JPH08293526A - 電極端子の接合方法およびその接合構造 - Google Patents

電極端子の接合方法およびその接合構造

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JPH08293526A
JPH08293526A JP7098810A JP9881095A JPH08293526A JP H08293526 A JPH08293526 A JP H08293526A JP 7098810 A JP7098810 A JP 7098810A JP 9881095 A JP9881095 A JP 9881095A JP H08293526 A JPH08293526 A JP H08293526A
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JP
Japan
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substrate
electrode terminal
coating liquid
fine particles
electrode terminals
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Application number
JP7098810A
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English (en)
Inventor
Toshiaki Shoji
俊明 庄司
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
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Publication of JPH08293526A publication Critical patent/JPH08293526A/ja
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/161Cap
    • H01L2924/1615Shape
    • H01L2924/16152Cap comprising a cavity for hosting the device, e.g. U-shaped cap

Abstract

(57)【要約】 【目的】 この発明は、製造工程の簡略化が図られ、接
続に伴う品質を向上できる電極端子の接合方法およびそ
の接合構造を得ることを目的とする。 【構成】 まず、熱硬化性樹脂20に導電性微粒子21
を配合してなる3000〜10000ポイズの塗布液を
基板5上に印刷して、基板5の電極端子部6に印刷被膜
を形成する(図1の8a))。ついで、電極端子部2
a,6が印刷被膜を介して相対するようにIC1と基板
5とを位置合わせする(図1の(b))。その後、IC
1と基板5とを該印刷被膜を圧縮させる方向に加圧させ
るとともに加熱させて、相対する電極端子部2a,6間
で導電性微粒子21を圧縮変形させて電気的導通を保ち
つつ熱硬化性樹脂20を硬化させてIC1と基板5とを
接着固定する(図1の(c))。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、例えば回路基板上に
ICを実装するCOB(Chip On Board)実装方法に適
用される一対の基板の相対する電極端子同士を電気的に
導通させた状態で接合する電極端子の接合方法およびそ
の接合構造に関するものである。
【0002】
【従来の技術】図6は例えば特開平2−23387号公
報に記載された従来のCOB実装構造を示す断面図であ
り、図において1はIC、2はIC1に配線された電
極、2aは外部と電気信号の入出力を行うIC1の電極
端子部、3は電極端子部2aを除いてIC1の表面に被
覆された絶縁性保護膜(以下、パッシベーション膜とい
う)、4は電極端子部2a上に突設された導電性バンプ
である。5はIC1を実装する基板、6はIC1と電気
的接続をとるための電極端子部である。7はフィルム状
に成形された熱硬化性樹脂7aの内部に多数の接合用金
属体7bがフィルムの面方向で互いに接触しないように
配されて導電異方性を有する接着フィルムであり、熱硬
化性樹脂7aによりIC1と基板5とを接着固定すると
ともに、接合用金属体7bによりIC1および基板5の
電極端子部2a、6同士を電気的に導通させている。
【0003】つぎに、この従来のCOB実装方法につい
て説明する。まず、基板5上に接着フィルム7を配置
し、その上にIC1を載置する。この時、IC1と基板
5とは、電気的に接続すべき電極端子部2a、6が相対
するように位置合わせされている。ついで、例えば15
0℃の温度に加熱するとともに、接着フィルム7を圧縮
する方向にIC1と基板5とを加圧する。そして、熱硬
化性樹脂7aは加熱により軟化し、ついには硬化して、
IC1と基板5とが接着固定される。また、IC1と基
板5との間隙は加圧により熱硬化性樹脂7aの軟化とと
もに狭まり、ついには接合用金属体7bが導電性バンプ
4と電極端子部6との間に緊密な状態に挟持される。そ
こで、電極端子部2a、6同士が電気的に導通された状
態でIC1が基板5上に実装されることになる。ここ
で、IC1の電極端子部2aには導電性バンプ4が突設
されているので、IC1と基板5との間隙は相対する電
極端子部2a,6間で最小となる。そこで、接合用金属
体7bは相対する電極端子部2a,6間のみで緊密に挟
持されて電気的に導通させ、それ以外の部分では熱硬化
性樹脂7aに包囲されてIC1と基板5との電気的接続
が回避される。また、相対する電極端子部2a,6間以
外の部位において、接合用金属体7bがIC1と基板5
との間に緊密な状態に挟持される場合が発生しても、I
C1の表面にはパッシベーション膜3が被覆されている
ので、その部位におけるIC1と基板5との電気的接続
は回避される。このように、この従来のCOB実装構造
では、IC1の電極端子部2a上に導電性バンプ4が形
成されており、バンプ形成工程が必要となるという不具
合があった。また、接合用金属体7bの間隔をあまり狭
められないことから、導電性バンプ4の間隔も狭められ
ず、IC1の小型化を阻害してしまうという不具合もあ
った。
【0004】図7は例えば特開平4−219935号公
報に記載された従来のCOB実装構造の他の例を示す断
面図であり、図において8は感光性樹脂、9は導電性粒
子、10は熱硬化性樹脂からなる接着剤である。
【0005】つぎに、この従来のCOB実装方法につい
て説明する。まず、導電性粒子9が所定割合で感光性樹
脂8に添加されてなる塗布液を基板5上にスピンコート
する。そして、写真製版技術により導電性粒子9を添加
された感光性樹脂8の塗布被膜が電極端子部6の部位に
残るようにパターニングする。ついで、導電性粒子9を
添加された感光性樹脂8の塗布被膜を避けて基板5上に
接着剤10を塗布する。その後、電気的に接続すべき電
極端子部2a、6が相対するように位置合わせして、基
板5上にIC1を載置する。ついで、例えば150℃の
温度に加熱するとともに、IC1と基板5とを加圧す
る。そこで、IC1の電極端子部2aは導電性粒子9を
介して基板5の電極端子部6に押圧されて電気的に導通
状態となる。そして、感光性樹脂8が硬化し、電極端子
部2a、6同士が電気的に導通された状態でIC1が基
板5上に実装されることになる。この場合、図6に示さ
れた従来のCOB実装構造のようにIC1の電極端子部
2a上に導電性バンプ4を形成する必要がない。しかし
ながら、基板5上にスピンコートされる塗布液は粘度が
100ポイズ以下という低粘度に制御されており、塗布
被膜中の感光性樹脂8は図9に示されるように極めて薄
くなる。そこで、感光性樹脂8は導電性粒子9を基板5
に固定しているがIC1と基板5との接着固定には寄与
せず、該接着固定のために接着剤10の塗布工程が必要
となるという不具合があった。
【0006】図8は例えば日経マテリアル&テクノロジ
ー('94,1月号、No.137)に掲載された従来のCOB
実装構造を示す断面図であり、図において11は感光性
樹脂である。
【0007】つぎに、この従来のCOB実装方法につい
て説明する。まず、IC1上に感光性樹脂11をスピン
コートする。そして、写真製版技術により感光性樹脂1
2の塗布被膜が導電性バンプ4以外の部位に残るように
パターニングする。その後、電気的に接続すべき電極端
子部2a、6が相対するように位置合わせして、基板5
上にIC1を載置する。ついで、例えば150℃の温度
に加熱するとともに、IC1と基板5とを加圧する。そ
こで、IC1の電極端子部2a上に突設された導電性バ
ンプ4が基板5の電極端子部6に押圧されて電気的に導
通状態となる。そして、感光性樹脂11が硬化し、電極
端子部2a、6同士が電気的に導通された状態でIC1
が基板5上に実装されることになる。この場合、この従
来のCOB実装構造では、IC1の電極端子部2a上に
導電性バンプ4が形成されており、バンプ形成工程が必
要となるという不具合があった。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】図6に示された従来の
COB実装構造では、IC1の電極端子部2a上に導電
性バンプ4を形成する必要があり、製造工程が煩雑にな
るという課題があった。また、接着フィルム7の構造
上、接合用金属体7bの間隔をあまり狭められないこと
から、導電性バンプ4の間隔も狭められず、電極端子の
ファインピッチ化に対応できず、IC1の小型化を阻害
してしまうという課題もあった。また、図7に示された
従来のCOB実装構造では、IC1の電極端子部2a上
に導電性バンプ4を形成する必要がないものの、感光性
樹脂8がIC1と基板5との接着固定には寄与せず、該
接着固定のために接着剤10の塗布工程が必要となると
いう課題があった。また、図8に示された従来のCOB
実装構造では、IC1の電極端子部2a上に導電性バン
プ4を形成する必要があり、製造工程が煩雑になるとい
う課題があった。また、導電性バンプ4と電極端子部6
とを当接させて電気的に導通させているので、IC1上
に形成される導電性バンプ4の突出高さを高精度に管理
する必要があり、該突出高さのバラツキが接続に伴う品
質を低下させてしまうという課題もあった。さらに、図
7、図8に示された従来のCOB実装構造では、導電性
粒子を添加された感光性樹脂をスピンコートするため、
電極端子部以外にも樹脂が塗布され、パターニング時に
除去される割合が大きく非効率という不具合もあった。
【0009】この発明は、上記のような課題を解決する
ためになされたもので、電極端子上に形成されるバンプ
を不要とし、かつ、後工程での一対の基板を接着固定す
るための接着剤の塗布工程を不要とし、製造工程の簡略
化が図られるとともに、部材の効率的使用による低コス
ト化を可能とし、さらに接続に伴う品質を向上できる接
続電極端子の接合方法およびその接合構造を得ることを
目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】この発明の第1の発明に
係る電極端子の接合方法は、液状の熱硬化性の接着樹脂
に導電性微粒子を配合してなる150〜3000ポイズ
の塗布液を一方の基板に印刷して、電気的導通をとるべ
き該基板の電極端子に対応して島状に該塗布液の印刷被
膜を形成する塗布液の印刷工程と、塗布液の印刷被膜を
介して一方の基板の電極端子に電気的導通をとるべき他
方の基板の電極端子を相対するように一方の基板と他方
の基板とを位置合わせする位置合わせ工程と、一方の基
板と他方の基板とを塗布液の印刷被膜を圧縮させる方向
に加圧させるとともに加熱させて相対する電極端子間で
導電性微粒子を圧縮変形させて電気的導通を保ちつつ接
着樹脂を硬化させて一方の基板と他方の基板とを接着固
定する接合工程とを備えたものである。
【0011】また、この発明の第2の発明に係る電極端
子の接合方法は、上記第1の発明において、接着樹脂は
感光性を備え、印刷工程に続いて、塗布液の印刷被膜を
一方の基板の電極端子パターンに合わせてパターニング
するフォトリソ工程を有するものである。
【0012】また、この発明の第3の発明に係る電極端
子の接合方法は、液状の感光性の接着樹脂に導電性微粒
子を配合してなる150〜3000ポイズの塗布液を一
方の基板に印刷して、電気的導通をとるべき該基板の電
極端子に対応して島状に該塗布液の印刷被膜を形成する
塗布液の印刷工程と、塗布液の印刷被膜を一方の基板の
電極端子パターンに合わせてパターニングするフォトリ
ソ工程と、塗布液の印刷被膜を介して一方の基板の電極
端子に電気的導通をとるべき他方の基板の電極端子を相
対するように一方の基板と他方の基板とを位置合わせす
る位置合わせ工程と、一方の基板と他方の基板とを塗布
液の印刷被膜を圧縮させる方向に加圧させて相対する電
極端子間で導電性微粒子を圧縮変形させて電気的導通を
保ちつつ接着樹脂を硬化させて一方の基板と他方の基板
とを接着固定する接合工程とを備えたものである。
【0013】また、この発明の第4の発明に係る電極端
子の接合方法は、上記第1および第3の発明のいずれか
の発明において、導電性微粒子は50%以内の圧縮歪み
率で電気的破壊を起こさない柔軟性を有し、接合工程で
導電性微粒子の圧縮歪み率が50%以内となるように加
圧するものである。
【0014】また、この発明の第5の発明に係る電極端
子の接合構造は、一方の電極端子が複数設けられた一方
の基板と、他方の電極端子が複数設けられ、他方の電極
端子がそれぞれ電気的導通をとる一方の電極端子と相対
するように一方の基板に対向して配置された他方の基板
と、それぞれの相対する一方の電極端子と他方の電極端
子との間毎に圧縮変形されて挟持されて一方の電極端子
と他方の電極端子とを電気的に導通させる導電性微粒子
と、それぞれの相対する一方の電極端子と他方の電極端
子との間毎に介在して一方の電極端子、他方の電極端子
および導電性微粒子を一体に接着固定する接着樹脂とを
備えたものである。
【0015】
【作用】この発明の第1の発明においては、液状の熱硬
化性の接着樹脂に導電性微粒子を配合してなる塗布液の
粘度が150〜3000ポイズに制御されているので、
塗布液の印刷工程により、接着樹脂の厚みが導電性微粒
子の直径の1/2以上の厚みとなる印刷被膜が電気的導
通をとるべき一方の基板の電極端子に対応して島状に形
成される。そして、位置合わせ工程により、一方の基板
と他方の基板とは、電気的導通をとるべき一方の基板の
電極端子と他方の基板の電極端子とが印刷被膜を介して
相対するように配置される。さらに、接合工程により、
導電性微粒子が加圧されて圧縮変形し、相対する電極端
子間の電気的導通がとられ、相対する電極端子間に介在
する接着樹脂が加熱硬化されて、相対する電極端子およ
び導電性微粒子が一体に接着固定される。
【0016】また、この発明の第2の発明においては、
接着樹脂が感光性を備えているので、印刷工程に続いて
のフォトリソ工程において、一方の基板の電極端子パタ
ーンに合わせて塗布液の印刷被膜がパターニングされ
る。そこで、電極端子パターンの微細化に適用できる塗
布液の印刷被膜の微細パターンが可能となる。
【0017】また、この発明の第3の発明においては、
液状の熱硬化性の接着樹脂に導電性微粒子を配合してな
る塗布液の粘度が150〜3000ポイズに制御されて
いるので、塗布液の印刷工程により、接着樹脂の厚みが
導電性微粒子の直径の1/2以上の厚みとなる印刷被膜
が電気的導通をとるべき一方の基板の電極端子に対応し
て島状に形成される。ついで、フォトリソ工程により、
塗布液の印刷被膜が一方の基板の電極端子パターンに合
わせてパターニングされる。そして、位置合わせ工程に
より、一方の基板と他方の基板とは、電気的導通をとる
べき一方の基板の電極端子と他方の基板の電極端子とが
印刷被膜を介して相対するように配置される。さらに、
接合工程により、導電性微粒子が加圧されて圧縮変形
し、相対する電極端子間の電気的導通がとられ、相対す
る電極端子間に介在する接着樹脂が加熱により硬化され
て、相対する電極端子および導電性微粒子が一体に接着
固定される。
【0018】また、この発明の第4の発明においては、
導電性微粒子は50%以内の圧縮歪み率で電気的破壊を
起こさない柔軟性を有し、接合工程で導電性微粒子の圧
縮歪み率が50%以内となるように加圧されているの
で、一方の基板の電極端子と他方の基板の電極端子との
間のそれぞれの間隙がバラツイても導電性微粒子の圧縮
変形により電極端子間の電気的導通が確保される。
【0019】また、この発明の第5の発明においては、
相対する電極端子間はそれぞれ圧縮変形された導電性微
粒子により電気的に導通状態となる。そして、電極端子
間に圧縮変形されて挟持されている導電性微粒子は接着
樹脂により相対する電極端子とともに一体に接着固定さ
れている。そこで、電極端子間は、電気的導通が確保さ
れた状態で接合される。
【0020】
【実施例】以下、この発明の実施例を図について説明す
る。 実施例1.図1はこの発明の実施例1に係るCOB実装
方法を示す工程断面図であり、図において図6乃至図8
に示した従来のCOB実装構造と同一または相当部分に
は同一符号を付し、その説明を省略する。図において、
20は接着樹脂としての熱硬化性樹脂、21はプラスチ
ック粒子の表面に金がコーティングされた直径10μm
の導電性微粒子である。
【0021】つぎに、この実施例1によるCOB実装方
法について説明する。まず、熱硬化性樹脂20は粘度を
高められ、導電性微粒子21を適量配合して粘度が50
0ポイズの塗布液を作製する。そして、該塗布液を基板
5上に印刷して、図1の(a)に示すように、電極端子
部6にのみ導電性微粒子21が配合された熱硬化性樹脂
20の印刷被膜を形成する。この時、塗布液は500ポ
イズの粘度に調整されているので、図2に示されるよう
に、熱硬化性樹脂20は導電性微粒子21の直径とほぼ
同等の厚みに形成されている。ついで、電気的に接続さ
れる電極端子部2a,6同士が相対するように位置合わ
せして、図1の(b)に示すように、基板5上にIC1
を載置する。その後、加熱しながら、IC1と基板5と
を導電性微粒子21が圧縮される方向に加圧する。そこ
で、加圧により導電性微粒子21が圧縮歪み率((圧縮
値/粒子径)×100[%])30%となるように圧縮
変形され、電極端子部2a,6が電気的に導通状態とな
る。そして、IC1と基板5との間に介在する熱硬化性
樹脂20が加熱により硬化し、電極端子部2a,6が導
電性微粒子21を介しての電気的な導通状態を維持しつ
つ一体に接着固定され、図1の(C)に示すように、I
C1の基板5上への実装がなされることになる。
【0022】このように、この実施例1によれば、高い
粘度の熱硬化性樹脂20に導電性微粒子21を配合して
なる粘度が500ポイズの塗布液を基板5の電極端子部
6に印刷形成し、ついで基板5とIC1とを位置合わせ
し、さらに導電性微粒子21が圧縮される方向にIC1
と基板5とを加圧しつつ加熱して電極端子同士を接合し
ているので、IC1の電極端子部2a上に導電性バンプ
を形成する必要もなく、さらに該塗布液の印刷被膜中の
熱硬化性樹脂20がIC1と基板5との接着固定に寄与
してIC1と基板5とを接着固定するための他の接着剤
を後工程で塗布する必要もなく、製造工程の簡略化が図
れるCOB実装方法が得られるという効果がある。ま
た、電極端子部2a,6との間に挟持される導電性微粒
子21が、図3に示すように、圧縮変形されているの
で、電極端子部2a,6間の間隙のバラツキを吸収して
電気的な導通が確実に確保され、接続の品質の向上が図
られるという効果が得られる。
【0023】なお、上記実施例1では、圧縮歪み率が3
0%の導電性微粒子21を用いるものとしているが、導
電性微粒子は、圧縮歪み率が50%以内であれば電気的
破壊(すなわち、導通がなくなる状態)を起こさない柔
軟性を有するように構成されていればよい。この場合、
接合工程において、導電性微粒子の圧縮歪み率が50%
以内となるように加圧することになる。また、上記実施
例1では、導電性微粒子21はプラスチック粒子の表面
に金をコーティングしたものと使用しているが、導電性
微粒子はこれに限定されるものではなく、例えばニッケ
ルのコーティング、金の粒子であってもよい。そして、
導電性粒子21は粒径を均一にする必要があり、その粒
径は、電極端子部2a,6のピッチによって適宜選定す
ればよく、通常3〜20μmの粒径を用いることができ
る。また、塗布液は、印刷被膜において、熱硬化性樹脂
20の膜厚が導電性微粒子21の粒径の1/2以上とな
るように粘度を適宜選定すればよい。この時、塗布液
は、粘度が150ポイズ未満であると印刷被膜形状の滲
みが生じてしまうとともに所望の印刷膜厚が得られず、
3000ポイズを越えると印刷性が著しく低下してしま
うことから、150〜3000ポイズがよい。また、熱
硬化性樹脂20と導電性微粒子21との配合比は、印刷
被膜中の導電性微粒子21が1列に配列するように設定
するのがよい。
【0024】実施例2.上記実施例1では、接着樹脂と
して熱硬化性樹脂20を用いるものとしているが、この
実施例2では接着樹脂としてこの熱硬化性樹脂20に紫
外線硬化性を付与した感光性樹脂を用いるものとしてい
る。この実施例2では、感光性樹脂に導電性微粒子21
を適量配合して塗布液を作製し、上記実施例1と同様に
該塗布液を基板5上に印刷して、電極端子部6上にのみ
導電性微粒子21が配合された感光性樹脂の印刷被膜を
形成する。ついで、写真製版技術を用いて、印刷被膜の
パターニングを行う。その後、上記実施例1と同様に、
電気的に接続される電極端子部2a,6同士が相対する
ように位置合わせして、基板5上にIC1を載置し、さ
らに、加熱しながら、IC1と基板5とを導電性微粒子
21が圧縮される方向に加圧して、IC1の基板5上へ
の実装がなされることになる。
【0025】この実施例2によれば、接着樹脂として熱
硬化性を合わせ持つ感光性樹脂を用い、感光性樹脂に導
電性微粒子21を配合した塗布液を基板5上に印刷し
て、電極端子部6に印刷被膜を形成した後、写真製版技
術により該印刷被膜のパターニングを行うようにしてい
るので、電極端子部6の微細な電極端子パターンに合わ
せて印刷により形成された印刷被膜パターンの微細パタ
ーン化ができ、ファインピッチおよび小型のIC実装に
対応することができる。すなわち、印刷パターンの微細
化には限界があり、ファインピッチ化に伴い電極端子部
6間の間隙が小さくなると、印刷被膜は隣接する電極端
子部6上に連なって形成されてしまうことになる。この
場合、接続すべきでない電極端子同士が接続されてしま
い、IC1が正常に動作しないという不具合が発生する
おそれがある。しかしながら、この実施例2によれば、
印刷工程の後、写真製版技術を用いたフォトリソ工程に
より、印刷被膜パターンの微細パターン化ができ、隣接
する電極端子部6上に連なって形成された印刷被膜は確
実に分離され、上述の不具合の発生は未然に防止され
る。このことから、電極端子のファインピッチ化に対応
して印刷パターンを必要以上に微細化する必要がなくな
る。したがって、印刷版の作製が容易となり、印刷工程
の歩留まりも向上でき、量産性を高めることができると
ともに、低コスト化を図ることができる。
【0026】実施例3.上記実施例1では、基板5上に
塗布液の印刷被膜を形成するものとしているが、この実
施例3では、図4に示すように、IC1上に塗布液の印
刷被膜を形成するものとし、同様の効果が得られる。
【0027】実施例4.図5はこの発明の実施例3に係
る電極端子の接合構造を示す断面図であり、図において
22は基板5上に実装されたIC1のノイズ対策のため
に設けられた金属製の蓋である。この実施例4では、基
板5上にIC1を取り囲むように設けられた電極端子6
上に塗布液が印刷塗布される。そして、金属製の蓋22
の鍔部22aが印刷被膜上に位置するように蓋22を載
置し、加圧しつつ加熱する。そこで、蓋22が基板5上
にIC1を密閉した状態で、かつ、電極端子6と導通状
態で実装されて、外部ノイズによるIC1の誤動作を防
止している。このように、この発明は、IC1実装基板
へのノイズ対策用金属製の蓋22の実装にも適用するこ
とができる。また、上記実施例4では、金属製の蓋22
を基板5にIC1を密閉するように実装し、外部ノイズ
によるIC1の誤動作を防止するものとしているが、導
電性樹脂からなる蓋を基板5にIC1を密閉するように
実装してもよい。この場合、IC実装基板の静電対策を
施すことができる。
【0028】なお、上記実施例1、2では、本願発明の
電極端子の接合方法を基板5上にIC1を実装するCO
B実装に適用した場合について説明しているが、本願発
明の電極端子の接合方法はこれに限定されるものではな
く、基板5の電極端子部6と外部回路を結ぶFPC(フ
レキシブル・プリント・サーキット)との接合、あるい
は基板5の電極端子6と他の基板の電極端子との接合に
も適用できることはいうまでもないことである。さら
に、本願発明の電極端子の接合方法は、液晶表示パネル
のガラス基板上に液晶駆動用ICを実装する際のガラス
基板上の電極端子と液晶駆動用ICの電極端子との接合
にも適用できる。この場合、接合の際にガラス基板の透
明性を利用して裏面側(液晶駆動用ICの反実装側)か
ら光を照射して接着樹脂を硬化させることができるの
で、フォトリソ工程におけるパターニング用マスクは必
ずしも必要ではない。
【0029】
【発明の効果】この発明は、以上のように構成されてい
るので、以下に記載されるような効果を奏する。
【0030】この発明の第1の発明によれば、液状の熱
硬化性の接着樹脂に導電性微粒子を配合してなる150
〜3000ポイズの塗布液を一方の基板に印刷して、電
気的導通をとるべき該基板の電極端子に対応して島状に
該塗布液の印刷被膜を形成する塗布液の印刷工程と、塗
布液の印刷被膜を介して一方の基板の電極端子に電気的
導通をとるべき他方の基板の電極端子を相対するように
一方の基板と他方の基板とを位置合わせする位置合わせ
工程と、一方の基板と他方の基板とを塗布液の印刷被膜
を圧縮させる方向に加圧させるとともに加熱させて相対
する電極端子間で導電性微粒子を圧縮変形させて電気的
導通を保ちつつ接着樹脂を硬化させて一方の基板と他方
の基板とを接着固定する接合工程とを備えているので、
バンプ形成工程や接着剤の塗布工程が不要となり、さら
に導電性微粒子が圧縮変形して電極端子間の電気的導通
がとられ、製造工程の簡略化が図られるとともに、部材
の効率的使用による低コスト化を可能とし、さらに接続
に伴う品質を向上できる電極端子の接合方法が得られ
る。
【0031】また、この発明の第2の発明によれば、上
記第1の発明において、接着樹脂は感光性を備え、印刷
工程に続いて、塗布液の印刷被膜を一方の基板の電極端
子パターンに合わせてパターニングするフォトリソ工程
を有しているので、印刷工程での印刷被膜パターンを過
度に微細化することなく電極端子のファインピッチ化に
対応することができ、印刷版の作製を容易とし、印刷工
程の歩留まりを向上させ、量産性を高めることができる
とともに、低コスト化を図ることができる。
【0032】また、この発明の第3の発明によれば、液
状の感光性の接着樹脂に導電性微粒子を配合してなる1
50〜3000ポイズの塗布液を一方の基板に印刷し
て、電気的導通をとるべき該基板の電極端子に対応して
島状に該塗布液の印刷被膜を形成する塗布液の印刷工程
と、塗布液の印刷被膜を一方の基板の電極端子パターン
に合わせてパターニングするフォトリソ工程と、塗布液
の印刷被膜を介して一方の基板の電極端子に電気的導通
をとるべき他方の基板の電極端子を相対するように一方
の基板と他方の基板とを位置合わせする位置合わせ工程
と、一方の基板と他方の基板とを塗布液の印刷被膜を圧
縮させる方向に加圧させて相対する電極端子間で導電性
微粒子を圧縮変形させて電気的導通を保ちつつ接着樹脂
を硬化させて一方の基板と他方の基板とを接着固定する
接合工程とを備えているので、上記第2の発明の効果と
同様の効果が得られる。
【0033】また、この発明の第4の発明によれば、上
記第1および第3のいずれかの発明において、導電性微
粒子は50%以内の圧縮歪み率で電気的破壊を起こさな
い柔軟性を有し、接合工程で導電性微粒子の圧縮歪み率
が50%以内となるように加圧しているので、導電性微
粒子の圧縮変形により相対する電極端子間の間隙のバラ
ツキを吸収して電極端子間の電気的導通がとられ、その
分接続の品質の向上が図られる。
【0034】また、この発明の第5の発明によれば、一
方の電極端子が複数設けられた一方の基板と、他方の電
極端子が複数設けられ、他方の電極端子がそれぞれ電気
的導通をとる一方の電極端子と相対するように一方の基
板に対向して配置された他方の基板と、それぞれの相対
する一方の電極端子と他方の電極端子との間毎に圧縮変
形されて挟持されて一方の電極端子と他方の電極端子と
を電気的に導通させる導電性微粒子と、それぞれの相対
する一方の電極端子と他方の電極端子との間毎に介在し
て一方の電極端子、他方の電極端子および導電性微粒子
を一体に接着固定する接着樹脂とを備えているので、簡
易に製造できるとともに、接続に伴う品質が高く、か
つ、簡易に製造できる電極端子の接合構造が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 この発明の実施例1に係るCOB実装方法を
示す工程断面図である。
【図2】 この発明の実施例1に係るCOB実装方法に
おける塗布液の印刷状態を示す要部断面図である。
【図3】 この発明の実施例1に係るCOB実装方法に
おける接合状態を示す要部断面図である。
【図4】 この発明の実施例3に係るCOB実装方法に
おける塗布液の印刷状態を示す要部断面図である。
【図5】 この発明の実施例4に係る電極端子の接合構
造を示す断面図である。
【図6】 従来のCOB実装構造の一例を示す断面図で
ある。
【図7】 従来のCOB実装構造の他の例を示す断面図
である。
【図8】 従来のCOB実装構造のさらに他の例を示す
断面図である。
【図9】 図7に示される従来のCOB実装構造におけ
る塗布液の印刷状態を示す要部断面図である。
【符号の説明】
1 IC(基板)、2a 電極端子部、5 基板、6
電極端子部、20 熱硬化性樹脂(接着樹脂)、21
導電性微粒子、22 蓋(基板)。

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 液状の熱硬化性の接着樹脂に導電性微粒
    子を配合してなる150〜3000ポイズの塗布液を一
    方の基板に印刷して、電気的導通をとるべき該基板の電
    極端子に対応して島状に該塗布液の印刷被膜を形成する
    塗布液の印刷工程と、前記塗布液の印刷被膜を介して前
    記一方の基板の前記電極端子に電気的導通をとるべき他
    方の基板の電極端子を相対するように前記一方の基板と
    前記他方の基板とを位置合わせする位置合わせ工程と、
    前記一方の基板と前記他方の基板とを前記塗布液の印刷
    被膜を圧縮させる方向に加圧させるとともに加熱させて
    相対する前記電極端子間で前記導電性微粒子を圧縮変形
    させて電気的導通を保ちつつ前記接着樹脂を硬化させて
    前記一方の基板と前記他方の基板とを接着固定する接合
    工程とを備えたことを特徴とする電極端子の接合方法。
  2. 【請求項2】 前記接着樹脂は感光性を備え、前記印刷
    工程に続いて、前記塗布液の印刷被膜を前記一方の基板
    の電極端子パターンに合わせてパターニングするフォト
    リソ工程を有することを特徴とする請求項1記載の電極
    端子の接合方法。
  3. 【請求項3】 液状の感光性の接着樹脂に導電性微粒子
    を配合してなる150〜3000ポイズの塗布液を一方
    の基板に印刷して、電気的導通をとるべき該基板の電極
    端子に対応して島状に該塗布液の印刷被膜を形成する塗
    布液の印刷工程と、前記塗布液の印刷被膜を前記一方の
    基板の電極端子パターンに合わせてパターニングするフ
    ォトリソ工程と、前記塗布液の印刷被膜を介して前記一
    方の基板の前記電極端子に電気的導通をとるべき他方の
    基板の電極端子を相対するように前記一方の基板と前記
    他方の基板とを位置合わせする位置合わせ工程と、前記
    一方の基板と前記他方の基板とを前記塗布液の印刷被膜
    を圧縮させる方向に加圧させて相対する前記電極端子間
    で前記導電性微粒子を圧縮変形させて電気的導通を保ち
    つつ前記接着樹脂を硬化させて前記一方の基板と前記他
    方の基板とを接着固定する接合工程とを備えたことを特
    徴とする電極端子の接合方法。
  4. 【請求項4】 前記導電性微粒子は50%以内の圧縮歪
    み率で電気的破壊を起こさない柔軟性を有し、前記接合
    工程で前記導電性微粒子の圧縮歪み率が50%以内とな
    るように加圧することを特徴とする請求項1および請求
    項3のいずれかに記載の電極端子の接合方法。
  5. 【請求項5】 一方の電極端子が複数設けられた一方の
    基板と、他方の電極端子が複数設けられ、他方の電極端
    子がそれぞれ電気的導通をとる一方の電極端子と相対す
    るように前記一方の基板に対向して配置された他方の基
    板と、それぞれの相対する前記一方の電極端子と前記他
    方の電極端子との間毎に圧縮変形されて挟持されて前記
    一方の電極端子と前記他方の電極端子とを電気的に導通
    させる導電性微粒子と、それぞれの相対する前記一方の
    電極端子と前記他方の電極端子との間毎に介在して前記
    一方の電極端子、前記他方の電極端子および前記導電性
    微粒子を一体に接着固定する接着樹脂とを備えたことを
    特徴とする電極端子の接合構造。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2005002002A1 (ja) * 2003-06-25 2005-01-06 Hitachi Chemical Co., Ltd. 回路接続材料、これを用いたフィルム状回路接続材料、回路部材の接続構造及びその製造方法
WO2005027223A1 (ja) * 2003-09-09 2005-03-24 Sanyo Electric Co., Ltd 回路素子と絶縁膜を含む半導体モジュールとその製造方法およびその応用
JP2012209596A (ja) * 2012-07-20 2012-10-25 Mitsumasa Koyanagi 三次元積層構造を持つ集積回路装置の製造方法

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2005002002A1 (ja) * 2003-06-25 2005-01-06 Hitachi Chemical Co., Ltd. 回路接続材料、これを用いたフィルム状回路接続材料、回路部材の接続構造及びその製造方法
CN100380741C (zh) * 2003-06-25 2008-04-09 日立化成工业株式会社 电路连接材料、电路构件的连接结构及其制造方法
US8043709B2 (en) 2003-06-25 2011-10-25 Hitachi Chemical Co., Ltd. Circuit connecting material, film-like circuit connecting material using the same, circuit member connecting structure, and method of producing the same
US8202622B2 (en) 2003-06-25 2012-06-19 Hitachi Chemical Co., Ltd. Circuit connecting material, film-form circuit connecting material using the same, circuit member connecting structure and method of manufacturing the same
US8501045B2 (en) 2003-06-25 2013-08-06 Hitachi Chemical Company, Ltd. Circuit connecting material, film-form circuit connecting material using the same, circuit member connecting structure and method of manufacturing the same
WO2005027223A1 (ja) * 2003-09-09 2005-03-24 Sanyo Electric Co., Ltd 回路素子と絶縁膜を含む半導体モジュールとその製造方法およびその応用
JPWO2005027223A1 (ja) * 2003-09-09 2007-11-08 三洋電機株式会社 回路素子と絶縁膜を含む半導体モジュールとその製造方法およびその応用
US7622805B2 (en) 2003-09-09 2009-11-24 Sanyo Electric Co., Ltd. Semiconductor module including circuit component and dielectric film, manufacturing method thereof, and application thereof
JP4688679B2 (ja) * 2003-09-09 2011-05-25 三洋電機株式会社 半導体モジュール
US8304289B2 (en) 2003-09-09 2012-11-06 Sanyo Electric Co., Ltd. Semiconductor module including circuit component and dielectric film, manufacturing method thereof, and application thereof
JP2012209596A (ja) * 2012-07-20 2012-10-25 Mitsumasa Koyanagi 三次元積層構造を持つ集積回路装置の製造方法

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