JPH08235803A - 磁気記録再生装置および磁気ヘッド支持機構 - Google Patents
磁気記録再生装置および磁気ヘッド支持機構Info
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- JPH08235803A JPH08235803A JP3825095A JP3825095A JPH08235803A JP H08235803 A JPH08235803 A JP H08235803A JP 3825095 A JP3825095 A JP 3825095A JP 3825095 A JP3825095 A JP 3825095A JP H08235803 A JPH08235803 A JP H08235803A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 媒体追従性に優れ摺動摩耗の少ない磁気記録
再生装置を提供する。 【構成】 磁気記録再生装置に用いられる浮動ヘッドス
ライダ３は、２つのチャンファ１４，１５と空気軸受け
面１６，１７とを有するテーパードフラット型スライダ
であり、この中央部の空気流出端側には磁気ヘッド支持
機構１１を備えている。この磁気ヘッド支持機構１１
は、電磁変換素子１０を搭載し磁気記録媒体と間欠もし
くは完全接触する摺動面２１を持つ摺動部材１２と、一
端に摺動部材１２を支持するサスペンション１８と、こ
のサスペンション１８の他端に接合し、磁気記録媒体に
対して、前後，上下，左右のいづれか１軸以上に変位可
能なアクチュエータ１３とを備えている。これにより、
より微小なうねりに対しても追従が可能となり、高速シ
ーク時の電磁変換素子の摩耗を低減することができ、記
録密度を上げ、長期的に信頼性の高い磁気記録再生装置
を提供できる。
再生装置を提供する。 【構成】 磁気記録再生装置に用いられる浮動ヘッドス
ライダ３は、２つのチャンファ１４，１５と空気軸受け
面１６，１７とを有するテーパードフラット型スライダ
であり、この中央部の空気流出端側には磁気ヘッド支持
機構１１を備えている。この磁気ヘッド支持機構１１
は、電磁変換素子１０を搭載し磁気記録媒体と間欠もし
くは完全接触する摺動面２１を持つ摺動部材１２と、一
端に摺動部材１２を支持するサスペンション１８と、こ
のサスペンション１８の他端に接合し、磁気記録媒体に
対して、前後，上下，左右のいづれか１軸以上に変位可
能なアクチュエータ１３とを備えている。これにより、
より微小なうねりに対しても追従が可能となり、高速シ
ーク時の電磁変換素子の摩耗を低減することができ、記
録密度を上げ、長期的に信頼性の高い磁気記録再生装置
を提供できる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気記録再生装置およ
び磁気ヘッド支持機構に関し、特に磁気ディスク装置に
搭載される接触記録用の磁気ヘッド支持機構に関するも
のである。
び磁気ヘッド支持機構に関し、特に磁気ディスク装置に
搭載される接触記録用の磁気ヘッド支持機構に関するも
のである。
【０００２】
【従来の技術】現在、磁気ディスク装置に用いられる磁
気ヘッド支持機構の主流は、完全に磁気記録媒体から浮
上する浮動ヘッドスライダと、それを支持するサスペン
ションとから構成されている。一方、近年の面記録密度
の向上に伴って、磁気ヘッドと磁気記録媒体の表面との
間隔（浮上量）は減少の一途をたどり、現在では再生感
度の高いＭＲ(MagnetoーResistive) ヘッドにおいても、
浮上量が０．１μｍ以下のものが出現している。また、
通常の薄膜ＩＤ(Inductive) ヘッドでは、すでに浮上量
が０．０５μｍ以下の磁気ヘッドの開発が行われている
状況である。
気ヘッド支持機構の主流は、完全に磁気記録媒体から浮
上する浮動ヘッドスライダと、それを支持するサスペン
ションとから構成されている。一方、近年の面記録密度
の向上に伴って、磁気ヘッドと磁気記録媒体の表面との
間隔（浮上量）は減少の一途をたどり、現在では再生感
度の高いＭＲ(MagnetoーResistive) ヘッドにおいても、
浮上量が０．１μｍ以下のものが出現している。また、
通常の薄膜ＩＤ(Inductive) ヘッドでは、すでに浮上量
が０．０５μｍ以下の磁気ヘッドの開発が行われている
状況である。
【０００３】磁気ヘッドの浮上量を下げるためには、磁
気記録媒体面の凹凸および微小突起の大きさを浮上量以
下に下げる必要がある。信頼性の高い浮上系を得るため
には、磁気記録媒体の表面粗さを少なくとも浮上量の１
／２以下にすることが望まれており、浮上量が０．０５
μｍ以下の磁気ヘッドを用いる場合には、表面粗さが
０．０２５μｍ以下の磁気記録媒体を用いる必要があ
る。
気記録媒体面の凹凸および微小突起の大きさを浮上量以
下に下げる必要がある。信頼性の高い浮上系を得るため
には、磁気記録媒体の表面粗さを少なくとも浮上量の１
／２以下にすることが望まれており、浮上量が０．０５
μｍ以下の磁気ヘッドを用いる場合には、表面粗さが
０．０２５μｍ以下の磁気記録媒体を用いる必要があ
る。
【０００４】ここで、ＣＳＳ(Contact-Start-stop)方式
の磁気ディスク装置では、非動作時において、浮動ヘッ
ドスライダは、サスペンションによって磁気記録媒体の
表面に押し付けられているため、比較的広い平滑な空気
軸受け面を有する現在の浮動ヘッドスライダと磁気記録
媒体の表面とが吸着現象を生じ易く、装置動作開始時に
磁気ヘッド支持機構が破壊されるという危険性がある。
の磁気ディスク装置では、非動作時において、浮動ヘッ
ドスライダは、サスペンションによって磁気記録媒体の
表面に押し付けられているため、比較的広い平滑な空気
軸受け面を有する現在の浮動ヘッドスライダと磁気記録
媒体の表面とが吸着現象を生じ易く、装置動作開始時に
磁気ヘッド支持機構が破壊されるという危険性がある。
【０００５】このため、サスペンションの押圧荷重およ
び浮動ヘッドスライダの形状をできるだけ小型化する方
向で、開発が進められているが、最も有望なものとして
接触記録対応の磁気ヘッド支持機構がある。これは数十
μｍ角のコンタクトパッド上に磁気ヘッドを形成し、数
十〜数百ｍｇの押圧荷重でヘッドを磁気記録媒体面に押
し付けて記録再生を行うものである。
び浮動ヘッドスライダの形状をできるだけ小型化する方
向で、開発が進められているが、最も有望なものとして
接触記録対応の磁気ヘッド支持機構がある。これは数十
μｍ角のコンタクトパッド上に磁気ヘッドを形成し、数
十〜数百ｍｇの押圧荷重でヘッドを磁気記録媒体面に押
し付けて記録再生を行うものである。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】接触記録用の磁気ヘッ
ド支持機構は、浮上系磁気ヘッド支持機構に対してより
磁気記録媒体面に近接させることが可能となるため、従
来の長手記録（媒体面内方向に磁化される）よりも高密
度化が期待できる垂直記録（媒体面に対して垂直に磁化
される）に対しては有利であるが、磁気ヘッドを支持す
るコンタクトパッドが磁気記録媒体面を常に接触摺動す
るため、磁気ヘッドおよび磁気記録媒体の保護膜が破損
する可能性が高く、長期的に信頼性を維持する上で難点
がある。
ド支持機構は、浮上系磁気ヘッド支持機構に対してより
磁気記録媒体面に近接させることが可能となるため、従
来の長手記録（媒体面内方向に磁化される）よりも高密
度化が期待できる垂直記録（媒体面に対して垂直に磁化
される）に対しては有利であるが、磁気ヘッドを支持す
るコンタクトパッドが磁気記録媒体面を常に接触摺動す
るため、磁気ヘッドおよび磁気記録媒体の保護膜が破損
する可能性が高く、長期的に信頼性を維持する上で難点
がある。
【０００７】現在、実用化されている接触記録用の磁気
ヘッド支持機構は、この難点を避けるため、従来のもの
に比べて非常に低い荷重を採用しているが、磁気ヘッド
に比較して支持サスペンションが巨大であり、かつ剛性
が低く、磁気記録媒体上のランナウト等の低い周波数の
大きなうねりに対しては追従するが、高周波のうねりに
対する追従性は十分ではなく、また、高速なシーク動作
に対して、比較的低い周波数の振動、いわゆる“ばたつ
き”を励起しやすいため、シーク時間の短縮には不利に
なることや、磁気記録媒体との高速摺動によって磁気ヘ
ッドの摺動部分の摩耗が激しくなるという欠点がある。
ヘッド支持機構は、この難点を避けるため、従来のもの
に比べて非常に低い荷重を採用しているが、磁気ヘッド
に比較して支持サスペンションが巨大であり、かつ剛性
が低く、磁気記録媒体上のランナウト等の低い周波数の
大きなうねりに対しては追従するが、高周波のうねりに
対する追従性は十分ではなく、また、高速なシーク動作
に対して、比較的低い周波数の振動、いわゆる“ばたつ
き”を励起しやすいため、シーク時間の短縮には不利に
なることや、磁気記録媒体との高速摺動によって磁気ヘ
ッドの摺動部分の摩耗が激しくなるという欠点がある。
【０００８】本発明の目的は、これらの欠点を解決し、
媒体追従性に優れ、記録密度向上が容易な磁気記録再生
装置および磁気ヘッド支持装置を提供することにある。
媒体追従性に優れ、記録密度向上が容易な磁気記録再生
装置および磁気ヘッド支持装置を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の磁気記録再生装置は、磁気記録媒体に対向
して記録再生を行う電磁変換器と、この電磁変換器を支
持する磁気ヘッド支持機構と、前記磁気ヘッド支持機構
を支持しかつ空気軸受け作用により前記磁気記録媒体か
ら所定間隔で浮上する浮動ヘッドスライダと、前記浮動
ヘッドスライダを支持し所定の荷重を加えるサスペンシ
ョン機構と、前記サスペンションを移動させ前記電磁変
換器を位置決めするアクセス機構を備える磁気記録再生
装置において、前記磁気ヘッド支持機構が、前記磁気記
録媒体に対し間欠もしくは完全接触する摺動部材と、こ
の摺動部材に搭載される前記電磁変換器と、前記摺動部
材を支持するサスペンション機構と、前記サスペンショ
ン機構を支持し前記磁気記録媒体に対して少なくとも前
後，上下，左右のいづれか１軸に移動可能で前記浮動ヘ
ッドスライダ内部に接続されるアクチュエータとを備え
ている。
に、本発明の磁気記録再生装置は、磁気記録媒体に対向
して記録再生を行う電磁変換器と、この電磁変換器を支
持する磁気ヘッド支持機構と、前記磁気ヘッド支持機構
を支持しかつ空気軸受け作用により前記磁気記録媒体か
ら所定間隔で浮上する浮動ヘッドスライダと、前記浮動
ヘッドスライダを支持し所定の荷重を加えるサスペンシ
ョン機構と、前記サスペンションを移動させ前記電磁変
換器を位置決めするアクセス機構を備える磁気記録再生
装置において、前記磁気ヘッド支持機構が、前記磁気記
録媒体に対し間欠もしくは完全接触する摺動部材と、こ
の摺動部材に搭載される前記電磁変換器と、前記摺動部
材を支持するサスペンション機構と、前記サスペンショ
ン機構を支持し前記磁気記録媒体に対して少なくとも前
後，上下，左右のいづれか１軸に移動可能で前記浮動ヘ
ッドスライダ内部に接続されるアクチュエータとを備え
ている。
【００１０】また、前記磁気ヘッド支持機構であって、
前記アクチュエータは、それぞれ分極方向の異なる複数
の圧電素子を積層してもよく、磁気記録媒体に対向する
摺動部材の表面に負圧を発生させる形状を有してもよ
い。
前記アクチュエータは、それぞれ分極方向の異なる複数
の圧電素子を積層してもよく、磁気記録媒体に対向する
摺動部材の表面に負圧を発生させる形状を有してもよ
い。
【００１１】さらに、本発明の磁気ヘッド支持機構は、
電磁変換器を搭載し磁気記録媒体に対向して摺動する摺
動部材と、前記摺動部材を支持する第１のサスペンショ
ンと、前記第１のサスペンションの前記摺動部材支持側
に直接もしくは緩衝部材を介して接合される第２のサス
ペンションと、前記第１もしくは第２のサスペンション
もしくは双方のサスペンションの他端に接合し、かつ前
記第１のサスペンションに対して前記第２のサスペンシ
ョンを前記第１のサスペンションの長手方向もしくは離
反させる方向もしくはその２つの方向への変位可能なア
クチュエータとを備えている。また、前記摺動部材の表
面に負圧を発生させる形状を有してもよく、この磁気ヘ
ッド支持機構を前記磁気ヘッド支持機構に代えて、前記
磁気記録再生装置に搭載してもよい。
電磁変換器を搭載し磁気記録媒体に対向して摺動する摺
動部材と、前記摺動部材を支持する第１のサスペンショ
ンと、前記第１のサスペンションの前記摺動部材支持側
に直接もしくは緩衝部材を介して接合される第２のサス
ペンションと、前記第１もしくは第２のサスペンション
もしくは双方のサスペンションの他端に接合し、かつ前
記第１のサスペンションに対して前記第２のサスペンシ
ョンを前記第１のサスペンションの長手方向もしくは離
反させる方向もしくはその２つの方向への変位可能なア
クチュエータとを備えている。また、前記摺動部材の表
面に負圧を発生させる形状を有してもよく、この磁気ヘ
ッド支持機構を前記磁気ヘッド支持機構に代えて、前記
磁気記録再生装置に搭載してもよい。
【００１２】
【実施例】次に、本発明について図面を参照して説明す
る。
る。
【００１３】図１は、本発明の請求項第１項に係わる磁
気記録再生装置の構成の概略を示す図である。本発明の
磁気記録再生装置の主要構成は、図１に示すように、ス
ピンドル８に取り付けられた磁気記録媒体１と、磁気記
録媒体１と一定間隔をおいて浮揚する浮動ヘッドスライ
ダ３と、浮動ヘッドスライダ３を支持し、さらに荷重を
加えるサスペンション２と、サスペンション２を支持す
るアーム４と、アーム４の揺動運動させるための軸受５
と、コイル６および永久磁石７を有するアクセス機構９
とを含んいる。
気記録再生装置の構成の概略を示す図である。本発明の
磁気記録再生装置の主要構成は、図１に示すように、ス
ピンドル８に取り付けられた磁気記録媒体１と、磁気記
録媒体１と一定間隔をおいて浮揚する浮動ヘッドスライ
ダ３と、浮動ヘッドスライダ３を支持し、さらに荷重を
加えるサスペンション２と、サスペンション２を支持す
るアーム４と、アーム４の揺動運動させるための軸受５
と、コイル６および永久磁石７を有するアクセス機構９
とを含んいる。
【００１４】続いて、上記のように構成された本実施例
の動作について説明する。
の動作について説明する。
【００１５】本実施例では、スピンドル８によって磁気
記録媒体１が回転すると、磁気記録媒体１に対向する浮
動ヘッドスライダ３が、磁気記録媒体１の表面上に発生
する空気流を圧縮して圧力を発生させ、この圧力とサス
ペンション２によって加えられる荷重とにより釣り合う
隙間で、浮動ヘッドスライダ３に搭載された電磁変換素
子１０を浮揚させる。
記録媒体１が回転すると、磁気記録媒体１に対向する浮
動ヘッドスライダ３が、磁気記録媒体１の表面上に発生
する空気流を圧縮して圧力を発生させ、この圧力とサス
ペンション２によって加えられる荷重とにより釣り合う
隙間で、浮動ヘッドスライダ３に搭載された電磁変換素
子１０を浮揚させる。
【００１６】一方、アクセス機構９は、永久磁石７と磁
束とコイル６に流す電流とによる磁束より駆動力を発生
する。そして、軸受５を中心にアーム４を回転させ、電
磁変換素子１０を磁気記録媒体１の任意のトラック上に
位置決めし、情報の記録再生を行なう。
束とコイル６に流す電流とによる磁束より駆動力を発生
する。そして、軸受５を中心にアーム４を回転させ、電
磁変換素子１０を磁気記録媒体１の任意のトラック上に
位置決めし、情報の記録再生を行なう。
【００１７】図２は、図１の浮動ヘッドスライダ３の構
成を示す図であって、図２（ａ）は外観を示す図であ
り、図２（ｂ）は、同図（ａ）の磁気ヘッド支持機構１
１の詳細を示す斜視図である。
成を示す図であって、図２（ａ）は外観を示す図であ
り、図２（ｂ）は、同図（ａ）の磁気ヘッド支持機構１
１の詳細を示す斜視図である。
【００１８】浮動ヘッドスライダ３は、図２（ａ）に示
すように、２つのチャンファ１４，１５と空気軸受け面
１６，１７とを有する最も一般的なテーパードフラット
型スライダである。この浮動ヘッドスライダ３は、その
長さの数倍程度の波長のうねりには追従するが、その波
長以下の微小なうねりに対しては鈍感となり、電磁変換
素子による再生信号の出力変動として現れるため、記録
密度向上の妨げとなる。
すように、２つのチャンファ１４，１５と空気軸受け面
１６，１７とを有する最も一般的なテーパードフラット
型スライダである。この浮動ヘッドスライダ３は、その
長さの数倍程度の波長のうねりには追従するが、その波
長以下の微小なうねりに対しては鈍感となり、電磁変換
素子による再生信号の出力変動として現れるため、記録
密度向上の妨げとなる。
【００１９】これに対して、本実施例では、浮動ヘッド
スライダ３の中央部の空気流出端側に、より微小なうね
りに対して追従が可能な磁気ヘッド支持機構１１を採用
することにより、電磁変換素子から低出力の信号を安定
に取り出すこと可能とし、記録密度の向上をはかってい
る。
スライダ３の中央部の空気流出端側に、より微小なうね
りに対して追従が可能な磁気ヘッド支持機構１１を採用
することにより、電磁変換素子から低出力の信号を安定
に取り出すこと可能とし、記録密度の向上をはかってい
る。
【００２０】この磁気ヘッド支持機構１１は、図２
（ｂ）に示すように、一端に電磁変換素子１０を搭載す
る摺動部材１２を保持し、他端はｘ，ｙ，ｚ軸方向（図
中、矢印で示す）へ移動可能な微小アクチュエータ１３
を介して浮動ヘッドスライダ３中に支持されている。
（ｂ）に示すように、一端に電磁変換素子１０を搭載す
る摺動部材１２を保持し、他端はｘ，ｙ，ｚ軸方向（図
中、矢印で示す）へ移動可能な微小アクチュエータ１３
を介して浮動ヘッドスライダ３中に支持されている。
【００２１】これにより、磁気記録媒体（図示せず）の
表面に平行なｘ，ｙ方向の変位によって、サーマルオフ
トラック補正と記録トラックに対する電磁変換素子のア
ジマス角の補正とが可能になるとともに、ｚ方向の変位
によってアクセス時における摺動部材の摩耗抵抗の低減
が可能になり、磁気記録再生装置としての信頼性を格段
に向上させることができる。また、摺動部材１２に設け
られている摺動面２１は、記録再生時には連続的に磁気
記録媒体面と摺動し、電磁変換素子１０と磁気記録層と
の間隔を極小に保つ。
表面に平行なｘ，ｙ方向の変位によって、サーマルオフ
トラック補正と記録トラックに対する電磁変換素子のア
ジマス角の補正とが可能になるとともに、ｚ方向の変位
によってアクセス時における摺動部材の摩耗抵抗の低減
が可能になり、磁気記録再生装置としての信頼性を格段
に向上させることができる。また、摺動部材１２に設け
られている摺動面２１は、記録再生時には連続的に磁気
記録媒体面と摺動し、電磁変換素子１０と磁気記録層と
の間隔を極小に保つ。
【００２２】図３は、本発明の請求項第２項に係わる磁
気ヘッド支持機構のアクチュエータの詳細な構成を示す
展開斜視図である。
気ヘッド支持機構のアクチュエータの詳細な構成を示す
展開斜視図である。
【００２３】本実施例のアクチュエータは、図３に示す
ように、分極方向の異なる３つの圧電素子１３ａ，１３
ｂおよび１３ｃを積層して構成したアクチュエータであ
って、圧電素子１３ａ，１３ｂには、電極１９ａ，１９
ｂがそれぞれ設けられ、また、圧電素子１３ａ，１３ｂ
および１３ｃの間には、絶縁層２０ａ，２０ｂが設けら
れ、それぞれ厚み滑り方向の変位が直交するように構成
されている。そして、圧電素子１３ｃにはサスペンショ
ン１８の一端が取り付けられている。なお、図中、圧電
素子１３ａ，１３ｂおよび１３ｃの稜に平行な矢印ｘ，
ｙ，ｚは、圧電素子の厚み滑りによる変位方向を示し、
また、圧電素子１３ａ，１３ｂの側面に画いた複数の矢
印は、分極方向を示している。
ように、分極方向の異なる３つの圧電素子１３ａ，１３
ｂおよび１３ｃを積層して構成したアクチュエータであ
って、圧電素子１３ａ，１３ｂには、電極１９ａ，１９
ｂがそれぞれ設けられ、また、圧電素子１３ａ，１３ｂ
および１３ｃの間には、絶縁層２０ａ，２０ｂが設けら
れ、それぞれ厚み滑り方向の変位が直交するように構成
されている。そして、圧電素子１３ｃにはサスペンショ
ン１８の一端が取り付けられている。なお、図中、圧電
素子１３ａ，１３ｂおよび１３ｃの稜に平行な矢印ｘ，
ｙ，ｚは、圧電素子の厚み滑りによる変位方向を示し、
また、圧電素子１３ａ，１３ｂの側面に画いた複数の矢
印は、分極方向を示している。
【００２４】次に、このアクチュエータの動作について
説明する。まず、圧電素子１３ａ，１３ｂの電極１９
ａ，１９ｂにそれぞれ電圧を加えると、磁気記録媒体
（図示せず）の表面に平行な２軸のアクチュエータを構
成する。また、圧電素子１３ｃはピエゾバイモルフであ
って、電圧を加えることにより曲げ変位が拡大され、磁
気記録媒体面に対して垂直変位が可能となる。なお、こ
こに示す圧電素子の組み合わせは一例であって、圧電素
子の積層順や、他の分極方向を有する圧電素子との組み
合わせ等は任意に変更が可能である。
説明する。まず、圧電素子１３ａ，１３ｂの電極１９
ａ，１９ｂにそれぞれ電圧を加えると、磁気記録媒体
（図示せず）の表面に平行な２軸のアクチュエータを構
成する。また、圧電素子１３ｃはピエゾバイモルフであ
って、電圧を加えることにより曲げ変位が拡大され、磁
気記録媒体面に対して垂直変位が可能となる。なお、こ
こに示す圧電素子の組み合わせは一例であって、圧電素
子の積層順や、他の分極方向を有する圧電素子との組み
合わせ等は任意に変更が可能である。
【００２５】図４は、本発明の請求項第３項に係わる磁
気ヘッド支持機構の摺動部材を示す斜視図である。
気ヘッド支持機構の摺動部材を示す斜視図である。
【００２６】磁気記録媒体の表面は極めて滑らかな平面
であるため、磁気ヘッド支持機構の摺動部材は、その摺
動面が平面であると偏摩耗が生じることがある。従っ
て、図４に示すように、特に、電磁変換素子１０が磁気
記録媒体と接触する部分の接触状態を均一化するため、
摺動部材１２の摺動面２１上には、電磁変換素子１０に
隣接して設けられたコンタクトパッド３０と、略馬蹄形
の空気軸受け面３１とを備えて正圧を発生するととも
に、負圧を発生する負圧ポケット３２を形成している。
であるため、磁気ヘッド支持機構の摺動部材は、その摺
動面が平面であると偏摩耗が生じることがある。従っ
て、図４に示すように、特に、電磁変換素子１０が磁気
記録媒体と接触する部分の接触状態を均一化するため、
摺動部材１２の摺動面２１上には、電磁変換素子１０に
隣接して設けられたコンタクトパッド３０と、略馬蹄形
の空気軸受け面３１とを備えて正圧を発生するととも
に、負圧を発生する負圧ポケット３２を形成している。
【００２７】これにより、摺動面２１の“ばたつき”に
よる電磁変換素子１０の接触状態の変動を抑制するとと
もに、空気膜のダンピング効果によって、振動の減衰を
高めることができ、その結果として、電磁変換素子１０
の磁気記録媒体への追従性を向上させることができる。
よる電磁変換素子１０の接触状態の変動を抑制するとと
もに、空気膜のダンピング効果によって、振動の減衰を
高めることができ、その結果として、電磁変換素子１０
の磁気記録媒体への追従性を向上させることができる。
【００２８】図５は、本発明の請求項４に関わる磁気ヘ
ッド支持機構およびアクチュエータの動作を説明する図
であって、図５（ａ）は斜視図であり、また、図５
（ｂ）は側面図である。
ッド支持機構およびアクチュエータの動作を説明する図
であって、図５（ａ）は斜視図であり、また、図５
（ｂ）は側面図である。
【００２９】本実施例は、図５（ａ），同図（ｂ）に示
すように、サスペンションＡ４１は、その先端の磁気記
録媒体面に対向する面に、摺動部材１２の摺動面２１の
反対面が接合され、また、摺動部材１２が接合されたサ
スペンションＡ４１の反対面には、緩衝部材４２を介し
てサスペンションＢ４３が接合されている。そして、サ
スペンションＢ４３のアーム側（アクチュエータ４４が
接合してある側）には、ｘ，ｚ方向へ変位可能なアクチ
ュエータ４４が接合されている。ここで、サスペンショ
ンＡ４１とサスペンションＢ４３との曲げ剛性および伸
び方向の剛性について、形状もしくは材料特性によって
強弱を持たせることで、一方のサスペンションを効果的
に変形させることが可能となる。
すように、サスペンションＡ４１は、その先端の磁気記
録媒体面に対向する面に、摺動部材１２の摺動面２１の
反対面が接合され、また、摺動部材１２が接合されたサ
スペンションＡ４１の反対面には、緩衝部材４２を介し
てサスペンションＢ４３が接合されている。そして、サ
スペンションＢ４３のアーム側（アクチュエータ４４が
接合してある側）には、ｘ，ｚ方向へ変位可能なアクチ
ュエータ４４が接合されている。ここで、サスペンショ
ンＡ４１とサスペンションＢ４３との曲げ剛性および伸
び方向の剛性について、形状もしくは材料特性によって
強弱を持たせることで、一方のサスペンションを効果的
に変形させることが可能となる。
【００３０】本実施例では、サスペンションＢ４３の方
がサスペンションＡ４１よりも剛性が大きく設定されて
いる。そして、図５（ｂ）に示すように、アクチュエー
タ４４を２つの矢印の方向に変位させ、サスペンション
Ａ４１およびサスペンションＢ４３の双方の先端を磁気
録媒体から離反させる方向へ変位させると同時に、サス
ペンションＡ４１に対して、サスペンションＢ４３を前
記アーム側へ変位させる。
がサスペンションＡ４１よりも剛性が大きく設定されて
いる。そして、図５（ｂ）に示すように、アクチュエー
タ４４を２つの矢印の方向に変位させ、サスペンション
Ａ４１およびサスペンションＢ４３の双方の先端を磁気
録媒体から離反させる方向へ変位させると同時に、サス
ペンションＡ４１に対して、サスペンションＢ４３を前
記アーム側へ変位させる。
【００３１】これにより、摺動部材１２を磁気記録媒体
１の表面から離反させる、およびサスペンションＡ４
１，Ｂ４３によって摺動部材１２に加えられる荷重を低
減することが可能となり、高速シーク時における摺動部
材１２の摩耗を低減できる。
１の表面から離反させる、およびサスペンションＡ４
１，Ｂ４３によって摺動部材１２に加えられる荷重を低
減することが可能となり、高速シーク時における摺動部
材１２の摩耗を低減できる。
【００３２】以上、本発明の実施例について詳細に述べ
たが、使用する材料等の変更は、本発明の主旨を逸脱し
ない範囲で行なってもよく、以上の記述が本発明の範囲
を限定するものではない。
たが、使用する材料等の変更は、本発明の主旨を逸脱し
ない範囲で行なってもよく、以上の記述が本発明の範囲
を限定するものではない。
【００３３】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、接
触記録再生を行う電磁変換素子と磁気記録媒体との接触
状態の変動を抑制し、高速シーク時の電磁変換素子の摩
耗を低減することによって記録密度を向上させ、長期的
な信頼性の高い磁気記録再生装置を提供することができ
る。
触記録再生を行う電磁変換素子と磁気記録媒体との接触
状態の変動を抑制し、高速シーク時の電磁変換素子の摩
耗を低減することによって記録密度を向上させ、長期的
な信頼性の高い磁気記録再生装置を提供することができ
る。
【図１】本発明の請求項１に係わる磁気記録再生装置の
構成の概略を示す図である。
構成の概略を示す図である。
【図２】図１の浮動ヘッドスライダ３の構成を示す図で
ある。
ある。
【図３】本発明の請求項２に係わる磁気ヘッド支持機構
におけるアクチュエータの詳細な構成を示す展開斜視図
である。
におけるアクチュエータの詳細な構成を示す展開斜視図
である。
【図４】本発明の請求項３に係わる磁気ヘッド支持機構
における摺動部材を示す斜視図である。
における摺動部材を示す斜視図である。
【図５】本発明の請求項４に関わる磁気ヘッド支持機構
およびアクチュエータの動作を説明する図である。
およびアクチュエータの動作を説明する図である。
１ 磁気記録媒体 ２，１８ サスペンション ３ 浮動ヘッドスライダ ４ アーム ５ 軸受け ６ コイル ７ 永久磁石 ８ スピンドル ９ アクセス機構 １０ 電磁変換素子 １１ 磁気ヘッド支持機構 １２ 摺動部材 １３，４４ アクチュエータ １３ａ，１３ｂ 圧電素子 １３ｃ ピエゾバイモルフ １４，１５ チャンファ １６，１７ 空気軸受け面 １９ａ，１９ｂ 電極 ２０ａ，２０ｂ 絶縁膜 ２１ 摺動面 ３０ コンタクトパッド ３１ 空気軸受け面 ３２ 負圧ポケット ４１ サスペンションＡ ４２ 緩衝部材 ４３ サスペンションＢ
Claims (7)
- 【請求項１】 磁気記録媒体に対向して記録再生を行う
電磁変換器と、この電磁変換器を支持する磁気ヘッド支
持機構と、前記磁気ヘッド支持機構を支持しかつ空気軸
受け作用により前記磁気記録媒体から所定間隔で浮上す
る浮動ヘッドスライダと、前記浮動ヘッドスライダを支
持し所定の荷重を加えるサスペンション機構と、前記サ
スペンションを移動させ前記電磁変換器を位置決めする
アクセス機構を備える磁気記録再生装置において、 前記磁気ヘッド支持機構が、前記磁気記録媒体に対し間
欠もしくは完全接触する摺動部材と、この摺動部材に搭
載される前記電磁変換器と、前記摺動部材を支持するサ
スペンション機構と、前記サスペンション機構を支持し
前記磁気記録媒体に対して少なくとも前後，上下，左右
のいづれか１軸に移動可能で前記浮動ヘッドスライダ内
部に接続されるアクチュエータとを備えることを特徴と
する磁気記録再生装置。 - 【請求項２】 前記アクチュエータが、それぞれ分極方
向の異なる複数の圧電素子を積層した構成からなること
を特徴とする請求項１記載の磁気記録再生装置。 - 【請求項３】 前記磁気ヘッド支持機構が、磁気記録媒
体に対向する摺動部材の表面に負圧を発生させる形状を
有することを特徴とする請求項１または２記載の磁気記
録再生装置。 - 【請求項４】 電磁変換器を搭載し磁気記録媒体に対向
して摺動する摺動部材と、前記摺動部材を支持する第１
のサスペンションと、前記第１のサスペンションの前記
摺動部材支持側に直接もしくは緩衝部材を介して接合さ
れる第２のサスペンションと、前記第１もしくは第２の
サスペンションもしくは双方のサスペンションの他端に
接合し、かつ前記第１のサスペンションに対して前記第
２のサスペンションを前記第１のサスペンションの長手
方向もしくは離反させる方向もしくはその２つの方向へ
の変位可能なアクチュエータとを備えることを特徴とす
る磁気ヘッド支持機構。 - 【請求項５】 前記摺動部材の表面に負圧を発生させる
形状を有することを特徴とする請求項４記載の磁気ヘッ
ド支持機構。 - 【請求項６】 請求項１記載の磁気記録再生装置におい
て、前記磁気ヘッド支持機構を、請求項４記載の磁気ヘ
ッド支持機構に代えたことを特徴とする磁気記録再生装
置。 - 【請求項７】 請求項１記載の磁気記録再生装置におい
て、前記磁気ヘッド支持機構を、請求項５記載の磁気ヘ
ッド支持機構に代えたことを特徴とする磁気記録再生装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7038250A JP2757807B2 (ja) | 1995-02-27 | 1995-02-27 | 磁気記録再生装置および磁気ヘッド支持機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7038250A JP2757807B2 (ja) | 1995-02-27 | 1995-02-27 | 磁気記録再生装置および磁気ヘッド支持機構 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08235803A true JPH08235803A (ja) | 1996-09-13 |
| JP2757807B2 JP2757807B2 (ja) | 1998-05-25 |
Family
ID=12520072
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7038250A Expired - Fee Related JP2757807B2 (ja) | 1995-02-27 | 1995-02-27 | 磁気記録再生装置および磁気ヘッド支持機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2757807B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002067261A1 (fr) * | 2001-02-20 | 2002-08-29 | Fujitsu Limited | Curseur de tete et son procede de production |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6289285A (ja) * | 1985-10-15 | 1987-04-23 | Nec Corp | 負圧浮動ヘツドセルフロ−デイングアクチユエ−タ機構 |
| JPS63155478A (ja) * | 1986-12-19 | 1988-06-28 | Nec Corp | 磁気ヘツドの位置決め方式 |
| JPH03263664A (ja) * | 1990-02-02 | 1991-11-25 | Hitachi Ltd | 磁気ヘッドスライダ |
| JPH045048A (ja) * | 1990-04-24 | 1992-01-09 | Brother Ind Ltd | 転写物 |
-
1995
- 1995-02-27 JP JP7038250A patent/JP2757807B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| EP1363286A1 (en) * | 2001-02-20 | 2003-11-19 | Fujitsu Limited | Head slider and method of producing the same |
| JPWO2002067261A1 (ja) * | 2001-02-20 | 2004-06-24 | 富士通株式会社 | ヘッドスライダおよびその製造方法 |
| EP1363286A4 (en) * | 2001-02-20 | 2006-04-26 | Fujitsu Ltd | HEAD SHIFTER AND METHOD FOR THE PRODUCTION THEREOF |
| US7095591B2 (en) | 2001-02-20 | 2006-08-22 | Fujitsu Limited | Head slider having microactuator |
| KR100740572B1 (ko) * | 2001-02-20 | 2007-07-19 | 후지쯔 가부시끼가이샤 | 헤드 슬라이더 및 그 제조 방법 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2757807B2 (ja) | 1998-05-25 |
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