JP4547257B2 - 干渉計システムにおける周期誤差の補正 - Google Patents
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Description
本発明は、2002年7月8日に、ヘンリー・エイ.ヒル(Henry A.Hill)により出願された「周期誤差の電子補正(ELECTRONIC CYCLIC ERROR COMPENSATION)」と題された出願番号60/394418の米国特許仮出願の優先権を主張するものである。前記仮出願の内容は、本明細書に参照として組み入れられる。
一般に、一つの態様において、本発明は、(i)共通のソースから抽出され、かつ異なる経路に沿って方向付けられた二つのビームからなる干渉信号S(t)を提供することであって、前記信号S(t)は前記異なる経路の間の光学的経路差nL※(t)の変化を示し、ここで、nは前記異なる経路に沿った平均屈折率であり、L※(t)は前記異なる経路の間の全物理的経路差であり、かつtは時間である、干渉信号S(t)を提供することと、(ii)前記信号S(t)の、その形の理想的表現A1cos(ωRt+φ(t)+ζ1)からの変位をもたらす一つ若しくは複数の誤差を表す係数を提供することであって、ここでA1及びζ1は定数であり、ωRは前記二つのビーム間の角周波数差であり、かつφ(t)=nkL※(t),k=2π/λであり、λは前記ビームの波長に等しい、一つ若しくは複数の誤差を表す係数を提供することと、(iii)前記信号S(t)に基づいて直角位相信号S※(t)信号を計算することと、(iv)前記係数及び前記信号S(t)及びS※(t)から導出された誤差基底関数により生成された誤差信号SΨ(t)を使用することにより、S(t)の前記理想的表現からの変位を低減することとを含む第一の方法を特徴とする。
前記方法はさらに、前記二つのビームを異なる経路に沿って方向付けること、かつ前記干渉信号S(t)を測定することを含み得る。例えば、前記ビームのうちの少なくとも一方は、前記干渉信号S(t)を形成する前に、可動測定物体により反射されるように方向付けられ得る。さらに、前記可動測定物体に接触するように方向付けられている前記ビームは、前記干渉信号S(t)を形成する前に、前記測定物体により複数回反射され得る。また、前記ビームは、前記干渉信号S(t)を形成する前に、前記可動測定物体の異なる位置により反射されるように方向付けられ得る。
前記変位は以下のように表現され得る。
前記方法はさらに、定数AR及びζRを有する基準信号SR(t)=ARcos(ωRt+ζR)を提供することと、前記信号SR(t)に基づいて直角位相基準信号S※R(t)を計算することとを含み得るものであり、前記誤差基底関数は、前記信号S(t),S※(t),SR(t),及びS※R(t)から導出される。例えば、前記方法はさらに、前記共通のソースからの出力に基づいた前記基準信号S※R(t)を測定することを含み得る。
前記誤差基底関数は、引数の時間依存性がωRt+(m/p)φ(t)の形を示す正弦関数及び余弦関数の一つ若しくは複数のペアに対応し得る。ここで、pは正の整数であり、mはpとは異なる整数である。特に、前記誤差基底関数は、前記正弦関数及び余弦関数の複数のペアに対応し得る。例えば、前記誤差基底関数は、{(p=1,m=−1),(p=1,m=0),(p=1,m=2),(p=1,m=3),(p=2,m=1)}の前記正弦関数及び余弦関数の族(family)からの前記正弦関数及び余弦関数の複数のペアを含み得る。
前記方法は、前記信号S(t),S※(t),SR(t),及びS※R(t)から前記誤差基底関数を生成することをさらに含み得る。例えば、前記誤差基底関数は、前記信号S(t),S※(t),SR(t),及びS※R(t)の代数的組み合せにより生成され得る。
前記方法は、前記変位を低減したの後の前記干渉信号S(t)から前記光学的経路差nL※(t)の値を決定することをさらに含み得る。
一般に、別の態様において、本発明は、(i)共通のソースから抽出され、かつ異なる経路に沿って方向付けられた二つのビームからなる干渉信号S(t)を提供することであって、前記信号S(t)は前記異なる経路の間の光学的経路差nL※(t)の変化を示し、ここで、nは前記異なる経路に沿った平均屈折率であり、L※(t)は前記異なる経路の間の全物理的経路差であり、かつtは時間である、干渉信号S(t)を提供することと、(ii)前記信号S(t)の、その形の理想的表現A1cos(ωRt+φ(t)+ζ1)からの変位をもたらす一つ若しくは複数の誤差を表す係数を計算することであって、ここでA1及びζ1は定数であり、ωRは前記二つのビーム間の角周波数差であり、かつφ(t)=nkL※(t),k=2π/λであり、λは前記ビームの波長に等しい、一つ若しくは複数の誤差を表す係数を提供することと、(iii)正の整数Nに対し、近似S(t)≒S(t−2πN/ωR)によって、前記係数及びS(t)の事前の値に基づき、前記干渉信号S(t)から導出された誤差基底関数により生成された誤差信号SΨ(t)を使用することにより、S(t)の前記理想的な表現からの変位を低減することとを含む第二の方法を特徴とする。
前記角周波数差は、ωR>100・dφ(t)/dtを満たし得る。
前記方法はさらに、ゼロでないωR、並びに、定数AR及びζRを有する基準信号SR(t)=ARcos(ωRt+ζR)を提供することを含み得るものであり、前記誤差基底関数は、前記信号S(t)及びSR(t)から導出される。さらに、前記誤差基底関数の前記導出は、SR(t)=SR(t−2πM/ωR)により、SR(t)の事前の値に基づき成され得る。ここで、Mは正の整数である。
一般に、別の態様において、本発明は第三の方法を特徴とする。第三の方法は、
共通のソースから抽出され、かつ異なる経路に沿って方向付けられた二つのビームからなる干渉信号S(t)の、その形の理想的表現A1cos(ωRt+φ(t)+ζ1)からの変位をもたらす一つ若しくは複数の誤差を表す係数を推定するための方法であって、前記信号S(t)は前記異なる経路の間の光学的経路差nL※(t)の変化を示し、ここで、nは前記異なる経路に沿った平均屈折率であり、L※(t)は前記異なる経路の間の全物理的経路差であり、tは時間であり、A1及びζ1は定数であり、ωRは前記二つのビーム間の角周波数差であり、かつφ(t)=nkL※(t),k=2π/λであり、λは前記ビームの波長に等しい。第三の方法は、(i)前記信号S(t)に基づいて直角位相信号S※(t)を計算することと、(ii)前記信号S(t)及びS※(t)に基づいて前記係数の推定値を計算することとを含んでいる。
前記方法はさらに、ゼロでないωR、並びに、定数AR及びζRを有する基準信号SR(t)=ARcos(ωRt+ζR)を提供することと、前記信号SR(t)に基づいて直角位相基準信号S※R(t)を計算することとを含み得るものであり、前記係数の前記推定値は、前記信号S(t),S※(t),SR(t),及びS※R(t)に基づいている。
前記係数の前記推定値を計算することには、前記信号S(t),S※(t),SR(t),及びS※R(t)から導出された誤差基底関数を生成することが含まれ得る。例えば、前記誤差基底関数は、引数の時間依存性がωRt+(m/p)φ(t)の形を示す正弦関数及び余弦関数の一つ若しくは複数のペアに対応し得る。ここで、pは正の整数であり、mはpとは異なる整数である。さらに、前記誤差基底関数は、前記信号S(t),S※(t),SR(t),及びS※R(t)の代数的組み合せから生成され得る。
前記係数の前記推定値を計算することには、前記誤差基底関数、並びに前記信号S(t)及びS※(t)の代数的組み合せにローパス・フィルタをかけることが含まれ得る。
第三の方法の実施形態は、第一の方法に関連して前述した特徴のいずれかをさらに含み得る。
一般に、別の態様において、本発明は、(i)動作の間、共通のソースから抽出された二つのビームを異なる経路に沿って方向付け、かつ、前記二つのビームから干渉信号S(t)を提供する干渉計システムであって、前記信号S(t)は前記異なる経路の間の光学的経路差nL※(t)の変化を示し、ここで、nは前記異なる経路に沿った平均屈折率であり、L※(t)は前記異なる経路の間の全物理的経路差であり、かつtは時間であり、前記干渉計システムにおける不完全性は、前記信号S(t)の、その形の理想的表現A1cos(ωRt+φ(t)+ζ1)からの変位をもたらす一つ若しくは複数の誤差を生成し、ここでA1及びζ1は定数であり、ωRは前記二つのビーム間の角周波数差であり、かつφ(t)=nkL※(t),k=2π/λであり、λは前記ビームの波長に等しい、干渉計システムと、(ii)電子プロセッサであって、動作の間、前記干渉計システムから前記干渉信号S(t)を受信し、前記一つ若しくは複数の誤差を表す係数を受信し、かつ、前記係数、及び正の整数Nに対して、近似S(t)≒S(t−2πN/ωR)によって、S(t)の事前の値に基づき、前記干渉信号S(t)から導出された誤差基底関数により生成された誤差信号SΨ(t)を使用することにより、S(t)の前記理想的な表現からの前記変位を低減する、電子プロセッサとを含む第二装置を特徴とする。
一般に、別の態様において、本発明は、(i)動作の間、共通のソースから抽出された二つのビームを異なる経路に沿って方向付け、かつ、前記二つのビームから干渉信号S(t)を提供する干渉計システムであって、前記信号S(t)は前記異なる経路の間の光学的経路差nL※(t)の変化を示し、ここで、nは前記異なる経路に沿った平均屈折率であり、L※(t)は前記異なる経路の間の全物理的経路差であり、かつtは時間であり、前記干渉計システムにおける不完全性は、前記信号S(t)の、その形の理想的表現A1cos(ωRt+φ(t)+ζ1)からの変位をもたらす一つ若しくは複数の誤差を生成し、ここでA1及びζ1は定数であり、ωRは前記二つのビーム間の角周波数差であり、かつφ(t)=nkL※(t),k=2π/λであり、λは前記ビームの波長に等しい、干渉計システムと、(ii)電子プロセッサであって、動作の間、前記干渉計システムから前記干渉信号S(t)を受信し、前記信号S(t)に基づいて直角位相信号S※(t)を計算し、かつ、前記信号S(t)及びS※(t)に基づいて、前記一つ若しくは複数の誤差を表す係数の推定値を計算する、電子プロセッサとを含む第三装置を特徴とする。
別の態様において、本発明は、ウェハ上に集積回路を製造する際に使用するリソグラフィ・システムを特徴とする。前記システムは、前記ウェハを支持するためのステージと、空間的にパターン化された放射線を前記ウェハ上に結像するための照射システムと、前記結像された放射線に対する前記ステージの位置を調整するための位置決めシステムと、前記結像された放射線に対する前記ウェハの位置を監視するための第一装置、第二装置、及び第三装置のうちのいずれかとを含んでいる。
別の態様において、本発明は、集積回路を製造するための方法を特徴とする。前記方法は前述のリソグラフィ・システムを使用することを含んでいる。
様々な図面における同一の参照番号は、同一の構成要素を示す。
タイプ2の周期誤差の振幅は平面鏡測定物体の方向に依存しており、それぞれの電気的干渉信号の主要成分の振幅における相対的変動と同様の相対的変動、例えば±20%以下を有する。
ARA0,ARB0,S(t),S※(t),及びAR 2の値はプロセッサ26に伝送され、共役な直角位相S1(t)及びS※1(t),
Claims (64)
- 異なる経路に沿って方向付けられた二つのビームからなる干渉信号S(t)を提供することであって、前記信号S(t)は前記異なる経路の間の光学的経路差nL※(t)の変化を示し、ここで、nは前記異なる経路に沿った平均屈折率であり、L※(t)は前記異なる経路の間の全物理的経路差であり、かつtは時間である、干渉信号S(t)を提供することと、
前記信号S(t)の、その形の理想的表現A1cos(ωRt+φ(t)+ζ1)からの変位をもたらす一つ若しくは複数の誤差を表す一つ若しくは複数の係数を提供することであって、ここでA1及びζ1は定数であり、ωRは前記二つのビーム間の角周波数差であり、かつφ(t)=nkL※(t),k=2π/λであり、λは前記ビームの波長に等しく、前記変位は以下のように表現され、
前記信号S(t)の事前の値の関数を計算することであって、前記信号S(t)の事前の値の関数は、第1の事前の値S(t−τ)に比例する加数と、第2の事前の値S(t−2τ)に比例する加数とを含み、τ>0である、前記計算することと、
前記係数により重み付けられた一つ若しくは複数の誤差基底関数の重ね合せにより生成された誤差信号S Ψ (t)であって、前記誤差基底関数は、前記信号S(t)の事前の値の関数から少なくとも部分的に導出され、かつ正弦関数及び余弦関数の一つ若しくは複数のペアに対応するものであり、前記正弦関数及び余弦関数は引数を有し、前記引数の時間依存性はω R t+(m/p)φ(t)の形を示すものであり、ここで、pは正の整数であり、mはpとは異なる整数である、前記誤差信号SΨ(t)を使用することにより、S(t)の前記理想的表現からの変位を低減することとを含んでいる、方法。 - 請求項1に記載の方法であって、前記二つのビームを前記異なる経路に沿って方向付けること、かつ、前記干渉信号S(t)を測定することをさらに含んでいる、方法。
- 請求項2に記載の方法であって、前記ビームのうちの少なくとも一方は、前記干渉信号S(t)を形成する前に、可動測定物体により反射されるように方向付けられている、方法
- 請求項3に記載の方法であって、前記可動測定物体に接触するように方向付けられている前記ビームは、前記干渉信号S(t)を形成する前に、前記測定物体により複数回反射される、方法。
- 請求項3に記載の方法であって、前記ビームは、前記干渉信号S(t)を形成する前に、前記可動測定物体の異なる位置により反射されるように方向付けられている、方法。
- 請求項1に記載の方法であって、前記誤差はスプリアスビームの経路に対応している、方法。
- 請求項1に記載の方法であって、前記信号S(t)の事前の値の関数を計算することは、前記信号S(t)に基づいて、直角位相信号S※(t)を計算することを含む、方法。
- 請求項7に記載の方法であって、前記誤差基底関数は、前記信号S(t)及びS※(t)から導出される、方法。
- 請求項8に記載の方法であって、ωRはゼロではない、方法。
- 請求項9に記載の方法であって、
定数AR及びζRを有する基準信号SR(t)=ARcos(ωRt+ζR)を提供することと、
前記信号SR(t)と90度異なる位相を有する直角位相基準信号S※R(t)を計算することとをさらに含み、
前記誤差基底関数は、前記信号S(t),S※(t),SR(t),及びS※R(t)から導出される、方法。 - 請求項10に記載の方法であって、前記二つのビームの共通のソースからの出力に基づいた前記基準信号S※R(t)を測定することをさらに含んでいる、方法。
- 請求項12に記載の方法であって、前記直角位相信号S※(t)を計算することは、ωMをωM≒ωR+dφ(t)/dtにより近似すること、をさらに含み、ここで、前記干渉信号S(t)の理想的表現からの変位は無視することが可能であると仮定することにより、前記干渉信号S(t)からωMの表現中のφ(t)は決定される、方法。
- 請求項12に記載の方法であって、前記直角位相信号S※(t)を計算することは、ωMをωM≒ωRにより近似することをさらに含んでいる、方法。
- 請求項1に記載の方法であって、前記干渉信号S(t)は、ωR/2πの整数倍のデータレートにより提供される、方法。
- 請求項1に記載の方法であって、前記誤差基底関数は、前記正弦関数及び余弦関数の複数のペアに対応する、方法。
- 請求項19に記載の方法であって、前記誤差基底関数は、{(p=1,m=−1),(p=1,m=0),(p=1,m=2),(p=1,m=3),(p=2,m=1)}の前記正弦関数及び余弦関数の族(family)からの前記正弦関数及び余弦関数の複数のペアを含んでいる、方法。
- 請求項8に記載の方法であって、前記信号S(t)及びS※(t)から前記誤差基底関数を生成することをさらに含んでいる、方法。
- 請求項10に記載の方法であって、前記信号S(t),S※(t),SR(t),及びS※R(t)から前記誤差基底関数を生成することをさらに含んでいる、方法。
- 請求項22に記載の方法であって、前記誤差基底関数は、前記信号S(t),S※(t),SR(t),及びS※R(t)の代数的組み合せにより生成される、方法。
- 請求項1に記載の方法であって、前記誤差信号SΨ(t)を生成することをさらに含んでいる、方法。
- 請求項24に記載の方法であって、前記誤差信号SΨ(t)は、前記誤差を表す前記係数により重み付けられた前記誤差基底関数の重ね合わせにより生成される、方法。
- 請求項1に記載の方法であって、前記変位を低減することは、前記干渉信号S(t)から前記誤差信号SΨ(t)を差し引くことを含んでいる、方法。
- 請求項1に記載の方法であって、前記変位を低減した後の前記干渉信号S(t)から前記光学的経路差nL※(t)の値を決定することをさらに含んでいる、方法。
- 請求項8に記載の方法であって、前記直角位相信号S※(t)は、前記干渉信号S(t)から、S(t)の事前の値に基づいて前記干渉信号S(t)を推定するために用いられる近似S(t)≒S(t−2πN/ωR)によりS(t)の事前の値に基づき計算され、ここで、Nは正の整数である、方法。
- 請求項8に記載の方法であって、前記誤差信号SΨ(t)を生成するのに使用される前記誤差基底関数は、S(t)の事前の値に基づいて前記干渉信号S(t)を推定するために用いられる近似S(t)≒S(t−2πN/ωR)及びS※(t)≒S※(t−2πM/ωR)により前記信号S(t)及びS※(t)の事前の値から導出され、ここで、N及びMは正の整数である、方法。
- 請求項1に記載の方法であって、ωR>100・dφ(t)/dtである、方法。
- 請求項1に記載の方法であって、ωR>500・dφ(t)/dtである、方法。
- 共通のソースから抽出され、かつ異なる経路に沿って方向付けられた二つのビームからなる干渉信号S(t)を提供することであって、前記信号S(t)は前記異なる経路の間の光学的経路差nL※(t)の変化を示し、ここで、nは前記異なる経路に沿った平均屈折率であり、L※(t)は前記異なる経路の間の全物理的経路差であり、かつtは時間である、干渉信号S(t)を提供することと、
前記信号S(t)の、その形の理想的表現A1cos(ωRt+φ(t)+ζ1)からの変位をもたらす一つ若しくは複数の誤差を表す係数を提供することであって、ここでA1及びζ1は定数であり、ωRは前記二つのビーム間の角周波数差であり、かつφ(t)=nkL※(t),k=2π/λであり、λは前記ビームの波長に等しく、前記変位は以下のように表現され、
正の整数Nに対し、前記係数により重み付けられた一つ若しくは複数の誤差基底関数の重ね合せにより生成された誤差信号S Ψ (t)であって、前記誤差基底関数は、S(t)の事前の値に基づいて干渉信号S(t)を推定するために用いられる近似S(t)≒S(t−2πN/ω R )によって、前記S(t)の事前の値に基づき、前記干渉信号S(t)から少なくとも部分的に導出され、かつ正弦関数及び余弦関数の一つ若しくは複数のペアに対応するものであり、前記正弦関数及び余弦関数は引数を有し、前記引数の時間依存性はω R t+(m/p)φ(t)の形を示すものであり、ここで、pは正の整数であり、mはpとは異なる整数である、前記誤差信号SΨ(t)を使用することにより、S(t)の前記理想的な表現からの変位を低減することとを含んでいる、方法。 - 請求項32に記載の方法であって、ωR>100・dφ(t)/dtである、方法。
- 請求項32に記載の方法であって、ゼロでないωR、並びに、定数AR及びζRを有する基準信号SR(t)=ARcos(ωRt+ζR)を提供することをさらに含み、前記誤差基底関数は、前記信号S(t)及びSR(t)から導出される、方法。
- 請求項34に記載の方法であって、前記誤差基底関数の前記導出は、SR(t)=SR(t−2πM/ωR)により、SR(t)の事前の値に基づき成され、ここで、Mは正の整数である、方法。
- 共通のソースから抽出され、かつ異なる経路に沿って方向付けられた二つのビームからなる干渉信号S(t)の、その形の理想的表現A1cos(ωRt+φ(t)+ζ1)からの変位をもたらす一つ若しくは複数の誤差を表す係数を推定するための方法であって、前記信号S(t)は前記異なる経路の間の光学的経路差nL※(t)の変化を示し、
ここで、nは前記異なる経路に沿った平均屈折率であり、L※(t)は前記異なる経路の間の全物理的経路差であり、tは時間であり、A1及びζ1は定数であり、ωRは前記二つのビーム間の角周波数差であり、かつφ(t)=nkL※(t),k=2π/λであり、λは前記ビームの波長に等しく、前記変位は以下のように表現され、
前記信号S(t)と90度異なる位相を有する直角位相信号S※(t)を計算することと、
ローパス・フィルタリングを用いて、前記信号S(t)及びS※(t)に基づいて前記係数の推定値を計算することとを含んでいる、方法。 - 請求項36に記載の方法であって、
ゼロでないωR、並びに、定数AR及びζRを有する基準信号SR(t)=ARcos(ωRt+ζR)を提供することと、
前記信号SR(t)と90度異なる位相を有する直角位相基準信号S※R(t)を計算することとをさらに含み、
前記係数の前記推定値は、前記信号S(t),S※(t),SR(t),及びS※R(t)に基づいており、ローパス・フィルタリングを用いた推定値である、方法。 - 請求項36に記載の方法であって、前記係数の前記推定値を計算することは、前記信号S(t)及びS※(t)から導出された誤差基底関数を生成することを含んでいる、方法。
- 請求項37に記載の方法であって、前記係数の前記推定値を計算することは、前記信号S(t),S※(t),SR(t),及びS※R(t)から導出された誤差基底関数を生成することを含み、前記誤差基底関数は、正弦関数及び余弦関数の一つ若しくは複数のペアに対応するものであり、前記正弦関数及び余弦関数は引数を有し、前記引数の時間依存性はω R t+(m/p)φ(t)の形を示すものであり、ここで、pは正の整数であり、mはpとは異なる整数である、方法。
- 請求項39に記載の方法であって、前記誤差基底関数は、前記信号S(t),S※(t),SR(t),及びS※R(t)の代数的組み合せから生成される、方法。
- 請求項39に記載の方法であって、前記誤差基底関数は、前記正弦関数及び余弦関数の複数のペアに対応している、方法。
- 請求項41に記載の方法であって、前記誤差基底関数は、{(p=1,m=−1),(p=1,m=0),(p=1,m=2),(p=1,m=3),(p=2,m=1)}の前記正弦関数及び余弦関数の族からの前記正弦関数及び余弦関数の複数のペアを含んでいる、方法。
- 請求項38に記載の方法であって、前記係数の前記推定値を計算することは、前記誤差基底関数、並びに前記信号S(t)及びS※(t)の代数的組み合せにローパス・フィルタをかけることを含んでいる、方法。
- 請求項39に記載の方法であって、前記係数の前記推定値を計算することは、前記誤差基底関数、並びに前記信号S(t)及びS※(t)の代数的組み合せにローパス・フィルタをかけることを含んでいる、方法。
- 請求項43に記載の方法であって、前記ローパス・フィルタをかけることは、ブッターワース・フィルタを使用することを含んでいる、方法。
- 請求項44に記載の方法であって、前記ローパス・フィルタをかけることは、ブッターワース・フィルタを使用することを含んでいる、方法。
- 動作の間、プロセッサにより請求項1に記載の方法を実行させ、かつコンピュータにより判読可能な媒体を備えている、装置。
- 動作の間、プロセッサにより請求項32に記載の方法を実行させ、かつコンピュータにより判読可能な媒体を備えている、装置。
- 動作の間、プロセッサにより請求項36に記載の方法を実行させ、かつコンピュータにより判読可能な媒体を備えている、装置。
- 動作の間、二つのビームを異なる経路に沿って方向付け、かつ、前記二つのビームから干渉信号S(t)を提供する干渉計システムであって、前記信号S(t)は前記異なる経路の間の光学的経路差nL※(t)の変化を示し、ここで、nは前記異なる経路に沿った平均屈折率であり、L※(t)は前記異なる経路の間の全物理的経路差であり、かつtは時間であり、
前記干渉計システムにおける不完全性は、前記信号S(t)の、その形の理想的表現A1cos(ωRt+φ(t)+ζ1)からの変位をもたらす一つ若しくは複数の誤差を生成し、ここでA1及びζ1は定数であり、ωRは前記二つのビーム間の角周波数差であり、かつφ(t)=nkL※(t),k=2π/λであり、λは前記ビームの波長に等しい、干渉計システムと、
電子プロセッサであって、動作の間、前記干渉計システムから前記干渉信号S(t)を受信し、前記一つ若しくは複数の誤差を表す一つ若しくは複数の係数を受信し、前記信号S(t)の事前の値の関数を計算し、かつ、前記係数により重み付けられた一つ若しくは複数の誤差基底関数の重ね合せにより生成された誤差信号S Ψ (t)であって、前記誤差基底関数は、前記信号S(t)の事前の値の関数から少なくとも部分的に導出され、かつ正弦関数及び余弦関数の一つ若しくは複数のペアに対応するものであり、前記正弦関数及び余弦関数は引数を有し、前記引数の時間依存性はω R t+(m/p)φ(t)の形を示すものであり、ここで、pは正の整数であり、mはpとは異なる整数である、前記誤差信号SΨ(t)を使用することにより、S(t)の、前記理想的表現からの前記変位を低減し、前記変位は以下のように表現され、
- 動作の間、共通のソースから抽出された二つのビームを異なる経路に沿って方向付け、かつ、前記二つのビームから干渉信号S(t)を提供する干渉計システムであって、前記信号S(t)は前記異なる経路の間の光学的経路差nL※(t)の変化を示し、ここで、nは前記異なる経路に沿った平均屈折率であり、L※(t)は前記異なる経路の間の全物理的経路差であり、かつtは時間であり、
前記干渉計システムにおける不完全性は、前記信号S(t)の、その形の理想的表現A1cos(ωRt+φ(t)+ζ1)からの変位をもたらす一つ若しくは複数の誤差を生成し、ここでA1及びζ1は定数であり、ωRは前記二つのビーム間の角周波数差であり、かつφ(t)=nkL※(t),k=2π/λであり、λは前記ビームの波長に等しい、干渉計システムと、
電子プロセッサであって、動作の間、前記干渉計システムから前記干渉信号S(t)を受信し、前記一つ若しくは複数の誤差を表す係数を受信し、かつ、正の整数Nに対して、前記係数により重み付けられた一つ若しくは複数の誤差基底関数の重ね合せにより生成された誤差信号S Ψ (t)であって、前記誤差基底関数は、S(t)の事前の値に基づいて干渉信号S(t)を推定するために用いられる近似S(t)≒S(t−2πN/ω R )によって、前記S(t)の事前の値に基づき、前記干渉信号S(t)から少なくとも部分的に導出され、かつ正弦関数及び余弦関数の一つ若しくは複数のペアに対応するものであり、前記正弦関数及び余弦関数は引数を有し、前記引数の時間依存性はω R t+(m/p)φ(t)の形を示すものであり、ここで、pは正の整数であり、mはpとは異なる整数である、前記誤差信号SΨ(t)を使用することにより、S(t)の前記理想的な表現からの前記変位を低減し、前記変位は以下のように表現され、
- 動作の間、共通のソースから抽出された二つのビームを異なる経路に沿って方向付け、かつ、前記二つのビームから干渉信号S(t)を提供する干渉計システムであって、前記信号S(t)は前記異なる経路の間の光学的経路差nL※(t)の変化を示し、ここで、nは前記異なる経路に沿った平均屈折率であり、L※(t)は前記異なる経路の間の全物理的経路差であり、かつtは時間であり、
前記干渉計システムにおける不完全性は、前記信号S(t)の、その形の理想的表現A1cos(ωRt+φ(t)+ζ1)からの変位をもたらす一つ若しくは複数の誤差を生成し、ここでA1及びζ1は定数であり、ωRは前記二つのビーム間の角周波数差であり、かつφ(t)=nkL※(t),k=2π/λであり、λは前記ビームの波長に等しい、干渉計システムと、
電子プロセッサであって、動作の間、前記干渉計システムから前記干渉信号S(t)を受信し、前記信号S(t)と90度異なる位相を有する直角位相信号S※(t)を計算し、かつ、ローパス・フィルタリングを用いて、前記信号S(t)及びS※(t)に基づいて、前記一つ若しくは複数の誤差を表す係数の推定値を計算し、前記変位は以下のように表現され、
- ウェハ上に集積回路を製造する際に使用するリソグラフィ・システムであって、
前記ウェハを支持するためのステージと、
空間的にパターン化された放射線を前記ウェハ上に結像するための照射システムと、
前記結像された放射線に対する前記ステージの位置を調整するための位置決めシステムと、
前記結像された放射線に対する前記ウェハの位置を監視するための請求項50〜52のいずれか1項に記載の装置とを備えている、リソグラフィ・システム。 - ウェハ上に集積回路を製造する際に使用するリソグラフィ・システムであって、
前記ウェハを支持するためのステージと、
放射線ソース、マスク、位置決めシステム、レンズ組立部品、及び請求項50,51,及び52のいずれか1項に記載の装置を含む照射システムとを備え、
動作の間、前記ソースは放射線を配向して、前記マスクを介して空間的にパターン化された放射線を生成し、前記位置決めシステムは、前記ソースからの前記放射線に対する前記マスクの位置を調整し、前記レンズ組立部品は、前記空間的にパターン化された放射線を前記ウェハ上に結像し、かつ、前記装置は、前記ソースからの前記放射線に対する前記マスクの位置が監視する、リソグラフィ・システム。 - リソグラフィ・マスクを製造する際に使用するビーム書き込みシステムであって、
基板にパターンを書き込むための書き込みビームを提供するソースと、
前記基板を支持するステージと、
前記基板に前記書き込みビームを移送するためのビーム配向組立部品と、
前記ステージ及びビーム配向組立部品を相対的に位置決めするための位置決めシステムと、
前記ビーム配向組立部品に対する前記ステージの位置を監視するための請求項50〜52のいずれか1項に記載の装置とを備えている、ビーム書き込みシステム。 - ウェハ上に集積回路を製造する際に使用するリソグラフィの方法であって、
可動ステージ上で前記ウェハを支持することと、
前記ウェハ上に空間的にパターン化された放射線を結像することと、
前記ステージの位置を調整することと、
請求項1,32,及び36のいずれか1項に記載の方法を使用して前記ステージの位置を監視することとを含んでいる、リソグラフィの方法。 - 集積回路を製造する際に使用するリソグラフィの方法であって、
マスクを介して空間的にパターン化された放射線を生成するために、入力放射線を方向付けることと、
前記入力放射線に対して前記マスクを位置決めすることと、
請求項1,32,及び36のいずれか1項に記載の方法を使用して前記入力放射線に対する前記マスクの位置を監視することと、
前記空間的にパターン化された放射線をウェハ上に結像することとを含んでいる、リソグラフィの方法。 - ウェハ上に集積回路を製造するためのリソグラフィの方法であって、
前記ウェハに空間的にパターン化された放射線を照射するため、リソグラフィ・システムの第一部品を、リソグラフィ・システムの第二部品に対して位置決めすることと、
請求項1,32,及び36のいずれか1項に記載の方法を使用して前記第二部品に対する前記第一部品の位置を監視することとを含んでいる、リソグラフィの方法。 - 集積回路を製造するための方法であって、請求項56に記載のリソグラフィの方法を含んでいる、集積回路を製造するための方法。
- 集積回路を製造するための方法であって、請求項57に記載のリソグラフィの方法を含んでいる、集積回路を製造するための方法。
- 集積回路を製造するための方法であって、請求項58に記載のリソグラフィの方法を含んでいる、集積回路を製造するための方法。
- 集積回路を製造するための方法であって、請求項53に記載のリソグラフィ・システムを使用することを含んでいる、集積回路を製造するための方法。
- 集積回路を製造するための方法であって、請求項54に記載のリソグラフィ・システムを使用することを含んでいる、集積回路を製造するための方法。
- リソグラフィのマスクを製造するための方法であって、
基板にパターンを書き込むために、書き込みビームを基板に向き付けることと、
前記書き込みビームに対して前記基板を位置決めすることと、
請求項1,32,及び36のいずれか1項に記載の干渉計の方法を使用することにより、前記書き込みビームに対する前記基板の位置を監視することとを含んでいる、リソグラフィのマスクを製造するための方法。
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US7528961B2 (en) * | 2005-04-29 | 2009-05-05 | Zygo Corporation | Compensation of turbulent effects of gas in measurement paths of multi-axis interferometers |
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US5249016A (en) | 1989-12-15 | 1993-09-28 | Canon Kabushiki Kaisha | Semiconductor device manufacturing system |
US5491550A (en) | 1990-08-31 | 1996-02-13 | Commonwealth Scientific And Industrial Research Organization | Interference methods and interference microscopes for measuring energy path length differences, path length between two locaitons or for determiing refractive index |
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JP3224436B2 (ja) * | 1992-10-29 | 2001-10-29 | アジレント・テクノロジーズ・インク | ヘテロダイン干渉計及びヘテロダイン干渉測定方法 |
US5432603A (en) | 1992-11-20 | 1995-07-11 | Canon Kabushiki Kaisha | Optical heterodyne interference measuring apparatus and method, and exposing apparatus and device manufacturing method using the same, in which a phase difference between beat signals is detected |
JP3219349B2 (ja) | 1993-06-30 | 2001-10-15 | キヤノン株式会社 | 波長コンペンセータ、該波長コンペンセータを用いたレーザ干渉測定装置、該レーザ干渉測定装置を有するステージ装置、該ステージ装置を有する露光システム、および該露光システムを用いたデバイスの製造方法 |
US5404222A (en) | 1994-01-14 | 1995-04-04 | Sparta, Inc. | Interferametric measuring system with air turbulence compensation |
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US5940180A (en) | 1994-10-11 | 1999-08-17 | Giddings & Lewis | Laser interferometer measurement system for use with machine tools |
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US5663793A (en) | 1995-09-05 | 1997-09-02 | Zygo Corporation | Homodyne interferometric receiver and calibration method having improved accuracy and functionality |
JP3653827B2 (ja) | 1995-10-20 | 2005-06-02 | 株式会社ニコン | 干渉計 |
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EP0824722B1 (en) | 1996-03-06 | 2001-07-25 | Asm Lithography B.V. | Differential interferometer system and lithographic step-and-scan apparatus provided with such a system |
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DE69728948T2 (de) | 1996-11-14 | 2005-09-15 | Nikon Corp. | Projektionsbelichtungsvorrichtung und Verfahren |
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US6330065B1 (en) * | 1997-10-02 | 2001-12-11 | Zygo Corporation | Gas insensitive interferometric apparatus and methods |
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