JPH0894247A - 連続処理型真空乾燥方法及びその真空乾燥機 - Google Patents
連続処理型真空乾燥方法及びその真空乾燥機Info
- Publication number
- JPH0894247A JPH0894247A JP25733094A JP25733094A JPH0894247A JP H0894247 A JPH0894247 A JP H0894247A JP 25733094 A JP25733094 A JP 25733094A JP 25733094 A JP25733094 A JP 25733094A JP H0894247 A JPH0894247 A JP H0894247A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- work
- vacuum drying
- upper lid
- drying tank
- carrying
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Abstract
(57)【要約】 (修正有)
【目的】真空乾燥機が多数台配置の場合でも省スペース
化を図った連続処理真空乾燥方法及びその真空乾燥機を
提供する。 【構成】連続処理型真空乾燥機は、開閉自在な上蓋6と
真空乾燥槽5と、上蓋6を上下動させて真空乾燥槽5を
開放又は密閉できる上蓋6の昇降機構7と上蓋6の内側
で支持し、上蓋6の下方に設けるワーク受け台8と、上
蓋6の上面に設けた搬送部9と真空乾燥槽5を上蓋6で
密閉時に上蓋6の上面の搬送部9が同一搬送ライン上に
位置するように真空乾燥槽5の前後に搬送部を設けた挿
入テーブル10および搬出テーブル11をそれぞれ設
け、かつ搬送部上のワークを搬送するプッシャーを設け
る。また真空乾送機を直列に複数台設置し、途中の真空
乾燥槽間には中間テーブルを形成し、最初の真空乾燥槽
と最後の真空乾燥槽に搬送部を設けた挿入テーブルおよ
び搬出テーブルをそれぞれ設ける。
化を図った連続処理真空乾燥方法及びその真空乾燥機を
提供する。 【構成】連続処理型真空乾燥機は、開閉自在な上蓋6と
真空乾燥槽5と、上蓋6を上下動させて真空乾燥槽5を
開放又は密閉できる上蓋6の昇降機構7と上蓋6の内側
で支持し、上蓋6の下方に設けるワーク受け台8と、上
蓋6の上面に設けた搬送部9と真空乾燥槽5を上蓋6で
密閉時に上蓋6の上面の搬送部9が同一搬送ライン上に
位置するように真空乾燥槽5の前後に搬送部を設けた挿
入テーブル10および搬出テーブル11をそれぞれ設
け、かつ搬送部上のワークを搬送するプッシャーを設け
る。また真空乾送機を直列に複数台設置し、途中の真空
乾燥槽間には中間テーブルを形成し、最初の真空乾燥槽
と最後の真空乾燥槽に搬送部を設けた挿入テーブルおよ
び搬出テーブルをそれぞれ設ける。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は洗浄後のワ−クを効率よ
く乾燥するために、上下方向に昇降する上蓋を備えた真
空乾燥槽の前後に搬送部を備えた挿入テ−ブルおよび搬
出テ−ブルをそれぞれ設けた連続処理型真空乾燥機に関
するもので、その用途は半導体・プリント基板の洗浄後
の乾燥、レンズ・セラミックス類の洗浄後の乾燥、金属
加工部品・精密部品の洗浄後の乾燥、プラスチック成型
品の洗浄後の乾燥等の工業用、その他農業、漁業用等各
種産業分野に利用できる連続処理型真空乾燥機に関す
る。
く乾燥するために、上下方向に昇降する上蓋を備えた真
空乾燥槽の前後に搬送部を備えた挿入テ−ブルおよび搬
出テ−ブルをそれぞれ設けた連続処理型真空乾燥機に関
するもので、その用途は半導体・プリント基板の洗浄後
の乾燥、レンズ・セラミックス類の洗浄後の乾燥、金属
加工部品・精密部品の洗浄後の乾燥、プラスチック成型
品の洗浄後の乾燥等の工業用、その他農業、漁業用等各
種産業分野に利用できる連続処理型真空乾燥機に関す
る。
【0002】
【従来の技術】縦型真空乾燥式の真空乾燥機は、従来、
ティ−チングハンドやハンガ−ハンドによりワ−クを装
入、抽出するケ−スが多かった。このため装入、抽出制
御が複雑でスペ−スをとり、しかも乾燥処理に時間がか
かっていた。以上の理由からインライン型は横型真空乾
燥槽タイプが主流になっているが複数台数を設置する場
合のスペ−ス等の多くの問題を抱えていた。
ティ−チングハンドやハンガ−ハンドによりワ−クを装
入、抽出するケ−スが多かった。このため装入、抽出制
御が複雑でスペ−スをとり、しかも乾燥処理に時間がか
かっていた。以上の理由からインライン型は横型真空乾
燥槽タイプが主流になっているが複数台数を設置する場
合のスペ−ス等の多くの問題を抱えていた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】従来の真空乾燥機は装
入機構の行程が長すぎたり、装入機構の動きが複雑すぎ
るという難点があった。またI/O等の信号にやり取り
が多すぎた。さらに横型式では設置スペ−スが大きく、
並行処理のためキャリアが複雑になるという欠点があっ
た。本発明は上記の点に鑑みてなされたもので、その目
的とするところはメカハンド(プッシャ−式)の設置に
よりワ−クの装入、抽出行程が簡略化でき、しかもメカ
ハンドのストロ−クをできるだけ短くしながらもワ−ク
の移動量は大きく確保でき、かつ真空乾燥槽の上蓋をテ
−ブル(コロコン式)と兼用することで直列型の配置を
可能とし、真空乾燥機が多数台の配置の場合でも省スペ
−ス化が図れるようにした連続処理型真空乾燥方法及び
その真空乾燥機を提供することにある。
入機構の行程が長すぎたり、装入機構の動きが複雑すぎ
るという難点があった。またI/O等の信号にやり取り
が多すぎた。さらに横型式では設置スペ−スが大きく、
並行処理のためキャリアが複雑になるという欠点があっ
た。本発明は上記の点に鑑みてなされたもので、その目
的とするところはメカハンド(プッシャ−式)の設置に
よりワ−クの装入、抽出行程が簡略化でき、しかもメカ
ハンドのストロ−クをできるだけ短くしながらもワ−ク
の移動量は大きく確保でき、かつ真空乾燥槽の上蓋をテ
−ブル(コロコン式)と兼用することで直列型の配置を
可能とし、真空乾燥機が多数台の配置の場合でも省スペ
−ス化が図れるようにした連続処理型真空乾燥方法及び
その真空乾燥機を提供することにある。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明に係る連続処理型
真空乾燥方法は、真空乾燥槽の上蓋を上昇させて該上蓋
と共に上昇する、上蓋下方に設けたワ−ク受け台を搬送
ライン上に位置させ、挿入テ−ブル上の搬送部のワ−ク
をプッシャ−によりワ−ク受け台に載置し、このワ−ク
を載置したワ−ク受け台を上蓋と共に下降させて真空乾
燥槽を密閉しワ−クの真空乾燥を行い、このワ−クの真
空乾燥中、搬送ラインに沿って直列配列した別の上下動
可能な上蓋を備えた真空乾燥槽にワ−クを送るに当た
り、真空乾燥中の上蓋上に形成した搬送部を通過させ
て、予め搬送ラインまで上昇させた別の真空乾燥槽の上
蓋の下方に設けたワ−ク受け台にワ−クを載置し、順次
真空乾燥中の各上蓋上の搬送部を通過させてワ−クを真
空乾燥槽内に投入し、各真空乾燥槽で真空乾燥を行い、
真空乾燥後のワ−クはワ−ク受け台を搬送ラインまで上
昇させプッシャ−により隣接する上蓋上の搬送部を通過
させて搬送ラインの搬送側へと取出すようにしたもので
ある。
真空乾燥方法は、真空乾燥槽の上蓋を上昇させて該上蓋
と共に上昇する、上蓋下方に設けたワ−ク受け台を搬送
ライン上に位置させ、挿入テ−ブル上の搬送部のワ−ク
をプッシャ−によりワ−ク受け台に載置し、このワ−ク
を載置したワ−ク受け台を上蓋と共に下降させて真空乾
燥槽を密閉しワ−クの真空乾燥を行い、このワ−クの真
空乾燥中、搬送ラインに沿って直列配列した別の上下動
可能な上蓋を備えた真空乾燥槽にワ−クを送るに当た
り、真空乾燥中の上蓋上に形成した搬送部を通過させ
て、予め搬送ラインまで上昇させた別の真空乾燥槽の上
蓋の下方に設けたワ−ク受け台にワ−クを載置し、順次
真空乾燥中の各上蓋上の搬送部を通過させてワ−クを真
空乾燥槽内に投入し、各真空乾燥槽で真空乾燥を行い、
真空乾燥後のワ−クはワ−ク受け台を搬送ラインまで上
昇させプッシャ−により隣接する上蓋上の搬送部を通過
させて搬送ラインの搬送側へと取出すようにしたもので
ある。
【0005】本発明に係る連続処理型真空乾燥機は、開
閉自在な上蓋を備えた真空乾燥槽と,該真空乾燥槽の上
蓋を上下動させて真空乾燥槽を開放又は密閉し得る上蓋
の昇降機構と,該上蓋の内側で支持し、該上蓋の下方に
設けたワ−ク受け台と,該上蓋の上面に設けた搬送部
と,真空乾燥槽を上蓋で密閉時に該上蓋の上面の搬送部
が同一搬送ライン上に位置する如く上記真空乾燥槽の前
後に搬送部を設けた挿入テ−ブルおよび搬出テ−ブルを
それぞれ設け、かつ搬送部上のワ−クを搬送するプッシ
ャ−を設けてなるものである。また連続処理型真空乾燥
機は、上記真空乾燥槽を直列に複数台設置し、途中の真
空乾燥槽間には搬送部を設けた中間テ−ブルを形成し、
最初の真空乾燥槽と最後の真空乾燥槽に搬送部を設けた
挿入テ−ブルおよび搬出テ−ブルをそれぞれ設けたもの
である。さらに本発明に係る連続処理型真空乾燥機のプ
ッシャ−は搬送部上のワ−クを搬送方向に移動させるシ
リンダ−部と、該プッシャ−の内側にワ−クを保持して
移動させる昇降シリンダ−と、該プッシャ−の先端でワ
−クを移動させる先端折曲げ部を設けたものである。
閉自在な上蓋を備えた真空乾燥槽と,該真空乾燥槽の上
蓋を上下動させて真空乾燥槽を開放又は密閉し得る上蓋
の昇降機構と,該上蓋の内側で支持し、該上蓋の下方に
設けたワ−ク受け台と,該上蓋の上面に設けた搬送部
と,真空乾燥槽を上蓋で密閉時に該上蓋の上面の搬送部
が同一搬送ライン上に位置する如く上記真空乾燥槽の前
後に搬送部を設けた挿入テ−ブルおよび搬出テ−ブルを
それぞれ設け、かつ搬送部上のワ−クを搬送するプッシ
ャ−を設けてなるものである。また連続処理型真空乾燥
機は、上記真空乾燥槽を直列に複数台設置し、途中の真
空乾燥槽間には搬送部を設けた中間テ−ブルを形成し、
最初の真空乾燥槽と最後の真空乾燥槽に搬送部を設けた
挿入テ−ブルおよび搬出テ−ブルをそれぞれ設けたもの
である。さらに本発明に係る連続処理型真空乾燥機のプ
ッシャ−は搬送部上のワ−クを搬送方向に移動させるシ
リンダ−部と、該プッシャ−の内側にワ−クを保持して
移動させる昇降シリンダ−と、該プッシャ−の先端でワ
−クを移動させる先端折曲げ部を設けたものである。
【0006】
【作用】挿入テ−ブル上の搬送部にワ−クを載置し、該
ワ−クがプッシャ−に当たらないように予めプッシャ−
を昇降シリンダ−で上昇させておく。プッシャ−は搬送
方向に移動させるストロ−ク長の始端部側に位置させて
おく。ワ−クをプッシャ−の真下に位置させてワ−ク受
入作業を終了する。ワ−クをプッシャ−の真下に位置さ
せた状態で昇降シリンダ−によりプッシャ−を下降させ
該プッシャ−の内側にワ−クを保持してワ−クのチャッ
ク作業を完了する。次いで、真空乾燥槽の上蓋を昇降機
構により上昇させ、真空乾燥槽の上部を開口させ、上蓋
の下方に設けたワ−ク受け台が挿入テ−ブルおよび搬出
テ−ブルの各搬送部と同一高さとなる位置にセットし、
シリンダ−部を作動させてプッシャ−を移動させワ−ク
受け台上にワ−クを載置するワ−ク押込み作業を行う。
ワ−クがプッシャ−に当たらないように予めプッシャ−
を昇降シリンダ−で上昇させておく。プッシャ−は搬送
方向に移動させるストロ−ク長の始端部側に位置させて
おく。ワ−クをプッシャ−の真下に位置させてワ−ク受
入作業を終了する。ワ−クをプッシャ−の真下に位置さ
せた状態で昇降シリンダ−によりプッシャ−を下降させ
該プッシャ−の内側にワ−クを保持してワ−クのチャッ
ク作業を完了する。次いで、真空乾燥槽の上蓋を昇降機
構により上昇させ、真空乾燥槽の上部を開口させ、上蓋
の下方に設けたワ−ク受け台が挿入テ−ブルおよび搬出
テ−ブルの各搬送部と同一高さとなる位置にセットし、
シリンダ−部を作動させてプッシャ−を移動させワ−ク
受け台上にワ−クを載置するワ−ク押込み作業を行う。
【0007】ワ−ク受け台上にワ−クを載置後、プッシ
ャ−をシリンダ−部により旧位置に復帰させるハンド復
帰作業を行う。次に、昇降機構を作動させて上蓋を下降
させ真空乾燥槽の上部開口部を密閉するとともに上蓋上
面に形成した搬送部は挿入テ−ブルおよび搬出テ−ブル
の各搬送部と同一高さに位置する状態となり真空乾燥槽
内のワ−クが真空乾燥される上蓋下降・真空乾燥開始作
業を行う。ワ−クの真空乾燥終了後、上蓋を再び上昇さ
せワ−ク受け台を挿入テ−ブルおよび搬出テ−ブルの各
搬送部と同一高さに位置させる真空乾燥終了・上蓋上昇
作業を終える。ワ−ク受け台上に載置された乾燥後のワ
−クはプッシャ−の先端部で押出すワ−ク押出し作業を
行う。プッシャ−の先端部でワ−ク受け台上のワ−クを
押出すにはシリンダ−部を搬送方向に作動させ、該ワ−
クを搬出テ−ブル上に形成した搬送部へと送るワ−ク搬
出作業を行う。最後にプッシャ−の先端部でワ−クをワ
−ク受け台から搬出テ−ブルの搬送部側へと押出すワ−
ク搬出作業を行う。
ャ−をシリンダ−部により旧位置に復帰させるハンド復
帰作業を行う。次に、昇降機構を作動させて上蓋を下降
させ真空乾燥槽の上部開口部を密閉するとともに上蓋上
面に形成した搬送部は挿入テ−ブルおよび搬出テ−ブル
の各搬送部と同一高さに位置する状態となり真空乾燥槽
内のワ−クが真空乾燥される上蓋下降・真空乾燥開始作
業を行う。ワ−クの真空乾燥終了後、上蓋を再び上昇さ
せワ−ク受け台を挿入テ−ブルおよび搬出テ−ブルの各
搬送部と同一高さに位置させる真空乾燥終了・上蓋上昇
作業を終える。ワ−ク受け台上に載置された乾燥後のワ
−クはプッシャ−の先端部で押出すワ−ク押出し作業を
行う。プッシャ−の先端部でワ−ク受け台上のワ−クを
押出すにはシリンダ−部を搬送方向に作動させ、該ワ−
クを搬出テ−ブル上に形成した搬送部へと送るワ−ク搬
出作業を行う。最後にプッシャ−の先端部でワ−クをワ
−ク受け台から搬出テ−ブルの搬送部側へと押出すワ−
ク搬出作業を行う。
【0008】以上は、真空乾燥槽を一台セットした場合
の作業手順に付いて説明した。真空乾燥槽をライン上に
直列に多数台(本例では3台)配列した場合についても
基本的動作は前記したと同じであるが、異なる点は第1
の真空乾燥槽内にワ−クが入っている場合には、第2の
真空乾燥槽内にワ−クをセットするときに、ワ−クは第
1のプッシャ−により挿入テ−ブル上の搬送部から第1
の真空乾燥槽上の搬送部を通過させて中間テ−ブル上の
搬送部へ押出し、次に第2のプッシャ−により予め第2
の上蓋を上昇させて第2のワ−ク受け台を搬送部と同一
ライン上にセットしておき、該第2のワ−ク受け台上に
ワ−クを載置し、再び第2の上蓋を下降させて第2の真
空乾燥槽内の第2のワ−ク受け台にワ−クがセットされ
る。同様に第3の真空乾燥槽内にも第1、第2の各上蓋
に形成した搬送部上を通過させてワ−クを収納させる。
そして第2の真空乾燥槽内のワ−クの真空乾燥終了後
は、第2の上蓋を上昇させて第2のワ−ク受け台を搬送
部と同一ライン上にセットし該ワ−クを第3の上蓋に形
成した搬送部上を通過させて搬出テ−ブル上の搬送部へ
と搬出させる。
の作業手順に付いて説明した。真空乾燥槽をライン上に
直列に多数台(本例では3台)配列した場合についても
基本的動作は前記したと同じであるが、異なる点は第1
の真空乾燥槽内にワ−クが入っている場合には、第2の
真空乾燥槽内にワ−クをセットするときに、ワ−クは第
1のプッシャ−により挿入テ−ブル上の搬送部から第1
の真空乾燥槽上の搬送部を通過させて中間テ−ブル上の
搬送部へ押出し、次に第2のプッシャ−により予め第2
の上蓋を上昇させて第2のワ−ク受け台を搬送部と同一
ライン上にセットしておき、該第2のワ−ク受け台上に
ワ−クを載置し、再び第2の上蓋を下降させて第2の真
空乾燥槽内の第2のワ−ク受け台にワ−クがセットされ
る。同様に第3の真空乾燥槽内にも第1、第2の各上蓋
に形成した搬送部上を通過させてワ−クを収納させる。
そして第2の真空乾燥槽内のワ−クの真空乾燥終了後
は、第2の上蓋を上昇させて第2のワ−ク受け台を搬送
部と同一ライン上にセットし該ワ−クを第3の上蓋に形
成した搬送部上を通過させて搬出テ−ブル上の搬送部へ
と搬出させる。
【0009】
【実施例】以下本発明の一実施例を図面により具体的に
説明する。図1は本発明の一実施例を示し、メカハンド
を含む概略説明図である。1はプッシャ−で、板状の先
端部に下向きのL字状に折曲げた折曲げ部1aを形成
し、該板状の基部を、搬送部を横断する如く設けたワ−
ク保持ロッド1bに固定する。本例ではプッシャ−1を
ワ−ク保持ロッド1bに所定間隔をおいて2本設置した
場合を示したが、その設置本数や形状等は限定されるも
のではなく、要はプッシャ−としての機能を発揮できる
ものであればよい。ワ−ク保持ロッド1bの両端部には
昇降シリンダ−であるガイド付き薄型シリンダ−2を設
け、プッシャ−1を含めたワ−ク保持ロッド1bが上下
方向に昇降自在となるようにしている。またガイド付き
薄型シリンダ−2は搬送部の両側近傍に沿って設けたロ
ッドレスシリンダ−3に取付けられており、プッシャ−
1が搬送方向に沿って前後に移動し得るようにしてい
る。ロッドレスシリンダ−3のストロ−ク長を短くする
ために、本例ではワ−ク4をワ−ク保持ロッド1b及び
プッシャ−1の先端部のいずれでも押出すことができる
ようにしている。
説明する。図1は本発明の一実施例を示し、メカハンド
を含む概略説明図である。1はプッシャ−で、板状の先
端部に下向きのL字状に折曲げた折曲げ部1aを形成
し、該板状の基部を、搬送部を横断する如く設けたワ−
ク保持ロッド1bに固定する。本例ではプッシャ−1を
ワ−ク保持ロッド1bに所定間隔をおいて2本設置した
場合を示したが、その設置本数や形状等は限定されるも
のではなく、要はプッシャ−としての機能を発揮できる
ものであればよい。ワ−ク保持ロッド1bの両端部には
昇降シリンダ−であるガイド付き薄型シリンダ−2を設
け、プッシャ−1を含めたワ−ク保持ロッド1bが上下
方向に昇降自在となるようにしている。またガイド付き
薄型シリンダ−2は搬送部の両側近傍に沿って設けたロ
ッドレスシリンダ−3に取付けられており、プッシャ−
1が搬送方向に沿って前後に移動し得るようにしてい
る。ロッドレスシリンダ−3のストロ−ク長を短くする
ために、本例ではワ−ク4をワ−ク保持ロッド1b及び
プッシャ−1の先端部のいずれでも押出すことができる
ようにしている。
【0010】図2(a)、(b)は本発明に係る連続処
理型真空乾燥機の正面図及び側面図である。真空乾燥槽
5の上部には上下方向に開閉自在な上蓋6を備えてい
る。真空乾燥槽5には迅速な乾燥を行うために遠赤外線
ヒ−タ−等のヒ−タ−5aが内蔵されている。上蓋6に
は真空乾燥槽5を開放又は密閉し得るシリンダ−を有す
る昇降機構7を設けている。上蓋6の内側から垂下する
支持杆8aの下端で水平方向に保持されたワ−ク受け台
8を設ける。このワ−ク受け台8の上面にはワ−ク4を
搬送し易いように搬送部と同様のロ−ラを設けるように
してもよい。また上蓋6の上面にはロ−ラ等で形成した
搬送部9を設ける。真空乾燥槽5の前後にはロ−ラ等で
形成した搬送部12、13をそれぞれ設けた挿入テ−ブ
ル10および搬出テ−ブル11をそれぞれ設置する。
理型真空乾燥機の正面図及び側面図である。真空乾燥槽
5の上部には上下方向に開閉自在な上蓋6を備えてい
る。真空乾燥槽5には迅速な乾燥を行うために遠赤外線
ヒ−タ−等のヒ−タ−5aが内蔵されている。上蓋6に
は真空乾燥槽5を開放又は密閉し得るシリンダ−を有す
る昇降機構7を設けている。上蓋6の内側から垂下する
支持杆8aの下端で水平方向に保持されたワ−ク受け台
8を設ける。このワ−ク受け台8の上面にはワ−ク4を
搬送し易いように搬送部と同様のロ−ラを設けるように
してもよい。また上蓋6の上面にはロ−ラ等で形成した
搬送部9を設ける。真空乾燥槽5の前後にはロ−ラ等で
形成した搬送部12、13をそれぞれ設けた挿入テ−ブ
ル10および搬出テ−ブル11をそれぞれ設置する。
【0011】図3(a)〜(h)は本発明に係る連続処
理型真空乾燥機の各動作状態を示す概略説明図である。
図3(a)はワ−ク受入れの説明図である。挿入テ−ブ
ル10上の搬送部12にワ−ク4を載置する。このとき
ワ−ク4がプッシャ−1に当たらないように予めプッシ
ャ−1を昇降シリンダ−であるガイド付き薄型シリンダ
−2を作動させて上昇させておく。プッシャ−1は搬送
方向に移動させるストロ−ク長の始端部側(本例では左
端側)に位置させておく。ワ−ク4をプッシャ−1の真
下に位置させてワ−ク受入作業を終了する。
理型真空乾燥機の各動作状態を示す概略説明図である。
図3(a)はワ−ク受入れの説明図である。挿入テ−ブ
ル10上の搬送部12にワ−ク4を載置する。このとき
ワ−ク4がプッシャ−1に当たらないように予めプッシ
ャ−1を昇降シリンダ−であるガイド付き薄型シリンダ
−2を作動させて上昇させておく。プッシャ−1は搬送
方向に移動させるストロ−ク長の始端部側(本例では左
端側)に位置させておく。ワ−ク4をプッシャ−1の真
下に位置させてワ−ク受入作業を終了する。
【0012】図3(b)はワ−クチャックを示す説明
図、図3(c)はワ−ク押込みを示す説明図である。ワ
−ク4をプッシャ−1の真下に位置させた状態で昇降シ
リンダ−であるガイド付き薄型シリンダ−2を作動させ
てプッシャ−1及びワ−ク保持ロッド1bを下降させ該
プッシャ−1の内側であるワ−ク保持ロッド1bにワ−
ク4を保持させてワ−ク4のチャック作業を完了する。
次いで、真空乾燥槽5の上蓋6をシリンダ−を有する昇
降機構7により上昇させ、真空乾燥槽5の上部を開口さ
せる。上蓋6の下方に設けたワ−ク受け台8が挿入テ−
ブル10および搬出テ−ブル11の各搬送部12、13
と同一高さとなる位置にセットする如く上昇させる。シ
リンダ−部であるロッドレスシリンダ−3を作動させて
プッシャ−1を搬送方向(本例では右側)に移動させワ
−ク受け台8上にワ−ク4を載置するワ−ク押込み作業
を行う。
図、図3(c)はワ−ク押込みを示す説明図である。ワ
−ク4をプッシャ−1の真下に位置させた状態で昇降シ
リンダ−であるガイド付き薄型シリンダ−2を作動させ
てプッシャ−1及びワ−ク保持ロッド1bを下降させ該
プッシャ−1の内側であるワ−ク保持ロッド1bにワ−
ク4を保持させてワ−ク4のチャック作業を完了する。
次いで、真空乾燥槽5の上蓋6をシリンダ−を有する昇
降機構7により上昇させ、真空乾燥槽5の上部を開口さ
せる。上蓋6の下方に設けたワ−ク受け台8が挿入テ−
ブル10および搬出テ−ブル11の各搬送部12、13
と同一高さとなる位置にセットする如く上昇させる。シ
リンダ−部であるロッドレスシリンダ−3を作動させて
プッシャ−1を搬送方向(本例では右側)に移動させワ
−ク受け台8上にワ−ク4を載置するワ−ク押込み作業
を行う。
【0013】図3(d)はハンド復帰を示す説明図、図
3(e)は上蓋下降・真空乾燥開始を示す説明図であ
る。ワ−ク受け台8上にワ−ク4を載置後、プッシャ−
1をシリンダ−部であるロッドレスシリンダ−3を作動
させて旧位置に復帰させてハンド復帰作業を行う。次
に、昇降機構7を作動させて上蓋6を下降させ真空乾燥
槽5の上部開口部を密閉するとともに上蓋6の上面に形
成した搬送部9は挿入テ−ブル10および搬出テ−ブル
11の各搬送部12、13と同一高さに位置する状態と
なり真空乾燥槽5内のワ−ク4が真空乾燥されるという
上蓋下降・真空乾燥開始作業を行う。
3(e)は上蓋下降・真空乾燥開始を示す説明図であ
る。ワ−ク受け台8上にワ−ク4を載置後、プッシャ−
1をシリンダ−部であるロッドレスシリンダ−3を作動
させて旧位置に復帰させてハンド復帰作業を行う。次
に、昇降機構7を作動させて上蓋6を下降させ真空乾燥
槽5の上部開口部を密閉するとともに上蓋6の上面に形
成した搬送部9は挿入テ−ブル10および搬出テ−ブル
11の各搬送部12、13と同一高さに位置する状態と
なり真空乾燥槽5内のワ−ク4が真空乾燥されるという
上蓋下降・真空乾燥開始作業を行う。
【0014】図3(f)は真空乾燥終了・上蓋上昇を示
す説明図、図3(g)はワ−ク搬出を示す説明図、図3
(h)はワ−ク搬出を示す説明図である。ワ−ク4の真
空乾燥終了後、上蓋6を再び上昇させワ−ク受け台8を
挿入テ−ブル10および搬出テ−ブル11の各搬送部1
2、13と同一高さに位置させて真空乾燥終了・上蓋上
昇作業を終える。ワ−ク受け台8上に載置された乾燥後
のワ−ク4はプッシャ−1の先端部である折曲げ部1a
で押出すワ−ク押出し作業を行う。プッシャ−1の先端
部である折曲げ部1aでワ−ク受け台8上のワ−ク4を
押出すにはロッドレスシリンダ−3を搬送方向(本例で
は右側方向)に作動させ、該ワ−ク4を搬出テ−ブル1
1上に形成した搬送部13へと送るワ−ク搬出作業を行
う。最後にプッシャ−の先端部である折曲げ部1aでワ
−ク4をワ−ク受け台8から搬出テ−ブル11の搬送部
13側へと押出すワ−ク搬出作業を行う。
す説明図、図3(g)はワ−ク搬出を示す説明図、図3
(h)はワ−ク搬出を示す説明図である。ワ−ク4の真
空乾燥終了後、上蓋6を再び上昇させワ−ク受け台8を
挿入テ−ブル10および搬出テ−ブル11の各搬送部1
2、13と同一高さに位置させて真空乾燥終了・上蓋上
昇作業を終える。ワ−ク受け台8上に載置された乾燥後
のワ−ク4はプッシャ−1の先端部である折曲げ部1a
で押出すワ−ク押出し作業を行う。プッシャ−1の先端
部である折曲げ部1aでワ−ク受け台8上のワ−ク4を
押出すにはロッドレスシリンダ−3を搬送方向(本例で
は右側方向)に作動させ、該ワ−ク4を搬出テ−ブル1
1上に形成した搬送部13へと送るワ−ク搬出作業を行
う。最後にプッシャ−の先端部である折曲げ部1aでワ
−ク4をワ−ク受け台8から搬出テ−ブル11の搬送部
13側へと押出すワ−ク搬出作業を行う。
【0015】以上は、真空乾燥槽を一台セットした場合
の作業手順に付いて説明した。図4に示すように真空乾
燥槽を搬送ライン上に直列に多数台(本例では3台)配
列した場合についても基本的動作は前記したと同じであ
るが、異なる点は第1の真空乾燥槽5a内にワ−ク4入
っている場合には、第2の真空乾燥槽5b内にワ−ク4
をセットするときに、ワ−ク4は第1のプッシャ−1に
より挿入テ−ブル10上の搬送部12から第1の真空乾
燥槽5aの上蓋6上の搬送部9を通過させて中間テ−ブ
ル14上の搬送部15へ押出し、次に第2のプッシャ−
1により予め第2の上蓋6を上昇させて第2のワ−ク受
け台8を搬送部12、13、15と同一搬送ライン上に
セットしておく。第2のワ−ク受け台8上にワ−ク4を
載置し、再び第2の上蓋6を下降させて第2の真空乾燥
槽5b内の第2のワ−ク受け台8にワ−ク4がセットさ
れる。同様に第3の真空乾燥槽5c内にも第1、第2の
各上蓋6、6に形成した搬送部9、9上を通過させてワ
−ク4を収納させる。そして第2の真空乾燥槽5b内の
ワ−ク4の真空乾燥終了後は、第2の上蓋6を上昇させ
て第2のワ−ク受け台8を搬送部12、13、15と同
一搬送ライン上にセットし該ワ−ク4を第3の上蓋6に
形成した搬送部9上を通過させて搬出テ−ブル11上の
搬送部へと搬出させる。
の作業手順に付いて説明した。図4に示すように真空乾
燥槽を搬送ライン上に直列に多数台(本例では3台)配
列した場合についても基本的動作は前記したと同じであ
るが、異なる点は第1の真空乾燥槽5a内にワ−ク4入
っている場合には、第2の真空乾燥槽5b内にワ−ク4
をセットするときに、ワ−ク4は第1のプッシャ−1に
より挿入テ−ブル10上の搬送部12から第1の真空乾
燥槽5aの上蓋6上の搬送部9を通過させて中間テ−ブ
ル14上の搬送部15へ押出し、次に第2のプッシャ−
1により予め第2の上蓋6を上昇させて第2のワ−ク受
け台8を搬送部12、13、15と同一搬送ライン上に
セットしておく。第2のワ−ク受け台8上にワ−ク4を
載置し、再び第2の上蓋6を下降させて第2の真空乾燥
槽5b内の第2のワ−ク受け台8にワ−ク4がセットさ
れる。同様に第3の真空乾燥槽5c内にも第1、第2の
各上蓋6、6に形成した搬送部9、9上を通過させてワ
−ク4を収納させる。そして第2の真空乾燥槽5b内の
ワ−ク4の真空乾燥終了後は、第2の上蓋6を上昇させ
て第2のワ−ク受け台8を搬送部12、13、15と同
一搬送ライン上にセットし該ワ−ク4を第3の上蓋6に
形成した搬送部9上を通過させて搬出テ−ブル11上の
搬送部へと搬出させる。
【0016】
【発明の効果】本発明は上記の説明から判るように、従
来のようにラインの分岐、集合がなくなって単純にな
り、制御が容易で、安価に装置を設置できる。プッシャ
−式のメカハンドの設置によりワ−クの挿入、搬出行程
が簡略化され、挿入、搬出作業に、従来は1分前後を要
していたものが各10秒程度で済むという時間短縮がで
きる。上蓋を完全に開放するための従来の容器吊下げ方
式では上蓋の完全開放のための高さ方向、または左右方
向のスペ−スが必要であるのに対し、本発明ではこのよ
うなスペ−スが必要なく省スペ−ス化は図れる。真空乾
燥槽の上蓋をコロコン式のテ−ブルと兼用することで直
列型の配置が可能となり、真空乾燥中の上蓋の上に形成
した搬送部を通過させて次の真空乾燥槽中にワ−クを投
入することができる。
来のようにラインの分岐、集合がなくなって単純にな
り、制御が容易で、安価に装置を設置できる。プッシャ
−式のメカハンドの設置によりワ−クの挿入、搬出行程
が簡略化され、挿入、搬出作業に、従来は1分前後を要
していたものが各10秒程度で済むという時間短縮がで
きる。上蓋を完全に開放するための従来の容器吊下げ方
式では上蓋の完全開放のための高さ方向、または左右方
向のスペ−スが必要であるのに対し、本発明ではこのよ
うなスペ−スが必要なく省スペ−ス化は図れる。真空乾
燥槽の上蓋をコロコン式のテ−ブルと兼用することで直
列型の配置が可能となり、真空乾燥中の上蓋の上に形成
した搬送部を通過させて次の真空乾燥槽中にワ−クを投
入することができる。
【0017】真空乾燥槽を多数配列した場合でも省スペ
−ス化が図れる。特に、従来の横型のものに比べ1/2
以下のスペ−スで済むという連続処理型真空乾燥システ
ムでありながら場所を取らない省スペ−ス化が実現でき
る。全体が簡単な構造であるので従来の横型のものに比
べコストの低減化が図れる。またFA化等を行う場合の
キャリア類の周辺設備の減少が図れる。さらに本発明に
係る連続処理型真空乾燥機のプッシャ−は搬送部上のワ
−クを搬送方向に移動させるシリンダ−部と、該プッシ
ャ−の内側にワ−クを保持して移動させる昇降シリンダ
−と、該プッシャ−の先端でワ−クを移動させる先端折
曲げ部を設けたものであるから、ワ−クを移動させるシ
リンダ−のストロ−ク長を短くでき、省スペ−ス化およ
び低コスト化が図れる。
−ス化が図れる。特に、従来の横型のものに比べ1/2
以下のスペ−スで済むという連続処理型真空乾燥システ
ムでありながら場所を取らない省スペ−ス化が実現でき
る。全体が簡単な構造であるので従来の横型のものに比
べコストの低減化が図れる。またFA化等を行う場合の
キャリア類の周辺設備の減少が図れる。さらに本発明に
係る連続処理型真空乾燥機のプッシャ−は搬送部上のワ
−クを搬送方向に移動させるシリンダ−部と、該プッシ
ャ−の内側にワ−クを保持して移動させる昇降シリンダ
−と、該プッシャ−の先端でワ−クを移動させる先端折
曲げ部を設けたものであるから、ワ−クを移動させるシ
リンダ−のストロ−ク長を短くでき、省スペ−ス化およ
び低コスト化が図れる。
【図1】本発明の一実施例を示し、メカハンドを含む概
略説明図である。
略説明図である。
【図2】(a)は本発明に係る連続処理型真空乾燥機の
正面図、(b)はその側面図である。
正面図、(b)はその側面図である。
【図3】(a)〜(h)は本発明に係る連続処理型真空
乾燥機の各動作状態を示す概略説明図で、(a)はワ−
ク受入れの説明図、(b)はワ−クチャックを示す説明
図、(c)はワ−ク押込みを示す説明図、(d)はハン
ド復帰を示す説明図、(e)は上蓋下降・真空乾燥開始
を示す説明図、(f)は真空乾燥終了・上蓋上昇を示す
説明図、(g)はワ−ク押出しを示す説明図、(h)は
ワ−ク搬出を示す説明図である。
乾燥機の各動作状態を示す概略説明図で、(a)はワ−
ク受入れの説明図、(b)はワ−クチャックを示す説明
図、(c)はワ−ク押込みを示す説明図、(d)はハン
ド復帰を示す説明図、(e)は上蓋下降・真空乾燥開始
を示す説明図、(f)は真空乾燥終了・上蓋上昇を示す
説明図、(g)はワ−ク押出しを示す説明図、(h)は
ワ−ク搬出を示す説明図である。
【図4】真空乾燥槽を搬送ライン上に直列に多数台配列
した場合の概略説明図である。
した場合の概略説明図である。
1 プッシャ− 1a 折曲げ部 1b ワ−ク保持ロッド 2 ガイド付き薄型シリンダ− 3 ロッドレスシリンダ− 4 ワ−ク 5 真空乾燥槽 6 上蓋 7 昇降機構 8 ワ−ク受け台 8a 支持杆 9,12,13,15 搬送部 10 挿入テ−ブル 11 搬出テ−ブル 14 中間テ−ブル
【手続補正書】
【提出日】平成7年2月8日
【手続補正1】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】全図
【補正方法】変更
【補正内容】
【図1】
【図4】
【図2】
【図3】
Claims (4)
- 【請求項1】 真空乾燥槽の上蓋を上昇させて該上蓋と
共に上昇する、上蓋下方に設けたワ−ク受け台を搬送ラ
イン上に位置させ、挿入テ−ブル上の搬送部のワ−クを
プッシャ−によりワ−ク受け台に載置し、このワ−クを
載置したワ−ク受け台を上蓋と共に下降させて真空乾燥
槽を密閉しワ−クの真空乾燥を行い、このワ−クの真空
乾燥中、搬送ラインに沿って直列配列した別の上下動可
能な上蓋を備えた真空乾燥槽にワ−クを送るに当たり、
真空乾燥中の上蓋上に形成した搬送部を通過させて、予
め搬送ラインまで上昇させた別の真空乾燥槽の上蓋の下
方に設けたワ−ク受け台にワ−クを載置し、順次真空乾
燥中の各上蓋上の搬送部を通過させてワ−クを真空乾燥
槽内に投入し、各真空乾燥槽で真空乾燥を行い、真空乾
燥後のワ−クはワ−ク受け台を搬送ラインまで上昇させ
プッシャ−により隣接する上蓋上の搬送部を通過させて
搬送ラインの搬送側へと取出すことを特徴とする連続処
理型真空乾燥方法。 - 【請求項2】 開閉自在な上蓋を備えた真空乾燥槽と,
該真空乾燥槽の上蓋を上下動させて真空乾燥槽を開放又
は密閉し得る上蓋の昇降機構と,該上蓋の内側で支持
し、該上蓋の下方に設けたワ−ク受け台と,該上蓋の上
面に設けた搬送部と,真空乾燥槽を上蓋で密閉時に該上
蓋の上面の搬送部が同一搬送ライン上に位置する如く上
記真空乾燥槽の前後に搬送部を設けた挿入テ−ブルおよ
び搬出テ−ブルをそれぞれ設け、かつ搬送部上のワ−ク
を搬送するプッシャ−を設けてなることを特徴とする連
続処理型真空乾燥機。 - 【請求項3】 上記真空乾燥槽を直列に複数台設置し、
途中の真空乾燥槽間には搬送部を設けた中間テ−ブルを
形成し、最初の真空乾燥槽と最後の真空乾燥槽に搬送部
を設けた挿入テ−ブルおよび搬出テ−ブルをそれぞれ設
けたことを特徴とする請求項1記載の連続処理型真空乾
燥機。 - 【請求項4】 プッシャ−は搬送部上のワ−クを搬送方
向に移動させるシリンダ−部と、該プッシャ−の内側に
ワ−クを保持して移動させる昇降シリンダ−と、該プッ
シャ−の先端でワ−クを移動させる先端折曲げ部を設け
たことを特徴とする請求項1又は2記載の連続処理型真
空乾燥機。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP25733094A JPH0894247A (ja) | 1994-09-28 | 1994-09-28 | 連続処理型真空乾燥方法及びその真空乾燥機 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP25733094A JPH0894247A (ja) | 1994-09-28 | 1994-09-28 | 連続処理型真空乾燥方法及びその真空乾燥機 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0894247A true JPH0894247A (ja) | 1996-04-12 |
Family
ID=17304869
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP25733094A Withdrawn JPH0894247A (ja) | 1994-09-28 | 1994-09-28 | 連続処理型真空乾燥方法及びその真空乾燥機 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0894247A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104482727A (zh) * | 2014-12-07 | 2015-04-01 | 正安县瑞缘茶业有限公司 | 茶叶吸湿箱 |
CN110332790A (zh) * | 2019-05-31 | 2019-10-15 | 长兴悦成塑料制品有限公司 | 一种塑料粒子加工快速风干设备 |
-
1994
- 1994-09-28 JP JP25733094A patent/JPH0894247A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104482727A (zh) * | 2014-12-07 | 2015-04-01 | 正安县瑞缘茶业有限公司 | 茶叶吸湿箱 |
CN110332790A (zh) * | 2019-05-31 | 2019-10-15 | 长兴悦成塑料制品有限公司 | 一种塑料粒子加工快速风干设备 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20020115 |