JP6497214B2 - 球体研磨装置及びそのツルーイング方法 - Google Patents
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Description
球体研磨装置は、基台と、中心軸線回りに回転可能に前記基台に設けられ、一方の面に前記中心軸線回りに環状に形成される第一研磨溝を有する第一研磨盤と、前記第一研磨盤の中心軸線と同軸上の中心軸線回りに回転可能に前記基台に設けられ、前記第一研磨盤の前記一方の面に対向する面に、前記中心軸線回りに環状に形成される第二研磨溝を有する第二研磨盤と、前記第一研磨盤及び前記第二研磨盤に対して前記第一研磨盤の中心軸線方向及び中心軸線の直交方向の少なくとも2軸方向に相対的に移動可能に前記基台に設けられ、前記第一研磨溝及び前記第二研磨溝をツルーイングするツルアと、前記第一研磨盤及び前記第二研磨盤を相対回転させて前記第一研磨溝及び前記第二研磨溝により球体を研磨し、前記ツルアを前記2軸方向に相対的に移動させ且つ前記第一研磨盤を回転させながら前記ツルアにより前記第一研磨溝をツルーイングし、且つ、前記ツルアを前記2軸方向に移動させ且つ前記第二研磨盤を回転させながら前記ツルアにより前記第二研磨溝をツルーイングする制御装置とを備える。
また、球体研磨装置のツルーイング方法は、以下の球体研磨装置を対象とする。前記球体研磨装置は、基台と、中心軸線回りに回転可能に前記基台に設けられ、一方の面に前記中心軸線回りに環状に形成される第一研磨溝を有する第一研磨盤と、前記第一研磨盤の中心軸線と同軸上の中心軸線回りに回転可能に前記基台に設けられ、前記第一研磨盤の前記一方の面に対向する面に、前記中心軸線回りに環状に形成される第二研磨溝を有する第二研磨盤と、前記第一研磨盤及び前記第二研磨盤に対して前記第一研磨盤の中心軸線方向及び中心軸線の直交方向の少なくとも2軸方向に相対的に移動可能に前記基台に設けられ、前記第一研磨溝及び前記第二研磨溝をツルーイングするツルアとを備える。
上述した球体研磨装置及びそのツルーイング方法によれば、第一研磨盤及び第二研磨盤は、共に基台に対して回転可能に設けられる。ツルアは、第一研磨盤及び第二研磨盤に取り付けられるのではなく、第一研磨盤及び第二研磨盤に対して相対移動可能に設けられる。従って、ツルアは、第一研磨盤に対して相対的に軸方向移動させることにより、第一研磨盤を回転させている状態で第一研磨溝をツルーイングすることが可能となる。同様に、ツルアは、第二研磨盤に対して相対移動させることにより、第二研磨盤を回転させている状態で第二研磨溝をツルーイングすることが可能となる。このように、ツルアによる相対的な軸方向移動と、第一研磨盤及び第二研磨盤の回転との協働によって、第一研磨溝及び第二研磨溝のツルーイングが可能となる。特に、第一研磨盤及び第二研磨盤共に回転する構成を採用することで、第一研磨溝及び第二研磨溝の偏心をなくすことができ、高精度な球体研磨が可能となる。
なお、前記ツルアを前記第一研磨盤に対して前記第一研磨盤の中心軸線の直交方向に相対的に移動させること、及び、前記第一研磨盤及び前記第二研磨盤を前記ツルアに対して前記中心軸線方向に相対的に移動させることを同時に行うことで、前記ツルアにより前記第一研磨溝及び前記第二研磨溝を同時にツルーイングするとよい。
また、前記ツルアは、前記第一研磨盤の中心軸線の直交方向の軸線回りに回転するロータリツルアであるとよい。
本実施形態の球体研磨装置1について図1を参照して説明する。球体研磨装置1は、基台11、コラム12、第一移動体13、第二移動体14及び上下駆動機構15を備える。基台11は、床面に設置され、中央に上下方向への貫通孔11aを備える。コラム12は、基台11の上面に固定される。コラム12の側面には、上下方向に延びるガイドレール12a,12bが設けられる。
球体研磨装置1は、さらにツルーイング装置17を備える。ツルーイング装置17について、図2及び図3を参照して説明する。ツルーイング装置17は、ガイド部材61、第一移動体62、第二移動体63、回転軸部材64及びツルア65を備える。
球体研磨装置1は、さらに制御装置16を備える。制御装置16は、図4に示すように、モータ制御部51と、流体圧調整部52と、ツルーイング制御部53とを備える。モータ制御部51は、各モータ25,35,41を制御する。つまり、モータ制御部51が第一モータ25を回転駆動することにより、第一研磨盤23が回転する。また、モータ制御部51が第二モータ35を回転駆動することにより、第二研磨盤33が回転する。また、モータ制御部51がモータ41を回転駆動することにより、第二移動体14が上下動する。
制御装置16の流体圧調整部52は、第一,第二静圧軸受24,34の流体圧が球体2の研磨を行うときに使用する流体圧となるように、オリフィス絞り24d,34dを設定しておく。
上述したように、球体研磨装置1は、中心軸線L1の回りに回転可能に設けられ、一方の面に中心軸線L1の回りに環状に形成される第一研磨溝23aを有する第一研磨盤23と、第一研磨盤23の中心軸線L1と同軸上の中心軸線L2の回りに回転可能に設けられ、第一研磨盤23の一方の面に対向する面に、中心軸線L2の回りに環状に形成される第二研磨溝33aを有する第二研磨盤33とを備える。このように、対向する第一,第二研磨盤23,33を回転可能にすることで、第一,第二研磨溝23a,33aに複数の球体2を配置して、複数の球体2の研磨を同時に加工となる。
ツルーイング装置17による第一研磨溝23a及び第二研磨溝33aのツルーイング方法について、図5−図7を参照して説明する。ここで、図5及び図6に示すように、ツルア65によって第一研磨溝23aと第二研磨溝33aとを別々にツルーイングする方法と、図7に示すように、ツルア65によって第一研磨溝23aと第二研磨溝33aとを同時にツルーイングする方法がある。
球体研磨装置1は、第一研磨盤23及び第二研磨盤33に対して第一研磨盤23の中心軸線L1方向及び中心軸線L1の直交方向の少なくとも2軸方向に相対的に移動可能に基台11に設けられ、第一研磨溝23a及び第二研磨溝33aをツルーイングするツルア65を備える。そして、制御装置16によって、第一研磨盤23及び第二研磨盤33を相対回転させて、第一研磨溝23a及び第二研磨溝33aにより球体2を研磨する。さらに、制御装置16によって、ツルア65を2軸方向(X2,Y2方向)に相対的に移動させ、且つ、第一研磨盤23を回転させながらツルア65により第一研磨溝23aをツルーイングする。また、制御装置16によって、ツルア65を2軸方向(X2,Y2方向)に移動させ、且つ、第二研磨盤33を回転させながらツルア65により第二研磨溝33aをツルーイングする。
Claims (7)
- 基台と、
中心軸線回りに回転可能に前記基台に設けられ、一方の面に前記中心軸線回りに環状に形成される第一研磨溝を有する第一研磨盤と、
前記第一研磨盤の中心軸線と同軸上の中心軸線回りに回転可能に前記基台に設けられ、前記第一研磨盤の前記一方の面に対向する面に、前記中心軸線回りに環状に形成される第二研磨溝を有する第二研磨盤と、
前記第一研磨盤及び前記第二研磨盤に対して前記第一研磨盤の中心軸線方向及び中心軸線の直交方向の少なくとも2軸方向に相対的に移動可能に前記基台に設けられ、前記第一研磨溝及び前記第二研磨溝をツルーイングするツルアと、
前記第一研磨盤及び前記第二研磨盤を相対回転させて前記第一研磨溝及び前記第二研磨溝により球体を研磨し、前記ツルアを前記2軸方向に相対的に移動させ且つ前記第一研磨盤を回転させながら前記ツルアにより前記第一研磨溝をツルーイングし、且つ、前記ツルアを前記2軸方向に移動させ且つ前記第二研磨盤を回転させながら前記ツルアにより前記第二研磨溝をツルーイングする制御装置と、
を備え、
前記制御装置は、前記ツルアを前記第一研磨盤に対して前記第一研磨盤の中心軸線の直交方向に相対的に移動させること、及び、前記第一研磨盤及び前記第二研磨盤を前記ツルアに対して前記中心軸線方向に相対的に移動させることを同時に行うことで、前記ツルアにより前記第一研磨溝及び前記第二研磨溝を同時にツルーイングする、球体研磨装置。 - 基台と、
中心軸線回りに回転可能に前記基台に設けられ、一方の面に前記中心軸線回りに環状に形成される第一研磨溝を有する第一研磨盤と、
前記第一研磨盤の中心軸線と同軸上の中心軸線回りに回転可能に前記基台に設けられ、前記第一研磨盤の前記一方の面に対向する面に、前記中心軸線回りに環状に形成される第二研磨溝を有する第二研磨盤と、
前記第一研磨盤及び前記第二研磨盤に対して前記第一研磨盤の中心軸線方向及び中心軸線の直交方向の少なくとも2軸方向に相対的に移動可能に前記基台に設けられ、前記第一研磨盤の中心軸線の直交方向の軸線回りに回転するロータリツルアであって、前記第一研磨溝及び前記第二研磨溝をツルーイングするツルアと、
前記第一研磨盤及び前記第二研磨盤を相対回転させて前記第一研磨溝及び前記第二研磨溝により球体を研磨し、前記ツルアを前記2軸方向に相対的に移動させ且つ前記第一研磨盤を回転させながら前記ツルアにより前記第一研磨溝をツルーイングし、且つ、前記ツルアを前記2軸方向に移動させ且つ前記第二研磨盤を回転させながら前記ツルアにより前記第二研磨溝をツルーイングする制御装置と、
を備える、球体研磨装置。 - 前記ツルアは、前記第一研磨盤の中心軸線の直交方向の軸線回りに回転するロータリツルアである、請求項1に記載の球体研磨装置。
- 前記球体研磨装置は、1個の前記ツルアを備え、
1個の前記ツルアが、前記第一研磨溝及び前記第二研磨溝をツルーイングする、請求項1−3の何れか一項に記載の球体研磨装置。 - 前記第一研磨盤及び前記第二研磨盤は、前記基台に対して前記第一研磨盤の中心軸線の直交方向に移動規制され、
前記ツルアは、前記基台に対して前記2軸方向に移動可能に設けられる、請求項1−4の何れか一項に記載の球体研磨装置。 - 球体研磨装置のツルーイング方法であって、
前記球体研磨装置は、
基台と、
中心軸線回りに回転可能に前記基台に設けられ、一方の面に前記中心軸線回りに環状に形成される第一研磨溝を有する第一研磨盤と、
前記第一研磨盤の中心軸線と同軸上の中心軸線回りに回転可能に前記基台に設けられ、前記第一研磨盤の前記一方の面に対向する面に、前記中心軸線回りに環状に形成される第二研磨溝を有する第二研磨盤と、
前記第一研磨盤及び前記第二研磨盤に対して前記第一研磨盤の中心軸線方向及び中心軸線の直交方向の少なくとも2軸方向に相対的に移動可能に前記基台に設けられ、前記第一研磨溝及び前記第二研磨溝をツルーイングするツルアと、
を備え、
前記ツルーイング方法は、
前記ツルアを前記2軸方向に相対的に移動させ且つ前記第一研磨盤を回転させながら前記ツルアにより前記第一研磨溝をツルーイングし、且つ、前記ツルアを前記2軸方向に移動させ且つ前記第二研磨盤を回転させながら前記ツルアにより前記第二研磨溝をツルーイングし、さらに、
前記ツルアを前記第一研磨盤に対して前記第一研磨盤の中心軸線の直交方向に相対的に移動させること、及び、前記第一研磨盤及び前記第二研磨盤を前記ツルアに対して前記中心軸線方向に相対的に移動させることを同時に行うことで、前記ツルアにより前記第一研磨溝及び前記第二研磨溝を同時にツルーイングする、球体研磨装置のツルーイング方法。 - 球体研磨装置のツルーイング方法であって、
前記球体研磨装置は、
基台と、
中心軸線回りに回転可能に前記基台に設けられ、一方の面に前記中心軸線回りに環状に形成される第一研磨溝を有する第一研磨盤と、
前記第一研磨盤の中心軸線と同軸上の中心軸線回りに回転可能に前記基台に設けられ、前記第一研磨盤の前記一方の面に対向する面に、前記中心軸線回りに環状に形成される第二研磨溝を有する第二研磨盤と、
前記第一研磨盤及び前記第二研磨盤に対して前記第一研磨盤の中心軸線方向及び中心軸線の直交方向の少なくとも2軸方向に相対的に移動可能に前記基台に設けられ、前記第一研磨盤の中心軸線の直交方向の軸線回りに回転するロータリツルアであって、前記第一研磨溝及び前記第二研磨溝をツルーイングするツルアと、
を備え、
前記ツルーイング方法は、前記ツルアを前記2軸方向に相対的に移動させ且つ前記第一研磨盤を回転させながら前記ツルアにより前記第一研磨溝をツルーイングし、且つ、前記ツルアを前記2軸方向に移動させ且つ前記第二研磨盤を回転させながら前記ツルアにより前記第二研磨溝をツルーイングする、球体研磨装置のツルーイング方法。
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