JP2664596B2 - 研磨機における定盤の表面仕上げ装置 - Google Patents
研磨機における定盤の表面仕上げ装置Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、研磨機における定盤の
表面仕上げ装置に関するものである。
表面仕上げ装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ウエハなどの被研磨物を研磨する研磨機
としては、その両面を同時に研磨する両面研磨機が使用
されている。
としては、その両面を同時に研磨する両面研磨機が使用
されている。
【０００３】この両面研磨機は、回転駆動部により回転
される下側回転テーブルの上面に下定盤が固定されると
ともに回転駆動部により回転される上側回転テーブルの
下面に上定盤が固定されたものであり、また上定盤は下
定盤の回転誤差を吸収することを目的として、その回転
軸心に対して鉛直面内での傾きの自由度が大きくされて
おり、すなわち上側回転テーブルは、その回転軸体に対
して自在継手を介して吊持された構成とされていた。
される下側回転テーブルの上面に下定盤が固定されると
ともに回転駆動部により回転される上側回転テーブルの
下面に上定盤が固定されたものであり、また上定盤は下
定盤の回転誤差を吸収することを目的として、その回転
軸心に対して鉛直面内での傾きの自由度が大きくされて
おり、すなわち上側回転テーブルは、その回転軸体に対
して自在継手を介して吊持された構成とされていた。
【０００４】ところで、上記研磨機を使用している間
に、上下の定盤の表面に凹凸が生じるため、これらの定
盤の表面を研磨して所定の平面形状となるように表面仕
上げを行う必要がある。
に、上下の定盤の表面に凹凸が生じるため、これらの定
盤の表面を研磨して所定の平面形状となるように表面仕
上げを行う必要がある。
【０００５】従来、このような両面研磨機における上下
の定盤の表面の仕上げを行うために、定盤と同じ材質で
構成された修正キャリアまたはペレット状の砥石を金属
製のキャリアに貼り付けた修正キャリアを、上下の定盤
間に挟み込み、各定盤と修正キャリアとの回転運動の組
合わせにより、各定盤の表面の研磨修正が行われてい
た。
の定盤の表面の仕上げを行うために、定盤と同じ材質で
構成された修正キャリアまたはペレット状の砥石を金属
製のキャリアに貼り付けた修正キャリアを、上下の定盤
間に挟み込み、各定盤と修正キャリアとの回転運動の組
合わせにより、各定盤の表面の研磨修正が行われてい
た。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来の表
面仕上げ方法によると、各定盤の表面を所定の形状にか
つ所定の精度でもって仕上げるという作業は、特殊な熟
練技術と試行錯誤とを必要とし、所定の平面形状を精度
良く得るには、非常に困難な作業であるとともに、その
再現性が低いという問題があった。
面仕上げ方法によると、各定盤の表面を所定の形状にか
つ所定の精度でもって仕上げるという作業は、特殊な熟
練技術と試行錯誤とを必要とし、所定の平面形状を精度
良く得るには、非常に困難な作業であるとともに、その
再現性が低いという問題があった。
【０００７】なお、縦旋盤の機構を応用した仕上げ装置
があるが、これは片面研磨機であり、上述した両面研磨
機のように、上定盤にその回転軸心に対して鉛直面内で
自由度がある場合には、適用し得ないものである。
があるが、これは片面研磨機であり、上述した両面研磨
機のように、上定盤にその回転軸心に対して鉛直面内で
自由度がある場合には、適用し得ないものである。
【０００８】そこで、本発明は上記問題を解消し得る研
磨機における定盤の表面仕上げ装置を提供することを目
的とする。
磨機における定盤の表面仕上げ装置を提供することを目
的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明の第１の手段は、回転自在に設けられた下側
定盤部および上側定盤部を有するとともに、上側定盤部
が自在継手を介して回転軸体に吊持されてなる研磨機に
おける定盤の表面仕上げ装置であって、架台上に、ガイ
ドレールを介して、上下の定盤部間でかつその回転半径
方向で移動自在に案内される移動体と、この移動体をガ
イドレールに沿って移動させる移動装置と、上記移動体
に設けられた切削具とから構成し、かつ上記上下の定盤
部間に挿入配置されて、上側定盤部の回転軸心に対して
その傾きを規制する規制具を具備した研磨機における定
盤の表面仕上げ装置である。
め、本発明の第１の手段は、回転自在に設けられた下側
定盤部および上側定盤部を有するとともに、上側定盤部
が自在継手を介して回転軸体に吊持されてなる研磨機に
おける定盤の表面仕上げ装置であって、架台上に、ガイ
ドレールを介して、上下の定盤部間でかつその回転半径
方向で移動自在に案内される移動体と、この移動体をガ
イドレールに沿って移動させる移動装置と、上記移動体
に設けられた切削具とから構成し、かつ上記上下の定盤
部間に挿入配置されて、上側定盤部の回転軸心に対して
その傾きを規制する規制具を具備した研磨機における定
盤の表面仕上げ装置である。
【００１０】また、上記課題を解決するため、本発明の
第２の手段は、回転自在に設けられた下側定盤部および
上側定盤部を有するとともに、上側定盤部が自在継手を
介して回転軸体に吊持されてなる研磨機における定盤の
表面仕上げ装置であって、架台上に、ガイドレールを介
して、上下の定盤部間でかつその回転半径方向で移動自
在に案内される移動体と、この移動体をガイドレールに
沿って移動させる移動装置と、上記移動体に設けられた
切削具とから構成し、かつ上記上側定盤部を、その回転
軸体に固定するための固定具を具備した研磨機における
定盤の表面仕上げ装置である。
第２の手段は、回転自在に設けられた下側定盤部および
上側定盤部を有するとともに、上側定盤部が自在継手を
介して回転軸体に吊持されてなる研磨機における定盤の
表面仕上げ装置であって、架台上に、ガイドレールを介
して、上下の定盤部間でかつその回転半径方向で移動自
在に案内される移動体と、この移動体をガイドレールに
沿って移動させる移動装置と、上記移動体に設けられた
切削具とから構成し、かつ上記上側定盤部を、その回転
軸体に固定するための固定具を具備した研磨機における
定盤の表面仕上げ装置である。
【００１１】
【作用】上記の各構成によると、自在継手を介して吊持
された上側定盤部を、規制具または固定具により、その
回転軸心に対する傾きの自由度を規制することができる
ので、定盤の回転半径に沿って移動可能にされた切削具
でも、両定盤の表面を、容易かつ確実に所定の形状に仕
上げることができる。
された上側定盤部を、規制具または固定具により、その
回転軸心に対する傾きの自由度を規制することができる
ので、定盤の回転半径に沿って移動可能にされた切削具
でも、両定盤の表面を、容易かつ確実に所定の形状に仕
上げることができる。
【００１２】
【実施例】以下、本発明の第１の実施例を図１に基づき
説明する。図１において、１は例えばウエハなどの被研
磨物の両面を研磨するための両面研磨機で、下側定盤部
２と、上側定盤部３と、これら各定盤部２，３をそれぞ
れ回転させる下側および上側回転駆動部（図示せず）と
から構成されている。
説明する。図１において、１は例えばウエハなどの被研
磨物の両面を研磨するための両面研磨機で、下側定盤部
２と、上側定盤部３と、これら各定盤部２，３をそれぞ
れ回転させる下側および上側回転駆動部（図示せず）と
から構成されている。
【００１３】上記下側定盤部２は、下側の回転駆動部に
より回転自在に設けられた下側回転テーブル４と、この
下側回転テーブル４の上面に固定された下定盤５とから
構成されており、また上側定盤部３は、上側の回転駆動
部の回転軸体６に自在継手７および取付板８を介して連
結された上側回転テーブル９と、この上側回転テーブル
９の下面に固定された上定盤１０とから構成されてい
る。なお、１１は下側定盤部２の中央部に配置された太
陽ギヤで、上下の定盤５，１０間に挿入された被研磨物
保持用のキャリアを回転させるためのものである。
より回転自在に設けられた下側回転テーブル４と、この
下側回転テーブル４の上面に固定された下定盤５とから
構成されており、また上側定盤部３は、上側の回転駆動
部の回転軸体６に自在継手７および取付板８を介して連
結された上側回転テーブル９と、この上側回転テーブル
９の下面に固定された上定盤１０とから構成されてい
る。なお、１１は下側定盤部２の中央部に配置された太
陽ギヤで、上下の定盤５，１０間に挿入された被研磨物
保持用のキャリアを回転させるためのものである。
【００１４】次に、上記両面研磨機における定盤の表面
仕上げ装置（フエーシング装置ともいう）について説明
する。この表面仕上げ装置２１は、上記両面研磨機１の
側部に設置される架台２２と、この架台２２上にかつ上
記定盤５，１０の回転半径に沿って配置されたガイドレ
ール２３と、このガイドレール２３にスライド部材２４
を介して案内される移動体２５と、この移動体２５の先
端部に矢印ａで示すように１８０度上下に回転可能に取
り付けられた表面仕上げ用の切削具２６と、上記移動体
２５をガイドレール２３に沿って往復移動させる移動装
置２７とから構成され、さらに上側定盤部３の回転軸心
に対して鉛直面内での傾きの自由度を規制するための規
制具２８が具備されたものである。
仕上げ装置（フエーシング装置ともいう）について説明
する。この表面仕上げ装置２１は、上記両面研磨機１の
側部に設置される架台２２と、この架台２２上にかつ上
記定盤５，１０の回転半径に沿って配置されたガイドレ
ール２３と、このガイドレール２３にスライド部材２４
を介して案内される移動体２５と、この移動体２５の先
端部に矢印ａで示すように１８０度上下に回転可能に取
り付けられた表面仕上げ用の切削具２６と、上記移動体
２５をガイドレール２３に沿って往復移動させる移動装
置２７とから構成され、さらに上側定盤部３の回転軸心
に対して鉛直面内での傾きの自由度を規制するための規
制具２８が具備されたものである。
【００１５】上記切削具２６は、移動体２５の先端に鉛
直面内で１８０度回転可能に取り付けられたホルダー３
１と、このホルダー３１にその突出量を調節可能に取り
付けられた切削刃（バイト）３２と、この切削刃３２の
突出量を調節するつまみ３３とから構成されている。
直面内で１８０度回転可能に取り付けられたホルダー３
１と、このホルダー３１にその突出量を調節可能に取り
付けられた切削刃（バイト）３２と、この切削刃３２の
突出量を調節するつまみ３３とから構成されている。
【００１６】また、上記移動装置２７は、架台２２の端
部に立設された支持体４１に軸受４２を介してその一端
側が水平軸心回りで回転自在に支持されるとともに、そ
の他端側が移動体２５側に取り付けられためねじ体４３
に螺挿された回転ねじ軸体４４と、この回転ねじ軸体４
４の一端部に固定された従動側歯車４５と、架台２２側
に設けられた電動機４６と、この電動機４６の出力軸部
４６ａに固定されるとともに上記従動側歯車４５にタイ
ミングベルト４７を介して連動連結された駆動側歯車４
８とから構成されている。なお、上記回転ねじ軸体４４
としては例えばボールネジが使用され、まためねじ体４
３としてはボールブッシュが使用される。
部に立設された支持体４１に軸受４２を介してその一端
側が水平軸心回りで回転自在に支持されるとともに、そ
の他端側が移動体２５側に取り付けられためねじ体４３
に螺挿された回転ねじ軸体４４と、この回転ねじ軸体４
４の一端部に固定された従動側歯車４５と、架台２２側
に設けられた電動機４６と、この電動機４６の出力軸部
４６ａに固定されるとともに上記従動側歯車４５にタイ
ミングベルト４７を介して連動連結された駆動側歯車４
８とから構成されている。なお、上記回転ねじ軸体４４
としては例えばボールネジが使用され、まためねじ体４
３としてはボールブッシュが使用される。
【００１７】したがって、電動機４６を駆動して回転ね
じ軸体４４を回転させることにより、移動体２５を、す
なわち切削具２６を各定盤５，１０の表面に沿ってかつ
その回転半径方向で自由に移動させることができる。
じ軸体４４を回転させることにより、移動体２５を、す
なわち切削具２６を各定盤５，１０の表面に沿ってかつ
その回転半径方向で自由に移動させることができる。
【００１８】また、上記規制具２８は、下側回転テーブ
ル４の中央部に載置される下側支持部材５１と、この下
側支持部材５１上にスラスト軸受５２を介して支持され
て上側回転テーブル９の中央部を支持する上側支持部材
５３とから構成されている。なお、下側支持部材５１は
太陽ギヤ１１を覆うような筒状にされ、また上側支持部
材５３も筒状に形成されるとともに、そのフランジ部５
３ａが上側回転テーブル９の表面に確実に接触するよう
にされており、さらに上下の支持部材５１，５３同士は
連結ボルト５４により、互いに上下方向において連結さ
れているが、互いの回転は許すようにされている。
ル４の中央部に載置される下側支持部材５１と、この下
側支持部材５１上にスラスト軸受５２を介して支持され
て上側回転テーブル９の中央部を支持する上側支持部材
５３とから構成されている。なお、下側支持部材５１は
太陽ギヤ１１を覆うような筒状にされ、また上側支持部
材５３も筒状に形成されるとともに、そのフランジ部５
３ａが上側回転テーブル９の表面に確実に接触するよう
にされており、さらに上下の支持部材５１，５３同士は
連結ボルト５４により、互いに上下方向において連結さ
れているが、互いの回転は許すようにされている。
【００１９】次に、各定盤の表面仕上げ作業について説
明する。まず、上下の支持部材５１，５３同士を、その
間にスラスト軸受５２を挿入した状態で連結ボルト５４
により、互いの回転を許すように連結した状態で、下側
支持部材５１を下側回転テーブル４の上面中央部に載置
した後、上側回転テーブル９を下降させて、その下面を
上側支持部材５３のフランジ部５３ａに載置すれば、上
側回転テーブル９すなわち上定盤１０を、下側回転テー
ブル４に対して、その回転軸心を固定することができ
る。すなわち、上定盤１０は、回転軸体６の回転軸心に
対して鉛直面内における傾きの自由度が完全に無くされ
たことになる。
明する。まず、上下の支持部材５１，５３同士を、その
間にスラスト軸受５２を挿入した状態で連結ボルト５４
により、互いの回転を許すように連結した状態で、下側
支持部材５１を下側回転テーブル４の上面中央部に載置
した後、上側回転テーブル９を下降させて、その下面を
上側支持部材５３のフランジ部５３ａに載置すれば、上
側回転テーブル９すなわち上定盤１０を、下側回転テー
ブル４に対して、その回転軸心を固定することができ
る。すなわち、上定盤１０は、回転軸体６の回転軸心に
対して鉛直面内における傾きの自由度が完全に無くされ
たことになる。
【００２０】そして、この研磨機１の側部に、架台２２
を設置するとともに、移動体２５の移動方向を、定盤
５，１０の回転半径と同一方向となるようにする。次
に、切削具２６のつまみ３３を回転させて切削刃３２
を、上定盤１０の下面を切削するような位置に調節した
後、移動体２５を移動させて、半径方向において内側ま
たは外側に移動させておき、そして上定盤１０を回転さ
せるとともに、移動体２５を半径方向でゆっくりと移動
させることにより、上定盤１０の表面を容易かつ正確に
所定の形状に仕上げることができる。しかも、この場
合、表面の仕上げの再現性を有している。
を設置するとともに、移動体２５の移動方向を、定盤
５，１０の回転半径と同一方向となるようにする。次
に、切削具２６のつまみ３３を回転させて切削刃３２
を、上定盤１０の下面を切削するような位置に調節した
後、移動体２５を移動させて、半径方向において内側ま
たは外側に移動させておき、そして上定盤１０を回転さ
せるとともに、移動体２５を半径方向でゆっくりと移動
させることにより、上定盤１０の表面を容易かつ正確に
所定の形状に仕上げることができる。しかも、この場
合、表面の仕上げの再現性を有している。
【００２１】また、下定盤５の表面を切削する場合に
は、切削具２６のホルダー３１を１８０度回転させると
ともに、下定盤５の上面を切削するような位置に調節し
た後、上述と同様の動作を行わせれば、下定盤５の表面
を所定の形状に仕上げることができる。
は、切削具２６のホルダー３１を１８０度回転させると
ともに、下定盤５の上面を切削するような位置に調節し
た後、上述と同様の動作を行わせれば、下定盤５の表面
を所定の形状に仕上げることができる。
【００２２】次に、本発明の第２の実施例を図２に基づ
き説明する。上記第１の実施例においては、上側定盤部
３を下側定盤部２側に支持するようにしたのに対して、
この第２の実施例においては、上側定盤部３を、固定具
を介してその回転軸体６側に支持するようにしたもので
ある。
き説明する。上記第１の実施例においては、上側定盤部
３を下側定盤部２側に支持するようにしたのに対して、
この第２の実施例においては、上側定盤部３を、固定具
を介してその回転軸体６側に支持するようにしたもので
ある。
【００２３】なお、この第２の実施例においては、上側
定盤部３を支持する構成だけが異なるために、第１の実
施例と同一の部品には、同一番号を付してその説明を省
略する。
定盤部３を支持する構成だけが異なるために、第１の実
施例と同一の部品には、同一番号を付してその説明を省
略する。
【００２４】すなわち、回転軸体６の下端寄り部分にお
ねじ部６ａを形成するとともに、下端面が上側回転テー
ブル９を支持する取付板８の上面に当接可能にされた筒
状体（固定具の一例）６１を、上記おねじ部６ａに螺合
保持させたものである。
ねじ部６ａを形成するとともに、下端面が上側回転テー
ブル９を支持する取付板８の上面に当接可能にされた筒
状体（固定具の一例）６１を、上記おねじ部６ａに螺合
保持させたものである。
【００２５】したがって、上記筒状体６１を回転させ
て、その下端面が上側回転テーブル９の上面に当接する
ように下降（図２の矢印ｂにて示す）させれば、上側定
盤部３はその回転軸心に対して鉛直面内における傾きの
自由度が無くされたことになる。
て、その下端面が上側回転テーブル９の上面に当接する
ように下降（図２の矢印ｂにて示す）させれば、上側定
盤部３はその回転軸心に対して鉛直面内における傾きの
自由度が無くされたことになる。
【００２６】この状態で、第１の実施例と同様に、上定
盤１０を回転させるとともに移動体２５をその回転半径
方向で移動させれば、上定盤１０の表面を容易かつ正確
に所定の形状に仕上げることができる。
盤１０を回転させるとともに移動体２５をその回転半径
方向で移動させれば、上定盤１０の表面を容易かつ正確
に所定の形状に仕上げることができる。
【００２７】なお、下定盤５の表面の仕上げについて
は、第１の実施例と同様にして行えばよい。
は、第１の実施例と同様にして行えばよい。
【００２８】
【発明の効果】以上のように本発明の構成によると、自
在継手を介して吊持された上側定盤部を、規制具または
固定具により、その回転軸心に対する傾きの自由度を規
制するようにしたので、定盤の回転半径に沿って移動可
能にされた切削具でも、両定盤の表面を、容易かつ確実
に所定の形状に仕上げることができる。
在継手を介して吊持された上側定盤部を、規制具または
固定具により、その回転軸心に対する傾きの自由度を規
制するようにしたので、定盤の回転半径に沿って移動可
能にされた切削具でも、両定盤の表面を、容易かつ確実
に所定の形状に仕上げることができる。
【図１】本発明の第１の実施例における表面仕上げ装置
の構成を示す断面図である。
の構成を示す断面図である。
【図２】本発明の第２の実施例における表面仕上げ装置
の構成を示す断面図である。
の構成を示す断面図である。
１ 両面研磨機 ２ 下側定盤部 ３ 上側定盤部 ４ 下側回転テーブル ５ 下定盤 ６ 回転軸体 ６ａ おねじ部 ７ 自在継手 ９ 下側回転テーブル １０ 下定盤 ２１ 表面仕上げ装置 ２２ 架台 ２３ ガイドレール ２５ 移動体 ２６ 切削具 ２７ 移動装置 ２８ 規制具 ５１ 下側支持部材 ５２ スラスト軸受 ５３ 上側支持部材 ６１ 筒状体
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山城 敏郎 大阪府大阪市此花区西九条５丁目３番28 号 日立造船株式会社内 (56)参考文献 特開 平３−149179（ＪＰ，Ａ)
Claims (2)
- 【請求項１】回転自在に設けられた下側定盤部および上
側定盤部を有するとともに、上側定盤部が自在継手を介
して回転軸体に吊持されてなる研磨機における定盤の表
面仕上げ装置であって、架台上に、ガイドレールを介し
て、上下の定盤部間でかつその回転半径方向で移動自在
に案内される移動体と、この移動体をガイドレールに沿
って移動させる移動装置と、上記移動体に設けられた切
削具とから構成し、かつ上記上下の定盤部間に挿入配置
されて、上側定盤部の回転軸心に対してその傾きを規制
する規制具を具備したことを特徴とする研磨機における
定盤の表面仕上げ装置。 - 【請求項２】回転自在に設けられた下側定盤部および上
側定盤部を有するとともに、上側定盤部が自在継手を介
して回転軸体に吊持されてなる研磨機における定盤の表
面仕上げ装置であって、架台上に、ガイドレールを介し
て、上下の定盤部間でかつその回転半径方向で移動自在
に案内される移動体と、この移動体をガイドレールに沿
って移動させる移動装置と、上記移動体に設けられた切
削具とから構成し、かつ上記上側定盤部を、その回転軸
体に固定するための固定具を具備したことを特徴とする
研磨機における定盤の表面仕上げ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23061292A JP2664596B2 (ja) | 1992-08-31 | 1992-08-31 | 研磨機における定盤の表面仕上げ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23061292A JP2664596B2 (ja) | 1992-08-31 | 1992-08-31 | 研磨機における定盤の表面仕上げ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0679617A JPH0679617A (ja) | 1994-03-22 |
| JP2664596B2 true JP2664596B2 (ja) | 1997-10-15 |
Family
ID=16910494
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23061292A Expired - Fee Related JP2664596B2 (ja) | 1992-08-31 | 1992-08-31 | 研磨機における定盤の表面仕上げ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2664596B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6935676B2 (en) | 2003-12-30 | 2005-08-30 | Mitsubishi Jidosha Kogyo Kabushiki Kaisha | Vehicle with door capable of swinging horizontally |
| JP5573061B2 (ja) * | 2009-09-15 | 2014-08-20 | 株式会社Ｓｕｍｃｏ | 両面研磨装置の研磨布の研削方法及び研削装置 |
| JP6497214B2 (ja) * | 2015-05-27 | 2019-04-10 | 株式会社ジェイテクト | 球体研磨装置及びそのツルーイング方法 |
| CN111215990B (zh) * | 2020-01-21 | 2021-10-12 | 深圳深蓝精机有限公司 | 刀具磨床 |
-
1992
- 1992-08-31 JP JP23061292A patent/JP2664596B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0679617A (ja) | 1994-03-22 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |