JP4918487B2 - 干渉計システムにおける周期誤差補正 - Google Patents
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Description
測定ビームを該当する基準ビームと干渉させ、そして複数の干渉計が連携して照射ビームに対するステージの位置の変化を正確に測定する。干渉計によってリソグラフィシステムは、ウェハのどの領域を照射ビームに曝すべきかについて正確に制御することができる。
な特性である、というのは、周期誤差項を周波数フィルタリングによって除去することができないことによって周期誤差項が最も大きな問題になるのが、まさに、周期誤差項の周波数が主信号の1次成分の周波数に近い値になる場合であるからである。更に、小さいドップラーシフトでは、複数の周期誤差周波数の内の一つ以上の周波数が、ステージの位置を干渉計測信号に基づいて決めるために使用されるサーボ系の帯域内に含まれ、この場合、サーボループによって実際に、ステージの位置決めを行なうときの周期誤差項が増大する。小さいドップラーシフトは実際にマイクロリソグラフィックステージシステムにおいては極めて普通である、例えばアライメントマークを検出し、干渉計測信号によってモニタリングする当該マークまで直交次元でスキャンし、そしてステージ方向を変える場合には極めて普通である。更に、小さいドップラーシフトでは、検出器のサンプリングレートとヘテロダイン周波数との間の関係が整数(例えば、6:1)になるように選択することによって、特に簡単な公式が直交信号に関して導出される。
概括すると、一の態様では、本発明は第1の方法を特徴とし、第1の方法では、(i)干渉信号S(t)を、異なる光路に沿って振り向けられる2つのビームに基づいて供給し、nを異なる光路に沿った平均屈折率とし、
本方法では更に、2つのビームを異なる光路に沿って振り向け、そして干渉信号S(t)を測定することができる。例えば、これらのビームの内の少なくとも一つを振り向けて、干渉信号S(t)の生成の前に可動測定オブジェクトによって反射させることができる。更に、可動測定オブジェクトに衝突するように振り向けられるビームを、干渉信号S(t)の生成の前に測定オブジェクトによって複数回反射することができる。また、これらのビームを振り向けて、干渉信号S(t)の生成の前に可動測定オブジェクトの異なる位置によって反射させることができる。
ずれは、p=1,2,3,...,とし、mをpとは等しくないいずれかの整数とし、かつ供給される係数がAm,pc及びζm,pの内の少なくとも幾つかに対応する情報を含む場合に、
角周波数差ωRは非ゼロとすることができる。
本方法では更に、AR及びζRを定数とする場合に、基準信号S(t)=ARcos(ωRt+ζR)を供給し、そして
直交基準信号
直交信号
直交基準信号
基準信号S(t)はωR/2πの整数倍のデータレートで供給することができる。
これらの誤差基底関数の各々は、理想表現式からのS(t)のずれの一部分を表わす誤差項の時間引数に対応する時間引数を有する一つ以上の先頭の正弦項を含む関数に対応する。例えば、これらの誤差基底関数は、或る引数を有する一つ以上の正弦関数及び余弦関数ペアに対応し、引数の時間変化成分は、pを正の整数とし、そしてmをpには等しくない整数とする場合に、ωRt+(m/p)φ(t)の形をとる。別の構成として、これらの誤差基底関数は、或る引数を有する一つ以上の正弦関数及び余弦関数ペアに対応し、引数の時間変化成分は、pを正の整数とし、そしてmをpには等しくない整数とする場合に、(m/p)φ(t)の形をとる。
これらの誤差基底関数の各々は、一つ以上の先頭の正弦項を含む関数に比例することができる。
これらの誤差基底関数は、複数の正弦関数及び余弦関数ペアに対応する。例えば、これらの誤差基底関数は、{(p=1,m=−1),(p=1,m=0),(p=1,m=2),(p=1,m=3),及び(p=2,m=−1)}とする場合の一連の正弦関数及び
余弦関数に基づく複数の正弦関数及び余弦関数ペアを含むことができる。
本方法では更に、これらの誤差基底関数を信号S(t),
本方法では更に、誤差信号SΨ(t)を生成する。例えば、誤差信号SΨ(t)は、誤差を表わす係数によって重み付けされる誤差基底関数を重ね合わせることにより生成することができる。
直交信号
誤差信号SΨ(t)を生成するために使用される誤差基底関数は、N及びMを正の整数とする場合の近似式S(t)≒S(t−2πN/ωR)及び
角周波数差はωR>100・dφ(t)/dtを満たすことができる。更に、角周波数差はωR>500・dφ(t)/dtを満たすこともできる。
(文字28)
が異なる光路の間の合計物理光路差であり、tが時間であり、A1及びζ1が定数であり、ωRが異なる光路に沿って振り向けられる前の2つのビームの間の角周波数差であり、そしてk=2π/λであり、λがこれらのビームの波長に等しい場合に、干渉信号S(t)を異なる光路に沿って振り向けられる2つのビームから生じさせて、信号S(t)がA1cos(ωRt+φ(t)+ζ1)の形の理想表現式からずれるように作用する一つ以上の誤差を表わす一つ以上の係数を推定する。第3の方法では、(i)信号S(t)の値の線形合成を行ない、そして(ii)係数の推定値を、信号S(t)の値を線形合成した値に少なくとも部分的に基づいて生成される信号をフィルタリングすることにより計算する。
信号S(t)の値の線形合成を行なう操作では、直交信号
係数の推定値を計算する操作では、信号S(t)及び
係数の推定値を計算する操作では、信号S(t),
また、これらの誤差基底関数は、複数の正弦関数及び余弦関数ペアに対応する。例えば、これらの誤差基底関数は、{(p=1,m=−1),(p=1,m=0),(p=1,m=2),(p=1,m=3),及び(p=2,m=1)}とする場合の一連の正弦関数及び余弦関数に基づく複数の正弦関数及び余弦関数ペアを含むことができる。
例えば、ローパスフィルタリングでは、バターワースフィルタを使用することができる。
別の態様では、本発明はコンピュータ読み取り可能な媒体を含む装置を特徴とし、この場合、動作状態において、プロセッサが媒体の処理を行なうことによって第1の方法または第2の方法のいずれかを実行する。
光路に沿って振り向け、そして干渉信号S(t)を2つのビームに基づいて供給し、nを異なる光路に沿った平均屈折率とし、
信号S(t)は異なる光路の間の光路差
干渉計システムの不完全性によって一つ以上の誤差が生じ、これらの誤差によって信号S(t)が、A1及びζ1を定数とし、ωRを異なる光路に沿って振り向けられる前の2つのビームの間の角周波数差とし、更にk=2π/λであり、かつλがこれらのビームの波長に等しいときに、
概括すると、別の態様では、本発明は,干渉計システム及び電子プロセッサを含む第2の装置を特徴とし、(i)干渉計システムは、動作状態において、2つのビームを異なる光路に沿って振り向け、そして干渉信号S(t)を2つのビームに基づいて供給し、nを異なる光路に沿った平均屈折率とし、
信号S(t)は異なる光路の間の光路差
干渉計システムの不完全性によって一つ以上の誤差が生じ、これらの誤差によって信号S(t)が、A1及びζ1を定数とし、ωRを異なる光路に沿って振り向けられる前の2つのビームの間の角周波数差とし、更にk=2π/λであり、かつλがこれらのビームの波長に等しいときに、
別の態様では、本発明は、集積回路をウェハに形成するために使用されるリソグラフィシステムを特徴とし、当該システムは、ウェハを支持するステージと、空間的にパターン化した照射光をウェハに投影する照射システムと、ステージの位置を、投影照射光に対して調整するポジショニングシステムと、そしてウェハの位置を、投影照射光に対してモニタリングする第1または第2の装置と、を備える。
ブリと、ステージ及びビーム指向アセンブリの位置を互いに対して決めるポジショニングシステムと、そしてステージの位置を、ビーム指向アセンブリに対してモニタリングする第1または第2の装置のいずれかと、を含む。
別の態様では、本発明は集積回路を形成する方法を特徴とし、当該方法では前述のリソグラフィシステムを使用する。
タイプ2周期誤差の振幅は、該当する電気基準信号の1次成分の振幅に生じるばらつきと同様の相対ばらつきとともに変わる平面ミラー測定オブジェクトの向きによって変わり、例えば、
タイプ3周期誤差の振幅は、平面ミラー測定オブジェクトの反射表面が、干渉計の反射表面または部分反射表面、例えば基準ミラーの共役像の約50μラジアン以内の角度に平行である場合を除き、公称ゼロである。
A. Hillによる「偏光保持型光学システムを利用する干渉計」と題する米国特許第6,201,609 B1号、及びPeter de Grootによる「ゴースト反射を抑える傾斜波長板を有する干渉計」と題する米国特許第6,163,379号に記載される技術を使用して求められ、これらの文献の内容は本明細書において参照することにより本出願に組み込まれる。
タイプ3の間欠的な周期誤差の例は、1次未満の次数の高調波周期誤差であり、この高調波周期誤差は、タイプ3周期誤差の条件が満たされる場合に非常に大きな振幅、例えば2nmの振幅を有する。タイプ3周期誤差は無くすことができる、または光学技術によって0.025nm(3σ)未満にまで小さくすることができ、この光学技術では、干渉計の構成要素を回転させる、または傾けて所定の非線形周期誤差を無くす、または小さくするが、この技術については、Henry A. Hillによる「斜入射干渉計」と題する米国特許出願2003/0038947に記載されており、この文献の内容は本明細書において参照することにより内容全体が本出願に組み込まれる。タイプ3周期誤差を光学技術によって無くすことにより、残留する0.025nm(3σ)以下の周期誤差を補正するために必要となるCECにおける作業が大幅に軽減される。勿論、本発明の更に別の実施形態では、1次未満の次数の高調波周期誤差(タイプ3の半周期分の周期誤差のような)も以下に更に説明するように補正することができる。
明するが、この動作モードでは、周期誤差補正信号SΨ(t)を、干渉計の該当する電気干渉信号S(t)から減算して補正電気干渉信号を生成する。次に、補正電気干渉信号の位相を位相計によって測定して特定の干渉計構造に関連する相対光路長情報を抽出する。周期誤差成分を小さくしているので、相対光路長情報は更に正確になる。その結果、補正電気干渉位相を使用してサーボ制御系によってステージの位置を、ゼロスルーレートを含む低いスルーレートでも測定し、そして制御することができ、この操作を行なわない場合には、周期誤差成分が大きな問題となる。DMSアプローチは出版されている米国特許公開番号10/616,504(公開番号US 2004/0085545 A1)にも記載されている。
functions)及び係数を求める。CECの第2処理ユニット60は、周期誤差補正信号SΨ(t)を、第1処理ユニット10が求める振幅及び位相ずれに関連する周期誤差基底関数及び係数を使用して生成する。第1の実施形態に関するCECの第1処理ユニット10を図1aに模式的に示し、そして第1の実施形態に関するCECの第2処理ユニット60を図1bに模式的に示す。
、次式の関係がHSPMI(この干渉計では、測定ビームが測定オブジェクトに達するために2回通過を行なう)のような平面ミラー干渉計に関して成り立ち、
ここで、φRには関係のない位相を持つ1セットの周期誤差項があることに注目されたい。このセットの周期誤差項は等式(2)からは省略されている、というのは、これらの項はコンバータ/フィルタ52のハイパスフィルタによって除去されるからである。
S(t)の直交信号
少しだけ変化する場合に成り立つ。信号S(t)及び直交信号
とりわけ、1/τ及びωR/2πの関係が整数であることにより、S(t)及び
表現式に関する理解を深めるために、周期誤差項ε0cos(φR+ζ0)を時間変化関数cos(φR+ζ0)及びsin(φR+ζ0)の項に関して次式のように書き直すと分かり易くなる。
等式(28)及び(29)の中で係数ARA1を有する右辺の項は、最大の誤差を発生する要素であり、従ってこれらの項によってnの規格、及びωD/ωcの最小比の規格が決まり、これらの規格は、プロセッサ24の出力がテーブル40に保存される場合に使用することができる。バターワースフィルタの次数が4次である、すなわちn=4であり、かつωD/ωcの最小比=7の場合、等式(28)及び(29)の右辺の誤差項によって、
別の構成として、検出器14、コンバータ/フィルタ54、及びプロセッサ16の代わりに、基準信号に同期するルックアップテーブルを用いることができる。この構成によって、干渉信号に乗る雑音によって生じる不確実さを低減することができる。AR 2の値を1に正規化する場合、幾つかの等式を簡単にすることができ、かつプロセッサ22を無くすことができる。
次に、係数AR 2A1A−1及び−AR 2A1B−1をプロセッサ32のデジタルローパスフィルタ、例えばローパスバターワースフィルタにより求め、この場合、次式のような関係がある。
信号S1,
次に、係数ARA1 2A2及び−ARA1 2B2(この場合、A2及びB2はSΨ2の周期誤差係数であり、かつ以下に更に説明する等式(67)及び(68)によってそれぞれ明示的に与えられる)をプロセッサ38のデジタルローパスフィルタ、例えばローパスバターワースフィルタにより求める。デジタルフィルタの入力信号はそれぞれ、Σ5(t)及び
信号Σ5(t)及び
信号Σ6(t)及び
補正信号SΨは信号Sからプロセッサ46において、信号76(プロセッサ70からの)による制御によって減算され、補正済み信号S−SΨが生成される。制御信号76によって、信号Sを補正すべき時点が決まる。次に、位相φ=4kLを補正済み信号から後続のプロセッサ(図示せず)によって抽出して、例えば距離Lを更に高精度に測定する。
ができる。
例えば、次式のような形の半周期分の周期誤差の係数を求めるために、
次に、半周期分の周期誤差基底関数Σ1/2(t)及び
5及び位相127を生成する。振幅出力125は状態判断目的に使用される。位相出力127は位置計算機130が使用し、この位置計算機については米国特許出願番号10/211,435(公開番号US 2003/0025914 A1)に完全な形で記載されており、この文献の内容は本明細書において参照することにより本出願に組み込まれる。位置計算機130は測定位置131及び推定速度133を計算する。測定位置131はデジタルフィルタ136によってフィルタリングされてフィルタリング済み位置信号137が生成されるが、デジタルフィルタについては米国特許第5,767,972号に完全な形で記載されており、この文献の内容は本明細書において参照することにより本出願に組み込まれる。フィルタリング済み位置信号137は距離Lの所望の測定値を表わす。
を計算する。CEC計算機140の任意の遅延素子142、及び他の遅延素子(図示せず)を使用して種々の計算に関する処理遅延を一致させることができる。加算器146は遅延複素測定信号143を複素誤差補正信号145と合成して補正済み複素測定信号147を生成し、この場合、所定の周期誤差信号は非常に小さくなる。
図1dによれば、CEC誤差推定器144は2つの処理ユニットを含む。第1処理ユニット148は、補正する必要のある所定の周期誤差の絶対値及び位相ずれに関連する誤差基底関数及び複素係数を求める。第2処理ユニット204は複素誤差補正信号DΨ(t)145を、第1処理ユニット148が求めた振幅及び位相ずれに関連する誤差基底関数及び複素係数を使用して生成する。
4つの周期誤差項の振幅εpが及び位相ずれζpに関連する複素係数、及び周期誤差項の時間変化係数はDFTプロセッサ122からの処理値D(t)123を使用して生成される。これらの係数はレジスタ162,176,186,及び192に保存され、後の時点で周期誤差補正信号DΨ(t)145の生成に使用される。周期誤差項の時間変化係数はデジタル変換を、複素信号に関する三角恒等式及び三角法原理に基づいて適用することにより得られる。
更新間隔Δt1≡1/fUがΔt1=m/fR(mは整数)によって与えられる場合、t1の値は1/fRの倍数である。この条件の下で、ステージ速度が小さい場合(すなわち、ωD≪ωR)には、ωRt1≒m2πが成り立ち、かつDFT計算が次式のように行なわれる。
2つの同じ実空間でのLPF関数を使用し、一つの関数は実部に使用され、そしてもう一つの関数は虚部に使用される。デジタル関数を使用することにより、2つのフィルタの振幅及び位相応答を確実に正確に一致させる。
等式(98)の中で係数A1を有する右辺の項は、最大誤差を発生する要素であり、従ってこの項によってnの規格、及びωD/ωcの最小比の規格が決まり、これらの規格は、LPF160の出力がレジスタ162に保存される場合に使用することができる。LPFの次数が4次である、すなわちn=4であり、かつωD/ωcの最小比=7の場合、等式(98)の右辺の誤差項によって、
C0R及びD(t)の値はプロセッサ164に送信されて、複素信号Σ1(t)が次式のように生成される。
LPF Tn(x)の次数がnである場合、複素出力C4は次式のように近似される。
等式(102)の中で係数A1 2を有する右辺の項は、最大誤差を発生する要素であり、従ってこの項によってnの規格、及びωD/ωcの最小比の規格が決まり、これらの規
格は、プロセッサ190の出力がレジスタ192に保存される場合に使用することができる。LPFの次数が4次である、すなわちn=4であり、かつωD/ωcの最小比=3.5の場合、等式(102)の右辺の誤差項によって、
LPF Tn(x)の次数がnである場合、複素出力C5は次式のように近似される。
等式(107)の中で係数A1 3を有する右辺の項は、最大誤差を発生する要素であり
、従ってこの項によってnの規格、及びωD/ωcの最小比の規格が決まり、これらの規格は、LPF184の出力がレジスタ186に保存される場合に使用することができる。LPFの次数が4次である、すなわちn=4であり、かつωD/ωcの最小比=7の場合、等式(107)の右辺の誤差項によって、
LPF Tn(x)の次数がnである場合、複素出力C6は次式のように近似される。
等式(107)の中で係数A1 4を有する右辺の項は、最大誤差を発生する要素であり、従ってこの項によってnの規格、及びωD/ωcの最小比の規格が決まり、これらの規格は、LPF174の出力がレジスタ176に保存される場合に使用することができる。LPFの次数が4次である、すなわちn=4であり、かつωD/ωcの最小比=3.5の場合、等式(109)の右辺の誤差項によって、
LPF Tn(x)の次数がnである場合、出力C1は次式のように近似される。
計算する。
制御信号211は、条件式が有効な補正信号が含まれていることを示している場合にDΨ(t)の出力をイネーブルにする。制御信号211は制御回路(図示せず)によって生成され、制御回路は運動速度、信号レベル、周期誤差レベル、運動期間を考慮に入れ、更にDΨ(t)の有効性または有用性を決定するために使用可能な他の条件を考慮に入れることができる。4つの周期誤差項の各々を個別に使用することができることも望ましく、例えばε3項が特定の実施形態には重要ではないことが判明した場合に、当該項の計算ができないようにして計算誤差により混入するノイズを小さくすることができる。DΨ(t)項を使用することができない、またはDΨ(t)の出力がディスエーブルになる場合、
ゼロが代入される。
DMSアプローチまたはCMSアプローチのいずれかを使用し、他の方法を取り入れて、周期誤差の発生源の幾つかを無くすことができる。例えば、支配誤差項は通常、シフトのない周期誤差成分SΨ0である、またはDΨ0に等しく、SΨ0またはDΨ0は、ステージ運動に関係なく一定位相及び周波数に維持される。この項は、両方の光周波数が、変位測定干渉計の基準アームまたは測定アームのいずれかに、或いは両方に含まれることにより生じる。この現象は、例えば光源の複数の光周波数が互いに垂直な直線偏光状態に完全に分離されるということがない場合に生じる。
NJ: Prentice Hall, 1999に掲載されたOppenhiem,
A. V., Schafer, R. W.,及びJ. R., Buckによる「離散時間信号処理」と題する論文,及びNew York, NY: MacMillan, 1992に掲載されたProakis, J. G.,及びD. G. Manolakisによる「デジタル信号処理:原理、アルゴリズム、及びアプリケーション」と題する論文を参照されたい。
Hill, Peter de Groot,及びFrank C. Demarestによる「空気の屈折率及び空気中での光路長が与える影響をマルチパス干渉計を使用して測定する装置及び方法」と題する米国特許第6,219,144 B1号、及びPeter de Groot,Henry A. Hill,及びFrank C. Demarestによる米国特許第6,327,039 B1号に記載されている。
try Roadmap, p.82 (1997)を参照されたい。
B.W. Smithによる、Microlithography:Science and Technology(Marcel Dekker, Inc., New York, 1998)を参照されたく、この参考文献の内容は、本明細書において参照されることにより本出願に組み込まれる。
支持する種々の部品は周囲の振動から、例えばバネ1120によって表わされる制振システムにより絶縁される。
極形成プロセスである。工程1164はイオンをウェハに注入するイオン注入プロセスである。工程1165は、レジスト(感光性材料)をウェハに塗布するレジストプロセスである。工程1166は、露光(すなわち、リソグラフィ)によってマスクの回路パターンをウェハに上述の露光装置を使用して転写する露光プロセスである。ここでも再度、上に説明したように、ここに説明した干渉計システム及び干渉法を使用することにより、このようなリソグラフィ工程における精度及び解像度が向上する。
場合においては、ビーム集光用光学系は四重極レンズのような電界発生器を含み、四重極レンズは荷電粒子を真空中で焦点に集め、そして基板に振り向ける。描画ビームが照射ビーム、例えばx線、UV照射線、可視光線である場合においては、ビーム集光用光学系は、照射光を集光し、そして基板に振り向ける該当する光学系を含む。
Claims (68)
- 光源(415)と干渉計(411)と検出器(420)と電子プロセッサとを有する干渉計システムにおいて、前記干渉計システムの不完全性による、干渉信号S(t)の理想表現式からの誤差(S Ψ (t)=S Ψ−1 (t)+S Ψ0 +S Ψ2 (t)+S Ψ3 (t))の影響を前記電子プロセッサが小さくする方法であって、
前記光源(415)が、前記干渉計(411)に2成分ビームとしての入力ビーム(422)を供給するビーム供給ステップと;
前記干渉計(411)が、前記入力ビーム(422)を互いに異なる光路に沿って振り向けることによって、基準ビーム(327,328)と測定ビーム(322,324)とを生成する基準測定ビーム生成ステップであって、前記測定ビーム(322,324)は、測定オブジェクト(490)で反射されることと;
前記干渉計(411)が、前記基準ビーム(327,328)と前記測定ビーム(322,324)とを重ね合わせることによって、前記基準ビーム(327,328)と前記測定ビーム(322,324)とからなる出力ビーム(423)を生成する出力ビーム生成ステップと;
前記検出器(420)が前記出力ビーム(423)を検出することによって、前記干渉信号S(t)を生成する干渉信号生成ステップであって、前記基準ビーム(322,324)の光路を基準光路とし、前記測定ビーム(322,324)の光路を測定光路とし、前記基準光路と前記測定光路との間の物理光路差としての合計物理光路差を
前記電子プロセッサが、前記誤差(S Ψ (t)=S Ψ−1 (t)+S Ψ0 +S Ψ2 (t)+S Ψ3 (t))を示す1以上の係数(ε −1 ,ε 0 ,ε 2 ,ε 3 ,ζ −1 ,ζ 0 ,ζ 2 ,ζ 3 )を算出する係数算出ステップと;
前記電子プロセッサが、前記干渉信号S(t)の線形合成を算出する線形合成算出ステップであって、前記線形合成は、時間t 1 で更新されるqによって決まる周波数値に関して、前記干渉信号S(t)の値に基づき得られる複素測定信号(CMS)としての変換信号D q (t 1 )からなることと;
前記電子プロセッサが、前記変換信号D q (t 1 )から、1以上の誤差基底関数(Σ 1 ,Σ −1 ,Σ 2 ,Σ 3 ,Σ 5 ,Σ 6 )を算出する誤差基底関数算出ステップと;
前記電子プロセッサが、前記係数(ε−1,ε0,ε2,ε3,ζ−1,ζ0,ζ2,ζ3)それぞれと、誤差基底関数(Σ 1 ,Σ −1 ,Σ 2 ,Σ 3 ,Σ 5 ,Σ 6 )それぞれとから誤差信号(DΨ(t)=DΨ−1(t1)+DΨ0+DΨ2(t1)+DΨ3(t1))を算出する誤差信号算出ステップと;
前記誤差信号(DΨ(t)=DΨ−1(t1)+DΨ0+DΨ2(t1)+DΨ3(t1))を使用することによって、前記合計物理光路差である
を有し、
前記理想表現式は、A 1 cos(ω R t+φ(t)+ζ 1 )の形であり、
dφ(t)/dtは、ドップラー周波数であり、
A 1 は、前記干渉信号S(t)の前記理想表現式で表される成分の振幅であり、
ζ 1 は、前記干渉信号S(t)の前記理想表現式で表される成分の位相ズレであり、
ω R は、前記合計物理光路差に沿って振り向けられる前の前記入力ビーム(422)のうちの2成分間の角周波数差であり、
k=2π/λであり、
λは、前記ビーム(422)の波長であることを特徴とする、方法。 - 前記変換信号Dq(t1)は、前記干渉信号S(t)を離散フーリェ変換した結果のサンプルからなる、
請求項1記載の方法。 - f M を、結果として得られる周波数と定義すると、
前記方法はさらに、
前記qをNfM/fS に等しい整数として選択するステップであって、Nは、0<q<N−1であることと;
前記fMをfM≒(ωR+dφ(t)/dt)/2πとして推定することができるという条件の下で、前記変換信号Dq(t1)を前記電子プロセッサに保存するステップと
を有する、
請求項6記載の方法。 - 前記変換信号Dq(t1)は、前記干渉信号S(t)がサンプリングされるレートであるfSよりも低いレートで更新される、
請求項5記載の方法。 - l(小文字のL)とmをそれぞれ正の整数と定義し、
f R =ω R /2πを、基準周波数と定義し、
f M を、結果として得られる周波数と定義し、
qをNfM/fS に等しい整数と定義すると、
Nは、0<q<N−1であり、
前記変換信号Dq(t1)をレートfR/mで時間シフト信号S(t+l(小文字のL)m/fR)に基づき更新することによって、更新変換信号を生成する、
請求項8記載の方法。 - 前記方法はさらに、fMをfM≒(ωR+dφ(t)/dt)/2πとして推定することができるという条件の下で、前記変換信号Dq(t1)を保存するステップを有する、
請求項9記載の方法。 - 前記離散フーリェ変換は、窓関数を使用して行なわれる、
請求項5記載の方法。 - 前記離散フーリェ変換では、折り返し演算(folded)を行なうことによって乗算回数を減らす、
請求項5記載の方法。 - 前記誤差信号は、時間領域信号D Ψ (t)である、
請求項2記載の方法。 - 前記ズレ影響低減ステップではさらに、前記誤差信号(DΨ(t1))を前記変換信号Dq(t1)から減算する、
請求項1記載の方法。 - 前記誤差信号は、時間t1で更新される信号DΨ(t1)である、
請求項1記載の方法。 - 前記ズレ影響低減ステップはさらに、前記誤差信号(DΨ(t1))を、前記干渉信号S(t)の値を離散フーリェ変換した結果から減算するステップを有する、
請求項15記載の方法。 - 前記方法はさらに、前記干渉信号S(t)を測定するステップを有する、
請求項1記載の方法。 - 前記入力ビーム(422)の一部としての第1入力ビームは、前記干渉信号S(t)の生成の前に可動測定オブジェクトとしての前記測定オブジェクト(490)に振り向けられ、そして前記可動測定オブジェクトによって反射される、
請求項17記載の方法。 - 前記第1入力ビームは、前記干渉信号S(t)の生成の前に前記可動測定オブジェクト
によって複数回反射される、
請求項18記載の方法。 - 前記可動測定オブジェクトによって反射された前記第1入力ビームは、前記干渉信号S(t)の生成の前に、前記第1入力ビームが前記可動測定オブジェクトによって反射された位置とは異なる位置で反射されるように前記干渉計(411)によって振り向けられる、
請求項18記載の方法。 - 前記誤差は、前記測定オブジェクト(490)の表面の欠陥に起因する擬似ビームの光路としての擬似ビーム光路(spurious beam paths)に対応する、
請求項1記載の方法。 - ωRは非ゼロである、請求項2記載の方法。
- 前記方法はさらに、前記基準信号SR(t)を、前記光源(415)の出力に基づき測定するステップを有する、
請求項24記載の方法。 - 前記直交信号算出ステップはさらに、ωMをωM≒ωR+dφ(t)/dtに従って近似するステップを有し、
ωMに関する表現式のφ(t)は、前記ズレを無視することができると仮定すると、前記干渉信号S(t)に基づき求められる、
請求項27記載の方法。 - 前記直交信号算出ステップはさらに、ωMをωM≒ωRに従って近似するステップを有する、
請求項27記載の方法。 - 前記干渉信号S(t)はωR/2πの整数倍のデータレートで供給される、
請求項1記載の方法。 - 前記誤差基底関数(Σ1,Σ−1,Σ2,Σ3,Σ5,Σ6)はそれぞれ、時間引数を有する1以上の正弦曲線の主要項を含む関数としての第1関数に対応し、
前記時間引数は、前記誤差信号(DΨ(t))の一部分である誤差項(DΨ−1(t1),DΨ0,DΨ2(t1),DΨ3(t1))の時間引数(t1)に対応する、
請求項1記載の方法。 - これら前記誤差基底関数(Σ1,Σ−1,Σ2,Σ3,Σ5,Σ6)は、引数を有する1以上の正弦関数および余弦関数ペアに対応し、
前記引数の時間変化成分は、ωRt+(m/p)φ(t)の形で表され、
pは正の整数であり、且つmはpには等しくない整数である、
請求項34記載の方法。 - 前記誤差基底関数(Σ−1,Σ2,Σ3)のうちの1つに対応する関数の主要項が有するmとpはそれぞれ、前記誤差項(DΨ−1(t1),DΨ0,DΨ2(t1),DΨ3(t1))のうちの1つの時間引数のmとpと同じ値を有する、
請求項35記載の方法。 - 前記誤差基底関数(Σ1,Σ−1,Σ2,Σ3,Σ5,Σ6)はそれぞれ、前記第1関数に比例する、
請求項36記載の方法。 - 前記誤差基底関数(Σ1,Σ−1,Σ2,Σ3,Σ5,Σ6)は、引数を有する1以上の正弦関数および余弦関数ペアに対応し、
前記引数の時間変化成分は、(m/p)φ(t)の形で表され、
pは正の整数であり、且つmはpには等しくない整数である、
請求項34記載の方法。 - 前記誤差基底関数(Σ1,Σ−1,Σ2,Σ3,Σ5,Σ6)のうちの1つに対応する関数の先頭項は、mとpに関して、前記誤差項(DΨ−1(t1),DΨ0,DΨ2(t1),DΨ3(t1))のうちの1つの時間引数(t1)と同じ値を有する、
請求項38記載の方法。 - 前記誤差基底関数(Σ1,Σ−1,Σ2,Σ3,Σ5,Σ6)はそれぞれ、前記第1関数を合成した値に比例する、
請求項39記載の方法。 - 前記正弦関数および余弦関数ペアはそれぞれ、複素信号の虚部及び実部にそれぞれ対応する、
請求項38記載の方法。 - 前記誤差基底関数(Σ1,Σ−1,Σ2,Σ3,Σ5,Σ6)は、複数の前記正弦関数および余弦関数ペアに対応する、
請求項35記載の方法。 - 前記誤差基底関数(Σ1,Σ−1,Σ2,Σ3,Σ5,Σ6)は、{(p=1,m=−1),(p=1,m=0),(p=1,m=2),(p=1,m=3),及び(p=2,m=−1)}とする場合の一連の前記正弦関数および余弦関数に基づく複数の前記正弦関数および余弦関数ペアを有する、
請求項42記載の方法。 - 前記誤差信号(D Ψ (t))を、第1誤差信号とすると、
前記方法はさらに、第2誤差信号SΨ(t)を生成するステップを有する、
請求項13記載の方法。 - 前記第2誤差信号SΨ(t)は、前記誤差基底関数(Σ1,Σ−1,Σ2,Σ3,Σ5,Σ6)を重ね合わせることにより生成され、
前記誤差基底関数(Σ 1 ,Σ −1 ,Σ 2 ,Σ 3 ,Σ 5 ,Σ 6 )は、前記係数によって重み付けされる、
請求項47記載の方法。 - ωR>100・dφ(t)/dtが成り立つ、
請求項1記載の方法。 - ωR>500・dφ(t)/dtが成り立つ、
請求項1記載の方法。 - コンピュータ読み取り可能な媒体を備える装置であって、動作状態において、プロセッサが媒体の処理を行なうことによって請求項1記載の方法を実行する、装置。
- 干渉計システムであって、
2成分ビームとしての入力ビーム(422)を供給する光源(415)と;
前記入力ビーム(422)を互いに異なる光路に沿って振り向けることによって、基準ビーム(327,328)と測定ビーム(322,324)とを生成し、且つ前記基準ビーム(327,328)と前記測定ビーム(322,324)とを重ね合わせることによって、前記基準ビーム(327,328)と前記測定ビーム(322,324)とからなる出力ビーム(423)を生成する干渉計(411)であって、前記測定ビーム(322,324)は、測定オブジェクト(490)で反射されることと;
前記出力ビーム(423)を検出することによって、干渉信号S(t)を生成する検出器(420)と;
前記干渉計システムの不完全性による、前記干渉信号S(t)の理想表現式からの誤差(S Ψ (t)=S Ψ−1 (t)+S Ψ0 +S Ψ2 (t)+S Ψ3 (t))の影響を小さくする電子プロセッサと
を備え、
前記基準ビーム(322,324)の光路を基準光路とし、前記測定ビーム(322,324)の光路を測定光路とし、前記基準光路と前記測定光路との間の物理光路差としての合計物理光路差を
線形合成を、時間t 1 で更新されるqによって決まる周波数値に関して、前記干渉信号S(t)の値に基づき得られる複素測定信号(CMS)としての変換信号D q (t 1 )と定義すると、
前記電子プロセッサは、
前記誤差を示す1以上の係数(ε −1 ,ε 0 ,ε 2 ,ε 3 ,ζ −1 ,ζ 0 ,ζ 2 ,ζ 3 )を算出し、
前記線形合成を算出し、
前記線形合成から1以上の誤差基底関数(Σ 1 ,Σ −1 ,Σ 2 ,Σ 3 ,Σ 5 ,Σ 6 )を算出し、
前記係数(ε−1,ε0,ε2,ε3,ζ−1,ζ0,ζ2,ζ3)それぞれと、誤差基底関数(Σ 1 ,Σ −1 ,Σ 2 ,Σ 3 ,Σ 5 ,Σ 6 )それぞれとから誤差信号(DΨ(t)=DΨ−1(t1)+DΨ0+DΨ2(t1)+DΨ3(t1))を算出し、
前記誤差信号(DΨ(t)=DΨ−1(t1)+DΨ0+DΨ2(t1)+DΨ3(t1))を使用することによって、前記合計物理光路差である
前記理想表現式は、A 1 cos(ω R t+φ(t)+ζ 1 )の形であり、
dφ(t)/dtは、ドップラー周波数であり、
A 1 は、前記干渉信号S(t)の前記理想表現式で表される成分の振幅であり、
ζ 1 は、前記干渉信号S(t)の前記理想表現式で表される成分の位相ズレであり、
ω R は、前記合計物理光路差に沿って振り向けられる前の前記入力ビーム(422)のうちの2成分間の角周波数差であり、
k=2π/λであり、
λは、前記ビーム(422)の波長であることを特徴とする、干渉計システム。 - 集積回路をウェハに形成するために使用されるリソグラフィシステムであって、
ウェハを支持するステージ(1112)と;
空間的にパターン化した照射光を前記ウェハに投影する照射システムと;
前記ステージ(1112)の位置を、投影した前記照射光に対して調整するポジショニングシステム(1119)と;
前記ウェハの位置を、投影した前記照射光に対してモニタリングする、請求項55記載の干渉計システムと
を備える、リソグラフィシステム。 - 集積回路をウェハに形成するために使用されるリソグラフィシステムであって、
ウェハを支持するステージと;
照射光源と、マスクと、ポジショニングシステムと、レンズアセンブリと、そして請求項55記載の干渉計システムとを有する照射システムと
を備え、
動作状態において、前記光源は、マスクを通して照射光を振り向けることによって空間的にパターン化した照射光としてのパターン化照射光を生成し、
前記ポジショニングシステムは、前記マスクの位置を前記パターン化照射光に対して調整し、
前記レンズアセンブリは、前記パターン化照射光を前記ウェハに投影し、
前記干渉計システムは、前記光源からの前記パターン化照射光に対する前記マスクの位置をモニタリングする、リソグラフィシステム。 - リソグラフィマスクを製造するために使用されるビーム描画システム(1200)であって、
描画ビーム(1212)を照射して基板(1216)をパターニングする光源(1210)と;
前記基板(1216)を支持するステージ(1218)と;
前記描画ビーム(1212)を前記基板(1216)に振り向けるビーム指向アセンブリ(1214)と;
前記ステージ(1218)の位置と、前記ビーム指向アセンブリ(1214)の位置とを互いに対して決めるポジショニングシステム(1220)と;
前記ステージ(1218)の位置を、前記ビーム指向アセンブリ(1214)に対してモニタリングする、請求項55記載の干渉計システムと
を備える、ビーム描画システム。 - 集積回路をウェハに形成するために使用されるリソグラフィ法であって、
ウェハ(1216)を可動ステージ(1218)上に支持するステップと;
空間的にパターン化した照射光を前記ウェハ(1216)に投影するステップと;
前記可動ステージ(1218)の位置を調整するステップと;
前記可動ステージ(1218)の位置を、請求項1記載の方法を使用することによってモニタリングするステップと
を有する、リソグラフィ法。 - 集積回路を形成するために使用されるリソグラフィ法であって、
マスクを通して入力照射光を振り向けることによって、空間的にパターン化した照射光を生成するステップと;
前記マスクを前記入力照射光に対して位置決めするステップと;
前記入力照射光に対する前記マスクの位置を、請求項1記載の方法を使用してモニタリングするステップと;
空間的にパターン化した前記照射光をウェハに投影するステップと
を有する、リソグラフィ法。 - 集積回路をウェハに形成するリソグラフィ法であって、
リソグラフィシステムの第1構成要素を、リソグラフィシステムの第2構成要素に対して位置決めすることによって、ウェハを空間的にパターン化した照射光で露光するステップと;
前記第2構成要素に対する前記第1構成要素の位置を、請求項1記載の方法を使用してモニタリングするステップと
を有する、リソグラフィ法。 - 集積回路を形成する形成方法であって、前記形成方法は、請求項60記載のリソグラフィ法を有する、形成方法。
- 集積回路を形成する形成方法であって、前記形成方法は、請求項61記載のリソグラフィ法を有する、形成方法。
- 集積回路を形成する形成方法であって、請求項62記載のリソグラフィ法を有する、形成方法。
- 集積回路を形成する形成方法であって、請求項56記載のリソグラフィシステムを使用するステップを有する、形成方法。
- 集積回路を形成する形成方法であって、請求項57記載のリソグラフィシステムを使用するステップを有する、形成方法。
- リソグラフィマスクを製造する製造方法であって、
描画ビームを基板に振り向けることによって、前記基板をパターニングするステップと;
前記基板を描画ビームに対して位置決めするステップと;
描画ビームに対する基板の位置を、請求項1記載の方法を使用することによってモニタリングするステップと
を有する、製造方法。
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