設けられた凸部4に嵌合し得る凹部5が
設けられているので、凸部4と凹部5とを嵌合させるこ
とにより、2枚の基板の位置合わせを行うことができ
る。
基板20に向かって細くなるテーパー状であり、凹部5
は、第2基板20から第1基板10に向かって広くなる
テーパー状の内面を有するものであるので、凸部4と凹
部5とを嵌合させる際に、2枚の基板の位置が多少ずれ
ていても、凸部4の頭頂部4bが凹部5内に入りさえす
れば、凸部4と凹部5とを嵌合させることができるの
で、容易に2枚の基板の位置合わせを行うことができ
る。
で、凹部5の内面5a全面に凸部4の外面4a全面が接
触するようにされているので、2枚の基板を重ね合わせ
た状態では、これら基板が動きにくく、製造工程で生じ
る貼り合わせずれを防止することができる。したがっ
て、貼り合わせずれに対応するためのマージンを少なく
することができ、開口率を向上することができる。
トは、凸部4および凹部5が、各基板の四隅に設けられ
ているので、2枚の基板の位置合わせをより一層合理的
にかつ正確に行うことができる。また、位置合わせ後の
凹部5と凸部4とが嵌合している状態が安定した状態と
なるため、貼り合わせずれをより一層効果的に防止する
ことができる。
ニットにおいては、凸部4の高さおよび凹部5の深さを
所定の寸法として、凸部4と凹部5とを嵌合させた状態
での一対の基板間の距離dが所定の寸法となるようにし
た、言い換えると、凹部5の深さ寸法および凸部4の高
さ寸法を、図1に示すように、第2基板上に設けられた
配向膜21、第2電極22、カラーフィルター23から
なる厚みAと、第1電極12および配光膜11の厚み
と、液晶41からなる液晶層の厚みとを合わせた厚み
(セルギャップ)と同じとなるようにしたので、2枚の
基板を貼り合わせると同時に必然的に所定の寸法のセル
ギャップが形成される。このことにより、セルギャップ
の制御を容易にかつ精度よく行うことができ、セルギャ
ップの制御を合理的に行うことができる。
トの製造方法によれば、2枚の基板の位置合わせを容易
に行うことができ、製造工程で生じる貼り合わせずれを
防止することができるので、高品質な電気光学装置用基
板ユニットが得られる。
する方法またはグレイマスクを用いる方法により、凸部
4または凹部5をテーパー状に形成することで、容易に
凸部4または凹部5をテーパー状に形成することができ
る。
とし、前記凸部4を第1電極12形成および液晶素子を
形成する工程である前工程中に形成することにより、第
1電極12や液晶素子を形成する装置と同じ装置を使用
して凸部4を形成することができ、効率的に電気光学装
置用基板ユニットを製造することができる。
ものとし、第2電極22形成後、配光膜21形成前に前
記凹部5を形成することにより、第2電極22を形成す
る装置と同じ装置を使用して凹部5を形成することがで
き、効率的に電気光学装置用基板ユニットを製造するこ
とができる。
光学装置用基板ユニットを備え、前記電気光学装置用基
板ユニットの一対の基板の間に液晶が挟持されているも
のであるので、2枚の基板が精度よく貼り合わされた高
品位なものとなる。
れば、2枚の基板が精度よく貼り合わされた高品位な液
晶パネルを得ることができる。
感光性樹脂の例であり、凹部および凸部の材料はポジ型
の感光性樹脂に限定されるものではない。必要形状が得
られればネガ型の感光性樹脂でもよく、特に限定される
ものではない。
に関する事で、他の工程で感光性樹脂を形成する工程
(カラーフィルタ、反射カラー用散乱樹脂等)があれ
ば、これ自体を凹部および凸部の材料として使用するこ
とができる。そうした場合、凹部および凸部形成の為の
感光性樹脂塗布工程が省略できる為、凹部および凸部形
成が効率的に行なえる。 [第2の実施の形態]以下、本発明の第2の実施の形態
を図4を参照して説明する。
第1の実施の形態と全く同様であり、凹部と凸部の形状
が異なるのみである。したがって、図4では、凹部と凸
部の断面形状のみを示し、共通部分の説明は省略する。
と凹部とを嵌合させた状態で、凹部5の内面5a全面に
凸部4の外面4a全面が接触するものとしたが、少なく
とも、凸部の外径と凹部の内径とが同じとなる部分を有
するものであればよく、本実施の形態においては、図4
(a)に示すように、凸部43の頭頂部43bの外径と
凹部53の底部53bの内径とが同じとされている。
は、凹部5の内面5aと凸部4の外面4aの両者をテー
パー状としたが、凹部5の内面5aと凸部4の外面4a
の少なくとも一方がテーパー状であればよく、本実施の
形態においては、図4(b)に示すように、凹部51の
内面51aのみがテーパー状とされている。また、図4
(c)に示すように、凸部42の外面42aのみがテー
パー状とされている。
ルでは、凹部5の底部5bおよび凸部4の頭頂部4bが
平坦なものとしたが、平坦でなくてもよく、本実施の形
態においては、図4(d)に示すように、凸部44は断
面視逆三角形とされ、凹部54は断面視三角形とされて
いる。
おいても、凸部と凹部とを嵌合させることにより、2枚
の基板の位置合わせを行うことができる。しかも、凹部
5の内面5aと凸部4の外面4aの少なくとも一方がテ
ーパー状とされているので、凸部と凹部とを嵌合させる
際に、2枚の基板の位置が多少ずれていても、凸部の頭
頂部が凹部内に入りさえすれば、凸部と凹部とを嵌合さ
せることができ、容易に2枚の基板の位置合わせを行う
ことができる。
構成においても、凸部の外径と凹部の内径とが同じとな
る部分を有するものであるので、2枚の基板を重ね合わ
せた状態では、これら基板が動きにくく、製造工程で生
じる貼り合わせずれを防止することができる。したがっ
て、貼り合わせずれに対応するためのマージンを少なく
することができ、開口率を向上することができる。
および凸部の形状は、平面視円形のものとしたが、平面
視円形のものに限定されるものではなく、凹部と凸部と
が嵌合する構成であれば平面視は、どのような形状であ
ってもよく、例えば、四角形や三角形などの多角形とし
てもよく、特に限定されない。 [第3の実施の形態]以下、本発明の第3の実施の形態
を図5を参照して説明する。
工程の一部を説明するための図であり、液晶パネルの製
造時に4面取りを行う場合の製造工程の一部を示した図
である。
ザー基板を示している。このマザー基板1には、後の工
程で個々の液晶パネルとして分割される行列配置された
仮想領域2…が想定されている。ここで説明するマザー
基板1は、分割された個々の液晶パネルにおいて図1に
示す第1基板10となるものである。
板1上の仮想領域2に、前記の個々の液晶パネルに対応
する第1電極12…をパターニングして形成し、次い
で、個々の液晶パネルにおけるシール材に囲まれた領域
に相当する領域に配向膜11を印刷し、所定の方向に配
向させる。第1電極12…は、一方の端末が仮想領域2
の辺部に達するように延出し接続端末を形成している。
成する。凸部4は、露光機のプロキシミリティーを制御
する方法や、グレイマスクを用いる方法などにより、マ
ザー基板1から図1に示す第2基板20に相当する別の
基板に向かって細くなるテーパー状に形成される。この
とき、凸部4の高さ寸法は、1μmないし10μmの範
囲であることが望ましい。
樹脂インクを個々の液晶パネルにおけるシール材に相当
する位置にディスペンサを用いて描画し、未硬化のシー
ル材30'…を形成する。この際、未硬化のシール材3
0'の1部位に注入口31を形成する。注入口31は、
マザー基板1に想定されているスプリットラインに沿っ
て形成する。
0に相当する別のマザー基板1'の内側面に、個々の液
晶パネルに対応するカラーフィルター23…を形成し、
その上に第2電極22…を形成する。第2電極22…
は、一方の端末が接続端末となるように、第1基板10
上に形成されるシール材30より外側の基板上に延出さ
せる。ついで、第2電極22の上に、配向膜21を印刷
して所定の方向に配向させる。
板1'におけるマザー基板1の四隅に設けられた凸部4
5に対向する位置に凹部55を形成する。凹部55の内
面は、露光機のプロキシミリティーを制御する方法や、
グレイマスクを用いる方法などにより、マザー基板1'
からマザー基板1に向かって広くなるテーパー状に形成
され、凹部55と凸部45とを嵌合させたときに、凹部
55の内面全面に凸部45の外面全面が接触するように
される。このため、凹部55の深さ寸法は、凸部45の
高さ寸法と同じとされる。
10側のマザー基板1と、前記の第2基板20側のマザ
ー基板1'とを、配向膜11,21が内側を向くように
対向させて、凹部55と凸部45とを嵌合させることに
より位置合わせを行う。このとき、2枚の基板の位置が
多少ずれていても、凸部45の頭頂部を凹部55内に入
れ、マザー基板1とマザー基板1'とを圧着して凸部4
5と凹部55とを嵌合させることにより、必然的に2枚
の基板の位置が合わせられる。その後、未硬化のシール
材30を硬化させて2枚の基板を貼り合わせることによ
り、電気光学装置用基板ユニットが形成される。
基板をスプリットラインに沿って、ダイヤモンドガラス
スクライバー、ブレイクマシン等を用いて短冊状に切断
し、1辺上に注入口31…が並んだ複数の液晶パネルか
らなる液晶パネル母材を形成する。
入装置3を用いて注入口31…を通してそれぞれの液晶
パネルのセル40内に液晶を注入し、注入口31を封止
材31Aで封止する。
液晶パネルに分割して、液晶パネルを完成する。
ば、一度に4枚の液晶パネルが得られ、効率よく液晶パ
ネルを製造することができる。
1の実施の形態と同様の効果が得られる。
も、凸部45と凹部55とを嵌合させることにより、2
枚の基板の位置合わせを行うことができ、凸部45と凹
部55とを嵌合させる際に、2枚の基板の位置が多少ず
れていても、凸部45の頭頂部が凹部55内に入りさえ
すれば、凸部45と凹部55とを嵌合させることができ
るので、容易に2枚の基板の位置合わせを行うことがで
きる。
は、これら基板が動きにくく、製造工程で生じる貼り合
わせずれを防止することができる。したがって、貼り合
わせずれに対応するためのマージンを少なくすることが
でき、開口率を向上することができる。 [電子機器]以下、本発明の電気光学装置を備えた電子
機器の具体例について説明する。
ある。
体を示し、符号1001は上記の電気光学装置を用いた
液晶表示部を示している。
斜視図である。
示し、符号1101は上記の電気光学装置を用いた液晶
表示部を示している。
情報処理装置の一例を示した斜視図である。
置、符号1202はキーボードなどの入力部、符号12
04は情報処理装置本体、符号1206は上記の電気光
学装置を用いた液晶表示部を示している。
気光学装置を用いた液晶表示部を備えたものであるの
で、表示品位の高い電子機器を実現することができる。
態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しな
い範囲において種々の変更を加えることが可能である。
に凹部、第1基板に凸部を設けた例を示したが、これと
は逆に第2基板に凸部、第1基板に凹部を設けてもよ
く、とくに限定されない。
をシール材の外側に設けたが、シール材の内側に設けて
もよい。さらに、凹部や凸部の形状や形成位置等に関し
ては、上記実施の形態で例示したものの他に、適宜設計
変更が可能である。
示したが、エレクトロルミネッセンス、プラズマディス
プレイ等、他の電気光学装置に本発明を適用することも
可能である。
よれば、凸部と凹部とを嵌合させることにより、2枚の
基板の位置合わせを行うことができる。また、凹部の内
面と凸部の外面の少なくとも一方がテーパ状とされてい
るので、凸部と凹部とを嵌合させる際に、2枚の基板の
位置が多少ずれていても、凸部の頭頂部が凹部内に入り
さえすれば、凸部と凹部とを嵌合させることができ、容
易に2枚の基板の位置合わせを行うことができる。
とが同じとなる部分を有するものであるので、2枚の基
板を重ね合わせた状態では、これら基板が動きにくく、
製造工程で生じる貼り合わせずれを防止することができ
る。したがって、貼り合わせずれに対応するためのマー
ジンを少なくすることができ、開口率を向上することが
できる。
られた液晶パネルの層構成を示す概略断面図である。
面図である。
ルの製造工程を説明するための図である。
ける凹部と凸部の形状を示した断面図である。
ルの他の製造工程の一部を説明するための図である。
例を示す斜視図である。
の例を示す斜視図である。
らに他の例を示す斜視図である。
例の層構成を示す概略断面図である。
ための図であって、露光機のプロキシミリティーを制御
する方法を説明するための図である。
ための図であって、グレイマスクを示した図である。
Claims (13)
- 【請求項1】 互いに対向する一対の基板からなる電気
光学装置用基板ユニットであって、 前記一対の基板のうちの一方の基板には、前記一方の基
板から他方の基板に向かって細くなるテーパー状の凸部
が設けられ、 他方の基板には、前記凸部に嵌合し得る凹部が設けら
れ、 前記凸部と前記凹部とを嵌合させた状態で、前記凸部の
外径と前記凹部の内径とがほぼ同じ寸法となる部分を有
することを特徴とする電気光学装置用基板ユニット。 - 【請求項2】 互いに対向する一対の基板からなる電気
光学装置用基板ユニットであって、 前記一対の基板のうちの一方の基板には、前記一方の基
板から他方の基板に向かって広くなるテーパー状の内面
を有する凹部が設けられ、 他方の基板には、前記凹部に嵌合し得る凸部が設けら
れ、 前記凸部と前記凹部とを嵌合させた状態で、前記凸部の
外径と前記凹部の内径とがほぼ同じ寸法となる部分を有
することを特徴とする電気光学装置用基板ユニット。 - 【請求項3】 互いに対向する一対の基板からなる電気
光学装置用基板ユニットであって、 前記一対の基板のうちの一方の基板には、前記一方の基
板から他方の基板に向かって細くなるテーパー状の凸部
が設けられ、 他方の基板には、前記他方の基板から一方の基板に向か
って広くなるテーパー状の内面を有し、前記凸部に嵌合
し得る凹部が設けられ、 前記凸部と前記凹部とを嵌合させた状態で、前記凹部の
内面全面に前記凸部の外面全面が接触することを特徴と
する電気光学装置用基板ユニット。 - 【請求項4】 前記凸部および前記凹部が、各基板の四
隅に設けられていることを特徴とする請求項1ないし請
求項3のいずれかに記載の電気光学装置用基板ユニッ
ト。 - 【請求項5】 前記凸部と前記凹部とを嵌合させた状態
での前記一対の基板間の距離が、1μmないし10μm
の範囲であることを特徴とする請求項1ないし請求項4
のいずれかに記載の電気光学装置用基板ユニット。 - 【請求項6】 請求項1ないし請求項5のいずれかに記
載の電気光学装置用基板ユニットを備え、 前記電気光学装置用基板ユニットの前記一対の基板の間
に電気光学材料が挟持されていることを特徴とする電気
光学装置。 - 【請求項7】 互いに対向する一対の基板からなる電気
光学装置用基板ユニットの製造方法であって、 前記一対の基板のうちの一方の基板に、前記一方の基板
から他方の基板に向かって細くなるテーパー状の凸部を
設けるとともに、他方の基板に、前記凸部に嵌合し得る
凹部を設け、 前記凸部および前記凹部は、前記凸部と前記凹部とを嵌
合させた状態で、前記凸部の外径と前記凹部の内径とが
ほぼ同じ寸法となる部分を有するように形成し、 前記凸部と前記凹部とを嵌合させることにより位置合わ
せを行い、前記一対の基板を貼り合わせることを特徴と
する電気光学装置用基板ユニットの製造方法。 - 【請求項8】 互いに対向する一対の基板からなる電気
光学装置用基板ユニットの製造方法であって、 前記一対の基板のうちの一方の基板に、前記一方の基板
から他方の基板に向かって広くなるテーパー状の内面を
有する凹部を設けるとともに、他方の基板に、前記凹部
に嵌合し得る凸部を設け、 前記凸部および前記凹部は、前記凸部と前記凹部とを嵌
合させた状態で、前記凸部の外径と前記凹部の内径とが
ほぼ同じ寸法となる部分を有するように形成し、 前記凸部と前記凹部とを嵌合させることにより位置合わ
せを行い、前記一対の基板を貼り合わせることを特徴と
する電気光学装置用基板ユニットの製造方法。 - 【請求項9】 互いに対向する一対の基板からなる電気
光学装置用基板ユニットの製造方法であって、 前記一対の基板のうちの一方の基板に、前記一方の基板
から他方の基板に向かって細くなるテーパー状の凸部を
設けるとともに、他方の基板に、前記他方の基板から一
方の基板に向かって広くなるテーパー状の内面を有し、
前記凸部に嵌合し得る凹部を設け、 前記凸部および前記凹部は、前記凸部と前記凹部とを嵌
合させた状態で、前記凹部の内面全面に前記凸部の外面
全面が接触するように形成し、 前記凸部と前記凹部とを嵌合させることにより位置合わ
せを行い、前記一対の基板を貼り合わせることを特徴と
する電気光学装置用基板ユニットの製造方法。 - 【請求項10】 前記凸部または前記凹部を感光性樹脂
で形成し、フォトリソグラフィー工程において露光機の
プロキシミリティーを制御することにより、前記凸部ま
たは前記凹部をテーパー状に形成することを特徴とする
請求項7ないし請求項9のいずれかに記載の電気光学装
置用基板ユニットの製造方法。 - 【請求項11】 前記凸部または前記凹部を感光性樹脂
で形成し、フォトリソグラフィー工程においてグレイマ
スクを用いることにより、前記凸部または前記凹部をテ
ーパー状に形成することを特徴とする請求項7ないし請
求項9のいずれかに記載の電気光学装置用基板ユニット
の製造方法。 - 【請求項12】 請求項1ないし請求項5のいずれかに
記載の電気光学装置用基板ユニットを用いることを特徴
とする電気光学装置の製造方法。 - 【請求項13】 請求項6に記載の電気光学装置を備え
たことを特徴とする電子機器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000359880A JP2002162913A (ja) | 2000-11-27 | 2000-11-27 | 電気光学装置用基板ユニットおよび電気光学装置用基板ユニットの製造方法、電気光学装置および電気光学装置の製造方法、並びに電子機器 |
Applications Claiming Priority (1)
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Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2002162913A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6954608B2 (en) | 2001-10-15 | 2005-10-11 | Canon Kabushiki Kaisha | Heating device and image forming apparatus |
JP2006309218A (ja) * | 2005-04-29 | 2006-11-09 | Samsung Sdi Co Ltd | プラズマディスプレイモジュール |
WO2013021578A1 (ja) * | 2011-08-05 | 2013-02-14 | シャープ株式会社 | 表示パネル |
CN110109281A (zh) * | 2019-05-07 | 2019-08-09 | 信利(惠州)智能显示有限公司 | 液晶显示面板及基板贴合方法 |
-
2000
- 2000-11-27 JP JP2000359880A patent/JP2002162913A/ja not_active Withdrawn
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US6954608B2 (en) | 2001-10-15 | 2005-10-11 | Canon Kabushiki Kaisha | Heating device and image forming apparatus |
US7027764B2 (en) | 2001-10-15 | 2006-04-11 | Canon Kabushiki Kaisha | Heating device and image forming apparatus |
JP2006309218A (ja) * | 2005-04-29 | 2006-11-09 | Samsung Sdi Co Ltd | プラズマディスプレイモジュール |
US7551451B2 (en) | 2005-04-29 | 2009-06-23 | Samsung Sdi Co., Ltd. | Plasma display module |
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CN110109281A (zh) * | 2019-05-07 | 2019-08-09 | 信利(惠州)智能显示有限公司 | 液晶显示面板及基板贴合方法 |
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