JPH0894550A - 微小角入射ｘ線装置のｘ線入射角設定方法及びその機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】 Ｘ線源から発散されるＸ線の水平試料への微
小入射角を簡単な構造で容易に調節することができると
共に、水平試料への入射Ｘ線を常に試料の同一照射位置
に照射させる。 【構成】 本Ｘ線入射角設定機構は、Ｘ線源５３の近傍
に設けられた支持部材３７と、支持部材３７の上部でＸ
線源５３を回転中心軸として回転する係止部材３８と、
係止部材３８の下端部３８ｂに一端側が固定されて微小
角入射Ｘ線装置３１を載置する傾斜台３４と、傾斜台３
４の傾斜角度を調節する傾斜角設定用ネジ３４ａを備え
ている。そして傾斜角設定用ネジ３４ａを回して傾斜台
３４を常にＸ線源５３を含む回転中心軸ＹーＹを中心と
して回転傾斜させることでＸ線の試料４２への入射角を
設定する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、特に液状体の試料の
ような測定表面が水平な試料にＸ線を微小角度で入射さ
せる際に、入射角を簡単かつ精度良く設定するための微
小角入射Ｘ線装置のＸ線入射角設定方法及びその機構に
関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の微小角入射Ｘ線装置のＸ線入射角
設定方法及びその機構としては図６，図７に示すものが
知られている。図６に示す微小角入射Ｘ線装置１は、試
料水平ゴニオメータ等の装置本体２の回転軸３の中心Ｏ
に試料４を水平に設け、装置本体２の外周面には前記試
料４の表面を含み回転軸３の中心Ｏと交わる中心軸Ｃ1
に沿ってＸ線入射用アーム５が設けてある。このＸ線入
射用アーム５には、外側にＸ線を発生させるＸ線源６を
取り付け，中央寄りにはＸ線源６から発散されるＸ線の
発散角度を定め，試料に当たるＸ線の面積を制限する発
散スリット７が設けてある。

【０００３】また装置本体２の外周面のＸ線入射用アー
ム５の反対側には、上記回転軸３の中心Ｏと交わる中心
軸Ｃ2 に沿ってＸ線検出用アーム８が設けられ、このＸ
線検出用アーム８には内側から散乱スリット９、ソーラ
スリット１０、受光スリット１１、検出器１２が設けら
れている。なお１３は微小角入射Ｘ線装置１を載置する
台座であり，１４は試料の水平位置を調節する調節ネジ
である。

【０００４】この微小角入射Ｘ線装置１は、Ｘ線入射用
アーム５のＸ線源６から発散されたＸ線は発散スリット
７を経て回転軸３に固定された水平な試料４の表面に照
射され，この試料４からの回折Ｘ線がＸ線検出用アーム
８の散乱スリット９、ソーラスリット１０、受光スリッ
ト１１を経て検出器１２で検出される。そしてこの装置
におけるＸ線入射角設定方法としては、Ｘ線入射用アー
ム５を回転軸３の回りに回転角θs で回転させることで
試料４への入射角を変化させると共に，Ｘ線検出用アー
ム８を中心軸３の回りに回転角θd で回転させることで
回折Ｘ線の測定を行う。

【０００５】また図７に示す従来の微小角入射Ｘ線装置
２１は、図６に示す装置本体２のＸ線源６をＸ線入射用
アーム５の先端から分離させて、Ｘ線入射用アーム５の
先端面付近の基台２２上に設置すると共に、装置本体２
の台座２３に装置本体２の高さ及び傾斜角度を調節する
３本の調節ネジ２４を設けたものである。

【０００６】この装置のＸ線入射角設定方法としては、
図７における台座２３の左側若しくは右側に設けられた
調節ネジ２４の高さを調節することで、台座２３の傾き
を調節し，これによって微小角入射Ｘ線装置２１の傾き
を制御し、Ｘ線源６からＸ線入射用アーム５を経て試料
４に入射するＸ線の入射角を設定する。ついでＸ線源６
からＸ線が発散されると，Ｘ線は発散スリット７を経て
試料４に入射され，試料４からの回折Ｘ線がＸ線検出用
アーム８の散乱スリット９，ソーラスリット１０，受光
スリット１１を経て検出器１２で検出される。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】ところが上述した従来
の微小角入射Ｘ線装置１、２１におけるＸ線入射角設定
方法では、図６に示すものでは、Ｘ線源６からの入射角
θs を変化させるために、Ｘ線源６をＸ線入射用アーム
５に一体に設けて試料４の回りに回転させる必要がある
ことから装置が大がかりとなること、またＸ線源６を微
小角入射Ｘ線装置が占有してしまうため、Ｘ線源６に水
平方向の４箇所に形成されるＸ線取出し口を他のＸ線装
置に利用することができないという問題点があった。

【０００８】また図７に示すものでは、Ｘ線源６とＸ線
入射用アーム５とが分離されているため、Ｘ線源６と試
料４との位置関係が固定されず、Ｘ線源２５から発散さ
れるＸ線の試料４への照射位置が一定せず、Ｘ線入射角
を変える毎にＸ線光学系の再調節を行わなければなら
ず、操作が非常に煩雑かつ手間がかかるという問題点が
あった。

【０００９】この発明は、上述した問題点を解決するた
めになされたものであり、Ｘ線源から発散されるＸ線の
水平試料への微小入射角を簡単な構造で容易に調節する
ことができると共に、水平試料への入射Ｘ線を常に試料
の同一照射位置に照射させることができる微小角入射Ｘ
線装置のＸ線入射角設定方法及びその機構を提供するこ
とを目的としている。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、請求項１記載の発明は、Ｘ線源から発散されるＸ線
を、装置本体の中央に設けた試料表面に微小角度で入射
させる微小角入射Ｘ線装置のＸ線入射角設定方法におい
て、前記微小角入射Ｘ線装置をＸ線の微小入射角を設定
する傾斜台上に載置し、この傾斜台を常に前記Ｘ線源を
含む回転中心軸を中心として回転傾斜させることを特徴
としている。

【００１１】請求項２記載の発明は、Ｘ線源から発散さ
れるＸ線が照射される試料と、この試料を保持する試料
ホルダが一端に固定された回転軸を回転させて前記試料
を水平に保持する装置本体と、この装置本体と前記Ｘ線
源との間にＸ線の取出し角度に応じて角度調節可能に設
けられてＸ線を前記試料に導くＸ線入射用アームと、前
記装置本体の回りに回転可能に設けれて前記試料からの
回折Ｘ線を検出するＸ線検出用アームとを備えた微小角
入射Ｘ線装置のＸ線入射角設定機構であって、前記Ｘ線
源が前記Ｘ線入射用アームの先端から離間して設けられ
ると共に、前記Ｘ線入射角設定機構が前記Ｘ線源の近傍
に設けられた支持部材と、この支持部材の上部で前記Ｘ
線源を回転中心軸として回転する係止部材と、この係止
部材の下端部に一端側が固定されて前記微小角入射Ｘ線
装置を載置する傾斜台と、この傾斜台の前記係止部材の
固定端と反対側の端部にこの傾斜台の傾斜角度を調節す
る傾斜角設定用ネジを備えたことを特徴としている。

【００１２】請求項３記載の発明は、前記係止部材の係
止部が楔状に形成され，この楔状の係止部が前記回転中
心軸と一致するように支持部材の頂部に形成されたＶ溝
に係止されることを特徴としている。

【００１３】請求項４記載の発明は、前記係止部材の係
止部に高さ位置調節可能なネジが設けられ、このネジの
係止部が前記回転中心軸と一致するように支持部材の頂
部に形成された凹部に係止されることを特徴としてい
る。

【００１４】請求項５記載の発明は、前記係止部材の係
止部が球状に形成され，この球状の係止部が前記回転中
心軸と回転中心を一致させて回転するように支持部材の
頂部に係止されていることを特徴としている。

【００１５】請求項６記載の発明は、前記傾斜台の前記
係止部材の固定端側に、前記傾斜角設定用ネジで設定さ
れた前記傾斜台の傾斜角を固定する傾斜角固定用ネジを
設けたことを特徴としている。

【００１６】請求項７記載の発明は、前記係止部材の下
端部が傾斜台の一端に着脱可能に固定されると共に、前
記支持部材の基端部が基台に着脱可能に固定されている
ことを特徴としている。

【００１７】請求項８記載の発明は、前記傾斜角設定用
ネジの先端が傾斜台の回転に伴い前記基台上で水平移動
可能に設けられていることを特徴としている。

【００１８】

【作用】この発明では、傾斜台の一端に固定された係止
部材の係止部の回転中心軸がＸ線源と一致しているの
で、傾斜台の傾斜角設定用ネジを回転させことで、傾斜
台は前記回転中心軸を中心として傾斜角度が変わると共
に、Ｘ線源からのＸ線取り出し角が変わり、これによっ
て水平試料へのＸ線入射角が変わる。また傾斜台の回転
中心軸が常にＸ線源を回転中心として回転するため、入
射する入射Ｘ線束は常に水平試料の同一照射位置に照射
される。

【００１９】

【実施例】次に図を用いてこの発明を詳細に説明する。
図１ないし図４はこの発明の一実施例の微小角入射Ｘ線
装置のＸ線入射角設定機構を示すものであり、符号３１
は微小角入射Ｘ線装置のＸ線入射角設定機構（以下単に
「Ｘ線入射角設定機構」という）である。このＸ線入射
角設定機構３１は、微小角入射Ｘ線装置３２の台座３３
が傾斜台３４に載置され、さらにこの傾斜台３４が基台
３５上に載置され、この基台３５上には傾斜台３４に載
置された微小角入射Ｘ線装置３２の側方（図１では右
側）にＸ線発生装置３６が設けられ、このＸ線発生装置
３６の両側には微小角入射Ｘ線装置３２の回転軸の中心
線Ｏと平行に２つの支持部材３７が立設され、この支持
部材３７と傾斜台３４の間には支持部材３７の上面を回
転中心として傾斜台３４を回転させる係止部材３８が設
けられている。

【００２０】微小角入射Ｘ線装置３２の装置本体３２
ａ、例えば縦形ゴニオメータの中央には回転軸４１が設
けられ、この回転軸４１の突出端部にはこの回転軸４１
と一体に回転する試料ホルダ４１ａが設けられている。
回転軸４１の突出端部は、上半分が水平に切り欠かれる
ことで下半分が断面半円状に形成され、この断面半円状
の回転軸４１の水平部分にＸ線分析される試料４２を収
納する試料ホルダ４１ａが取り付けられている。そして
回転軸４１を回転させることで試料ホルダ４１ａを水平
状態に保持するようにしており、特に試料４２が液状体
の場合には、試料ホルダ４１ａの内部に試料を注入する
ことで試料の水平表面が形成される。さらに微小角入射
Ｘ線装置３２の外周面には、Ｘ線発生装置３６から発散
されるＸ線を試料４２に導くＸ線入射用アーム４３と、
試料４２からの回折Ｘ線を検出するＸ線検出用アーム４
４とが回転軸４１を中心として回転可能に設けられてい
る。

【００２１】Ｘ線入射用アーム４３には、Ｘ線の水平方
向の発散角を制限することでＸ線の面積を制限して試料
に照射させる発散スリット４５と、単結晶のある一つの
結晶面たとえばゲルマニウムの面を用いて、試料からの
Ｘ線を単色化するモノクロメータ４６が設けてある。そ
してこのモノクロメータ４６によってバックグランドの
除去はもちろん、κβフィルタ法では完全に除去できな
いκβ線を完全に除去することができる。また、Ｘ線検
出用アーム４４には、空気散乱などの試料以外のところ
からの散乱Ｘ線を除去する散乱スリット４７、回折Ｘ線
の垂直方向の発散を制限してデバイ環の中心部分のみを
取り出すソーラスリット４８、回折Ｘ線の分解能を調節
する受光スリット４９、Ｘ線を検出する検出器５０等が
設けてある。

【００２２】Ｘ線発生装置３６は、フィラメントから上
方に向けて熱電子を放出する電子銃５１と、この熱電子
を高速回転しながら受けるドラム状のターゲット５２で
Ｘ線源５３が構成され、このＸ線源５３はチューブシー
ルド５４によって覆われている。このチューブシールド
５４には、図示しない窓部が水平方向の４面に形成され
ており、この窓部からＸ線が周囲に発散される。

【００２３】台座３３には、Ｘ線検出用アーム４４側
（図１中左側）の中央部に１個、Ｘ線入射用アーム４３
側（図１中右側）の両側部に２個の位置調節ネジ３３ａ
が設けられ、これら位置調節ネジ３３ａを調節すること
で、試料４２の表面の高さと水平位置を調節するように
している。また傾斜台３４には、Ｘ線検出用アーム４４
側の中央に１個の傾斜角設定用ネジ３４ａが取り付けら
れ、Ｘ線入射用アーム４３側の両側部には２個の傾斜角
固定用ネジ３４ｂが取り付けられ、これら傾斜角設定用
ネジ３４ａ、傾斜角固定用ネジ３４ｂを調節することで
傾斜台３４のＸ線源５３に対する傾斜角度の調節や保持
を行う。また傾斜角設定用ネジ３４ａ及び傾斜角固定用
ネジ３４ｂの先端が、例えば図３に示すように、基台３
５上に固定されたネジ台座３５ａの上面に形成された一
方向のＶ溝３５ｂの内部に支持されることで、傾斜台３
４の傾斜角度に応じて水平移動可能とされている。なお
Ｖ溝３５ｂの変わりにボールネジを傾斜台３４に取り付
けようにしてもよい。

【００２４】支持部材３７は、円柱状に形成されて基端
部３７ａが基台３５にボルト等で着脱自在に固定され、
かつ上面には微小角入射Ｘ線装置３２の回転軸の中心線
Ｏと平行にＶ溝３７ｂが形成されている。そして、支持
部材３７と傾斜台３４との間には係止部材３８が取り付
けられている。係止部材３８の上部の係止部３８ａは楔
状に形成され、この楔状の係止部３８ａが支持部材３７
のＶ溝３７ｂに係止されている。そしてＸ線源の両側に
設けられた支持部材３７のＶ溝３７ｂと係止部材３８の
係止部３８ａとで形成される回転中心軸ＹーＹは、Ｘ線
が発散されるＸ線源の位置と一致するように設けられて
いる。さらに係止部材３８の下端部３８ｂは、傾斜台３
４の一端にネジ５５で着脱可能に固定され、これによっ
て傾斜台３４は回転中心軸Ｙ−Ｙを中心に回転自在とさ
れている。

【００２５】つぎにこの実施例のＸ線入射角設定方法に
ついて説明する。

【００２６】まず図２に示すようにＸ線発生装置５３が
取り付けられた基台３５上に傾斜台３４を載置すると共
に傾斜台３４の上部に微小角入射Ｘ線装置３２が取り付
けられた台座３３を載置する。さらにＸ線発生装置５３
の両脇に一対の支持部材３７を設け、この支持部材３７
の頂部に形成されたＶ溝３７ｂに傾斜台３４の一端が固
定された係止部材３８の係止部３８ａを係止させる。

【００２７】この状態において、まず微小角入射Ｘ線装
置３２の回転軸４１を回転させて試料ホルダ４１ａ内の
試料４２を水平状態に保持すると共に、台座３３の位置
調節ネジ３３ａと、傾斜台３４の傾斜角設定用ネジ３４
ａの高さ位置を調節して微小角入射Ｘ線装置３２のＸ線
入射用アーム４３の先端をＸ線源５３から発散されるＸ
線の入射位置に位置合わせする。なお傾斜台３４の傾斜
角固定用ネジ３４ｂは基台３５から浮かしておくことで
傾斜台３４は、傾斜角設定用ネジ３４ａと係止部材３８
の先端部３８ａとで水平状態に支持されている。

【００２８】つぎに傾斜角設定用ネジ３４ａを回して、
この傾斜角設定用ネジ３４ａが設けられた側の傾斜台３
４の端部を上下させることで、傾斜台３４は係止部材３
８の係止部３８ａと支持部材３７のＶ溝３７ｂとで形成
される回転中心軸Ｙ−Ｙを回転中心として傾斜する。こ
の実施例では、係止部材３８の回転中心軸Ｙ−ＹがＸ線
源５３と一致しており、傾斜台３５の傾斜角度を変える
ことで、Ｘ線源５３からのＸ線取り出し角が変わり、こ
れによって試料４２への入射角が変わる。

【００２９】例えば図４に示すように、傾斜台３４が回
転することで試料４２の位置が（ａ）の位置から（ｂ）
の位置に変化した場合には、Ｘ線源５３からのＸ線の取
り出し角が、（ａ）の状態から（ｂ）の状態に変わり、
これによって試料４２の水平な表面へのＸ線の微小入射
角がα1 からα2 の状態に変わる。また試料４２はＸ線
源５３を回転中心としているため試料４２が回転しても
常に入射Ｘ線束は試料４２の表面の同じ照射位置、例え
ば試料表面の中央に入射する。この実施例の場合には、
０〜３゜程度の微小角の範囲で入射角を変える。

【００３０】そして試料４２の表面からの回折Ｘ線は、
Ｘ線検出用アーム４４に設けられた散乱スリット４７、
ソーラスリット４８、受光スリット４９を経て検出器５
０で検出される。またＸ線検出用アーム４４を微小角入
射Ｘ線装置の回転軸４１の中心線Ｏの回りに回転させる
ことで試料からの回折Ｘ線の２θの測定ができる。

【００３１】このように、この実施例のＸ線入射角設定
機構３１によれば、傾斜角設定用ネジ３４ａを調節して
傾斜台３４を回転中心軸Ｙ−Ｙの回りに回転させるだけ
で、Ｘ線の試料４２へのＸ線の微小入射角を簡単かつ迅
速かつ確実に設定することができる。

【００３２】また試料４２へのＸ線の微小角入射角が設
定された後には、傾斜台３４の傾斜角固定用ネジ３４ｂ
を回して、この傾斜角固定用ネジ３４ｂで傾斜台３４を
基台３５上に支持することで、係止部材３８を傾斜台３
４から取り外すようにしてもよい。これによって傾斜台
３４は、傾斜角設定用ネジ３４ａと傾斜角固定用ネジ３
４ｂとで所定の傾斜角が保持され、所定のＸ線の入射角
が得られる。さらにＸ線発生装置５３の両側の支持部材
３７を基台３５から取り外すことで、Ｘ線源５２の両側
部から発散するＸ線を使用することが可能となり、Ｘ線
発生装置５３の有効利用を図ることができ、かつメンテ
ナンスが容易となる。

【００３３】図５は上記実施例の傾斜台３４を回転中心
軸ＹーＹ回りに回転させる回転機構を構成する楔状の先
端部とＶ溝との変形例を示すものであり、係止部材３８
の上端の水平板に高さ位置調節可能なネジ６１を設け、
このネジ６１の先端を支持部材３７の上面に形成した凹
部６２に回転自在に係止させることで構成したものであ
る。この他にも、係止部材３８の先端部を球状に形成
し，この球状端部を回転中心軸Ｙ−Ｙと一致させて回転
させたり、また回転中心軸Ｙ−Ｙを回転中心とする軸と
ベアリング軸受け等で構成するようにしてもよい。ま
た、係止部材３８と傾斜台３４との接続は、図５に示す
ように係止部材３８の下端部３８ｂを傾斜台３４の一端
部下面に重ね合わせてボルト等で接続するようにしても
良く、傾斜台３４と係止部材３８とを一体に形成しても
よい。

【００３４】なお、上記実施例では、支持部材をＸ線発
生装置の両側に設けたが、どちらか一方に設けるように
してもよく、あるいは支持部材の代わりにチューブシー
ルドを支持部材として使用するようにしてもよい。また
上記傾斜角設定用ネジをモータ等の駆動源によって駆動
制御することで、Ｘ線の微小角入射を一定角速度で変化
させることもできる。

【００３５】また、上記実施例では、Ｘ線入射用アーム
を装置本体の外周面に回転可能に一体に取り付けたが、
Ｘ線入射用アームを装置本体とは別体にして基台上に専
用の傾斜台を設け、この傾斜台上に単独支持するように
してもよい。この場合傾斜台には、試料水平ゴニオメー
タを載置した傾斜台と同様に傾斜角設定用ネジと傾斜角
固定用ネジとを取り付けて、これらを調節することで入
射Ｘ線の試料への照射位置を調節することが望ましい。
また、上記実施例では、Ｘ線発生装置として、回転対陰
極形のものを用いた例を掲げたが、これは、封入形のＸ
線管を用いたものであってもよいことは勿論である。

【００３６】さらに、上記実施例では、本発明を試料か
らの回折Ｘ線を測定するものに用いたが、これに限定さ
れることなく散乱Ｘ線の測定、蛍光Ｘ線の測定、光電子
の測定等に適用することができるのは勿論である。光電
子を測定する場合には装置を真空槽に入れる必要があ
る。

【００３７】

【発明の効果】以上説明したように、この発明の方法に
よれば、Ｘ線源を回転中心軸とし傾斜台の傾斜を変える
ことで、Ｘ線源から発散されるＸ線の取り出し角が変化
し、これによって水平に設置された試料への微小角入射
Ｘ線の入射角を変えことができると共に、入射角を変化
させてもＸ線光学系のズレがなく、常に入射Ｘ線を試料
の同一位置に照射することができる。したがって入射角
を変える毎にＸ線光学系の再調整を行う必要がなくな
り、試料の分析を簡単かつ迅速かつ精度良く行うことが
できる。

【００３８】またこの発明の機構によれば、傾斜角設定
用ネジを回転させて傾斜台の傾斜角を調節することで、
Ｘ線源からのＸ線の取り出し角を変えて試料への微小入
射角を簡単に変えることができる。

【００３９】そして傾斜台の傾斜角が設定された後に
は、傾斜角固定用ネジを調節することで傾斜角設定用ネ
ジと傾斜角固定用ネジとで傾斜台の傾斜角を保持するこ
とができる。

【００４０】さらに係止部材と支持部材とを取り外すこ
とで、Ｘ線源の周囲に障害物がなくなり、Ｘ線源の多面
利用が図れると共にメンテナンスが容易となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施例の微小角入射Ｘ線装置のＸ
線入射角設定機構の全体斜視図である。

【図２】図１の正面図である。

【図３】図１の傾斜角設定用ネジ及び傾斜角固定用ネジ
の先端が台座の溝の内部で水平移動可能に設けられた状
態を説明する説明図である。

【図４】図１のＸ線入射角設定機構を用いて傾斜台を傾
斜させることで、Ｘ線源からのＸ線の取り出し角を変
え、これによって試料へのＸ線入射角が変わるところを
説明する説明図である。

【図５】この発明の支持部材と係止部材とで構成される
回転中心軸の変形例を説明する説明図である。

【図６】従来のＸ線入射用アームにＸ線源が一体に設け
られた微小角入射Ｘ線装置の正面図である。

【図７】従来のＸ線源が別体で設けられた微小角入射Ｘ
線装置の正面図である。

【符号の説明】 ３１ 微小角入射Ｘ線装置のＸ線入射角設定機構 ３２ 微小角入射Ｘ線装置 ３２ａ 装置本体 ３３ 台座 ３４ 傾斜台 ３４ａ 入射角設定用ネジ ３４ｂ 入射角固定用ネジ ３５ 基台 ３６ Ｘ線発生装置 ３７ 支持部材 ３７ｂ Ｖ溝、凹部、 ３８ 係止部材 ３８ａ 係止部材の一端部（楔状、ネジ、球状端部） ３８ｂ 係止部材の他端部 ４１ 回転軸 ４１ａ 試料ホルダ ４２ 試料 ４３ Ｘ線入射用アーム ４４ Ｘ線検出用アーム ５３ Ｘ線源

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 Ｘ線源から発散されるＸ線を、装置本体
   の中央に設けた水平試料表面に微小角度で入射させる微
   小角入射Ｘ線装置のＸ線入射角設定方法において、前記
   微小角入射Ｘ線装置をＸ線の微小入射角を設定する傾斜
   台上に載置し、この傾斜台を常に前記Ｘ線源を含む回転
   中心軸を中心として回転傾斜させることを特徴とする微
   小角入射Ｘ線装置のＸ線入射角設定方法。
2. 【請求項２】 Ｘ線源から発散されるＸ線が照射される
   試料と、この試料を保持する試料ホルダが一端に固定さ
   れた回転軸を回転させて前記試料を水平に保持する装置
   本体と、この装置本体と前記Ｘ線源との間にＸ線の取出
   し角度に応じて角度調節可能に設けられてＸ線を前記試
   料に導くＸ線入射用アームと、前記装置本体の回りに回
   転可能に設けれて前記試料からの回折Ｘ線を検出するＸ
   線検出用アームとを備えた微小角入射Ｘ線装置のＸ線入
   射角設定機構であって、前記Ｘ線源が前記Ｘ線入射用ア
   ームの先端から離間して設けられると共に、前記Ｘ線入
   射角設定機構が前記Ｘ線源の近傍に設けられた支持部材
   と、この支持部材の上部で前記Ｘ線源を回転中心軸とし
   て回転する係止部材と、この係止部材の下端部に一端側
   が固定されて前記微小角入射Ｘ線装置を載置する傾斜台
   と、この傾斜台の前記係止部材の固定端と反対側の端部
   にこの傾斜台の傾斜角度を調節する傾斜角設定用ネジを
   備えたことを特徴とする微小角入射Ｘ線装置のＸ線入射
   角設定機構。
3. 【請求項３】 前記係止部材の係止部が楔状に形成さ
   れ，この楔状の係止部が前記回転中心軸と一致するよう
   に支持部材の頂部に形成されたＶ溝に係止されることを
   特徴とする請求項２記載の微小角入射Ｘ線装置のＸ線入
   射角設定機構。
4. 【請求項４】 前記係止部材の係止部に高さ位置調節可
   能なネジが設けられ、このネジの係止部が前記回転中心
   軸と一致するように支持部材の頂部に形成された凹部に
   係止されることを特徴とする請求項２記載の微小角入射
   Ｘ線装置のＸ線入射角設定機構。
5. 【請求項５】 前記係止部材の係止部が球状に形成さ
   れ，この球状の係止部が前記回転中心軸と回転中心を一
   致させて回転するように支持部材の頂部に係止されてい
   ることを特徴とする請求項２記載の微小角入射Ｘ線装置
   のＸ線入射角設定機構。
6. 【請求項６】 前記傾斜台の前記係止部材の固定端側
   に、前記傾斜角設定用ネジで設定された前記傾斜台の傾
   斜角を固定する傾斜角固定用ネジを設けたことを特徴と
   する請求項２ないし５のいずれかに記載の微小角入射Ｘ
   線装置のＸ線入射角設定機構。
7. 【請求項７】 前記係止部材の下端部が傾斜台の一端に
   着脱可能に固定されると共に、前記支持部材の基端部が
   基台に着脱可能に固定されていることを特徴とする請求
   項２ないし６のいずれかに記載の微小角入射Ｘ線装置の
   Ｘ線入射角設定機構。
8. 【請求項８】 前記傾斜角設定用ネジの先端が傾斜台の
   回転に伴い前記基台上で水平移動可能に設けられている
   ことを特徴とする請求項２ないし７のいずれかに記載の
   微小角入射Ｘ線装置のＸ線入射角設定機構。