JPH0894247A - 連続処理型真空乾燥方法及びその真空乾燥機 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】真空乾燥機が多数台配置の場合でも省スペース
化を図った連続処理真空乾燥方法及びその真空乾燥機を
提供する。 【構成】連続処理型真空乾燥機は、開閉自在な上蓋６と
真空乾燥槽５と、上蓋６を上下動させて真空乾燥槽５を
開放又は密閉できる上蓋６の昇降機構７と上蓋６の内側
で支持し、上蓋６の下方に設けるワーク受け台８と、上
蓋６の上面に設けた搬送部９と真空乾燥槽５を上蓋６で
密閉時に上蓋６の上面の搬送部９が同一搬送ライン上に
位置するように真空乾燥槽５の前後に搬送部を設けた挿
入テーブル１０および搬出テーブル１１をそれぞれ設
け、かつ搬送部上のワークを搬送するプッシャーを設け
る。また真空乾送機を直列に複数台設置し、途中の真空
乾燥槽間には中間テーブルを形成し、最初の真空乾燥槽
と最後の真空乾燥槽に搬送部を設けた挿入テーブルおよ
び搬出テーブルをそれぞれ設ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は洗浄後のワ−クを効率よ
く乾燥するために、上下方向に昇降する上蓋を備えた真
空乾燥槽の前後に搬送部を備えた挿入テ−ブルおよび搬
出テ−ブルをそれぞれ設けた連続処理型真空乾燥機に関
するもので、その用途は半導体・プリント基板の洗浄後
の乾燥、レンズ・セラミックス類の洗浄後の乾燥、金属
加工部品・精密部品の洗浄後の乾燥、プラスチック成型
品の洗浄後の乾燥等の工業用、その他農業、漁業用等各
種産業分野に利用できる連続処理型真空乾燥機に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】縦型真空乾燥式の真空乾燥機は、従来、
ティ−チングハンドやハンガ−ハンドによりワ−クを装
入、抽出するケ−スが多かった。このため装入、抽出制
御が複雑でスペ−スをとり、しかも乾燥処理に時間がか
かっていた。以上の理由からインライン型は横型真空乾
燥槽タイプが主流になっているが複数台数を設置する場
合のスペ−ス等の多くの問題を抱えていた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】従来の真空乾燥機は装
入機構の行程が長すぎたり、装入機構の動きが複雑すぎ
るという難点があった。またＩ／Ｏ等の信号にやり取り
が多すぎた。さらに横型式では設置スペ−スが大きく、
並行処理のためキャリアが複雑になるという欠点があっ
た。本発明は上記の点に鑑みてなされたもので、その目
的とするところはメカハンド（プッシャ−式）の設置に
よりワ−クの装入、抽出行程が簡略化でき、しかもメカ
ハンドのストロ−クをできるだけ短くしながらもワ−ク
の移動量は大きく確保でき、かつ真空乾燥槽の上蓋をテ
−ブル（コロコン式）と兼用することで直列型の配置を
可能とし、真空乾燥機が多数台の配置の場合でも省スペ
−ス化が図れるようにした連続処理型真空乾燥方法及び
その真空乾燥機を提供することにある。

【０００４】

【課題を解決するための手段】本発明に係る連続処理型
真空乾燥方法は、真空乾燥槽の上蓋を上昇させて該上蓋
と共に上昇する、上蓋下方に設けたワ−ク受け台を搬送
ライン上に位置させ、挿入テ−ブル上の搬送部のワ−ク
をプッシャ−によりワ−ク受け台に載置し、このワ−ク
を載置したワ−ク受け台を上蓋と共に下降させて真空乾
燥槽を密閉しワ−クの真空乾燥を行い、このワ−クの真
空乾燥中、搬送ラインに沿って直列配列した別の上下動
可能な上蓋を備えた真空乾燥槽にワ−クを送るに当た
り、真空乾燥中の上蓋上に形成した搬送部を通過させ
て、予め搬送ラインまで上昇させた別の真空乾燥槽の上
蓋の下方に設けたワ−ク受け台にワ−クを載置し、順次
真空乾燥中の各上蓋上の搬送部を通過させてワ−クを真
空乾燥槽内に投入し、各真空乾燥槽で真空乾燥を行い、
真空乾燥後のワ−クはワ−ク受け台を搬送ラインまで上
昇させプッシャ−により隣接する上蓋上の搬送部を通過
させて搬送ラインの搬送側へと取出すようにしたもので
ある。

【０００５】本発明に係る連続処理型真空乾燥機は、開
閉自在な上蓋を備えた真空乾燥槽と，該真空乾燥槽の上
蓋を上下動させて真空乾燥槽を開放又は密閉し得る上蓋
の昇降機構と，該上蓋の内側で支持し、該上蓋の下方に
設けたワ−ク受け台と，該上蓋の上面に設けた搬送部
と，真空乾燥槽を上蓋で密閉時に該上蓋の上面の搬送部
が同一搬送ライン上に位置する如く上記真空乾燥槽の前
後に搬送部を設けた挿入テ−ブルおよび搬出テ−ブルを
それぞれ設け、かつ搬送部上のワ−クを搬送するプッシ
ャ−を設けてなるものである。また連続処理型真空乾燥
機は、上記真空乾燥槽を直列に複数台設置し、途中の真
空乾燥槽間には搬送部を設けた中間テ−ブルを形成し、
最初の真空乾燥槽と最後の真空乾燥槽に搬送部を設けた
挿入テ−ブルおよび搬出テ−ブルをそれぞれ設けたもの
である。さらに本発明に係る連続処理型真空乾燥機のプ
ッシャ−は搬送部上のワ−クを搬送方向に移動させるシ
リンダ−部と、該プッシャ−の内側にワ−クを保持して
移動させる昇降シリンダ−と、該プッシャ−の先端でワ
−クを移動させる先端折曲げ部を設けたものである。

【０００６】

【作用】挿入テ−ブル上の搬送部にワ−クを載置し、該
ワ−クがプッシャ−に当たらないように予めプッシャ−
を昇降シリンダ−で上昇させておく。プッシャ−は搬送
方向に移動させるストロ−ク長の始端部側に位置させて
おく。ワ−クをプッシャ−の真下に位置させてワ−ク受
入作業を終了する。ワ−クをプッシャ−の真下に位置さ
せた状態で昇降シリンダ−によりプッシャ−を下降させ
該プッシャ−の内側にワ−クを保持してワ−クのチャッ
ク作業を完了する。次いで、真空乾燥槽の上蓋を昇降機
構により上昇させ、真空乾燥槽の上部を開口させ、上蓋
の下方に設けたワ−ク受け台が挿入テ−ブルおよび搬出
テ−ブルの各搬送部と同一高さとなる位置にセットし、
シリンダ−部を作動させてプッシャ−を移動させワ−ク
受け台上にワ−クを載置するワ−ク押込み作業を行う。

【０００７】ワ−ク受け台上にワ−クを載置後、プッシ
ャ−をシリンダ−部により旧位置に復帰させるハンド復
帰作業を行う。次に、昇降機構を作動させて上蓋を下降
させ真空乾燥槽の上部開口部を密閉するとともに上蓋上
面に形成した搬送部は挿入テ−ブルおよび搬出テ−ブル
の各搬送部と同一高さに位置する状態となり真空乾燥槽
内のワ−クが真空乾燥される上蓋下降・真空乾燥開始作
業を行う。ワ−クの真空乾燥終了後、上蓋を再び上昇さ
せワ−ク受け台を挿入テ−ブルおよび搬出テ−ブルの各
搬送部と同一高さに位置させる真空乾燥終了・上蓋上昇
作業を終える。ワ−ク受け台上に載置された乾燥後のワ
−クはプッシャ−の先端部で押出すワ−ク押出し作業を
行う。プッシャ−の先端部でワ−ク受け台上のワ−クを
押出すにはシリンダ−部を搬送方向に作動させ、該ワ−
クを搬出テ−ブル上に形成した搬送部へと送るワ−ク搬
出作業を行う。最後にプッシャ−の先端部でワ−クをワ
−ク受け台から搬出テ−ブルの搬送部側へと押出すワ−
ク搬出作業を行う。

【０００８】以上は、真空乾燥槽を一台セットした場合
の作業手順に付いて説明した。真空乾燥槽をライン上に
直列に多数台（本例では３台）配列した場合についても
基本的動作は前記したと同じであるが、異なる点は第１
の真空乾燥槽内にワ−クが入っている場合には、第２の
真空乾燥槽内にワ−クをセットするときに、ワ−クは第
１のプッシャ−により挿入テ−ブル上の搬送部から第１
の真空乾燥槽上の搬送部を通過させて中間テ−ブル上の
搬送部へ押出し、次に第２のプッシャ−により予め第２
の上蓋を上昇させて第２のワ−ク受け台を搬送部と同一
ライン上にセットしておき、該第２のワ−ク受け台上に
ワ−クを載置し、再び第２の上蓋を下降させて第２の真
空乾燥槽内の第２のワ−ク受け台にワ−クがセットされ
る。同様に第３の真空乾燥槽内にも第１、第２の各上蓋
に形成した搬送部上を通過させてワ−クを収納させる。
そして第２の真空乾燥槽内のワ−クの真空乾燥終了後
は、第２の上蓋を上昇させて第２のワ−ク受け台を搬送
部と同一ライン上にセットし該ワ−クを第３の上蓋に形
成した搬送部上を通過させて搬出テ−ブル上の搬送部へ
と搬出させる。

【０００９】

【実施例】以下本発明の一実施例を図面により具体的に
説明する。図１は本発明の一実施例を示し、メカハンド
を含む概略説明図である。１はプッシャ−で、板状の先
端部に下向きのＬ字状に折曲げた折曲げ部１ａを形成
し、該板状の基部を、搬送部を横断する如く設けたワ−
ク保持ロッド１ｂに固定する。本例ではプッシャ−１を
ワ−ク保持ロッド１ｂに所定間隔をおいて２本設置した
場合を示したが、その設置本数や形状等は限定されるも
のではなく、要はプッシャ−としての機能を発揮できる
ものであればよい。ワ−ク保持ロッド１ｂの両端部には
昇降シリンダ−であるガイド付き薄型シリンダ−２を設
け、プッシャ−１を含めたワ−ク保持ロッド１ｂが上下
方向に昇降自在となるようにしている。またガイド付き
薄型シリンダ−２は搬送部の両側近傍に沿って設けたロ
ッドレスシリンダ−３に取付けられており、プッシャ−
１が搬送方向に沿って前後に移動し得るようにしてい
る。ロッドレスシリンダ−３のストロ−ク長を短くする
ために、本例ではワ−ク４をワ−ク保持ロッド１ｂ及び
プッシャ−１の先端部のいずれでも押出すことができる
ようにしている。

【００１０】図２（ａ）、（ｂ）は本発明に係る連続処
理型真空乾燥機の正面図及び側面図である。真空乾燥槽
５の上部には上下方向に開閉自在な上蓋６を備えてい
る。真空乾燥槽５には迅速な乾燥を行うために遠赤外線
ヒ−タ−等のヒ−タ−５ａが内蔵されている。上蓋６に
は真空乾燥槽５を開放又は密閉し得るシリンダ−を有す
る昇降機構７を設けている。上蓋６の内側から垂下する
支持杆８ａの下端で水平方向に保持されたワ−ク受け台
８を設ける。このワ−ク受け台８の上面にはワ−ク４を
搬送し易いように搬送部と同様のロ−ラを設けるように
してもよい。また上蓋６の上面にはロ−ラ等で形成した
搬送部９を設ける。真空乾燥槽５の前後にはロ−ラ等で
形成した搬送部１２、１３をそれぞれ設けた挿入テ−ブ
ル１０および搬出テ−ブル１１をそれぞれ設置する。

【００１１】図３（ａ）〜（ｈ）は本発明に係る連続処
理型真空乾燥機の各動作状態を示す概略説明図である。
図３（ａ）はワ−ク受入れの説明図である。挿入テ−ブ
ル１０上の搬送部１２にワ−ク４を載置する。このとき
ワ−ク４がプッシャ−１に当たらないように予めプッシ
ャ−１を昇降シリンダ−であるガイド付き薄型シリンダ
−２を作動させて上昇させておく。プッシャ−１は搬送
方向に移動させるストロ−ク長の始端部側（本例では左
端側）に位置させておく。ワ−ク４をプッシャ−１の真
下に位置させてワ−ク受入作業を終了する。

【００１２】図３（ｂ）はワ−クチャックを示す説明
図、図３（ｃ）はワ−ク押込みを示す説明図である。ワ
−ク４をプッシャ−１の真下に位置させた状態で昇降シ
リンダ−であるガイド付き薄型シリンダ−２を作動させ
てプッシャ−１及びワ−ク保持ロッド１ｂを下降させ該
プッシャ−１の内側であるワ−ク保持ロッド１ｂにワ−
ク４を保持させてワ−ク４のチャック作業を完了する。
次いで、真空乾燥槽５の上蓋６をシリンダ−を有する昇
降機構７により上昇させ、真空乾燥槽５の上部を開口さ
せる。上蓋６の下方に設けたワ−ク受け台８が挿入テ−
ブル１０および搬出テ−ブル１１の各搬送部１２、１３
と同一高さとなる位置にセットする如く上昇させる。シ
リンダ−部であるロッドレスシリンダ−３を作動させて
プッシャ−１を搬送方向（本例では右側）に移動させワ
−ク受け台８上にワ−ク４を載置するワ−ク押込み作業
を行う。

【００１３】図３（ｄ）はハンド復帰を示す説明図、図
３（ｅ）は上蓋下降・真空乾燥開始を示す説明図であ
る。ワ−ク受け台８上にワ−ク４を載置後、プッシャ−
１をシリンダ−部であるロッドレスシリンダ−３を作動
させて旧位置に復帰させてハンド復帰作業を行う。次
に、昇降機構７を作動させて上蓋６を下降させ真空乾燥
槽５の上部開口部を密閉するとともに上蓋６の上面に形
成した搬送部９は挿入テ−ブル１０および搬出テ−ブル
１１の各搬送部１２、１３と同一高さに位置する状態と
なり真空乾燥槽５内のワ−ク４が真空乾燥されるという
上蓋下降・真空乾燥開始作業を行う。

【００１４】図３（ｆ）は真空乾燥終了・上蓋上昇を示
す説明図、図３（ｇ）はワ−ク搬出を示す説明図、図３
（ｈ）はワ−ク搬出を示す説明図である。ワ−ク４の真
空乾燥終了後、上蓋６を再び上昇させワ−ク受け台８を
挿入テ−ブル１０および搬出テ−ブル１１の各搬送部１
２、１３と同一高さに位置させて真空乾燥終了・上蓋上
昇作業を終える。ワ−ク受け台８上に載置された乾燥後
のワ−ク４はプッシャ−１の先端部である折曲げ部１ａ
で押出すワ−ク押出し作業を行う。プッシャ−１の先端
部である折曲げ部１ａでワ−ク受け台８上のワ−ク４を
押出すにはロッドレスシリンダ−３を搬送方向（本例で
は右側方向）に作動させ、該ワ−ク４を搬出テ−ブル１
１上に形成した搬送部１３へと送るワ−ク搬出作業を行
う。最後にプッシャ−の先端部である折曲げ部１ａでワ
−ク４をワ−ク受け台８から搬出テ−ブル１１の搬送部
１３側へと押出すワ−ク搬出作業を行う。

【００１５】以上は、真空乾燥槽を一台セットした場合
の作業手順に付いて説明した。図４に示すように真空乾
燥槽を搬送ライン上に直列に多数台（本例では３台）配
列した場合についても基本的動作は前記したと同じであ
るが、異なる点は第１の真空乾燥槽５ａ内にワ−ク４入
っている場合には、第２の真空乾燥槽５ｂ内にワ−ク４
をセットするときに、ワ−ク４は第１のプッシャ−１に
より挿入テ−ブル１０上の搬送部１２から第１の真空乾
燥槽５ａの上蓋６上の搬送部９を通過させて中間テ−ブ
ル１４上の搬送部１５へ押出し、次に第２のプッシャ−
１により予め第２の上蓋６を上昇させて第２のワ−ク受
け台８を搬送部１２、１３、１５と同一搬送ライン上に
セットしておく。第２のワ−ク受け台８上にワ−ク４を
載置し、再び第２の上蓋６を下降させて第２の真空乾燥
槽５ｂ内の第２のワ−ク受け台８にワ−ク４がセットさ
れる。同様に第３の真空乾燥槽５ｃ内にも第１、第２の
各上蓋６、６に形成した搬送部９、９上を通過させてワ
−ク４を収納させる。そして第２の真空乾燥槽５ｂ内の
ワ−ク４の真空乾燥終了後は、第２の上蓋６を上昇させ
て第２のワ−ク受け台８を搬送部１２、１３、１５と同
一搬送ライン上にセットし該ワ−ク４を第３の上蓋６に
形成した搬送部９上を通過させて搬出テ−ブル１１上の
搬送部へと搬出させる。

【００１６】

【発明の効果】本発明は上記の説明から判るように、従
来のようにラインの分岐、集合がなくなって単純にな
り、制御が容易で、安価に装置を設置できる。プッシャ
−式のメカハンドの設置によりワ−クの挿入、搬出行程
が簡略化され、挿入、搬出作業に、従来は１分前後を要
していたものが各１０秒程度で済むという時間短縮がで
きる。上蓋を完全に開放するための従来の容器吊下げ方
式では上蓋の完全開放のための高さ方向、または左右方
向のスペ−スが必要であるのに対し、本発明ではこのよ
うなスペ−スが必要なく省スペ−ス化は図れる。真空乾
燥槽の上蓋をコロコン式のテ−ブルと兼用することで直
列型の配置が可能となり、真空乾燥中の上蓋の上に形成
した搬送部を通過させて次の真空乾燥槽中にワ−クを投
入することができる。

【００１７】真空乾燥槽を多数配列した場合でも省スペ
−ス化が図れる。特に、従来の横型のものに比べ１／２
以下のスペ−スで済むという連続処理型真空乾燥システ
ムでありながら場所を取らない省スペ−ス化が実現でき
る。全体が簡単な構造であるので従来の横型のものに比
べコストの低減化が図れる。またＦＡ化等を行う場合の
キャリア類の周辺設備の減少が図れる。さらに本発明に
係る連続処理型真空乾燥機のプッシャ−は搬送部上のワ
−クを搬送方向に移動させるシリンダ−部と、該プッシ
ャ−の内側にワ−クを保持して移動させる昇降シリンダ
−と、該プッシャ−の先端でワ−クを移動させる先端折
曲げ部を設けたものであるから、ワ−クを移動させるシ
リンダ−のストロ−ク長を短くでき、省スペ−ス化およ
び低コスト化が図れる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例を示し、メカハンドを含む概
略説明図である。

【図２】（ａ）は本発明に係る連続処理型真空乾燥機の
正面図、（ｂ）はその側面図である。

【図３】（ａ）〜（ｈ）は本発明に係る連続処理型真空
乾燥機の各動作状態を示す概略説明図で、（ａ）はワ−
ク受入れの説明図、（ｂ）はワ−クチャックを示す説明
図、（ｃ）はワ−ク押込みを示す説明図、（ｄ）はハン
ド復帰を示す説明図、（ｅ）は上蓋下降・真空乾燥開始
を示す説明図、（ｆ）は真空乾燥終了・上蓋上昇を示す
説明図、（ｇ）はワ−ク押出しを示す説明図、（ｈ）は
ワ−ク搬出を示す説明図である。

【図４】真空乾燥槽を搬送ライン上に直列に多数台配列
した場合の概略説明図である。

【符号の説明】

１ プッシャ− １ａ 折曲げ部 １ｂ ワ−ク保持ロッド ２ ガイド付き薄型シリンダ− ３ ロッドレスシリンダ− ４ ワ−ク ５ 真空乾燥槽 ６ 上蓋 ７ 昇降機構 ８ ワ−ク受け台 ８ａ 支持杆 ９，１２，１３，１５ 搬送部 １０ 挿入テ−ブル １１ 搬出テ−ブル １４ 中間テ−ブル

【手続補正書】

【提出日】平成７年２月８日

【手続補正１】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】全図

【補正方法】変更

【補正内容】

【図１】

【図４】

【図２】

【図３】

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 真空乾燥槽の上蓋を上昇させて該上蓋と
   共に上昇する、上蓋下方に設けたワ−ク受け台を搬送ラ
   イン上に位置させ、挿入テ−ブル上の搬送部のワ−クを
   プッシャ−によりワ−ク受け台に載置し、このワ−クを
   載置したワ−ク受け台を上蓋と共に下降させて真空乾燥
   槽を密閉しワ−クの真空乾燥を行い、このワ−クの真空
   乾燥中、搬送ラインに沿って直列配列した別の上下動可
   能な上蓋を備えた真空乾燥槽にワ−クを送るに当たり、
   真空乾燥中の上蓋上に形成した搬送部を通過させて、予
   め搬送ラインまで上昇させた別の真空乾燥槽の上蓋の下
   方に設けたワ−ク受け台にワ−クを載置し、順次真空乾
   燥中の各上蓋上の搬送部を通過させてワ−クを真空乾燥
   槽内に投入し、各真空乾燥槽で真空乾燥を行い、真空乾
   燥後のワ−クはワ−ク受け台を搬送ラインまで上昇させ
   プッシャ−により隣接する上蓋上の搬送部を通過させて
   搬送ラインの搬送側へと取出すことを特徴とする連続処
   理型真空乾燥方法。
2. 【請求項２】 開閉自在な上蓋を備えた真空乾燥槽と，
   該真空乾燥槽の上蓋を上下動させて真空乾燥槽を開放又
   は密閉し得る上蓋の昇降機構と，該上蓋の内側で支持
   し、該上蓋の下方に設けたワ−ク受け台と，該上蓋の上
   面に設けた搬送部と，真空乾燥槽を上蓋で密閉時に該上
   蓋の上面の搬送部が同一搬送ライン上に位置する如く上
   記真空乾燥槽の前後に搬送部を設けた挿入テ−ブルおよ
   び搬出テ−ブルをそれぞれ設け、かつ搬送部上のワ−ク
   を搬送するプッシャ−を設けてなることを特徴とする連
   続処理型真空乾燥機。
3. 【請求項３】 上記真空乾燥槽を直列に複数台設置し、
   途中の真空乾燥槽間には搬送部を設けた中間テ−ブルを
   形成し、最初の真空乾燥槽と最後の真空乾燥槽に搬送部
   を設けた挿入テ−ブルおよび搬出テ−ブルをそれぞれ設
   けたことを特徴とする請求項１記載の連続処理型真空乾
   燥機。
4. 【請求項４】 プッシャ−は搬送部上のワ−クを搬送方
   向に移動させるシリンダ−部と、該プッシャ−の内側に
   ワ−クを保持して移動させる昇降シリンダ−と、該プッ
   シャ−の先端でワ−クを移動させる先端折曲げ部を設け
   たことを特徴とする請求項１又は２記載の連続処理型真
   空乾燥機。