JPH08255820A - 半導体ペレットのマウント方法及びぺレット選択装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 位置データを得るのに短時間で済み、かつ発
光ダイオードと駆動素子の望しい組合せが得られる半導
体ペレットマウント方法を提供する。 【構成】 半導体ウエハに於ける整列した各ペレットの
特性を測定し、各ペレットの整列順に求められた特性デ
ータからなる特性ファイルを作成する工程と、各ペレッ
トの位置を検出した位置データに基づき位置ファイルを
作成する工程と、特性ファイルから予じめ指定された特
性を持つペレットを検索し、検索したペレットをマウン
トする工程とを備え、位置データは整列したペレットを
不連続に位置検出して求められ、位置検出しないペレッ
トの位置データは演算して求められ各ペレットの整列順
に位置データが求められ、位置ファイルは位置データに
対応する特性データを有するものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は半導体ウエハを分割した
後、ペレットを取出して回路基板等にマウントする半導
体ペレットのマウント方法およびペレット選択装置に関
する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、半導体のぺレットを選別しマ
ウントするに際しては、特開昭５４−１５８８７４号公
報に示される如く、半導体ウエハを分割した後若しくは
分割するに当って、切り出した若しくは切り出されるべ
きぺレットの特性検査を行い、ペレットを取出して回路
基板等にマウントする様にしており、この場合特に発光
ダイオードにおいては、特公昭５９−３７８７２号公報
に示されるように、光量特性を含む特性検査を行い、さ
らに近年はそのペレットの位置情報と組み合わせてデー
タベース化して、ぺレットの選別とマウントを行ってい
る。

【０００３】このような位置検出においては、ＸＹテー
ブルからなる駆動テーブルの上にウエハから分割された
ぺレットを載置し、駆動テーブルの移動量が記憶される
様に構成する。そして、ダイボンド装置の上方にカメラ
を固定し、カメラに写った映像を元に特定のペレットの
特定の端縁をパターン認識し、その認識位置までの駆動
テーブルの移動量でぺレットの位置認識としている場合
が多い。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】この様な上述の方法で
は、ペレットを全数位置検出するので、多くの作業時間
を要するという第１の欠点がある。具体的には、例えば
１個のペレットのＸ軸方向とＹ軸方向の位置検出を行う
のに約１秒かかり、通常１枚の半導体ウエハに約５００
〜１０００個のペレットが形成されるので、１枚の半導
体ウエハの位置データを収集するのに約１０分程を要す
る。

【０００５】更に、発光ダイオードでは上述のぺレット
を回路基板などにマウントするだけではなく、そのよう
な発光ダイオードを多数整列させ、さらにその近傍に、
発光ダイオード駆動用の駆動素子を配置し配線してい
る。そして駆動素子も上述と同様の方法で、回路基板に
マウントしているが、発光ダイオードも駆動素子も特性
のばらつきがある。ところが、上述の方法では光量のば
らつきのある発光ダイオードと出力のばらつきのある駆
動素子の組合せが考慮されていないため、１つの発光ダ
イオード製品に於て、隣接する発光ダイオード同士の輝
度の差が大きくなる第２の欠点がある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明は上述の課題を解
決するために、各ペレットの整列順に求められた特性デ
ータからなる特性ファイルを作成し、各ペレットの位置
を検出した位置データに基づき位置ファイルを作成し、
特性ファイルから予じめ指定された特性を持つペレット
を検索してペレットをマウントする工程とを備え、位置
データは整列したペレットを不連続に位置検出して求め
られ、位置検出しないペレットの位置データは演算して
求められ、各ペレットの整列順に位置データが求めら
れ、位置ファイルは位置データに対応する特性データを
有するもので、更に望しくは、半導体ウエハは発光ダイ
オード用ウエハと発光ダイオードを駆動する駆動素子用
ウエハの２種類があり、光量のばらつきによりランク分
けされ特定のランクに属する発光ダイオードの位置ファ
イルと、出力のばらつきによりランク分けされ特定のラ
ンクに属する駆動素子の位置ファイルを検索し所定の各
々の素子を検索しマウントするものである。

【０００７】本発明は、整列された半導体のペレットの
各々の特性を測定して得た特性データと、その半導体の
ぺレットの一部を位置検出して得られた位置データを元
に演算によって得られた各々のペレットの位置データと
を組み合わせてペレットファイルを作成し、そのペレッ
トファイルから予じめ指定された特性を持つペレットを
選択し、選択したペレットを位置データに基づいてマウ
ントするものである。

【０００８】そして本発明は、整列した発光ダイオード
のぺレットの各々の光量を測定して得られた光量データ
ファイルと、その発光ダイオードの複数のぺレットの位
置を演算により求めた位置データファイルと、発光ダイ
オードの駆動素子に関する駆動素子データファイルと、
光量データファイルと駆動素子データファイルを元に発
光ダイオードと駆動素子の組合せを選択し選択した発光
ダイオードのペレットを位置データファイルに従って特
定する選択手段とを設けたものである。

【０００９】

【作用】上述の様に、位置データは全数位置検出するの
ではなく、演算して求められ、演算に要する時間は極め
て短いので、位置検出に要する時間は短縮され、全体の
作業時間が短くなる。また特性データと位置データは各
々ペレットの整列順に求められるので、両データは正確
に対応できる。

【００１０】更に本発明の望しい例によれば、光量のば
らつきと出力のばらつきにより所定の各々の素子を検索
しマウントする。

【００１１】また本発明によれば、特性データと組み合
わされる位置データを演算により得るので、処理が円滑
にまた高速に行われる。

【００１２】そして本発明によれば、位置確認と駆動素
子との組み合わせが、高速に、且つ的確に行えるぺレッ
ト選択装置が供給できる。

【００１３】

【実施例】まず本発明について概括的に説明する。図１
において、１は特性を測定すべき半導体のぺレットで、
等間隔に整列された発光ダイオードを例にとってあり、
ワークテーブルＷの上のＸＹテーブルＴに載置された例
を示している。このワークテーブルＷは３台のＸＹテー
ブルＴをワークエリア内に配送するものを例示してお
り、ステージ形式のものを用いてもよい。またＸＹテー
ブルＴは基準位置に設定した後、Ｘ軸Ｙ軸の移動量が自
動計測され、所定のタイミングで後述する制御手段に位
置座標データとして送信される。２ａ、２ｂ、２ｃはい
ずれもデータファイルで、２ａは発光ダイオードのぺレ
ット１の各々の光量を測定して得られた光量データファ
イルで、所定の電流に対する光量をデジタルデータとし
て例えば３．５インチフロッピーディスクに記憶させて
いる。２ｂは発光ダイオードの複数のぺレット１の位置
を演算で求めた位置データファイルで、整列されたペレ
ット１の一部を位置検出して得られた位置データを元に
演算によって得られた各々のペレットの位置データを
Ｘ、Ｙ座標の形で同様にフロッピーディスクに記憶して
いる。２ｃは後述する駆動素子３毎にあらかじめ測定さ
れた出力データがデジタルデータの形でフロッピーディ
スクに記憶された駆動素子に関する駆動素子データファ
イルである。これらのデータファイル２ａ、２ｂ、２ｃ
はディスクドライブＤにより記録再生される。３は発光
ダイオードの駆動素子で、いわゆるドライバＩＣからな
り、発光ダイオードのぺレット１同様にＸＹテーブルＴ
に載置され、各駆動素子３は整列して配置され、その出
力データは前述のデータファイル２ｃに駆動素子の位置
情報とともに記憶されている。

【００１４】残る１台のＸＹテーブルＴにはプリント基
板等からなる発光ダイオード用の回路基板が載置され、
選択されたぺレット１が第１のＸＹテーブルＴから取り
出され、他のＸＹテーブルＴの回路基板にマウントさ
れ、次いで第２のＸＹテーブルＴからペアとして選択さ
れた駆動素子がとりだされて他のＸＹテーブルＴの回路
基板にマウントされることになる。なおデータファイル
２ａ，２ｃには、上述したような光量や出力データをデ
ジタルデータのままで取り扱うのではなく、例えば光量
のばらつきによりランク分けされ特定のランクに属する
発光ダイオードの位置ファイルと、出力のばらつきによ
りランク分けされ特定のランクに属する駆動素子の位置
ファイルとして、所定の各々の素子を検索するようにし
てもよい。

【００１５】８は、光量データファイル２ａと駆動素子
データファイル２ｃを元に、発光ダイオードと駆動素子
の組み合わせを選択し、選択した発光ダイオードのペレ
ット１を位置データファイル２ｂに従って特定する選択
手段である。この選択手段８は、ペレット１の輪郭等を
パターン認識するためのカメラ８６と、カメラの映像を
解析する画像解析手段８７と、ぺレット１を選択するマ
ウンタ８８と、各種データファイル２ａ、２ｂ、２ｃの
データを制御し、またカメラ８６や画像解析手段８７や
マウンタ８８を制御するマイクロプロセサなどからなる
制御手段８９を有している。そして更に必要に応じて画
像解析手段８７にはモニターＭを含み、制御手段８９は
前述のディスクドライブＤからデータを受け取るだけで
はなくディスクドライブＤをも制御し、あるいはワーク
テーブルＷやＸＹテーブルＴをも制御してよい。さらに
制御手段８９には、光量データファイル２ａと駆動素子
データファイル２ｃを元に発光ダイオードと駆動素子の
組み合わせを選択するためのデータを貯えたメモリＲが
付属されていると、発光ダイオード製品の種類毎に発光
ダイオードと駆動素子の組み合わせ条件を容易に指定
し、変更できるので一層好ましい。

【００１６】これらのペレット選択装置について、図１
では簡易的に図示しているが、具体的には例えば雑誌
「電子材料」１９９２年５月号第１０５頁乃至第１１６
頁等を参照して、当業者が上記主旨を参照して構成すれ
ばよい。また、これらの動作や効果については、以下の
説明に従って一層明確になるであろう。

【００１７】以下本発明について図面を用いて説明す
る。図２は本実施例に係る半導体ペレットマウント方法
に於ける、半導体ウエハを説明する図面で、図３は図２
のＡＡ断面図を用いて半導体ウエハの特性を測定する工
程を説明する図面である。これらの図に示す様に、半導
体ウエハ１０を準備する。半導体ウエハ１に於て、例え
ばＮ型砒化ガリウムからなる半導体基板１１上に、気相
エピタキシャル成長法等にてＮ型燐化ガリウム砒素から
なるエピタキシャル層１２が形成されている。発光領域
１３はエピタキシャル層１２の表面に選択拡散法にて形
成されたものであり、亜鉛が添加されたＰ型領域であ
る。絶縁層１４は、エピタキシャル層１２上に形成され
た例えば二酸化硅素等からなるもので、発光領域１３の
ための窓部分が形成されている。表面電極１５は一端が
絶縁層１４の窓部内の発光領域１３とオーミック接触
し、他端が絶縁層１４上に形成されたアルミニウム等か
らなるものである。この図の様に、発光領域１３と表面
電極１５は半導体ウエハ１０に於て行列状に縦横整列し
て形成されている。そして裏面電極１６は半導体基板１
１の裏面上に形成された金等からなる薄膜である。

【００１８】次に、この半導体ウエハ１０を、表面滑面
の金属基板とかシリコン基板などの基台４０上に導電性
接着剤やワックス４１を介して固定する。そして、裏面
電極端子４２を導電性接着剤に接続するとか基台４０に
予め設けられた透孔４３に挿入する等して、裏面電極１
６に接触させる。そして一端を裏面電極端子４２に接続
した定電流源４４から走査端子４５を通じて、表面電極
１５に一定電流を供給し、各々の発光領域１３を順次ま
たはブロック毎に発光させる。一方、各発光領域１３の
真上に位置する様に受光装置４６を移動させ、各々の発
光領域の光量を測定する。この光量は行列の配置関数と
してデジタル値で記憶され、前述のデータファイル２ａ
に記録される。

【００１９】このような光量の測定において、１つの発
光領域１３を１つのペレット１として切り出す場合には
その光量測定結果をそのまま利用すればよいが、複数の
発光領域１３が一つのペレットに含まれるように切り出
すいわゆる発光ダイオードアレイの場合には、ペレット
内の特定の発光領域の光量で代表させたり、ペレットに
含まれる発光領域１３の平均値を利用したりすることと
なる。例えば図４に示す様に、発光領域１３の列が図の
横方向に位置し連続する６４個で１つのペレット（発光
ダイオード）１となる場合には、６４個の発光領域１３
の各々の光量の平均値を１つの発光ダイオードペレット
１の光量と見做して記憶するのが好ましい。そして行列
の配置関数として測定するには、例えば図６の矢印Ｃの
方向に、各ペレット１の整列順に特性データ（この場合
光量データ）を測定する。測定順序は図６に例示した他
に、全数下から上に向かって測定してもよく、あるいは
全数上から下に、又は全数横方向に測定しても、測定ぺ
レットが個数単位で行列に位置付けられる限り構わな
い。なおこのような測定に当って、半導体ウエハ１０が
円形などの場合には、周辺部に所定の長さ形状にならな
いペレットや破片が生じることになるので、このような
周辺部分は最初から測定除外するのが行列管理上からも
好ましい。また図３に示したような本実施例に係る半導
体ペレットマウント方法に於ける、半導体ウエハの特性
を測定する工程に必要な測定具やデータファイルは図１
に示した装置と別途設けてもよいし、図１の装置に付加
的に設けてディスクドライブＤや制御手段８９を兼用し
てもよい。

【００２０】測定手段とぺレット選択装置を一体化して
いる場合を例に取ると、光量データは上述のように６４
発光領域毎に平均値に演算した後、制御手段８９を介し
てディスクドライブＤにより光量データファイル２ａに
記憶されることになる。即ちこの例では光量を測定する
ことを例に説明しているので、光量データファイル２ａ
はそのまま特性ファイルとなるが、この特性データを演
算装置により処理し、第１のフロッピーディスクに特性
ファイルとして記憶させる。この例での特性ファイルは
図５に示す様に、行列状に整理され光量の平均値にした
がって、Ａ乃至Ｚの光量ランクにランク分けされたデー
タである。前述した様に測定した光量そのままの平均値
をデジタル値で記憶しておいて、選択時に範囲指定して
もよく、マイクロプロセサなどの演算手段が記憶時と再
生時でどちらの負担が大きいかによって負担の少ないと
きに処理されるようにすればよい。この光量ランクは１
ウエハ分、例えば全数６００個の発光ダイオードのペレ
ット１につき、各々を１０ｍＡで駆動した時の各々の光
量を３％刻みで分けたものであり、Ｚに近い程、光量が
大きい。

【００２１】次に図６、図７に基づいて説明を続ける。
図６は上述の方法に用いられるウエハセットの平面図、
図７は図６のＢＢ断面を用いた工程説明図である。これ
ら図６と図７に示す様に、半導体ウエハ１０は塩化ビニ
ール等からなる展延性のシート５１上に接着材を介して
移し換えられる。そして、中央が空洞状のリング５２上
にシート５１を固定し、半導体ウエハ１０を縦横にダイ
シングまたはスクライブし、リング５２の中央全体を、
リング５３を有する治具５４で上方向に押し上げる。こ
の治具５４の上方向への挿入により、シート５１が拡張
する事により、半導体ウエハの各ペレット（発光ダイオ
ード）１は互いに間隔を置いて完全に離隔される。この
状態でシート５１は輪５５によりリング５３に固定され
る。その後に治具５４が外され、ウエハセット５６が完
成し、必要に応じて発光ダイオードの整列されたペレッ
ト１およびその周辺が洗浄され、次工程に進む。ぺレッ
ト１を一定間隔で整列させ行列管理に適合させるには、
この様な手順によれば簡単に且つ正確に行うことができ
るが、この方法に限られるものではない。またこの方法
を行うに当っても、先の特性検査をしなかったぺレット
は除外してシート５１に転写すればより好ましいものと
なる。さらにシート５１が導電性である場合などで、こ
の整列作業後に特性測定並びにデータファイル作成が可
能な場合は、この間隔を開けた整列作業と特性測定並び
にデータファイル作成ならびに位置データファイルの作
成の各工程はいずれかの順序を逆にしてもよい。

【００２２】次いで、このように間隔を明けられたぺレ
ットの位置データファイルを作成する工程について図１
と図８を用いて説明する。図８は上述の方法に於ける、
位置データを得る工程を説明する図面である。図１では
説明を簡単にするためＸＹテーブルＴが３つのものを例
示し、それぞれぺレットと駆動素子と回路基板を載置し
ているため、ペレットは１つのウエハセット５６分しか
示していないが、ペレット選択装置をダイボンド装置に
組み込む場合などは複数のホルダを有し、例えば、ダイ
ボンド装置に設けられた８個のホルダに各々のウエハセ
ット５６を固定する。この場合円形に並べたホルダ８個
の中心に回転軸を設けておけば、ホルダは円周方向に回
転する様に構成出来、１個のウエハセットがカメラ８６
の下方に位置する様に、ホルダが回転し停止する。図１
の場合には、ワークテーブルＷがサーボしてＸＹテーブ
ルＴをワークエリア内に配送する。カメラ８６近傍に配
置された落射光源（図示せず）によりぺレット１が照明
され、その映像から画像解析装置８７は判定して例えば
もっとも左下隅におけるぺレット１の左下隅の部分（図
８の丸印Ｏの位置）を認識する。制御手段８９はこの様
な位置が画面の中央に位置するようにＸＹテーブルＴを
動かし、画面の所定位置にきたときのＸ軸、Ｙ軸の移動
量の計数をリセットする。落射光源やパターン認識を行
わない場合、十分絞った光ビームをテーブルに当てて、
その光が発光ダイオードのペレット１上で反射され、そ
の反射光をカメラにてペレットの特異点として感知する
様に、Ｘ軸方向とＹ軸方向にテーブルを移動させる。

【００２３】例えば前述した発光ダイオードアレイの場
合、その発光ダイオードアレイの大きさが横方向に８ｍ
ｍ、縦方向に２ｍｍ整列間隔０．５ｍｍであれば、図８
の最も左下隅におけるぺレット１の左下隅の部分Ｏを特
異点としての角部（原点）とした場合、発光ダイオード
３２の横は例えば８ｍｍ、縦は２ｍｍであるので、発光
ダイオードの左下隅のぺレット１（１行１列）の中心の
位置としてＸ＝８／２＝４、Ｙ＝２／２＝１が演算さ
れ、位置データとしてＸ座標＝４、Ｙ座標＝１を得る。
同様にして、２行１列の発光ダイオード３２の位置検出
するために、カメラ３６が２行１列の発光ダイオード３
２の左下の角部を感知する様に、駆動テーブル３５のＸ
軸方向とＹ軸方向を移動させたとすると、中心座標とし
てＸ＝４、Ｙ＝３．５の位置データを得る。従って制御
手段８９はこのような座標を行列番号と対応させて位置
データファイル２ｂに記憶させる。

【００２４】しかしながら本発明にあってはこのように
ｎ行ｍ列の全てのぺレット１を順次位置検出するもので
はなく、例えば次に、カメラ８６は５行１列の発光ダイ
オードのペレット１の左下の角部を感知し、Ｘ座標＝
４、Ｙ座標＝１１．０という位置データが得られたとす
ると、この値を位置データファイル２ｂに記憶させる。
そして制御手段８９によって、１行１列と５行１列の各
発光ダイオードのペレット間に３個の発光ダイオード１
が等間隔で配置されているものとしてこれらの座標を演
算し、その演算結果を位置データファイルに記憶させ
る。例えば３行１列の発光ダイオード１５のＸ座標とＹ
座標は、Ｘ＝（３−１）／（５−１）×（４−４）＋４
＝４：Ｙ＝（３−１）／（５−１）×（１１−１）＋１
＝６として演算される。

【００２５】この様にして、位置検出しないペレット１
の位置データは、このペレット１に近接し、かつ位置検
出された２個のペレット１（例えば１行１列と５行１
列）の位置データを基に、補間法にて得たものである。
上述の様に、各ペレット１（１行１列から５行１列ま
で）の整列順に位置データが求められ、フロッピーディ
スクに記憶される。そして図８の矢印に示される様に、
特性データが求められたペレット１の整列順と同じ順番
にて、位置データ（Ｘ座標とＹ座標）が求められ記憶さ
れる。

【００２６】次に、これらの位置データと光量データを
行列番号をキーとしてリンクさせ、図９に示すようなぺ
レットファイルを作成する。即ち、演算装置に第１のフ
ロッピーディスクからの特性データを読取らせ、第２の
フロッピーディスクで読込まれた位置データに特性デー
タを対応させた位置ファイルを作成する。この様にし
て、整列したペレット１を不連続に、例えば３個おき
に、位置検出し、位置検出しないペレット１の位置デー
タは演算にて（例えば補間法で）求め、特性データが求
められたペレット１の整列順と同じ順番にて位置データ
を求め、各位置データが各特性データに対応する様に、
ペレットファイルを第２のフロッピーディスク中に作成
する。

【００２７】次に、操作者が演算装置にＨランクを指示
する事により、特性ファイル予じめ指定された特性（例
えば光量ランクがＨのもの）を持つペレット１が検索さ
れ、その位置データが検索される。その結果、演算装置
が駆動テーブルに駆動信号を与え、駆動テーブルがＸ軸
方向とＹ軸方向に移動し、検索された位置データに従う
ペレット１が所定の位置に配置される。そしてダイボン
ド装置に設けられたマウンタが所定のペレット１を取出
し、図１０に示す様に、マウンタ８８０により取出され
保持されたペレット１は回路基板６０上に導電性接着材
６１を介してマウントされる。マウンタ８８０は例えば
通気孔８８１が設けられたいわゆる真空チャックであっ
て、上方に向って空気が吸引される事により、ペレット
１を保持するものである。この様に、本実施例に係る半
導体ペレットマウント方法では、例えば１列中の３個の
ペレット１を位置検出し、残りの６個は演算にて位置デ
ータを求めるので、位置検出に要する時間は従来の３／
９＝１／３倍となり、時間短縮が計れる。また、位置検
出するのは本実施例の様に３個おきに行う必要はなく、
適切な飛び数により実施できる。更に位置検出の進行方
向の列または行の最初と最後のぺレットだけを位置検出
して残りは演算することもできる。

【００２８】上述の例において、ぺレットファイルを作
らないで直接ぺレットを位置ファイルを元に選択しこれ
をマウントすることもできる。これらのことから、整列
された半導体のペレットの各々の特性を測定して得た特
性データと、そのぺレットの一部を位置検出して得られ
た位置データを元に演算によって得られた各々のペレッ
トの位置データとを組み合わせて仮想の若しくは現実の
ペレットファイルを作成し、ペレットファイルから予じ
め指定された特性を持つペレットを選択し、選択したペ
レットを位置データに基づいてマウントするものである
といえる。

【００２９】更に本発明にあっては発光ダイオードとそ
の駆動素子を組み合わせてマウントできるのでそれにつ
いて説明する。図１１は本実施例に係る半導体ペレット
マウント方法に於ける、発光ダイオードと駆動素子の組
合せ表である。この様な駆動素子の出力と座標を示す駆
動素子データファイルを図１２に示す。図１２はすなわ
ち先の実施例で説明した半導体ウエハの代りに、駆動素
子を複数個設けた半導体ウエハを製造する。そして、整
列した各ペレット（駆動素子）の特性（例えば出力電
流）を測定し、各ペレットの整列順に特性データを求
め、演算装置を介して第３のフロッピーディスクに記憶
させる。その後に先の実施例と同様の方法により、演算
装置を介して第４のフロッピーディスク（いずれも図示
せず）に駆動素子の位置データを記憶させる。そして演
算装置に第３のフロッピーディスクからの特性データを
読取らせ、第４のフロッピーディスクで読込まれた位置
データに特性データを対応させた駆動素子データファイ
ル（図１の２ｃ、その内容は図１２）を作成する。

【００３０】一方、図１１に示した組合せ表を予じめ準
備する。この図に於て、横軸はペレット１の光量ランク
であり、縦軸は１個のペレット１の輝度（μｗ／ｄｏ
ｔ）である。また、ａからｉまでは駆動素子の出力ラン
クを示し、例えば全数６００個の駆動素子につき、各々
に所定の電流を入力した時の、各々の出力（駆動電流）
を６％刻みでランク分けしたものであり、ｉに近い程、
出力が大きい。図１１により、発光ダイオードの輝度を
０．９５μｗ／ｄｏｔ±１６％（０．８〜１．１μｗ／
ｄｏｔ）以内に維持するには、縦の棒線で示した領域の
発光ダイオードと駆動素子の組合せをすればよい。

【００３１】図１１の見方について説明する。例えば図
９に於て、光量ランクがＨの発光ダイオードを選択する
ならば、図１１に於て、駆動素子はｆからｉまでが適切
であり、図１２に於て出力ランクがｇとｈの駆動素子を
選択すれば良い。すなわち比較的低光量（ランクＨ等）
の発光ダイオードと比較的高出力（ランクｇ、ｈ等）の
駆動素子を組合せたり、又は比較的高光量（ランクＰ〜
Ｖ）の発光ダイオードと比較的低出力（ａ〜ｄ）の駆動
素子を組合せたりして、発光ダイオードの所定の輝度が
得られる。この様に操作者は図１１の組合せ表と図９の
ペレットファイルと図１２の駆動素子データファイルを
参照し、適切な発光ダイオードの光量ランクと駆動素子
の出力の組合せを決定できる。

【００３２】そして操作者が特定の光量ランク又は特定
の出力ランクを指示する事により、特性ファイルが組込
れた発光ダイオードのペレットファイル（図９）又は駆
動素子の位置ファイル（図１２）から、予じめ指定され
た特性（例えば光量ランクがＨのもの又は出力ランクが
ｇのもの）を持つ発光ダイオード又は駆動素子が検索さ
れ、その位置データが検索される事により所定の発光ダ
イオード又は駆動素子が回路基板上にマウントされる。
更に、この様に選択された発光ダイオードと駆動素子を
対にしてマウントする事により、発光ダイオードの輝度
は例えば０．９５μｗ／ｄｏｔ±１６％以内に維持する
事ができる。

【００３３】特に光プリントヘッドの様に、回路基板上
に直線状に複数個の発光ダイオードを近接して載置し、
その発光ダイオード毎に近接して発光ダイオード駆動用
の駆動素子を載置する場合に、上述の半導体ペレットマ
ウント方法は有効である。何故ならば、１個ずつの発光
ダイオードの輝度が所定値±１６％以内に正確に維持さ
れるので、発光ダイオード同士の輝度ばらつきが少な
く、表示品質が向上するからである。また上述の説明で
は、複数の発光ダイオードと複数の駆動素子を有する光
プリントヘッドを例示した。しかし本発明はこの例示に
限らず、１個の発光ダイオードと１個の駆動素子を有す
る表示装置にも適用でき、個々の表示装置の輝度ばらつ
きを小さくする事により、表示品質を高める事ができ
る。

【００３４】なお図１１を元に操作者が直接支持を行う
例を示したが、図１のメモリＲに図１３のような参照テ
ーブルを組み込ませることによって、自動的な発光ダイ
オードぺレットと駆動素子の組み合わせを行うことがで
きる。即ち図１３は図１１の表からどの組み合わせを優
先するかの参照テーブルであって、例えば図９のぺレッ
トファイルとしてあるランクのものがあれば、制御手段
８９はどの程度の使用の光プリントヘッドを構成するか
によって駆動素子の出力レベルの優先性を判断し、組み
合わせの可能なぺレットと駆動素子を選択する。

【００３５】具体的に例示すると、発光レベルとしてＡ
系列からＣ系列までの３つの光プリントヘッドが仕様と
して認められ、各々Ａ１〜Ａ６、Ｂ１〜Ｂ６、Ｃ１〜Ｃ
６の系列内優先度が定められているとする。ここに１枚
のウエハセット５６が送られてきて、そのウエハセット
のぺレットファイルにおける光量がＩからＭまで分布し
ていたとする。制御手段８９は例えば最初の行列から光
量ランクＩを読み取りＩが属する光プリントヘッドの仕
様Ａ又はＢを図１３の優先度から読み取り、図１３の例
ではＩが含まれる系列のＢ４よりＡ２のほうが優先度が
高いので、例えば仕様Ａにセットする。仕様Ａにおける
優先度は光量ＨがＡ１で最も優先されるので、光量Ｈの
ぺレットに対応するものとして、駆動素子データファイ
ル図１２から出力の最も優先されるｈのぺレットを捜
す。そこで組み合わせができれば、仕様Ａのために、特
性データの光量Ｈのペレットを選択してこれの位置座表
を確認し、この選択されたぺレット１を取りにいってマ
ウントし、次いで駆動素子の出力ｈのものを同様に選択
してマウントする。駆動素子の出力ｈのものがなくなれ
ば次は出力ｇのものを選択し、同様に光量Ｈのペレット
がなくなれば優先度Ａ２にしたがって光量Ｉと出力ｇの
ものを優先的に選択し、取ってきてマウントすることと
なる。

【００３６】この様に、本発明にあっては、整列した発
光ダイオードのぺレットの各々の光量を測定して得られ
た光量データファイルと、発光ダイオードの複数のぺレ
ットの位置を演算により求めた位置データファイルと、
発光ダイオードの駆動素子に関する駆動素子データファ
イルと、光量データファイルと前記駆動素子データファ
イルを元に発光ダイオードと駆動素子の組み合わせを選
択し選択した発光ダイオードのペレットを位置データフ
ァイルに従って特定する選択手段とで自動的に最適な発
光ダイオードぺレットと駆動素子の対を選択することも
できる。

【００３７】

【発明の効果】上述の様に本発明では、位置データは整
列したペレットを不連続に位置検出して求められ、位置
検出しないペレットの位置データは演算して求められ
る。この様にして演算に要する時間は極めて短いので、
全数位置検出する従来の方法と比べ、位置検出に要する
時間は短縮され、全体の作業時間が短くなる。また、特
性データと位置データは各々ペレットの整列順に求めら
れるので、両データは正確に対応できる。

【００３８】更に望しくは本発明では、光量のばらつき
によりランク分けされ特定のランクに属する発光ダイオ
ードの位置ファイルと、出力のばらつきによりランク分
けされ特定のランクに属する駆動素子の位置ファイルを
検索し、所定の各素子を検索しマウントする。故に、低
光量の発光ダイオードと高出力の駆動素子の組合せ、又
は高光量の発光ダイオードと低出力の駆動素子の組合せ
によるマウントができ各発光ダイオードに於て所定の輝
度が維持できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本実施例に係るペレット選択装置のブロック図
である。

【図２】本発明の実施例に係る半導体ペレットマウント
方法に於ける、半導体ウエハを説明する図面である。

【図３】図２のＡＡ断面図を用いて半導体ウエハの特性
を測定する工程を説明する図面である。

【図４】発光ダイオードのペレットの平面図である。

【図５】特性ファイルの内容の説明図である。

【図６】本発明の実施例に係る半導体ペレットマウント
方法に用いられるウエハセットの平面図である。

【図７】図６のＢＢ断面図にかかるウエハセットの説明
図である。

【図８】本発明の第１実施例に係る半導体ペレットマウ
ント方法に於ける、位置データを得る工程を説明する図
面である。

【図９】ぺレットファイルと位置データファイルの内容
の説明図である。

【図１０】本発明の第１実施例に係る半導体ペレットマ
ウント方法に於ける、マウントする工程を説明する図面
である。

【図１１】本発明の第２実施例に係る半導体ペレットマ
ウント方法に於ける、発光ダイオードと駆動素子の組合
せ表である。

【図１２】駆動素子データファイルの内容の説明図であ
る。

【図１３】メモリＲに書き込まれた参照テーブルの説明
図である。

【符号の説明】

１ ペレット ２ａ 光量データファイル ２ｂ 位置データファイル ２ｃ 駆動素子データファイル ３ 駆動素子 ８ 選択手段 １０ 半導体ウエハ

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 半導体ウエハに於ける整列した各ペレッ
   トの特性を測定し、各ペレットの整列順に求められた特
   性データからなる特性ファイルを作成する工程と、各ペ
   レットの位置を検出した位置データに基づき位置ファイ
   ルを作成する工程と、前記特性ファイルから予じめ指定
   された特性を持つペレットを検索し、検索したペレット
   をマウントする工程とを備え、前記位置データは整列し
   たペレットを不連続に位置検出して求められ、位置検出
   しないペレットの位置データは演算して求められ、各ペ
   レットの整列順に位置データが求められ、ペレットファ
   イルは前記位置データに対応する前記特性データを有す
   る事を特徴とする半導体ペレットのマウント方法。
2. 【請求項２】 前記半導体ウエハは発光ダイオード用ウ
   エハと発光ダイオードを駆動する駆動素子用ウエハの２
   種類があり、光量のばらつきによりランク分けされ特定
   のランクに属する発光ダイオードのペレットファイル
   と、出力のばらつきによりランク分けされ特定のランク
   に属する駆動素子の駆動素子データファイルを検索し、
   所定の各々の素子を検索しマウントする事を特徴とする
   請求項１の半導体ペレットマウント方法。
3. 【請求項３】 整列された半導体のペレットの各々の特
   性を測定して得た特性データと、当該半導体のぺレット
   の一部を位置検出して得られた位置データを元に演算に
   よって得られた各々のペレットの位置データとを組み合
   わせてペレットファイルを作成し、該ペレットファイル
   から予じめ指定された特性を持つペレットを選択し、選
   択したペレットを位置データに基づいてマウントするこ
   とを特徴とする半導体ペレットのマウント方法。
4. 【請求項４】 整列した発光ダイオードのぺレットの各
   々の光量を測定して得られた光量データファイルと、前
   記発光ダイオードの複数のぺレットの位置を演算により
   求めた位置データファイルと、前記発光ダイオードの駆
   動素子に関する駆動素子データファイルと、前記光量デ
   ータファイルと前記駆動素子データファイルを元に発光
   ダイオードと駆動素子の組み合わせを選択し選択した発
   光ダイオードのペレットを前記位置データファイルに従
   って特定する選択手段とを具備したことを特徴とするぺ
   レット選択装置。