JPH0873288A - セラミックコーティング部材とその製造方法 - Google Patents
セラミックコーティング部材とその製造方法Info
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- JPH0873288A JPH0873288A JP6210990A JP21099094A JPH0873288A JP H0873288 A JPH0873288 A JP H0873288A JP 6210990 A JP6210990 A JP 6210990A JP 21099094 A JP21099094 A JP 21099094A JP H0873288 A JPH0873288 A JP H0873288A
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- cvd
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
- C04B41/009—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone characterised by the material treated
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
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- C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
- C04B41/45—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements
- C04B41/52—Multiple coating or impregnating multiple coating or impregnating with the same composition or with compositions only differing in the concentration of the constituents, is classified as single coating or impregnation
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
- C04B41/80—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone of only ceramics
- C04B41/81—Coating or impregnation
- C04B41/89—Coating or impregnation for obtaining at least two superposed coatings having different compositions
Abstract
(57)【要約】
【構成】 窒化珪素質又は炭化珪素質のセラミック基材
の表面に、窒化珪素又は炭化珪素がＣＶＤ被覆され、か
つ該ＣＶＤ被覆の上にさらに酸化物を被覆してなるセラ
ミックコーティング部材とその製造方法である。 【効果】 高速燃焼ガス中のような過酷な条件下で優れ
た耐久性を有するセラミックコーティング部材を提供で
きる。
の表面に、窒化珪素又は炭化珪素がＣＶＤ被覆され、か
つ該ＣＶＤ被覆の上にさらに酸化物を被覆してなるセラ
ミックコーティング部材とその製造方法である。 【効果】 高速燃焼ガス中のような過酷な条件下で優れ
た耐久性を有するセラミックコーティング部材を提供で
きる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】 本発明は耐熱性、耐熱衝撃性、
耐食性に優れたセラミックコーティング部材とその製造
方法に関し、特に、高速燃焼ガス中のような過酷な条件
下で優れた耐久性を有するセラミックコーティング部材
とそれを製造するための方法に関する。
耐食性に優れたセラミックコーティング部材とその製造
方法に関し、特に、高速燃焼ガス中のような過酷な条件
下で優れた耐久性を有するセラミックコーティング部材
とそれを製造するための方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】 従来より、高温で過酷な条件で使用さ
れる高温構造材料としては窒化珪素、炭化珪素等のセラ
ミック材料が知られている。耐熱性の良好なセラミック
材料としては、例えば特開昭６２−７２５８２号公報に
示されるジルコニア被覆層をもつ窒化珪素焼結部材が知
られている。
れる高温構造材料としては窒化珪素、炭化珪素等のセラ
ミック材料が知られている。耐熱性の良好なセラミック
材料としては、例えば特開昭６２−７２５８２号公報に
示されるジルコニア被覆層をもつ窒化珪素焼結部材が知
られている。
【０００３】 しかしながら、このような窒化珪素ある
いは炭化珪素は、高温耐熱材料といえども、高温酸化、
高温腐食等により部材が減肉されることが多い。このた
め、高速の流速をもつ燃焼ガスに晒される部材について
は、耐久性を向上するために耐酸化性を向上させること
が重要な課題となっている。
いは炭化珪素は、高温耐熱材料といえども、高温酸化、
高温腐食等により部材が減肉されることが多い。このた
め、高速の流速をもつ燃焼ガスに晒される部材について
は、耐久性を向上するために耐酸化性を向上させること
が重要な課題となっている。
【０００４】 この課題解決のため、酸化物セラミック
スを表面被覆する方法が提案されているが、このような
従来の酸化物セラミックスの表面被覆方法によると、基
材の表面に単に酸化物セラミックスを表面被覆するだけ
では、高温で長時間使用すると、基材の熱膨張係数と酸
化物セラミックスの熱膨張係数の差異に起因し、境界層
で応力歪が過大になるなどして被覆層が基材から剥離し
やすい。
スを表面被覆する方法が提案されているが、このような
従来の酸化物セラミックスの表面被覆方法によると、基
材の表面に単に酸化物セラミックスを表面被覆するだけ
では、高温で長時間使用すると、基材の熱膨張係数と酸
化物セラミックスの熱膨張係数の差異に起因し、境界層
で応力歪が過大になるなどして被覆層が基材から剥離し
やすい。
【０００５】 そこで、本出願人は上記問題を解決せん
として、基材表面に被覆する酸化物として、プラズマ溶
射により下地層、中間層及び表面層を形成し、前記下地
層、中間層、表面層の順に熱膨張係数が高くなるように
したセラミックコーティング部材を提案した（特願平５
−２３８８５９号公報参照）。
として、基材表面に被覆する酸化物として、プラズマ溶
射により下地層、中間層及び表面層を形成し、前記下地
層、中間層、表面層の順に熱膨張係数が高くなるように
したセラミックコーティング部材を提案した（特願平５
−２３８８５９号公報参照）。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】 しかしながら、本出
願人はさらに検討を進めたところ、プラズマ溶射による
酸化物被覆では、この被覆が十分に緻密でないために基
材が酸化し、その結果、基材と下地層との界面に酸化層
が生成して密着力が低下し、耐久性が劣ることが判明し
た。従って、本発明の目的は、基材と被覆層の耐剥離性
がさらに良好で、耐熱性、耐熱衝撃性、耐食性に特に優
れ、高速燃焼ガス中のような過酷な条件下で優れた耐久
性を有するセラミックコーティング部材およびその製造
方法を提供することにある。
願人はさらに検討を進めたところ、プラズマ溶射による
酸化物被覆では、この被覆が十分に緻密でないために基
材が酸化し、その結果、基材と下地層との界面に酸化層
が生成して密着力が低下し、耐久性が劣ることが判明し
た。従って、本発明の目的は、基材と被覆層の耐剥離性
がさらに良好で、耐熱性、耐熱衝撃性、耐食性に特に優
れ、高速燃焼ガス中のような過酷な条件下で優れた耐久
性を有するセラミックコーティング部材およびその製造
方法を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】 即ち、本発明によれ
ば、窒化珪素質又は炭化珪素質のセラミック基材の表面
に、窒化珪素又は炭化珪素がＣＶＤ被覆され、かつ該Ｃ
ＶＤ被覆の上にさらに酸化物を被覆してなることを特徴
とするセラミックコーティング部材が提供される。本発
明においては、ＣＶＤ被覆上の酸化物被覆は、下地層が
化学反応法で形成したジルコン又はムライトからなり、
表面層がジルコニア又はアルミナからなることが好まし
い。
ば、窒化珪素質又は炭化珪素質のセラミック基材の表面
に、窒化珪素又は炭化珪素がＣＶＤ被覆され、かつ該Ｃ
ＶＤ被覆の上にさらに酸化物を被覆してなることを特徴
とするセラミックコーティング部材が提供される。本発
明においては、ＣＶＤ被覆上の酸化物被覆は、下地層が
化学反応法で形成したジルコン又はムライトからなり、
表面層がジルコニア又はアルミナからなることが好まし
い。
【０００８】 また本発明によれば、窒化珪素質又は炭
化珪素質のセラミック基材の表面に、窒化珪素又は炭化
珪素をＣＶＤ被覆した後、得られたＣＶＤ被覆層の上に
さらに酸化物を被覆することを特徴とするセラミックコ
ーティング部材の製造方法が提供される。上記の場合、
ＣＶＤ被覆層上への酸化物被覆を、下地層と表面層の少
なくとも２層から形成し、下地層を化学反応法により形
成することが好ましく、また、この化学反応法は、昇温
速度５００℃／hr以下で昇温し、温度１４５０℃以上で
１０時間以上、大気中において熱処理を行なうことが好
ましい。さらに、ＣＶＤ被覆層上への酸化物被覆は、一
回当りの被覆厚さを１０〜３５μｍとすることが好まし
い。
化珪素質のセラミック基材の表面に、窒化珪素又は炭化
珪素をＣＶＤ被覆した後、得られたＣＶＤ被覆層の上に
さらに酸化物を被覆することを特徴とするセラミックコ
ーティング部材の製造方法が提供される。上記の場合、
ＣＶＤ被覆層上への酸化物被覆を、下地層と表面層の少
なくとも２層から形成し、下地層を化学反応法により形
成することが好ましく、また、この化学反応法は、昇温
速度５００℃／hr以下で昇温し、温度１４５０℃以上で
１０時間以上、大気中において熱処理を行なうことが好
ましい。さらに、ＣＶＤ被覆層上への酸化物被覆は、一
回当りの被覆厚さを１０〜３５μｍとすることが好まし
い。
【０００９】
【作用】 本発明のセラミックコーティング部材では、
窒化珪素質又は炭化珪素質のセラミック基材の表面に、
窒化珪素又は炭化珪素をＣＶＤ被覆し、さらにこのＣＶ
Ｄ被覆の上に酸化物を被覆した。このように基材上にＣ
ＶＤ被覆後酸化物を被覆しているため、基材と被覆層と
の密着力、付着力が大きく、高速燃焼ガス中のような過
酷な条件下においても優れた耐久性を有する。
窒化珪素質又は炭化珪素質のセラミック基材の表面に、
窒化珪素又は炭化珪素をＣＶＤ被覆し、さらにこのＣＶ
Ｄ被覆の上に酸化物を被覆した。このように基材上にＣ
ＶＤ被覆後酸化物を被覆しているため、基材と被覆層と
の密着力、付着力が大きく、高速燃焼ガス中のような過
酷な条件下においても優れた耐久性を有する。
【００１０】 上記において、ＣＶＤ被覆上に形成する
酸化物被覆は、下地層と表面層の少なくとも２層から形
成することが好ましい。ここで、下地層は、酸化物をペ
ースト塗布などにより被覆した後大気中で熱処理する化
学反応法により形成することが、基材との密着力が高い
ことから好ましい。このように下地層を化学反応法によ
り形成すると、ＣＶＤ被覆表面上に化学反応層（これが
下地層となる。）を形成し、その下地層の上に表面層あ
るいは中間層たる酸化物被覆が形成された状態となる。
この場合、この化学反応層は相互拡散反応をしているた
め、基材との密着性が優れている。
酸化物被覆は、下地層と表面層の少なくとも２層から形
成することが好ましい。ここで、下地層は、酸化物をペ
ースト塗布などにより被覆した後大気中で熱処理する化
学反応法により形成することが、基材との密着力が高い
ことから好ましい。このように下地層を化学反応法によ
り形成すると、ＣＶＤ被覆表面上に化学反応層（これが
下地層となる。）を形成し、その下地層の上に表面層あ
るいは中間層たる酸化物被覆が形成された状態となる。
この場合、この化学反応層は相互拡散反応をしているた
め、基材との密着性が優れている。
【００１１】 本発明において、ＣＶＤ被覆上に形成す
る酸化物被覆の材質はセラミックスであればその種類は
制限されないが、ジルコニアまたはアルミナであること
が好ましい。ＣＶＤ被覆は窒化珪素又は炭化珪素を材質
とするものであり、ＣＶＤ被覆上に形成する酸化物被覆
の材質がジルコニアまたはアルミナであると、大気中に
おいて熱処理を行なう方法（化学反応法）により、ＣＶ
Ｄ被覆と酸化物被覆との界面にジルコンまたはムライト
の層が形成されて、酸化物被覆の下地層となり、この層
は基材との付着力が極めて大きいのである。
る酸化物被覆の材質はセラミックスであればその種類は
制限されないが、ジルコニアまたはアルミナであること
が好ましい。ＣＶＤ被覆は窒化珪素又は炭化珪素を材質
とするものであり、ＣＶＤ被覆上に形成する酸化物被覆
の材質がジルコニアまたはアルミナであると、大気中に
おいて熱処理を行なう方法（化学反応法）により、ＣＶ
Ｄ被覆と酸化物被覆との界面にジルコンまたはムライト
の層が形成されて、酸化物被覆の下地層となり、この層
は基材との付着力が極めて大きいのである。
【００１２】 化学反応法は、温度が１４５０℃以上、
好ましくは１４５０〜１５００℃で、１０時間以上、好
ましくは１０〜１００時間、大気中において熱処理を行
なう方法とすることが望ましい。また、昇温速度は５０
０℃／hr以下とすることが好ましい。昇温速度が５００
℃／hrを超えると、塗布した被膜の焼成収縮が急激に起
こり、収縮ムラによる被膜の亀裂や、基材から被膜が剥
離することが生じ、十分な付着力が得られない。また、
塗布膜厚が厚い被膜の場合には、焼成収縮が開始し始め
る温度、ＺｒＯ2 の場合は１１００℃より、Ａｌ2 Ｏ3
の場合は１３００℃より昇温速度を遅くして急激な焼成
収縮が起こらないように配慮する必要がある。昇温速度
は遅くても特に問題はないが、生産性を考慮して余り遅
くすることは避けた方がよい。
好ましくは１４５０〜１５００℃で、１０時間以上、好
ましくは１０〜１００時間、大気中において熱処理を行
なう方法とすることが望ましい。また、昇温速度は５０
０℃／hr以下とすることが好ましい。昇温速度が５００
℃／hrを超えると、塗布した被膜の焼成収縮が急激に起
こり、収縮ムラによる被膜の亀裂や、基材から被膜が剥
離することが生じ、十分な付着力が得られない。また、
塗布膜厚が厚い被膜の場合には、焼成収縮が開始し始め
る温度、ＺｒＯ2 の場合は１１００℃より、Ａｌ2 Ｏ3
の場合は１３００℃より昇温速度を遅くして急激な焼成
収縮が起こらないように配慮する必要がある。昇温速度
は遅くても特に問題はないが、生産性を考慮して余り遅
くすることは避けた方がよい。
【００１３】 ＣＶＤ被覆上に形成する酸化物被覆は、
少なくとも下地層と表面層の２層から形成されるが、好
ましくは下地層、中間層および表面層の３層とする。こ
こで、表面層はプラズマ溶射をした後大気中熱処理する
ことにより薄膜形成することが、高い付着耐久性を有す
ることから好ましい。また、セラミック基材の表面にへ
のＣＶＤ被覆は、通常次のように行なわれる。即ち、窒
化珪素質および炭化珪素質の基材を反応炉中に設置し、
次に示す成膜条件で被覆する。
少なくとも下地層と表面層の２層から形成されるが、好
ましくは下地層、中間層および表面層の３層とする。こ
こで、表面層はプラズマ溶射をした後大気中熱処理する
ことにより薄膜形成することが、高い付着耐久性を有す
ることから好ましい。また、セラミック基材の表面にへ
のＣＶＤ被覆は、通常次のように行なわれる。即ち、窒
化珪素質および炭化珪素質の基材を反応炉中に設置し、
次に示す成膜条件で被覆する。
【００１４】
【００１５】 さらに本発明においては、ＣＶＤ被覆上
に形成する酸化物被覆の１回当りの塗布厚さが重要であ
る。この塗布厚さは１０〜３５μｍが好ましい。塗布厚
さが３５μｍを超えると、熱処理により被膜に亀裂等の
欠陥が発生し易くなり、塗布厚さが１０μｍ未満の場合
には、熱処理後に必要な膜厚が得られない恐れがある。
なお、酸化物被覆の塗布は、１回以上実施される。酸化
物被覆の塗布を複数回行なう場合には、塗布後化学反応
法などの処理を複数回繰返すことになる。また、熱処理
後に生成される酸化物被覆（被膜）の厚さは、全体とし
て１０〜７０μｍが好ましく、２０〜５０μｍがより好
ましい。酸化物被覆の全体厚さが７０μｍを超えると、
被覆が剥離しやすくなる。一方、酸化物被覆の全体厚さ
が１０μｍ未満では、耐酸化性、耐食性の効果が十分に
発現しない。
に形成する酸化物被覆の１回当りの塗布厚さが重要であ
る。この塗布厚さは１０〜３５μｍが好ましい。塗布厚
さが３５μｍを超えると、熱処理により被膜に亀裂等の
欠陥が発生し易くなり、塗布厚さが１０μｍ未満の場合
には、熱処理後に必要な膜厚が得られない恐れがある。
なお、酸化物被覆の塗布は、１回以上実施される。酸化
物被覆の塗布を複数回行なう場合には、塗布後化学反応
法などの処理を複数回繰返すことになる。また、熱処理
後に生成される酸化物被覆（被膜）の厚さは、全体とし
て１０〜７０μｍが好ましく、２０〜５０μｍがより好
ましい。酸化物被覆の全体厚さが７０μｍを超えると、
被覆が剥離しやすくなる。一方、酸化物被覆の全体厚さ
が１０μｍ未満では、耐酸化性、耐食性の効果が十分に
発現しない。
【００１６】
【実施例】 以下、本発明を実施例に基いて更に詳細に
説明するが、本発明はこれらの実施例に限られるもので
はない。 （実施例１〜８、比較例１〜６）窒化珪素質の基材表面
に、成膜温度が１４５０℃、全ガス圧力が５０Torr、ガ
ス流量として、ＳｉＣｌ4 を２００cm3/min 、ＮＨ3 を
５００cm3/min 、Ｈ2 を４５００cm3/min 使用し、成膜
速度１００μｍ/hr の条件でＣＶＤ被覆した。次いで、
このＣＶＤ被覆の上に、表１に示す組成のジルコニア
（ＺｒＯ2 ）ペーストあるいはアルミナペーストをスク
リーン印刷により塗布し、表１に示す条件で大気中にお
いて熱処理した。得られた酸化物被覆について、そのジ
ルコン生成量、あるいはムライト生成量、付着強度およ
び表面状態を表１に示す。なお、表１に示す０Ｙ、３
Ｙ、８Ｙは、ＺｒＯ2 にＹ2 Ｏ3 が各々０ mol% 、３ m
ol% 、８mol% 含有されるとの意味である。
説明するが、本発明はこれらの実施例に限られるもので
はない。 （実施例１〜８、比較例１〜６）窒化珪素質の基材表面
に、成膜温度が１４５０℃、全ガス圧力が５０Torr、ガ
ス流量として、ＳｉＣｌ4 を２００cm3/min 、ＮＨ3 を
５００cm3/min 、Ｈ2 を４５００cm3/min 使用し、成膜
速度１００μｍ/hr の条件でＣＶＤ被覆した。次いで、
このＣＶＤ被覆の上に、表１に示す組成のジルコニア
（ＺｒＯ2 ）ペーストあるいはアルミナペーストをスク
リーン印刷により塗布し、表１に示す条件で大気中にお
いて熱処理した。得られた酸化物被覆について、そのジ
ルコン生成量、あるいはムライト生成量、付着強度およ
び表面状態を表１に示す。なお、表１に示す０Ｙ、３
Ｙ、８Ｙは、ＺｒＯ2 にＹ2 Ｏ3 が各々０ mol% 、３ m
ol% 、８mol% 含有されるとの意味である。
【００１７】
【表１】
【００１８】 表１において、ジルコン生成量は、Ｘ線
回折測定結果を基礎に、次に示す各結晶相のピーク高さ
を用いて定性的に評価した。即ち、ジルコン相は、２θ
＝２７．０、ｍ−ＺｒＯ2 （単斜晶ジルコニア）相は、
２θ＝２８．２、ｔ−ＺｒＯ2 （正方晶ジルコニア）相
は、２θ＝３０．３であるピーク高さを用い、（ジルコ
ン）／〔（ジルコン）＋（ｍ−ＺｒＯ2 ）＋（ｔ−Ｚｒ
Ｏ2 ）〕の比としてジルコン生成量を求めた。一方、ム
ライト生成量は次のように求めた。即ち、ムライト相は
２θ＝２６．３、α−Ａｌ2 Ｏ3 相は２θ＝４３．４で
あるピーク高さを用い、（ムライト）／〔ムライト＋
（α−Ａｌ2 Ｏ3 ）〕の比としてムライト生成量を求め
た。
回折測定結果を基礎に、次に示す各結晶相のピーク高さ
を用いて定性的に評価した。即ち、ジルコン相は、２θ
＝２７．０、ｍ−ＺｒＯ2 （単斜晶ジルコニア）相は、
２θ＝２８．２、ｔ−ＺｒＯ2 （正方晶ジルコニア）相
は、２θ＝３０．３であるピーク高さを用い、（ジルコ
ン）／〔（ジルコン）＋（ｍ−ＺｒＯ2 ）＋（ｔ−Ｚｒ
Ｏ2 ）〕の比としてジルコン生成量を求めた。一方、ム
ライト生成量は次のように求めた。即ち、ムライト相は
２θ＝２６．３、α−Ａｌ2 Ｏ3 相は２θ＝４３．４で
あるピーク高さを用い、（ムライト）／〔ムライト＋
（α−Ａｌ2 Ｏ3 ）〕の比としてムライト生成量を求め
た。
【００１９】 また、酸化物被覆（被膜）の付着強度
は、エポキシ系接着剤を用いた接着法で測定した。即
ち、酸化物被覆表面にエポキシ系接着剤で４×４mmの断
面を持つ窒化珪素製ロッドを垂直に接着し、ロッドの接
着部から１５mmの部位にオートグラフで荷重を負荷し、
ロッドが倒れる時の力を測定し、これを付着強度とし
た。
は、エポキシ系接着剤を用いた接着法で測定した。即
ち、酸化物被覆表面にエポキシ系接着剤で４×４mmの断
面を持つ窒化珪素製ロッドを垂直に接着し、ロッドの接
着部から１５mmの部位にオートグラフで荷重を負荷し、
ロッドが倒れる時の力を測定し、これを付着強度とし
た。
【００２０】 次に、上記実施例１〜８で示す付着強度
の優れた酸化物被覆について、さらに大気中１４００℃
で１００時間保持する静的酸化試験を実施したが、付着
強度の低下がないことを確認した。
の優れた酸化物被覆について、さらに大気中１４００℃
で１００時間保持する静的酸化試験を実施したが、付着
強度の低下がないことを確認した。
【００２１】（実施例９〜１０、比較例７〜１１）表２
に示す基材に対し、ジルコニア（ＺｒＯ2 ）あるいはア
ルミナのペーストをスクリーン印刷により塗布し、温度
１５００℃で５０時間大気中において熱処理を行ない、
下地層および中間層を形成した。次いで、その上にプラ
ズマ溶射で被覆後、１４００℃で１０時間大気中におい
て熱処理し、表面層を形成した。このようにして得られ
た試料について、温度１４００℃、圧力８．５ａｔａ、
流速３００ｍ／秒の高速燃焼ガス流に１０時間曝露し、
酸化物被覆の剥離状況と試験後の付着強度の測定を行な
った。結果を表２に示す。
に示す基材に対し、ジルコニア（ＺｒＯ2 ）あるいはア
ルミナのペーストをスクリーン印刷により塗布し、温度
１５００℃で５０時間大気中において熱処理を行ない、
下地層および中間層を形成した。次いで、その上にプラ
ズマ溶射で被覆後、１４００℃で１０時間大気中におい
て熱処理し、表面層を形成した。このようにして得られ
た試料について、温度１４００℃、圧力８．５ａｔａ、
流速３００ｍ／秒の高速燃焼ガス流に１０時間曝露し、
酸化物被覆の剥離状況と試験後の付着強度の測定を行な
った。結果を表２に示す。
【００２２】
【表２】
【００２３】 表２の結果から明らかなように、本発明
のように、基材上にＣＶＤ被覆し、さらにその上に下地
層、中間層、表面層を被覆した試料は、高速燃焼ガス中
のような過酷な条件下においても優れた耐久性を有する
ことがわかる。
のように、基材上にＣＶＤ被覆し、さらにその上に下地
層、中間層、表面層を被覆した試料は、高速燃焼ガス中
のような過酷な条件下においても優れた耐久性を有する
ことがわかる。
【００２４】
【発明の効果】 以上説明したように、本発明によれ
ば、高速燃焼ガス中のような過酷な条件下で優れた耐久
性を有するセラミックコーティング部材とそれを製造す
る製造方法を提供することができる。
ば、高速燃焼ガス中のような過酷な条件下で優れた耐久
性を有するセラミックコーティング部材とそれを製造す
る製造方法を提供することができる。
フロントページの続き (72)発明者 小林 廣道 愛知県名古屋市瑞穂区須田町２番56号 日 本碍子株式会社内 (72)発明者 高橋 知典 愛知県名古屋市瑞穂区須田町２番56号 日 本碍子株式会社内
Claims (6)
- 【請求項１】 窒化珪素質又は炭化珪素質のセラミック
基材の表面に、窒化珪素又は炭化珪素がＣＶＤ被覆さ
れ、かつ該ＣＶＤ被覆の上にさらに酸化物を被覆してな
ることを特徴とするセラミックコーティング部材。 - 【請求項２】 ＣＶＤ被覆上の酸化物被覆は、下地層が
化学反応法で形成したジルコン又はムライトからなり、
表面層がジルコニア又はアルミナからなることを特徴と
する請求項１記載のセラミックコーティング部材。 - 【請求項３】 窒化珪素質又は炭化珪素質のセラミック
基材の表面に、窒化珪素又は炭化珪素をＣＶＤ被覆した
後、得られたＣＶＤ被覆層の上にさらに酸化物を被覆す
ることを特徴とするセラミックコーティング部材の製造
方法。 - 【請求項４】 ＣＶＤ被覆層上への酸化物被覆を、下地
層と表面層の少なくとも２層から形成し、該下地層を化
学反応法により形成することを特徴とする請求項３記載
の製造方法。 - 【請求項５】 ＣＶＤ被覆層上への酸化物被覆を、一回
当り１０〜３５μｍの被覆厚さで行なう請求項３記載の
製造方法。 - 【請求項６】 化学反応法は、昇温速度５００℃／hr以
下で昇温し、温度１４５０℃以上で１０時間以上、大気
中において熱処理を行なう請求項４記載の製造方法。
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