JPH088432B2 - 基板搬送装置 - Google Patents
基板搬送装置Info
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- JPH088432B2 JPH088432B2 JP2143522A JP14352290A JPH088432B2 JP H088432 B2 JPH088432 B2 JP H088432B2 JP 2143522 A JP2143522 A JP 2143522A JP 14352290 A JP14352290 A JP 14352290A JP H088432 B2 JPH088432 B2 JP H088432B2
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- roller
- sensor
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
- B65G47/22—Devices influencing the relative position or the attitude of articles during transit by conveyors
- B65G47/24—Devices influencing the relative position or the attitude of articles during transit by conveyors orientating the articles
- B65G47/244—Devices influencing the relative position or the attitude of articles during transit by conveyors orientating the articles by turning them about an axis substantially perpendicular to the conveying plane
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T156/00—Adhesive bonding and miscellaneous chemical manufacture
- Y10T156/12—Surface bonding means and/or assembly means with cutting, punching, piercing, severing or tearing
- Y10T156/1317—Means feeding plural workpieces to be joined
- Y10T156/1322—Severing before bonding or assembling of parts
- Y10T156/1339—Delivering cut part in sequence to serially conveyed articles
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Attitude Control For Articles On Conveyors (AREA)
- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
- Lining Or Joining Of Plastics Or The Like (AREA)
- Tyre Moulding (AREA)
- Control Of Conveyors (AREA)
Description
に、基板幅寄せ装置付基板搬送装置に適用して有効な技
術に関するものである。
ネータの各工程の機能を果たす装置に搬送する過程で整
列させるため搬送されてくる基板を幅寄せ(センタリン
グ)し、各装置に投入し、装置での処理機能を正確かつ
迅速に行わせることを目的に用いられている。特に、フ
ィルム張付装置(ラミネータ)においては、その重要性
は大きく、一定速度で幅寄せを行っている。この時、ガ
イドレール型の幅寄せを採用しているが、ガイドレール
型の幅寄せ部材と基板の側端部との接触抵抗が大きいた
め、あるいは幅寄せ部材の幅寄せ力が強すぎると、基板
の中央部が搬送ローラから浮き上がるため、基板の搬送
が停止することがある。そこで、ポール型(基板接触部
を回転自在)にすることが提案されている(特開昭62−
96244号公報参照)。
合、幅寄せ時に基板に強制的に一定の力を加え円筒径の
円周の点で薄板のエッヂを押すことになり、薄板がカー
ルしたり、側端部が破損したりすることが発生するとい
う問題があった。
であり、その目的は、ラミネータ等の基板搬送装置にお
いて、基板のエッヂを押すことによる基板のカールや側
端部の破損を防止することが可能な技術を提供すること
にある。
本明細書の記述及び添付図面によって明らかになるであ
ろう。
位置まで搬送するコンベアローラと基板幅寄せ機構を有
する基板搬送装置において、前記基板幅寄せ機構の左右
又は一方の幅寄せ部材を所定の速度で基板搬送方向を横
切る方向に移動させる基板幅寄せ部材移動手段と、前記
左右又は一方の幅寄せ部材を左右の幅寄せ部材間の間隔
が搬送される基板の幅より少し広い位置まで所定の速度
で移動させ、その後前記速度より遅い速度で移動させる
手段と、前記左右又は一方の幅寄せ部材の移動を遅くす
る時点(又は位置)で当該幅寄せ部材の移動を一旦停止
させる手段を備えたことを特徴とする。
り、前記左右幅寄せ部材を両者の間隔が搬送される基板
の幅より少し広い位置まで所定の速度で移動させ、その
後前記速度より遅い速度で移動させるので、基板の厚み
に関係なく、基板のエッヂを押すことによる基板のカー
ルや側端部の破損を防止することができる。
板幅寄せ部材を搬送方向に対して垂直方向に搬送される
基板の幅より少し広い位置で移動させ(ここで一旦停止
させてもよい)、次に第二動作では、前記速度より遅い
速度(基板のエッヂを痛めない速度)で幅寄せ(センタ
リング)を行い幅寄せ動作を終了することにより、幅寄
せ動作全体のスピードを犠牲にすることなく、基板のカ
ールや側端部の破損を著しく低減することができる。
的に説明する。
感光性樹脂層と透光性樹脂フィルムとからなる積層体フ
ィルムを熱圧着ラミネートするラミネータに適用可能な
構造にした一実施例の幅寄せ機構を有する入口部(前段
部)搬送装置の概略構成を示す斜視図。
面を含む図、 第8A図は、第3図のS−S線で切った一部切欠き断面
を含む図、 第8B図は、第3図の矢印T方向から見た図、 第8C図は、第3図のU−U線から切った一部切欠き断
面を含む図、 第9A図は、幅寄せポールの断面図、 第9B図は、幅寄せポールを矢印方向へ引き出した図、 第9C図は、幅寄せポールを矢印方向に倒した図であ
る。
ター、51はモータ取付板、52,54,55はプーリー、53はベ
ルト、56はシャフト、57は搬送装置本体フレーム、58は
ベアリング、59はロータリーエンコーダー取付部材、6
0,61はギヤ、62はロータリーエンコーダー、63はベアリ
ング、64は軸止め輪、65,67,68はギヤ、66,69は押えロ
ーラ、70はシリンダ取付板、71は軸受け、72は押えロー
ラ用エアーシリンダー、73は押えローラ保持部材、74は
軸止め、75はベアリング、76はプーリ、77はベルト、78
はアイドラプーリー、79はプーリー軸、80はベアリン
グ、81は調整部材、82はベアリング、83は搬送ローラ、
84は従動ローラ、85はゴムリング、86は軸受け、87は従
動ローラ受け部材、88は反射部材取付板、89は幅寄せ開
始センサー反射部材、90は基板後端センサー反射部材、
91は幅寄せポール、92は幅寄せセンサー反射部材、93は
幅寄せポール保持部材、96はセットカラー、98は幅寄せ
内側センサー、99は幅寄せ外側センサー、100はスペー
サー、101は幅寄せセンター位置合わせハンドル、102は
幅寄せセンター表示板、103はハンドル保持部材、104は
連結シャフト、105はカップリング、106はセンタリング
スクリュー、107はセンタリングブロック、108はセンサ
ー取付部材、109は幅寄せ限度センサー、110はセンサー
取付部材、111は幅寄せ限度センサー、112は遮光板、11
3,114はプーリー、115はベルト、116,117は固定部材、1
18は幅寄せ駆動部保持部材、119は基板先端センサー、1
20はセンサー取付板、121は支持部材、122はセンサー取
付カバー、123は基板先端センサー反射部材、124は反射
部材取付バー、129は基板後端センサー、130R,130Lは幅
寄せ開始センサー、131はセンサー保持部材、132は保持
部材取付板、133はガイド板、134はフック、135は位置
決め部材、146は入口部搬送装置の定位置センサー、147
は検出板、148は幅寄せ駆動モーター、149はカラミネー
タ本体フレーム、150は固定部、151はシャフト、152は
抜け止めピン、153はベアリング、154は回転部、155は
止め輪である。
図に示すように、矢印方向(イ)に基板を搬送ローラ83
が全て同一方向に回転することにより搬送される。
センサー130L又は130Rで検知され、その検知信号により
幅寄せが開始される。幅寄せ開始センサー130L,130R
は、第7図に示すように、保持部材止付板132にねじ止
めで固定されたセンサー保持部材131Aに搬送方向に対し
垂直方向にしかも相互に傾きをもってねじ止めで固定さ
れている。また、幅寄せ開始センサー130L,130Rは、回
復反射型の光電センサーを使用しているのでそれぞれの
光軸方向には、反射部材取付板88にねじ止めで固定され
た幅寄せセンサー反射部材89L,89Rが設けられている。
幅寄せ開始センサー130Lは、幅寄せセンサー反射部材89
Lに、幅寄せ開始センサー130Rは、幅寄せセンサー反射
部材89Rにそれぞれ対応している。
(下面)に対して約45゜の方向に傾きをもって2個設け
られているので、基板が小さく搬送路の端を搬送されて
くる基板やコンベア上を斜めに搬送される基板もどちら
かの幅寄せ開始センサー130L,130Rが確実に検知できる
ことになる。
に、幅寄せ駆動部保持部材118の搬送方向から見て左端
(第5図では右端)に、幅寄せ駆動モーター148がねじ
止め固定されている。この幅寄せ駆動モーター148が前
記検知信号により、その軸方向から見て反時計回りに所
定の速度で回転を始めるようになっている。
ねじ止めで固定されており、幅寄せ駆動部保持部材118
の搬送方向から見て右端(第5図では左端)には、プー
リー114が回転自在に取付けられている。前記プーリー1
13と114には、幅寄せ部材駆動用ベルト115が掛けられて
おり、該ベルト115の搬送方向から見て左端(第5図で
は右端)の上側部分に固定部材117の一端が固定され、
さらに、他端がリニアブッシュ94Lにねじ止めで固定さ
れている。
図では左端)の下側部分に固定部材116の一端が固定さ
れ、さらに、他端がリニアブッシュ94Rにねじ止めで固
定されている。第4図,第6図に示すように、リニアブ
ッシュ94L,94Rは、シャフト95をガイドとして搬送方向
に対し直角方向(横切る方向)に摺動自在に設けられて
いる。リニアブッシュ94Lの上部には、幅寄せポール保
持部材93Lがねじ止めで固定されている。リニアブッシ
ュ94Rの上部には、幅寄せポール保持部材93Rがねじ止め
で固定されている。
せポール91L,91Rが一定間隔で配列されている搬送ロー
ラ83群の隣あう搬送ローラ83の間から基板搬送面に垂直
に突き出して設けられている。そのために基板が搬送ロ
ーラ83の上を搬送されてきて、幅寄せ開始センサー130L
又は幅寄せ開始センサー130Rがその基板を検知すると、
幅寄せ駆動モーター148が回転し、その回転により前記
ベルト115が動かされ固定部材116,117を介し、それぞれ
に固定されたリニアブッシュ94L,94Rがお互いに搬送装
置の搬送路の中央へ向って動くことになる。シャフト保
持部材97L,97Rには、シャフト95が2本、間隔をあけて
貫通しセットカラー96で固定されており、その2本のシ
ャフト95をリニアブッシュ94L,94Rが移動するので幅寄
せポール保持部材93L,93Rの先端部と後端部が振らつく
ことなく、幅寄せ保持部材93L,93Rがお互いに平行間隔
を保ちながら移動できる。
L,93Rに固定された幅寄せポール91L群と幅寄せポール81
R群が基板を正確に幅寄せできる。
1Lより内側(搬送装置の中央)に向って、幅寄せ外側セ
ンサー99Lが設けられ、続いて35mm程度隔てて、幅寄せ
内側センサー98Lが設けられている。
は、それぞれ回帰反射型の光電センサーを使用していて
搬送ローラ83と隣合う搬送ローラ83の間をその光軸が通
り基板を検知できるように設定されている。さらに、そ
の光軸方向には、幅寄せセンサー反射部材92Lが幅寄せ
ポール91L(横倒不能)にねじ止めで固定されている。
ポール91Rより内側に向って幅寄せ外側センサー99Rが設
けられ、続いて35mm程度隔てて、幅寄せ内側センサー98
Lが設けられている。
それぞれ回帰反射型の光電センサーを使用していて搬送
ローラ83と隣合う搬送ローラ83の間をその光軸が通り基
板を検知できるように設定されている。さらにその光軸
方向には、幅寄せセンサー反射部材92Rが幅寄せポール9
1R(横倒不能)にねじ止めで固定されている。幅寄せセ
ンサー反射部材92Rには、幅寄せ装置表示板が固定され
ている。
に、固定部150が幅寄せポール保持部材93にナットで固
定されていて、固定部150には、シャフト151が差込ま
れ、抜け止めピン152が設けられている。シャフト151に
は回転部154がベアリング153を介し回転自在に設置さ
れ、シャフト151の先端の止め輪155が設けてある。
が搬送されている基板の側端に近づくと、幅寄せ内側セ
ンサー98L,98Rの両センサーが基板エッヂを検出するま
で所定の速度で幅寄せが行われ、幅寄せ内側センサー98
L,98Rの両センサーの検出信号により、タイマーの設定
時間により幅寄せ駆動モーター148を前記所定の速度よ
り遅い速度に変化させて(この場合、幅寄せ駆動モータ
ー148を時停止させて、その後に、前記所定の速度より
遅い速度に変化させるようにしてもよい)幅寄せを行
い、幅寄せ外側センサー99L,99Rの両センサーが基板エ
ッヂ検出により幅寄せ駆動モーター148を停止させるよ
うになっている。
れると、基板の両側にある幅寄せポール91L,91Rの移動
による幅寄せ動作が始まり、一段目(早い速度)の幅寄
せ動作(第1動作)を行う。この動作で、幅寄せポール
91L,91Rが移動し、停止する位置は、幅寄せ内側センサ
ー98L,98Rが基板の左右エッヂを検出する位置までであ
る。したがって、基板エッヂを片側の幅寄せポール91が
押すことはあっても両側から押すことはない。続いて、
一段目より遅い速度で基板両側の幅寄せポール91L,91R
が相互に搬送路の中央方向に移動し、幅寄せ動作(第2
動作)を行う。
右エッヂを検出し、幅寄せポール91L,91Rの回転部154が
基板の左右エッヂに触れる位置(基板エッヂの変形や破
損が生じない位置)で基板幅寄せ装置は停止する。しか
も前記回転部154はなめらかに回転するため、基板搬送
を妨げることはない。
ンター位置合わせハンドル101L又は101Rを回すことによ
り移動することができる。その目印として第1図に示す
幅寄せ装置のセンター指示板102と反射部材取付板88に
刻印された目盛で表わされる。
の搬送速度で搬送され、第1図に示す基板先端センサー
119でその基板先端が検知されると、前記所定の速度と
は異なった設定速度(基板挿入速度)で搬送されること
になる。
と、ロータリーエンコーダー取付部材59に取付られたロ
ータリーエンコーダー62のカウンター(図示してない)
が、搬送ローラ駆動モーター50の回転を検出するために
カウントを開始し、カウンターに設定した値になったと
き、前記駆動モータ50が回転を停止するため、搬送され
ていた基板は停止する。この停止位置が基板先端にフィ
ルムの仮り付けを行う位置である。
57には、貫通孔がありその貫通孔には、それぞれベアリ
ング82R,82Lがはめ込まれていて、そのベアリング82R,8
2Lを介して、搬送ローラ83のシャフトが設けられてい
て、その左右両端には、プーリー76がねじ止めで固定さ
れている。また、搬送ローラー83の真上に従動ローラ84
が乗るように従動ローラ受け部材87R,87Lがそれぞれ左
右の搬送装置本体フレーム57にねじ止めで固定されてい
る。従動ローラ84の両端には、ゴムリング85R,85Lが設
けられていて、さらに、従動ローラ84のシャフトの両端
には、軸受け86R,86Lが設けられ、その軸受け86R,86Lが
従動ローラ受け部材87R,87Lに設置されている。左右の
搬送装置本体フレーム57の上面には、反射部材取付板88
がねじ止めで固定されていて、その反射部材取付板88の
側面左右には、幅寄せ開始センサー反射部材89R,89Lが
ねじ止めで固定されている。また、中央部には、基板後
端センサー反射部材90がねじ止めで固定されている。右
側の搬送装置本体フレーム57の下部には、モーター取付
板51がねじ止めで固定されていて、そのモーター取付板
51には、搬送ローラ駆動モーター50がねじ止めで固定さ
れている。搬送ローラ駆動モーター50の軸には、プーリ
ー52がねじ止めで固定されている。
孔があり、その貫通孔には、プーリー軸79が設けられナ
ットで固定されている。そのプーリー軸79には、ベアリ
ング80を介し、アイドラプーリー78が回転自在に設けら
れている。また、プーリー軸79には、調整部材81が固定
されていて、その調整部材81の下部にねじが取り付けら
れている。そのねじをねじ込むことによりプーリー軸79
が引き下げられてアイドラプーリー78にかけられたベル
ト77のテンションが調整できることになる。
は、貫通した溝があり、その貫通溝には、押えローラ66
のシャフトが貫通しており、そのシャフトの両端には、
ベアリング63R,63Lがはめ込まれている。ベアリング63
R,63Lは、搬送装置本体フレーム57の外側に固定されて
いる。押えローラ66のシャフトの搬送装置本体フレーム
57の内側の左端には、ギヤ67Aがねじ止めで固定されて
いて、搬送装置本体フレーム57の内側の右端は、ギヤ65
がねじ止めで固定されている。また、押えローラ66のシ
ャフトの最左端には、プーリー76Rがねじ止めで固定さ
れている。搬送装置本体フレーム57の上面には、シリン
ダ取付板70がねじ止めで固定されていて、そのシリンダ
取付板70の左右上面には、押えローラ用エアーシリンダ
72R,72Lが下向きにねじ止めで固定されている。押えロ
ーラ用エアーシリンダー72R,72Lのロッドの先端には、
それぞれ押えローラ保持部材73R,73Lが固定され、ベア
リング75R,75Lがはめ込まれている。そのベアリング75
R,75Lを介して、押えローラ69が回転自在に設けられて
いて、その位置は、押えローラ66の上方部に位置するよ
うに設置されている。押えローラ69の両端のシャフトに
は、輪止め74R,74Lがねじ止めされていて、さらに、左
端には、ギヤ68Aが前記ギヤ67Aに噛み合うように設けら
れている。また、押えローラ69の両端のシャフトの搬送
装置本体フレーム57の貫通溝に位置する部分には、軸受
け71が設けられ、押えローラ用エアーシリンダー72R,72
Lが動作を行った時、前記貫通溝に沿って、押えローラ6
9が抵抗なく上下動作ができることになる。右の搬送装
置本体フレーム57の下部側面には、貫通孔があり、その
貫通孔には、ベアリング58を介して、シャフト56が設け
られている。該シャフト56の右端には、プーリー54,55
がねじ止めで固定されていて、左端には、ギヤ60が前記
ギヤ65に噛み合うように固定されている。右の搬送装置
本体フレーム57の下部には、ロータリーエンコーダー取
付部材59がねじ止めで固定されていて、該ロータリーエ
ンコーダ取付部材59には、ロータリーエンコーダ62が固
定されている。ロータリーエンコーダー62の軸には、ギ
ヤ61が前記ギヤ60に噛み合うように固定されている。前
記プーリー52とプーリー54とは、ベルト53でつながれて
いる。また、前記搬送ローラに固定されたプーリー76R
と押えローラ66に固定されたプーリー76Rとアイドラプ
ーリー78はベルト77でつながっている。
ロッドは、幅寄せ動作完了直後に押し出され、それぞれ
のシリンダーロッドの先端の固定された押えローラ保時
部材73L,73Rが同時に押される。第8C図に示すように、
押えローラ保持部材73L,73Rには、それぞれベアリング7
5L,75Rを介し押えローラ69の軸が回転自在に設けられ、
軸止め74L,74Rで左右方向へズレないよう固定されてい
る。
まれ、搬送装置本体フレーム57の切り込み部を上下動自
由に設けられているので、幅寄せされた基板は、押えロ
ーラ66と押えローラ69に挟まれた状態で基板がスリップ
することなく、フィルム仮付け位置まで精度よく搬送さ
れる。押えローラ66と押えローラ69の搬送方向の右部
(第8C図では左部)には、ギヤ67Aとギヤ68Aが噛み合う
ように設けられているので、搬送ローラ駆動モーター50
からプーリー52,ベルト53,プーリー54,シャフト56,ギヤ
60,ギヤ65と動力が伝わり押えローラ66を回転させ、押
えローラ69へと回転を伝えることができる。ギヤ60は、
ギヤ65と噛み合う側とは反対側がロータリーエンコーダ
ー取付部材59にねじ止め固定されたロータリーエンコー
ダー62の軸に固定されたギヤ61と噛み合っている。基板
へフィルムが仮り付けされ、熱圧着ローラにクランプさ
れ、基板へフィルムの張り付け開始されてからタイマー
で設定された時間経過後に、押えローラ用エアーシリン
ダー72のロッドが引き込まれ、押えローラ69が基板から
離れる。
れて行き、基板の後端部が基板後端センサー129に検出
されると、予めカウンターに設定された距離まで基板が
搬送された時点で、フィルムの切断が行われる。そし
て、順次張り付けられているフィルムの切断されたフィ
ルム後端は、基板面上の後端部の所定位置へ張り付けら
れる。フィルムの張り付けが終った基板は、後段部の基
板搬送装置へと搬送される。基板がフィルム仮付け位置
に停止した時点で、幅寄せ駆動モーター148が基板幅寄
せ時の回転と反対に回転し、幅寄せポール91L,91Rが幅
寄せ動作を行う前の位置(原点位置)に戻り、幅寄せ駆
動モーター148が停止する。
移動限界位置を決め、幅寄せ限度センサー111は、幅寄
せ装置の原点位置を決める停止センサーである。
は、空泡防止剤である水を、搬送されている基板に付着
させるためのものである。このウェットローラ125,126
については、特開平1−160084号公報に記載されいるも
のを用いるので、ここでは詳細な説明は省略する。
は、頻繁に行われその都度入口部の基板搬送装置は、左
右どちらかに移動する必要がある。
レールを用いることなく、しかも左右どちらにでもスラ
イド可能で且つラミネータ本体から容易に分離可能な機
構になっている。以下にその機構について説明する。
ライドベース137L,137Rをねじ止めで固定する。基板搬
送装置には、ガイド板133を水平及び垂直に基板搬送装
置本体にねじ止めで固定する。前記スライドベース137
L,137Rには、第1図,第3図,第7図に示すように水平
及び垂直に設けられたガイド板133を案内するように左
右それぞれにカムフォロア138を固定する。
じで他端が上下動可能に固定したフック134L,134Rを設
ける。ガイド板133とそれぞれのフック134L,134Rとの間
にフック用バネ136を設ける。スライドベース137L,137R
には、前記フック134L,134Rがかかる位置決め部材135L,
135Rをねじ止めで固定する。
ときは、基板搬送装置の左右フック134L,134Rがラミネ
ータ本体の位置決め部材135L,135Rにより、定位置にセ
ットされ、前記定位置決めセンサー146が検出板147を検
知して初めて、ラミネータ本体はフィルム張り付け動作
が可能となる。
ば、右に移動するときは、左側のフック134Lを指で押し
上げながら基板搬送装置を右へ押すことにより、基板搬
送装置のガイド板133がスライドベース137Rのカムフォ
ロア138に案内されながら右側へ移動できる。そして、
左側のフック134Lから指を外し、基板搬送装置を右側へ
押し続れると、右側の位置決め部材135Rにフック134Lが
かかり停止する。さらに、フック134Lを指で押し上げな
がら基板搬送装置を右側へ押すと、基板搬送装置はラミ
ネータ本体から分離する。
材135L,135Rの内側からかかるように設定され、例え
ば、フック134Lを位置決め部材135Lからはずし、フック
134L側に引張って基板搬送装置をスライド,分離させる
構造としてもよい。
きることで、ラミネータ本体のメンテナンスが非常に行
い易くなり、また、ラミネータ本体の設置場所等の工場
レイアウト変更も容易に行えるようになる。
移動及び分離可能にした例を第10図乃至第13図に示す。
動モーター、201はモーター取付板、202はプーリー、20
3はベルト、204はプーリー、205はテンションプーリ
ー、206はベルト用ガイド、207は搬送ローラ、208は従
動ローラ、209は搬送装置本体フレーム、210はガイド
板、211はフック、212は位置決め部材、213はスライド
ベース、214はカムフォロア、215はキャスター、216は
補助キャスター、217は定位置決めセンサー、218は検出
板、219はテンション調整部材、220は搬送ゴムローラで
ある。
スター215がねじ込まれナットで固定されていて、ラミ
ネータ本体側の搬送装置本体フレーム209の脚部には、
補助キャスター216が設けられている。搬送装置本体フ
レーム209の上部の左右側板には、貫通溝が左右対称に
複数設けられている。第12図で示すように搬送装置本体
フレーム209の上部の右側板の貫通溝の下部近傍には、
ベルト用ガイド206が搬送装置本体フレーム209にねじ止
めで固定されている。さらに、そのベルト用ガイド206
の下方の搬送装置本体フレーム209には、モーター取付
板201がねじ止めで固定されている。モーター取付板201
には、駆動モーター200がねじ止めで固定され、その駆
動モーター200の軸には、プーリー202が固定されてい
る。また、搬送装置本体フレーム209の上部の右側板の
ベルト用ガイド206と駆動モーター200との間には、2つ
のプーリー204のシャフトがねじ込まれナットで固定さ
れている。プーリー204は、前記シャフトに回転自在に
設けられている。前記2つのプーリー204の水平方向の
搬送装置本体フレーム209の両端にもプーリー204が設け
られている。搬送装置本体フレーム209の上部の右側板
のベルト用ガイド206の近傍には、テンションプーリー2
05が設けられている。ベルト203は、前記ベルト用ガイ
ド206の上部を通りテンションプーリー205,プーリー20
4,プーリー202にかけられていて、駆動モーター200が回
転するとベルト203が動くように設定されている。前記
搬送装置本体フレーム209の上部の左右側板の貫通溝に
は、搬送ローラ207の軸がはめ込まれていて、ラミネー
タ本体に一番近い貫通孔には、搬送ゴムローラ220の軸
がはめ込まれている。搬送ローラ207及び搬送ゴムロー
ラ220のローラ部が前記ベルト203の上に乗るように設置
されている。ゆえに、ベルト203が動くと搬送ローラが
回転することになる。
れスライドベース213R,213Lがねじ止めで固定されてい
る。また、後部搬送装置には、ガイド板210が水平及び
垂直に搬送装置本体フレーム209に固定されていて、該
水平及び垂直に設けられたガイド板210のそれぞれ両側
から案内するように複数のカムフォロア214がスライド
ベース213R,213Lに設けられている。スライドベース213
R,213Lの下部には、それぞれ位置決め部材212がねじ止
めで固定されている。また、ガイド板210の左右の下方
近傍には、一端をねじで他端が上下移動可能に固定され
たフック211が設けられている。このフック211は、後部
搬送装置がラミネータ本体に設置された状態で位置決め
部材212にかかり固定されることになる。後部搬送装置
をスライドまたは、分離するときは、前記フック211を
指を押し上げて後部搬送装置自体を左右どちらかに押す
ことで簡単に行うことができる。
うに、前記前段部の基板搬送装置と同様に、左右移動及
び分離が可能に構成され、同様の作用効果を奏するもの
である。
あり、ラミネータ側面より見たフィルムパス関係を示す
説明図である。
性樹脂フィルム、感光性樹脂層及び透光性樹脂フィルム
の3層構造からなる積層体フィルム1を供給ローラ2に
連続的に巻回している。供給ローラ2の積層体フィルム
1はフィルム分離部材3で透光性樹脂フィルム(保護
膜)1A、一面(接着面)が露出された感光性樹脂層及び
透光性樹脂フィルムからなる積層体フィルム(以下、単
に、フィルムという)1Bの夫々に分離される。
巻取ローラ4により巻き取られるように構成されてい
る。前記供給ローラ2、巻取ローラ4の夫々は基板搬送
経路I−Iを中心に上下に設けられている。
先端側に、前記第14図に示すように、テンションローラ
5を経てメインバキュームプレート(フィルム供給部
材)6に供給される。6Dはメインバキュームプレート6
の先端部材である。メインバキュームプレート6の近傍
にはフィルム1Bの静電気除去装置18が設けられている。
に、フィルム張付位置に近接しかつ離反する(上下方向
に移動する)ように構成されている。つまり、メインバ
キュームプレート6は、そのメインバキュームプレート
用支持板(フィルム供給部材用供給板)8に取り付けら
れたガイドレール7に摺動自在に取り付けられている。
メインバキュームプレート用支持板8は、装置本体(フ
ィルム張付装置の筐体)に取り付けられている取付枠に
ラックギヤ(図示せず)とピニオンギヤ10を介して上下
移動可能に設けられている。
下メインバキュームプレート用支持板連結棒32に設けら
れたラックギヤ9と噛合されている。
は、先端巻付用フィルム保持部材12が前後ガイドレール
に摺動自在に設けられている。前記先端巻付用フィルム
保持部材12には、連結切込み部材が設けられ、この連結
切込み部材に連結棒13が嵌め込められている。この連結
棒13は、固定刃支持部材14に取付けられている。また、
固定刃支持部材14には固定刃15が支持されている。
けられている。回転刃17には刃先が所定の傾斜角度で斜
めに設けられている。
1Bへ向けてエアーを吹き付けるための空気吹付管19,20
が設けられている。
配線板用基板(以下、単に基板という)、23Aは駆動用
ローラ、23Bは従動用ローラ、24は基板押え部材、25は
バキュームバーである。前記基板押え部材24は、基板押
えローラとそれを上下動させる基板押えローラ用エアー
シリンダーとからなる。
は圧着ローラ拭取ローラ用エアーシリンダ、29は基板拭
取ローラ連動保持部材、30は基板拭取ローラ、31は基板
拭取ローラ用エアーシリンダ、33は連結棒取付部材、40
は圧着ローラ支持部材、41は圧着ローラ上下移動用エア
ーシリンダである。
ーラ21間の基板22の進行方向に向って通し、フィルムの
張り付け面(剥離面)が向い合った間に基板22を送り込
んで、上下の圧着ローラ21を圧接し、該圧着ローラ21間
を基板22が通過することにより行われる。
本発明は、前記実施例に限定されることなく、その要旨
を逸脱しない範囲において変更し得るこというまでもな
い。
部材移動手段により、前記左右幅寄せ部材を両者の間隔
が搬送される基板の幅より少し広い位置まで所定の速度
で移動させ、その後再び前記速度より遅い速度で移動さ
せるので、基板の厚みに関係なく、基板のエッヂを押す
ことによる基板のカールや側端部の破損を防止すること
ができる。
光性樹脂層と透光性樹脂フィルムとからなる積層体フィ
ルムを熱圧着ラミネートするラミネートに適用可能な構
造にした一実施例の幅寄せ機構を有する入口部(前段
部)搬送装置の概略構成を示す斜視図。 第2図は、第1図の平面図、 第3図は、第2図の矢印R方向から見た側面図、 第4図は、幅寄せ機構部の平面図、 第5図は、第4図のX−X線の矢印方向から見た図、 第6図は、第4図のY−Y線の矢印から見た図、 第7図は、第2図の矢印F方向から見た一部切欠き断面
を含む図、 第8A図は、第3図のS−S線で切った一部切欠き断面を
含む図、 第8B図は、第3図の矢印T方向から見た図、 第8C図は、第3図のU−U線から切った一部切欠き断面
を含む図、 第9A図は、幅寄せポールの断面図、 第9B図は、幅寄せポールを矢印方向へ引き出した図、 第9C図は、幅寄せポールを矢印方向に倒した図 第10図乃至第13図は、ラミネータ本体後部基板搬送装置
を左右移動及び分離可能にした例を示す図、 第14図は、本発明の一実施例のラミネータの側面図であ
り、ラミネータ側面より見たフィルムパス関係を示す説
明図である。 図中、50……搬送ローラ駆動モーター、57……搬送装置
本体フレーム、62……ロータリーエンコーダー、83……
搬送ローラー、84……従動ローラ、88……反射部材取付
板、89……幅寄せ開始センサー反射部材、90……基板後
端センサー反射部材、91……幅寄せポール、92……幅寄
せセンサー反射部材、93……幅寄せポール保持部材、96
……セットカラー、98……幅寄せ内側センサー、99……
幅寄せ外側センサー、100……スペーサー、101……幅寄
せセンター位置合わせハンドル、102……幅寄せセンタ
ー表示板、103……ハンドル保持部材、104……連結シャ
フト、105……カップリング、106……センタリングスク
リュー、107……センタリングブロック、108……センサ
ー取付部材、109……幅寄せ限度センサー、110……セン
サー取付部材、111……幅寄せ限度センサー、112……遮
光板、113,114……プーリー、115……ベルト、116,117
……固定部材、118……幅寄せ駆動部保持部材、119……
基板先端センサー、120……センサー取付板、121……支
持部材、122……センサー取付カバー、123……基板先端
センサー反射部材、124……反射部材取付バー、129……
基板後端センサー、130……幅寄せ開始センサー、131…
…センサー保持部材、132…保持部材取付板、133……ガ
イド板、134……フック、135……位置決め部材、146…
…位置決めセンサー、147……検出板、148……幅寄せ駆
動モーター、149……ラミネータ本体フレーム、150……
固定部、151……シャフト、152……抜け止めピン、153
……ベアリング、154……回転部、155……止め輪、200
……駆動モーター、201……モーター取付板、207……搬
送ローラ、208……従動ローラ、209……搬送装置本体フ
レーム、210……ガイド板、212……位置決め部材、213
……スライドベース、214……カムフォロア、217……位
置決めセンサー、218……検出板、219……テンション調
整部材、220……搬送ゴムローラ。
Claims (1)
- 【請求項1】基板を所定の位置まで搬送するコンベアロ
ーラと基板幅寄せ機構を有する基板搬送装置において、
前記基板幅寄せ機構の左右又は一方の幅寄せ部材を所定
の速度で基板搬送方向を横切る方向に移動させる基板幅
寄せ部材移動手段と、前記左右又は一方の幅寄せ部材間
の間隔が搬送される基板の幅より少し広い位置まで所定
の速度で移動させ、その後前記速度より遅い速度で移動
させる手段と、前記左右又は一方の幅寄せ部材の移動を
遅くする時点(又は位置)で当該幅寄せ部材の移動を一
旦停止させる手段を備えたことを特徴とする基板搬送装
置。
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