JP2005509147A - 干渉周期誤差の補償 - Google Patents

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Abstract

本発明は、共通源から導出された2つのビームを異なる光路に沿って導く工程と、該2つのビームの各々の第1の部分から導出された第1の出力ビーム(I1)を生成する工程と、該2つのビームの各々の第2の部分から導出された第2の出力ビーム(I2)を生成する工程と、該第1の出力ビームから導出された第1の信号(S1)と該第2の出力ビームから導出された第2の信号(S2)の積(320)を計算する工程とを含む干渉方法を特徴とする。

Description

本発明は、例えば変位を測定する干渉計、リソグラフィ・スキャナあるいはステッパ・システムにおけるマスク・ステージあるいはウェハ・ステージなどの測定対象物の変位を測定する分散干渉計、および気体の波長をモニタし、かつ、固有特性を決定する干渉計に関する。
本出願は、米国特許法第119条(e)の下に、本願明細書にその内容を援用する、2001年11月5日に出願した、ヘンリー・エー・ヒル(Henry A.Hill)に対する「CYCLIC ERROR COMPENSATION AND RESOLUTION ENHANCEMENT」という名称の仮特許出願第60/337,478号の優先権を主張するものである。
変位測定干渉計は、光干渉信号に基づいて、基準対象物に対する測定対象物の位置の変化をモニタする。この干渉計は、測定対象物で反射した測定ビームと基準対象物で反射した基準ビームを重ね合わせ、かつ、干渉させることによって光干渉信号を生成する。
多くのアプリケーションでは、測定ビームおよび基準ビームは、直交偏光および異なる周波数を有する。この異なる周波数は、例えば、レーザ・ゼーマン分割あるいは音響光学変調によって生成され、もしくは複屈折素子などを使用してレーザの内部で生成される。直交偏光により、偏光ビーム・スプリッタによる測定対象物および基準対象物への測定ビームおよび基準ビームの方向付けが可能であり、また、反射した測定ビームおよび基準ビームを結合して、重畳退出測定ビームおよび基準ビームを形成することが可能である。重畳退出ビームは、続いて偏光子を通過する出力ビームを形成する。偏光子は、退出測定ビームおよび基準ビームの偏光を混合して混合ビームを形成する。混合ビーム中の退出測定ビームおよび基準ビームの成分が互いに干渉し合うため、混合ビームの強度は、退出測定ビームおよび基準ビームの相対位相によって変化する。検出器は、混合ビームの時間依存強度を測定し、測定した強度に比例した電気干渉信号を生成する。測定ビームおよび基準ビームは異なる周波数を有するため、この電気干渉信号には、退出測定ビームの周波数と退出基準ビームの周波数の差に等しいうなり周波数を有する「ヘテロダイン」信号が含まれる。例えば測定対象物を含んだステージの移動によって、測定光路および基準光路の長さが互いに対して変化する場合、測定したうなり周波数には、2νnp/λに等しいドップラー・シフトが含まれる。νは、測定対象物と基準対象物の相対速度であり、λは、測定ビームと基準ビームの波長である。また、nは、光ビームが移動する媒体、例えば空気または真空の屈折率であり、pは、基準対象物および測定対象物への通路数である。測定対象物の相対位置の変化は、測定した干渉信号における位相の変化に対応しており、2πの位相変化は、λ/(np)である距離変化Lに実質的に等しい。Lは、往復距離、例えば測定対象物を含んだステージまでの往復距離の変化を表す。
残念ながら、この等式は必ずしも正確ではない。多くの干渉計には、「周期誤差」として知られる非線形性が含まれる。この周期誤差は、測定した干渉信号の位相および/または強度に対する負荷として表現することが可能であり、光路長pnLの変化に対する正弦波依存性を有する。詳細には、一次周期位相誤差は、(2πpnL)/λに対する正弦波依存性を有しており、二次周期位相誤差は、2(2πpnL)/λに対する正弦波依存性を有する。より高次の周期誤差が存在する可能性もある。
周期誤差は、「ビーム混合」によって生成され、名目上、基準ビームを形成する入力ビームの一部が測定光路に沿って伝搬し、かつ/または、名目上、測定ビームを形成する入力ビームの一部が基準光路に沿って伝搬する。このようなビーム混合は、入力ビームの偏光の楕円性によるものであり、また、干渉計コンポーネントの不完全性、例えば、それぞれの基準光路および測定光路に沿って直交偏光された入力ビームを導くために使用される偏光ビーム・スプリッタの不完全性によるものである。ビーム混合およびビーム混合によって生じる周期誤差のため、測定した干渉信号の位相変化と、基準光路と測定光路の間の相対光路長pnLとの間には厳密な線形関係は存在していない。補償しない場合、ビーム混合によって生じる周期誤差により、干渉計によって使用される距離変化の精度が制限される可能性がある。また、周期誤差は、望ましくない多重反射を干渉計の内部で生成する透過表面の不完全性によって、また、干渉計内のビーム中に望ましくない楕円性を生成する逆反射体および/または位相波長板などのコンポーネントの不完全性によっても生成される。周期誤差の理論的な根拠に関する一般的な参考として、例えばシー・ダブリュー・ウー(C.W.Wu)およびアール・ディー・デスラッツ(R.D.Deslattes)、「Analytical modelling of the periodic nonlinearity in heterodyne interferometry」、Applied Optics、37、6696−6700、1998を参照されたい。
分散測定アプリケーションでは、複数の波長、例えば532nmおよび1064nmの波長で光路長が測定され、距離測定干渉計の測定光路内における気体の分散の測定に使用される。距離測定干渉計を使用して測定した光路長を、分散測定を使用して物理的な長さに変換することが可能である。測定した光路長の変化は、気体の攪乱および/または測定アーム内における気体の平均密度の変化によるものであるため、たとえ測定対象物までの物理的な距離が不変であってもこのような変換は重要である。外因性分散測定に加えて、物理的な長さへの光路長の変換には、気体に固有の値についての知識が必要である。係数Γは、適切な固有値であり、また、分散干渉計に使用される波長に対する気体の逆分散力である。この係数Γは、個別に測定することが可能であり、あるいは文献値に基づくことが可能である。また、干渉計における周期誤差は、分散測定および係数Γの測定にも寄与する。さらに、周期誤差は、ビームの波長の測定および/またはモニタに使用される干渉測定を低下させる。
本発明は、集積回路を製造するためのマイクロリソグラフィ・システムに使用される干渉測定などの干渉測定における周期誤差の補償に関する。干渉測定には、対象物の線形変位変化、対象物の角度配向変化および/または光ビームの伝搬方向の変化が含まれる。多くの実施形態にはヘテロダイン干渉が含まれており、また、対応する、直交線形偏光を有する干渉出力ビームの強度測定から導出される2つの信号の積に対応するスーパーヘテロダイン信号の計算が含まれる。スーパーヘテロダイン信号の位相から、干渉出力ビームの基準ビーム成分および測定ビーム成分が移動した異なる光路に関する情報(例えば、変位および/または角度測値)が得られる。スーパーヘテロダイン信号を計算することにより、その位相中の一次周期誤差項が除去され、あるいは実質的に低減され、それにより、スーパーヘテロダイン信号の位相から導出される情報の精度が向上する。
また、一次周期誤差によるスーパーヘテロダイン位相に対する負荷の除去あるいは低減は、スーパーヘテロダイン信号の生成に使用されるエレクトロニクスの多くの態様には無関係である。このような態様には、出力ビームの強度を測定するために使用される検出器の感度の差、および出力ビームの強度および関連する下流側の信号を増幅する前置増幅器および/または増幅器の利得の差が含まれる。また、スーパーヘテロダイン信号を計算することにより、干渉計システムの位相分解能が2倍に向上する。
例えば、一実施形態では、本発明は、i)共通源から導出された、直交偏光およびヘテロダイン周波数分だけ異なる周波数を有する2つのビームを、干渉計内の異なる光路に沿って導き、ii)2つのビームの各々の一部から導出された、第1の共通偏光を有する第1の出力ビームを生成し、iii)2つのビームの各々の一部から導出された、第1の共通偏光に対して実質的に直交する第2の共通偏光を有する第2の出力ビームを生成し、iv)第1および第2の出力ビームの強度測定からそれぞれ導出された第1および第2の信号を生成し、v)第1の信号と第2の信号の積に対応するスーパーヘテロダイン信号を計算して第1および第2の信号中に存在する一次周期誤差を少なくともある程度除去し、vi)スーパーヘテロダイン信号の位相を抽出して干渉計内における異なる光路に関する情報を提供することを含む方法を特徴とする。例えば、異なる光路に関する情報は、異なる光路のうちの1つの光路内における対象物の位置の変化であり、あるいは干渉計内にビームが導出される入力ビームの角度偏差である。また、第1および第2の信号の生成は、測定した強度の各々に高域通過フィルタを通過させることを含んでもよい。
より一般的には、一態様では、本発明は、共通源から導出された2つのビームを異なる光路に沿って導き、2つのビームの各々の第1の部分から導出された第1の出力ビームを生成し、2つのビームの各々の第2の部分から導出された第2の出力ビームを生成し、第1の出力ビームから導出された第1の信号と第2の出力ビームから導出された第2の信号の積を計算することを含む干渉方法を特徴とする。
この方法の実施形態には、以下に示す何らかの特徴が含まれる。
2つのビームを距離測定干渉計、例えば単一パス距離測定干渉計または二重パス距離測定干渉計内の異なる光路に沿って導いてもよい。別法としては、2つのビームを角度測定干渉計内の異なる光路に沿って導いてもよい。例えば角度測定干渉計にビーム・シャーリング・アセンブリを設けてもよい。
第1の信号と第2の信号の積を計算することにより、計算した積から第1および第2の信号中に存在する一次周期誤差を少なくともある程度除去し得る。
この方法は、計算した積から異なる光路に関する情報を抽出することを更に含んでもよい。例えば、この情報は、異なる光路のうちの1つの光路内における対象物の位置の変化に対応させてもよい。別法としては、入力ビームから2つのビームを導出し、情報を入力ビームの角度偏差に対応させてもよい。
第1の部分に第1の共通偏光を持たせ、第2の部分に、第1の共通偏光とは異なる第2の共通偏光を持たせてもよい。例えば、第1および第2の共通偏光は、実質的に直交させてもよい。また、第1および第2の出力ビームの生成は、2つのビームを結合し、結合したビームを偏光ビーム・スプリッタに導いて第1および第2の出力ビームを生成することを含んでもよい。他の実施形態では、第1および第2の出力ビームの生成は、2つのビームを結合し、結合したビームを非偏光ビーム・スプリッタに導いて第1および第2の中間ビームを生成し、中間ビームの各々を偏光子に導いて第1および第2の出力ビームを生成することを含む。さらに他の実施形態では、第1および第2の出力ビームの生成は、2つのビームの各々を第1の共通偏光を有する部分および第2の共通偏光を有する部分に分割し、第1の共通偏光を有する部分を結合して第1の出力ビームを生成し、第2の共通偏光を有する部分を結合して第2の出力ビームを生成することを含む。
また、この方法は、第1および第2の出力ビームの生成に先立って、方向付けされたビームのうちの一方のビームに第1の偏光子を通過させ、もう一方のビームには第1の偏光子を通過させないことを更に含んでもよい。例えば、第1の共通偏光を線形偏光にし、また、第1の偏光子を第1の共通線形偏光に対して45度で配向してもよい。この方法は、第1および第2の出力ビームの生成に先立って、方向付けされたビームのうちのもう一方のビームに第2の偏光子を通過させることを含んでもよい。例えば、第1および第2の偏光子を配向して直交線形偏光を通過させるようにしてもよい。
また、この方法は、共通源から導出された入力ビームを偏光ビーム・スプリッタに導いて異なる光路に沿って導かれる2つのビームを生成することを含んでもよい。
異なる光路に沿って導かれる2つのビームには、ヘテロダイン周波数分だけ異なる周波数を持たせるようにしてもよい。このような実施形態では、第1の信号と第2の信号の積はスーパーヘテロダイン項を含む。さらに、この方法は、スーパーヘテロダイン信号の位相を抽出することを含んでもよい。
また、この方法は、第1の出力ビームの強度を測定することによって第1の信号を生成し、第2の出力ビームの強度を測定することによって第2の信号を生成することを含んでもよい。さらに、第1および第2の信号の生成は、測定した強度の各々に高域通過フィルタを通過させることを含んでもよい。
他の態様では、本発明は、ウェハ上への集積回路の製造に使用するためのリソグラフィ方法を特徴とする。このリソグラフィ方法は、ウェハを可動ステージ上でサポートし、空間的にパターン化された放射をウェハ上に結像させ、ステージの位置を調整し、上記干渉方法を使用してステージの位置を測定することを含む。
他の態様では、本発明は、集積回路の製造に使用するためのリソグラフィ方法を特徴とする。このリソグラフィ方法は、マスクを通して入力放射を導いて空間的にパターン化された放射を生成し、マスクを入力放射に対して位置決めし、上記干渉方法を使用して、入力放射に対するマスクの位置を測定し、空間的にパターン化された放射をウェハ上に結像することを含む。
他の態様では、本発明は、ウェハ上に集積回路を製造するためのリソグラフィ方法を特徴とする。このリソグラフィ方法は、リソグラフィ・システムの第1のコンポーネントをリソグラフィ・システムの第2のコンポーネントに対して位置決めしてウェハを空間的にパターン化された放射に露光し、上記干渉方法を使用して、第2のコンポーネントに対する第1のコンポーネントの位置を測定することを含む。
他の態様では、本発明は、集積回路を製造するための方法を特徴とする。この方法は、上で説明したいずれかリソグラフィ方法を含む。
他の態様では、本発明は、リソグラフィ・マスクの製造に使用するためのビーム書込み方法を特徴とする。この方法は、書込みビームを基板に導いて基板をパターン化し、基板を書込みビームに対して位置決めし、上記干渉方法を使用して、書込みビームに対する基板の位置を測定することを含む。
一般的には、他の態様では、本発明は、i)共通源から導出された2つのビームを異なる光路に沿って導き、かつ、2つのビームの各々の第1の部分から導出された第1の出力ビームと、2つのビームの各々の第2の部分から導出された第2の出力ビームとを生成するように構成された干渉計と、ii)第1および第2の出力ビームの強度をそれぞれ測定するように配置された第1および第2の検出器と、iii)第1および第2の検出器に結合され、動作中、第1の出力ビームの強度から導出される第1の信号と第2の出力ビームの強度から導出される第2の信号の積を計算する電子プロセッサとを含む干渉システムを特徴とする。
この干渉システムの実施形態には、以下に示す何らかの特徴が含まれる。
干渉計は、距離測定干渉計、例えば単一パス距離測定干渉計または二重パス距離測定干渉計を含んでもよい。別法としては、干渉計は角度測定干渉計を含んでもよい。例えば、角度測定干渉計は、ビーム・シャーリング・アセンブリを含んでもよい。
電子プロセッサによって計算される積によって、第1および第2の信号中に存在する一次周期誤差を少なくともある程度除去し得る。
また、動作中、電子プロセッサが、計算した積から干渉計内における異なる光路に関する情報を抽出してもよい。この情報は、例えば、異なる光路のうちの1つの光路内における対象物の位置の変化に対応させてもよい。他の実施形態では、例えば、干渉計は、入力ビームから2つのビームを導出するように構成され、電子プロセッサによって抽出される情報は、入力ビームの角度偏差に対応する。
干渉計は、第1の部分に第1の共通偏光を持たせ、第2の部分に、第1の共通偏光とは異なる第2の共通偏光を持たせるように構成することが可能である。例えば、第1および第2の共通偏光は、実質的に直交させてもよい。
各種実施形態では、干渉計は偏光ビーム・スプリッタを含み、異なる経路に沿って2つのビームを導いた後、その2つのビームを結合し、かつ、結合したビームを偏光ビーム・スプリッタに導いて第1および第2の出力ビームを生成するように構成されている。他の実施形態では、干渉計は、1つの非偏光ビーム・スプリッタおよび2つの偏光子を備えており、異なる経路に沿って2つのビームを導いた後、その2つのビームを結合し、結合したビームを非偏光ビーム・スプリッタに導いて第1および第2の中間ビームを生成し、かつ、中間ビームの各々を2つの偏光子のうちの対応する偏光子に導いて第1および第2の出力ビームを生成するように構成されている。さらに他の実施形態では、干渉計は、2つのビームの各々を第1の共通偏光を有する部分および第2の共通偏光を有する部分に分割し、第1の共通偏光を有する部分を結合して第1の出力ビームを生成し、かつ、第2の共通偏光を有する部分を結合し第2の出力ビームを生成するように構成されている。
また、干渉計が第1の偏光子を含み、干渉計を、第1および第2の出力ビームの生成に先立って、方向付けされたビームのうちの一方のビームに第1の偏光子を通過させ、もう一方のビームには第1の偏光子を通過させないように構成してもよい。例えば、第1の共通偏光を線形偏光にし、また、第1の偏光子を第1の共通線形偏光に対して45度で配向するようにしてもよい。また、干渉計が第2の偏光子を含み、干渉計を、第1および第2の出力ビームの生成に先立って、方向付けされたビームのうちのもう一方のビームに第2の偏光子を通過させるように構成してもよい。例えば、第1および第2の偏光子は、直交線形偏光を通過させるように配向するようにしてもよい。
干渉計は、入力ビームを受け取り、かつ、異なる光路に沿って導かれる2つのビームを生成するように配置された偏光ビーム・スプリッタを含んでもよい。
干渉計システムには共通源を含んでもよい。この共通源は、例えば、干渉計によって異なる光路に沿って導かれる2つのビームの間にヘテロダイン周波数差を導入するように構成してもよい。また、電子プロセッサによって計算される積がスーパーヘテロダイン項を含んでもよい。さらに、動作中、電子プロセッサがスーパーヘテロダイン信号の位相を抽出してもよい。また、電子プロセッサが高域通過フィルタを含み、動作中、電子プロセッサが第1および第2の出力ビームの各々を測定された強度で該高域通過フィルタを通過させて第1および第2の信号を生成するようにしてもよい。
他の態様では、本発明は、ウェハ上への集積回路の製造に使用するためのリソグラフィ・システムを特徴とする。このリソグラフィ・システムは、ウェハをサポートするためのステージと、空間的にパターン化された放射をウェハ上に結像させるための照射システムと、結像した放射に対するステージの位置を調整するための位置決めシステムと、上記した、結像した放射に対するウェハの位置をモニタするための干渉システムとを含む。
他の態様では、本発明は、ウェハ上への集積回路の製造に使用するためのリソグラフィ・システムを特徴とする。このリソグラフィ・システムは、ウェハをサポートするためのステージと、放射源、マスク、位置決めシステム、レンズ・アセンブリおよび上記した干渉システムを含む照射システムとを含み、動作中、放射源がマスクを通して放射を導いて空間的にパターン化された放射を生成し、位置決めシステムが放射源からの放射に対するマスクの位置を調整し、レンズ・アセンブリが空間的にパターン化された放射をウェハ上に結像させ、干渉システムが放射源からの放射に対するマスクの位置をモニタする。
他の態様では、本発明は、リソグラフィ・マスクの製造に使用するためのビーム書込みシステムを特徴とする。このシステムは、基板をパターン化するための書込みビームを提供する光源と、基板をサポートするためのステージと、書込みビームを基板に供給するためのビーム方向付けアセンブリと、ステージおよびビーム方向付けアセンブリを相互に位置決めするための位置決めシステムと、上記した、ビーム方向付けアセンブリに対するステージの位置をモニタするための干渉システムとを備える。
添付の図面および以下の説明は、本発明の1つまたは複数の実施形態の詳細を示したものである。本発明の他の特徴、目的および利点については、以下の説明および図面から、また、特許請求の範囲の各請求項から明らかになるであろう。
以下、本発明について、添付の図面を参照して、単なる実施例によって詳細に説明する。
類似の参照記号は、全図を通して類似の構成要素を表す。
図1は、対象物の線形変位変化の測定、対象物の角度配向変化の測定および/または光ビームの伝搬方向の変化の測定などの干渉測定に対する一次周期誤差の負荷を低減する干渉システム10を示したものである。システム10には、光源12、干渉計14、一対の検出器16、18および電子プロセッサ20が含まれる。
光源12は、干渉計14内の光ビームとして原始ビーム、例えば入力ビーム22を提供する。光源12は、ヘテロダイン周波数を画定する周波数差f1を有する2つの直交偏光ビーム成分を含んだ入力ビーム22を生成する。ヘテロダイン周波数差を生成するために、光源12は、例えば、当分野で公知であるように、ゼーマン分割レーザあるいは音響光学変調器を備えてもよい。
干渉計14は、入力ビーム22から2つの干渉計ビーム(例えば、測定ビームおよび基準ビーム)を導出し、それらを干渉計内の異なる光路に沿って導く。この2つの干渉計ビームは、通常、異なる周波数を有する直交偏光ビーム成分に対応する。例えば、干渉計14は、入力ビームをその直交偏光ビーム成分に分割して2つの干渉計ビームを形成する偏光ビーム・スプリッタを備えてもよい。各種実施形態では、干渉計14は、一方の干渉計ビームをその光路に沿って導く(例えば反射によって)測定対象物の位置の変化を測定するように構成されている。他の実施形態では、干渉計は、測定対象物の角度配向の変化を測定するように構成されている。さらに他の実施形態では、干渉計は、干渉計への入力ビームの伝搬角度の変化を測定するように構成されている。このような実施形態では、光源12からの光は、通常、入力ビーム22として干渉計14に入射する前に1つまたは複数の光学系によって方向が変化するため、干渉計の目的は、入力ビームの方向を変える1つまたは複数の光学系に関する角度配向情報を決定することである。
干渉計ビームを異なる光路に導くと、干渉計14は、第1の共通偏光を有する2つの干渉ビームの各々の第1の部分から導出された第1の出力ビーム24と、第1の共通偏光に対して実質的に直交する第2の共通偏光を有する2つのビームの各々の第2の部分から導出された第2の出力ビーム26とを生成する。例えば、各種実施形態では、干渉計14は、2つの干渉計ビームを再結合し、再結合したビームをいずれか一方の干渉計ビームの線形偏光状態に対して一定の角度で配向された偏光ビーム・スプリッタに導く(つまり、干渉計ビームの偏光を混合するために)。その結果、偏光ビーム・スプリッタは、直交偏光を有し、かつ、それぞれが干渉計ビームの各々からの成分を含んだ2つの出力ビームを生成する。
検出器16および18は、出力ビーム24および26の強度を測定し、それぞれ強度信号I1およびI2を生成する。電子プロセッサ20は、これらの強度信号を受け取り、受け取った強度信号を処理して、I1から導出される第1の信号とI2から導出される第2の信号の積に対応するスーパーヘテロダイン信号を生成する。次に、電子プロセッサ20は、スーパーヘテロダイン信号の位相ψ1を抽出し、干渉計内の異なる光路間の光路長の差に関する情報を生成する。以下でさらに説明するように、スーパーヘテロダイン信号を計算することにより、強度信号中に存在する一次周期誤差が実質的に低減(例えば除去)され、それにより、スーパーヘテロダイン信号の位相から導出される情報の精度が向上する。スーパーヘテロダイン信号に先行する信号およびスーパーヘテロダイン信号自体の生成に関しては、電子プロセッサ20に、ヘテロダイン周波数f1の干渉項とスーパーヘテロダイン周波数2f1の干渉項を分離するための帯域通過フィルタを設けてもよい。
次に図2aを参照すると、干渉計14の一実施形態は、偏光ヘテロダイン単一パス干渉計である線形変位干渉計214である。干渉計214は、周波数差f1を有する2つの線形直交偏光光ビーム成分を含んだ入力ビーム222を受け取る。2つの直交偏光成分の偏光面は互いに平行であり、それぞれ図2aの面に対して直角をなす。
干渉計214は、基準逆反射体(reference retroreflector)210、対物逆反射体(object retroreflector)211、4分の1波長位相波長板212、213および偏光ビーム・スプリッタ215を備える。この構成は、偏光マイケルソン干渉計として当分野で公知である。対物逆反射体211の位置は、トランスレータ216によって制御される。
偏光ビーム・スプリッタ215は、入力ビーム222を、基準光路および測定光路に沿ってそれぞれ伝搬する基準ビーム228および測定ビーム230に分割する。基準ビームは、基準逆反射体210で反射し、4分の1波長板212を2回通過した後、図2aの面に平行に線形偏光されて偏光ビーム・スプリッタ215から出ていく。測定ビームは、測定領域219を横断して対物逆反射体211で反射し、4分の1波長板212を2回通過した後、図2aの面に直角に線形偏光されて偏光ビーム・スプリッタ215から出ていく。偏光ビーム・スプリッタ215を出た基準ビームおよび測定ビームには、それぞれ基準光路および測定光路の光路長に関する情報が入力ビームの波長λ1にて含まれる。
以下で詳細に説明するが、周期誤差補償を強化し得る偏光の純度を高めるために、偏光ビーム・スプリッタ215を出た基準ビームおよび測定ビームは、偏光子205および206をそれぞれ通過する。偏光子を通過したビームは、ミラー207および偏光ビーム・スプリッタ208によって結合され、結合ビーム223が形成される。この結合ビームはアナライザ230に入射され、アナライザ230は基準ビームおよび測定ビームの偏光を混合し、かつ、出力ビーム224および226を生成するように配向されている。出力ビーム224および226は、図1に示す出力ビーム24および26にそれぞれ対応する。アナライザ230は、結合ビーム223の入射面が図2aの面に対して実質的に一定の角度(例えば45度)をなすように配向された偏光ビーム・スプリッタである。つまり、出力ビーム224は、図2aの面に対して実質的に一定の角度(例えば45度)で伝搬する。この出力ビーム224および226が対応する検出器に入射され、図1を参照して説明したように、強度信号I1およびI2がそれぞれ生成される。
干渉計214は、出力ビームの各々の基準ビーム成分と測定ビーム成分の間に移相ψ1を導入する。移相ψ1の大きさは、式によれば測定領域219の往復物理距離L1に比例する。
ψ1=L1pk11 (1)
pは、それぞれの基準レグおよび測定レグを通過する回数であり、n1は測定領域219中の気体の屈折率である。また、k1は測定ビームの波数である。本発明の精神および範囲を逸脱することなく本発明を分かり易く説明するために、図2aには単一パス干渉計すなわちp=1である干渉計が示されている。他の実施形態では、干渉計には多重パス干渉計、例えば二重パス干渉計が使用される。
また、他の実施形態では、干渉計には図2aに示す干渉計とは異なる単一パス干渉計が使用される。例えば、他の実施形態では、干渉計光路を出ていく基準ビームおよび測定ビームの偏光純度を高めるための偏光子205および206を組み込む必要がない。このような場合、例えば、対物逆反射体211の位置を入射測定ビームに対して直角をなす方向に沿って移動させ、それにより、基準ビームおよび測定ビームを偏光ビーム・スプリッタ215から共線をなして退出させることが可能である。このような実施形態では、偏光ビーム・スプリッタ215を出ていく基準ビームと測定ビームの重複によって、アナライザ230に入射する結合ビームが形成されるため、ミラー207およびビーム・スプリッタ208は不要である。
干渉計14の他の実施形態は、図2bに示す高安定平面鏡干渉計(HSPMI)264である。干渉計264は、偏光ビーム・スプリッタ265、4分の1波長板262、263、基準ミラー260、トランスレータ266に結合された測定ミラー261および共通逆反射体267を備える。動作中、偏光ビーム・スプリッタ265は入力ビーム272を受け取り、基準ビーム278および測定ビーム280に分割する。
図2bを参照すると、基準ビーム278は、基準ミラー260で反射し、4分の1波長板262を2回通過した後、偏光ビーム・スプリッタ265に戻る。4分の1波長板は、2回通過することによって基準ビームの線形偏光を90度回転させるように配向されており、それにより基準ビームが偏光ビーム・スプリッタ265を透過して共通逆反射体267に達する。共通逆反射体は、基準ビームの方向を変え、偏光ビーム・スプリッタ265を通して基準ミラーの方へ戻す。基準ミラーは、戻された基準ビームがもう一度4分の1波長板262を2回通過した後、偏光ビーム・スプリッタ265へ戻す。4分の1波長板を2回通過することにより、基準ビームの線形偏光がもう一度90度回転し、それにより、偏光ビーム・スプリッタ265は、今度は基準ビームを結合ビーム273の基準ビーム成分として反射する。
さらに図2bを参照すると、測定ビーム280は、測定領域269を通って伝搬し、測定ミラー261で反射して4分の1波長板263を2回通過した後、偏光ビーム・スプリッタ265に戻る。4分の1波長板は、2回通過することによって測定ビームの線形偏光を90度回転させるように配向されており、それにより偏光ビーム・スプリッタ265は測定ビームを共通逆反射体267へ反射する。共通逆反射体は、測定ビームの方向を変え、偏光ビーム・スプリッタ265に戻す。偏光ビーム・スプリッタ265は、戻された測定ビームを反射し、測定領域269を通して測定ミラーに戻す。測定ミラーは、測定ビームがもう一度4分の1波長板262を2回通過した後、測定ビームを反射して偏光ビーム・スプリッタ265に戻す。4分の1波長板を2回通過することにより、測定ビームの線形偏光がもう一度90度回転し、それにより、測定ビームが今度は結合ビーム273の測定ビーム成分として偏光ビーム・スプリッタ265を透過する。
この結合ビーム273がアナライザ280に入射し、図1に示す出力ビーム24および26に対応する出力ビーム274および276が生成される。図2aに示す実施形態の場合と同様、アナライザ280は、基準ビームおよび測定ビームの偏光を混合し、かつ、出力ビームを生成するように配向される。例えば、アナライザ280には、結合ビーム273の入射面が図2bの面に対して実質的に一定の角度(例えば45度)をなすように配向された偏光ビーム・スプリッタを使用することが可能である。式1を参照すると、HSPMI264は、p=2である二重パス干渉計の一実施例である。
さらに他の実施形態では、干渉計14は、複数の測定軸を提供する複数の測定ビームを包含することが可能であり、それらの組合せを使用して、測定対象物の角度配向の変化を決定することが可能である。干渉計の他の実施形態は、例えば、本願明細書にその内容を援用する、「Differential interferometer arrangements for distance and angle measurements:Principles,advantages and applications」byシー・ザノニ(C.Zanoni)、VDI Berichte Nr.749、93−106(1989)という名称の論文に記載されているような差動平面鏡干渉計および/または類似のデバイスを包含することが可能である。また、干渉計の他の実施形態には、動的ビーム・ステアリング素子を有する干渉計あるいは受動ゼロ・シャー干渉計が含まれる。例えば、本願明細書にその内容を援用する、ヘンリー・アレン・ヒル(Henry Allen Hill)による米国特許第6,252,667号、第6,271,923号および第6,313,876号に、動的ビーム・ステアリング素子を備えた干渉計が記載されている。また、本願明細書にその内容を援用する、いずれもヘンリー・アレン・ヒル(Henry Allen Hill)による、2001年8月2日に出願した「Passive Zero Shear Interferometers」という名称の米国仮特許出願第60/309,608号、および2001年8月23日に出願した「Passive Zero Shear Interferometers using Angle Sensitive Beam Splitters」という名称の米国仮特許出願第60/314,345号に、受動ゼロ・シャー干渉計が記載されている。
他の実施形態では、出力ビームを異なるコンポーネントおよび/または配列を使用して生成することが可能である。例えば、結合ビームの入射面が図の面に対して実質的に45度をなすように配向される、それぞれ図2aおよび2bに示す偏光アナライザ230および280を使用する代わりに、2分の1波長板を配置することによって、アナライザの全段で、結合ビームの基準ビーム成分および測定ビーム成分の線形偏光を45度回転させることが可能であり(この場合、出力ビームは図の面内を伝搬する)、この場合、アナライザは、入射面が図の面に対して直角になるように配向することが可能である。図2cは、このような実施形態を示したもので、2分の1波長板290および偏光ビーム・スプリッタ291(アナライザとして作用する)が、結合ビーム292から出力ビーム293および294を生成する。
また、図2dに示すような他の実施形態では、アナライザを非偏光ビーム・スプリッタ291’および一対の個別偏光子295、296に置き換えることが可能である。この非偏光ビーム・スプリッタによって、結合ビーム292が、基準ビーム成分および測定ビーム成分を含んだ2つのビーム297aおよび297bにそれぞれ分割される。この場合、偏光子295および296は、ビーム297aおよび297bをそれぞれ受け取るように配置され、ビーム297aおよび297bに含まれる基準ビーム成分および測定ビーム成分を混合し、出力ビーム298および299をそれぞれ生成する。
さらに他の実施形態では、測定ビームおよび基準ビーム自体をそれぞれ2つの部分に分割し、次に、基準ビーム部分と測定ビーム部分の各々の対を結合し、その成分の偏光を混合して対応する出力ビームを生成することが可能である。
図1に示すように、測定した出力ビームの強度は、電子プロセッサ20によって処理される。図3は、プロセッサ20の例示的実施形態を示したもので、強度信号I1およびI2からヘテロダイン周波数f1成分を選択し、かつ、他の周波数成分を抑制するための高域通過フィルタ318が含まれる。高域通過フィルタ318によって生成された信号s1およびs2は、次に、乗算器320によって互いに乗算され、スーパーヘテロダイン信号[s1×s2]が生成される。第2の高域通過フィルタ322は、スーパーヘテロダイン信号を受け取り、受け取った信号をフィルタリングして、スーパーヘテロダイン周波数2f1の成分を保持し、他の成分(ヘテロダイン周波数f1の成分など)を抑制する。次に、位相計324によってスーパーヘテロダイン項の位相ψ1が抽出され、続いて、プロセッサ・コンポーネント326によって、その位相が干渉計内における測定ビームおよび基準ビームに関する情報(例えば、光学距離の変化あるいは入力ビームの伝搬方向の変化)に変換される。これらの個々の機能のための適切なディジタルおよび/またはアナログ電子コンポーネントについては、電子技術分野では公知である。
次に、出力ビームからの強度信号に対して実施される電子プロセッサによる数理演算について説明する。
信号s1およびs2に対する、周期誤差などのあらゆる非線形寄与が存在しない場合、フィルタリングされた信号s1およびs2の測定位相は、位相ψ1とは無関係の(あるいは等価的に干渉計内における基準ビームと測定ビームとの間の光路長の差の変化に無関係の)位相オフセットと位相ψ1との和に等しい。しかしながら、通常、干渉計は、測定した位相に対する、ビーム混合、多重反射および光学系の不完全性に起因する周期誤差の負荷を有する。フィルタリングされた信号s1およびs2は、それぞれ次のように表すことが可能である。
Figure 2005509147
1およびg2は、それぞれ検出器16および18の検出器感度および増幅器利得である。E1およびE2は、それぞれ測定ビームおよび基準ビームの一次電界すなわち非スプリアス電界の複素振幅である。ε1,jおよびε2,jは、フィルタリングされた信号s1およびs2の測定位相中の周期誤差項を生成する、測定ビームおよび基準ビームのスプリアス・ビーム成分の複素電界振幅である。jは指数(複数のスプリアス・ビーム成分を表すための)である。ζ1およびζ2は、ψ1とは無関係の位相オフセットである。F1,jおよびF2,jは、高域通過フィルタ318によるフィルタリングの結果としての信号s1およびs2中のε1,jおよびε2,jに関連する個々の周期誤差項に付与される振幅低減係数である。式(2)および(3)中の項Ο(ε1,iおよびε2,j)は、ε1,iとε2,jの組合せにおける二次の項を表す。角度θ1およびθ2は、アナライザにおける結合ビームの入射面と結合ビームの非スプリアス測定ビーム成分の偏光面との間および非スプリアス基準ビーム成分の偏光面との間の角度である。角度θ1ε,jおよびθ2ε,jは、j番目のスプリアス・ビームに対するアナライザにおける結合ビームの入射面と結合ビームのスプリアス測定ビーム成分の偏光面との間およびスプリアス基準ビーム成分の偏光面との間の角度である。周波数ω1は、ω1=f1/2πによるヘテロダイン周波数に対応する。
通常、ε1,jに対応するスプリアス・ビーム成分は、一次基準成分E2の周波数と同じ周波数を有する成分であるが、スプリアス偏光混合によって一次測定ビーム成分と共線になる。逆に、ε2,jに対応するスプリアス・ビーム成分は、一次測定成分E1の周波数と同じ周波数を有する成分であるが、スプリアス偏光混合によって一次基準ビーム成分と共線になる。したがって、ε1,jとE1の相対位相はω1tの項からなり、ε2,jとE2の相対位相もω1tの項からなっている。また、E1とE2の相対位相もω1tの項からなっている。しかし、ε1,jとE2の相対位相はω1tの項からなっていない。また、ε2,jとE1の相対位相もω1tの項からなっていない。このようなε1,jおよびε2,jの項の主な出所は、例えば、光源における2つの周波数成分の偏光に対する混合と、干渉計内の1つまたは複数の偏光ビーム・スプリッタの消衰係数に対する有限値である。
また、干渉計内の偏光ビーム・スプリッタにより、ε1,jに対応するスプリアス・ビーム成分の偏光は、通常、E1に対応する一次測定ビーム成分の偏光と同じであり、ε2,jに対応するスプリアス・ビーム成分の偏光は、通常、E2に対応する一次測定ビーム成分の偏光と同じである。上で説明したように、測定ビームおよび基準ビームの偏光の純度は、複数の偏光子を使用することによってさらに高めることが可能であり、したがって、通常、θ1ε,j=θ1およびθ2ε,j=θ2の条件が得られる。
式(2)および(3)における総和の各々の角括弧の中の表現式には、それらが第1の出力ビームに対応しているのか、あるいは第2の出力ビームに対応しているのかを示す添字が含まれていることに留意されたい。この区別は、異なる検出器によって強度信号中に導入されるあらゆる位相オフセット項に対応する。添字が含まれていない場合、個々の出力ビームが干渉計内の同じ一次基準ビームおよび一次測定ビームから導出されるため、これらの項は全く同じである。通常、これらの角括弧内の添字が含まれていない場合の全く同じ項の間のこの位相オフセット差は、些細な差である。
信号s1とs2を乗算することにより、スーパーヘテロダイン信号[s1×s2]が生成される。
Figure 2005509147
特に、ε1,jおよびε2,jにおける一次項であり、かつ、式(4)における第1および第4の総和に属する項は、θ2およびθ1εが余角であり、かつ、θ1およびθ2εが余角であることを条件として簡略化することが可能である。つまり、
θ1ε+θ2=π (5)
θ2ε+θ1=π (6)
式(5)および(6)で表される相補条件を満足する場合、式(4)は、
Figure 2005509147
に短縮される。
また、異なる検出器によって導入されるあらゆる位相オフセットは、個々の項に存在することになるため、
[E1ε* 1,j+E* 1ε1,j1[E1* 2+E* 122項によって、
[E1ε* 1,j+E* 1ε1,j2[E1* 2+E* 121項が相殺され、同様に、
[E1ε* 2,j+E* 1ε2,j1[E1* 2+E* 122項によって、
[E1ε* 2,j+E* 1ε2,j2[E1* 2+E* 121項が相殺される。したがって、式(7)は、次のように表すことが可能である。
Figure 2005509147
これは、式(4)の第1および第4の総和の周期誤差項が除去されることを示す。
式(5)および(6)によって表される相補条件は、精度の高い例えば0.001ラジアンを使用して、例えば出力ビームの生成に使用されるアナライザの配向を調整することによって容易に達成することが可能である。相補条件を満足する角度の非制限の実施例は、θ1=θ1ε,j=45°、θ2=θ2ε,j=135°である。相補条件は、干渉計内の測定ビームおよび基準ビームを偏光ビーム・スプリッタによって偏光フィルタリングすることによって、ある程度のレベルの精度まで満足する。上記したように、偏光フィルタリングの追加段を挿入することによって相補条件を満足することにより、より高いレベルの精度を達成することが可能である。
ε1,jおよびε2,jにおける一次項であり、かつ、式(4)の第2および第3の総和に属する周期誤差項の生成の有効性が相補条件によって損なわれることはない。しかしながら、これらの項の有効性は、通常、式(4)、(7)および(8)に存在する係数F1,jおよびF2,jによって反映されるこれらの項の周波数スペクトルによって減少する。
また、式(8)のスーパーヘテロダイン信号中の残りの周期誤差項には、式(8)の第1項に依存する2ω1tに比べて線形のω1tによる負荷を有する位相が含まれており、したがって、第2の高域通過フィルタ322によってこれらの残りのスプリアス一次項をさらに小さくすることが可能である。このようなフィルタリングに続いて、位相計324によってスーパーヘテロダイン信号の位相ψ1が抽出される。距離測定アプリケーションでは、次に、プロセッサ・コンポーネント326によって、式(1)に基づいてψ1から光路長L1の変化が決定される。角度測定アプリケーションへのプロセッサ・コンポーネント326の適用については、以下で詳細に考察する。
したがって、2つの出力ビームから導き出される積項を生成し、続いてその積項を処理することにより、一次周期誤差による干渉距離および/または角度測定に対する負荷を除去することが可能である。この周期誤差は、入力ビームの光源および干渉計の両方の中で生じ得る二次ビーム汚染によるものであり、また、干渉計の光コンポーネント中の複屈折によるものである。また、複屈折による偏光面の回転による影響は、複数段の偏光フィルタを備えた実施形態によってさらに補償することが可能である。本明細書において説明した周期誤差補償後の残留周期誤差の制限量は、|ε1,j|および/または|ε2,j|における第2順位である。例えば、線形変位に振幅が1nmの誤差をもたらす周期誤差項は、1pm程度の制限周期誤差振幅を有することになる。
特に、周期誤差の補償は、入力ビームの強度を増すことなく達成することが可能である。また、周期誤差の補償は、単一の位相計のみを使用して達成することが可能であり、したがってコストが低減される。さらに、スーパーヘテロダイン信号が生成されるため、式(4)に示すように、位相の分解能が2倍に向上する。周期誤差補償の他の重要な特徴は、周期誤差補償が感度−利得パラメータg1およびg2に無関係であることである。したがって、出力ビームの強度を測定する検出器エレクトロニクスを丹念にバランスさせる必要はない。
他の実施形態では、図1に示す干渉計14は角度測定干渉計である。図4aは、角度測定干渉計400を略図で示したものである。光源(図示せず)は、f1に等しい周波数差を有する2つの直交偏光成分を有する入力ビーム402を、入射角θinput(通常、小さい角度)でビーム・シャーリング・アセンブリ410に導く。ビーム・シャーリング(shearing)・アセンブリは、入力ビームを直交偏光を有する2つの成分(例えば測定ビームおよび基準ビーム)に分割し、分割した成分を直交偏光成分の各々に対応し、かつ、横断分離(すなわちシャー(shear))S3を有する平行伝搬ビーム412および413として出現させている。図4aに示すように、ビーム412は、図の面に平行の線形偏光であり、また、ビーム413は、図の面に対して直角の線形偏光を有する。シャーS3のサイズおよびビーム・シャーリング・アセンブリ内における2つの成分の間の相対光路長は、入射角θinputによって変化する。ビーム412および413は、上で説明した、距離測定干渉計を備えた実施形態のアナライザと同様のアナライザ420に入射する。
シャード・ビーム412および413の各々の第1の共通偏光成分は、アナライザ420によって成分422および423としてそれぞれ透過され、また、シャード・ビーム412および413の各々の第2の共通偏光成分は、アナライザ420によって成分432および433としてそれぞれ反射される。例えば、図4aに示す実施形態では、アナライザ420は、ビーム412および413の入射面が図4aの面に対して実質的に45度の角度をなすように配向された偏光ビーム・スプリッタである。したがって、ビーム432および433は、図4aの面に対して実質的に45度の角度で伝搬する。
ビーム422および423(第1の共通偏光に対応する)はレンズ424に入射し、レンズ424は、ビーム422および423を集束して重複させ、第1の出力ビーム425を形成する。次に図4bを参照すると(図4bの面は、図4aの面に対して45度をなす)、ビーム432および433(第2の共通偏光に対応する)はレンズ434に入射し、レンズ434は、ビーム432および433を集束して重複させ、第2の出力ビーム435を形成する。第1および第2の出力ビーム425および435は、図1に示す出力ビーム24および26に対応しており、検出器16および18によってその強度がそれぞれ測定される。
距離測定アプリケーションに関連して上記したように、追加角度測定の実施形態では、異なるコンポーネントおよび/または配列を組み込んで出力ビームを生成することが可能である。例えば、偏光アナライザ420に入射する前に、2分の1波長板を配置してシャード・ビーム412および413を受け取るようにすることが可能である。この場合も、図2cを参照して上記した修正と同様、アナライザ420の配向を修正することが可能である。また、他の実施形態では、図2dを参照して上記したように、アナライザを非偏光ビーム・スプリッタおよび一対の個別偏光子に置き換えることが可能である。
次に、上記したように、電子プロセッサ20によって出力ビーム425および435の強度が処理され、それにより、干渉測定における一次周期誤差が低減(さらには除去)される。この実施形態では、出力ビーム425および435から導出されるスーパーヘテロダイン信号の位相は、ビーム・シャーリング・アセンブリ内におけるビームの相対光路長の差に対応しており、延いては、入力ビームの入射角に関連付けることが可能である。
次に、ビーム・シャーリング・アセンブリ410の特定の実施形態、それによって得られる、出力ビームの強度信号に対する計算、および入力角度情報の抽出について説明する。
図5aを参照すると、一実施形態では、ビーム・シャーリング・アセンブリ410は、偏光ビーム・スプリッタ532、538、直角プリズム533、537、および切頭ポロ・プリズム535、536からなっている。図5aの面内で偏光された入力ビーム402の成分(以下、ビーム550と呼ぶ)は、偏光ビーム・スプリッタ532を透過して直角プリズム533で反射し、切頭ポロ・プリズム536でその方向が変化した後、出力ビーム412として偏光ビーム・スプリッタ538で反射する。図5aの面に対して直角に偏光された入力ビーム402の成分(以下、ビーム552と呼ぶ)は、偏光ビーム・スプリッタ532で反射し、切頭ポロ・プリズム535でその方向が変化し、直角プリズム537で反射した後、ビーム413として偏光ビーム・スプリッタ538を透過する。
本実施形態では、ビーム・シャーリング・アセンブリ410およびアナライザ410を通過する2つのビームの各々のガラス中における光路は同じであることに留意されたい。この特徴により、干渉計システムは、温度変化に対して極めて安定している。
出力ビーム425および435に対応するテロダイン強度信号は、電子プロセッサ内の第1の高域通過フィルタによるフィルタリングに続いて、s3およびs4によってそれぞれ与えられる。周期誤差が存在しない場合、フィルタリングされた干渉信号s3およびs4は、次のように表すことが可能である。
3=A3cos(ω1t+ψ3+ζ3) (9)
4=A4cos(ω1t+ψ3+ζ4) (10)
上式で、
ψ3=2k1n[d1cosθ’1+d2cosθ’2−d3cosθ’3−d4cosθ’4] (11)
であり、ω1=2πf1であり、ζ3およびζ4は、位相ψ3に無関係の位相オフセットであり、k1=2π/λ1、λ1は入力ビームの波長であり、θ’1およびθ’2は、直角プリズム533におけるビーム550の入射角および偏光ビーム・スプリッタ538におけるビーム550の入射角(図5b参照)であり、θ’3およびθ’4は、偏光ビーム・スプリッタ532におけるビーム552の入射角および直角プリズム537におけるビーム552の入射角(図5b参照)である。また、d1、d2、d3およびd4は、図5bに定義されている。本発明の範囲および精神を逸脱することなく、本発明の特徴を分かり易く立証するために、式(11)では、ビーム・シャーリング・アセンブリ410内におけるすべての光路が同じ屈折率を有することが仮定される。非制限の実施形態では、ビーム・シャーリング・アセンブリは、d1=d3、d2=d4、θ’1+θ’2=π/2、およびθ’3+θ’4=π/2を満足するように構築されており、この場合、ψ3を表す式(11)は、次のようにより簡単な表現式に短縮される。
Figure 2005509147
上で説明した距離測定実施形態の場合と同様、フィルタリングされた電気干渉信号はs3およびs4は、次に、電子プロセッサ内で乗算され、スーパーヘテロダイン信号[s3×s4]が生成される。次に、第2の高域通過フィルタによってスーパーヘテロダイン信号[s3×s4]がフィルタリングされ、位相計に向かって透過する。次に、位相計によってスーパーヘテロダイン信号[s3×s4]の位相が決定される。スーパーヘテロダイン信号[s3×s4]の位相は、2ψ3に等しく、一次周期誤差による負荷が実質的に低減される。この位相2ψ3は、式(11)(角度θ’1、θ’2、θ’3およびθ’4は入力角に応じて変化するため)あるいは式(11)の適当な形を使用して、対応する入力角の変化dθinputに変換される。周期誤差に対する補償の説明および位相の分解能が2倍に向上することについては、上記した通りである。一例として角度変位に振幅が200ナノラジアンの誤差をもたらす周期誤差項の場合、制限周期誤差振幅は、0.2ナノラジアン程度になる。
次の式によれば、横シャーS3は、ビーム・シャーリング・アセンブリ130の特性に関係する。
Figure 2005509147
Φ1およびΦ’1は、偏光ビーム・スプリッタ532の入口ファセットにおける入力ビームのビーム成分550の入射角および屈折であり、Φ3およびΦ’3は、偏光ビーム・スプリッタ532の入口ファセットにおける入力ビームのビーム成分552の入射角および屈折である(図5b参照)。ビーム・シャーリング・アセンブリの上記非制限実施例の場合、式(13)は、次のように単純化される。
Figure 2005509147
式(13)および(14)によるS3の表現式は、ビーム・シャーの生成に使用される一次機構を表しているが、ビーム・シャーを導入するための、例えば入射角依存型移相(グース・ヘンヒェン効果)と結合した他の機構が存在する。
振幅A3(および同様にA4)は、|h(p3)|2のフーリエ変換のフーリエ成分に対する良好な近似に比例する。すなわち、
Figure 2005509147
で表すことが可能である。h(p3)は、レンズ424のひとみ関数が乗算された、レンズ424におけるビーム422または423のうちのいずれか1つの振幅のフーリエ変換である。
j=sinθo,j+sinθi,j 、 j=1,2... (16)
であり、θo,jおよびθi,jの定義については図5cに示されている。角度θo,jおよびθi,jは、対象物におけるビームjの主光線およびレンズ424の画像空間の共役角である。Pjの定義については図5dに示されている。
式(11)および(12)から、光ビームの方向変化の形での位相ψ3の分解能が、長さ23/2(d1−d2)の増加に伴って高くなることは明らかである。しかしながら、23/2(d1−d2)の有効範囲は、式(15)によって示されているように、|h(p3)|2のフーリエ変換の空間周波数帯域によって画定される。
3/2(d1−d2)の最適値は、通常、個々のひとみを透過するビームの特性空間寸法の約1/2に等しい。例えば、レンズ424におけるビーム422およびビーム423の両方に対する図5aの面内の長方形のひとみの寸法がbであり、かつ、ビーム422および423の振幅がそれぞれのひとみ全体に一様である場合を考察する。この場合、|h(p3)|2は、二乗されたシンク関数すなわち(sin x/x)2であり、|h(p3)|2のフーリエ変換は三角関数Λである。三角関数Λは、23/2(d1−d2)=0のとき、最大値が1になり、23/2(d1−d2)≧bのとき、値が0になる。したがって振幅は、23/2(d1−d2)≧bのとき、A3=0であり、光ビームの方向変化の形での位相ψ3の分解能は、23/2(d1−d2)=0のとき、0である。したがって、23/2(d1−d2)の最適値は、この場合、約b/2である。23/2(d1−d2)の実際の最適値は、例えば信号対雑音比に対する最適動作条件を定義するために使用される基準によって決まる。入力ビーム402の成分がガウス強度プロファイルを有する場合、23/2(d1−d2)の最適値はおおよそwである。wは、入力ビーム402の強度が、その中心におけるビーム402の強度の1/eに等しい値になる半径である。
例えばビームが、2w=5.0mm、θ1=45度およびλ1=633nmのガウス強度プロファイルを有する場合、dΦ1およびdΦ3の変化に対する、式(12)に基づく位相2ψ3の感度は、微分形式で次の式によって表すことが可能である。
Figure 2005509147
式(17)は、入力ビームの直交偏光成分が共線ではない場合を含んだ状況を一般化したものであり、そうでない場合、dθinput=dΦ1=dΦ3に従って式(17)をさらに単純化することが可能であることに留意されたい。また、式(17)は、角度変化dΦ1およびdΦ3に対する位相ψ3の変化の感度が屈折率nに無関係であることを示していることに留意されたい。これは重要な特性である。詳細には、角度変化dΦ1およびdΦ3に対する位相ψ3の変化の感度は、ビーム・シャーリング・アセンブリの光素子の屈折率の変化によって誘導される熱にはとりわけ無関係であり、ビーム・シャーリング・アセンブリの光素子の熱膨張係数にのみ依存する温度変化に対する感度を有する。ビーム・シャーリング・アセンブリ410の光素子の熱膨張係数は、一般的には0.5ppm/度C以下になるように選択することが可能である。同じ理由で、ψ3のゼロ値も、ビーム・シャーリング・アセンブリの温度変化に対する、対応する低感度を示す。
第1の実施形態によって適応し得る、平均値[dΦ1+dΦ3]/2の範囲を制限する2つの主な量は、差[dΦ1−dΦ3]/2の大きさと、1つまたは複数の検出器の感応面積のサイズである。信号s3およびs4の振幅は、
Figure 2005509147
である場合、約半分に低減することが可能である。式(17)では省略されているdΦ1およびdΦ3におけるより高次の項は、個々の最終使用アプリケーションの必要に応じて、式(11)から容易に決定することが可能である。
図5eは、ビーム・シャーリング・アセンブリ410の第2の実施形態を図で示したもので、2つのプリズム5330、5332および偏光ビーム・スプリッタ界面5340からなっている。入力ビーム402の第1の成分は、偏光ビーム・スプリッタ界面5340を2回透過し、プリズム5330および5332のファセットで反射してシャード・ビーム5350を生成する。入力ビーム402の第2の成分は、偏光ビーム・スプリッタ界面5340で2回反射し、かつ、プリズム5330および5332のファセットで反射してシャード・ビーム5352を生成する。
2つのプリズム5330、5332および偏光ビーム・スプリッタ界面5340は、入力ビーム402の伝搬方向とビーム5350および5352の伝搬方向の関係に対して、ペンタ・プリズムの特性と同じ特性を示す。プリズム5330および5332は、同形であり、ビーム5350と5352の間にビーム・シャーSa3を導入するように選択された相対サイズを有することが好ましい。屈折媒体中におけるビーム5350および5352の光路は、実質的に同じである。ビーム5350および5352は、図4aに示すシャード・ビーム412および413にそれぞれ対応しており、後続するこれらのビームの処理も、シャーS3がシャーSa3に置き換わっただけで、上記した実施形態の処理と類似している。
上記した干渉分光システムは、高度に精確な測定を提供し、コンピュータ・チップなどの大規模な集積回路を製造する際に使用されるリソグラフィの応用分野において特に有用である。リソグラフィは、半導体製造産業では枢要な技術推進力である。オーバーレイの改良は、100nmの線幅(設計基準寸法)まで、およびそれより下に下げる5つの最も困難な課題の1つである(たとえば、Semiconductor Industry Roadmap、p82(1997)参照)。
オーバーレイは、ウエハおよびレチクル(またはマスク)のステージを位置決めするために使用される距離測定干渉計の性能、すなわち正確さおよび精度に直接依存する。リソグラフィ・ツールは、$50〜100M/年の製品を生産することが可能であるので、改良型性能距離測定干渉計の経済価値は膨大である。リソグラフィ・ツールの歩留まりが1%増大するたびに、集積回路製造業者にとって約$1M/年の経済利益が得られ、リソグラフィ・ツールの販売業者にとっては、競争にかなり有利である。
リソグラフィ・ツールの機能は、空間的にパターン化された放射をフォトレジスト被覆ウエハの上に向けることである。この過程には、ウエハのどの位置が、放射を受け取るかを決定すること(位置合わせ)と、放射をその位置においてフォトレジストに加えること(露光)とが含まれる。
ウエハを適切に位置決めするために、ウエハは、専用センサによって測定することが可能である位置合わせマークをウエハの上に含む。位置合わせマークの測定位置は、ツール内におけるウエハの位置を確定する。この情報は、ウエハ表面の望ましいパターン化の仕様と共に、空間的にパターン化された放射に対するウエハの位置合わせを誘導する。そのような情報に基づいて、フォトレジスト被覆ウエハを支持する並進可能ステージが、放射がウエハの正確な位置を露光させるように、ウエハを移動させる。
露光中、放射ソースが、パターン化されたレチクルを照明し、レチクルは、空間的にパターン化された放射を生成するように、放射を散乱させる。レチクルはマスクとも呼ばれ、これらの用語は、以下では区別なく使用される。リダクション・リソグラフィの場合では、リダクション・レンズが、散乱放射を収集して、レチクル・パターンのリダクション画像を形成する。代替として、プロキシミティ印刷の場合では、散乱放射は、短い距離(通常ミクロンの大きさ)を伝播した後、ウエハに接触して、レチクル・パターンの1:1画像を作成する。放射は、レジストにおいて光化学過程を開始し、放射パターンをレジスト内の潜像に変換する。
干渉分光システムは、ウエハおよびレチクルの位置を制御し、かつレチクル像をウエハの上に登録する位置決め機構の重要な構成要素である。そのような干渉分光システムが上記で記述した特徴を含む場合、システムによって測定される距離の正確さは、距離測定に対するエラー負荷が最小限に抑えられるので、増大する。
一般に、露光システムとも呼ばれるリソグラフィ・システムは、通常、照明システムおよびウエハ位置決めシステムを含む。照明システムには、紫外線、可視光線、x線、電子、またはイオンの放射などの放射を提供する放射ソースと、パターンを放射に付与して、それにより空間的にパターン化された放射を生成するためのレチクルまたはマスクとが含まれる。さらに、リダクション・リソグラフィの場合では、照明システムは、空間的にパターン化された放射をウエハの上に撮像するためのレンズ部品を含むことが可能である。撮像放射は、ウエハの上に被覆されたレジストを露光させる。照明システムには、また、マスクを支持するマスク・ステージと、マスクを通して向けられた放射に対してマスク・ステージの位置を調節するための位置決めシステムとが含まれる。ウエハ位置決めシステムには、ウエハを支持するためのウエハ・ステージと、撮像放射に対してウエハ・ステージの位置を調節するための位置決めシステムとが含まれる。集積回路の製造は、複数の露光工程を含むことが可能である。リソグラフィに関する一般的な参考文献については、たとえば、本願明細書に援用するU.R.シーツ(Sheats)、B.W.スミス(Smith)、「Microlighography:Science and Techonology(Marcel Dekker,Inc.,ニューヨーク、1998)を参照されたい。
上記した干渉分光システムを使用して、レンズ部品、放射ソース、または支持構造など、露光システムの他の構成要素に対するウエハ・ステージおよびマスク・ステージのそれぞれの位置を正確に測定することが可能である。そのような場合、干渉分光システムは、静止構造に取り付けることが可能であり、測定物体は、マスク・ステージおよびウエハ・ステージの一方など、可動要素に取り付けることが可能である。代替として、状況を逆にして、干渉分光システムを可動物体に取り付け、測定物体を静止物体に取り付けることが可能である。
より一般的には、そのような干渉分光システムを使用して、露光システムのあらゆる他の構成要素に対する露光システムのいずれか1つの構成要素の位置を測定することが可能である。露光システムにおいては、干渉分光システムは、構成要素の1つに取り付けられる、または構成要素の1つによって支持される、あるいは構成要素の他によって支持される。
干渉分光システム1126を使用するリソグラフィ・スキャナ1100の例を図6aに示す。干渉分光システム1126を使用して、露光システム内におけるウエハ(図示せず)の位置を正確に測定する。ここでは、ステージ1122を使用して、露光ステーションに対してウエハを位置決めして、支持する。スキャナ1100は、フレーム1102を含み、フレーム1102は、他の支持体構造およびそれらの構造の上に搭載された様々な構成要素を搭載する。露光ベース1104には、その上にレンズ・ハウジング1106が取り付けられ、レンズ・ハウジングの上には、レチクルまたはマスクを支持するために使用されるレチクルステージまたはマスク・ステージ1116が取り付けられる。マスクを露光ステーションに対して位置決めする位置決めシステムを、要素1117によって概略的に示す。位置決めシステム1117は、たとえば、圧電変換器要素および対応する制御電子機器を含むことが可能である。上記実施形態には含まれていないが、一つ以上の上記した干渉分光システムを用いて、マスク・ステージならびにリソグラフィ構造を製作する過程において位置を精確に監視しなければならない他の可動要素の位置を正確に測定することも可能である(シーツ及びスミス、「Microlighography:Science and Techonology」を参照)。
露光ベース1104の下には、ウエハ・ステージ1122を搭載する支持ベース1113が吊り下げられている。ステージ1122は、干渉分光システム1126によってステージ1122に向けられた測定ビーム1154を反射する平面ミラー1128を含む。干渉分光システム1126に対してステージ1122を位置決めする位置決めシステムを、要素1119によって概略的に示す。位置決めシステム1119は、たとえば、圧電変換器要素および対応する制御電子機器を含むことが可能である。測定ビームは、露光ベース1104の上に取り付けられている干渉分光システム1126に向けて後方反射される。干渉分光システム1126は、以前に記述した干渉分光システムの例のいずれかを含むことが可能である。
動作中、UVレーザ(図示せず)からの紫外線(UV)ビームなどの放射ビーム1110は、ビーム成形光学機器部品1112を通過して、ミラー1114から反射された後、下方に進行する。その後、放射ビームは、マスク・ステージ1116に搭載されたマスク(図示せず)を通過する。マスク(図示せず)は、レンズ・ハウジング1106に搭載されたレンズ部品1108を介してウエハ・ステージ1122の上のウエハ(図示せず)の上に撮像される。ベース1104およびそれによって支持されている様々な構成要素は、ばね1120によって示したダンピング・システムによって、環境の変化から隔離される。
リソグラフィ・スキャナの他の例では、以前に記述した干渉分光システムの1つまたは複数を使用して、たとえば非限定的であるが、ウエハ・ステージおよびレチクル(またはマスク)ステージに関連する複数軸に沿った距離および角度を測定することが可能である。また、UVレーザ・ビームではなく、x線ビーム、電子ビーム、イオン・ビーム、および可視光ビームなどを含めて、他のビームを使用して、ウエハを露光させることが可能である。
いくつかの例では、リソグラフィスキャナは、列基準として知られるものを含むことが可能である。そのような例では、干渉分光システム1126は、基準ビーム(図示せず)を外部基準経路に沿って向け、外部基準経路は、放射ビームをレンズ・ハウジング1106などに向けるいくつかの構造の上に取り付けられた基準ミラー(図示せず)と接触する。基準ミラーは、基準ビームを干渉分光システム1126に後方反射する。干渉信号が、ステージ1122から反射された測定ビーム1154と、レンズ・ハウジングの上に取り付けられた基準ミラーから反射された基準ビームとを組み合わせることによって、干渉分光システム1125により生成される。干渉信号は、放射ビームに対するステージ1122の位置の変化を表す。さらに、他の例では、干渉分光システム1126は、スキャナ・システムのレチクル(またはマスク)・ステージ1116もしくは他の可動構成要素の位置の変化を測定するように位置決めすることが可能である。最後に、干渉分光システムは、スキャナの他に、またはスキャナの代わりに、ステッパを含むリソグラフィ・システムと共に同様の方式で使用することが可能である。
リソグラフィは、半導体装置を作成する製造方法の重要な一部である。そのような製造方法の工程が概述されている(たとえば、米国特許第5,483,343号参照)。これらの工程について、図6bおよび6cに関して以下で記述する。図6bは、半導体チップ(ICまたはLSIなど)、液晶パネル、またはCCDなど、半導体装置を製造する順序のフロー・チャートである。工程1151は、半導体装置の回路を設計する設計過程である。工程1152は、回路パターン設計に基づくマスクの製造過程である。工程1153は、シリコンなどの材料を使用することによってウエハを製造する過程である。
工程1154は、予備過程と呼ばれるウエハ過程であり、準備したマスクおよびウエハを使用することによって、リソグラフィにより、回路をウエハの上に形成する。十分な空間分解能でマスク上の回路パターンに対応する回路をウエハの上に形成するために、ウエハに対するリソグラフィ・ツールの干渉分光による位置決めが必要である。本明細書で記述する干渉分光法およびシステムは、ウエハ過程において使用されるリソグラフィの有効性を向上させるのに特に有用であり得る。
工程1155は、工程1154によって処理されたウエハが半導体チップに形成される事後過程と呼ばれる組立て工程である。この工程は、組立て(方形切断および結合)および実装(チップ封止)を含む。工程1156は、検査工程であり、工程1155によって作成された半導体装置の動作性の検査、耐久性の検査などが実施される。これらの過程により、半導体装置は完成し、出荷される(工程1157)。
図6cは、ウエハ過程の詳細を示すフロー・チャートである。工程1161は、ウエハの表面を酸化させる酸化過程である。工程1162は、絶縁膜をウエハ表面の上に形成するCVD過程である。工程1163は、蒸着によってウエハの上に電極を形成する電極形成過程である。工程1164は、イオンをウエハに注入する注入過程である。工程1165は、レジスト(感光材料)をウエハに加えるレジスト過程である。工程1166は、露光(すなわちリソグラフィ)によって、上記で記述した露光装置により、マスクの回路パターンをウエハの上に印刷する露光過程である。再び、上記で記述したように、本明細書で記述する干渉分光システムおよび方法を使用することにより、そのようなリソグラフィ工程の精度および分解能は向上する。
工程1167は、露光ウエハを成長する成長過程である。工程1168は、成長レジスト像以外の部分を除去するエッチング過程である。工程1169は、エッチング過程を施された後にウエハ上に残留しているレジスト材料を分離するレジスト分離過程である。これらの過程を反復することによって、回路パターンがウエハの上に形成され、重ね合わされる。
上記した干渉分光システムは、物体の相対位置を正確に測定する必要がある他の応用分野において使用することも可能である。たとえば、基板またはビームが移動する際に、レーザ、x線、イオン、または電子ビームなどの書込みビームが、基板の上にパターンをマーキングする応用分野では、干渉分光システムを使用して、基板と書込みビームとの相対運動を測定することが可能である。
図7を参照すると、ビーム書込みシステム1200の例は、列基準を使用する干渉分光システム1220を含む。ソース1210は、書込みビーム1212を生成する。ビーム集束部品1214は、放射ビームを、可動ステージ1218によって支持された基板1216に向ける。ステージ1218の相対位置を決定するために、干渉分光システム1220は、基準ビーム1222をビーム集束部品1214の上に取り付けられたミラー1224に向け、測定ビーム1226をステージ1218の上に取り付けられたミラー1228に向ける。基準ビームはビーム収束部品上に搭載されたミラーと接触するので、ビーム書込みシステムは、列基準を用いるシステムの例である。干渉分光システム1220は、以前に説明した干渉分光システムのいずれかとすることが可能である。干渉分光システムによって測定された位置の変化は、基板1216上における書込みビーム1212の相対位置の変化に対応する。干渉分光システム1220は、基板1216上における書込みビーム1212の相対位置を表す測定信号1232を制御装置1230に送信する。制御装置1230は、出力信号1234を、ステージ1218を支持し、かつ位置決めするベース1236に送信する。さらに、書込みビームが、基板の選択位置のみにおいて光物理的変化または光化学的変化が生じるのに十分な強度で基板1216に接触するように、書込みビーム1212の強度を変化させるために、または書込みビーム1212を遮断するために、制御装置1230は、信号1238をソース1210に送信する。
さらに、いくつかの例では、制御装置1230は、ビーム集束部品1214に、たとえば信号1244を使用して、基板の領域にわたって書込みビームを走査させることが可能である。その結果、制御装置1230は、基板をパターン化するように、システムの他の要素を誘導する。パターン化は、通常、制御装置に記憶されている電子設計パターンに基づく。いくつかの応用例では、書込みビームは、基板の上に被覆されたレジストをパターン化し、他の応用例では、書込みビームは、基板をエッチングするなど、直接パターン化する。
そのようなシステムの重要な応用分野は、以前に記述したリソグラフィ方法において使用されるマスクおよびレチクルの製造である。たとえば、リソグラフィ・マスクを製作するために、電子ビームを使用して、クロミウム被覆ガラス基板をパターン化することが可能である。書込みビームが電子ビームであるような場合では、ビーム書込みシステムは、電子ビーム経路を真空に封入する。また、書込みビームが電子ビームまたはイオン・ビームである場合では、ビーム集束部品は、真空下において帯電粒子を基板上に集束させ、向けるための四重極レンズなどの電場生成装置を含む。書込みビームがx線、UV、または可視光線の放射などの放射ビームである他の場合では、ビーム集束部品は、放射を基板に集束させ、向けるための対応する光学機器を含む。
各種実施態様について、上記のように説明したが、各種の変更が本発明の精神及び範囲から逸脱することなく行われてもよい。従って、他の実施形態も、以下の請求項の範囲内にある。
一次周期誤差による負荷を実質的に低減する干渉システムの略図。 図1に示す干渉システムと共に使用するための距離測定干渉計の一実施形態の略図。 図1に示す干渉システムと共に使用するための距離測定干渉計の他の実施形態の略図。 図2aおよび2bに示す干渉計におけるアナライザ・システムの代替実施形態の略図。 図2aおよび2bに示す干渉計におけるアナライザ・システムのさらに他の代替実施形態の略図。 図1に示す電子プロセッサの一実施形態の略図。 図1に示す干渉システムと共に使用するための角度測定干渉計の略図。 図1に示す干渉システムと共に使用するための角度測定干渉計の他の略図。 図4aおよび4bに示す角度測定干渉計と共に使用するためのビーム・シャーリング・アセンブリの一実施形態の略図。 図5aに示すビーム・シャーリング・アセンブリ内のビーム光路を示す図。 図5aに示すビーム・シャーリング・アセンブリ内のビーム光路を示す他の図。 図5aに示すビーム・シャーリング・アセンブリ内のビーム光路を示す他の図。 図4aおよび4bに示す角度測定干渉計と共に使用するためのビーム・シャーリング・アセンブリの他の実施形態の略図。 集積回路の製造に使用されるリソグラフィ・システムの略図。 集積回路を製造するための工程を示す流れ図。 集積回路を製造するための工程を示す他の流れ図。 ビーム書込みシステムの略図。

Claims (60)

  1. 共通源から導出された2つのビームを異なる光路に沿って導き、
    該2つのビームの各々の第1の部分から導出された第1の出力ビームを生成し、
    該2つのビームの各々の第2の部分から導出された第2の出力ビームを生成し、
    該第1の出力ビームから導出された第1の信号と該第2の出力ビームから導出された第2の信号の積を計算することを備える方法。
  2. 前記2つのビームが距離測定干渉計内の異なる光路に沿って導かれる、請求項1に記載の方法。
  3. 前記距離測定干渉計が単一パス干渉計である、請求項2に記載の方法。
  4. 前記距離測定干渉計が二重パス干渉計である、請求項2に記載の方法。
  5. 前記2つのビームが角度測定干渉計内の異なる光路に沿って導かれる、請求項1に記載の方法。
  6. 前記角度測定干渉計が、ビーム・シャーリング・アセンブリを備える、請求項5に記載の方法。
  7. 前記第1および第2の信号の前記積を計算することにより、前記第1および第2の信号中に存在する一次周期誤差が前記計算された積から少なくともある程度除去される、請求項1に記載の方法。
  8. 前記計算された積から前記異なる光路に関する情報を抽出することを更に備える、請求項1に記載の方法。
  9. 前記情報が、前記異なる光路のうちの一方の対象物の位置の変化に対応する、請求項8に記載の方法。
  10. 前記2つのビームが入力ビームから導出され、前記情報が該入力ビームの角度偏差に対応する、請求項8に記載の方法。
  11. 前記第1の部分が第1の共通偏光を有し、前記第2の部分が、該第1の共通偏光とは異なる第2の共通偏光を有する、請求項1に記載の方法。
  12. 前記第1および第2の共通偏光が実質的に直交する、請求項11に記載の方法。
  13. 前記第1および第2の出力ビームを生成することが、前記2つのビームを結合し、該結合したビームを偏光ビーム・スプリッタに導いて前記第1および第2の出力ビームを生成することを備える、請求項11に記載の方法。
  14. 前記第1および第2の出力ビームを生成することが、前記2つのビームを結合し、該結合したビームを非偏光ビーム・スプリッタに導いて第1および第2の中間ビームを生成し、該中間ビームの各々を偏光子に導いて前記第1および第2の出力ビームを生成することを備える、請求項11に記載の方法。
  15. 前記第1および第2の出力ビームを生成することが、前記2つのビームの各々を、前記第1の共通偏光を有する部分と前記第2の共通偏光を有する部分に分割し、前記第1の共通偏光を有する該部分を結合して前記第1の出力ビームを生成し、前記第2の共通偏光を有する該部分を結合して前記第2の出力ビームを生成することを備える、請求項11に記載の方法。
  16. 前記第1および第2の出力ビームの生成に先立って、前記方向付けされたビームのうちの一方のビームに第1の偏光子を通過させ、もう一方のビームには該偏光子を通過させないことを更に備える、請求項11に記載の方法。
  17. 前記第1および第2の出力ビームの生成に先立って、前記方向付けされたビームのうちの前記もう一方のビームに第2の偏光子を通過させることを備える、請求項16に記載の方法。
  18. 前記第1および第2の偏光子が直交線形偏光を通過させるように配向されている、請求項17に記載の方法。
  19. 前記第1の共通偏光が線形偏光であり、前記第1の偏光子が該第1の共通線形偏光に対して45度で配向されている、請求項16に記載の方法。
  20. 前記共通源から導出された入力ビームを偏光ビーム・スプリッタに導いて前記異なる光路に沿って導かれる前記2つのビームを生成することを備える、請求項11に記載の方法。
  21. 前記異なる光路に沿って導かれる前記2つのビームが、ヘテロダイン周波数分異なる周波数を有する、請求項1に記載の方法。
  22. 前記第1の信号と前記第2の信号の前記積が、スーパーヘテロダイン項を備える、請求項21に記載の方法。
  23. 前記スーパーヘテロダイン信号の位相を抽出することを更に備える、請求項22に記載の方法。
  24. 前記第1の出力ビームの強度を測定することによって前記第1の信号を生成し、前記第2の出力ビームの強度を測定することによって前記第2の信号を生成することを更に備える、請求項21に記載の方法。
  25. 前記第1および第2の信号を生成することが、前記測定した強度の各々に高域通過フィルタを通過させることを更に備える、請求項24に記載の方法。
  26. 干渉測定における周期誤差の負荷を低減するための方法であって、
    共通源から導出された、直交偏光とヘテロダイン周波数分異なる周波数とを有する2つのビームを、干渉計内の異なる光路に沿って導き、
    2つのビームの各々の一部から導出された、第1の共通偏光を有する第1の出力ビームを生成し、
    該2つのビームの各々の一部から導出された、該第1の共通偏光に対して実質的に直交する第2の共通偏光を有する第2の出力ビームを生成し、
    該第1および第2の出力ビームの強度測定からそれぞれ導出された第1および第2の信号を生成し、
    該第1の信号と第2の信号の積に対応するスーパーヘテロダイン信号を計算して、該第1および第2の信号中に存在する一次周期誤差を少なくともある程度除去し、
    該スーパーヘテロダイン信号の位相を抽出して、該干渉計内における該異なる光路に関する情報を提供することを備える方法。
  27. 共通源から導出された2つのビームを異なる光路に沿って導き、かつ、該2つのビームの各々の第1の部分から導出された第1の出力ビームと、該2つのビームの各々の第2の部分から導出された第2の出力ビームとを生成するように構成された干渉計と、
    該第1および第2の出力ビームの強度をそれぞれ測定するように配置された第1および第2の検出器と、
    該第1および第2の検出器に結合され、動作中、該第1の出力ビームの該強度から導出された第1の信号と該第2の出力ビームの該強度から導出された第2の信号との積を計算する電子プロセッサとを備える装置。
  28. 前記干渉計が、距離測定干渉計を備える、請求項27に記載の装置。
  29. 前記距離測定干渉計が単一パス干渉計である、請求項28に記載の装置。
  30. 前記距離測定干渉計が二重パス干渉計である、請求項28に記載の装置。
  31. 前記干渉計が、角度測定干渉計を備える、請求項27に記載の装置。
  32. 前記角度測定干渉計が、ビーム・シャーリング・アセンブリを備える、請求項31に記載の装置。
  33. 前記電子プロセッサによって計算された前記積により、前記第1および第2の信号中に存在する一次周期誤差が少なくともある程度除去される、請求項27に記載の装置。
  34. 動作中、前記電子プロセッサによって、前記計算された積から前記干渉計内における異なる光路に関する情報が抽出される、請求項27に記載の装置。
  35. 前記情報が前記異なる光路のうちの一方の光路内の対象物の位置の変化に対応する、請求項34に記載の装置。
  36. 前記干渉計が、入力ビームから前記2つのビームを導出するように構成され、前記電子プロセッサによって抽出される前記情報が、該入力ビームの角度偏差に対応する、請求項34に記載の装置。
  37. 前記干渉計が、前記第1の部分に第1の共通偏光を持たせ、前記第2の部分に、該第1の共通偏光とは異なる第2の共通偏光を持たせるように構成されている、請求項27に記載の装置。
  38. 前記干渉計が、偏光ビーム・スプリッタを備え、前記干渉計が、前記2つのビームを前記異なる光路に沿って導いた後、該2つのビームを結合し、続いて、該結合したビームを該偏光ビーム・スプリッタに導いて前記第1および第2の出力ビームを生成するように構成されている、請求項37に記載の装置。
  39. 前記干渉計が、非偏光ビーム・スプリッタと2つの偏光子とを備え、前記干渉計が、前記2つのビームを前記異なる光路に沿って導いた後、該2つのビームを結合し、該結合したビームを該非偏光ビーム・スプリッタに導いて第1および第2の中間ビームを生成し、かつ、該中間ビームの各々を該2つの偏光子のうちの対応する偏光子に導いて前記第1および第2の出力ビームを生成するように構成されている、請求項37に記載の装置。
  40. 前記干渉計が、前記2つのビームの各々を、前記第1の共通偏光を有する部分と前記第2の共通偏光を有する部分に分割し、前記第1の共通偏光を有する該部分を結合して前記第1の出力ビームを生成し、かつ、前記第2の共通偏光を有する該部分を結合して前記第2の出力ビームを生成するように構成されている、請求項37に記載の装置。
  41. 前記干渉計が、第1の偏光子を備え、前記干渉計が、前記第1および第2の出力ビームの生成に先立って、前記方向付けされたビームのうちの一方のビームに該第1の偏光子を通過させ、もう一方のビームには該第1の偏光子を通過させないように構成されている、請求項37に記載の装置。
  42. 前記干渉計が、第2の偏光子を備え、前記干渉計が、前記第1および第2の出力ビームの生成に先立って、前記方向付けされたビームのうちのもう一方のビームに該第2の偏光子を通過させるように構成されている、請求項41に記載の装置。
  43. 前記第1および第2の偏光子が直交線形偏光を通過させるように配向されている、請求項42に記載の装置。
  44. 前記第1の共通偏光が線形偏光であり、前記第1の偏光子が該第1の共通線形偏光に対して45度で配向されている、請求項41に記載の装置。
  45. 前記干渉計が、入力ビームを受け取り、かつ、前記異なる光路に沿って導かれる前記2つのビームを生成するように配置された偏光ビーム・スプリッタを備える、請求項27に記載の装置。
  46. 共通源を更に備える、請求項27に記載の装置。
  47. 前記共通源が、前記干渉計によって前記異なる光路に沿って導かれた前記2つのビームの間にヘテロダイン周波数差を導入するように構成されている、請求項46に記載の装置。
  48. 前記電子プロセッサによって計算された前記積が、スーパーヘテロダイン項を備える、請求項47に記載の装置。
  49. 動作中、前記電子プロセッサが前記スーパーヘテロダイン信号の位相を抽出する、請求項48に記載の装置。
  50. 前記電子プロセッサが、高域通過フィルタを備え、動作中、前記電子プロセッサが、前記第1および第2の出力ビームの各々を測定された強度で該高域通過フィルタを通過させ前記第1および第2の信号を生成する、請求項46に記載の装置。
  51. ウェハ上への集積回路の製造に使用するためのリソグラフィ方法であって、
    該ウェハを可動ステージ上でサポートし、
    空間的にパターン化された放射を該ウェハ上に結像させ、
    該ステージの位置を調整し、
    請求項1に記載の方法を使用して該ステージの位置を測定することを備える方法。
  52. 集積回路の製造に使用するためのリソグラフィ方法であって、
    マスクを通して入力放射を導いて空間的にパターン化された放射を生成し、
    該入力放射に対して該マスクを位置決めし、
    請求項1に記載の方法を使用して、該入力放射に対する該マスクの位置を測定し、
    該空間的にパターン化された放射をウェハ上に結像させることを備える方法。
  53. ウェハ上に集積回路を製造するためのリソグラフィ方法であって、
    リソグラフィ・システムの第1のコンポーネントをリソグラフィ・システムの第2のコンポーネントに対して位置決めし、該ウェハを空間的にパターン化された放射に露光し、
    請求項1に記載の方法を使用して、該第2のコンポーネントに対する該第1のコンポーネントの位置を測定することを備える方法。
  54. 請求項51に記載のリソグラフィ方法を備える、集積回路を製造するための方法。
  55. 請求項52に記載のリソグラフィ方法を備える、集積回路を製造するための方法。
  56. 請求項53に記載のリソグラフィ方法を備える、集積回路を製造するための方法。
  57. リソグラフィ・マスクの製造に使用するためのビーム書込み方法であって、
    基板に書込みビームを導いて基板をパターン化し、
    該書込みビームに対して該基板を位置決めし、
    請求項1に記載の干渉方法を使用して該書込みビームに対する該基板の位置を測定することを備える方法。
  58. ウェハ上への集積回路の製造に使用するためのリソグラフィ・システムであって、
    該ウェハをサポートするためのステージと、
    空間的にパターン化された放射を該ウェハ上に結像させるための照射システムと、
    結像した放射に対する該ステージの位置を調整するための位置決めシステムと、
    該結像した放射に対する該ウェハの位置をモニタするための請求項27に記載の装置とを備えるシステム。
  59. ウェハ上への集積回路の製造に使用するためのリソグラフィ・システムであって、
    該ウェハをサポートするためのステージと、
    放射源、マスク、位置決めシステム、レンズ・アセンブリおよび請求項1に記載の装置を備えた照射システムとを備え、
    動作中、該放射源が該マスクを通して放射を導いて空間的にパターン化された放射を生成し、該位置決めシステムが該放射源からの該放射に対する該マスクの位置を調整し、該レンズ・アセンブリが該空間的にパターン化された放射を該ウェハ上に結像させ、該干渉システムが該放射源からの該放射に対する該マスクの位置をモニタするシステム。
  60. リソグラフィ・マスクの製造に使用するためのビーム書込みシステムであって、
    基板をパターン化するための書込みビームを提供する光源と、
    該基板をサポートするステージと、
    該基板に該書込みビームを供給するためのビーム方向付けアセンブリと、
    該ステージおよびビーム方向付けアセンブリを互いに位置付けるための位置付けシステムと、
    該ビーム方向付けアセンブリに対する該ステージの位置をモニタするための請求項1に記載の装置とを備えるシステム。
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