JPH08334313A - 工作機械用の計測装置 - Google Patents

工作機械用の計測装置

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JPH08334313A
JPH08334313A JP8109862A JP10986296A JPH08334313A JP H08334313 A JPH08334313 A JP H08334313A JP 8109862 A JP8109862 A JP 8109862A JP 10986296 A JP10986296 A JP 10986296A JP H08334313 A JPH08334313 A JP H08334313A
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reflector
movable member
legs
measuring device
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Giddings and Lewis LLC
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 2点間の距離を正確に計測するための計測装
置を提供すること。 【解決手段】 本計測装置300は、ビームスプリッタ
ー320と、直線的経路302に沿うようレーザービー
ムを反射すべく配置された第1のリフレクター322と
を有するレーザー干渉計システム314を備えている。
レーザー干渉計システム314は、封止中空内部領域3
10を有するデッドパス除去セル308と協働する。中
空内部領域310は、リフレクター322側の中空領域
310の一端に配置された少なくとも1つの窓312に
より封止されている。中空内部領域310の他側には第
2のリフレクター328が配置されており、このリフレ
クター328はレーザービームを反射して経路302に
沿って戻るように向けられている。従って、中空内部領
域310内のガスの体積ないしは量は一定に維持され、
第1と第2のリフレクター322,328間の距離の計
測精度が向上される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、一般的には、工作
機械のような機械装置に用いられる計測装置に関し、特
に、レーザー干渉計と、デッドパス・エラー(deadpath
error)を減じるための封止セル(sealed cell)とを
具備する計測装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】工作機械等の多くの機械装置において、
一の要素の他の要素に対する相対的移動距離を正確に計
測することは重要である。例えば、工作機械において、
工作物の機械加工を所定の許容限界内で行うためには、
工作物が取り付けられるベースに対するスピンドルの相
対的移動距離を正確に計測することは重要であることが
多い。他の工作機械は、切削工具と工作物とを互いに対
して移動させるために、複数の伸縮可能な脚を用いてい
る。この型式の機械装置では、工作物を正確に切削する
のに各脚の伸張量又は収縮量が精度よくモニターされる
ことが必要である。
【0003】このため、従来から種々の計測装置が色々
な機械装置に組み込まれており、移動距離をモニター
し、コントローラーに出力信号を発し、もって切削工具
と工作物との間の相対的移動距離を正確に制御するよう
にしている。
【0004】或る型式の計測装置は固定グリッドを用い
ており、このグリッドは、当該グリッドに沿って等間隔
に配列された標点を有するものである。また、感知ヘッ
ドが機械装置の可動要素に取り付けられており、この感
知ヘッドがグリッドに沿って移動して標点を感知し、固
定グリッドに対する可動要素の位置を示す信号を形成す
る。
【0005】レーザー干渉計を用いることにより、より
高精度の計測が可能となる。一の要素の他の要素に対す
る動きは次のようにして計測される。まず、各要素上に
鏡を取り付ける。次いで、レーザー光源からレーザービ
ームを発し、このレーザービームを一方の鏡の近傍で2
つの成分に分割する。一方の成分はこの直後に光検出器
の方向に反射され、もう一方の成分は他の可動要素に配
置された第2の鏡へと反射される。この第2の鏡は光を
第1の鏡へと反射し、そこで、2つのレーザービーム成
分は再び重ね合わされて光検出器に反射される。光検出
器は、第2の鏡が第1の鏡に対して移動されて2つのレ
ーザービーム成分の位相が一致したりずれたりした場合
の、レーザービームの2つの成分間の干渉による縞を読
み取る。この縞は2つの鏡の間の距離の変化を示し、従
って、縞をカウントすることにより、要素間の相対動作
を測定することができる。
【0006】一般的に、レーザー干渉計は、2本の光線
を干渉させることにより相対的変位を形成するものであ
る。これらの光線は、単色光線が2本の別個独立の光線
に分割された場合に形成される。これらの光線は異なる
経路を通って別個独立の鏡に伝えられ、そこで、光線は
光検出器の方向に反射され、再度重ね合わされる。
【0007】重ね合わされた光線の強さは、これらの光
線間の位相差に依存する。光線の位相が一致している場
合、それらの強さは足し合わされ、光線の位相が180
度ずれている場合、それらの強さは互いに減じられる。
このように、一方の鏡が1/4波長、すなわち位相で9
0度だけ移動した場合、往復の差は180度となる。従
って、一方の鏡が他方の鏡に対して1/2波長だけ移動
すると、再び重ね合わされた光線は1位相サイクル分だ
けずれていることとなる。典型的な機械装置において、
一方の鏡はビームスプリッターに対して静止され、基準
経路ないしはリファレンスパスを提供する。従って、明
確な干渉(縞)の全ては、他方の鏡の変位により引き起
こされたものとすることができる。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】相対的な距離を計測す
るためにレーザー干渉計を使用した場合に生ずる問題点
の一つは、空気中における光の波長が温度、圧力及び湿
度により変動するという点である。従って、レーザー干
渉計は、動きが全くない場合でも、相対移動を示すこと
がある。この問題は、多くの機械装置での用例において
は、最小計測経路長さが相当に大きくされ得るという事
実により、看過されている。言い換えるならば、機械装
置の形状ないしは構成では、その機械装置を使用する前
にその都度、同じ開始基準点で干渉計を効果的に校正
(キャリブレート)すべく両方の鏡をビームスプリッタ
ーの近傍に移動させることは、不可能である。もし、こ
れが可能であるならば、温度や圧力、湿度のような変量
の関数として波長の差を近似化するために自動補償装置
を用いることができる。また、可動鏡とビームスプリッ
ターとの間の最小距離、いわゆるデッドパスが正確に分
っている場合も、波長の変化を推定するのに自動補償装
置を用いることができる。しかし、多くの場合、自動補
償装置は、光の波長に影響を与える変量を制御すること
により達成できる程度まで十分な計測精度を提供するも
のではない。
【0009】このように、相対的に移動する要素間の距
離を正確に計測することができるよう、光の波長に影響
を与える変量を制御する経済的な手段を提供することが
有効である。
【0010】
【課題を解決するための手段及び作用効果】本発明は、
間に直線的経路を画成する2つの点の間の距離を計測す
るための装置と方法を特徴としている。この装置は、前
記直線的経路に沿って配置された封止中空内部領域を有
するデッドパス除去セル(deadpath elimination cel
l)を備えている。中空内部領域は、その一端に配置さ
れた少なくとも1つの窓により封止されている。
【0011】レーザー干渉計システムは、デッドパス除
去セルと共働し、ビームスプリッターと第1のリフレク
ターとを備えている。第1のリフレクターは、レーザー
ビームを直線的経路に沿って反射し封止中空内部領域を
通すように配置されている。また、封止中空内部領域の
反対側には第2のリフレクターが配置されており、直線
的経路に沿ってレーザービームを反射し戻すようになっ
ている。第1のリフレクターと第2のリフレクターとの
間の距離が変動した場合、デッドパス除去セルとレーザ
ー干渉計システムとは共働して前記2点の間の距離を正
確に計測する。
【0012】この計測装置の特定の適応形態では、デッ
ドパス除去セルとレーザー干渉計システムとは工作機械
等の機械装置に組み込まれる。その環境において、計測
装置は、第1のリフレクターが取り付けられる第1の部
材と、第2のリフレクターが取り付けられる第2の部材
とを備え、その第1と第2の部材は直線的経路に沿って
互いに対して往復動される。一の実施形態において、こ
れらの可動部材は入れ子式ないしはテレスコーピック式
であり、第1の可動部材はデッドパス除去セルを備え
る。テレスコーピック式部材は、複数の脚を有する工作
機械の1本の脚として用いられることができ、ボールね
じを介して互いに対して往復動され得る。
【0013】本発明の他の観点によれば、第1の部材
は、封止されたデッドパス除去セルを備え、第2のテレ
スコーピック式部材は膨張可能なブラダー(袋体)と連
通した状態で封止されている。従って、第1と第2の脚
部材が互いに対して往復動した場合、同一のガスの供給
が維持されると共に、そのガスはブラダーと第2の脚部
材の内部との間で自由に移動でき、そこを通って進行す
る光波の波長に影響を与える変量を更に制御できるよう
になっている。
【0014】
【発明の実施の形態】図1及び図2を参照すると、第1
の実施形態に係る工作機械は、サポートないしはプラッ
トホームの性質を有するベース10と、このベース10
から離隔配置されたスピンドルサポートないしはスピン
ドルプラットホーム11とを備えている。スピンドルプ
ラットホーム11にはスピンドルヘッド12が取り付け
られており、回転する切削工具13を受け入れるように
なっている。また、スピンドルプラットホーム11に
は、符号14で総括的に示されたスピンドル駆動装置が
取り付けられており、この駆動装置14は、普通の方法
でスピンドルヘッド12にパワートレーン(動力伝達系
列)により接続されたモーター15を含んでいる。ベー
スプラットホーム10は工作物サポート16を支持し、
この工作物サポート16は部分17により表された工作
物を受容する。
【0015】互いに離隔されたプラットホーム10とプ
ラットホーム11とは、6本の伸縮可能な動力式脚(po
wered legs)20〜25により互いに結合されている。
各脚は、その下端で、ベースプラットホーム10にボー
ル・ソケット式ジョイント26により枢動可能に取り付
けられている。同様に、脚20〜25の上端の各々は、
第2のボール・ソケット式ジョイント27により、スピ
ンドルプラットホーム11に枢動可能に取り付けられて
いる。
【0016】脚20〜25は、例えば、入れ子式ないし
はテレスコーピック式の上部部分20aと下部部分20
bとから形成され得る。テレスコーピック式の部分20
a,20bは流体圧式シリンダーのピストンロッド及び
シリンダーから成るものとすることができる。このよう
な脚の長さは、各シリンダーの各端部における作動流体
の容量を制御することにより、調節できる。
【0017】ベースサポート10に対するスピンドルサ
ポート11の位置、ひいては、工作物17に対する切削
工具13の位置は、6本の脚20〜25のそれぞれの長
さを同時に操作することによって調節され得る。動作範
囲(envelope of motion)内において、切削工具13
は、立方体形の工作物の5つの露出面すべてに当接され
得る。ベースサポート10上のジョイント26の開き
度、スピンドルサポート11上の第2のジョイント27
の開き度、脚20〜25の最小長さと最大長さ、脚20
〜25の各々の直線運動の全範囲、及び、安定化の目的
で共通平面に幾つかの脚を配置しないようにする必要性
が、5つの露出面に対する動作範囲の制約となるもので
ある。動作範囲内で、この構成は、三次元で外形の加工
を可能とすると共に、点から点への直線的な加工を可能
とする。
【0018】各脚20〜25の長さを同時操作すること
により、6軸全てにおいての動作が可能となる。すなわ
ち、3本の直交軸のそれぞれに沿う直線方向の動きと、
これらの3軸のそれぞれを中心とした回転運動が得られ
る。
【0019】図1及び図2の実施形態において、6本の
脚は、3つの対ができるように配列されるよう考えられ
ている。すなわち、脚20,21が1つの対をなし、脚
22,23が別の対をなし、更に脚24,25がもう1
つの対をなす。各対の脚同士は、互いに対して直角とな
るように配列されていることに注意すべきである。脚2
0,21の対におけるジョイント26は、互いに近接し
て配置されている。また、例えば隣合う脚20,25の
ジョイント27も互いに近接している。その効果は、下
部のジョイント26が三角形を実質的に形成し、上部の
ジョイント27も三角形を実質的に形成するというもの
である。これらの2つの三角形と6本の脚は、8面体の
辺を実質的に画成する。図1及び図2に示すように、下
部ボールジョイント26により囲まれたベースプラット
ホーム10の面積と、上部ボールジョイント27により
囲まれたスピンドルプラットホーム11の面積は、ほぼ
同じである。これは、幾つかの理由から有効である。す
なわち、第1に、このような配列は機械装置の構造的剛
性を最大とする。第2に、機械装置の据付け面積(foot
print)が、取り扱われるべき工作物の特定の立方体寸
法に対して最小となる。また、幾つかの脚及びサポート
が共通平面に配置され、それにより、不安定となり得る
状態を生じさせる前に、工作物に対するより大きな包囲
面(envelope)表面積を調整することができる。
【0020】図3〜図5を参照すると、第2の実施形態
は、ベースサポートないしはベースプラットホーム30
と、スピンドルサポート31とを備えており、スピンド
ルサポート31には、切削工具33を受け入れるように
なっているスピンドルヘッド32が装着されている。ス
ピンドルヘッド32は、スピンドル駆動装置34により
回転される。ベースサポート30とスピンドルサポート
31とは、6本の伸縮可能な脚40〜45により連結さ
れている。脚は、例えば脚40と脚41との対のよう
に、3つの対に配列されており、各対の脚同士は、上記
と同様に互いに直角に取り付けられるよう交差してい
る。脚40〜45はまた、テレスコーピック式の上部要
素40aと下部要素40bとから形成されている。
【0021】脚40〜45は、その下端に近い第1の点
で、符号50で総括的に示されたジョイントによりベー
スサポート30に連結されている。ジョイント50は、
ベースサポート30から突出するシャフト52の軸線を
中心として回転できるように取り付けられたクレビス5
1を含んでいる。典型的なトラニオン53が各脚の下部
要素40b〜45bと係合しており、クレビス51に回
転可能に取り付けられている。このように、ジョイント
50は運動の自由度が2であることが分るであろう。
【0022】テレスコーピック式の脚の上部部分40a
〜45aは、同様に、ジョイント54により、脚の長手
方向に沿う第2の点でスピンドルサポート31に連結さ
れている。ジョイント54も、スピンドルサポート31
の下面から下方に延びるシャフト56に回転可能に取り
付けられたクレビス55と、クレビス55に上部部分4
0a〜45bを支持するトラニオン57とから構成され
ている。特に図5から分るように、ジョイント50,5
4と、サポート30,31に対するジョイント50,5
4の取付部は、2つのサポートの各々における6角形の
角部を定める。図3〜図5から明らかなように、ベース
サポート30と6つの下部ジョイント50との連結部に
より囲まれるベースサポート30の面積は、スピンドル
サポート31と6つの上部ジョイント54との連結部に
より囲まれるスピンドルサポート31の面積と実質的に
同じである。
【0023】ジョイント50,54のシャフト52,5
6は、どのような方向にでも突出できるよう、対応のサ
ポートに取り付けられ得る。第1の実施形態におけるボ
ールジョイントは第2の実施形態にも使用でき、また、
この第2の実施形態のトラニオンジョイントも第1の実
施形態に用いることができる。
【0024】ベースサポート30には、部品59で例示
された工作物を保持する工作物サポート58が取り付け
られている。
【0025】また、脚40〜45は、上端部分40a〜
45aをなすピストンロッドと、下端部分40b〜45
bをなすシリンダー部分とを有する流体圧シリンダーと
して形成され得る。ピストンロッドはシリンダー内で回
転できるので、各ジョイント50,54に与えられる動
作は2自由度で十分である。脚を形成するアクチュエー
ターの上部部分と下部部分とが捩り動作をすることがで
きない場合、流体圧式シリンダー以外のアクチュエータ
ーが伸縮のために用いられ、回転運動についての第3の
自由度が上部ジョイント54又は下部ジョイント50に
必要とされる。図14〜図17の脚においては、運動の
付加的な自由度がジョイントに必要とされ、或はまた、
互いに対するヨークアセンブリーのわずかな角度的変位
により生ずるテレスコーピック式部分の相対的回転運動
に起因する線形的な不正確さのために補償が与えられな
ければならない。脚のためのアクチュエーターとして流
体圧式シリンダーを用いる代りに、直線運動を得るため
のあらゆる手段、例えば、各脚の上部部分を親ねじとし
て形成すると共に脚の下部部分に回転ナットを取り付け
る(上下逆にしたものも含む)等の手段を用いることが
できる。更に、別の手段としては、リニヤモーター、循
環式ボールねじ駆動装置、チェーン駆動装置等がある。
【0026】図6に示す第3の実施形態において、工具
及び工作物のいずれも、脚構造体により規定される包囲
面(envelpoe)内に配置されていない。工作物60は工
作物サポート61に取り付けられ、工作物サポート61
は、立上り部63に取着されたベース62に取り付けら
れている。立上り部63の一端には、第2の実施形態と
同様に、6本の脚64〜69がトラニオンジョイント7
0により連結されている。脚64〜69の他端はスピン
ドルサポート72にトラニオンジョイント71により連
結されている。スピンドルサポート72は、工具74が
取り付けられるようになっているスピンドル73を支持
しており、スピンドル73はスピンドル駆動装置75に
より駆動される。工具74は、脚64〜69により画成
される包囲面から突出している。この第3の実施形態
は、その他の点では、第1の実施形態と同様である。
【0027】第3の実施形態において、工作物サポート
61は、工作物60が工具74に対して移動するよう
に、ベース62により支持された台に取り付けられると
よい。工作物60が立上り部63に取り付けられていな
くとも、立上りサポート63に対する工作物の位置は、
如何なる時でも、固定されており、或は少なくとも知る
ことができる。
【0028】また、スピンドルと工作物の他の配置構
成、例えば、スピンドルの上方に工作物を取り付ける構
成や、図6の第3実施形態と同様な立上り部63を工作
物の長手方向に沿って移動できるよう台に取り付ける構
成等を用いることができる。
【0029】脚は、サポートないしはプラットホームを
互いに対して相対的に位置決めするために、座標系態様
で移動されなければならない。この座標系態様での動作
は、ベースプラットホームに対するプラットホームの所
望の位置、ひいては工作物に対する切削工具の所望の位
置を得るために、各脚についての位置信号を発するコン
ピューター制御により行われるのが好適である。適当な
制御方式としては図8及び図9に示すようなものがあ
る。図8では、脚20〜25のように流体圧式シリンダ
ーの形態をとる脚はサーボバルブ100により制御され
る。このサーボバルブ100はピストンの各側における
シリンダー内の作動流体の体積を制御し、それによって
シリンダー内のピストンロッドの位置を制御する。コン
ピューター101はライン102に出力位置コマンドを
発する。その位置コマンドは、加算回路(summing circ
uit)において、励振・復調器(exciter/demodulator)
105から導かれたライン104のフィードバック位置
信号と比較される。励振・復調器105は磁気スケール
107に沿って移動する検知ヘッド106からの信号を
受ける。検知ヘッド106は各ピストンロッド20a〜
25aに連結されており、ピストンロッドの位置変化
が、流体圧式シリンダー20b〜25bに対して既知の
位置にある(固定又は移動のいずれの場合もある)磁気
スケール107に沿う検知ヘッド106の位置変化に反
映されるようにしている。加算回路103はライン10
8に位置誤差信号を発し、この信号は積分回路網109
に入力される。積分回路網109はライン110に速度
コマンドを出力する。速度コマンドは、励振・復調器1
05からライン111に導かれた速度フィードバック信
号と比較され、これらの2つの信号は加算回路112に
送られる。そして、加算回路112は速度誤差を示す出
力信号を発する。この速度誤差信号は補償回路網(comp
ensation network)113に送られ、そこで位相ずれ補
償がなされ、その結果、補償された信号が増幅器114
に送られてサーボバルブ100を制御する。
【0030】コンピューターから導かれる同様な制御ル
ープは6本の脚20〜25のそれぞれについて与えら
れ、また、コンピューター101は、6本の脚のそれぞ
れについての所望の位置のための出力位置コマンドを発
し、工作物に対する切削工具の特定の限定位置を得るよ
うにしている。
【0031】図9の制御構成は、図8のものと同様であ
るが、親ねじ・ナット構成を回転させるモーター120
に関して示されている。励振・復調器122を通して位
置フィードバック信号を送るために、エンコーダーない
しは分解器121がモーター120に接続されており、
その位置信号は加算接合点123でコンピューター10
1からの位置コマンドと比較され、積分回路網124に
送られる位置誤差信号が発せられる。そして、積分回路
網124は速度コマンドを発し、この速度コマンドは、
加算接合点125にて、モーター120に接続された回
転計126からの速度位置信号と比較される。補償回路
網127は、モータードライブに接続された増幅器12
8に適当な信号を発するよう機能する。これもまた、機
械装置における6本の脚のそれぞれについて同様なルー
プが設けられている。
【0032】図8及び図9の制御方式は閉ループ制御を
用いている。しかしながら、ステッピングモーターを用
いることにより、閉ループ制御を持たせる必要はなくな
る。ステッピングモーターを用いた制御システムの一例
を図10に示す。
【0033】各脚に直接接続されたセンサー又は脚のア
クチュエーターに接続されたセンサーにより、位置信号
が与えられる。しかし、より高精度な手段は個々独立の
計器アーム(instrument arm)を用いることである。こ
のような装置は図7に示されている。
【0034】図7において、図3〜図6に示される実施
形態における6本の脚付きの工作機械は、動力式脚4
4,45にそれぞれ関連された個々独立の計器アーム1
30,131を有している。計器アーム130,131
はそれぞれ直線的に伸縮可能であり、その下端でトラニ
オンジョイント132によりベースプラットホーム30
に連結され、また、その上端でトラニオンジョイント1
33によりスピンドルプラットホーム31に連結されて
いる。トラニオンジョイント132,133は、プラッ
トホーム30,31に連結された脚44,45に用いら
れたジョイント50,54の構成及び作用と同じであ
る。
【0035】計器アーム130,131は、プラットホ
ームの相対位置を検知することのみを目的として用いら
れる。計器アーム130,131は、磁気スケールに沿
って移動する検知ヘッドを有し、長さ、ひいては位置に
関する所望のフィードバック信号を提供できる。他の形
態の計器アームも使用できる。個々独立の計器アームを
用いる利点は、脚及びジョイントに生ずる負荷によるた
わみが切削工具の位置の誤差に変換されない点にある。
比較的に小さく計量であり、自身の重量のみを支持する
計器アームは、動力式脚が受けるのと同じ力とたわみを
受けることはない。
【0036】計器アーム130,131のみが図示され
ているが、サポートないしはプラットホームの互いに対
する位置についての明確な信号セットを形成するために
は、最低、6本の計器アームが必要である。
【0037】図11に示す第4の実施形態において、プ
ラットホームの一方(第1のプラットホーム)は持ち上
げられており、第2のプラットホームは第1のプラット
ホームから6本の脚により吊り下げられている。より詳
細には、サポート構造は、部材141の三角骨組により
互いに結合された3本の垂直支柱140から形成されて
いる。部材141の三角骨組には、スピンドル143が
工作物プラットホーム144に向かって下向きとなる状
態でスピンドルハウジング142が支持されている。工
作物プラットホーム144は6本の伸縮可能な動力式脚
145〜150に吊り下げられており、これらの脚14
5〜150は、図3、図4及び図5の第2実施形態にお
ける脚40〜45の配列と同様に、交差して対をなした
状態で配列されている。工作物プラットホーム144に
は、工作物(図示せず)を有するパレットが普通の方法
で取り付けられてもよい。脚145〜150は、第2の
実施形態と同様に、その上端で部材141に枢動可能に
連結され、下端で工作物プラットホーム144に枢動可
能に連結されている。
【0038】6本の脚にプラットホームを吊り下げる利
点の一つは、プラットホームを支持する能力を動力式脚
から喪失させる総電力の異常の場合に、工作物プラット
ホーム144はスピンドルから離れる方向に移動する点
にある。これは、部品間の衝突がないので、スピンド
ル、工具及び工作物のいずれにも損傷を与えない。これ
に対して、第1及び第2の実施形態に示される配列で
は、動力式脚がプラットホームを支持する能力を失う総
電力の異常により、スピンドルは工作物又は工作物サポ
ートに突っ込んでしまう。
【0039】スピンドルプラットホームの下方に工作物
プラットホームを吊支する代りに、工作物プラットホー
ムを、吊り下げられたスピンドルプラットホームの上方
に配置してもよい。かかる場合、切屑は工作物から自然
に落下するであろう。
【0040】図12の第5実施形態も、サポートから工
作物プラットホームを吊り下げるものである。更に、6
本の動力式脚のそれぞれに関連された計器アームと、脚
及び計器アームの端部をプラットホーム及びサポートに
連結するスポーク状の連結システムとが設けられてい
る。
【0041】より詳細には、図12の第5実施形態は3
本の垂直支柱155を有しており、これらはその底部で
3本のI形ビーム156(明瞭化のために2本のビーム
が短縮した形で示されている)により連結されている。
各支柱155の頂部は支持プレート157を支持してお
り、この支持プレート157上にはコイルばね158の
ような防振部材が載置されている。スピンドルハウジン
グ159は、I形ビームの形態の放射方向に延びる3本
のサポートアーム160を有している。サポートアーム
160の外側端部には支持プレート161が取り付けら
れており、この支持プレート161は対応のコイルばね
158上に載置されている。
【0042】スピンドルヘッド159はリングプラット
ホーム162の頂部に取り付けられており、リングプラ
ットホーム162からは2組のスポーク163,164
が突設されている。スポーク163,164は、リング
プラットホーム162の周に沿って交互となる2種類の
長さを有しており、また、これらのスポーク163,1
64には、プラットホーム162に6本の動力式脚16
6の上端を連結するユニバーサルジョイント165が取
り付けられている。動力式脚166の下端は、スポーク
168,169の端部に取り付けられたユニバーサルジ
ョイント167に連結されており、スポーク168,1
69はリング状工作物プラットホーム170から放射状
に突出している。スポーク163,164,168,1
69は、第2及び第4の実施形態と同様、動力式脚16
6の交差配列が可能なように、異なる長さとなってい
る。
【0043】リングとスポークの同様な配列が、6本の
計器アーム171の端部にユニバーサルジョイントを取
り付けるために、用いられている。すなわち、第2のリ
ング構造体172がリングサポート162の下方に、ス
ピンドルの端部の位置で且つスピンドル173の周りに
配置されている。それぞれ異なる長さを有する一連の放
射状に突出するスポーク174,175がリング172
から突出している。下側の工作物プラットホーム170
は第2のリング176を有しており、そこから、2組の
スポーク177,178が計器アーム171の下端でユ
ニバーサルジョイントを取り付けるよう突出している。
計器アーム171は、動力式脚166と同様な態様で、
交差した対の状態で配列されている。
【0044】プラットホームから突出するスポークの使
用によって、動力式脚及び計器アームはスピンドルヘッ
ド及び工作物サポートの中心軸線の近傍から分離され、
これにより、工作物プラットポーム上に工作物を装着す
るのが容易となる。これは図12に示されており、この
図12において、想像線は、工作機械により受け入れら
れる立方体形の工作物を表している。また、そのサイズ
の工作物の出し入れを可能とするように動力式脚166
と計器アーム171の間を通る開口部が形成されている
ことに注意されたい。
【0045】リング構造体172とリング176は、リ
ングプラットホーム162と工作物プラットホーム17
0から構造的に独立したものとされ、また、計器アーム
171は、動力式脚166により引き起こされるプラッ
トホームのたわみから構造的に分離される。
【0046】図13に示す第6の実施形態では、前述の
他の実施形態とは異なる態様で6本の脚のうちの3本が
配列されている。より詳細には、3本の脚は、上部プラ
ットホームを含む共通平面内又はその近傍に取り付けら
れている。図13に示すように、ほぼ三角形状のベース
180の各コーナーには三角柱181が取り付けられて
いる。3本の動力式脚182,183,184は、各柱
181の上端の近傍に配置されたユニバーサルジョイン
トから延びている。これらの脚182,183,184
の他端は、スピンドルヘッド186が装着された三角形
のスピンドルプラットホーム185のコーナーにて、ユ
ニバーサルジョイントに取り付けられている。残りの3
本の動力式脚187,188,189は、ベース180
のユニバーサルジョイントから三角形のスピンドルプラ
ットホーム185の3つのコーナーへと上方に延びてい
る。ベース180上には、3本の脚187,188,1
89による包囲面の内側で、工作物プラットホーム19
0が載置されている。
【0047】図13の実施形態は他の実施形態と同様に
機能するものであり、脚が2つのプラットホーム間で延
びている限りにおいては、脚が2つの平面間で延びてい
る必要がないことを示している。図13の実施形態にお
ける6本の脚は、ベース180とその柱181とにより
表される工作物プラットホームからスピンドルプラット
ホーム185まで延びている。
【0048】図14〜図17は、本発明の機械装置で用
いられ得るボールねじ駆動型の動力式脚を示している。
概略的に述べるならば、回転可能なボールねじロッド1
95に、符号196により総括的に示される固定プラッ
トホームヨークアセンブリーが取り付けられている。ナ
ット管197がボールねじロッド195の周りに配置さ
れ、且つ、複数の循環式ボール197′によりボールね
じロッド195に機能的に結合されている。ナット管1
97は、符号198で総括的に示される可動プラットホ
ームヨークアセンブリーに連結されている。ヨークアセ
ンブリー196,198は、それぞれ、工作機械の固定
プラットホームと可動プラットホームに取り付けられ
る。ボールねじロッド195は、固定ヨークアセンブリ
ー196に連結されたブラケット200に取り付けられ
た流体圧式モーター又は電気モーター199により回転
される。モーター199は出力シャフト201を有して
おり、この出力シャフト201は、当該出力シャフト2
01とボールねじロッド195にそれぞれ連結されたプ
ーリーの間で作動する歯付きベルト202によって、ボ
ールねじロッド195に連結されている。ボールねじロ
ッド195は1対のスラスト軸受203においてジャー
ナル支持されており、これらの軸受203は、固定プラ
ットホームヨークアセンブリー196の一部を形成する
モーターフォーク(motor fork)204に関連されたケ
ージに設けられている。ベローズ205がその一端でナ
ット管197に連結され、他端で管206に連結されて
いる。また、管206はモーターフォーク204に連結
されている。
【0049】ボールねじロッド195はモーター199
により回転駆動され、ナット管197は、ロッド195
の回転方向により定まる向きに、ロッド195の長手方
向に沿って移動する。その効果は、ヨークアセンブリー
196,198の間の距離を増減し、それにより脚の有
効長さを変えるというものである。
【0050】特に図15〜図17を参照すると、可動プ
ラットホームヨークアセンブリー198はU字状フォー
ク210を備えており、このフォーク210はナット管
197に連結され、また、ねじロッド195が通される
中央開口部211を有している。フォーク210からは
保護管212がねじロッド195の外面に沿って延びて
いる。フォーク210のサイドアーム213,214に
は、スラスト軸受216のインナーレースを保持する軸
受ホルダー215が取り付けられており、スラスト軸受
216はブロック217の2つの対向側面における凹部
に嵌合されている。ブロック217は中央開口部220
を有しており、この中央開口部220は、図16に示す
ように、その中間点からブロック217の各端部に向け
てフレアー状に拡径されている。ブロック217の残り
の2つの側面は軸受凹部221を有し、この凹部221
は、軸受リテーナー223により適所に保持されたスラ
スト軸受222を受け入れる。軸受リテーナー223
は、可動プラットホームに取着された第2のフォークに
おける互いに離隔されたアーム224に取り付けられて
いる。構造上の理由から、2つのフォークは互いに90
度の角度をもって配置されている。
【0051】理解されるであろうが、ヨークアセンブリ
ー198は、軸受222を通る軸線を中心とした回転運
動を許容すると共に、軸受216を通る軸線を中心とし
て回転運動を許容する。開口部220のフレアー形状は
後者の回転運動を受け入れる。固定プラットホームヨー
クアセンブリー196の構成及び機能は可動プラットホ
ームヨークアセンブリー198について述べたものと同
様である。
【0052】ヨークアセンブリーを動力式脚の端部では
なく、その長手方向に沿う点にて取り付けることによっ
て、脚を作動させた場合におけるヨークアセンブリー間
の最小距離に対する最大値の割合を相当に大きくするこ
とができる。
【0053】ナット管197には、第1の近接スイッチ
225がボールのためのケージの近傍に取り付けられて
いる。また、第2の近接スイッチ226が保護管212
の端部に近傍に取り付けられている。これらの近接スイ
ッチ225,226は、ボールねじロッド195がその
許容動作限界に到達した際に動作を停止させるのに用い
られる。すなわち、ボールねじロッド195の端部が近
接スイッチ226の状態を変えた場合、動力式脚は前も
って設定された移動限界まで短縮化されたこととなる。
図14に示す状態は、短い方の移動限界の近くにある状
態である。他方、ボールねじロッド195の端部が近接
スイッチ225の状態を変えた場合、動力式脚の長さは
所望の最大限界にまで延ばされたこととなる。いずれも
場合においても、近接スイッチ225,226はモータ
ー199の連続動作に影響を与えるものである。
【0054】図18及び図19には、本発明の工作機械
に用いることのできる計器アームの一形態が示されてい
る。この計器アームの一端には、第1の管231の一端
に固着された中実ロッド230が形成されている。管2
31の他端には、1対の同軸に配置された固定管23
3,234のうち外側の管233の周りで摺動するスラ
イド軸受232が取り付けられている。固定管223,
234はそれぞれ、計器アームの他端を構成するロッド
235に固着されている。また、この第2のロッド23
5には外側保護管236が固着されており、この保護管
236は第1の管231を囲んでいる。従って、第1の
管231が固定管233,234及び保護管236に対
して入れ子式に伸縮できることは理解されよう。
【0055】計器アームの中実ロッド230の端部には
スケールロッド238の一端が固着されている。スケー
ルロッド238の他端は、内側の固定管234内で摺動
するピストン239に取り付けられている。読取りヘッ
ド240がスケールロッドを囲んでおり、内側及び外側
の固定管233,234の自由端に取り付けられてい
る。従って、読取りヘッド240は計器アームの固定端
235に対して静止しており、スケールロッド238
は、計器アームが伸縮した際、読取りヘッド230内で
長手方向に移動できる。このスケールロッド238と読
取りヘッド240は周知の構成及び機能を有している。
概略的に述べるならば、2つが相対的に移動した際、読
取りヘッドはスケールロッドに沿う動作の増分を検出し
て信号を発し、その信号は増幅され、2つの部品の相対
位置及び位置変動を示すのに周知の態様で用いられる。
スケールロッド及び読取りヘッドから成る適用可能なデ
ジタル式位置計測システムとしては、ソッキ・エレクト
ロニクス・コーポレーション(Sokki Electronics Corp
oration)により製造されデジタル式ポジショニングシ
ステムのJS7シリーズとして示されているものが好適
である。
【0056】読取りヘッドとスケールロッドの機能にお
いて重要な点は、スケールロッドが緊張状態を維持する
点にある。その目的で、空気圧が、スケールロッド23
8の一端に取り付けられたピストン239に作用するよ
う、導入される。加圧空気は、計器アームの固定端23
5における中央孔245を通って導入され、内側管23
4と外側管233との間の空間を通り、読取りヘッド2
40の取付部の近傍にある内側管234の開口部246
へと流れ、その開口部246に流入する。これは、ピス
トン239が配置されている内側管234の中空の内部
に加圧空気を導入する。オリフィス流路247が読取り
ヘッド240を貫通して長手方向に延びており、計器ア
ームの中実ロッド230と読取りヘッド240との間の
空間が前記中空の内部と連通され、計器アームの2つの
端部が互いに対して移動した場合にその空間内が真空と
ならないようにしている。また、内側と外側の固定管2
33,234の間の空間は、読取りヘッドを計器アーム
の外部に接続する配線248を受け入れるために用いら
れている。
【0057】計器アームは、ヨークアセンブリーを用い
ている動力式脚と同様にして取り付けられるのが好適で
ある。動力式脚の場合と同様に、ヨークアセンブリー間
の最小距離に対する最大の割合を大きくするために、ヨ
ークアセンブリーは端部間、例えば図18に示される符
号249,250の位置に、取り付けられるのが好まし
い。
【0058】計器アームの可動端部230は、圧力のか
かった空気のための入口256と出口257を有する横
向き鋳造物(transverse casting)255を備えてい
る。入口256と出口257は、ボールベアリング25
9が配置される中央円形軌道258に繋がっている。鋳
造物255内に導入される加圧空気によって、ボールベ
アリング259は軌道258に沿って高速で転動する。
これは、計器アームの端部230に、当該計器アームの
長手方向軸線を中心とした偏心動作を生じさせる。この
偏心動作は、計器アームの伸縮要素が確実に互いに対し
て円滑に摺動できるようにするために用いられる。同時
に、旋回するボールベアリング259により引き起こさ
れる振動が、計測されるべき動作の方向に対して横向き
の方向において生じ、従って、計測には特に影響を与え
ることはない。
【0059】図20は、レーザー干渉計を用いた計器ア
ームの一実施形態を示している。この計器アームは、同
軸に配置された内側管260と外側管261から構成さ
れており、これらの管は、ポリテトラフロライド材(po
lytetraflouride material)から好ましくは成る軸受2
62で、互いに対して摺動する。管内の空間を遮蔽し且
つ軸受262による汚染を防止するために、ベローズ2
63が外側管261の端部を内側管260の外面に接続
している。レーザー光源264からのレーザービーム
は、窓265から計器脚の中空の内部に入射される。そ
して、そのレーザービームは鏡266で反射されて干渉
計267に入射され、そこで2つの成分に分割される。
一方の成分は、干渉計から出射した後、管の内側を、外
側管261の閉鎖端に取り付けられた逆行用リフレクタ
ー268まで進む。この後、光は反射され、干渉計26
7の方向に逆行する。2本の光線成分は干渉計267内
で再び重ね合わされ、この重ね合わされた成分は、その
位相に応じて互いに干渉を起こす。レーザー光源264
内の光検出器は、逆行用リフレクター268が干渉計に
対して移動した時に光の2つの成分間における干渉によ
り生ずる縞を検出する。位相は干渉計267と逆行用リ
フレクター268との間の距離に依存し、従って縞は計
器アームの長さの変動を示す。
【0060】干渉計267と逆行用リフレクター268
との間の伝搬(transit)における光波の数は、両要素
間の距離のみならず、光の速度にも依存する。空気中の
光の速度は、大気圧、温度及び湿度に依存する。圧力と
温度は最も大きな影響を与える。従って、圧力と温度
は、干渉計と逆行用リフレクターとの間の距離が干渉縞
の数に基づいて算出される場合には、求めておく必要が
ある。計器アームの内部の空気は収縮式のブラダー(袋
体)270に排出される。計器アームが伸びると、ブラ
ダー270内に蓄えられていた空気を引き出す。ブラダ
ー270は、計器アーム内の圧力がアームの外側の大気
圧と等しくなるように、常に柔軟となっている。かかる
場合、光線が通過している空気の圧力を測定するため
に、全ての計器アームに対して圧力変換器を1つだけ用
いることができる。また、温度は局所的である場合があ
るので、温度測定器271は各計器アームの内部を検出
する。
【0061】構造上の一体性を有している計器アームに
代えて、プラットホーム間の距離を計測する周知形態の
位置検出器を用いることもできる。適用可能な位置検出
器の一例としては、ヒューストン・サイエンティフィッ
ク・インターナショナル・インコーポレーテッド(Hous
ton Scientific International, Inc.)から入手可能な
1850シリーズのケーブル式の変位トランスデューサ
ーがある。このようなトランスデューサーを用いる場
合、ケーブルがプラットホームの一方に接続され、トラ
ンスデューサーハウジングが他方のプラットホームに接
続される。ハウジング内のポテンショメーターが、工作
機械の構成要素の任意の特定位置でのハウジングから延
びるケーブルの長さを示す信号を発するのである。
【0062】計器アームと動力式脚を用いる計測の組合
せは、機械装置の構成要素の位置決めをスピードアップ
するのにも用いることができる。例えば、動力式脚に
は、プラットホームの相対的な全体的位置を定める位置
フィードバック信号を形成するために、直線形のスケー
ル(図8に示されるようなもの)又は回転式分解器若し
くはシャフトエンコーダー(図9に示されるようなも
の)が設けられてもよい。その場合、関連される計器ア
ームは、動力式脚が最終的な所要位置に比較的ゆっくり
とした速度で移動される状態で、高精度の位置決めのた
めに用いられる。
【0063】図21〜図24を参照すると、間に直線的
経路を画成する2つの点の間の距離を計測するための計
測装置ないしは計測システムが示されている。この計測
システムは、上述した種々の6軸型工作機械に組み込ま
れるように設計されているが、このシステムはこの特定
用途に限られず、2点間の正確な測定を必要とする広範
囲にわたる用途に適用可能である。
【0064】図21には計測システム300の第1実施
形態が示されている。計測システム300は、第1の点
304と第2の点306の間の直線的経路302に沿う
距離を計測するように設計されている。
【0065】概略的に述べるならば、計測システム30
0は、直線的経路302に沿って配置された中空の内部
310を有するデッドパス除去セル308を含んでい
る。中空の内部310は、両端が封止されているのが好
適である。端部の少なくとも一方が光を透過させること
のできる窓312で封止されている。幾つかの用途にお
いては、図21に示すように、両端が適当な窓312、
例えばBK7ガラスにより封止される。
【0066】レニショー(Renishaw)により製造された
モデルHS10のような要素を具備するレーザー干渉計
システム314が、第1の点304と第2の点306と
の間の直線的経路302に沿う距離を正確に計測するた
めに、デッドパス除去セル308との組合せで用いられ
る。レーザー干渉計システム314は図20を参照して
概説した。
【0067】上述したように、レーザー干渉計システム
314は、レーザービームを発するよう設計されたレー
ザー光源316を備えている。また、このシステムは、
レーザービームの2つの成分間の干渉に起因する縞を検
出する光検出器318を備えている。また、ビームスプ
リッター320が、レーザー光源316から発せられた
レーザービームを2つの成分に分割するために配置され
ており、これらの2つの光成分は第1のリフレクター3
22に向けられる。リフレクター322は、通常、2つ
の鏡部材324,326から構成されている。鏡部材3
26は一方のレーザービームを反射し(符号325で示
す)、光検出器318に直接戻す。他方の鏡部材324
は、第2のレーザービーム成分を反射して(符号327
で示す)直線的経路302にほぼ沿って進行させ、封止
された中空の内部310を通って第2のリフレクター3
28に入射させるよう、配置されている。第2のリフレ
クター328は、第2のレーザービーム成分327を反
射して、窓312を経て封止中空内部310内を鏡部材
324まで戻す。そして、この鏡部材324は第2のビ
ーム成分327を光検出器318へと反射する。光検出
器318は、第2のリフレクター328が鏡部材324
に対して動かされた場合における位相のずれを検出す
る。
【0068】なお、図は本発明のレーザー干渉計システ
ムの概略説明図であり、実際の構成要素は別の態様で配
列され得ることに注意すべきである。更に、レーザー干
渉計システム314とデッドパス除去セル308とは色
々な環境や用途、設備に組み込まれ得るものである。例
えば、デッドパス除去セル308を動かないものとして
配置し、一方、第1のリフレクター322と第2のリフ
レクター328とをセル308に対して移動するように
することができる。図示するように、第2のリフレクタ
ー328はサポート構造体330に取り付けることがで
きる。サポート構造体330は可動骨組要素332に取
り付けられる。同様に、リフレクター322はサポート
構造体334に取り付けられているように示されてい
る。サポート構造体334は骨組要素336に取り付け
られるが、この骨組要素336は可動でもよいし、固定
されてもよい。
【0069】図22に示され符号300′で表された別
の実施形態の計測システムにおいては、デッドパス除去
セル308はサポート構造体334に、第1のリフレク
ター322の近傍で固定されている。デッドパス除去セ
ル308は、例えば溶接、ねじソケットのような締結機
構338、或は、第1のリフレクター322に対して固
定位置でデッドパス除去セル308を保持する他の締結
機構により、サポート構造体334に封止状態で係合さ
れてもよい。この封止係合は、第1のリフレクター32
2の側に配置されるべき窓312を不要とするものであ
る。また、デッドパス除去セル308は、サポート構造
体334ではなく、サポート構造体330に固定するこ
ともできる。その場合、反対側の窓213、すなわち第
2のリフレクター328の側に配置される窓を省くこと
ができる。
【0070】図23に示され符号300″で表された他
の実施形態の計測システムは、図21及び図22を参照
して述べた要素の多くを備えている。また、図23の実
施形態は、図20を参照して述べたのと同様な伸縮要素
を有している。
【0071】図示するように、デッドパス除去セル30
8はサポート構造体330に封止状態で取り付けられる
とよい。デッドパス除去セル308の外面340は、中
空の外側テレスコーピック部材342内で摺動するよう
形成されている。外側テレスコーピック部材342はサ
ポート構造体334に取り付けられ、外面340との間
で気密なシールを形成するよう外面340と封止状態で
係合している。外側テレスコーピック部材342の中空
の内部は、図20を参照した述べたベローズと同様に、
ブラダーないしはベローズ346に導管344を介して
接続されている。
【0072】ベローズ346は、外部ガス、例えば空気
が計測システムの外側から外側テレスコーピック部材3
42の中空の内部に吸引されないように、デッドパス除
去セル308及び外側テレスコーピック部材342を互
いに対して出し入れできるようにしている。このよう
に、デッドパス除去セル308が出入れ動作した場合に
おける外側テレスコーピック部材342内の容積の変動
は、膨張及び収縮するベローズ346により調整され
る。これは汚染物の侵入を防止するものである。図23
に示される窓はデッドパス除去セル308を封止してい
る。これは、デッドパス除去セル308の内部のガスの
密度を一定に保ち、波長を一定に維持する。
【0073】図24には、計測システム300の一例と
しての用途が示されている。この特定用途において、計
測システム300は、図14〜図17を参照して述べた
ボールねじ駆動の動力式脚と同様に、動力式脚347に
組み込まれている。本発明の工作機械と共に用いられる
典型的なボールねじ駆動の動力式脚の詳細については、
先の述べたことを参照することができる。更に、この計
測システムは、動力式脚から独立した計測アームに組み
込まれてもよいし、油圧式又は空気圧式の動力式脚等の
他の色々な動力式脚に組み込まれてもよく、また、この
システムは、2点間の距離の正確な計測が必要とされる
無数の他の用途に組み込まれてもよいことに注意すべき
である。
【0074】概略的に述べるならば、図24の特定の実
施形態は、中空の内部350を有する回転可能なボール
ねじロッド348を備えている。ボールねじロッド34
8は、流体圧モーター又は電気モーターのようなモータ
ー352により回転される。モーター352は、モータ
ープーリー358とボールねじロッドプーリー360と
の回りに取り付けられたベルト356のような駆動機構
354により、ボールねじロッド348に連結されてい
る。用いられ得る他の駆動機構としては、チェーン・ス
プロケット駆動機構、油圧駆動機構及び直結型歯車駆動
機構等がある。
【0075】ボールねじロッド348は、ジンバルジョ
イント362,364とも呼ばれる1対のヨークアセン
ブリー内で回転可能に取り付けられている。ヨークアセ
ンブリー362,364の機能ないしは作用は、図14
〜図17を参照して上述した通りである。更に、ナット
管366が、ボールねじロッド348を囲み、複数の循
環ボール368によりボールねじロッド348に機能的
に連結されている。従って、ボールねじロッド348が
ナット管366内で回転されると、ヨークアセンブリー
362,364は、ボールねじロッド348の回転方向
に応じて、互いに近づいたり離れたりする。更に、入れ
子式に収縮するシュラウド370がヨークアセンブリー
362,364の間に取り付けられるとよい。
【0076】ジンバルジョイント364には管状ハウジ
ング372が取り付けられており、このハウジング37
2は、ヨークアセンブリー364を越えてヨークアセン
ブリー362の反対側に延びるボールねじロッド348
の端部を囲んでいる。幾つかの用途においては、汚染物
が侵入しないよう特定量のガスがシステム内に保持され
るように、管状ハウジング372は完全に封止され、ベ
ローズ346(想像線で示されている)のようなブラダ
ー又はベローズに接続されるのがよい。管状ハウジング
372は、レーザー干渉計システム314を支持するの
に十分な強度を有するよう設計されている。
【0077】図24の実施形態において、レーザー光源
316は管状ハウジング372に取り付けられている。
第1のリフレクター322は、ボールねじロッド348
とは別個独立に、管状ハウジング372の末端内に取り
付けられている。ボールねじロッド348の第1リフレ
クター322側の端部には、窓312が取り付けられて
いる。この窓312はボールねじロッド348の中空の
内部350を封止するものである。第2のリフレクター
328は、中空の内部350の他端に、好ましくはヨー
クアセンブリー362の近傍位置にて封止状態で取り付
けられている。このように、レーザー干渉計システム3
14は、第1のリフレクター322及び第2のリフレク
ター328がそれぞれボールねじ駆動の動力式脚347
に配置されている2つの点の間の距離を正確に測定する
ことができる。
【0078】上述した計測システム300は、上述した
ような可動プラットホームを有する工作機械に用いられ
るのが特に有効である。ヨークアセンブリー362,3
64が、図24に示すように、最も接近した位置に配置
された場合、窓312と第1のリフレクター322は互
いに隣接し、レーザー干渉計システム314は、中空の
内部350内におけるガスの量が一定であるので、デッ
ドパス・エラー(デッドパスによる誤差)が殆どない状
態で堅実にキャリブレートを行うことができる。ヨーク
アセンブリー364がヨークアセンブリー362から離
れる方向に駆動されると、管状ハウジング372は第1
のリフレクター322を窓312から離れる方向に移動
させ、レーザー干渉計システム314はヨークアセンブ
リー間の距離の変化を正確に算出することができ、それ
によって、コントローラー(図示せず)に適当な信号を
発する。そして、コントローラーは、例えば、要素を適
当に機械加工すべくプラットホームの移動を制御する。
距離のこのような変化を計測するレーザー干渉計システ
ム314の能力は、ボールねじロッド348が第1のリ
フレクター322に対して接近又は離隔する際にも、管
状ハウジング372と共働するガスの量を一定に保つよ
う、ベローズ346を管状ハウジング372の内部に接
続することにより、更に向上される。
【0079】以上述べたことは本発明の好適な実施形態
であり、本発明は上記実施形態に限定されないことは理
解されよう。例えば、計測システムは色々な環境や用途
に用パス除去セルには、種々のガスが充填されてもよ
く、場合によっては、セルの中空の内部を占める比較的
長い窓を効果的に形成するように、プラスチックやガラ
スのような固体或は液体が配置ないしは充填されること
もできる。このような変形例或は他の変形例は、本発明
の範囲から逸脱することなく、上述したシステムや構成
要素の設計構造及び配列において為され得るものであ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に従った工作機械の立面図である。
【図2】本発明に従った工作機械の平面図である。
【図3】本発明に従った工作機械の第2実施形態を示す
斜視図である。
【図4】図3の工作機械の立面図である。
【図5】図3及び図4の工作機械の平面図であり、図4
の5−5線に沿っての図である。
【図6】本発明に従った工作機械の第3実施形態を示す
立面図である。
【図7】各実施形態に適用可能な脚と計器アームの配置
構成を示す部分立面図である。
【図8】本発明に従った工作機械の制御手段を示す概略
ブロック図である。
【図9】制御手段の第2実施形態を示す概略ブロック図
である。
【図10】制御手段の第3実施形態を示す概略ブロック
図である。
【図11】本発明に従った工作機械の第4実施形態を示
す斜視図である。
【図12】本発明に従った工作機械の第5実施形態を示
す斜視図である。
【図13】本発明に従った工作機械の第6実施形態を示
す斜視図である。
【図14】工作機械に適用可能な伸縮可能な動力式脚の
長手方向断面図である。
【図15】プラットホームないしはサポートに動力式脚
を連結するためのヨークアセンブリーの一方を示す長手
方向拡大断面図である。
【図16】図15のヨークアセンブリーを示す、図14
の16−16線に沿っての長手方向断面図である。
【図17】図15及び図16のヨークアセンブリーを示
す斜視図である。
【図18】工作機械に適用可能な計器アームを短縮して
示す長手方向断面図である。
【図19】図18の計器アームの一端を示す、図18の
19−19線に沿っての断面図である。
【図20】距離を計測するためのレーザー干渉計を用い
ている計器アームの概略図である。
【図21】レーザー干渉計を組み込んだ計測装置の概略
図である。
【図22】図21に示された計測装置の他の実施形態を
示す概略図である。
【図23】図21に示された計測装置の第3の実施形態
を示す概略図である。
【図24】本発明の好適な実施形態による工作機械の伸
縮可能な脚に用いられた、レーザー干渉計を組み込んだ
計測装置を示す図である。
【符号の説明】
10,30…ベースプラットホーム、11,31…スピ
ンドルプラットホーム、13,33…切削工具、20〜
25,40〜45,64〜69,145〜150…脚、
300…計測装置、302…直線的経路、304…第1
の点、306…第2の点、308…デッドパス除去セ
ル、310…中空の内部(中空内部領域)、312…
窓、314…レーザー干渉計システム、316…レーザ
ー光源、318…光検出器、320…ビームスプリッタ
ー、322…第1のリフレクター、328…第2のリフ
レクター、332…可動骨組要素(第2の可動部材)、
336…骨組要素(第1の可動部材)、344…導管、
346…ブラダー(ベローズ)、347…動力式脚。

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 間に直線的経路(302)を規定する2
    つの点の間の距離を計測するための計測装置(300)
    であって、 前記直線的経路(302)に沿って配置された封止され
    た中空内部領域(310)を有するデッドパス除去セル
    (308)、及び、 ビームスプリッター(320)と、レーザービームを反
    射して前記直線的経路(302)に沿って進行させるよ
    う配置された第1のリフレクター(322)と、レーザ
    ービームを反射して前記直線的経路に沿って逆行させる
    よう、前記封止された中空内部領域(310)の他側に
    配置された第2のリフレクター(328)とを有し、前
    記第1のリフレクター(322)と前記第2のリフレク
    ター(328)との間の距離が変えられるようになって
    いるレーザー干渉計システム(314)、を備えること
    を特徴とする計測装置。
  2. 【請求項2】 前記中空内部領域(310)が、該中空
    内部領域(310)に配置された少なくとも1つの窓
    (312)により気密に封止されていることを特徴とす
    る請求項1記載の計測装置。
  3. 【請求項3】 第2の窓(312)を備えており、前記
    第1の窓(312)が前記第1のリフレクター(32
    2)側の前記中空内部領域の端部に配置され、前記第2
    の窓が前記第2のリフレクター(328)側の前記中空
    内部領域の端部に配置されていることを特徴とする請求
    項2記載の計測装置。
  4. 【請求項4】 前記第1のリフレクター(322)が、
    前記封止された中空内部領域(310)の第1の端部に
    て、前記デッドパス除去セル(308)との間で封止状
    態となるように配置されていることを特徴とする請求項
    2記載の計測装置。
  5. 【請求項5】 前記第2のリフレクター(328)が、
    前記封止された中空内部領域(310)の第2の端部に
    て、前記デッドパス除去セル(308)との間で封止状
    態となるように配置されていることを特徴とする請求項
    2記載の計測装置。
  6. 【請求項6】 前記第1のリフレクター(322)が取
    り付けられる第1の可動部材(336)と、前記第2の
    リフレクター(328)が取り付けられる第2の可動部
    材(332)とを備え、前記第1の可動部材(336)
    及び前記第2の可動部材(332)が前記直線的経路
    (302)に沿って互いに対して往復動可能となってい
    ることを特徴とする請求項1又は3記載の計測装置。
  7. 【請求項7】 前記第1のリフレクター(322)が取
    り付けられる第1の可動部材(336)と、前記第2の
    リフレクター(328)が取り付けられる第2の可動部
    材(332)とを備えており、前記第1の可動部材(3
    36)が前記デッドパス除去セル(308)を有し、前
    記第1の可動部材(336)及び前記第2の可動部材
    (332)が前記直線的経路(302)に沿って互いに
    対して往復動可能となっていることを特徴とする請求項
    1又は4記載の計測装置。
  8. 【請求項8】 前記第1のリフレクター(322)が取
    り付けられる第1の可動部材(336)と、前記第2の
    リフレクター(328)が取り付けられる第2の可動部
    材(332)とを備えており、前記第2の可動部材(3
    32)が前記デッドパス除去セル(308)を有し、前
    記第1の可動部材(336)及び前記第2の可動部材
    (332)が前記直線的経路(302)に沿って互いに
    対して往復動可能となっていることを特徴とする請求項
    1又は5記載の計測装置。
  9. 【請求項9】 前記第1の可動部材(336)及び前記
    第2の可動部材(332)が入れ子式態様で互いに対し
    て摺動可能に連結されており、且つ、前記第1の可動部
    材(336)及び前記第2の可動部材(332)が両者
    間に封止されたガス空間を有するよう形成されているこ
    とを特徴とする請求項6〜8のいずれか1項に記載の計
    測装置。
  10. 【請求項10】 前記封止されたガス空間はブラダーと
    連通しており、該ブラダーは、前記第1の可動部材(3
    36)及び前記第2の可動部材(332)が互いに対し
    て往復動された場合に、相互作用するガスの所定量を維
    持するよう、前記封止されたガス空間内に対してガスの
    出し入れを可能とすることを特徴とする請求項7〜9の
    いずれか1項に記載の計測装置。
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