DD221008A1 - Vakuumfuehrung fuer interferometrische messsysteme - Google Patents

Vakuumfuehrung fuer interferometrische messsysteme Download PDF

Info

Publication number
DD221008A1
DD221008A1 DD25730683A DD25730683A DD221008A1 DD 221008 A1 DD221008 A1 DD 221008A1 DD 25730683 A DD25730683 A DD 25730683A DD 25730683 A DD25730683 A DD 25730683A DD 221008 A1 DD221008 A1 DD 221008A1
Authority
DD
German Democratic Republic
Prior art keywords
measuring
displaceable
cuvette
reflector
drive
Prior art date
Application number
DD25730683A
Other languages
English (en)
Inventor
Manfred Steinbach
Original Assignee
Zeiss Jena Veb Carl
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Zeiss Jena Veb Carl filed Critical Zeiss Jena Veb Carl
Priority to DD25730683A priority Critical patent/DD221008A1/de
Publication of DD221008A1 publication Critical patent/DD221008A1/de

Links

Landscapes

  • Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Vakuumfuehrung fuer interferometrische Messsysteme, insbesondere zum Messen von Laengen und Verschiebungen an Werkzeugmaschinen und Messgeraete mit dem Ziel, die Mess- und Positioniergenauigkeit zu erhoehen. Aufgabe ist es, einen auf die Bewegung eines, mit einem Messreflektor gekoppelten Objektes rueckwirkungsfreien Antrieb fuer den die Vakuumfuehrung in ihrer Laenge veraendernden Teil zu schaffen. Es ist je eine Antriebsanordnung fuer das den Messreflektor tragende Objekt und das verschiebbare Kuevettenteil vorgesehen, wobei jede Antriebsanordnung mit einem gesonderten Steuergeraet verbunden ist. Zwischen dem Messreflektor und dem verschiebbaren Kuevettenteil ist ein den Abstand oder Abstandsaenderungen zwischen Messreflektor und Kuevettenteil bestimmender Messwertgeber vorgesehen, welcher elektrisch mit dem Steuergeraet fuer die mit dem verschiebbaren Kuevettenteil verbundene Antriebsanordnung verbunden ist. Figur

Description

' : -1
^ Valnitunführung für interferometrische Meßsysteme
Die Erfindung betrifft eine Vakuumführung für interferometrische Meßsysteme, insbesondere Längenmeßsystemeszum Messen von Längen und Verschiebungen an Werkzeugmaschinen und
Meßgeräten. . . ·
Charakteristik der bekannten technischen Lösungen Für Längenmessungen höchster Genauigkeit auch über Weglängen von einigen Metern werden interferometrisehe Meßsysteme angewendet. Hauptfehlerquelle bei diesen Meßsystemen bildet der von den Umweltbedingungen (Temperatur, Luftdruck, COp-Gehalt, feuchtigkeit) abhängige Brechungsindex der Luft, in welcher die Interferometerstrahlengänge verlaufen und durch den die optische Weglänge der Strahlengänge bestimmt wird. Unkontrollierte Änderungen der optischen Weglänge führen direkt zu Meßfehlern. Um solche Meßfehler weitestgehend auszuschließen bzw. zu verringern, wird gemäß DE-AS 2421371 und DS-OS 246,04-06 mindestens der Meßstrahlengang eines interferometrischen Meßsystems mit seinem Meßreflektor in einem, von der Umwelt abgeschlossenen, langgestreckten Hohlkörper geführt, der durch dachförmig angeordnete Dichtlippen, um die herum Flüssigkeit vorgesehen ist, abgeschlossen ist. Durch den von den Dichtlippen abgedichteten Schlitz hindurch ragt ein Mitnehmer, der den Meßreflektor mit dem au messenden Objekt verbindet.
4422
Nachteilig ist der relativ hohe technische Aufwand dieser Anordnungen, der getrieben werden muß, um eine sichere Abdient ung des Meßstrahlenganges gegenüber den Umwelteinflüssen zu erzielen. Insbesondere bei Verwendung magnetischer Abdichtflüssigkeiten besteht die Gefahr, daß sich . -Sisenteilchen zwischen den Dichtlippen einlagern, die eine sichere Abdichtung verhindern. Desweiteren treten erhebliche Reibungskräfte zwischen Dichtlippen und dem Mtnehmer auf j die insbesondere bei dynamischen Messungen zu unerwünschten Schwingungen des Reflektor führen Tonnen,
In der -GB-PS 1 085 523 ist eine Teilmaschine beschrieben, bei welcher ein interferometrisches Meßsystem vorgesehen ist. In den Interferometerstrahlengängen sind entsprechend der zu messenden Verschiebung in ihrer Länge veränderbare, teleskopaxtige, evakuierbare Küvetten vorgesehen, an deren Enden als Abschluß je eine Glasplatte angeordnet ist. Diese Küvetten sind zwischen Strahlenteilerelement und Meßreflektor irn Strahlengang angeordnet und dienen der Abschirmung der ' betreffenden Strahlengänge gegenüber Umwelteinflüssen. ;
Bei dieser Anordnung ist es von Nachteil, daß nur ein bestimmter Anteil der Strahlengänge innerhalb der Küvetten verläuft, so daß sich auf den übrigen Anteil des Strahlenganges die Umwelteinflüsse auswirken und zu Meß- oder Posi-· tionierfehlerh führen können. Auch ist nur ein gemeinsamer Antrieb für das zu messende Objekt und den verschiebbaren Teil der Küvette vorhanden. Große Reibkräfte in der evakuierten Küvette und die Tatsache, daß bei der Längenänderung der Küvette.je nach Bewegungsrichtung mit dem oder gegen den äußeren Luftdruck gearbeitet wird, bedingen unterschiedliche Antriebskräfte, die sich auch ungünstig auf eine exakte Bewegung und Positionierung des betreffenden Maschinenteiles auswirken. -
4422
_ 5 - ·
Ziel der Erfindung
Es ist der Zweck der Erfindung, die Nachteile des Standes der Technik zu beseitigen und bei interferometrischen Meß-.s ystem en durch Beseitigung Meß- und Positionierfehler verursachender Bedingungen die Meß- und Positioniergenauigkeit zu erhöhen.
Y/esen der Erfindung
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, für eine Vakuumführung für interferometrische Meßsysteme einen auf die Bewegung eines, mit einem Meßreflektor des Meßsystems gekoppelten, zu messenden Objektes rückwirkungsfreien Antrieb für den die Vakuumführung in ihrer Länge verändernden Teil zu schaffen.
Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe bei einer Vakuumführung für interferometrische Meßsysteme, umfassend eine, in ihrer Länge veränderbare, evakuierte Küvette, welche im Meßstrahlengang eines Meßsystems zwischen Strahlenteiler und Meßspiegel angeordnet ist und aus mindestens zwei relativ zueinander verschiebbaren, gasdicht miteinander gekoppelten Küvettenteilen besteht, wobei ein Küvettenteil fest und das andere Küvettenteil verschiebbar in Richtung des Meßstrahlenganges des Meßsystems angeordnet ist, und daß ein mit dem zumessenden Objekt verbundener Meßreflektor im Meßstrahlengang vorgesehen ist, dadurch gelöst, daß je eine Antriebsanordnung für das den Meßreflektor tragende Objekt und das verschiebbare Küvettenteil vorgesehen ist, wobei jede Antriebsanordnung mit einem gesonderten Steuergerät verbunden ist, und daß ein, den Abstand oder Abstandsanderungen zwischen dem Meßreflektor und dem verschiebbaren Küvettenteil bestimmender, berührungslos arbeitender, an sich bekannter Meßwertgeber vorgesehen ist, der elektrisch mit dem Steuergerät für die mit dem verschiebbaren Küvettenteil verbundene Antriebsanordnung verbunden ist.
/ . '." ' ' . ' '
4422
Durch die vorgesehenen getrennten Antriebe für das zu messende Objekt mit dem Meßspiegel und für den verschiebbaren Teil der Küvette wird die Meß- bzw. Positioniergenauigkeit erhöht. Reibkräfte zwischen den Teilen der längenveränderbaren Küvette und der Einfluß des Luftdruckes bei der Verlängerung bzw. Verkürzung der Küvette bleiben ohne Einfluß auf die Bewegung des Objektes. Die durch die Umweltfaktoren beeinflußten Liehtwege im Meßstrahlengang des Meßsystems können mit geringem technischen ,Aufwand in jeder Stellung des Objektes konstant sehr'gering gehalten werden.
Ausführungsbeispiel -
Die Erfindung soll nachstehend an einem Ausführungsbeispiel näher erläutert werden. In der Zeichnung ist sehematisch ein Meßsystem dargestellt. '
Das interferometrische Meßsystem umfaßt eine Lichtquelle 1, einen Strahlenteiler 2, einen Referenzspiegel 3 in einem Referenzstrahlengang und im Meßstrahlengang einen mit dem zu messenden Objekt 4 verschiebbaren Meßreflektor 5. Im Meßstrahlengang ist zwischen dem Strahlenteiler 2 und dem Meßreflektor 5 eine in ihrer Länge veränderbare, evakuierbare Küvette 6 vorgesehen, die aus einem festen Teil 7 und einem relativ dazu verschiebbaren Teil 8 besteht, die durch je ein Fenster 9; 10 nach außen verschlossen sind. Der feste Teil 7 der Küvette 6 ist bei den Messungen z. B. auf dem Grundbett 11 einer Maschine oder eines Meßgerätes und der bewegliche Teil 8 der Küvette 6 ist auf einem, auf dem Grundbett 11 verschiebbaren, durch eine Antriebsanordnung 12 angetriebenen Schlitten 13 angeordnet, wobei die Antriebsanordnung 12 mit einem Steuergerät 14 verbunden ist. Das zu messende Objekt 4 ist ebenfalls auf dem Grundbett 11 verschiebbar gelagert und wird von einer, von der Antriebsanordnung 12 unabhängigen weiteren Antriebsanordnung 15angetrieben, weiche mit einem weiteren unabhängigen Steuergerät 16 verbunden ist. '
Es ist ferner ein vorzugsweise berührungslos arbeitender, an sich bekannter Meßwertgeber 17 vorgesehen, der ständig wäh-
A AOO
' ' — 5 — ' · '
rend der Messungen den Abstand zwischen dem Meßreflektor und dem Teil 8 der Küvette 6 mißt und seineMeßimpulse an das Steuergerät 14 zwecks Nachführung des verschiebbaren Teiles 8 der Küvette 6 liefert. Auf diese Weise wird erreicht, daß der durch die Umweltfaktoren beeinflußte Lichtweg im Meßstrahlengang konstant und klein, gehalten wird.
4422

Claims (1)

  1. Erf indungs.ans pruch
    1„ Vakuumführung für interferometrische Meßsysteme, umfassend eine, in ihrer Länge veränderbare, evakuierte Küvette, welche im Meßstrahlengang eines Meßsystems zwischen Strahlenteiler und Meßspiegel angeordnet ist und aus mindestens zwei relativ zueinander verschiebbaren, gasdicht miteinander gekoppelten Kuvettenteilen besteht, wobei ein Küvettenteil fest und das andere Küvettenteil verschiebbar in Richtung des Meßstrahlenganges des Meßsystems angeordnet ist, und daß ein mit dem zumessenden Objekt verbundener. Meßreflektor im Meßstrahlengang vorgesehen ist, dadurch gekennzeichnet,
    daß je eine Antriebsanordnung für das den Meßreflektor tragende Objekt und das verschiebbare Küvettenteil vorgesehen ist, wobei jede Antriebsanordnung mit einem gesonderten Steuergerät verbunden ist,
    und daß ein, den Abstand oder Abstandsänderungen zwischen dem Meß^eflektor und dem verschiebbaren Küvettenteil bestimmender, berührungslos arbeitender, an sich bekannter Meßwertgeber vorgesehen ist, der elektrisch mit dem Steuergerät für die mit dem verschiebbaren Küvettenteil verbundene Antriebsanordnung verbunden ist. \
    2I
    4422
DD25730683A 1983-11-30 1983-11-30 Vakuumfuehrung fuer interferometrische messsysteme DD221008A1 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DD25730683A DD221008A1 (de) 1983-11-30 1983-11-30 Vakuumfuehrung fuer interferometrische messsysteme

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DD25730683A DD221008A1 (de) 1983-11-30 1983-11-30 Vakuumfuehrung fuer interferometrische messsysteme

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DD221008A1 true DD221008A1 (de) 1985-04-10

Family

ID=5552414

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DD25730683A DD221008A1 (de) 1983-11-30 1983-11-30 Vakuumfuehrung fuer interferometrische messsysteme

Country Status (1)

Country Link
DD (1) DD221008A1 (de)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5940180A (en) * 1994-10-11 1999-08-17 Giddings & Lewis Laser interferometer measurement system for use with machine tools
DE4100773C2 (de) * 1991-01-12 1999-09-30 Zeiss Carl Jena Gmbh Interferometrische Längenmeßeinrichtung

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4100773C2 (de) * 1991-01-12 1999-09-30 Zeiss Carl Jena Gmbh Interferometrische Längenmeßeinrichtung
US5940180A (en) * 1994-10-11 1999-08-17 Giddings & Lewis Laser interferometer measurement system for use with machine tools

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0123895B1 (de) Messeinrichtung
EP2037230B1 (de) Längenmesseinrichtung
EP0035651B1 (de) Wegmesseinrichtung
DE2718506C2 (de) Mehrkoordinaten-Meßmaschine
DE3733549A1 (de) Faseroptischer sensor
CH625337A5 (de)
DE3724137C2 (de) Elektronisches Meßgerät mit Digitalanzeige
DD221008A1 (de) Vakuumfuehrung fuer interferometrische messsysteme
DE3503007A1 (de) Verfahren zum messen von geometrischen groessen und einrichtung zur durchfuehrung des verfahrens
EP0126172A1 (de) Dämpfungsvorrichtung für Kraftaufnehmer
EP0171562B1 (de) Positionsmesseinrichtung
DE102007033574A1 (de) Längenmesseinrichtung
DE4100773C2 (de) Interferometrische Längenmeßeinrichtung
DE2425066A1 (de) Optische messanordnung
DE2800340A1 (de) Geradlinige einstellvorrichtung, insbesondere fuer optische messungen
DE2543719C2 (de) Selbsttätige Laufgewichtswaage
DE19534059C1 (de) Winkelmeßvorrichtung in Verbindung mit einem Zollstock bzw. Gliedermeßstab
EP0174451B1 (de) Positionsmesseinrichtung
DE1235006B (de) Messmikroskop, insbesondere fuer Kernspuren
DE3039730A1 (de) Linear-messlehre
DD233171A1 (de) Anordnung zum messen des abstandes zwischen relativ zueinander beweglichen gegenstaenden
DE19939659A1 (de) Längenmeßvorrichtung
CH679947A5 (de)
DD156636B5 (de) Interferometrisches messsystem
DD210746A1 (de) Anordnung zur kompensation von umwelteinfluessen bei laengenmessgeraeten

Legal Events

Date Code Title Description
ENJ Ceased due to non-payment of renewal fee