JP3723719B2 - シリコンを含有する基板とバリア層とを有する物品及びその製造方法 - Google Patents

シリコンを含有する基板とバリア層とを有する物品及びその製造方法 Download PDF

Info

Publication number
JP3723719B2
JP3723719B2 JP2000115745A JP2000115745A JP3723719B2 JP 3723719 B2 JP3723719 B2 JP 3723719B2 JP 2000115745 A JP2000115745 A JP 2000115745A JP 2000115745 A JP2000115745 A JP 2000115745A JP 3723719 B2 JP3723719 B2 JP 3723719B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
barrier layer
article
silicon
substrate
mole
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2000115745A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2000343642A (ja
Inventor
イー． イートン，ジュニア ハリー
ピー．アレン ウィリアム
エス．ジャコブソン ネイザン
ピー．バンサル ナロッタム
ジェー．オピラ エリザベス
エル．スミアレック ジェームス
エヌ．リー カン
ワング ホンギュ
ジェイ．メシュター ピーター
ティー．スピッツバーグ アイリーン
エル．ルスラ クリシャン
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
General Electric Co
National Aeronautics and Space Administration NASA
Raytheon Technologies Corp
Original Assignee
General Electric Co
National Aeronautics and Space Administration NASA
United Technologies Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by General Electric Co, National Aeronautics and Space Administration NASA, United Technologies Corp filed Critical General Electric Co
Publication of JP2000343642A publication Critical patent/JP2000343642A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3723719B2 publication Critical patent/JP3723719B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
    • C04B41/80—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone of only ceramics
    • C04B41/81—Coating or impregnation
    • C04B41/85—Coating or impregnation with inorganic materials
    • C04B41/87—Ceramics
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
    • C04B41/009—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone characterised by the material treated
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B18/00—Layered products essentially comprising ceramics, e.g. refractory products
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
    • C04B41/45—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements
    • C04B41/50—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements with inorganic materials
    • C04B41/5024—Silicates
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
    • C04B41/45—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements
    • C04B41/52—Multiple coating or impregnating multiple coating or impregnating with the same composition or with compositions only differing in the concentration of the constituents, is classified as single coating or impregnation
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
    • C04B41/80—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone of only ceramics
    • C04B41/81—Coating or impregnation
    • C04B41/85—Coating or impregnation with inorganic materials
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
    • C04B41/80—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone of only ceramics
    • C04B41/81—Coating or impregnation
    • C04B41/89—Coating or impregnation for obtaining at least two superposed coatings having different compositions
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
    • C23C28/04—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material
    • C23C28/042—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material including a refractory ceramic layer, e.g. refractory metal oxides, ZrO2, rare earth oxides
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C4/00—Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge
    • C23C4/02—Pretreatment of the material to be coated, e.g. for coating on selected surface areas
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C4/00—Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge
    • C23C4/04—Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge characterised by the coating material
    • C23C4/10—Oxides, borides, carbides, nitrides or silicides; Mixtures thereof
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C4/00—Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge
    • C23C4/04—Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge characterised by the coating material
    • C23C4/10—Oxides, borides, carbides, nitrides or silicides; Mixtures thereof
    • C23C4/11—Oxides
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C4/00—Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge
    • C23C4/18—After-treatment

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Structural Engineering (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)
  • Other Surface Treatments For Metallic Materials (AREA)
  • Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
  • Coating By Spraying Or Casting (AREA)

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、シリコンを含有する基板と環境的／熱的保護バリアコーティング層として機能するバリア層とを有した物品に関する。特に、本発明は、物品が高温で水分が存在する環境にさらされた場合にSi化合物、特にSi(OH)Xの形成を防ぐバリア層に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、シリコンを含有するセラミック材やシリコンを含有する金属合金を高温用途、例えばガスタービンエンジンや熱交換器、内燃機関エンジン等に用いることが提案されている。この材質の特に有用な用途は、水分が存在する高温環境で動作するガスタービンエンジンである。これらのシリコンを含有するセラミック材や金属合金は、一般にシリコン含有基板あるいはシリコン含有サブストレートと称される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
このシリコン含有基板は、高温でかつ水分が存在する環境にさらされた場合、揮発性のSi化合物、特にSi(OH)XやSiOを形成し、その結果、縮みや質量損失が生じるおそれがあることが見いだされている。例えば、シリコンカーバイドは、１２００℃で圧力約１ATMの水蒸気が存在する希薄燃料環境下に曝されると、質量が減少し、１０００時間で約６mil(0.1524mm)縮小する。この現象の発生プロセスには、シリコンカーバイドが酸化してシリカがシリコンカーバイド表面に形成され、その後にシリカとスチームとが反応して、Si(OH)x等の揮発性シリコン化合物が形成されると信じられる。当然ながら、Si(OH)xやSiO等の揮発性シリコン化合物の形成を防ぐことのできる、シリコン含有基板のための外部バリアコーティングを提供し、これにより縮みや質量損失を防ぐことが非常に望ましい。
【０００４】
従って、本発明は、高温で水分が存在する環境にさらされたときにおけるガス状Si化合物の形成、特にSi(OH)xの形成を防ぐためのバリア層が形成されたシリコン含有基板を有する物品を提供することを主な目的とする。
【０００５】
また、本発明は、基板の熱膨張係数に非常に近い、熱的保護を与えるバリア層が形成された基板を有する物品を提供することをも目的とする。
【０００６】
更に、本発明は、上述の物品を製造するための方法を提供することも目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明は、バリア層が形成されているとともにシリコン含有基板を有する物品に関し、このバリア層は、該物品が高温で水分が存在する環境にさらされたときに望ましからざるガス状シリコン化合物が形成されることを防ぐとともに、熱的保護をも提供する。
【０００８】
ここでいう高温とは、基板に含まれるシリコンが、水分が存在する環境下でSi(OH)x及び/またはSiOを生成する温度をいう。また、水分が存在する環境とは、水及び/またはスチームが存在する環境をいう。シリコンを含有する化合物は、好適には、シリコンを含有するセラミックまたはシリコンを含有する金属や合金をいう。外部バリア層は、その熱膨張係数が、シリコン含有基板の熱膨張係数の±3.0ppm／℃にあることを特徴とする。本発明に係る好適なバリア層は、バリウムアルミノ珪酸塩で、好適には、バリウム-アルカリ土類アルミノ珪酸塩であって、好適には、アルカリ土類金属としてはストロンチウムを用いる。本発明の好適実施形態では、上述の物品においては、シリコンベースの基板とバリア層との間に一層またはそれ以上の中間層を設けることが可能となっている。中間層によって、バリア層と基板との間の接着性の向上及び/またはバリア層と基板との間の反応の抑制が得られる。
【０００９】
本発明は、更に、シリコン含有基板とバリア層とを有する物品の製造方法に関し、上述したように、このバリア層は、物品が高温で水分が存在する環境にさらされたときに、ガス状シリコン化合物の形成の抑制及び/または熱からの保護を行う。また、グリットブラスト処理は、約150/m/s〜約200/m/sで行うことが好ましい。
【００１０】
本発明の更なる目的及び利点は、以下の実施形態の記述により明らかとされる。
【００１１】
【発明の実施の形態】
本発明は、バリア層とシリコン含有基板を有する物品に関し、このバリア層は、該物品が高温で水分が存在する環境にさらされたときに望ましからざるシリコンガス状化合物が形成されることを防ぐものである。また、本発明は、このような物品の製造方法にも関する。加えて、このバリア層は特に環境的バリア層に関するものの、該バリア層は、熱バリア層としても機能する。従って、本発明は、シリコン含有基板や同等の熱膨張係数を有する基板上に形成された環境的／熱的バリア層、その製造、使用等を広く包含するものである。
【００１２】
本発明によれば、シリコン含有基板は、シリコン含有セラミック基板やシリコン含有金属合金とすることもできる。好適実施形態においては、シリコン含有基板は、シリコン含有セラミック材、例えばシリコンカーバイド(silicon carbide)、シリコン窒化物(silicon nitride)、シリコンカーバイドニトリド(silicon carbide nitride)、シリコンオキシニトリド(silicon odxynitride)、シリコンアルミニウムオキシニトリド(silicon aluminum oxynitride)としている。本発明のある実施形態においては、シリコン含有セラミック基板は、ファイバーやパーティクル等の強化材を含有したシリコン含有マトリクスが用いられ、より具体的には、繊維強化されたシリコンベースマトリクスが用いられる。特に好適なセラミック基板としては、シリコンカーバイドコートされたシリコンカーバイド繊維強化シリコンカーバイドパーティクル及びシリコンマトリクス(silicon carbide coated silicon carbide fiber-reinforced silicon carbide particle and silicon matrix)、カーボン繊維強化シリコンカーバイドマトリクス(carbon fiber-reinforced silicon carbide matrix)、及びシリコンカーバイド繊維強化シリコンニトリドマトリクス(silicon carbide fiber-reinforced silicon nitride matrix)が挙げられる。本発明に係る物品の基板として用いるのに特に有用なシリコン−金属合金としては、モリブデン−シリコン合金、ニオブ−シリコン合金、及び本発明に係るバリア層に適合する(問題なく使用できる程度に近い)熱膨張係数を有するその他のシリコン含有合金を用いることができる。
【００１３】
本発明に係る物品に特に有用なバリア層としては、アルカリ土類金属のアルミノ珪酸塩が挙げられる。好適な実施形態においては、バリウムアルミノ珪酸塩、バリウム−アルカリ土類金属アルミノ珪酸塩、特に、バリウム−ストロンチウムアルミノ珪酸塩が好適である。好適な一実施形態においては、バリア層は、約１モル以下(約0.00〜1.00モル)のBaO、約１モル以下(約0.00〜1.00モル)の第２のアルカリ土類金属の酸化物、好適にはSrO、約1.00モルのAl2O3、及び約2.00モルのSiO2を含有し、ここで、BaOと第２のアルカリ土類金属(SrO)との合計は約1.00モルとなるようにされている。本発明に係る好適なバリア層は、0.10モル〜約0.90モル、好適には約0.25〜約0.75モルのBaOと、0.10モル〜約0.90モル、好適には約0.25〜約0.75モルのSrOと、1.00モルのAl2O3と、約2.00モルのSiO2とを含有し、BaOとSrOとの合計は約1.00モルとなるようにされている。本発明に係る物品におけるシリコン含有セラミック組成物に用いるのに特に好適なバリア層は、約0.75モルのBaO、約0.25モルのSrO、約1.00モルのAl2O3、約2.00のSiO2を含有する。
【００１４】
本発明では、シリコン含有基板とバリア層それぞれの熱膨張係数を、互いに適合する値、即ち近い値に維持することが重要な特徴となっている。本発明によれば、バリア層の熱膨張係数は、シリコン含有基板の熱膨張係数と比較して、１℃あたり±3.0ppm以内の値とすべきであり、好適には、１℃あたり±0.5ppm以内の値とする。シリコン含有セラミック基板、例えばシリコンカーバイドまたはシリコンニトリドマトリクス等を、上述のように強化ファイバーを含有させてあるいは含有させずに、本発明に係る好適なバリウム−ストロンチウムアルミノ珪酸塩バリア層とともに用いる場合、バリア層に安定な重土長石型結晶質構造を少なくとも５０wt%形成することが必要である。これは、バリア層の構造一体性と、シリコン含有基板とバリア層との間の熱膨張係数に関して所望の熱的適合性と、の双方が確実に得られるようにするために必要となっている。バリウム−ストロンチウムアルミノ珪酸塩バリア層の結晶構造は、後述するように、好適な処理を適用しかつ熱処理を行うステップにより得られる。
【００１５】
物品におけるバリア層は、約0.0127mm(0.5mil＝0.0005インチ)以上、好適には約0.0762mm(３mil)〜約0.762mm(３０mil)で、更に好適には約0.0762mm(３mil)〜約0.127mm(5mil)とする。バリア層は、シリコンベース基板上に、適宜任意の従来の手法によって形成することができるが、好適には、バリア層は、後述するように溶射(thermal spray)により形成する。
【００１６】
本発明の他の実施形態においては、シリコン含有基板とバリア層との間に、中間層が設けられる。この中間層により、バリア層と基板との間の接着力向上及び/またはバリア層と基板との間の反応の抑制がなされる。例えば、中間層は、SiO2、ムライト、ムライト−バリウムストロンチウムアルミノ珪酸塩、ムライト−イットリウム珪酸塩、ムライト−カルシウムアルミノ珪酸塩、及び金属シリコン(silicon metal)により形成することができる。特に、ムライトは、中間層として好適であることがわかった。しかし、ムライト自体は、溶射ステップの結果としてクラックを生じる傾向がある。従って、バリア層は、好適には、ムライト−バリウムストロンチウムアルミノ珪酸塩、ムライト−イットリウム珪酸塩、またはムライト−カルシウムアルミノ珪酸塩とし、約４０wt%〜約８０wt%をムライト、約２０〜６０wt%をバリウムストロンチウムアルミノ珪酸塩又はイットリウム珪酸塩又はカルシウムアルミノ珪酸塩とする。中間層の厚みは、上述のバリア層に関する厚みと同様であり、また、中間層の形成も、同様に従来の手法により行うことができ、好適には、後述するように溶射により行う。
【００１７】
中間層に加えて、シリコン含有基板と中間層との間にボンド層を形成してもよい。好適なボンド層としては、膜厚約0.0762mm(３mil)〜約0.1524mm(６mil)のシリコンが挙げられる。あるいは、シリコン含有基板をSi02ボンド層が得られるように予め酸化させた後に中間層を形成するようにしてもよい。
【００１８】
本発明に係る方法では、バリア層とシリコン含有基板部を有する物品が提供される。このバリア層は、該物品が高温で水分が存在する環境にさらされたときに望ましからざるガス状シリコン化合物が形成されることを防ぐものである。本発明において、バリア層は、溶射により形成することが望ましい。バリア層は、溶射されてスプラットクエンチされたマイクロストラクチャーを平衡状態とするため、また、層間剥離を防ぐための張力を調整するための手段を得るために、約８７０℃〜１２００℃で溶射を行うべきであることが見いだされた。
【００１９】
本発明に係る方法により得られた物品が、バリウムストロンチウムアルミノ珪酸塩バリア層が形成されたシリコン含有セラミックである場合、好適には、バリウムストロンチウムアルミノ珪酸塩バリア層は、重土長石型結晶構造(celsian crystallographic structure)がこのバリア層に少なくとも５０vol％含まれるようにすることが好ましい。重土長石型結晶構造相を成長させることで、上述のように、シリコン含有セラミックとバリウムストロンチウムアルミノ珪酸塩バリア層との間で熱膨張係数が確実に適合されるようになる、即ち、両者を共に用いることができるまでに熱膨張係数が互いに近い値となることが確実となる。
【００２０】
バリア層を形成する前に、基板の製造時に混入した異物が除去されるようにシリコン含有基板の清浄化を行うことが好ましい。好適には、バリア層を形成する前にシリコンベースの基板をグリットブラスト処理する。このグリットブラスト処理ステップは、シリコンカーバイド繊維強化組成物等のようなシリコン含有基板の表面が損傷を受けることがないように、注意深く行わなければならない。グリットブラスト処理に用いられるパーティクルは、望ましからざる異物を除去するに十分な硬度を有し、かつ、浸食により基体の材質が除去されるまでには硬くないことが必要であることがみいだされた。更に、パーティクルは、基体に対しての衝突のダメージを抑えるように小さくせねばならない。シリコンカーバイドセラミック組成物を基板として用いた物品を処理する場合、グリットブラスト処理は、Al2O3パーティクルで行うべきであり、好適には、パーティクルサイズを３０μｍ以下とし、パーティクルの速度は約１５０〜２００m/secとする。これらに加えて、接着性を向上するために、中間層及び/またはバリア層の形成を行う前に、シリコンベースの基板を予め酸化することが特に有用である。また、接着層は、１００nm〜２０００nmとすることが好適であることが見いだされた。シリコン−カーバイド基板を８００℃〜１２００℃で約１５分〜１００時間にわたって酸化することで、SiO2接着層をこのような所望の厚みとすることができる。
【００２１】
シリコン接着層は、グリットブラスト処理された表面に、膜厚約0.0762mm(３mil)〜約0.1524mm(６mil)となるように８７０℃で直接溶射を行うことで形成することもできる。
【００２２】
上述したバリア層の場合と同様にして溶射を行うことにより、基体及び/またはボンド層と、バリア層と、の間に中間層を形成するか、あるいは、ボンド層とバリア層との間に中間層を形成することも可能である。上述したように、好適な中間層としては、ムライト、ムライト−バリウムストロンチウムアルミノ珪酸塩、ムライト−イットリウム珪酸塩、ムライト−カルシウムアルミノ珪酸塩等が挙げられる。
【００２３】
シリコンベースの基板上に所望の層を形成した後に、物品に対して熱処理を行う。この熱処理は、溶射構造の応力緩和、溶射されたパウダー状のパーティクル間の接着の促進や各層と基体との間の接着の促進、及び溶射した時点では実質的にアモルファス状態であるBSASバリア層(バリウムストロンチウムアルミノ珪酸塩バリア層)への重土長石型結晶構造の出現がそれぞれなされるように行われる。この熱処理ステップは、約１２５０℃で２４時間行われる。
本発明に係る物品の利点は、以下の実施例により明らかとされる。
【００２４】
実施例１
図１に、高濃度スチーム(high steam)、希薄燃焼条件とした同時燃焼環境下、室温と１２００℃との間での熱サイクルを２５０サイクル行うことで、加熱プレスされて0.75BaO・0.25SrO・Al2O3・２SiO2の組成を有するBSASのバルク試験体を、シリコンカーバイドと比較した結果を示す。その結果、シリコンカーバイドでは８mg／cm２の質量損失が生じたのに対し、BSASにおいては、質量損失は0.4mg／cm２以下と非常に小さいことが示された。この結果から、シリコンカーバイドはこの環境下では不安定であり、一方BSAS系は、これに比較して非常に安定であることがわかった。
【００２５】
実施例２
図２に、SiC組成物上にコーティングされて0.75BaO・0.25SrO・Al2O3・２SiO2の組成を有する厚さ0.1016mm(4mil)のBSASの断面の写真を示す。このBSASは、シリコンカーバイド組成物上に以下のパラメータに示される条件で溶射された。
【００２６】
【表１】
Figure 0003723719
【００２７】
コーティングに先立って、27ミクロンのアルミナパーティクルを用いて衝突速度150〜200mpsのグリットブラスト処理によって基板を清浄化した。図２に示されるように、本発明によって、優れたバリア層構造が得られている。
【００２８】
実施例３
図３に、シリコンカーバイド組成物上にシリコン層、厚さ0.1016±0.0254mm(４±１mil)のムライト／BSAS中間層、0.75BaO・0.25SrO・Al2O3・２SiO2バリア層がこの順に形成されたBSASの断面図を示す。以下のパラメータを用いてこのコーティングを形成した。
【００２９】
【表２】
Figure 0003723719
【００３０】
コーティングに先立って、27ミクロンのアルミナパーティクルを用いて衝突速度150〜200mpsのグリットブラスト処理によって基板を清浄化した。図３に示されるように、本発明によって、優れたバリア層構造が得られている。
【００３１】
実施例４
BSAS(バリウムストロンチウムアルミノ珪酸塩)ベースバリア層コーティング系のコーティングを、後述する中間層を有する各シリコンカーバイド組成物基板上に行った。このコーティングは、コーティングを行っていない炭化水素組成物(98-17A)とともに、ガスタービンエンジン内で生じる状態と同様の高圧、燃焼環境でのバーナーリグテストを行った。すべてのサンプルにおいてBSASコーティングの組成は、0.75BaO・0.25SrO・Al2O3・２SiO2とした。
BSASコーティングは、厚み0.1016±0.0254mm(４±１mil)で、中間層の厚みも0.1016±0.0254mm(４±１mil)として、後述する溶射により形成した。これらのコーティングは、ムライト上に形成されたBSAS(BSAS on mullite)(98-17C)、ムライトにBSASを加えてその上に形成されたBSAS(BSAS on mullite plus BSAS)(98-17B,98-17D)よりなる。試験条件は、テスト温度１２００℃で２００時間、燃料／空気比を0.053として６気圧下で行った。２００時間試験を行った結果、コーティングしていない基板では約６５mgの重量減少がみられ、一方コーティングを行ったものでは重量が増加指定が。このことは、重量変化から、コーティングが基板を保護したことを示している。これらの例では、接着コート(ボンディングコート)は用いなかった。溶射パラメータは以下の通りである。
【００３２】
【表３】
Figure 0003723719
【００３３】
図４に示されるように、本発明のバリア層により優れた効果が得られた。
【００３４】
実施例５
重土長石含有量の異なる0.75BaO・0.25SrO・Al2O3・２SiO2のBSAS系物質における熱膨張係数(coefficient of thermal expansion:CTE)を測定した。重土長石成分は、BSASのホットプレス試験片(hot press coupons)のｘ線解析によって測定された。熱膨張係数に対しての重土長石成分の影響は以下のとおりであった。
【００３５】
【表４】
Figure 0003723719
【００３６】
本発明は、その趣旨及び本質的特徴を逸脱することなく上述した形態とは異なる形態でも実施可能である。従って、上述の実施形態は、単に例示的なものと解すべきものであり、本発明の特許請求の範囲に記載された範囲を何ら制限するものではない。等価とみなされる範囲内の変更は、すべて特許請求の範囲に包含されるものである。
尚、本発明は、ＮＡＳＡとの契約No.NAS3-26385に基づいて米国政府の支援の元になされたものであり、米国政府もこの発明に相応の権利を有する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るバリア層の縮み及び/または質量損失に対しての安定性を示すグラフ。
【図２】炭化水素基板上の本発明に係るバリア層のサンプルの状態を示す顕微鏡写真。
【図３】本発明に係るバリア層の、シリコンカーバイド基板上の中間層に形成された状態でのサンプルの状態を示す顕微鏡写真。
【図４】本発明に係るバリア層の３種の化合物の、高温で水分が存在する状態での質量損失に対する効果を示すグラフ。

Claims (52)

  1. シリコンを含有する基板と、バリア層とを有する物品であって、
    前記バリア層は、前記基板に含まれるシリコンが水分が存在する環境下で Si(OH) ２ および／または SiO を生成する高温においてガス状 Si 化合物の形成を防ぐものであり、また 1.00 モル以下の BaO 、 1.00 モル以下の SrO 、 1.00 モルの Al 2 O 3 、及び 2.00 モルの SiO 2 を主成分として含有し、 BaO と SrO との合計は 1.00 モルである、ことを特徴とする物品。
  2. シリコンを含有する基板と、バリア層とを有する物品であって、
    前記バリア層は、前記基板に含まれるシリコンが水分が存在する環境下でSi(OH)）２および／またはSiOを生成する高温においてガス状Si化合物の形成を防ぐものであり、また1.00モル以下のBaO、1.00モル以下の第２のアルカリ土類金属酸化物、1.00モルのAl2O3、及び2.00モルのSiO2を主成分として含有し、BaOと第２のアルカリ土類金属との合計は1.00モルである、ことを特徴とする物品。
  3. 前記基板は、シリコン含有セラミックとシリコン含有金属合金とから選択されることを特徴とする請求項１または２記載の物品。
  4. 前記基板は、シリコンカーバイド、シリコン窒化物、及びシリコンアルミニウムオキシニトリドから選択されるシリコン含有セラミックであることを特徴とする請求項３記載の物品。
  5. 前記基板は、シリコンベースマトリクスと強化材粒子とを含有する組成物であることを特徴とする請求項３記載の物品。
  6. 前記基板は、シリコンカーバイド繊維強化シリコンカーバイドマトリクス、カーボン繊維強化シリコンカーバイドマトリクス、及びシリコンカーバイド繊維強化シリコンニトリドから選択されることを特徴とする請求項５記載の物品。
  7. 前記基板は、モリブデン−シリコン合金、ニオブシリコン合金、鉄−シリコン合金、及び鉄−ニッケル−シリコンベース合金のうちから選択されるシリコン含有金属合金であることを特徴とする請求項３記載の物品。
  8. 前記バリア層は、 0.10モル〜 0.90モルのBaOと 0.10モル〜 0.90モルのSrOとを含むことを特徴とする請求項１記載の物品。
  9. 前記バリア層は、 0.25モル〜 0.75モルのBaOと 0.25モル〜 0.75モルのSrOとを含むことを特徴とする請求項１記載の物品。
  10. 前記バリア層は、 0.75モルのBaOと 0.25モルのSrOとを含むことを特徴とする請求項１記載の物品。
  11. 前記バリア層は、 0.10モル〜 0.90モルのBaOと 0.10モル〜 0.90モルの第２のアルカリ土類金属酸化物とを含むことを特徴とする請求項２記載の物品。
  12. 前記バリア層は、 0.25モル〜 0.75モルのBaOと 0.25モル〜 0.75モルの第２のアルカリ土類金属酸化物とを含むことを特徴とする請求項２記載の物品。
  13. 前記バリア層は、 0.75モルのBaOと 0.25モルの第２のアルカリ土類金属酸化物とを含むことを特徴とする請求項２記載の物品。
  14. 前記バリア層の結晶構造は、少なくとも５０vol％が重土長石型結晶構造となっていることを特徴とする請求項１または２記載の物品。
  15. 前記バリア層の熱膨張係数は、前記基板の熱膨張係数の±3.0ppm／℃以内の値であることを特徴とする請求項１または２記載の物品。
  16. 前記バリア層の熱膨張係数は、前記基板の熱膨張係数の±0.5ppm／℃以内の値であることを特徴とする請求項１または２記載の物品。
  17. 前記バリア層は、その厚みが0.0127mm(0.0005インチ)以上であることを特徴とする請求項１または２記載の物品。
  18. 前記基板と前記バリア層との間に中間層が形成されていることを特徴とする請求項１または２記載の物品。
  19. 前記中間層は、SiO2、ムライト、ムライト−バリウムストロンチウムアルミノ珪酸塩、ムライト−イットリウム珪酸塩、ムライト−カルシウムアルミノ珪酸塩、及び金属シリコンから選択されることを特徴とする請求項１８記載の物品。
  20. 前記中間層は、ムライト、バリウムストロンチウムアルミノ珪酸塩、ムライト−イットリウム珪酸塩、カルシウムアルミノ珪酸塩及びこれらの混合物のうちから選択されることを特徴とする請求項１８記載の物品。
  21. 前記中間層は、ムライトを含むことを特徴とする請求項２０記載の物品。
  22. 前記中間層は、４０wt%〜８０wt%のムライト、２０〜６０wt%のバリウムストロンチウムアルミノ珪酸塩を含むことを特徴とする請求項２０記載の物品。
  23. 前記中間層は、４０wt%〜８０wt%のムライト、２０〜６０wt%のイットリウム珪酸塩を含むことを特徴とする請求項２０記載の物品。
  24. 前記中間層は、４０wt%〜８０wt%のムライト、２０〜６０wt%のカルシウムアルミノ珪酸塩を含むことを特徴とする請求項２０記載の物品。
  25. 前記基板と前記中間層との間にボンド層が形成されていることを特徴とする請求項１９記載の物品
  26. 前記ボンド層は、シリコンまたはSiO2であることを特徴とする請求項２５記載の物品。
  27. 前記中間層の厚みは、0.0127mm(0.5mil)以上であることを特徴とする請求項１９記載の物品。
  28. 前記バリア層の厚みは、 0.0762mm(３mil)〜 0.762mm(３０mil)であることを特徴とする請求項１または２記載の物品。
  29. 前記中間層の厚みは、 0.0762mm(３mil)〜 0.762mm(３０mil)であることを特徴とする請求項１８記載の物品。
  30. 前記中間層の厚みは、 0.0762mm(３mil)〜 0.127mm(５mil)であることを特徴とする請求項１８記載の物品。
  31. 前記ボンド層の厚みは、 0.0762mm(３mil)〜 0.1524mm(６mil)であることを特徴とする請求項２５記載の物品。
  32. 物品の製造方法であって、
    シリコン含有基板を用意するステップと、
    前記基板上にバリア層を形成するステップを有し、このバリア層は、前記基板に含まれるシリコンが水分が存在する環境下で Si(OH) ２ および／または SiO を生成する高温においてガス状 Si 化合物の形成を防ぐものであり、また 1.00 モル以下の BaO 、 1.00 モル以下の SrO 、 1.00 モルの Al 2 O 3 、及び 2.00 モルの SiO 2 を主成分として含有し、 BaO と SrO との合計は 1.00 モルである、ことを特徴とする方法。
  33. 物品の製造方法であって、
    シリコン含有基板を用意するステップと、
    前記基板上にバリア層を形成するステップを有し、このバリア層は、前記基板に含まれるシリコンが水分が存在する環境下でSi(OH)２および／またはSiOを生成する高温においてガス状Si化合物の形成を防ぐものであり、また1.00モル以下のBaO、1.00モル以下の第２のアルカリ土類金属酸化物、1.00モルのAl2O3、及び2.00モルのSiO2を主成分として含有し、BaOと第２のアルカリ土類金属との合計は1.00モルである、ことを特徴とする方法。
  34. 前記バリア層の熱膨張係数は、前記基板の熱膨張係数の±3.0ppm／℃以内の値であることを特徴とする請求項３２または３３記載の方法。
  35. 前記バリア層の熱膨張係数は、前記基板の熱膨張係数の±0.5ppm／℃以内の値であることを特徴とする請求項３２または３３記載の方法。
  36. 前記バリア層を形成する前に、前記基板に対してグリットブラスト処理を行うステップを更に有することを特徴とする請求項３２または３３記載の方法。
  37. 前記グリットブラスト処理は、粒子サイズが３０ミクロン以下のアルミナパーティクルを用いてなされることを特徴とする請求項３６記載の方法。
  38. 前記グリットブラスト処理は、150m/s〜200m/sで行われることを特徴とする請求項３７記載の方法。
  39. 前記バリア層は、溶射により形成されることを特徴とする請求項３２または３３記載の方法。
  40. 前記バリア層を形成する前に、前記基板を予め酸化してSiO2層を形成するステップを更に有することを特徴とする請求項３２または３３記載の方法。
  41. 前記基板を予め酸化してSiO2層を形成するステップは、８００℃〜１２００℃で１５分〜１００時間なされることを特徴とする請求項４０記載の方法。
  42. 前記物品を１２５０℃で２４時間熱処理するステップを更に有することを特徴とする請求項３２または３３記載の方法。
  43. 前記熱処理は、前記バリア層を形成を形成した後に行われることを特徴とする請求項４２記載の方法。
  44. 前記基板を８７０℃から１２００℃に維持して前記溶射を行うことを特徴とする請求項３９記載の方法。
  45. 前記バリア層の熱膨張係数は、前記基板の熱膨張係数の±3.0ppm／℃以内の値であることを特徴とする請求項４０記載の方法。
  46. 前記バリア層の熱膨張係数は、前記基板の熱膨張係数の±0.5ppm／℃以内の値であることを特徴とする請求項４０記載の方法。
  47. 前記バリア層は、 0.10モル〜 0.90モルのBaOと 0.10モル〜 0.90モルのSrOとを含むことを特徴とする請求項３２記載記載の方法。
  48. 前記バリア層は、 0.25モル〜 0.75モルのBaOと 0.25モル〜 0.75モルのSrOとを含むことを特徴とする請求項３２記載の方法。
  49. 前記バリア層は、0.75モルのBaOと0.25モルのSrOとを含むことを特徴とする請求項３２記載の方法。
  50. 前記バリア層は、0.10モル〜0.90モルのBaOと0.10モル〜0.90モルの第２のアルカリ土類金属酸化物とを含むことを特徴とする請求項３３記載の方法。
  51. 前記バリア層は、0.25モル〜0.75モルのBaOと0.25モル〜0.75モルの第２のアルカリ土類金属酸化物とを含むことを特徴とする請求項３３記載の方法。
  52. 前記バリア層は、0.75モルのBaOと0.25モルの第２のアルカリ土類金属酸化物とを含むことを特徴とする請求項３３記載の方法。
JP2000115745A 1999-04-15 2000-04-17 シリコンを含有する基板とバリア層とを有する物品及びその製造方法 Expired - Fee Related JP3723719B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US09/292349 1999-04-15
US09/292,349 US6410148B1 (en) 1999-04-15 1999-04-15 Silicon based substrate with environmental/ thermal barrier layer

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2000343642A JP2000343642A (ja) 2000-12-12
JP3723719B2 true JP3723719B2 (ja) 2005-12-07

Family

ID=23124275

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2000115745A Expired - Fee Related JP3723719B2 (ja) 1999-04-15 2000-04-17 シリコンを含有する基板とバリア層とを有する物品及びその製造方法

Country Status (5)

Country Link
US (2) US6410148B1 (ja)
EP (1) EP1044943B1 (ja)
JP (1) JP3723719B2 (ja)
KR (1) KR100390289B1 (ja)
DE (1) DE60021464T2 (ja)

Families Citing this family (201)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6485848B1 (en) * 1998-04-27 2002-11-26 General Electric Company Coated article and method of making
US6697130B2 (en) * 2001-01-16 2004-02-24 Visteon Global Technologies, Inc. Flexible led backlighting circuit
US6589677B1 (en) * 2001-12-19 2003-07-08 United Technologies Corporation Silicon based substrate with environmental/thermal barrier layer
US20030112931A1 (en) * 2001-12-19 2003-06-19 Wendell Brown Facilitating navigation of an interactive voice response (IVR) menu to establish a telephone connection
US6617036B2 (en) * 2001-12-19 2003-09-09 United Technologies Corporation Barrier layer for silicon containing substrate
US6617037B2 (en) 2001-12-19 2003-09-09 United Technologies Corporation Silicon based substrate with a CTE compatible layer on the substrate
US7226672B2 (en) * 2002-08-21 2007-06-05 United Technologies Corporation Turbine components with thermal barrier coatings
US6866897B2 (en) * 2002-09-30 2005-03-15 General Electric Company Method for manufacturing articles for high temperature use, and articles made therewith
DE10250037B3 (de) * 2002-10-25 2004-05-13 Forschungszentrum Jülich GmbH Schutzschichtsystem für nichtoxidische, Si-haltige Substrate und dessen Verwendung
US6699607B1 (en) 2002-10-30 2004-03-02 General Electric Company Thermal/environmental barrier coating for silicon-containing substrates
JP2004190977A (ja) * 2002-12-12 2004-07-08 Sony Corp 熱輸送装置、熱輸送装置の製造方法及び電子デバイス
US7226668B2 (en) 2002-12-12 2007-06-05 General Electric Company Thermal barrier coating containing reactive protective materials and method for preparing same
US6777093B1 (en) * 2003-05-22 2004-08-17 United Technologies Corporation Bond layer for silicon containing substrate
US7060360B2 (en) * 2003-05-22 2006-06-13 United Technologies Corporation Bond coat for silicon based substrates
US20040234782A1 (en) * 2003-05-22 2004-11-25 Sun Ellen Y. Environmental barrier coating for silicon based substrates
US7056574B2 (en) * 2003-05-22 2006-06-06 United Technologies Corporation Bond layer for silicon containing substrate
US7063894B2 (en) * 2003-05-22 2006-06-20 United Technologies Corporation Environmental barrier coating for silicon based substrates
US6902836B2 (en) * 2003-05-22 2005-06-07 United Technologies Corporation Environmental barrier coating for silicon based substrates such as silicon nitride
US6969555B2 (en) * 2003-10-06 2005-11-29 General Electric Company Aluminate coating for a silicon containing substrate
US6844075B1 (en) * 2003-10-06 2005-01-18 General Electric Company Environmental barrier coating
US7323247B2 (en) * 2003-11-21 2008-01-29 Honeywell International, Inc. Oxidation barrier coatings for silicon based ceramics
US20050129973A1 (en) * 2003-12-16 2005-06-16 Eaton Harry E. Velocity barrier layer for environmental barrier coatings
US7919187B2 (en) 2004-04-27 2011-04-05 General Electric Company Environmental barrier coating for silicon-containing substrates and process therefor
US7341797B2 (en) * 2004-04-27 2008-03-11 General Electric Company Environmental barrier coating for silicon-containing substrates and process therefor
US7140185B2 (en) * 2004-07-12 2006-11-28 United Technologies Corporation Heatshielded article
US20060014029A1 (en) * 2004-07-15 2006-01-19 General Electric Company Article including environmental barrier coating system, and method for making
US7422671B2 (en) * 2004-08-09 2008-09-09 United Technologies Corporation Non-line-of-sight process for coating complexed shaped structures
US20060027923A1 (en) 2004-08-09 2006-02-09 Tania Bhatia Coating process to enable electrophoretic deposition
US7666512B2 (en) 2004-08-09 2010-02-23 United Technologies Corporation Thermal resistant environmental barrier coating
US7364807B2 (en) * 2004-12-06 2008-04-29 General Electric Company Thermal barrier coating/environmental barrier coating system for a ceramic-matrix composite (CMC) article to improve high temperature capability
US7429424B2 (en) * 2004-12-06 2008-09-30 General Electric Company Sintering resistant, low conductivity, high stability thermal barrier coating/environmental barrier coating system for a ceramic-matrix composite (CMC) article to improve high temperature capability
US7476453B2 (en) * 2004-12-06 2009-01-13 General Electric Company Low thermal conductivity thermal barrier coating system and method therefor
US20060154093A1 (en) * 2005-01-13 2006-07-13 General Electric Company Multilayered environmental barrier coating and related articles and methods
US20060166019A1 (en) * 2005-01-21 2006-07-27 Irene Spitsberg Thermal/environmental barrier coating for silicon-comprising materials
US7326468B2 (en) * 2005-01-21 2008-02-05 General Electric Company Thermal/environmental barrier coating for silicon-comprising materials
US7115327B2 (en) 2005-01-21 2006-10-03 General Electric Company Thermal/environmental barrier coating with transition layer for silicon-comprising materials
US7449254B2 (en) * 2005-01-21 2008-11-11 General Electric Company Environmental barrier coating with physical barrier layer for silicon-comprising materials
US7115326B2 (en) * 2005-01-21 2006-10-03 General Electric Company Thermal/environmental barrier coating with transition layer for silicon-comprising materials
US20060211241A1 (en) * 2005-03-21 2006-09-21 Christine Govern Protective layer for barrier coating for silicon-containing substrate and process for preparing same
US20060210800A1 (en) * 2005-03-21 2006-09-21 Irene Spitsberg Environmental barrier layer for silcon-containing substrate and process for preparing same
JP4876422B2 (ja) * 2005-03-31 2012-02-15 大日本印刷株式会社 積層体
US7374818B2 (en) 2005-05-23 2008-05-20 United Technologies Corporation Coating system for silicon based substrates
US7442444B2 (en) * 2005-06-13 2008-10-28 General Electric Company Bond coat for silicon-containing substrate for EBC and processes for preparing same
US7354651B2 (en) * 2005-06-13 2008-04-08 General Electric Company Bond coat for corrosion resistant EBC for silicon-containing substrate and processes for preparing same
US20060280954A1 (en) * 2005-06-13 2006-12-14 Irene Spitsberg Corrosion resistant sealant for outer EBL of silicon-containing substrate and processes for preparing same
US20060280955A1 (en) * 2005-06-13 2006-12-14 Irene Spitsberg Corrosion resistant sealant for EBC of silicon-containing substrate and processes for preparing same
US7357994B2 (en) * 2005-06-14 2008-04-15 General Electric Company Thermal/environmental barrier coating system for silicon-containing materials
US20070292624A1 (en) * 2005-06-28 2007-12-20 General Electric Company Low conductivity, thermal barrier coating system for ceramic matrix composite (CMC) articles
US7579085B2 (en) 2005-08-19 2009-08-25 General Electric Company Coated silicon comprising material for protection against environmental corrosion
US7595114B2 (en) 2005-12-09 2009-09-29 General Electric Company Environmental barrier coating for a component and method for fabricating the same
DE102005062115A1 (de) * 2005-12-23 2007-06-28 Robert Bosch Gmbh Glüh-, Zünd- oder Heizelement für Verbrennungs- und/oder Heizvorrichtungen
US20070207330A1 (en) * 2006-03-01 2007-09-06 Sonia Tulyani Adhesive protective coatings, non-line of sight methods for their preparation, and coated articles
US9221720B2 (en) * 2006-03-01 2015-12-29 United Technologies Corporation Dense protective coatings, methods for their preparation and coated articles
US7704178B2 (en) 2006-07-05 2010-04-27 United Technologies Corporation Oil baffle for gas turbine fan drive gear system
US8667688B2 (en) 2006-07-05 2014-03-11 United Technologies Corporation Method of assembly for gas turbine fan drive gear system
US9976437B2 (en) 2006-08-15 2018-05-22 United Technologies Corporation Epicyclic gear train
US8753243B2 (en) 2006-08-15 2014-06-17 United Technologies Corporation Ring gear mounting arrangement with oil scavenge scheme
US8858388B2 (en) 2006-08-15 2014-10-14 United Technologies Corporation Gas turbine engine gear train
US10107231B2 (en) 2006-08-15 2018-10-23 United Technologies Corporation Gas turbine engine with geared architecture
WO2008045072A1 (en) 2006-10-12 2008-04-17 United Technologies Corporation Dual function cascade integrated variable area fan nozzle and thrust reverser
US7771159B2 (en) * 2006-10-16 2010-08-10 General Electric Company High temperature seals and high temperature sealing systems
US20080273961A1 (en) 2007-03-05 2008-11-06 Rosenkrans William E Flutter sensing and control system for a gas turbine engine
US7968217B2 (en) 2007-06-26 2011-06-28 General Electric Company Articles for high temperature service and methods for their manufacture
US11149650B2 (en) 2007-08-01 2021-10-19 Raytheon Technologies Corporation Turbine section of high bypass turbofan
US20150377123A1 (en) 2007-08-01 2015-12-31 United Technologies Corporation Turbine section of high bypass turbofan
US11486311B2 (en) 2007-08-01 2022-11-01 Raytheon Technologies Corporation Turbine section of high bypass turbofan
US11242805B2 (en) 2007-08-01 2022-02-08 Raytheon Technologies Corporation Turbine section of high bypass turbofan
US11346289B2 (en) 2007-08-01 2022-05-31 Raytheon Technologies Corporation Turbine section of high bypass turbofan
US9701415B2 (en) 2007-08-23 2017-07-11 United Technologies Corporation Gas turbine engine with axial movable fan variable area nozzle
US9957918B2 (en) 2007-08-28 2018-05-01 United Technologies Corporation Gas turbine engine front architecture
US20140157754A1 (en) 2007-09-21 2014-06-12 United Technologies Corporation Gas turbine engine compressor arrangement
US9365725B2 (en) * 2007-11-16 2016-06-14 General Electric Company Articles for high temperature service and methods for their manufacture
US20090155554A1 (en) * 2007-12-17 2009-06-18 General Electric Company Environmental barrier coating and related articles and methods
US20090186237A1 (en) 2008-01-18 2009-07-23 Rolls-Royce Corp. CMAS-Resistant Thermal Barrier Coatings
US8088699B2 (en) * 2008-02-13 2012-01-03 Saint-Gobain Centre De Recherches Et D'etudes Europeen BSAS powder
US20110020655A1 (en) * 2008-03-21 2011-01-27 Ihi Corporation Coating structure and surface processing method
US20090297718A1 (en) * 2008-05-29 2009-12-03 General Electric Company Methods of fabricating environmental barrier coatings for silicon based substrates
US20140174056A1 (en) 2008-06-02 2014-06-26 United Technologies Corporation Gas turbine engine with low stage count low pressure turbine
US20100015396A1 (en) * 2008-07-21 2010-01-21 General Electric Company Barrier coatings, methods of manufacture thereof and articles comprising the same
WO2010039699A2 (en) * 2008-09-30 2010-04-08 Rolls-Royce Corporation Coating including a rare earth silicate-based layer including a second phase
FR2940278B1 (fr) * 2008-12-24 2011-05-06 Snecma Propulsion Solide Barriere environnementale pour substrat refractaire contenant du silicium
US9885313B2 (en) 2009-03-17 2018-02-06 United Technologes Corporation Gas turbine engine bifurcation located fan variable area nozzle
US20110027467A1 (en) * 2009-07-31 2011-02-03 Glen Harold Kirby Methods of making environmental barrier coatings for high temperature ceramic components using sintering aids
US9056802B2 (en) 2009-07-31 2015-06-16 General Electric Company Methods for making environmental barrier coatings using sintering aids
US9212100B2 (en) 2009-07-31 2015-12-15 General Electric Company Environmental barrier coatings for high temperature ceramic components
US8986779B2 (en) * 2009-07-31 2015-03-24 General Electric Company Methods of improving surface roughness of an environmental barrier coating and components comprising environmental barrier coatings having improved surface roughness
US9073793B2 (en) * 2009-07-31 2015-07-07 General Electric Company Slurry compositions for making environmental barrier coatings and environmental barrier coatings comprising the same
US20110206937A1 (en) * 2010-02-25 2011-08-25 Schmidt Wayde R Composite article having a ceramic nanocomposite layer
US20110203281A1 (en) * 2010-02-25 2011-08-25 General Electric Company Article for high temperature service
US8470457B2 (en) * 2010-03-29 2013-06-25 United Technologies Corporation Composite article having a solid solution protective layer
EP2596068B1 (en) 2010-07-23 2015-09-02 Rolls-Royce Corporation Thermal barrier coatings including c mas-resistant thermal barrier coating layers
WO2012027442A1 (en) 2010-08-27 2012-03-01 Rolls-Royce Corporation Rare earth silicate environmental barrier coatings
US9995174B2 (en) 2010-10-12 2018-06-12 United Technologies Corporation Planetary gear system arrangement with auxiliary oil system
US9945036B2 (en) 2011-03-22 2018-04-17 General Electric Company Hot corrosion-resistant coatings and components protected therewith
US10605167B2 (en) 2011-04-15 2020-03-31 United Technologies Corporation Gas turbine engine front center body architecture
US9631558B2 (en) 2012-01-03 2017-04-25 United Technologies Corporation Geared architecture for high speed and small volume fan drive turbine
US9239012B2 (en) 2011-06-08 2016-01-19 United Technologies Corporation Flexible support structure for a geared architecture gas turbine engine
US9410608B2 (en) 2011-06-08 2016-08-09 United Technologies Corporation Flexible support structure for a geared architecture gas turbine engine
US9506422B2 (en) 2011-07-05 2016-11-29 United Technologies Corporation Efficient, low pressure ratio propulsor for gas turbine engines
US9909505B2 (en) 2011-07-05 2018-03-06 United Technologies Corporation Efficient, low pressure ratio propulsor for gas turbine engines
US20130025291A1 (en) 2011-07-29 2013-01-31 General Electric Company System and method for protection of high temperature machinery components
US9938898B2 (en) 2011-07-29 2018-04-10 United Technologies Corporation Geared turbofan bearing arrangement
US9416677B2 (en) 2012-01-10 2016-08-16 United Technologies Corporation Gas turbine engine forward bearing compartment architecture
US20130186058A1 (en) 2012-01-24 2013-07-25 William G. Sheridan Geared turbomachine fan and compressor rotation
US9169781B2 (en) 2012-01-31 2015-10-27 United Technologies Corporation Turbine engine gearbox
US8869508B2 (en) 2012-01-31 2014-10-28 United Technologies Corporation Gas turbine engine variable area fan nozzle control
US20130192251A1 (en) 2012-01-31 2013-08-01 Peter M. Munsell Buffer system that communicates buffer supply air to one or more portions of a gas turbine engine
US9394852B2 (en) 2012-01-31 2016-07-19 United Technologies Corporation Variable area fan nozzle with wall thickness distribution
US8935913B2 (en) 2012-01-31 2015-01-20 United Technologies Corporation Geared turbofan gas turbine engine architecture
US10724431B2 (en) 2012-01-31 2020-07-28 Raytheon Technologies Corporation Buffer system that communicates buffer supply air to one or more portions of a gas turbine engine
US10113434B2 (en) 2012-01-31 2018-10-30 United Technologies Corporation Turbine blade damper seal
US10415468B2 (en) 2012-01-31 2019-09-17 United Technologies Corporation Gas turbine engine buffer system
US20130192191A1 (en) 2012-01-31 2013-08-01 Frederick M. Schwarz Gas turbine engine with high speed low pressure turbine section and bearing support features
US9835052B2 (en) 2012-01-31 2017-12-05 United Technologies Corporation Gas turbine engine with high speed low pressure turbine section and bearing support features
US20150192070A1 (en) 2012-01-31 2015-07-09 United Technologies Corporation Geared turbofan gas turbine engine architecture
US8863491B2 (en) 2012-01-31 2014-10-21 United Technologies Corporation Gas turbine engine shaft bearing configuration
US10400629B2 (en) 2012-01-31 2019-09-03 United Technologies Corporation Gas turbine engine shaft bearing configuration
US20150345426A1 (en) 2012-01-31 2015-12-03 United Technologies Corporation Geared turbofan gas turbine engine architecture
US20130192198A1 (en) 2012-01-31 2013-08-01 Lisa I. Brilliant Compressor flowpath
US10287914B2 (en) 2012-01-31 2019-05-14 United Technologies Corporation Gas turbine engine with high speed low pressure turbine section and bearing support features
US20130192240A1 (en) 2012-01-31 2013-08-01 Peter M. Munsell Buffer system for a gas turbine engine
US10107191B2 (en) 2012-02-29 2018-10-23 United Technologies Corporation Geared gas turbine engine with reduced fan noise
US8790075B2 (en) 2012-03-30 2014-07-29 United Technologies Corporation Gas turbine engine geared architecture axial retention arrangement
US10125693B2 (en) 2012-04-02 2018-11-13 United Technologies Corporation Geared turbofan engine with power density range
US10138809B2 (en) 2012-04-02 2018-11-27 United Technologies Corporation Geared turbofan engine with a high ratio of thrust to turbine volume
US20150308351A1 (en) 2012-05-31 2015-10-29 United Technologies Corporation Fundamental gear system architecture
US8572943B1 (en) 2012-05-31 2013-11-05 United Technologies Corporation Fundamental gear system architecture
US20140050929A1 (en) 2012-08-15 2014-02-20 General Electric Company Cavitation-resistant environmental barrier coatings
US20140050930A1 (en) 2012-08-16 2014-02-20 General Electric Company Creep-resistant environmental barrier coatings
EP3456943B1 (en) 2012-09-28 2021-08-04 Raytheon Technologies Corporation Split-zone flow metering t-tube
BR112015007733B1 (pt) 2012-10-08 2022-05-03 United Technologies Corporation Motores de turbina a gás, e, método para distribuir peso entre um conjunto de propulsor e um conjunto de gerador de gás de um motor de turbina a gás
US11280271B2 (en) 2012-10-09 2022-03-22 Raytheon Technologies Corporation Operability geared turbofan engine including compressor section variable guide vanes
US9428650B2 (en) 2012-12-11 2016-08-30 General Electric Company Environmental barrier coatings and methods therefor
US9920653B2 (en) 2012-12-20 2018-03-20 United Technologies Corporation Low pressure ratio fan engine having a dimensional relationship between inlet and fan size
US9932933B2 (en) 2012-12-20 2018-04-03 United Technologies Corporation Low pressure ratio fan engine having a dimensional relationship between inlet and fan size
US10436120B2 (en) 2013-02-06 2019-10-08 United Technologies Corporation Exhaust nozzle for an elongated gear turbofan with high bypass ratio
WO2014158394A1 (en) 2013-03-12 2014-10-02 Rolls-Royce Corporation Method for fabricating multilayer environmental barrier coatings
WO2014158439A1 (en) 2013-03-12 2014-10-02 United Technologies Corporation Flexible coupling for geared turbine engine
US10605172B2 (en) 2013-03-14 2020-03-31 United Technologies Corporation Low noise turbine for geared gas turbine engine
US11719161B2 (en) 2013-03-14 2023-08-08 Raytheon Technologies Corporation Low noise turbine for geared gas turbine engine
US10724479B2 (en) 2013-03-15 2020-07-28 United Technologies Corporation Thrust efficient turbofan engine
US9885282B2 (en) 2013-03-15 2018-02-06 United Technologies Corporation Turbofan engine bearing and gearbox arrangement
US20160160664A1 (en) * 2013-03-15 2016-06-09 General Electric Company Recession resistant ceramic matrix composites and environmental barrier coatings
US9068275B2 (en) 2013-05-08 2015-06-30 General Electric Company Composite geometrical design for a grain starter in a bridgman investment casting process
US10287917B2 (en) 2013-05-09 2019-05-14 United Technologies Corporation Turbofan engine front section
US10316758B2 (en) 2013-05-09 2019-06-11 United Technologies Corporation Turbofan engine front section
US20140342168A1 (en) 2013-05-17 2014-11-20 General Electric Company Article for high temperature service
US9527109B2 (en) 2013-06-05 2016-12-27 General Electric Company Coating process and coated article
US10363584B2 (en) * 2013-08-30 2019-07-30 General Electric Company Methods for removing barrier coatings, bondcoat and oxide layers from ceramic matrix composites
WO2015088619A2 (en) 2013-10-16 2015-06-18 United Technologies Corporation Geared turbofan engine with targeted modular efficiency
US20150118444A1 (en) 2013-10-31 2015-04-30 General Electric Company Methods of manufacturing silica-forming articles having engineered surfaces to enhance resistance to creep sliding under high-temperature loading
US9561986B2 (en) 2013-10-31 2017-02-07 General Electric Company Silica-forming articles having engineered surfaces to enhance resistance to creep sliding under high-temperature loading
EP3063385A4 (en) 2013-11-01 2017-07-12 United Technologies Corporation Geared turbofan arrangement with core split power ratio
US10502163B2 (en) 2013-11-01 2019-12-10 United Technologies Corporation Geared turbofan arrangement with core split power ratio
US8869504B1 (en) 2013-11-22 2014-10-28 United Technologies Corporation Geared turbofan engine gearbox arrangement
US10022921B2 (en) 2013-12-19 2018-07-17 General Electric Company Turbine component patch delivery systems and methods
EP3108106B1 (en) 2014-02-19 2022-05-04 Raytheon Technologies Corporation Gas turbine engine airfoil
WO2015175052A2 (en) 2014-02-19 2015-11-19 United Technologies Corporation Gas turbine engine airfoil
EP3108119B1 (en) 2014-02-19 2023-10-04 RTX Corporation Turbofan engine with geared architecture and lpc blade airfoils
EP3108107B1 (en) 2014-02-19 2023-10-11 Raytheon Technologies Corporation Turbofan engine with geared architecture and lpc airfoils
US10605259B2 (en) 2014-02-19 2020-03-31 United Technologies Corporation Gas turbine engine airfoil
WO2015175051A2 (en) 2014-02-19 2015-11-19 United Technologies Corporation Gas turbine engine airfoil
EP3108118B1 (en) 2014-02-19 2019-09-18 United Technologies Corporation Gas turbine engine airfoil
US10570915B2 (en) 2014-02-19 2020-02-25 United Technologies Corporation Gas turbine engine airfoil
WO2015175056A2 (en) 2014-02-19 2015-11-19 United Technologies Corporation Gas turbine engine airfoil
EP3108104B1 (en) 2014-02-19 2019-06-12 United Technologies Corporation Gas turbine engine airfoil
WO2015175058A2 (en) 2014-02-19 2015-11-19 United Technologies Corporation Gas turbine engine airfoil
US10280843B2 (en) 2014-03-07 2019-05-07 United Technologies Corporation Geared turbofan with integral front support and carrier
US9938839B2 (en) 2014-03-14 2018-04-10 General Electric Company Articles having reduced expansion and hermetic environmental barrier coatings and methods for their manufacture
US9976490B2 (en) 2014-07-01 2018-05-22 United Technologies Corporation Geared gas turbine engine with oil deaerator
US20160215631A1 (en) 2014-07-29 2016-07-28 General Electric Company Article comprising environmental barrier coating
US10060289B2 (en) 2014-07-29 2018-08-28 United Technologies Corporation Geared gas turbine engine with oil deaerator and air removal
WO2016032789A1 (en) 2014-08-25 2016-03-03 General Electric Company Article for high temperature service
US10329205B2 (en) 2014-11-24 2019-06-25 Rolls-Royce Corporation Bond layer for silicon-containing substrates
US9915225B2 (en) 2015-02-06 2018-03-13 United Technologies Corporation Propulsion system arrangement for turbofan gas turbine engine
US9470093B2 (en) 2015-03-18 2016-10-18 United Technologies Corporation Turbofan arrangement with blade channel variations
US10371168B2 (en) 2015-04-07 2019-08-06 United Technologies Corporation Modal noise reduction for gas turbine engine
US9874145B2 (en) 2015-04-27 2018-01-23 United Technologies Corporation Lubrication system for gas turbine engines
US10458270B2 (en) 2015-06-23 2019-10-29 United Technologies Corporation Roller bearings for high ratio geared turbofan engine
US9969655B2 (en) 2015-10-08 2018-05-15 General Electric Company Articles with enhanced temperature capability
US10233773B2 (en) 2015-11-17 2019-03-19 United Technologies Corporation Monitoring system for non-ferrous metal particles
US10508562B2 (en) 2015-12-01 2019-12-17 United Technologies Corporation Geared turbofan with four star/planetary gear reduction
US20170167276A1 (en) 2015-12-09 2017-06-15 General Electric Company Article for high temperature service
CA3036969C (en) * 2016-09-16 2022-05-31 General Electric Company Silicon compositions containing boron and methods of forming the same
US10787391B2 (en) * 2016-09-16 2020-09-29 General Electric Company Silicon-based materials containing boron
US10214456B2 (en) 2016-09-16 2019-02-26 General Electric Company Silicon compositions containing boron and methods of forming the same
US20180106154A1 (en) 2016-10-13 2018-04-19 General Electric Company Contoured bondcoat for environmental barrier coatings and methods for making contoured bondcoats for environmental barrier coatings
US10669948B2 (en) 2017-01-03 2020-06-02 Raytheon Technologies Corporation Geared turbofan with non-epicyclic gear reduction system
EP3351522B1 (en) * 2017-01-18 2020-04-22 Rolls-Royce Corporation Bond layer for ceramic or ceramic matrix composite
US10738646B2 (en) 2017-06-12 2020-08-11 Raytheon Technologies Corporation Geared turbine engine with gear driving low pressure compressor and fan at common speed, and failsafe overspeed protection and shear section
US20190017177A1 (en) 2017-07-17 2019-01-17 Rolls-Royce Corporation Thermal barrier coatings for components in high-temperature mechanical systems
US11655543B2 (en) 2017-08-08 2023-05-23 Rolls-Royce Corporation CMAS-resistant barrier coatings
US10851656B2 (en) 2017-09-27 2020-12-01 Rolls-Royce Corporation Multilayer environmental barrier coating
US20210087695A1 (en) 2017-12-19 2021-03-25 Oerlikon Metco (Us) Inc. Erosion and cmas resistant coating for protecting ebc and cmc layers and thermal spray coating method
US10724445B2 (en) 2018-01-03 2020-07-28 Raytheon Technologies Corporation Method of assembly for fan drive gear system with rotating carrier
CN109111243B (zh) * 2018-09-20 2020-12-11 界首永恩机电科技有限公司 一种陶瓷工艺品表面喷施复合铜粉末的方法
US11092020B2 (en) 2018-10-18 2021-08-17 Raytheon Technologies Corporation Rotor assembly for gas turbine engines
US11781506B2 (en) 2020-06-03 2023-10-10 Rtx Corporation Splitter and guide vane arrangement for gas turbine engines
US11814968B2 (en) 2021-07-19 2023-11-14 Rtx Corporation Gas turbine engine with idle thrust ratio
US11754000B2 (en) 2021-07-19 2023-09-12 Rtx Corporation High and low spool configuration for a gas turbine engine
US11719245B2 (en) 2021-07-19 2023-08-08 Raytheon Technologies Corporation Compressor arrangement for a gas turbine engine

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5741596A (en) 1989-02-21 1998-04-21 Boeing North American, Inc. Coating for oxidation protection of metal surfaces
US5164266A (en) 1989-10-24 1992-11-17 Isuzu Ceramics Research Institute Co., Ltd. Slidable ceramic member and method of manufacturing same
US5284620A (en) * 1990-12-11 1994-02-08 Howmet Corporation Investment casting a titanium aluminide article having net or near-net shape
FR2671798B1 (fr) * 1991-01-21 1994-03-25 Propulsion Ste Europeenne Procede pour la protection anti-oxydation d'un materiau qui, au moins en surface, est constitue d'une ceramique formee par un compose du silicium, et materiau tel qu'obtenu par le procede.
US5214004A (en) 1992-06-04 1993-05-25 The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration Ceramic fiber reinforced glass-ceramic matrix composite
US5391404A (en) 1993-03-15 1995-02-21 The United States Of America As Represented By The National Aeronautics And Space Administration Plasma sprayed mullite coatings on silicon-base ceramics
US5985470A (en) 1998-03-16 1999-11-16 General Electric Company Thermal/environmental barrier coating system for silicon-based materials

Also Published As

Publication number Publication date
US6410148B1 (en) 2002-06-25
EP1044943B1 (en) 2005-07-27
KR100390289B1 (ko) 2003-07-04
US6387456B1 (en) 2002-05-14
DE60021464T2 (de) 2006-05-24
EP1044943A1 (en) 2000-10-18
KR20010014738A (ko) 2001-02-26
DE60021464D1 (de) 2005-09-01
JP2000343642A (ja) 2000-12-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3723719B2 (ja) シリコンを含有する基板とバリア層とを有する物品及びその製造方法
JP3866002B2 (ja) シリコンを含有する基板とイットリウムを含有するバリア層とを有する物品及びその製造方法
US6254935B1 (en) Method for applying a barrier layer to a silicon based substrate
JP3474516B2 (ja) シリコンを含有する基板とガス状シリコン化合物の形成を防ぐためのバリア層とを有する物品
KR100528130B1 (ko) 실리콘 함유 기판을 위한 배리어층
JP5383967B2 (ja) 環境腐食から保護する被覆ケイ素含有材料
US6517960B1 (en) Ceramic with zircon coating
JP2006327923A (ja) ケイ素ベースの基体のためのコーティング系
JP2005325014A (ja) 基体と上部障壁層とから成る物品およびその調製方法
JP2007051364A5 (ja)
JP3926738B2 (ja) 珪素を含有する基材を有してなる部品
Eaton Jr et al. Silicon based substrate with environmental/thermal barrier layer
Eaton Jr et al. Silicon based substrate with yttrium silicate environmental/thermal barrier layer

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20040628

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20040706

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20041006

A602 Written permission of extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602

Effective date: 20041012

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20050106

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20050201

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20050502

A602 Written permission of extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602

Effective date: 20050511

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20050801

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20050830

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20050916

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090922

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100922

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100922

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110922

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120922

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130922

Year of fee payment: 8

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees