JPH06117810A - 外乱補正機能付きアブソリュ−ト測長器 - Google Patents
外乱補正機能付きアブソリュ−ト測長器Info
- Publication number
- JPH06117810A JPH06117810A JP3123998A JP12399891A JPH06117810A JP H06117810 A JPH06117810 A JP H06117810A JP 3123998 A JP3123998 A JP 3123998A JP 12399891 A JP12399891 A JP 12399891A JP H06117810 A JPH06117810 A JP H06117810A
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- light source
- length
- frequency
- interferometer
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- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 測定環境に制限を加えなくても高精度な測定
が可能なアブソリュ−ト測長器を実現する。 【構成】 周波数安定化光源と波長（または周波数）可
変光源を持ち、２つの光を同時に測長用干渉計に入射す
るアブソリュ−ト測長器で、波長（または周波数）可変
光源の波長を掃引中に発生した測長用干渉計の光路長変
化を測長用干渉計に同時に入射させた周波数安定化光源
から出射した光の干渉位相の変化として検出し、アブソ
リュ−ト測長値に補正を加える機能を設けたことを特徴
とする。
が可能なアブソリュ−ト測長器を実現する。 【構成】 周波数安定化光源と波長（または周波数）可
変光源を持ち、２つの光を同時に測長用干渉計に入射す
るアブソリュ−ト測長器で、波長（または周波数）可変
光源の波長を掃引中に発生した測長用干渉計の光路長変
化を測長用干渉計に同時に入射させた周波数安定化光源
から出射した光の干渉位相の変化として検出し、アブソ
リュ−ト測長値に補正を加える機能を設けたことを特徴
とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光源の周波数を可変し
た時に測長用干渉計部から得られる干渉位相の変化を検
出して、物体までの絶対距離を測定するアブソリュ−ト
測長器に関し、特に周波数可変時に発生した測長用干渉
計部での光路長変化の影響を除去できるようにしたアブ
ソリュ−ト測長器に関するものである。
た時に測長用干渉計部から得られる干渉位相の変化を検
出して、物体までの絶対距離を測定するアブソリュ−ト
測長器に関し、特に周波数可変時に発生した測長用干渉
計部での光路長変化の影響を除去できるようにしたアブ
ソリュ−ト測長器に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来からアブソリュ−ト測長器に関する
様々な報告がされている。図２はＦＭ変調法を使用した
アブソリュ−ト測長器の従来例である。図２に示す従来
例は、周波数可変光源１１と、測長用干渉計部１３と、
基準干渉計部１４と、干渉位相測定部１６ａ，１６ｂを
備えている。
様々な報告がされている。図２はＦＭ変調法を使用した
アブソリュ−ト測長器の従来例である。図２に示す従来
例は、周波数可変光源１１と、測長用干渉計部１３と、
基準干渉計部１４と、干渉位相測定部１６ａ，１６ｂを
備えている。
【０００３】このような構成において、周波数可変光源
１１から出射された光は、ハ−フミラ−１２で２つに分
岐される。一方は、測長用干渉計部１３に、他方は基準
干渉計部１４に入射される。測長用干渉計部１３に入射
した光は、ハ−フミラ−１３ａで更に２つに分岐され、
それぞれ参照用のミラ−１３ｂと測長用のミラ−１３ｃ
へと向かい、反射された後、フォトダイオ−ド１５ａ上
で重畳され干渉する。基準干渉計部１４に入射した光
は、ハ−フミラ−１４ａで更に２つに分岐され、それぞ
れミラ−１４ｂとミラ−１４ｃへと向かい、反射された
後、フォトダイオ−ド１５ｂ上で重畳され干渉する。干
渉位相測定部１６ａ，１６ｂは、フォトダイオ−ド１５
ａ，１５ｂからの検出出力をそれぞれ受けて、位相を求
め、演算部１７にて被測定対象である測長用のミラ−１
３ｃまでの距離Ｌｍが求められる。
１１から出射された光は、ハ−フミラ−１２で２つに分
岐される。一方は、測長用干渉計部１３に、他方は基準
干渉計部１４に入射される。測長用干渉計部１３に入射
した光は、ハ−フミラ−１３ａで更に２つに分岐され、
それぞれ参照用のミラ−１３ｂと測長用のミラ−１３ｃ
へと向かい、反射された後、フォトダイオ−ド１５ａ上
で重畳され干渉する。基準干渉計部１４に入射した光
は、ハ−フミラ−１４ａで更に２つに分岐され、それぞ
れミラ−１４ｂとミラ−１４ｃへと向かい、反射された
後、フォトダイオ−ド１５ｂ上で重畳され干渉する。干
渉位相測定部１６ａ，１６ｂは、フォトダイオ−ド１５
ａ，１５ｂからの検出出力をそれぞれ受けて、位相を求
め、演算部１７にて被測定対象である測長用のミラ−１
３ｃまでの距離Ｌｍが求められる。
【０００４】しかしながら、上記従来技術に示す従来か
ら提案されているアブソリュ−ト測長器では、光源の周
波数を可変中に測定光路長が外乱により動くと大きな誤
差が発生してしまう。その誤差の値（Ｌerror ）は周波
数可変幅をΔｆ、光の波長をλ、外乱による光路長変化
をΔＬｍとすると、合成波長Λは、 Λ＝ｃ／Δｆ＝λ2 ／Δλ より、 Ｌerror ＝（Λ／λ）・ΔＬｍ となる。例えば、Δλ／λ＝０．７％とすると、Λ／λ
＝１４３となり、誤差が１４３倍されてしまう。この誤
差は、アブソリュ−ト測長器の本質的な欠点であり、測
長器の高精度化を妨げ、使用環境の制限をも招いてい
た。
ら提案されているアブソリュ−ト測長器では、光源の周
波数を可変中に測定光路長が外乱により動くと大きな誤
差が発生してしまう。その誤差の値（Ｌerror ）は周波
数可変幅をΔｆ、光の波長をλ、外乱による光路長変化
をΔＬｍとすると、合成波長Λは、 Λ＝ｃ／Δｆ＝λ2 ／Δλ より、 Ｌerror ＝（Λ／λ）・ΔＬｍ となる。例えば、Δλ／λ＝０．７％とすると、Λ／λ
＝１４３となり、誤差が１４３倍されてしまう。この誤
差は、アブソリュ−ト測長器の本質的な欠点であり、測
長器の高精度化を妨げ、使用環境の制限をも招いてい
た。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明は上記従来技術
の課題を踏まえて成されたものであり、波長可変光源と
周波数安定化光源の光を同時に測長用干渉計部に入射
し、波長可変時に発生する光路長の変化を安定化光源光
の干渉位相の変化として検出し、アブソリュ−ト測長結
果に補正を加えることのできる装置を提供することによ
り、測定環境に制限を加えなくても高精度な測定が可能
な外乱補正機能付きアブソリュ−ト測長器を提供するこ
とを目的としたものである。
の課題を踏まえて成されたものであり、波長可変光源と
周波数安定化光源の光を同時に測長用干渉計部に入射
し、波長可変時に発生する光路長の変化を安定化光源光
の干渉位相の変化として検出し、アブソリュ−ト測長結
果に補正を加えることのできる装置を提供することによ
り、測定環境に制限を加えなくても高精度な測定が可能
な外乱補正機能付きアブソリュ−ト測長器を提供するこ
とを目的としたものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本発明の構成は、光源の周波数を可変した時に測長用
干渉計部から得られる干渉位相の変化を検出して物体ま
での絶対距離を測定するアブソリュ−ト測長器におい
て、ガスの吸収線やエタロンを周波数基準として使用し
て光の周波数を高精度に安定化した周波数安定化光源
と、３電極波長可変レ−ザダイオ−ドなどから成る波長
（または周波数）可変光源と、前記物体からの反射光と
参照光との干渉位相を測定する測長用干渉計部と、光路
差を固定した長さ基準から得られる干渉位相を測定する
基準干渉計部と、前記測長用干渉計部および基準干渉計
部から得られる干渉位相測定信号を入力して前記絶対距
離を求める干渉位相測定部とを備え、前記周波数安定化
光源および波長（または周波数）可変光源から出射され
る２つの光を同時に前記測長用干渉計部および基準干渉
計部に入射して、前記波長（または周波数）可変光源の
波長を掃引中に発生した前記測長用干渉計部の光路長変
化を前記測長用干渉計部に同時に入射させた前記周波数
安定化光源から出射した光の干渉位相の変化として検出
し、前記波長可変光源部の波長を連続的に掃引した時に
前記測長用干渉計部から得られる位相変化と前記基準干
渉計部から得られる位相変化および前記基準干渉計部の
光路差から求める前記絶対距離に補正を加えるようにし
たことを特徴とするものである。
の本発明の構成は、光源の周波数を可変した時に測長用
干渉計部から得られる干渉位相の変化を検出して物体ま
での絶対距離を測定するアブソリュ−ト測長器におい
て、ガスの吸収線やエタロンを周波数基準として使用し
て光の周波数を高精度に安定化した周波数安定化光源
と、３電極波長可変レ−ザダイオ−ドなどから成る波長
（または周波数）可変光源と、前記物体からの反射光と
参照光との干渉位相を測定する測長用干渉計部と、光路
差を固定した長さ基準から得られる干渉位相を測定する
基準干渉計部と、前記測長用干渉計部および基準干渉計
部から得られる干渉位相測定信号を入力して前記絶対距
離を求める干渉位相測定部とを備え、前記周波数安定化
光源および波長（または周波数）可変光源から出射され
る２つの光を同時に前記測長用干渉計部および基準干渉
計部に入射して、前記波長（または周波数）可変光源の
波長を掃引中に発生した前記測長用干渉計部の光路長変
化を前記測長用干渉計部に同時に入射させた前記周波数
安定化光源から出射した光の干渉位相の変化として検出
し、前記波長可変光源部の波長を連続的に掃引した時に
前記測長用干渉計部から得られる位相変化と前記基準干
渉計部から得られる位相変化および前記基準干渉計部の
光路差から求める前記絶対距離に補正を加えるようにし
たことを特徴とするものである。
【０００７】
【作用】本発明によれば、波長掃引時の光路長変化によ
る誤差を実時間に補正することが可能であり、測定環境
が悪くとも、高精度なアブソリュ−ト測長ができる。
る誤差を実時間に補正することが可能であり、測定環境
が悪くとも、高精度なアブソリュ−ト測長ができる。
【０００８】
【実施例】以下、本発明を図面に基づいて説明する。図
１は本発明の外乱補正機能付きアブソリュ−ト測長器の
一実施例を示す構成図である。図１において、１は３電
極波長可変レ−ザダイオ−ドなどの波長可変光源、２は
ガスの吸収線やエタロンを周波数基準として使用し、光
の周波数を高精度に安定化した周波数安定化光源、３ａ
は波長可変光源１の出射光と周波数安定化光源２の出射
光を合波するハ−フミラ−、３ｂは合波された光をそれ
ぞれ２つに分岐するハ−フミラ−、４はミラ−、５は光
路差を与え距離を測定するためのマイケルソン干渉計で
構成される測長用干渉計部であり、この測長用干渉計部
５は、ハ−フミラ−３ｂによりそれぞれ分岐された合波
光が入射され、更に２つに分岐するハ−フミラ−５１と
参照側の光路上に設置された参照用コ−ナ−キュ−ブ５
２と測長側の光路上に設置された測長用コ−ナ−キュ−
ブ５３から成る。６は光路差を固定した基準干渉計部で
あり、この基準干渉計部６は、ハ−フミラ−３ｂにより
それぞれ分岐された合波光がミラ−４を介して入射さ
れ、更に２つに分岐するハ−フミラ−６１とハ−フミラ
−６１により分岐された他方の光を反射するミラ−６２
と一定の光路長さを有する長さ基準６３で構成される。
７ａ，７ｂは測長用干渉計部５および基準干渉計部６か
らそれぞれ得られる２つの干渉光を分離するダイクロイ
ックミラ−などのフィルタ、８ａ〜８ｄは分離された干
渉光から干渉信号を検出するフォトダイオ−ド、９ａ，
９ｂはそれぞれフォトダイオ−ド１０，１１および１
７，１８で検出した干渉信号から干渉位相を求め、補正
を行うための干渉位相測定部である。
１は本発明の外乱補正機能付きアブソリュ−ト測長器の
一実施例を示す構成図である。図１において、１は３電
極波長可変レ−ザダイオ−ドなどの波長可変光源、２は
ガスの吸収線やエタロンを周波数基準として使用し、光
の周波数を高精度に安定化した周波数安定化光源、３ａ
は波長可変光源１の出射光と周波数安定化光源２の出射
光を合波するハ−フミラ−、３ｂは合波された光をそれ
ぞれ２つに分岐するハ−フミラ−、４はミラ−、５は光
路差を与え距離を測定するためのマイケルソン干渉計で
構成される測長用干渉計部であり、この測長用干渉計部
５は、ハ−フミラ−３ｂによりそれぞれ分岐された合波
光が入射され、更に２つに分岐するハ−フミラ−５１と
参照側の光路上に設置された参照用コ−ナ−キュ−ブ５
２と測長側の光路上に設置された測長用コ−ナ−キュ−
ブ５３から成る。６は光路差を固定した基準干渉計部で
あり、この基準干渉計部６は、ハ−フミラ−３ｂにより
それぞれ分岐された合波光がミラ−４を介して入射さ
れ、更に２つに分岐するハ−フミラ−６１とハ−フミラ
−６１により分岐された他方の光を反射するミラ−６２
と一定の光路長さを有する長さ基準６３で構成される。
７ａ，７ｂは測長用干渉計部５および基準干渉計部６か
らそれぞれ得られる２つの干渉光を分離するダイクロイ
ックミラ−などのフィルタ、８ａ〜８ｄは分離された干
渉光から干渉信号を検出するフォトダイオ−ド、９ａ，
９ｂはそれぞれフォトダイオ−ド１０，１１および１
７，１８で検出した干渉信号から干渉位相を求め、補正
を行うための干渉位相測定部である。
【０００９】このような構成において、波長可変光源１
および周波数安定化光源２から出射され、ハ−フミラ−
３ａで合波された光は、ハ−フミラ−３ｂでそれぞれが
２つに分岐される。一方は、ハ−フミラ−３ｂを透過し
て、測長用干渉計部５に入射される。測長用干渉計部５
に入射した光は、ハ−フミラ−５１で更に２つに分岐さ
れ、参照用コ−ナ−キュ−ブ５２，測長用コ−ナ−キュ
−ブ５３でそれぞれ反射され、再びハ−フミラ−５１に
入射される。両入射光は、ハ−フミラ−５１でそれぞれ
干渉して、ダイクロイックミラ−７ａによって、２つの
干渉光が分離される。波長可変光源光によるＦＭ干渉信
号は、フォトダイオ−ド８ａで検出される。周波数安定
化光源光による干渉位相は、フォトダイオ−ド８ｂで検
出される。他方は、ハ−フミラ−４，ミラ−５で順次反
射されて、基準干渉計部６に入射される。基準干渉計部
６に入射した光は、ハ−フミラ−６１で更に２つに分岐
される。一方は、ハ−フミラ−６１を透過して、長さ基
準６３の反射面６３ａで反射され、ハ−フミラ−６１に
入射される。他方は、ハ−フミラ−６１，ミラ−６２で
順次反射され、長さ基準６３の反射面６３ｂで反射さ
れ、同一光路を経て、ハ−フミラ−６１に入射される。
両入射光は、ハ−フミラ−６１でそれぞれ干渉して、ダ
イクロイックミラ−７ｂによって、２つの干渉光が分離
される。測長用干渉計部５と同様に、波長可変光源光に
よるＦＭ干渉信号は、フォトダイオ−ド８ｃで検出され
る。周波数安定化光源光による干渉位相は、フォトダイ
オ−ド８ｄで検出される。フォトダイオ−ド８ａ〜８ｄ
でそれぞれ検出された干渉信号は、干渉位相測定部９ａ
および９ｂで干渉位相になおされ、補正が行われる。
および周波数安定化光源２から出射され、ハ−フミラ−
３ａで合波された光は、ハ−フミラ−３ｂでそれぞれが
２つに分岐される。一方は、ハ−フミラ−３ｂを透過し
て、測長用干渉計部５に入射される。測長用干渉計部５
に入射した光は、ハ−フミラ−５１で更に２つに分岐さ
れ、参照用コ−ナ−キュ−ブ５２，測長用コ−ナ−キュ
−ブ５３でそれぞれ反射され、再びハ−フミラ−５１に
入射される。両入射光は、ハ−フミラ−５１でそれぞれ
干渉して、ダイクロイックミラ−７ａによって、２つの
干渉光が分離される。波長可変光源光によるＦＭ干渉信
号は、フォトダイオ−ド８ａで検出される。周波数安定
化光源光による干渉位相は、フォトダイオ−ド８ｂで検
出される。他方は、ハ−フミラ−４，ミラ−５で順次反
射されて、基準干渉計部６に入射される。基準干渉計部
６に入射した光は、ハ−フミラ−６１で更に２つに分岐
される。一方は、ハ−フミラ−６１を透過して、長さ基
準６３の反射面６３ａで反射され、ハ−フミラ−６１に
入射される。他方は、ハ−フミラ−６１，ミラ−６２で
順次反射され、長さ基準６３の反射面６３ｂで反射さ
れ、同一光路を経て、ハ−フミラ−６１に入射される。
両入射光は、ハ−フミラ−６１でそれぞれ干渉して、ダ
イクロイックミラ−７ｂによって、２つの干渉光が分離
される。測長用干渉計部５と同様に、波長可変光源光に
よるＦＭ干渉信号は、フォトダイオ−ド８ｃで検出され
る。周波数安定化光源光による干渉位相は、フォトダイ
オ−ド８ｄで検出される。フォトダイオ−ド８ａ〜８ｄ
でそれぞれ検出された干渉信号は、干渉位相測定部９ａ
および９ｂで干渉位相になおされ、補正が行われる。
【００１０】ここで、測長用干渉計部５から得られる干
渉位相θm は、 θm ＝（２π／λt ）・Ｌm … ただし、λt ：光源の波長 Ｌm ：光路差 で示される。式中の波長を連続的に掃引した時に得ら
れる干渉位相の変化Δθm からＬm を求めるのが、ＦＭ
変調法の基本原理である。（式） Δθm ＝（２π／（λt 2 ／Δλ））・Ｌm Ｌm ＝（λ2 ／Δλ）・（Δθm ／２π） … しかし、波長を掃引中にＬm が揺らぐと、大きな誤差が
発生する。この誤差は、式を全微分して計算すると、
式となる。 Δθm ´＝Δθm ＋θerror ＝（２π／λt 2 ）・Ｌm ・Δλ＋（２π／λt ）・ΔＬm … 今迄のアブソリュ−ト測長器では、Δθm とθerror を
分離できないため、 Ｌm ´＝Ｌm ＋（Λ／λ）・ΔＬm … Λ＝λ2 ／Δλ 誤差 となり、揺らぎΔＬm が、Λ／λ倍されてしまう。
渉位相θm は、 θm ＝（２π／λt ）・Ｌm … ただし、λt ：光源の波長 Ｌm ：光路差 で示される。式中の波長を連続的に掃引した時に得ら
れる干渉位相の変化Δθm からＬm を求めるのが、ＦＭ
変調法の基本原理である。（式） Δθm ＝（２π／（λt 2 ／Δλ））・Ｌm Ｌm ＝（λ2 ／Δλ）・（Δθm ／２π） … しかし、波長を掃引中にＬm が揺らぐと、大きな誤差が
発生する。この誤差は、式を全微分して計算すると、
式となる。 Δθm ´＝Δθm ＋θerror ＝（２π／λt 2 ）・Ｌm ・Δλ＋（２π／λt ）・ΔＬm … 今迄のアブソリュ−ト測長器では、Δθm とθerror を
分離できないため、 Ｌm ´＝Ｌm ＋（Λ／λ）・ΔＬm … Λ＝λ2 ／Δλ 誤差 となり、揺らぎΔＬm が、Λ／λ倍されてしまう。
【００１１】図１に示す本発明の外乱補正機能付きアブ
ソリュ−ト測長器は、波長可変光源１の出射光（λt ）
と周波数安定化光源２の出射光（λg ）を同時に測長用
干渉計部５に入射し、周波数安定化光源２の出射光（λ
g ）の干渉位相から干渉位相誤差θerror を検出し、補
正を加えている。周波数安定化光源２の出射光（λg）
で検出する誤差位相Δθegは、 Δθeg＝（２π／λg ）・ΔＬm であるから、干渉位相誤差θerror は、 θerror ＝（λg ／λt ）・Δθeg … となり、周波数安定化光源２の出射光（λg ）で検出す
る誤差位相Δθegで干渉位相誤差θerror の補正が可能
となる。
ソリュ−ト測長器は、波長可変光源１の出射光（λt ）
と周波数安定化光源２の出射光（λg ）を同時に測長用
干渉計部５に入射し、周波数安定化光源２の出射光（λ
g ）の干渉位相から干渉位相誤差θerror を検出し、補
正を加えている。周波数安定化光源２の出射光（λg）
で検出する誤差位相Δθegは、 Δθeg＝（２π／λg ）・ΔＬm であるから、干渉位相誤差θerror は、 θerror ＝（λg ／λt ）・Δθeg … となり、周波数安定化光源２の出射光（λg ）で検出す
る誤差位相Δθegで干渉位相誤差θerror の補正が可能
となる。
【００１２】なお、上記実施例において、ハ−フミラ−
３ａおよびダイクロイックミラ−７ａ，７ｂを偏光ビ−
ムスプリッタを用いた構成としても良く、この場合、偏
光干渉系を構成し、波長可変光源１の出射光（λt ）と
周波数安定化光源２の出射光（λg ）を偏光を利用して
分離することができる。また、ハ−フミラ−３ｂにより
分岐した他方の光が入射される基準干渉計部６の代わり
に、波長計を用いた構成としても良い。
３ａおよびダイクロイックミラ−７ａ，７ｂを偏光ビ−
ムスプリッタを用いた構成としても良く、この場合、偏
光干渉系を構成し、波長可変光源１の出射光（λt ）と
周波数安定化光源２の出射光（λg ）を偏光を利用して
分離することができる。また、ハ−フミラ−３ｂにより
分岐した他方の光が入射される基準干渉計部６の代わり
に、波長計を用いた構成としても良い。
【００１３】
【発明の効果】以上、実施例と共に具体的に説明したよ
うに、本発明によれば、波長掃引時の光路長変化による
誤差を実時間に補正することが可能であり、測定環境が
悪くても高精度のアブソリュ−ト測長が可能である。ま
た、波長可変光源と波長安定化光源を分離し、同時に干
渉計に入射する構成であるため、光源の複雑なシ−ケン
スは必要なく、波長可変光源の発振波長を自由に選択す
ることができる。更に、システム構成を目的によって、
自由に変更できるため、ユニット化が可能になった。例
えば、 ・インクリメンタル測長器：安定化光源部＋測長用干渉
計部 ・コンペンセ−タ付きインクリメンタル測長器：安定化
光源部＋測長用干渉計部＋基準干渉計部 ・アブソリュ−ト測長器：安定化光源部＋測長用干渉計
部＋基準干渉計部＋波長可変光源部 などの効果を有する外乱補正機能付きアブソリュ−ト測
長器を実現できる。
うに、本発明によれば、波長掃引時の光路長変化による
誤差を実時間に補正することが可能であり、測定環境が
悪くても高精度のアブソリュ−ト測長が可能である。ま
た、波長可変光源と波長安定化光源を分離し、同時に干
渉計に入射する構成であるため、光源の複雑なシ−ケン
スは必要なく、波長可変光源の発振波長を自由に選択す
ることができる。更に、システム構成を目的によって、
自由に変更できるため、ユニット化が可能になった。例
えば、 ・インクリメンタル測長器：安定化光源部＋測長用干渉
計部 ・コンペンセ−タ付きインクリメンタル測長器：安定化
光源部＋測長用干渉計部＋基準干渉計部 ・アブソリュ−ト測長器：安定化光源部＋測長用干渉計
部＋基準干渉計部＋波長可変光源部 などの効果を有する外乱補正機能付きアブソリュ−ト測
長器を実現できる。
【図１】本発明の外乱補正機能付きアブソリュ−ト測長
器の一実施例を示す構成図である。
器の一実施例を示す構成図である。
【図２】アブソリュ−ト測長器の従来例を示す構成図で
ある。
ある。
１ 波長可変光源 ２ 周波数安定化光源 ３ａ，３ｂ，５１，６１ ハ−フミラ− ４，６２ ミラ− ５ 測長用干渉計部 ６ 基準干渉計部 ７ａ，７ｂ ダイクロイックミラ− ８ａ，８ｂ，８ｃ，８ｄ フォトダイオ−ド ９ａ，９ｂ 干渉位相測定部 ５２ 参照用ミラ− ５３ 測長用ミラ− ６３ 長さ基準
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成５年６月１６日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正内容】
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の詳細な説明
【補正方法】変更
【補正内容】
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光源の周波数を可変し
た時に測長用干渉計部から得られる干渉位相の変化を検
出して、物体までの絶対距離を測定するアブソリュ−ト
測長器に関し、特に周波数可変時に発生した測長用干渉
計部での光路長変化の影響を除去できるようにしたアブ
ソリュ−ト測長器に関するものである。
た時に測長用干渉計部から得られる干渉位相の変化を検
出して、物体までの絶対距離を測定するアブソリュ−ト
測長器に関し、特に周波数可変時に発生した測長用干渉
計部での光路長変化の影響を除去できるようにしたアブ
ソリュ−ト測長器に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来からアブソリュ−ト測長器に関する
様々な報告がされている。図２はＦＭ変調法を使用した
アブソリュ−ト測長器の従来例である。図２に示す従来
例は、周波数可変光源１１と、測長用干渉計部１３と、
基準干渉計部１４と、干渉位相測定部１６ａ，１６ｂを
備えている。
様々な報告がされている。図２はＦＭ変調法を使用した
アブソリュ−ト測長器の従来例である。図２に示す従来
例は、周波数可変光源１１と、測長用干渉計部１３と、
基準干渉計部１４と、干渉位相測定部１６ａ，１６ｂを
備えている。
【０００３】このような構成において、周波数可変光源
１１から出射された光は、ハ−フミラ−１２で２つに分
岐される。一方は、測長用干渉計部１３に、他方は基準
干渉計部１４に入射される。測長用干渉計部１３に入射
した光は、ハ−フミラ−１３ａで更に２つに分岐され、
それぞれ参照用のミラ−１３ｂと測長用のミラ−１３ｃ
へと向かい、反射された後、フォトダイオ−ド１５ａ上
で重畳され干渉する。基準干渉計部１４に入射した光
は、ハ−フミラ−１４ａで更に２つに分岐され、それぞ
れミラ−１４ｂとミラ−１４ｃへと向かい、反射された
後、フォトダイオ−ド１５ｂ上で重畳され干渉する。干
渉位相測定部１６ａ，１６ｂは、フォトダイオ−ド１５
ａ，１５ｂからの検出出力をそれぞれ受けて、位相を求
め、演算部１７にて被測定対象である測長用のミラ−１
３ｃまでの距離Ｌｍが求められる。
１１から出射された光は、ハ−フミラ−１２で２つに分
岐される。一方は、測長用干渉計部１３に、他方は基準
干渉計部１４に入射される。測長用干渉計部１３に入射
した光は、ハ−フミラ−１３ａで更に２つに分岐され、
それぞれ参照用のミラ−１３ｂと測長用のミラ−１３ｃ
へと向かい、反射された後、フォトダイオ−ド１５ａ上
で重畳され干渉する。基準干渉計部１４に入射した光
は、ハ−フミラ−１４ａで更に２つに分岐され、それぞ
れミラ−１４ｂとミラ−１４ｃへと向かい、反射された
後、フォトダイオ−ド１５ｂ上で重畳され干渉する。干
渉位相測定部１６ａ，１６ｂは、フォトダイオ−ド１５
ａ，１５ｂからの検出出力をそれぞれ受けて、位相を求
め、演算部１７にて被測定対象である測長用のミラ−１
３ｃまでの距離Ｌｍが求められる。
【０００４】しかしながら、上記従来技術に示す従来か
ら提案されているアブソリュ−ト測長器では、光源の周
波数を可変中に測定光路長が外乱により動くと大きな誤
差が発生してしまう。その誤差の値（Ｌerror ）は周波
数可変幅をΔｆ、光の波長をλ、外乱による光路長変化
をΔＬｍとすると、合成波長Λは、 Λ＝ｃ／Δｆ＝λ2 ／Δλ より、 Ｌerror ＝（Λ／λ）・ΔＬｍ となる。例えば、Δλ／λ＝０．７％とすると、Λ／λ
＝１４３となり、誤差が１４３倍されてしまう。この誤
差は、アブソリュ−ト測長器の本質的な欠点であり、測
長器の高精度化を妨げ、使用環境の制限をも招いてい
た。
ら提案されているアブソリュ−ト測長器では、光源の周
波数を可変中に測定光路長が外乱により動くと大きな誤
差が発生してしまう。その誤差の値（Ｌerror ）は周波
数可変幅をΔｆ、光の波長をλ、外乱による光路長変化
をΔＬｍとすると、合成波長Λは、 Λ＝ｃ／Δｆ＝λ2 ／Δλ より、 Ｌerror ＝（Λ／λ）・ΔＬｍ となる。例えば、Δλ／λ＝０．７％とすると、Λ／λ
＝１４３となり、誤差が１４３倍されてしまう。この誤
差は、アブソリュ−ト測長器の本質的な欠点であり、測
長器の高精度化を妨げ、使用環境の制限をも招いてい
た。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明は上記従来技術
の課題を踏まえて成されたものであり、波長可変光源と
周波数安定化光源の光を同時に測長用干渉計部に入射
し、波長可変時に発生する光路長の変化を安定化光源光
の干渉位相の変化として検出し、アブソリュ−ト測長結
果に補正を加えることのできる装置を提供することによ
り、測定環境に制限を加えなくても高精度な測定が可能
な外乱補正機能付きアブソリュ−ト測長器を提供するこ
とを目的としたものである。
の課題を踏まえて成されたものであり、波長可変光源と
周波数安定化光源の光を同時に測長用干渉計部に入射
し、波長可変時に発生する光路長の変化を安定化光源光
の干渉位相の変化として検出し、アブソリュ−ト測長結
果に補正を加えることのできる装置を提供することによ
り、測定環境に制限を加えなくても高精度な測定が可能
な外乱補正機能付きアブソリュ−ト測長器を提供するこ
とを目的としたものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本発明の構成は、光源の周波数を可変した時に測長用
干渉計部から得られる干渉位相の変化を検出して物体ま
での絶対距離を測定するアブソリュ−ト測長器におい
て、ガスの吸収線やエタロンを周波数基準として使用し
て光の周波数を高精度に安定化した周波数安定化光源
と、３電極波長可変レ−ザダイオ−ドなどから成る波長
（または周波数）可変光源と、前記物体からの反射光と
参照光との干渉位相を測定する測長用干渉計部と、光路
差を固定した長さ基準から得られる干渉位相を測定する
基準干渉計部と、前記測長用干渉計部および基準干渉計
部から得られる干渉位相測定信号を入力して前記絶対距
離を求める干渉位相測定部とを備え、前記周波数安定化
光源および波長（または周波数）可変光源から出射され
る２つの光を同時に前記測長用干渉計部および基準干渉
計部に入射して、前記波長（または周波数）可変光源の
波長を掃引中に発生した前記測長用干渉計部の光路長変
化を前記測長用干渉計部に同時に入射させた前記周波数
安定化光源から出射した光の干渉位相の変化として検出
し、前記波長可変光源部の波長を連続的に掃引した時に
前記測長用干渉計部から得られる位相変化と前記基準干
渉計部から得られる位相変化および前記基準干渉計部の
光路差から求める前記絶対距離に補正を加えるようにし
たことを特徴とするものである。
の本発明の構成は、光源の周波数を可変した時に測長用
干渉計部から得られる干渉位相の変化を検出して物体ま
での絶対距離を測定するアブソリュ−ト測長器におい
て、ガスの吸収線やエタロンを周波数基準として使用し
て光の周波数を高精度に安定化した周波数安定化光源
と、３電極波長可変レ−ザダイオ−ドなどから成る波長
（または周波数）可変光源と、前記物体からの反射光と
参照光との干渉位相を測定する測長用干渉計部と、光路
差を固定した長さ基準から得られる干渉位相を測定する
基準干渉計部と、前記測長用干渉計部および基準干渉計
部から得られる干渉位相測定信号を入力して前記絶対距
離を求める干渉位相測定部とを備え、前記周波数安定化
光源および波長（または周波数）可変光源から出射され
る２つの光を同時に前記測長用干渉計部および基準干渉
計部に入射して、前記波長（または周波数）可変光源の
波長を掃引中に発生した前記測長用干渉計部の光路長変
化を前記測長用干渉計部に同時に入射させた前記周波数
安定化光源から出射した光の干渉位相の変化として検出
し、前記波長可変光源部の波長を連続的に掃引した時に
前記測長用干渉計部から得られる位相変化と前記基準干
渉計部から得られる位相変化および前記基準干渉計部の
光路差から求める前記絶対距離に補正を加えるようにし
たことを特徴とするものである。
【０００７】
【作用】本発明によれば、波長掃引時の光路長変化によ
る誤差を実時間に補正することが可能であり、測定環境
が悪くとも、高精度なアブソリュ−ト測長ができる。
る誤差を実時間に補正することが可能であり、測定環境
が悪くとも、高精度なアブソリュ−ト測長ができる。
【０００８】
【実施例】以下、本発明を図面に基づいて説明する。図
１は本発明の外乱補正機能付きアブソリュ−ト測長器の
一実施例を示す構成図である。図１において、１は３電
極波長可変レ−ザダイオ−ドなどの波長可変光源、２は
ガスの吸収線やエタロンを周波数基準として使用し、光
の周波数を高精度に安定化した周波数安定化光源、３ａ
は波長可変光源１の出射光と周波数安定化光源２の出射
光を合波するハ−フミラ−、３ｂは合波された光をそれ
ぞれ２つに分岐するハ−フミラ−、４はミラ−、５は光
路差を与え距離を測定するためのマイケルソン干渉計で
構成される測長用干渉計部であり、この測長用干渉計部
５は、ハ−フミラ−３ｂによりそれぞれ分岐された合波
光が入射され、更に２つに分岐するハ−フミラ−５１と
参照側の光路上に設置された参照用コ−ナ−キュ−ブ５
２と測長側の光路上に設置された測長用コ−ナ−キュ−
ブ５３から成る。６は光路差を固定した基準干渉計部で
あり、この基準干渉計部６は、ハ−フミラ−３ｂにより
それぞれ分岐された合波光がミラ−４を介して入射さ
れ、更に２つに分岐するハ−フミラ−６１とハ−フミラ
−６１により分岐された他方の光を反射するミラ−６２
と一定の光路長さを有する長さ基準６３で構成される。
７ａ，７ｂは測長用干渉計部５および基準干渉計部６か
らそれぞれ得られる２つの干渉光を分離するダイクロイ
ックミラ−などのフィルタ、８ａ〜８ｄは分離された干
渉光から干渉信号を検出するフォトダイオ−ド、９ａ，
９ｂはそれぞれフォトダイオ−ド１０，１１および１
７，１８で検出した干渉信号から干渉位相を求め、補正
を行うための干渉位相測定部である。
１は本発明の外乱補正機能付きアブソリュ−ト測長器の
一実施例を示す構成図である。図１において、１は３電
極波長可変レ−ザダイオ−ドなどの波長可変光源、２は
ガスの吸収線やエタロンを周波数基準として使用し、光
の周波数を高精度に安定化した周波数安定化光源、３ａ
は波長可変光源１の出射光と周波数安定化光源２の出射
光を合波するハ−フミラ−、３ｂは合波された光をそれ
ぞれ２つに分岐するハ−フミラ−、４はミラ−、５は光
路差を与え距離を測定するためのマイケルソン干渉計で
構成される測長用干渉計部であり、この測長用干渉計部
５は、ハ−フミラ−３ｂによりそれぞれ分岐された合波
光が入射され、更に２つに分岐するハ−フミラ−５１と
参照側の光路上に設置された参照用コ−ナ−キュ−ブ５
２と測長側の光路上に設置された測長用コ−ナ−キュ−
ブ５３から成る。６は光路差を固定した基準干渉計部で
あり、この基準干渉計部６は、ハ−フミラ−３ｂにより
それぞれ分岐された合波光がミラ−４を介して入射さ
れ、更に２つに分岐するハ−フミラ−６１とハ−フミラ
−６１により分岐された他方の光を反射するミラ−６２
と一定の光路長さを有する長さ基準６３で構成される。
７ａ，７ｂは測長用干渉計部５および基準干渉計部６か
らそれぞれ得られる２つの干渉光を分離するダイクロイ
ックミラ−などのフィルタ、８ａ〜８ｄは分離された干
渉光から干渉信号を検出するフォトダイオ−ド、９ａ，
９ｂはそれぞれフォトダイオ−ド１０，１１および１
７，１８で検出した干渉信号から干渉位相を求め、補正
を行うための干渉位相測定部である。
【０００９】このような構成において、波長可変光源１
および周波数安定化光源２から出射され、ハ−フミラ−
３ａで合波された光は、ハ−フミラ−３ｂでそれぞれが
２つに分岐される。一方は、ハ−フミラ−３ｂを透過し
て、測長用干渉計部５に入射される。測長用干渉計部５
に入射した光は、ハ−フミラ−５１で更に２つに分岐さ
れ、参照用コ−ナ−キュ−ブ５２，測長用コ−ナ−キュ
−ブ５３でそれぞれ反射され、再びハ−フミラ−５１に
入射される。両入射光は、ハ−フミラ−５１でそれぞれ
干渉して、ダイクロイックミラ−７ａによって、２つの
干渉光が分離される。波長可変光源光によるＦＭ干渉信
号は、フォトダイオ−ド８ａで検出される。周波数安定
化光源光による干渉位相は、フォトダイオ−ド８ｂで検
出される。他方は、ハ−フミラ−４，ミラ−５で順次反
射されて、基準干渉計部６に入射される。基準干渉計部
６に入射した光は、ハ−フミラ−６１で更に２つに分岐
される。一方は、ハ−フミラ−６１を透過して、長さ基
準６３の反射面６３ａで反射され、ハ−フミラ−６１に
入射される。他方は、ハ−フミラ−６１，ミラ−６２で
順次反射され、長さ基準６３の反射面６３ｂで反射さ
れ、同一光路を経て、ハ−フミラ−６１に入射される。
両入射光は、ハ−フミラ−６１でそれぞれ干渉して、ダ
イクロイックミラ−７ｂによって、２つの干渉光が分離
される。測長用干渉計部５と同様に、波長可変光源光に
よるＦＭ干渉信号は、フォトダイオ−ド８ｃで検出され
る。周波数安定化光源光による干渉位相は、フォトダイ
オ−ド８ｄで検出される。フォトダイオ−ド８ａ〜８ｄ
でそれぞれ検出された干渉信号は、干渉位相測定部９ａ
および９ｂで干渉位相になおされ、補正が行われる。
および周波数安定化光源２から出射され、ハ−フミラ−
３ａで合波された光は、ハ−フミラ−３ｂでそれぞれが
２つに分岐される。一方は、ハ−フミラ−３ｂを透過し
て、測長用干渉計部５に入射される。測長用干渉計部５
に入射した光は、ハ−フミラ−５１で更に２つに分岐さ
れ、参照用コ−ナ−キュ−ブ５２，測長用コ−ナ−キュ
−ブ５３でそれぞれ反射され、再びハ−フミラ−５１に
入射される。両入射光は、ハ−フミラ−５１でそれぞれ
干渉して、ダイクロイックミラ−７ａによって、２つの
干渉光が分離される。波長可変光源光によるＦＭ干渉信
号は、フォトダイオ−ド８ａで検出される。周波数安定
化光源光による干渉位相は、フォトダイオ−ド８ｂで検
出される。他方は、ハ−フミラ−４，ミラ−５で順次反
射されて、基準干渉計部６に入射される。基準干渉計部
６に入射した光は、ハ−フミラ−６１で更に２つに分岐
される。一方は、ハ−フミラ−６１を透過して、長さ基
準６３の反射面６３ａで反射され、ハ−フミラ−６１に
入射される。他方は、ハ−フミラ−６１，ミラ−６２で
順次反射され、長さ基準６３の反射面６３ｂで反射さ
れ、同一光路を経て、ハ−フミラ−６１に入射される。
両入射光は、ハ−フミラ−６１でそれぞれ干渉して、ダ
イクロイックミラ−７ｂによって、２つの干渉光が分離
される。測長用干渉計部５と同様に、波長可変光源光に
よるＦＭ干渉信号は、フォトダイオ−ド８ｃで検出され
る。周波数安定化光源光による干渉位相は、フォトダイ
オ−ド８ｄで検出される。フォトダイオ−ド８ａ〜８ｄ
でそれぞれ検出された干渉信号は、干渉位相測定部９ａ
および９ｂで干渉位相になおされ、補正が行われる。
【００１０】ここで、測長用干渉計部５から得られる干
渉位相θm は、 θm ＝（２π／λt ）・Ｌm … ただし、λt ：光源の波長 Ｌm ：光路差 で示される。式中の波長を連続的に掃引した時に得ら
れる干渉位相の変化Δθm からＬm を求めるのが、ＦＭ
変調法の基本原理である。（式） Δθm ＝（２π／（λt 2 ／Δλ））・Ｌm Ｌm ＝（λ2 ／Δλ）・（Δθm ／２π） … しかし、波長を掃引中にＬm が揺らぐと、大きな誤差が
発生する。この誤差は、式を全微分して計算すると、
式となる。 Δθm ´＝Δθm ＋θerror ＝（２π／λt 2 ）・Ｌm ・Δλ＋（２π／λt ）・ΔＬm … 今迄のアブソリュ−ト測長器では、Δθm とθerror を
分離できないため、 Ｌm ´＝Ｌm ＋（Λ／λ）・ΔＬm … Λ＝λ2 ／Δλ 誤差 となり、揺らぎΔＬm が、Λ／λ倍されてしまう。
渉位相θm は、 θm ＝（２π／λt ）・Ｌm … ただし、λt ：光源の波長 Ｌm ：光路差 で示される。式中の波長を連続的に掃引した時に得ら
れる干渉位相の変化Δθm からＬm を求めるのが、ＦＭ
変調法の基本原理である。（式） Δθm ＝（２π／（λt 2 ／Δλ））・Ｌm Ｌm ＝（λ2 ／Δλ）・（Δθm ／２π） … しかし、波長を掃引中にＬm が揺らぐと、大きな誤差が
発生する。この誤差は、式を全微分して計算すると、
式となる。 Δθm ´＝Δθm ＋θerror ＝（２π／λt 2 ）・Ｌm ・Δλ＋（２π／λt ）・ΔＬm … 今迄のアブソリュ−ト測長器では、Δθm とθerror を
分離できないため、 Ｌm ´＝Ｌm ＋（Λ／λ）・ΔＬm … Λ＝λ2 ／Δλ 誤差 となり、揺らぎΔＬm が、Λ／λ倍されてしまう。
【００１１】図１に示す本発明の外乱補正機能付きアブ
ソリュ−ト測長器は、波長可変光源１の出射光（λt ）
と周波数安定化光源２の出射光（λg ）を同時に測長用
干渉計部５に入射し、周波数安定化光源２の出射光（λ
g ）の干渉位相から干渉位相誤差θerror を検出し、補
正を加えている。周波数安定化光源２の出射光（λg）
で検出する誤差位相Δθegは、 Δθeg＝（２π／λg ）・ΔＬm であるから、干渉位相誤差θerror は、 θerror ＝（λg ／λt ）・Δθeg … となり、周波数安定化光源２の出射光（λg ）で検出す
る誤差位相Δθegで干渉位相誤差θerror の補正が可能
となる。
ソリュ−ト測長器は、波長可変光源１の出射光（λt ）
と周波数安定化光源２の出射光（λg ）を同時に測長用
干渉計部５に入射し、周波数安定化光源２の出射光（λ
g ）の干渉位相から干渉位相誤差θerror を検出し、補
正を加えている。周波数安定化光源２の出射光（λg）
で検出する誤差位相Δθegは、 Δθeg＝（２π／λg ）・ΔＬm であるから、干渉位相誤差θerror は、 θerror ＝（λg ／λt ）・Δθeg … となり、周波数安定化光源２の出射光（λg ）で検出す
る誤差位相Δθegで干渉位相誤差θerror の補正が可能
となる。
【００１２】なお、上記実施例において、ハ−フミラ−
３ａおよびダイクロイックミラ−７ａ，７ｂを偏光ビ−
ムスプリッタを用いた構成としても良く、この場合、偏
光干渉系を構成し、波長可変光源１の出射光（λt ）と
周波数安定化光源２の出射光（λg ）を偏光を利用して
分離することができる。また、ハ−フミラ−３ｂにより
分岐した他方の光が入射される基準干渉計部６の代わり
に、波長計を用いた構成としても良い。
３ａおよびダイクロイックミラ−７ａ，７ｂを偏光ビ−
ムスプリッタを用いた構成としても良く、この場合、偏
光干渉系を構成し、波長可変光源１の出射光（λt ）と
周波数安定化光源２の出射光（λg ）を偏光を利用して
分離することができる。また、ハ−フミラ−３ｂにより
分岐した他方の光が入射される基準干渉計部６の代わり
に、波長計を用いた構成としても良い。
【００１３】
【発明の効果】以上、実施例と共に具体的に説明したよ
うに、本発明によれば、波長掃引時の光路長変化による
誤差を実時間に補正することが可能であり、測定環境が
悪くても高精度のアブソリュ−ト測長が可能である。ま
た、波長可変光源と波長安定化光源を分離し、同時に干
渉計に入射する構成であるため、光源の複雑なシ−ケン
スは必要なく、波長可変光源の発振波長を自由に選択す
ることができる。更に、システム構成を目的によって、
自由に変更できるため、ユニット化が可能になった。例
えば、 ・インクリメンタル測長器：安定化光源部＋測長用干渉
計部 ・コンペンセ−タ付きインクリメンタル測長器：安定化
光源部＋測長用干渉計部＋基準干渉計部 ・アブソリュ−ト測長器：安定化光源部＋測長用干渉計
部＋基準干渉計部＋波長可変光源部 などの効果を有する外乱補正機能付きアブソリュ−ト測
長器を実現できる。
うに、本発明によれば、波長掃引時の光路長変化による
誤差を実時間に補正することが可能であり、測定環境が
悪くても高精度のアブソリュ−ト測長が可能である。ま
た、波長可変光源と波長安定化光源を分離し、同時に干
渉計に入射する構成であるため、光源の複雑なシ−ケン
スは必要なく、波長可変光源の発振波長を自由に選択す
ることができる。更に、システム構成を目的によって、
自由に変更できるため、ユニット化が可能になった。例
えば、 ・インクリメンタル測長器：安定化光源部＋測長用干渉
計部 ・コンペンセ−タ付きインクリメンタル測長器：安定化
光源部＋測長用干渉計部＋基準干渉計部 ・アブソリュ−ト測長器：安定化光源部＋測長用干渉計
部＋基準干渉計部＋波長可変光源部 などの効果を有する外乱補正機能付きアブソリュ−ト測
長器を実現できる。
Claims (1)
- 【請求項１】 光源の周波数を可変した時に測長用干渉
計部から得られる干渉位相の変化を検出して物体までの
絶対距離を測定するアブソリュ−ト測長器において、 ガスの吸収線やエタロンを周波数基準として使用して光
の周波数を高精度に安定化した周波数安定化光源と、 ３電極波長可変レ−ザダイオ−ドなどから成る波長（ま
たは周波数）可変光源と、 前記物体からの反射光と参照光との干渉位相を測定する
測長用干渉計部と、 光路差を固定した長さ基準から得られる干渉位相を測定
する基準干渉計部と、 前記測長用干渉計部および基準干渉計部から得られる干
渉位相測定信号を入力して前記絶対距離を求める干渉位
相測定部とを備え、 前記周波数安定化光源および波長（または周波数）可変
光源から出射される２つの光を同時に前記測長用干渉計
部および基準干渉計部に入射して、前記波長（または周
波数）可変光源の波長を掃引中に発生した前記測長用干
渉計部の光路長変化を前記測長用干渉計部に同時に入射
させた前記周波数安定化光源から出射した光の干渉位相
の変化として検出し、前記波長可変光源部の波長を連続
的に掃引した時に前記測長用干渉計部から得られる位相
変化と前記基準干渉計部から得られる位相変化および前
記基準干渉計部の光路差から求める前記絶対距離に補正
を加えるようにしたことを特徴とする外乱補正機能付き
アブソリュ−ト測長器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3123998A JPH06117810A (ja) | 1991-05-28 | 1991-05-28 | 外乱補正機能付きアブソリュ−ト測長器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3123998A JPH06117810A (ja) | 1991-05-28 | 1991-05-28 | 外乱補正機能付きアブソリュ−ト測長器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06117810A true JPH06117810A (ja) | 1994-04-28 |
Family
ID=14874510
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3123998A Pending JPH06117810A (ja) | 1991-05-28 | 1991-05-28 | 外乱補正機能付きアブソリュ−ト測長器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06117810A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007040994A (ja) * | 2005-08-01 | 2007-02-15 | Mitsutoyo Corp | 干渉計測システム |
| JP2011099756A (ja) * | 2009-11-05 | 2011-05-19 | Canon Inc | 計測装置 |
| JP2011179934A (ja) * | 2010-03-01 | 2011-09-15 | Canon Inc | 光波干渉計測装置 |
| JP2012251828A (ja) * | 2011-06-01 | 2012-12-20 | Canon Inc | 波長走査干渉計 |
-
1991
- 1991-05-28 JP JP3123998A patent/JPH06117810A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007040994A (ja) * | 2005-08-01 | 2007-02-15 | Mitsutoyo Corp | 干渉計測システム |
| JP2011099756A (ja) * | 2009-11-05 | 2011-05-19 | Canon Inc | 計測装置 |
| JP2011179934A (ja) * | 2010-03-01 | 2011-09-15 | Canon Inc | 光波干渉計測装置 |
| JP2012251828A (ja) * | 2011-06-01 | 2012-12-20 | Canon Inc | 波長走査干渉計 |
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