JP2005509147A - 干渉周期誤差の補償 - Google Patents
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Abstract
Description
2つのビームを距離測定干渉計、例えば単一パス距離測定干渉計または二重パス距離測定干渉計内の異なる光路に沿って導いてもよい。別法としては、2つのビームを角度測定干渉計内の異なる光路に沿って導いてもよい。例えば角度測定干渉計にビーム・シャーリング・アセンブリを設けてもよい。
この方法は、計算した積から異なる光路に関する情報を抽出することを更に含んでもよい。例えば、この情報は、異なる光路のうちの1つの光路内における対象物の位置の変化に対応させてもよい。別法としては、入力ビームから2つのビームを導出し、情報を入力ビームの角度偏差に対応させてもよい。
異なる光路に沿って導かれる2つのビームには、ヘテロダイン周波数分だけ異なる周波数を持たせるようにしてもよい。このような実施形態では、第1の信号と第2の信号の積はスーパーヘテロダイン項を含む。さらに、この方法は、スーパーヘテロダイン信号の位相を抽出することを含んでもよい。
他の態様では、本発明は、リソグラフィ・マスクの製造に使用するためのビーム書込み方法を特徴とする。この方法は、書込みビームを基板に導いて基板をパターン化し、基板を書込みビームに対して位置決めし、上記干渉方法を使用して、書込みビームに対する基板の位置を測定することを含む。
干渉計は、距離測定干渉計、例えば単一パス距離測定干渉計または二重パス距離測定干渉計を含んでもよい。別法としては、干渉計は角度測定干渉計を含んでもよい。例えば、角度測定干渉計は、ビーム・シャーリング・アセンブリを含んでもよい。
また、動作中、電子プロセッサが、計算した積から干渉計内における異なる光路に関する情報を抽出してもよい。この情報は、例えば、異なる光路のうちの1つの光路内における対象物の位置の変化に対応させてもよい。他の実施形態では、例えば、干渉計は、入力ビームから2つのビームを導出するように構成され、電子プロセッサによって抽出される情報は、入力ビームの角度偏差に対応する。
干渉計システムには共通源を含んでもよい。この共通源は、例えば、干渉計によって異なる光路に沿って導かれる2つのビームの間にヘテロダイン周波数差を導入するように構成してもよい。また、電子プロセッサによって計算される積がスーパーヘテロダイン項を含んでもよい。さらに、動作中、電子プロセッサがスーパーヘテロダイン信号の位相を抽出してもよい。また、電子プロセッサが高域通過フィルタを含み、動作中、電子プロセッサが第1および第2の出力ビームの各々を測定された強度で該高域通過フィルタを通過させて第1および第2の信号を生成するようにしてもよい。
類似の参照記号は、全図を通して類似の構成要素を表す。
pは、それぞれの基準レグおよび測定レグを通過する回数であり、n1は測定領域219中の気体の屈折率である。また、k1は測定ビームの波数である。本発明の精神および範囲を逸脱することなく本発明を分かり易く説明するために、図2aには単一パス干渉計すなわちp=1である干渉計が示されている。他の実施形態では、干渉計には多重パス干渉計、例えば二重パス干渉計が使用される。
信号s1およびs2に対する、周期誤差などのあらゆる非線形寄与が存在しない場合、フィルタリングされた信号s1およびs2の測定位相は、位相ψ1とは無関係の(あるいは等価的に干渉計内における基準ビームと測定ビームとの間の光路長の差の変化に無関係の)位相オフセットと位相ψ1との和に等しい。しかしながら、通常、干渉計は、測定した位相に対する、ビーム混合、多重反射および光学系の不完全性に起因する周期誤差の負荷を有する。フィルタリングされた信号s1およびs2は、それぞれ次のように表すことが可能である。
θ1ε+θ2=π (5)
θ2ε+θ1=π (6)
式(5)および(6)で表される相補条件を満足する場合、式(4)は、
[E1ε* 1,j+E* 1ε1,j]1[E1E* 2+E* 1E2]2項によって、
[E1ε* 1,j+E* 1ε1,j]2[E1E* 2+E* 1E2]1項が相殺され、同様に、
[E1ε* 2,j+E* 1ε2,j]1[E1E* 2+E* 1E2]2項によって、
[E1ε* 2,j+E* 1ε2,j]2[E1E* 2+E* 1E2]1項が相殺される。したがって、式(7)は、次のように表すことが可能である。
s4=A4cos(ω1t+ψ3+ζ4) (10)
上式で、
ψ3=2k1n[d1cosθ’1+d2cosθ’2−d3cosθ’3−d4cosθ’4] (11)
であり、ω1=2πf1であり、ζ3およびζ4は、位相ψ3に無関係の位相オフセットであり、k1=2π/λ1、λ1は入力ビームの波長であり、θ’1およびθ’2は、直角プリズム533におけるビーム550の入射角および偏光ビーム・スプリッタ538におけるビーム550の入射角(図5b参照)であり、θ’3およびθ’4は、偏光ビーム・スプリッタ532におけるビーム552の入射角および直角プリズム537におけるビーム552の入射角(図5b参照)である。また、d1、d2、d3およびd4は、図5bに定義されている。本発明の範囲および精神を逸脱することなく、本発明の特徴を分かり易く立証するために、式(11)では、ビーム・シャーリング・アセンブリ410内におけるすべての光路が同じ屈折率を有することが仮定される。非制限の実施形態では、ビーム・シャーリング・アセンブリは、d1=d3、d2=d4、θ’1+θ’2=π/2、およびθ’3+θ’4=π/2を満足するように構築されており、この場合、ψ3を表す式(11)は、次のようにより簡単な表現式に短縮される。
であり、θo,jおよびθi,jの定義については図5cに示されている。角度θo,jおよびθi,jは、対象物におけるビームjの主光線およびレンズ424の画像空間の共役角である。Pjの定義については図5dに示されている。
Claims (60)
- 共通源から導出された2つのビームを異なる光路に沿って導き、
該2つのビームの各々の第1の部分から導出された第1の出力ビームを生成し、
該2つのビームの各々の第2の部分から導出された第2の出力ビームを生成し、
該第1の出力ビームから導出された第1の信号と該第2の出力ビームから導出された第2の信号の積を計算することを備える方法。 - 前記2つのビームが距離測定干渉計内の異なる光路に沿って導かれる、請求項1に記載の方法。
- 前記距離測定干渉計が単一パス干渉計である、請求項2に記載の方法。
- 前記距離測定干渉計が二重パス干渉計である、請求項2に記載の方法。
- 前記2つのビームが角度測定干渉計内の異なる光路に沿って導かれる、請求項1に記載の方法。
- 前記角度測定干渉計が、ビーム・シャーリング・アセンブリを備える、請求項5に記載の方法。
- 前記第1および第2の信号の前記積を計算することにより、前記第1および第2の信号中に存在する一次周期誤差が前記計算された積から少なくともある程度除去される、請求項1に記載の方法。
- 前記計算された積から前記異なる光路に関する情報を抽出することを更に備える、請求項1に記載の方法。
- 前記情報が、前記異なる光路のうちの一方の対象物の位置の変化に対応する、請求項8に記載の方法。
- 前記2つのビームが入力ビームから導出され、前記情報が該入力ビームの角度偏差に対応する、請求項8に記載の方法。
- 前記第1の部分が第1の共通偏光を有し、前記第2の部分が、該第1の共通偏光とは異なる第2の共通偏光を有する、請求項1に記載の方法。
- 前記第1および第2の共通偏光が実質的に直交する、請求項11に記載の方法。
- 前記第1および第2の出力ビームを生成することが、前記2つのビームを結合し、該結合したビームを偏光ビーム・スプリッタに導いて前記第1および第2の出力ビームを生成することを備える、請求項11に記載の方法。
- 前記第1および第2の出力ビームを生成することが、前記2つのビームを結合し、該結合したビームを非偏光ビーム・スプリッタに導いて第1および第2の中間ビームを生成し、該中間ビームの各々を偏光子に導いて前記第1および第2の出力ビームを生成することを備える、請求項11に記載の方法。
- 前記第1および第2の出力ビームを生成することが、前記2つのビームの各々を、前記第1の共通偏光を有する部分と前記第2の共通偏光を有する部分に分割し、前記第1の共通偏光を有する該部分を結合して前記第1の出力ビームを生成し、前記第2の共通偏光を有する該部分を結合して前記第2の出力ビームを生成することを備える、請求項11に記載の方法。
- 前記第1および第2の出力ビームの生成に先立って、前記方向付けされたビームのうちの一方のビームに第1の偏光子を通過させ、もう一方のビームには該偏光子を通過させないことを更に備える、請求項11に記載の方法。
- 前記第1および第2の出力ビームの生成に先立って、前記方向付けされたビームのうちの前記もう一方のビームに第2の偏光子を通過させることを備える、請求項16に記載の方法。
- 前記第1および第2の偏光子が直交線形偏光を通過させるように配向されている、請求項17に記載の方法。
- 前記第1の共通偏光が線形偏光であり、前記第1の偏光子が該第1の共通線形偏光に対して45度で配向されている、請求項16に記載の方法。
- 前記共通源から導出された入力ビームを偏光ビーム・スプリッタに導いて前記異なる光路に沿って導かれる前記2つのビームを生成することを備える、請求項11に記載の方法。
- 前記異なる光路に沿って導かれる前記2つのビームが、ヘテロダイン周波数分異なる周波数を有する、請求項1に記載の方法。
- 前記第1の信号と前記第2の信号の前記積が、スーパーヘテロダイン項を備える、請求項21に記載の方法。
- 前記スーパーヘテロダイン信号の位相を抽出することを更に備える、請求項22に記載の方法。
- 前記第1の出力ビームの強度を測定することによって前記第1の信号を生成し、前記第2の出力ビームの強度を測定することによって前記第2の信号を生成することを更に備える、請求項21に記載の方法。
- 前記第1および第2の信号を生成することが、前記測定した強度の各々に高域通過フィルタを通過させることを更に備える、請求項24に記載の方法。
- 干渉測定における周期誤差の負荷を低減するための方法であって、
共通源から導出された、直交偏光とヘテロダイン周波数分異なる周波数とを有する2つのビームを、干渉計内の異なる光路に沿って導き、
2つのビームの各々の一部から導出された、第1の共通偏光を有する第1の出力ビームを生成し、
該2つのビームの各々の一部から導出された、該第1の共通偏光に対して実質的に直交する第2の共通偏光を有する第2の出力ビームを生成し、
該第1および第2の出力ビームの強度測定からそれぞれ導出された第1および第2の信号を生成し、
該第1の信号と第2の信号の積に対応するスーパーヘテロダイン信号を計算して、該第1および第2の信号中に存在する一次周期誤差を少なくともある程度除去し、
該スーパーヘテロダイン信号の位相を抽出して、該干渉計内における該異なる光路に関する情報を提供することを備える方法。 - 共通源から導出された2つのビームを異なる光路に沿って導き、かつ、該2つのビームの各々の第1の部分から導出された第1の出力ビームと、該2つのビームの各々の第2の部分から導出された第2の出力ビームとを生成するように構成された干渉計と、
該第1および第2の出力ビームの強度をそれぞれ測定するように配置された第1および第2の検出器と、
該第1および第2の検出器に結合され、動作中、該第1の出力ビームの該強度から導出された第1の信号と該第2の出力ビームの該強度から導出された第2の信号との積を計算する電子プロセッサとを備える装置。 - 前記干渉計が、距離測定干渉計を備える、請求項27に記載の装置。
- 前記距離測定干渉計が単一パス干渉計である、請求項28に記載の装置。
- 前記距離測定干渉計が二重パス干渉計である、請求項28に記載の装置。
- 前記干渉計が、角度測定干渉計を備える、請求項27に記載の装置。
- 前記角度測定干渉計が、ビーム・シャーリング・アセンブリを備える、請求項31に記載の装置。
- 前記電子プロセッサによって計算された前記積により、前記第1および第2の信号中に存在する一次周期誤差が少なくともある程度除去される、請求項27に記載の装置。
- 動作中、前記電子プロセッサによって、前記計算された積から前記干渉計内における異なる光路に関する情報が抽出される、請求項27に記載の装置。
- 前記情報が前記異なる光路のうちの一方の光路内の対象物の位置の変化に対応する、請求項34に記載の装置。
- 前記干渉計が、入力ビームから前記2つのビームを導出するように構成され、前記電子プロセッサによって抽出される前記情報が、該入力ビームの角度偏差に対応する、請求項34に記載の装置。
- 前記干渉計が、前記第1の部分に第1の共通偏光を持たせ、前記第2の部分に、該第1の共通偏光とは異なる第2の共通偏光を持たせるように構成されている、請求項27に記載の装置。
- 前記干渉計が、偏光ビーム・スプリッタを備え、前記干渉計が、前記2つのビームを前記異なる光路に沿って導いた後、該2つのビームを結合し、続いて、該結合したビームを該偏光ビーム・スプリッタに導いて前記第1および第2の出力ビームを生成するように構成されている、請求項37に記載の装置。
- 前記干渉計が、非偏光ビーム・スプリッタと2つの偏光子とを備え、前記干渉計が、前記2つのビームを前記異なる光路に沿って導いた後、該2つのビームを結合し、該結合したビームを該非偏光ビーム・スプリッタに導いて第1および第2の中間ビームを生成し、かつ、該中間ビームの各々を該2つの偏光子のうちの対応する偏光子に導いて前記第1および第2の出力ビームを生成するように構成されている、請求項37に記載の装置。
- 前記干渉計が、前記2つのビームの各々を、前記第1の共通偏光を有する部分と前記第2の共通偏光を有する部分に分割し、前記第1の共通偏光を有する該部分を結合して前記第1の出力ビームを生成し、かつ、前記第2の共通偏光を有する該部分を結合して前記第2の出力ビームを生成するように構成されている、請求項37に記載の装置。
- 前記干渉計が、第1の偏光子を備え、前記干渉計が、前記第1および第2の出力ビームの生成に先立って、前記方向付けされたビームのうちの一方のビームに該第1の偏光子を通過させ、もう一方のビームには該第1の偏光子を通過させないように構成されている、請求項37に記載の装置。
- 前記干渉計が、第2の偏光子を備え、前記干渉計が、前記第1および第2の出力ビームの生成に先立って、前記方向付けされたビームのうちのもう一方のビームに該第2の偏光子を通過させるように構成されている、請求項41に記載の装置。
- 前記第1および第2の偏光子が直交線形偏光を通過させるように配向されている、請求項42に記載の装置。
- 前記第1の共通偏光が線形偏光であり、前記第1の偏光子が該第1の共通線形偏光に対して45度で配向されている、請求項41に記載の装置。
- 前記干渉計が、入力ビームを受け取り、かつ、前記異なる光路に沿って導かれる前記2つのビームを生成するように配置された偏光ビーム・スプリッタを備える、請求項27に記載の装置。
- 共通源を更に備える、請求項27に記載の装置。
- 前記共通源が、前記干渉計によって前記異なる光路に沿って導かれた前記2つのビームの間にヘテロダイン周波数差を導入するように構成されている、請求項46に記載の装置。
- 前記電子プロセッサによって計算された前記積が、スーパーヘテロダイン項を備える、請求項47に記載の装置。
- 動作中、前記電子プロセッサが前記スーパーヘテロダイン信号の位相を抽出する、請求項48に記載の装置。
- 前記電子プロセッサが、高域通過フィルタを備え、動作中、前記電子プロセッサが、前記第1および第2の出力ビームの各々を測定された強度で該高域通過フィルタを通過させ前記第1および第2の信号を生成する、請求項46に記載の装置。
- ウェハ上への集積回路の製造に使用するためのリソグラフィ方法であって、
該ウェハを可動ステージ上でサポートし、
空間的にパターン化された放射を該ウェハ上に結像させ、
該ステージの位置を調整し、
請求項1に記載の方法を使用して該ステージの位置を測定することを備える方法。 - 集積回路の製造に使用するためのリソグラフィ方法であって、
マスクを通して入力放射を導いて空間的にパターン化された放射を生成し、
該入力放射に対して該マスクを位置決めし、
請求項1に記載の方法を使用して、該入力放射に対する該マスクの位置を測定し、
該空間的にパターン化された放射をウェハ上に結像させることを備える方法。 - ウェハ上に集積回路を製造するためのリソグラフィ方法であって、
リソグラフィ・システムの第1のコンポーネントをリソグラフィ・システムの第2のコンポーネントに対して位置決めし、該ウェハを空間的にパターン化された放射に露光し、
請求項1に記載の方法を使用して、該第2のコンポーネントに対する該第1のコンポーネントの位置を測定することを備える方法。 - 請求項51に記載のリソグラフィ方法を備える、集積回路を製造するための方法。
- 請求項52に記載のリソグラフィ方法を備える、集積回路を製造するための方法。
- 請求項53に記載のリソグラフィ方法を備える、集積回路を製造するための方法。
- リソグラフィ・マスクの製造に使用するためのビーム書込み方法であって、
基板に書込みビームを導いて基板をパターン化し、
該書込みビームに対して該基板を位置決めし、
請求項1に記載の干渉方法を使用して該書込みビームに対する該基板の位置を測定することを備える方法。 - ウェハ上への集積回路の製造に使用するためのリソグラフィ・システムであって、
該ウェハをサポートするためのステージと、
空間的にパターン化された放射を該ウェハ上に結像させるための照射システムと、
結像した放射に対する該ステージの位置を調整するための位置決めシステムと、
該結像した放射に対する該ウェハの位置をモニタするための請求項27に記載の装置とを備えるシステム。 - ウェハ上への集積回路の製造に使用するためのリソグラフィ・システムであって、
該ウェハをサポートするためのステージと、
放射源、マスク、位置決めシステム、レンズ・アセンブリおよび請求項1に記載の装置を備えた照射システムとを備え、
動作中、該放射源が該マスクを通して放射を導いて空間的にパターン化された放射を生成し、該位置決めシステムが該放射源からの該放射に対する該マスクの位置を調整し、該レンズ・アセンブリが該空間的にパターン化された放射を該ウェハ上に結像させ、該干渉システムが該放射源からの該放射に対する該マスクの位置をモニタするシステム。 - リソグラフィ・マスクの製造に使用するためのビーム書込みシステムであって、
基板をパターン化するための書込みビームを提供する光源と、
該基板をサポートするステージと、
該基板に該書込みビームを供給するためのビーム方向付けアセンブリと、
該ステージおよびビーム方向付けアセンブリを互いに位置付けるための位置付けシステムと、
該ビーム方向付けアセンブリに対する該ステージの位置をモニタするための請求項1に記載の装置とを備えるシステム。
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