JPH0198902A - 光波干渉測長装置 - Google Patents
光波干渉測長装置Info
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
- G01B9/02001—Interferometers characterised by controlling or generating intrinsic radiation properties
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-
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- G01B2290/70—Using polarization in the interferometer
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は光波干渉測長装置、特に、大気のゆらぎによる
測長誤差を取除くことのできる光波干渉測長装置に関す
るものである。
測長誤差を取除くことのできる光波干渉測長装置に関す
るものである。
（従来の技術）
光波干渉による測長方法は、高精度な測長手段として広
く使用されており、市販されている装置も数多く存在す
る。この方法による測長の基準単位は光の波長である。
く使用されており、市販されている装置も数多く存在す
る。この方法による測長の基準単位は光の波長である。
波長に変動があると測長精度に直接反映するので、波長
の安定性を図ることが測長精度を保つために重要な要件
となる。
の安定性を図ることが測長精度を保つために重要な要件
となる。
しかし、大気中で測長を行う場合、大気のゆらぎ（巨視
的にとらえた気象変化から微視的な風までを含む）によ
り波長は変動し、そのために測長誤差が発生する。この
ことが光波干渉測長法の共通の欠点である。巨視的気象
変化に対しては、気圧、気温、湿度等の大気の状態をモ
ニターし、演算処理その他の手段により波長変動の補正
を行うことが可能である。そのような処理機能を有する
装置も市販されている。
的にとらえた気象変化から微視的な風までを含む）によ
り波長は変動し、そのために測長誤差が発生する。この
ことが光波干渉測長法の共通の欠点である。巨視的気象
変化に対しては、気圧、気温、湿度等の大気の状態をモ
ニターし、演算処理その他の手段により波長変動の補正
を行うことが可能である。そのような処理機能を有する
装置も市販されている。
しかし、微視的ゆらぎに対しては、大気状態を光路の各
位置で実時間でモニターすることが難しいため、十分な
波長補正を行うことができない。
位置で実時間でモニターすることが難しいため、十分な
波長補正を行うことができない。
長距離測距の分野では、２以上の異なる波長と大気の波
長分散特性を利用して、大気のゆらぎによる測長誤差の
補正を行う試みが報告されているが、光強度をマイクロ
ウェーブで変調する等、構成が複雑で極めて短い距離の
測定には向かないものであった。
長分散特性を利用して、大気のゆらぎによる測長誤差の
補正を行う試みが報告されているが、光強度をマイクロ
ウェーブで変調する等、構成が複雑で極めて短い距離の
測定には向かないものであった。
（発明が解決しようとする問題点）
本発明は、上記した従来技術の欠点を解決し、大気のゆ
らぎによって生じる不規則に変動する測長誤差を取除き
、真の測長量を実時間で得ることのできる、短距離を測
定するための光波干渉測長装置を提供することを目的と
する。
らぎによって生じる不規則に変動する測長誤差を取除き
、真の測長量を実時間で得ることのできる、短距離を測
定するための光波干渉測長装置を提供することを目的と
する。
（問題点を解決するための手段）
本発明の光波干渉測長装置は、２つの異なる波長を用い
て光波干渉によって同時に同一対象物の測長データを得
る測長光学系と、上記２波長についての測長データと大
気の分散特性とから大気のゆらぎによって生じる測長誤
差を算出し、上記測長データから上記誤差を取除く信号
処理手段とからなる。
て光波干渉によって同時に同一対象物の測長データを得
る測長光学系と、上記２波長についての測長データと大
気の分散特性とから大気のゆらぎによって生じる測長誤
差を算出し、上記測長データから上記誤差を取除く信号
処理手段とからなる。
（作用）
まず、本発明の詳細な説明する。
第１図に干渉測長のための光波干渉計の１つの基本的構
成を示す。半透鏡３に入射する連続可干渉光源からの光
はここで２分され、一方は測長のための移動鏡１に、他
方は固定鏡２に入射して再帰反射され、それぞれ測長光
、参照光として半透鏡３を経て干渉し合い、干渉縞を形
成する。この干渉縞の明暗の変化は、光検出器４と信号
処理系５により、移動鏡１の変位に基づく位相変化δと
して検出され、移動鏡１の変位Ｘｎが次式によって計算
される。
成を示す。半透鏡３に入射する連続可干渉光源からの光
はここで２分され、一方は測長のための移動鏡１に、他
方は固定鏡２に入射して再帰反射され、それぞれ測長光
、参照光として半透鏡３を経て干渉し合い、干渉縞を形
成する。この干渉縞の明暗の変化は、光検出器４と信号
処理系５により、移動鏡１の変位に基づく位相変化δと
して検出され、移動鏡１の変位Ｘｎが次式によって計算
される。
δ λ δ λ
Ｘ ｎ ＝−・−＝ ４ケ ・・・・・・（１）２
π ま ただし、Ｘｎ：誤差を含んだ移動鏡１の変位δ：測測定
れた位相変化 λ：光源波長 なお、第１図において、半透鏡３を介して対称の位置に
２つの光検出器４を配置したのは、移動鏡１の移動方向
を判別するためである。
π ま ただし、Ｘｎ：誤差を含んだ移動鏡１の変位δ：測測定
れた位相変化 λ：光源波長 なお、第１図において、半透鏡３を介して対称の位置に
２つの光検出器４を配置したのは、移動鏡１の移動方向
を判別するためである。
さて、上記のようにして測定された位相変化δには、移
動鏡１の真の変位Ｘ＾による位相変化αの他に、固定鏡
２と半透鏡３の微小変位、光源自身の周波数変動、光路
の大気のゆらぎ等に起因する位相変動が含まれ、（１）
式によって計算されるｘＤにはこれらに起因する誤差が
含まれる。
動鏡１の真の変位Ｘ＾による位相変化αの他に、固定鏡
２と半透鏡３の微小変位、光源自身の周波数変動、光路
の大気のゆらぎ等に起因する位相変動が含まれ、（１）
式によって計算されるｘＤにはこれらに起因する誤差が
含まれる。
誤差要因が大気のゆらぎに限定される場合、位相変化δ
は次の（２）式のように表現される。
は次の（２）式のように表現される。
δ＝α＋β ・・・・・・（２）ただし
、δ：測測定れた位相変化 α：移動鏡１の移動による位相変化 β：大気のゆらぎによる位相変化 ここで、αとβは（３）式に示すように、光源−４＝ 周波数ωの関数である。
、δ：測測定れた位相変化 α：移動鏡１の移動による位相変化 β：大気のゆらぎによる位相変化 ここで、αとβは（３）式に示すように、光源−４＝ 周波数ωの関数である。
α ＯＣω
βｃｃ１／ （ω。′−ω２） ・・・・・・（３）
ただしω。は媒質による常数 （２）式と（３）式から次のように書ける。
ただしω。は媒質による常数 （２）式と（３）式から次のように書ける。
δ（ω）＝α（ω）＋β（ω）
＝Ｐω＋ＱＸ ２−−１・・・・・・（４）ω０−
ω 異なる２つの波長λ１、λ、（それぞれの周波数ω８、
ωｂ）に対する位相変化δ１、δ５を用いて（４）式の
Ｐ、Ｑを求め、これから得られるα（ω、）を用いて（
１）、（２）式から移動鏡１の真の変位ＸＡを求めると
次ぎのような式になる。
ω 異なる２つの波長λ１、λ、（それぞれの周波数ω８、
ωｂ）に対する位相変化δ１、δ５を用いて（４）式の
Ｐ、Ｑを求め、これから得られるα（ω、）を用いて（
１）、（２）式から移動鏡１の真の変位ＸＡを求めると
次ぎのような式になる。
ＸＡ＝−（λ１δ、−（λ、δ、−λ、δｂＭ（ｔ−ｗ
））４π ・・・・・・（５） Ｗ＊（ω。′−ω、”） ／ （ω。′−ωｌ、′）・
・・・・・（６） すなわち、大気のゆらぎを含んだ２つの測定値δ、＝δ
（ω、）と６５＝δ （ωｂ）と、（５）式、（６）式
とから、移動鏡１の真の変位ＸＡが求められる。
））４π ・・・・・・（５） Ｗ＊（ω。′−ω、”） ／ （ω。′−ωｌ、′）・
・・・・・（６） すなわち、大気のゆらぎを含んだ２つの測定値δ、＝δ
（ω、）と６５＝δ （ωｂ）と、（５）式、（６）式
とから、移動鏡１の真の変位ＸＡが求められる。
（実施例）
次に、この原理を実現するための本発明の装置の１実施
例を説明する。第２図はこの実施例の光路を示すもので
、異なる２つの波長としては、例えばＡｒ″″レーザ光
源７からの出力光（λ、；４８８ｎ＋ｎ）と、非線形光
学結晶（例えば、β−ＢＭＢ、ｏ、）と集光系から構成
された非線形光学系８によって作られるレーザ光源７か
らの基本波λ１の第２高調波（λ、＝λａＸｌ／２＝２
４４ｎｍ）とを用いる。
例を説明する。第２図はこの実施例の光路を示すもので
、異なる２つの波長としては、例えばＡｒ″″レーザ光
源７からの出力光（λ、；４８８ｎ＋ｎ）と、非線形光
学結晶（例えば、β−ＢＭＢ、ｏ、）と集光系から構成
された非線形光学系８によって作られるレーザ光源７か
らの基本波λ１の第２高調波（λ、＝λａＸｌ／２＝２
４４ｎｍ）とを用いる。
この装置は、第２図に示すように、光源７からの光束の
Ｐ偏光（偏光面が紙面に平行）成分を透過し、Ｓ偏光（
偏光面が紙面に垂直）成分を反射する偏光ビームスプリ
ッタ６、偏光ビームスプリッタ６で反射された光束を元
の方向へ反射する固定鏡２、偏光ビームスプリッタ６を
透過したＰ偏光の一部をそのまま通過させ、残りをＳ偏
光の第２高調波に変換する非線形光学系８、非線形光学
系８を透過した光束を元の方向へ反射する移動鏡１、移
動鏡１の前側に配置され、第２高調波に対して８分の１
波長板として作用する１／８波長板９、移動鏡１で反射
されて非線形光学系８を透過した光束のうち基本波成分
を透過させ、第２高調波成分を反射する鏡１ｏ、鏡１０
で反射された第２高調波成分のうち、１／８波長板９を
往復２度通過して円偏光となった光束を直交する２つの
成分に分け、かつ、復路において非線形光学系によって
Ｓ偏光の第２高調波に変換された光束を直交する２つの
成分に分ける偏光ビームスプリッタ１１、偏光ビームス
プリッタ１１によって２分された光束が形成するそれぞ
れの干渉縞を検出する光検出器４３．４４、鏡１０を透
過し、かつ偏光ビームスプリッタ６を通過した光束と、
偏光ビームスプリッタ６によって反射された固定鏡２か
らの光束とを反射する全反射鏡１２、全反射鏡１２によ
って反射された光束を２分するビームスプリッタ１３、
ビームスプリッタ１３で２分された光束の一方に４分の
１の位相変化を与える１／４波長板１４、この２分され
た光束の相互に直交する成分を通す偏光子１５、それぞ
れの偏光子１５を通して形成された干渉縞を検出する光
検出器４１．４２、検出器４１〜４４からの信号を処理
して（５）式と（６）式に基づいて変位ＸＡを算出する
信号処理系５、から構成されている。
Ｐ偏光（偏光面が紙面に平行）成分を透過し、Ｓ偏光（
偏光面が紙面に垂直）成分を反射する偏光ビームスプリ
ッタ６、偏光ビームスプリッタ６で反射された光束を元
の方向へ反射する固定鏡２、偏光ビームスプリッタ６を
透過したＰ偏光の一部をそのまま通過させ、残りをＳ偏
光の第２高調波に変換する非線形光学系８、非線形光学
系８を透過した光束を元の方向へ反射する移動鏡１、移
動鏡１の前側に配置され、第２高調波に対して８分の１
波長板として作用する１／８波長板９、移動鏡１で反射
されて非線形光学系８を透過した光束のうち基本波成分
を透過させ、第２高調波成分を反射する鏡１ｏ、鏡１０
で反射された第２高調波成分のうち、１／８波長板９を
往復２度通過して円偏光となった光束を直交する２つの
成分に分け、かつ、復路において非線形光学系によって
Ｓ偏光の第２高調波に変換された光束を直交する２つの
成分に分ける偏光ビームスプリッタ１１、偏光ビームス
プリッタ１１によって２分された光束が形成するそれぞ
れの干渉縞を検出する光検出器４３．４４、鏡１０を透
過し、かつ偏光ビームスプリッタ６を通過した光束と、
偏光ビームスプリッタ６によって反射された固定鏡２か
らの光束とを反射する全反射鏡１２、全反射鏡１２によ
って反射された光束を２分するビームスプリッタ１３、
ビームスプリッタ１３で２分された光束の一方に４分の
１の位相変化を与える１／４波長板１４、この２分され
た光束の相互に直交する成分を通す偏光子１５、それぞ
れの偏光子１５を通して形成された干渉縞を検出する光
検出器４１．４２、検出器４１〜４４からの信号を処理
して（５）式と（６）式に基づいて変位ＸＡを算出する
信号処理系５、から構成されている。
この装置によると、以下のように非線形光学系８と移動
鏡１の間の大気のゆらぎによる誤差が補正される。
鏡１の間の大気のゆらぎによる誤差が補正される。
Ａｒ”レーザ７からの出力光束は波長λ、で、偏光面が
紙面に対して４５°傾いた直線偏光（成分に分けると位
相と強度の等しいＰ偏光、Ｓ偏光となる）又は円偏光で
ある。この光束は偏光ビームスプリッタ６により、固定
鏡２方向にはＳ偏光、移動鏡１方向にはＰ偏光が分離さ
れて進行する。
紙面に対して４５°傾いた直線偏光（成分に分けると位
相と強度の等しいＰ偏光、Ｓ偏光となる）又は円偏光で
ある。この光束は偏光ビームスプリッタ６により、固定
鏡２方向にはＳ偏光、移動鏡１方向にはＰ偏光が分離さ
れて進行する。
固定鏡２側の光束は反射された後、再び偏光ビームスプ
リッタ６により反射されてＳ偏光として全反射鏡１２へ
至る。一方、移動鏡１方向へ進む光束は非線形光学系８
を通過する際、一部は波長λ１でＰ偏光のまま通過する
。残りの成分はここでＳ偏光の第２高調波λ６に変換さ
れるが、２つの光λ、光、λ、光は第３図ａ、ｂで示す
ように、非線形光学系８を出射した直後は位相が揃って
い＝８− る。λ、光は１／８波長板９（これはλ５光束に対する
１７８波長板であり、λ直光に対しては８分の１波長板
としては作用しない）を通り、移動鏡１で反射され、再
び１／８波長板９を通って楕円偏光となる。他方、λ５
光束は同様に１７８波長板９を通過して円偏光となる。
リッタ６により反射されてＳ偏光として全反射鏡１２へ
至る。一方、移動鏡１方向へ進む光束は非線形光学系８
を通過する際、一部は波長λ１でＰ偏光のまま通過する
。残りの成分はここでＳ偏光の第２高調波λ６に変換さ
れるが、２つの光λ、光、λ、光は第３図ａ、ｂで示す
ように、非線形光学系８を出射した直後は位相が揃って
い＝８− る。λ、光は１／８波長板９（これはλ５光束に対する
１７８波長板であり、λ直光に対しては８分の１波長板
としては作用しない）を通り、移動鏡１で反射され、再
び１／８波長板９を通って楕円偏光となる。他方、λ５
光束は同様に１７８波長板９を通過して円偏光となる。
そして、非線形光学系８と移動鏡１の間を往復して非線
形光学系８に戻ったときには、波長板９と移動鏡１の波
長λ１の光束とλゎの光束に対する光学特性のちがいか
ら発生する位相のずれ以外に、これらの間の大気のゆら
ぎによって起る位相ずれが生じる。
形光学系８に戻ったときには、波長板９と移動鏡１の波
長λ１の光束とλゎの光束に対する光学特性のちがいか
ら発生する位相のずれ以外に、これらの間の大気のゆら
ぎによって起る位相ずれが生じる。
戻りのλ１光が非線形光学系８を通過するとき、再びＳ
偏光の第２高調波λ５″が発生する。
偏光の第２高調波λ５″が発生する。
λ５″光束は非線形光学系８に戻った時点でのλ、光束
と位相が揃っており、波長はλ５に等しい。
と位相が揃っており、波長はλ５に等しい。
したがって、λ５光束とλ、′光束を干渉させたとき、
この干渉縞の変動項は大気のゆらぎによるλ直光束、λ
５光束の位相変動差（δ、−δ、）を表わしている。こ
れは、偏光ビームスプリッタ１１によって戻り光束を直
交する２成分に分けて、９０°位相差をもつ干渉信号と
して光束検出器４３．４４により検出され、信号処理系
５により方向判別して検出される。
この干渉縞の変動項は大気のゆらぎによるλ直光束、λ
５光束の位相変動差（δ、−δ、）を表わしている。こ
れは、偏光ビームスプリッタ１１によって戻り光束を直
交する２成分に分けて、９０°位相差をもつ干渉信号と
して光束検出器４３．４４により検出され、信号処理系
５により方向判別して検出される。
一方、非線形光学系８を通っても波長が変換されない波
長λ６の戻り光束のＰ偏光成分は、偏光ビームスプリッ
タ６で反射された固定鏡２がらのＳ偏光成分と共にビー
ムスプリッタ１３によって２分され、偏光子１５を通っ
た後、９０’位相差をもつ干渉信号として光検出器４１
．４□により検出され、信号処理５により方向判別され
て、位相変動δ、が求められる。
長λ６の戻り光束のＰ偏光成分は、偏光ビームスプリッ
タ６で反射された固定鏡２がらのＳ偏光成分と共にビー
ムスプリッタ１３によって２分され、偏光子１５を通っ
た後、９０’位相差をもつ干渉信号として光検出器４１
．４□により検出され、信号処理５により方向判別され
て、位相変動δ、が求められる。
そして、信号処理系５において、上記のδ１と（δ、−
δ、、）からδ５を求め、これら測定値とλ８、λ、の
値を前記（５）式と（６）式に代入して演算処理が行わ
れ、大気のゆらぎによる誤差を除去した移動鏡１の変位
測長量を得ることができる。
δ、、）からδ５を求め、これら測定値とλ８、λ、の
値を前記（５）式と（６）式に代入して演算処理が行わ
れ、大気のゆらぎによる誤差を除去した移動鏡１の変位
測長量を得ることができる。
第２図に示した実施例の変形形態を第４図に示す。第２
図の装置の構成要素と同じものは第２図のものと同じ番
号を付しである。この実施例の第２図のものと異なる点
は、第２図の偏光ビームスプリッタ６に代えてビームス
プリッタ６′ を用いた点にある。そして、第２図の鏡
１０の作用、すなわち、基本波と第２高調波を分ける作
用を分散プリズ１６に行わせるようにしである。なお、
固定鏡２の前に配置した１／８波長板９″（基本波に対
しては８分の１波長板としては作用しない）は、固定鏡
２からの反射光束を楕円偏光光束に変換し、移動鏡１の
前に配置した１／８波長板９との共同作用により基本波
干渉縞信号に９０°位相変化を与えるようにするもので
ある。これらの２つの１７８波長板は、光学系の構成と
して不可欠のものではないが、光学系の調整のために実
用上、必要なものである。
図の装置の構成要素と同じものは第２図のものと同じ番
号を付しである。この実施例の第２図のものと異なる点
は、第２図の偏光ビームスプリッタ６に代えてビームス
プリッタ６′ を用いた点にある。そして、第２図の鏡
１０の作用、すなわち、基本波と第２高調波を分ける作
用を分散プリズ１６に行わせるようにしである。なお、
固定鏡２の前に配置した１／８波長板９″（基本波に対
しては８分の１波長板としては作用しない）は、固定鏡
２からの反射光束を楕円偏光光束に変換し、移動鏡１の
前に配置した１／８波長板９との共同作用により基本波
干渉縞信号に９０°位相変化を与えるようにするもので
ある。これらの２つの１７８波長板は、光学系の構成と
して不可欠のものではないが、光学系の調整のために実
用上、必要なものである。
第４図の装置の動作は第２図のものとほぼ同じであるの
で説明は省く。
で説明は省く。
以上、第２図と第４図の実施例においては、（ｉ）異な
る２つの波長の光束のうち、一方の光を他方の光の第２
高調波としているため、両者の周波数が厳密に２倍の関
係を保っていること（ｉｉ）戻り光束に対して再び第２
高調波を発生させることにより、２つの光の位相変動の
差を光学的な演算により得ていること の２点により、（５）式における（λ、δ、−λ。
る２つの波長の光束のうち、一方の光を他方の光の第２
高調波としているため、両者の周波数が厳密に２倍の関
係を保っていること（ｉｉ）戻り光束に対して再び第２
高調波を発生させることにより、２つの光の位相変動の
差を光学的な演算により得ていること の２点により、（５）式における（λ、δ、−λ。
δｂ）の項のもつ誤差を最小におさえることが可能とな
った。
った。
更に、別の実施例を第５図に示す。この実施例において
は１例えばＨｅ −Ｎ ｅレーザからなる第１の光源７
１（λｍ＝６３３ｎｍ）と、例えばＡｒ”レーザからな
る第２の光源７□（λ＝４８８ｎｍ）を用いる。第２の
光源７□からの光束は第２高調波発生光学系１７を介し
て波長が半分にされる（λｂ＝２４４ｎｍ）。これは第
２の光束源７２からの光束の波長と第１の光束源からの
光束の波長との差を大きくして、検出位相変化の差を大
きくし、測長誤差をより正確に取除くためである。光源
７１．７□からの光束は反射鏡１９、半透鏡１８を経て
、光束は移動鏡１．固定鏡２、偏光束ビームスプリッタ
６からなる干渉計に入射し、出射光束は基本波と第２高
調波を分離する為のフィルタ鏡１０、反射鏡２０を介し
て、第２図と同様の位相変化検出系１３．１４．１４’
、１５．４１．４２・４３．４４に入る。
は１例えばＨｅ −Ｎ ｅレーザからなる第１の光源７
１（λｍ＝６３３ｎｍ）と、例えばＡｒ”レーザからな
る第２の光源７□（λ＝４８８ｎｍ）を用いる。第２の
光源７□からの光束は第２高調波発生光学系１７を介し
て波長が半分にされる（λｂ＝２４４ｎｍ）。これは第
２の光束源７２からの光束の波長と第１の光束源からの
光束の波長との差を大きくして、検出位相変化の差を大
きくし、測長誤差をより正確に取除くためである。光源
７１．７□からの光束は反射鏡１９、半透鏡１８を経て
、光束は移動鏡１．固定鏡２、偏光束ビームスプリッタ
６からなる干渉計に入射し、出射光束は基本波と第２高
調波を分離する為のフィルタ鏡１０、反射鏡２０を介し
て、第２図と同様の位相変化検出系１３．１４．１４’
、１５．４１．４２・４３．４４に入る。
以上、本発明をマイケルソン干渉計を用いて説明してき
たが、本発明に用いる干渉計は必ずしもこの形式の干渉
計に限定されるものではない。
たが、本発明に用いる干渉計は必ずしもこの形式の干渉
計に限定されるものではない。
本発明の装置によれば、光路の大気状態を各位置でモニ
ターせずに、大気のゆらぎによる測長誤差を実時間で除
去することが可能であり、ナノメータ・オーダーの精密
な測長を行うことができる。
ターせずに、大気のゆらぎによる測長誤差を実時間で除
去することが可能であり、ナノメータ・オーダーの精密
な測長を行うことができる。
したがって、本発明の装置は、室内、屋外を問わず大気
のゆらぎが存在するあらゆる場所で有効に使用できる。
のゆらぎが存在するあらゆる場所で有効に使用できる。
第１図は光波干渉計の１つの基本的構成を示す構成図、
第２図は本発明の１実施例の三波長光波干渉測長装置の
光路図、第３図は基本波と第２高調波の位相関係の説明
図、第４図及び第５図は他の実施例の三波長光波干渉測
長装置の光路図である。 １：移動鏡 ２：固定鏡 ３．６１ ：ビームスプリッタ ４．４い４□、４３．４４：光束検出器５：信号処理系
６：偏光ビームスプリッタ７．７い７２：光源 ８：
非線形光学系９．９’：１／８波長板 １０：鏡 １１：偏光東ビームスプリッタ １２：全反射鏡１３：
ビームスプリッタ １４：１／４波長板１５：偏光子
１６：分散プリズム １７：第２高調波発生光学系 １８：半透鏡１９．２０
：反射鏡 特許出願人 新技術開発事業団 （他１名） 出願人代理人 弁理士 佐藤文男
第２図は本発明の１実施例の三波長光波干渉測長装置の
光路図、第３図は基本波と第２高調波の位相関係の説明
図、第４図及び第５図は他の実施例の三波長光波干渉測
長装置の光路図である。 １：移動鏡 ２：固定鏡 ３．６１ ：ビームスプリッタ ４．４い４□、４３．４４：光束検出器５：信号処理系
６：偏光ビームスプリッタ７．７い７２：光源 ８：
非線形光学系９．９’：１／８波長板 １０：鏡 １１：偏光東ビームスプリッタ １２：全反射鏡１３：
ビームスプリッタ １４：１／４波長板１５：偏光子
１６：分散プリズム １７：第２高調波発生光学系 １８：半透鏡１９．２０
：反射鏡 特許出願人 新技術開発事業団 （他１名） 出願人代理人 弁理士 佐藤文男
Claims (4)
- （１）２つの異なる波長を用いて光波干渉によって同時
に同一対象物の測長データを得る測長光学系と、上記２
波長についての測長データと大気の分散特性とから大気
のゆらぎによって生じる測長誤差を算出し、上記測長デ
ータから上記誤差を取除く信号処理手段とを有すること
を特徴とする光波干渉測長装置。 - （２）測長光学系は、一方の波長については位相変化を
、他方の波長については一方の波長の位相変化に対する
位相変化の差を、それぞれ検出するように構成したもの
であることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の光
波干渉測長装置。 - （３）測長光学系は、それぞれの波長について位相変化
を検出するように構成したものであることを特徴とする
特許請求の範囲第１項記載の光波干渉測長装置。 - （４）測長光学系の他方の波長は一方の波長から発生し
た高調波であるように構成したことを特徴とする特許請
求の範囲第１項から第３項いずれかに記載の光波干渉測
長装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62254723A JPH0198902A (ja) | 1987-10-12 | 1987-10-12 | 光波干渉測長装置 |
| GB8823914A GB2210973B (en) | 1987-10-12 | 1988-10-12 | Light wave interference length-measuring apparatus |
| US07/256,942 US4948254A (en) | 1987-10-12 | 1988-10-13 | Light wave interference length-measuring apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62254723A JPH0198902A (ja) | 1987-10-12 | 1987-10-12 | 光波干渉測長装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0198902A true JPH0198902A (ja) | 1989-04-17 |
| JPH0543961B2 JPH0543961B2 (ja) | 1993-07-05 |
Family
ID=17268952
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62254723A Granted JPH0198902A (ja) | 1987-10-12 | 1987-10-12 | 光波干渉測長装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4948254A (ja) |
| JP (1) | JPH0198902A (ja) |
| GB (1) | GB2210973B (ja) |
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| US5276501A (en) * | 1992-11-06 | 1994-01-04 | Martin Marietta Corporation | Fabry-Perot readout technique using wavelength tuning |
| US5359405A (en) * | 1992-11-06 | 1994-10-25 | Martin Marietta Corporation | Hybrid fiber optic sensor including a lead out optical fiber having a remote reflective end |
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| JP2903486B2 (ja) * | 1992-12-25 | 1999-06-07 | プロコピエヴィッチ ドラチェフ，ウラディミール | 分散干渉計 |
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- 1988-10-13 US US07/256,942 patent/US4948254A/en not_active Expired - Lifetime
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| US4948254A (en) | 1990-08-14 |
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| JPH0543961B2 (ja) | 1993-07-05 |
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