JPH0890376A - 位置調整ユニット及びそれを用いた研削装置 - Google Patents
位置調整ユニット及びそれを用いた研削装置Info
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- JPH0890376A JPH0890376A JP25019594A JP25019594A JPH0890376A JP H0890376 A JPH0890376 A JP H0890376A JP 25019594 A JP25019594 A JP 25019594A JP 25019594 A JP25019594 A JP 25019594A JP H0890376 A JPH0890376 A JP H0890376A
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- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 230000013011 mating Effects 0.000 description 1
- 239000004575 stone Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 位置調整が簡単に且つアイドリング状態でも
出来、しかも短時間で出来るようにした、位置調整ユニ
ット及びそれを用いた研削装置を提供する。 【構成】 基台に対する部材の位置を調整するための位
置調整ユニットであって、この位置調整ユニットは基台
に固定される基台固定部と、部材に固定される部材固定
部と、前記基台固定部と部材固定部とに連通するシャフ
トとを有する。少なくとも前記基台固定部又は部材固定
部の何れかには雌ねじが形成されており、前記シャフト
には前記雌ねじに螺合する雄ねじが形成される。被加工
物を保持するチャックテーブルと、このチャックテーブ
ルに対向して配設され、チャックテーブルに保持された
被加工物を研削する研削ユニットとから構成された研削
装置に、前記位置調整ユニットを組み付ける。
出来、しかも短時間で出来るようにした、位置調整ユニ
ット及びそれを用いた研削装置を提供する。 【構成】 基台に対する部材の位置を調整するための位
置調整ユニットであって、この位置調整ユニットは基台
に固定される基台固定部と、部材に固定される部材固定
部と、前記基台固定部と部材固定部とに連通するシャフ
トとを有する。少なくとも前記基台固定部又は部材固定
部の何れかには雌ねじが形成されており、前記シャフト
には前記雌ねじに螺合する雄ねじが形成される。被加工
物を保持するチャックテーブルと、このチャックテーブ
ルに対向して配設され、チャックテーブルに保持された
被加工物を研削する研削ユニットとから構成された研削
装置に、前記位置調整ユニットを組み付ける。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、基台に対する部材の位
置を調整するための位置調整ユニット及びそれを用いた
研削装置に関するものである。
置を調整するための位置調整ユニット及びそれを用いた
研削装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ウェーハを研削する精密研削装置におい
ては、ウェーハを保持するチャックテーブルとそれに対
向して配設される研削砥石とが適正な位置関係に設定さ
れなければならない。前記研削砥石は通常スピンドルに
より回転される円盤状取付部に着脱自在に固定され、こ
の研削砥石を回転させながらチャックテーブル上に吸着
保持されたウェーハの表面に押し当てて研削するように
なっている。前記チャックテーブルと研削砥石との位置
調整は、従来はスピンドルの傾き等を調整することによ
って行っていた（例えば、特開昭６１−２７４８７３号
公報）。
ては、ウェーハを保持するチャックテーブルとそれに対
向して配設される研削砥石とが適正な位置関係に設定さ
れなければならない。前記研削砥石は通常スピンドルに
より回転される円盤状取付部に着脱自在に固定され、こ
の研削砥石を回転させながらチャックテーブル上に吸着
保持されたウェーハの表面に押し当てて研削するように
なっている。前記チャックテーブルと研削砥石との位置
調整は、従来はスピンドルの傾き等を調整することによ
って行っていた（例えば、特開昭６１−２７４８７３号
公報）。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】前記従来のスピンドル
の傾きによる位置調整によると、その調整作業が熟練を
要するため簡単ではなく、又調整するにはスピンドルを
停止させなければならないのでアイドリング状態での調
整が出来ず、更にスピンドルの熱膨張の影響のため数回
の調整作業が必要であり多くの時間を要した。本発明
は、このような従来の問題点を解決するためになされ、
スピンドル側を調整するのではなくチャックテーブル側
を調整することで、位置調整が簡単に且つアイドリング
状態でも出来、しかも短時間で出来るようにした研削装
置を提供すること及びこの研削装置に用いることが好ま
しい位置調整ユニットを提供することを課題とする。
の傾きによる位置調整によると、その調整作業が熟練を
要するため簡単ではなく、又調整するにはスピンドルを
停止させなければならないのでアイドリング状態での調
整が出来ず、更にスピンドルの熱膨張の影響のため数回
の調整作業が必要であり多くの時間を要した。本発明
は、このような従来の問題点を解決するためになされ、
スピンドル側を調整するのではなくチャックテーブル側
を調整することで、位置調整が簡単に且つアイドリング
状態でも出来、しかも短時間で出来るようにした研削装
置を提供すること及びこの研削装置に用いることが好ま
しい位置調整ユニットを提供することを課題とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】前記課題を技術的に解決
するための手段として、本発明は、基台に対する部材の
位置を調整するための位置調整ユニットであって、この
位置調整ユニットは基台に固定される基台固定部と、部
材に固定される部材固定部と、前記基台固定部と部材固
定部とに連通するシャフトとを有し、少なくとも前記基
台固定部又は部材固定部の何れかには雌ねじが形成され
ており、前記シャフトには前記雌ねじに螺合する雄ねじ
が形成されている、位置調整ユニットを要旨とする。
又、基台固定部と部材固定部の何れにも雌ねじが形成さ
れていて、前記基台固定部に形成された雌ねじを第１の
雌ねじ、前記部材固定部に形成された雌ねじを第２の雌
ねじとした場合に、前記第１の雌ねじのピッチと第２の
雌ねじのピッチとは僅かに異ならせてあり、シャフトに
は第１の雌ねじに対応する第１の雄ねじと、第２の雌ね
じに対応する第２の雄ねじとが形成されていること、シ
ャフトは基台固定部より突出した突出部を有し、この突
出部の端部には前記シャフトを回転するためのノブが形
成されていること、を要旨とする。更に、被加工物を保
持するチャックテーブルと、このチャックテーブルに対
向して配設され、このチャックテーブルに保持された被
加工物を研削する研削ユニットとから構成された研削装
置において、この研削装置の基台に部材であるチャック
テーブルを配設するに当たり、前記位置調整ユニットを
介在させたことを特徴とする研削装置を要旨とする。
又、研削装置の基台には、外部から手又は工具が入る空
間部が形成されており、前記ノブを外部から操作してチ
ャックテーブルの位置を研削ユニットの砥石に対して調
整することを要旨とする。
するための手段として、本発明は、基台に対する部材の
位置を調整するための位置調整ユニットであって、この
位置調整ユニットは基台に固定される基台固定部と、部
材に固定される部材固定部と、前記基台固定部と部材固
定部とに連通するシャフトとを有し、少なくとも前記基
台固定部又は部材固定部の何れかには雌ねじが形成され
ており、前記シャフトには前記雌ねじに螺合する雄ねじ
が形成されている、位置調整ユニットを要旨とする。
又、基台固定部と部材固定部の何れにも雌ねじが形成さ
れていて、前記基台固定部に形成された雌ねじを第１の
雌ねじ、前記部材固定部に形成された雌ねじを第２の雌
ねじとした場合に、前記第１の雌ねじのピッチと第２の
雌ねじのピッチとは僅かに異ならせてあり、シャフトに
は第１の雌ねじに対応する第１の雄ねじと、第２の雌ね
じに対応する第２の雄ねじとが形成されていること、シ
ャフトは基台固定部より突出した突出部を有し、この突
出部の端部には前記シャフトを回転するためのノブが形
成されていること、を要旨とする。更に、被加工物を保
持するチャックテーブルと、このチャックテーブルに対
向して配設され、このチャックテーブルに保持された被
加工物を研削する研削ユニットとから構成された研削装
置において、この研削装置の基台に部材であるチャック
テーブルを配設するに当たり、前記位置調整ユニットを
介在させたことを特徴とする研削装置を要旨とする。
又、研削装置の基台には、外部から手又は工具が入る空
間部が形成されており、前記ノブを外部から操作してチ
ャックテーブルの位置を研削ユニットの砥石に対して調
整することを要旨とする。
【０００５】
【作 用】位置調整ユニットのノブを回すことによりチ
ャックテーブル側を動かして位置調整をすることが出来
る。位置調整ユニットは、シャフトに形成された第１の
雄ねじと第２の雄ねじとのピッチが異なるためチャック
テーブル側の移動量を変えて簡単に微調整することが可
能である。
ャックテーブル側を動かして位置調整をすることが出来
る。位置調整ユニットは、シャフトに形成された第１の
雄ねじと第２の雄ねじとのピッチが異なるためチャック
テーブル側の移動量を変えて簡単に微調整することが可
能である。
【０００６】
【実施例】以下、本発明に係る位置調整ユニットを研削
装置に組み込んだ実施例について添付図面に基づき詳説
する。図１において、１は研削装置の基台であり、上部
にチャックテーブル２が装着され、このチャックテーブ
ル２に対向して研削ユニット３が配設されている。
装置に組み込んだ実施例について添付図面に基づき詳説
する。図１において、１は研削装置の基台であり、上部
にチャックテーブル２が装着され、このチャックテーブ
ル２に対向して研削ユニット３が配設されている。
【０００７】前記研削ユニット３は、前記基台１に設け
られたＺ軸駆動機構４の可動板４ａに取り付けられ、Ｚ
軸駆動機構４によってＺ軸方向（上下方向）に移動可能
に形成されている。即ち、Ｚ軸駆動機構４は背面側に設
けたモータ４ｂを駆動してボールスクリュー（図示せ
ず）を回転させ、このボールスクリューに螺合している
前記可動板４ａをガイドレール４ｃに沿ってＺ軸方向に
移動出来るようにしてある。
られたＺ軸駆動機構４の可動板４ａに取り付けられ、Ｚ
軸駆動機構４によってＺ軸方向（上下方向）に移動可能
に形成されている。即ち、Ｚ軸駆動機構４は背面側に設
けたモータ４ｂを駆動してボールスクリュー（図示せ
ず）を回転させ、このボールスクリューに螺合している
前記可動板４ａをガイドレール４ｃに沿ってＺ軸方向に
移動出来るようにしてある。
【０００８】更に、研削ユニット３はモータ３ａにより
回転されるスピンドル３ｂの先端部に円盤状の取付部３
ｃが形成され、この取付部３ｃにリング状の砥石５が装
着され、この砥石５を回転させながら前記チャックテー
ブル２上に吸着保持されたウェーハＷの上面を押圧し研
削するのである。
回転されるスピンドル３ｂの先端部に円盤状の取付部３
ｃが形成され、この取付部３ｃにリング状の砥石５が装
着され、この砥石５を回転させながら前記チャックテー
ブル２上に吸着保持されたウェーハＷの上面を押圧し研
削するのである。
【０００９】前記チャックテーブル２は、図２に示すよ
うにテーブル支持台６及び複数個の位置調整ユニット７
を介して前記基台１に装着され、基台１には外部から手
又は工具が入る空間部１ａが形成されており、位置調整
ユニット７の操作用ノブ７ａを外部から操作してチャッ
クテーブル２の位置を前記砥石５に対して調整出来るよ
うにしてある。尚、８はチャックテーブル２を取り囲む
ようにして設けられた防水カバーである。
うにテーブル支持台６及び複数個の位置調整ユニット７
を介して前記基台１に装着され、基台１には外部から手
又は工具が入る空間部１ａが形成されており、位置調整
ユニット７の操作用ノブ７ａを外部から操作してチャッ
クテーブル２の位置を前記砥石５に対して調整出来るよ
うにしてある。尚、８はチャックテーブル２を取り囲む
ようにして設けられた防水カバーである。
【００１０】又、チャックテーブル２は図３及び図４
(イ) に示すように、前記テーブル支持台６にベアリング
６ａを介して回転可能に支持された支軸部２ａがモータ
９と伝動ベルト１０により回転され、支軸部２ａを貫通
して設けられた配管１１は吸引源又は給水源に選択的に
連結される。
(イ) に示すように、前記テーブル支持台６にベアリング
６ａを介して回転可能に支持された支軸部２ａがモータ
９と伝動ベルト１０により回転され、支軸部２ａを貫通
して設けられた配管１１は吸引源又は給水源に選択的に
連結される。
【００１１】前記位置調整ユニット７は、テーブル支持
台６に対しそのフランジ部６ｂの円周方向に沿って例え
ば図４(ロ) のように等間隔に３箇所Ｐ、Ｑ、Ｒに配設す
る。この位置調整ユニット７は、図３に示すように前記
基台１にビス１２で固定されたフランジ付き円筒状の基
台固定部７ｂと、テーブル支持台６のフランジ部６ｂを
挟持する挟持ナット１３ａと、これに螺合する挟持部１
３ｂとから構成される部材固定部７ｃ（図５(イ))と、こ
れら基台固定部７ｂと部材固定部７ｃとに連通するシャ
フト７ｄとから構成され、このシャフト７ｄの突出部７
ｅの先端に前記ノブ７ａが止めねじ７ｈを介して固定さ
れている（図５(ロ))。
台６に対しそのフランジ部６ｂの円周方向に沿って例え
ば図４(ロ) のように等間隔に３箇所Ｐ、Ｑ、Ｒに配設す
る。この位置調整ユニット７は、図３に示すように前記
基台１にビス１２で固定されたフランジ付き円筒状の基
台固定部７ｂと、テーブル支持台６のフランジ部６ｂを
挟持する挟持ナット１３ａと、これに螺合する挟持部１
３ｂとから構成される部材固定部７ｃ（図５(イ))と、こ
れら基台固定部７ｂと部材固定部７ｃとに連通するシャ
フト７ｄとから構成され、このシャフト７ｄの突出部７
ｅの先端に前記ノブ７ａが止めねじ７ｈを介して固定さ
れている（図５(ロ))。
【００１２】前記基台固定部７ｂには第１の雌ねじ７ｂ
1 、挟持部１３ｂには第２の雌ねじ７ｃ2 がそれぞれ形
成されると共に、前記シャフト７ｄには前記第１の雌ね
じ７ｂ1 に螺合する第１の雄ねじ７ｄ1 と、第２の雌ね
じ７ｃ2 に螺合する第２の雄ねじ７ｄ2 とがそれぞれ形
成され、且つ第１の雌ねじ７ｂ1 のピッチと第２の雌ね
じ７ｃ2 のピッチとは僅かに異ならせてある。従って、
これらに対応する第１の雄ねじ７ｄ1 と第２の雄ねじ７
ｄ2 もピッチが僅かに異なっている。尚、７ｆはシャフ
ト７ｄの露出部にこのシャフトと一体に設けられたナッ
ト部であり、７ｇは前記突出部７ｅのねじ部７ｅ0 に螺
合したストッパ用ナットである。
1 、挟持部１３ｂには第２の雌ねじ７ｃ2 がそれぞれ形
成されると共に、前記シャフト７ｄには前記第１の雌ね
じ７ｂ1 に螺合する第１の雄ねじ７ｄ1 と、第２の雌ね
じ７ｃ2 に螺合する第２の雄ねじ７ｄ2 とがそれぞれ形
成され、且つ第１の雌ねじ７ｂ1 のピッチと第２の雌ね
じ７ｃ2 のピッチとは僅かに異ならせてある。従って、
これらに対応する第１の雄ねじ７ｄ1 と第２の雄ねじ７
ｄ2 もピッチが僅かに異なっている。尚、７ｆはシャフ
ト７ｄの露出部にこのシャフトと一体に設けられたナッ
ト部であり、７ｇは前記突出部７ｅのねじ部７ｅ0 に螺
合したストッパ用ナットである。
【００１３】上記のように構成された本発明に係る研削
装置は、前記３箇所Ｐ、Ｑ、Ｒの本発明に係る位置調整
ユニット７を操作することによりテーブル支持台６を介
してチャックテーブル２の位置を研削ユニット３の砥石
５に対して調整することが出来る。即ち、先ず挟持ナッ
ト１３ａを緩めてフランジ部６ｂの挟持を解放し、ナッ
ト部７ｆを工具等で押さえてシャフト７ｄを非回転状態
にし、挟持部１３ｂを回してチャックテーブル２の大ま
かな調整（粗調整）を行う。次いで、挟持ナット１３ａ
を締め付けてテーブル支持台６のフランジ部６ｂを固定
した後、ストッパ用ナット７ｇを緩めてノブ７ａの回転
を自由にし、このノブ７ａを回転させることでチャック
テーブル２の微調整をする。この時、前記基台１の空間
部１ａから手又は工具を入れ、ナット７ｇを緩めると共
にノブ７ａを外部から操作することが出来る。
装置は、前記３箇所Ｐ、Ｑ、Ｒの本発明に係る位置調整
ユニット７を操作することによりテーブル支持台６を介
してチャックテーブル２の位置を研削ユニット３の砥石
５に対して調整することが出来る。即ち、先ず挟持ナッ
ト１３ａを緩めてフランジ部６ｂの挟持を解放し、ナッ
ト部７ｆを工具等で押さえてシャフト７ｄを非回転状態
にし、挟持部１３ｂを回してチャックテーブル２の大ま
かな調整（粗調整）を行う。次いで、挟持ナット１３ａ
を締め付けてテーブル支持台６のフランジ部６ｂを固定
した後、ストッパ用ナット７ｇを緩めてノブ７ａの回転
を自由にし、このノブ７ａを回転させることでチャック
テーブル２の微調整をする。この時、前記基台１の空間
部１ａから手又は工具を入れ、ナット７ｇを緩めると共
にノブ７ａを外部から操作することが出来る。
【００１４】前記ノブ７ａを回転させると、シャフト７
ｄと一体になっている第１の雄ねじ７ｄ1 と第２の雄ね
じ７ｄ2 とが同時に回転し、例えば第１の雄ねじ７ｄ1
のピッチが１．０ｍｍ、第２の雄ねじ７ｄ2 のピッチが
１．１ｍｍの場合は、ノブ７ａの右方向１回転によりシ
ャフト７ｄは基台固定部７ｂに対して１．０ｍｍ上昇
し、フランジ部６ｂに固定された部材固定部７ｃは１．
１ｍｍ下降する。この結果、ノブ７ａの右方向１回転に
よってチャックテーブル２は０．１ｍｍ下降することと
なり、チャックテーブル２の位置の微調整が可能とな
る。このようにして微調整が完了した後に、ストッパ用
ナット７ｇを締め付けてノブ７ａを非回転状態に保持す
る。
ｄと一体になっている第１の雄ねじ７ｄ1 と第２の雄ね
じ７ｄ2 とが同時に回転し、例えば第１の雄ねじ７ｄ1
のピッチが１．０ｍｍ、第２の雄ねじ７ｄ2 のピッチが
１．１ｍｍの場合は、ノブ７ａの右方向１回転によりシ
ャフト７ｄは基台固定部７ｂに対して１．０ｍｍ上昇
し、フランジ部６ｂに固定された部材固定部７ｃは１．
１ｍｍ下降する。この結果、ノブ７ａの右方向１回転に
よってチャックテーブル２は０．１ｍｍ下降することと
なり、チャックテーブル２の位置の微調整が可能とな
る。このようにして微調整が完了した後に、ストッパ用
ナット７ｇを締め付けてノブ７ａを非回転状態に保持す
る。
【００１５】一方、前記ノブ７ａを左方向に１回転させ
るとシャフト７ｄは基台固定部７ｂに対して１．０ｍｍ
下降するが、フランジ部６ｂに固定された部材固定部７
ｃは１．１ｍｍ上昇し、従ってノブ７ａの左方向１回転
によってチャックテーブル２は０．１ｍｍ上昇すること
となる。このような要領にて、テーブル支持台６のフラ
ンジ部６ｂに設けられた３つの位置調整ユニット７を適
宜操作し、チャックテーブル２を研削ユニット３の砥石
５に対して適正な位置に設定することが出来る。
るとシャフト７ｄは基台固定部７ｂに対して１．０ｍｍ
下降するが、フランジ部６ｂに固定された部材固定部７
ｃは１．１ｍｍ上昇し、従ってノブ７ａの左方向１回転
によってチャックテーブル２は０．１ｍｍ上昇すること
となる。このような要領にて、テーブル支持台６のフラ
ンジ部６ｂに設けられた３つの位置調整ユニット７を適
宜操作し、チャックテーブル２を研削ユニット３の砥石
５に対して適正な位置に設定することが出来る。
【００１６】この場合、ねじピッチを変えることにより
ノブ７ａの一回転当たりの調整量を変えることが出来、
例えば第１の雄ねじ７ｄ1 のピッチを１．００ｍｍ、第
２の雄ねじ７ｄ2 のピッチを１．０１ｍｍにすると、ノ
ブ７ａの１回転によって０．０１ｍｍつまり微調整量を
前記の１／１０に変更することが可能となる。このよう
に異なるピッチの組み合わせによって微調整量を任意に
設定することが出来る。
ノブ７ａの一回転当たりの調整量を変えることが出来、
例えば第１の雄ねじ７ｄ1 のピッチを１．００ｍｍ、第
２の雄ねじ７ｄ2 のピッチを１．０１ｍｍにすると、ノ
ブ７ａの１回転によって０．０１ｍｍつまり微調整量を
前記の１／１０に変更することが可能となる。このよう
に異なるピッチの組み合わせによって微調整量を任意に
設定することが出来る。
【００１７】又、微調整量がそれほどシビアに要求され
ない場合は、シャフトの雄ねじを何れか一方のみとして
位置調整ユニットを構成しても良い。図６(イ) はシャフ
ト７ｄに第２の雄ねじ７ｄ2 のみ形成した例（第１の雄
ねじ７ｄ1 は形成されていない）であり、この第２の雄
ねじ７ｄ2 と前記部材固定部７ｃの第２の雌ねじ７ｃ2
との螺合のみによって、テーブル支持台６の微調整が出
来るようにしたものである。この場合、シャフト７ｄに
第１の雄ねじ７ｄ1 が形成されていないので、基台固定
部７ｂに第１の雌ねじ７ｂ1 が形成されていない。微調
整の仕方は、前記と同じくストッパ用ナット７ｇを緩
め、ノブ７ａによりシャフト７ｄを回転させることによ
り行う。
ない場合は、シャフトの雄ねじを何れか一方のみとして
位置調整ユニットを構成しても良い。図６(イ) はシャフ
ト７ｄに第２の雄ねじ７ｄ2 のみ形成した例（第１の雄
ねじ７ｄ1 は形成されていない）であり、この第２の雄
ねじ７ｄ2 と前記部材固定部７ｃの第２の雌ねじ７ｃ2
との螺合のみによって、テーブル支持台６の微調整が出
来るようにしたものである。この場合、シャフト７ｄに
第１の雄ねじ７ｄ1 が形成されていないので、基台固定
部７ｂに第１の雌ねじ７ｂ1 が形成されていない。微調
整の仕方は、前記と同じくストッパ用ナット７ｇを緩
め、ノブ７ａによりシャフト７ｄを回転させることによ
り行う。
【００１８】図６(ロ) はシャフト７ｄに第１の雄ねじ７
ｄ1 のみ形成した例（第２の雄ねじ７ｄ2 は形成されて
いない）であり、この第１の雄ねじ７ｄ1 と前記基台固
定部７ｂの第１の雌ねじ７ｂ1 との螺合のみによって、
テーブル支持台６の微調整が出来るようにしたものであ
る。この場合、シャフト７ｄに第２の雄ねじ７ｄ2 が形
成されていないので、部材固定部７ｃの挟持部１３ｂに
第２の雌ねじ７ｃ2 が形成されていない。微調整の仕方
は、前記と同様にストッパ用ナット７ｇを緩め、ノブ７
ａによりシャフト７ｄを回転させることにより行う。
ｄ1 のみ形成した例（第２の雄ねじ７ｄ2 は形成されて
いない）であり、この第１の雄ねじ７ｄ1 と前記基台固
定部７ｂの第１の雌ねじ７ｂ1 との螺合のみによって、
テーブル支持台６の微調整が出来るようにしたものであ
る。この場合、シャフト７ｄに第２の雄ねじ７ｄ2 が形
成されていないので、部材固定部７ｃの挟持部１３ｂに
第２の雌ねじ７ｃ2 が形成されていない。微調整の仕方
は、前記と同様にストッパ用ナット７ｇを緩め、ノブ７
ａによりシャフト７ｄを回転させることにより行う。
【００１９】このようにして、位置調整ユニット７を操
作することでウェーハＷを保持するチャックテーブル２
と、それに対向して配設された研削砥石５とを適正な位
置関係に設定することが出来、これによりウェーハＷの
表面を精密に研削することが出来る。
作することでウェーハＷを保持するチャックテーブル２
と、それに対向して配設された研削砥石５とを適正な位
置関係に設定することが出来、これによりウェーハＷの
表面を精密に研削することが出来る。
【００２０】尚、本発明に係る位置調整ユニットは研削
装置に適用するだけでなく、他の精密装置等の位置調整
用として広く適用出来るものである。
装置に適用するだけでなく、他の精密装置等の位置調整
用として広く適用出来るものである。
【００２１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る位置
調整ユニットは、簡単な構成により精密装置等の位置調
整を容易にすることが出来、且つシャフトに第１、第２
の雄ねじを設け、これらに対応する雌ねじを相手側に設
けると共に第１、第２の雄ねじのピッチを僅かに異なら
せることにより微調整量を自由に設定出来る効果が得ら
れる。本発明に係る位置調整ユニットを精密研削装置の
チャックテーブル側に組み込むと、チャックテーブルと
研削砥石との位置調整はその位置調整ユニットにより簡
単に且つ研削砥石側のスピンドルのアイドリング状態で
も出来、しかも短時間で出来る等の優れた効果を奏す
る。又、基台に形成した空間部を介して外部から容易に
操作出来るので好都合である。
調整ユニットは、簡単な構成により精密装置等の位置調
整を容易にすることが出来、且つシャフトに第１、第２
の雄ねじを設け、これらに対応する雌ねじを相手側に設
けると共に第１、第２の雄ねじのピッチを僅かに異なら
せることにより微調整量を自由に設定出来る効果が得ら
れる。本発明に係る位置調整ユニットを精密研削装置の
チャックテーブル側に組み込むと、チャックテーブルと
研削砥石との位置調整はその位置調整ユニットにより簡
単に且つ研削砥石側のスピンドルのアイドリング状態で
も出来、しかも短時間で出来る等の優れた効果を奏す
る。又、基台に形成した空間部を介して外部から容易に
操作出来るので好都合である。
【図１】 本発明に係る位置調整ユニットを組み込んだ
研削装置の一例を示す要部の斜視図である。
研削装置の一例を示す要部の斜視図である。
【図２】 図１の一部の破断面図である。
【図３】 位置調整ユニットの取付部を示す一部破断斜
視図である。
視図である。
【図４】 (イ) は図３の一部の破断面図、(ロ) は位置調
整ユニットの取付位置を示すための説明図である。
整ユニットの取付位置を示すための説明図である。
【図５】 (イ) は位置調整ユニットの断面図、(ロ) は下
面図である。
面図である。
【図６】 (イ) 、(ロ) は位置調整ユニットの他の実施例
をそれぞれ示す断面図である。
をそれぞれ示す断面図である。
１…基台 １ａ…空間部 ２…チャックテーブル
２ａ…支軸部 ３…研削ユニット ３ａ…モータ
３ｂ…スピンドル ３ｃ…取付部 ４…Ｚ軸駆
動機構 ４ａ…可動板 ４ｂ…モータ ４ｃ…ガ
イドレール ５…砥石 ６…テーブル支持台 ６ａ…ベアリング
７…位置調整ユニット ７ａ…ノブ ７ｂ…基
台固定部 ７ｂ1 …第１の雌ねじ ７ｃ…部材固定
部 ７ｃ2 …第２の雌ねじ ７ｄ…シャフト ７
ｄ1 …第１の雄ねじ ７ｄ2 …第２の雄ねじ ７ｅ
…突出部 ７ｅ0 …ねじ部 ７ｆ…ナット部 ７
ｇ…ストッパ用ナット ７ｈ…止めねじ ８…防水
カバー ９…モータ １０…伝動ベルト １１…配管 １
２…ビス １３ａ…挟持ナット １３ｂ…挟持部
２ａ…支軸部 ３…研削ユニット ３ａ…モータ
３ｂ…スピンドル ３ｃ…取付部 ４…Ｚ軸駆
動機構 ４ａ…可動板 ４ｂ…モータ ４ｃ…ガ
イドレール ５…砥石 ６…テーブル支持台 ６ａ…ベアリング
７…位置調整ユニット ７ａ…ノブ ７ｂ…基
台固定部 ７ｂ1 …第１の雌ねじ ７ｃ…部材固定
部 ７ｃ2 …第２の雌ねじ ７ｄ…シャフト ７
ｄ1 …第１の雄ねじ ７ｄ2 …第２の雄ねじ ７ｅ
…突出部 ７ｅ0 …ねじ部 ７ｆ…ナット部 ７
ｇ…ストッパ用ナット ７ｈ…止めねじ ８…防水
カバー ９…モータ １０…伝動ベルト １１…配管 １
２…ビス １３ａ…挟持ナット １３ｂ…挟持部
Claims (5)
- 【請求項１】 基台に対する部材の位置を調整するため
の位置調整ユニットであって、この位置調整ユニットは
基台に固定される基台固定部と、部材に固定される部材
固定部と、前記基台固定部と部材固定部とに連通するシ
ャフトとを有し、少なくとも前記基台固定部又は部材固
定部の何れかには雌ねじが形成されており、前記シャフ
トには前記雌ねじに螺合する雄ねじが形成されている、
位置調整ユニット。 - 【請求項２】 基台固定部と部材固定部の何れにも雌ね
じが形成されていて、前記基台固定部に形成された雌ね
じを第１の雌ねじ、前記部材固定部に形成された雌ねじ
を第２の雌ねじとした場合に、前記第１の雌ねじのピッ
チと第２の雌ねじのピッチとは僅かに異ならせてあり、
シャフトには第１の雌ねじに対応する第１の雄ねじと、
第２の雌ねじに対応する第２の雄ねじとが形成されてい
る、請求項１記載の位置調整ユニット。 - 【請求項３】 シャフトは基台固定部より突出した突出
部を有し、この突出部の端部には前記シャフトを回転す
るためのノブが形成されている、請求項１乃至２記載の
位置調整ユニット。 - 【請求項４】 被加工物を保持するチャックテーブル
と、このチャックテーブルに対向して配設され、このチ
ャックテーブルに保持された被加工物を研削する研削ユ
ニットとから構成された研削装置において、この研削装
置の基台に部材であるチャックテーブルを配設するに当
たり、請求項１乃至３記載の位置調整ユニットを介在さ
せたことを特徴とする研削装置。 - 【請求項５】 研削装置の基台には、外部から手又は工
具が入る空間部が形成されており、請求項３記載のノブ
を外部から操作してチャックテーブルの位置を研削ユニ
ットの砥石に対して調整する、請求項４記載の研削装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25019594A JPH0890376A (ja) | 1994-09-20 | 1994-09-20 | 位置調整ユニット及びそれを用いた研削装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25019594A JPH0890376A (ja) | 1994-09-20 | 1994-09-20 | 位置調整ユニット及びそれを用いた研削装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0890376A true JPH0890376A (ja) | 1996-04-09 |
Family
ID=17204238
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25019594A Pending JPH0890376A (ja) | 1994-09-20 | 1994-09-20 | 位置調整ユニット及びそれを用いた研削装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0890376A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004042236A (ja) * | 2002-07-16 | 2004-02-12 | Nachi Fujikoshi Corp | ワークテーブル傾き調整装置 |
| JP2011136398A (ja) * | 2009-12-28 | 2011-07-14 | Disco Abrasive Syst Ltd | 加工装置 |
| WO2014007529A1 (ko) * | 2012-07-06 | 2014-01-09 | Park Young Keun | 판재 가공 장치 |
| JP2016132071A (ja) * | 2015-01-21 | 2016-07-25 | 株式会社ディスコ | 研削装置 |
| JP2018015823A (ja) * | 2016-07-26 | 2018-02-01 | 株式会社ディスコ | 研削装置 |
| KR20220022095A (ko) | 2020-08-17 | 2022-02-24 | 가부시기가이샤 디스코 | 가공 장치 |
| US11311975B2 (en) | 2019-06-04 | 2022-04-26 | Disco Corporation | Tilt adjusting mechanism for chuck table |
-
1994
- 1994-09-20 JP JP25019594A patent/JPH0890376A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| KR20180012200A (ko) * | 2016-07-26 | 2018-02-05 | 가부시기가이샤 디스코 | 연삭 장치 |
| US11311975B2 (en) | 2019-06-04 | 2022-04-26 | Disco Corporation | Tilt adjusting mechanism for chuck table |
| KR20220022095A (ko) | 2020-08-17 | 2022-02-24 | 가부시기가이샤 디스코 | 가공 장치 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040603 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040817 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20041214 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |