JPH07290334A - 座標位置決め機械 - Google Patents

座標位置決め機械

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JPH07290334A
JPH07290334A JP4332695A JP4332695A JPH07290334A JP H07290334 A JPH07290334 A JP H07290334A JP 4332695 A JP4332695 A JP 4332695A JP 4332695 A JP4332695 A JP 4332695A JP H07290334 A JPH07290334 A JP H07290334A
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    • B23Q1/00Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
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  • Manipulator (AREA)
  • A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 簡略化された構造の座標位置決め機械を提供
する。 【構成】 剛的に連結されたテーブルおよび支持フレー
ム(314)を含む固定構造体を備えている。可動アー
ム(310)は3本の動力付入れ子式ストラット(31
6)によってフレームから懸架されている。ストラット
の各々はアームおよびフレームの両者に全方位的に揺動
自在に連結されている。結果として、可動アーム(31
0)は3つの回転自由度を持って動き得る。これらの自
由度の各々を持つアームの動きはアームと固定構造体と
に連結された受動拘束装置(340)によって拘束され
る。拘束装置(340)はアームの全ての回転運動を排
除し、一方、同時にその並動を許容する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、工作機械、検査ロボッ
ト、あるいは座標測定機のような座標位置決め機械に関
する。
【0002】なお、本明細書の記述は本件出願の優先権
の基礎たる英国特許出願第GB9403957.5号、
GB9418587.3号、GB9425887.8号
の明細書の記載に基づくものであって、当該英国特許出
願の番号を参照することによって当該英国特許出願の明
細書の記載内容が本明細書の一部分を構成するものとす
る。
【0003】
【従来の技術】座標位置決め機械は、対象物を支持する
テーブルとテーブルに対して可動のアームとを含んでい
る。機械はテーブル上で作動し、アームは、例えば、切
削工具、検査プローブまたは溶接アームの様な作動モジ
ュールを保持し、典型的には3つの直線的自由度を有し
ている。
【0004】従来の座標位置決め機械は、ロボットの場
合は複数の連続してマウントされた回動自在なジョイン
トで、工作機械および座標測定機の場合は複数の連続し
てマウントされた直線状ガイドウエイ上に、可動アーム
を支持している。いずれの場合も、可動アームを連続し
てマウントすることは、可動アームが異なる方向に変位
されるとき、かかる動きを可能とすべく変位されるべき
移動機械部品の数が異なることにより、機械に異なる慣
性負荷をもたらすことになる。さらに、例えば、作動モ
ジュールを介して可動アームに及ぼされる力は、アーム
を支持している構造物の少なくとも一部に施される曲げ
モーメントに帰するであろう。
【0005】座標位置決め機械の他の形態では、可動ア
ームは複数の部材で支持されており、その各々は、例え
ば、テーブルのような機械の機械的基台(mechan
ical earth)に連結されている。この形式の
機械は、例えば、国際特許出願番号 WO 91/03
145(Kearney & Trecker)、およ
びWO 92/17313(Geodetic Machines)、およ
び欧州特許出願第534585号(Ingersoll)から公知
であり、固定された、ないしは基礎付けられた構造体に
対し、6本の入れ子式ストラットでもって支持された可
動アームを含んでいる。可動アームの動きは、1つ以上
のストラットを延伸およびふさわしい場合は収縮するこ
とにより達成される。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
6本のストラットを有する機械は可動アームの運動を制
御するのに包含される数学的処理が複雑であり、制御が
困難である。
【0007】本発明の目的は、かかる従来の問題を解決
した座標位置決め機械を提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】そこで、本発明の座標位
置決め機械は、固定構造体と、該固定構造体に対し相対
的に動けるよう支持され、作動モデュール(T)がマウ
ントされ得るアームとを有し、該アームは前記固定構造
体に対し3本の入れ子式ストラットによって支持され、
各ストラットはその長さを増大または減少すべく作動す
るモータを有し、該ストラットはその一端で前記アーム
に、他端で前記固定構造体に全方位的に揺動自在に連結
され、これにより該アームは3本のストラットの長さの
いかなる組み合わせに対しても3つの回転自由度を保有
し、前記固定構造体とアームとの間で作動し、前記3つ
の回転自由度の各々につきアームの動きを所定の限界内
に拘束し、一方、同時に3つの直線的自由度につき前記
アームの並動を許容し、かつ、前記回転自由度の1つを
排除する少なくとも1つの受動装置を含む拘束手段が設
けられたことを特徴とする。
【0009】一つの好ましい実施形態では、前記拘束手
段は全体的に受動型であり、前記回転自由度の1つにつ
いて前記アームの動きを所定の限界内に拘束し、一方、
残りの2つの回転自由度についてアームの動きを排除す
ることを特徴とする。
【0010】さらに好ましい実施の形態は、前記拘束手
段は全体的に受動型であり、3つの回転自由度の全てに
つき前記アームの動きを排除することを特徴とする。
【0011】また、各ストラットの長さの変化はトラン
スデューサによって計測され、前記トランスデューサは
レーザ干渉計によってもたらされてもよい。
【0012】代替的な実施例では、2つの補助的な入れ
子式ストラットが設けられ、それぞれは機械的基台と3
本の支持ストラットの取り付け点から離間した、可動ア
ーム上の点との間に連結され、2つの補助的ストラット
はアームの2つの回転軸回りの動きを制御し、かくて、
機械を5軸機械に変更する。
【0013】機械の固定構造体は、機械のテーブルに剛
的に連結されているフレームによってもたらされてもよ
く、支持ストラットはそれから懸架されている。
【0014】
【作用】利用可能な自由度を備えるアームの変位の計測
は、望まれる範囲において、都合のよい方法で検出され
得る。アームの回転運動が所定の限界内に拘束されてい
るときは、回転的変位の検出は、機械が遂行するよう望
まれている機能に依存して必要とされるかもしれない。
直線的な変位は、例えば、レーザ三角法、ストラット内
に設けられたトランスデューサ、または、アームと固定
構造体とに全方位的に揺動自在に連結され、かつ、トラ
ンスデューサを含む対応する数の非動力、すなわち、受
動の入れ子式ストラットを設置することにより検出され
得る。
【0015】
【実施例】添付の図面に記載された実施例に基づき、本
発明の好ましい実施例につき詳細に説明する。各実施例
は、発明の説明のためのものであり発明を限定するもの
ではない。事実、発明の範囲すなわち精神から逸脱する
ことなく、本発明の中で種々の修正および変形がなされ
得ることは、当業者にとって明らかであろう。例えば、
一実施例の部分として図示され、あるいは記述されてい
る特徴は、さらなる実施例を生み出すべく他の実施例に
用いられ得る。なお、記載された説明および図面を通し
て、同一機能部位には同一番号が用いられている。
【0016】図1および図2を参照するに、本実施例で
は、工作機械である座標位置決め機械は、スピンドルの
形態で、テーブル12に対して可動のアーム10を含ん
でいる。スピンドル10は動力付きの入れ子式支持スト
ラット16によって三角形の剛体フレーム14から懸架
されており、支持ストラット16は三角形フレーム14
の頂点からスピンドルケーシング(内部にスピンドルシ
ャフト18Aが枢支されている)18にまで延在してい
る。ストラット16はまたその長さを計測する(不図示
の)トランスデューサを包含しており、トランスデュー
サは、例えば、光電または磁気エンコーダ、LVDT
(線速度変位変換器)、またはレーザ干渉計によっても
よい。
【0017】支持フレーム14はテーブル12に剛的に
適当な構造物によりマウントされているが、この構造物
については図面の簡素化のために図示を省略する。しか
しながら、両構造物は機械の機械的基台の部分であり、
このことは明細書を通して通常のシンボルによって示さ
れる。スピンドルシャフト18Aは、(タッチトリガー
やアナログのプローブのような他の作動モジュールが使
用されてもよいけれども)ワークピースを機械加工する
切削工具Tの形態の作動モジュールを保持している。好
ましくは、機械の幾何学的配列は、支持ストラット16
の各々の軸線Sが工具先端で交差するようにされている
のがよい。
【0018】支持ストラット16をフレーム14および
スピンドルケーシング18に連結するときは、ストラッ
ト16がフレーム14およびケーシング18に対して全
方位的に揺動するのが許容されるのが好ましい。より好
ましくは、ほぼ摩擦のない動きをもたらすよう連結され
るのがよく、磁気および流体軸受けを備えてもよい。代
わりに、フレキシブルなリンケージマット(linkages m
at)が用いられる。適切な連結手段は本出願人の国際特
許出願PCT/GB94/02593に開示されている。
【0019】スピンドル10の移動は、入り子式支持ス
トラット16の延伸および/または収縮によってもたら
される。例えば、全ての支持ストラット16を同時に等
しく収縮すると、図2においてZ方向として示されてい
る方向にスピンドル10は動くことになり、延伸および
収縮の他の組み合わせでもって、所望のように、Xおよ
びY方向の動きをもたらすことができる。
【0020】スピンドル10は3本の入り子式支持スト
ラット16によってのみ懸架されているので、スピンド
ルは、ストラット長さの所定の組み合わせによって、フ
レーム14およびスピンドルケーシング18に対するス
トラット16の全方位に揺動自在なマウントのせいで、
テーブル12に対し、直交する3つの軸線回りに回動し
得る。これら3つの回転自由度の各々を伴うスピンドル
の動きは、X,YおよびZ軸回りの回転をそれぞれ防止
する、3つの反回転装置(anti-rotation device)2
0,22,24を設けることにより排除される。装置の
各々は、受動型、すなわち、モータまたはアクチュエー
タを有していない。かかる反回転装置の1つが図3に詳
細に示されている。図3を参照するに、個々の装置は、
機械の支持フレーム14またはテーブル12のような機
械的基台にマウントされた実質的に剛性の平坦な部材3
0を含んでいる。剛性の部材30はその基部に比較的弱
い領域32を有し、それは部材30の上方部が軸線A1
の回りに傾くのを可能にするヒンジとして役立つ。部材
30の上方端はスピンドルケーシング18に2本の細長
いロッドでもって連結されている。このロッドは曲げに
対してはフレキシブルであるが、引っ張りおよび圧縮に
対しては剛性である。
【0021】個々の装置の作動につき説明する。軸線A
3に沿うスピンドルケーシング18の並動は、部材30
の軸線A1回りの傾きによって許容され、一方、ロッド
34、剛性部材30およびスピンドルケーシング18間
の、結果的な角度変化は、ロッド34の撓みによって受
け入れられる。軸線A1または軸線A2に平行な方向の
スピンドルケーシング18の並動は、一対の平行リーフ
スプリングの場合と同様なロッド34の撓みによって許
容される。スピンドルケーシング18の軸線A1または
軸線A3のいずれかに平行な軸線回りの回転は、ロッド
34の撓みによって許容される。引っ張りおよび圧縮に
対するロッド34の剛性が、部材30の相対的剛性と共
に、スピンドルケーシング18の軸線A2に平行な軸線
回りの回転を防止している。個々の反回転装置20,2
2および24は、かくて、3つの直交する方向へのスピ
ンドルケーシング18の直線的動きと、2つの直交する
軸線回りの回転とを許容し、一方、第3の軸線回りの回
転を防止する。
【0022】再度、図1および図2を参照するに、3つ
の装置20,22および24の全ての組み合わされた動
作がスピンドル10のテーブル12に対する全ての回転
運動を排除し、一方、ストラット16の入れ子動により
直線的動きは許容するということが理解されよう。
【0023】図3に示される装置の変形例では、平坦部
材30は全体的に剛性で、弱い領域32の部位に機械的
に低摩擦のヒンジが設けられる。さらに、細長いロッド
34は剛体のロッドに置き換えられ、機械的基台および
スピンドルケーシング18の両者に全方位的に揺動自在
に連結されている。撓み式または機械的に揺動する拘束
装置のいずれを選択するかは、多数のファクタ、特に、
スピンドルケーシング18の、拘束およびこの特異な実
施例ではスピンドルの回転運動の排除が必要とされる、
移動範囲に依存する。撓み式装置は摩擦およびバックラ
ッシュがないという有利さを有しているが、それらは短
い範囲においてのみ作動可能であるという不利がある。
機械式装置は長距離に亘り作動可能であるが、摩擦およ
びバックラッシュに苦労する。
【0024】本発明の第2の実施例を図4および5を参
照して説明する。工作機械の形態の座標位置決め機械
は、(不図示の)テーブルに剛的にマウントされた支持
フレーム114を含んでいる。スピンドル110の形態
の可動アームは、3本の動力付き入れ子式ストラット1
16によってフレーム114から懸架されている。スト
ラット116は全方位的に揺動自在にフレーム114お
よびスピンドル110に連結されており、かくて、全て
のストラット長さの組み合わせに対して、スピンドルの
回転運動を3つの自由度を伴って許容する。スピンドル
の回転自由度の2つについての動きは排除され、スピン
ドルの第3の回転自由度についての動きは、拘束装置1
40によって所定の範囲内に拘束されている。
【0025】その装置140は、捻り方向に剛性のボッ
クス150を含み、機械的基台にヒンジによって取付け
られており、これにより、軸線B1回りにボックス15
0が揺動するのを可能にしている。ボックス150は、
4本の垂直なロッド158A,158B,158Cおよ
び158D、かつ、2本の傾いて延在している支柱16
0によって相互に連結されている頂部および底部の凧形
状のサブフレーム154,156を含んでいる。2つの
三角状ウィシュボーンフレーム162はそれらの頂部で
垂直ロッド158Dの上端および下端に、全方位的な揺
動運動をもたらす適当なマウンティングによって連結さ
れている。ウィシュボーンフレーム162のロッド15
8Dから離間した端部は、スピンドルケーシング118
に連結されている。かくて、この装置はエルボウジョイ
ントと同様な方法で、スピンドル110のXおよびY方
向の並動が軸線B1回りのボックス150の揺動および
/または軸線B2回りのウィシュボーンフレーム162
の揺動によって受け入れられて機能する。スピンドル1
10のZ方向の並動は、図5に破線で示すようにウィシ
ュボーンフレーム162の揺動によって受け入れられ
る。
【0026】ボックス150がマウントされている機械
的基台は、ボックスの上端に支持フレーム114によっ
て、およびボックスの下端にテーブル112によって設
けられている。スピンドル110がフレーム114内で
中心的に位置を占めるときは、ボックス150はフレー
ム114の桁材の1つ114Aの下側に延在し、一方、
ウィシュボーン162がほぼその1つに対し直交して延
在する。ボックス150およびウィシュボーンフレーム
162のヒンジ結合により許容される弧状の運動は図4
に示され、それぞれC1およびC2の符号を有してい
る。
【0027】この反回転装置は、図1ないし図3に示し
た3つの個々の装置20,22および24と比較すると
比較的簡単であるという有利性を有している。しかしな
がら、ウィシュボーンフレーム162の所定の角度に亘
る回転は、スピンドルの動きが弧状の経路C2に沿って
起こることを可能にし、スピンドルケーシング118の
Z軸に平行な軸線回りの対応する回転を生じさせる。こ
れは、スピンドルシャフト118Aのケーシング118
に対する比較的速い回転と比較すると重要ではない(ス
ピンドルケーシングの回転が拘束されている制限値は、
フレーム114に対するウィシュボーンフレーム162
の許容できる回転範囲によって、規定されている。)。
【0028】もし、例えば、この構成が座標測定機に用
いられることが望まれるなら、ここでは許容できる回転
は重要であり、軸線B1およびB2回りの角度変位を計
測するトランスデューサを設けることによってアーム1
10の回転の程度を測定することが必要であろう。
【0029】本発明の第3の実施例を図6および図7を
参照して説明する。前実施例と同様に、機械はテーブル
212およびフレーム214に対し3本の動力付き入れ
子式ストラット216で全方位的に揺動自在に連結され
たスピンドル210を含んでいる。3つの回転自由度を
持つスピンドル210の動きは、図3に示した形式の受
動的反回転装置220が1つと、動力付きの補助的な入
れ子式拘束ストラットの一対280,282との組み合
わせによって、拘束される。受動的反回転装置220は
スピンドルケーシング218のZ軸回りの回動を排除す
る。スピンドル210のXおよびY軸回りの回転は、2
つの補助的なストラット280,282によって制御さ
れる。これらストラットはその一端が機械的基台に連結
され、他端が細長いピラー286に連結されている。ピ
ラー286の下端はスピンドルケーシング218に固く
連結されている。補助的ストラット280,282の入
れ子式延伸および収縮は、スピンドル210のXおよび
Y軸回りの回転を生じさせる。図6の実施例において
は、補助的ストラット280,282はフレーム214
と区別される機械的基台に揺動自在に連結され、ほぼ直
交する方向に延在している。しかしながら、図7の代替
的実施例では、補助ストラット280,282は支持フ
レーム214の頂角のうちの2つにより機械的基台に揺
動自在にマウントされている。補助ストラット280,
282を設けることは、3つの直線的自由度を有してい
る機械を、5つの自由度、すなわち、3つが直線的で2
つが回転的である自由度を備えた機械に変更する効果を
有する。
【0030】図8ないし図10を参照して、本発明の第
4の実施例を説明する。機械はテーブル312に対して
可動のアーム310、支持フレーム314および3本の
動力付き入れ子式ストラット316を含んでいる。スト
ラット316はその端部においてアーム310および支
持フレーム(構造体)314に全方位的に揺動自在に連
結されており、これによりストラット長さの所定の組み
合わせに対し、3つの自由度を備えてアーム310の回
転を許容する方法で、アーム310を支持している。
【0031】これら3つの回転的自由度の各々の拘束体
が受動的な独立した回転拘束装置340によってもたら
されている。この回転拘束装置は3つの回転自由度の各
々を排除し、一方、動力付きストラット316の動作の
下にアームの3次元の並動を許容する。拘束装置340
は機械的基台と可動アーム310との間で作動し、延伸
可能なボックス350を補助的な回転拘束装置360と
共に含んでいる。ボックス350はアーム310の互い
に直交する軸A,B回りの回転を防止し、補助的回転拘
束装置360はアーム310の、軸AおよびBに直交す
る第3の軸Cの回りの回転を防止する。
【0032】さて、図9(a)を参照するに、延伸可能
なボックス350は2つのドア部材352を含み、その
各々は共通なヒンジ354で機械的に基台となる構造体
に取り付けられている。可動アーム310はこのドア部
材352に、Z方向において離間する2点で、V形の連
結ロッド356Aおよび356Bの2つの対によって連
結されている。連結ロッド356Aおよび356Bの対
のそれぞれは、その頂角部において可動アーム310に
全方位的に揺動自在に(例えば、ボールジョイントによ
って)連結され、連結ロッド356Aおよび356Bの
対のそれぞれは互いに垂直方向に整列されている。連結
ロッド356Aおよび356Bの対のアーム310との
連結点から離れた端部は、ドア部材352の自由揺動端
縁の角部に全方位的に揺動自在に連結されている。
【0033】さらに、図9(b) ないし(d)をも参照
するに、延伸可能なボックス350は可動アーム310
のX,YおよびZ方向の1つ以上の方向への直線的動き
を許容し、一方、同時に、回転軸AおよびB回りのアー
ム310の回転を防止する。X,YおよびZ方向のうち
の1つの方向への動きは、要素352,356A,35
6Bのそれぞれおよび機械的基台に対する揺動運動の組
み合わせによって可能である。例えば、図9(b)を参
照するに、可動アーム310のX方向における並動は、
ドア部材352のヒンジ354回りの内方または外方へ
の回動運動、連結ロッド356A,356Bの可動アー
ム310およびドア部材352との連結点に関する枢
動、および、付加的にドア部材352のヒンジ354回
りの揺動によって可能とされる。図9(c)および
(d)を参照するに、ZまたはY方向における並動は、
ドア部材352の互い対するおよびヒンジ354回りの
同時的な内方または外方のいずれかへの回動と、連結ロ
ッド356A,356Bの可動アーム310およびドア
部材352との連結点回りの枢動との組み合わせによっ
てもたらされる。
【0034】連結ロッド356A,356Bの可動アー
ム310への全方位的揺動連結は、可動アーム310の
軸C(この軸線上に連結ロッド356A,356Bのア
ーム310との連結点が存している)回りの弧状並動、
および、その結果、アーム310の対応する制限された
角度の回転を可能とする。可動アームのこの重要でない
回転自由度は、図10(a)ないし(d)に示された装
置360によって拘束される。さて、図10(a)を参
照するに、この装置360は、第1の固定されたリンケ
ージロッド362の対を含んでいる。このロッド362
の対は一端で機械的基台に剛的に連結され、他端でボー
ルジョイント(不図示)によって剛性のさらなるドア部
材364に全方位的に揺動自在に連結されている。かく
て、さらなるドア部材364は基台に対し軸D回りに回
動するようヒンジ結合されている。可動リンケージロッ
ド366の対がさらなるドア部材364の下端および可
動アーム310に全方位的に揺動自在に連結されてい
る。リンケージロッド362,366およびさらなるド
ア部材364の剛性により、アームの軸C回りの回動が
防止され、一方、アーム310、可動リンケージロッド
366、ドア部材364および固定リンケージロッド3
62の全方位的揺動自在な連結により、図10に示すよ
うに、アーム310のX,YおよびZ方向の並動が許容
される。
【0035】全方位的に揺動自在に取り付けられてい
る、拘束装置340の全ての剛性部材は、適当に可撓性
部材に置き換えられてもよい。
【0036】図11ないし図12を参照して、本発明の
第5の実施例を説明する。図11の機械は、可動アーム
410、テーブル412、固定支持構造体414および
3本の動力付入れ子式ストラット416を有し、ストラ
ットはそれらの端部で支持構造体414およびアーム4
10に全方位的に揺動自在に連結されている。
【0037】運動制御リンケージ470,480によっ
て、アーム410のZ軸回り回動が排除され、Xおよび
Y軸回りの回転は所定の限界内に拘束されている。運動
制御リンケージ470はその一端で機械的基台に連結さ
れ、他端でボールジョイント474によりアーム410
に連結されている。運動制御リンケージ480はフォー
ク状の形態を有し、運動制御リンケージ470に対し直
角に延在している。そして、一端でボールジョイント4
82によって機械的基台に全方位的に揺動自在に連結さ
れ、他端でアーム410の径方向に対向する側面にベア
リング484(これは、ボールジョイントであってもよ
い)によって連結されている。
【0038】入れ子式ストラット416の所定の静的設
定に対しては、運動制御ストラット470,480がス
ピンドル10の回転を防止する。入れ子式ストラット4
16の1つまたはいくつかが作動すると、アーム410
の自由端は、アーム410の並動と運動制御ストラット
470,480の作動の結果としてのアームの弧状の動
きとの組み合わせによって、所望の部位に位置決めされ
得る。例えば、入れ子式ストラット416の同時的な延
伸または収縮は、運動制御ストラット470,480の
継続する揺動の結果によるアーム410の上下端の弧状
の動きの組み合わせににより、アーム410のZ方向に
おける直線的動きに帰する。同様に、アーム410をX
方向へ並動させるための入れ子式ストラット416の動
きは、付加的に、ボールジョイント474およびベアリ
ング484の位置によって定義される点においてアーム
410のY軸に平行な軸線回りの回動に帰し、アーム4
10をY方向へ並動させるための入れ子式ストラット4
16の動きは、付加的に、X軸に平行な軸線およびボー
ルジョイント474およびベアリング484によって定
義される点回りのアーム410の弧状の揺動に帰する。
【0039】アーム410の並動は必然的にその自由端
の向きの変更に帰するから、2軸のロボットリスト(ro
bot-wrist)が好ましくはアーム410に取り付けられ、
さらに好ましくは、3軸リストが取り付けられる。これ
は複数の角度および向きでの部品の機械加工を可能とす
る。
【0040】3本の入れ子式ストラットによって作動さ
れる機械は、6本のストラットを有する従来の機械より
も、制御するのがより容易である。これは、可動アーム
の運動を制御するのに包含される数学的処理がより簡単
であるからである。特に、アームの位置を決定するのに
必要とされるアルゴリズムが、今や、6つではなく、3
つの直線的計測にのみ基づいている。
【0041】
【発明の効果】本発明による機械の1つの有利な点は、
用いられる入れ子式ストラットの本数を減少させたこと
による簡略化された構造の機械であるということであ
る。さらなる有利な点は、装置の単純な幾何学的配置、
すなわち、(3本のストラットの他端における3つの連
結点によって定められる)他の面に対し(3本のストラ
ットの一端における3つの連結点によって定められる)
一つの面のせいで、リアルタイムでのアームの制御運動
の比較的容易さおよび簡略さに関するということであ
る。しかしながら、これらの有利な点は本発明の実施に
当たり必須のことではなく、説明する1つまたはいくつ
かの実施例の唯一の有利な点である必要もない。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施例を示す平面図である。
【図2】図1のII-II 線における断面図を示す。
【図3】図1および2の詳細を示す斜視図である。
【図4】本発明の第2の実施例を示す平面図である。
【図5】図4の詳細を示す概略斜視図である。
【図6】本発明の第3の実施例を示す平面図である。
【図7】図6の実施例の変形例を示す断面図である。
【図8】本発明の第4の実施例を示す斜視図である。
【図9】(a),(b),(c),(d)は図8の拘束
体の第1の部分の作動を説明するための図である。
【図10】(a),(b),(c),(d)は図8の拘
束体の第2の部分の作動を説明するための図である。
【図11】本発明の第5の実施例を示す斜視図である。
【図12】図11のXII-XII 線における平面図である。
【符号の説明】
10,110,210,310,410 (可動)アー
ム 12,112,212,312,412 テーブル 14,114,214,314,414 フレーム 16,116,216,316,416 (入れ子式)
ストラット 18 スピンドルケーシング 20,22,24,220 反回転装置 30 平坦部材 32 弱領域 34 ロッド 140 拘束装置 150,350 ボックス 162 ウィシュボーンフレーム 280,282 (補助的)ストラット 340 拘束装置 352,364 ドア部材 360 (補助的)拘束装置 470,480 運動制御リンケージ

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 固定構造体と、 該固定構造体に対し相対的に動けるよう支持され、作動
    モデュール(T)がマウントされ得るアームとを有し、 該アームは前記固定構造体に対し3本の入れ子式ストラ
    ットによって支持され、各ストラットはその長さを増大
    または減少すべく作動するモータを有し、 該ストラットはその一端で前記アームに、他端で前記固
    定構造体に全方位的に揺動自在に連結され、これにより
    該アームは3本のストラットの長さのいかなる組み合わ
    せに対しても3つの回転自由度を保有している座標位置
    決め機械において、 前記固定構造体とアームとの間で作動し、前記3つの回
    転自由度の各々につきアームの動きを所定の限界内に拘
    束し、一方、同時に3つの直線的自由度につき前記アー
    ムの並動を許容し、かつ、前記回転自由度の1つを排除
    する少なくとも1つの受動装置を含む拘束手段が設けら
    れたことを特徴とする座標位置決め機械。
  2. 【請求項2】 前記拘束手段は全体的に受動型であり、
    前記回転自由度の1つについて前記アームの動きを所定
    の限界内に拘束し、一方、残りの2つの回転自由度につ
    いてアームの動きを排除することを特徴とする請求項1
    に記載の座標位置決め機械。
  3. 【請求項3】 前記拘束手段は全体的に受動型であり、
    3つの回転自由度の全てにつき前記アームの動きを排除
    することを特徴とする請求項1に記載の座標位置決め機
    械。
  4. 【請求項4】 各ストラットの長さの変化はトランスデ
    ューサによって計測されることを特徴とする請求項1な
    いし3のいずれかに記載の座標位置決め機械。
  5. 【請求項5】 前記トランスデューサはレーザ干渉計に
    よってもたらされることを特徴とする請求項4に記載の
    座標位置決め機械。
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