JPH03263664A - 磁気ヘッドスライダ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は磁気ディスク装置用磁気ヘッドスライダに係り
、特に、高線記録密度の磁気ディスク用に、また、高信
頼性確保するのに適した搭載する磁気ヘッドが磁気ディ
スクに微小圧力で接触することを可能とする磁気ヘッド
スライダにする。

〔従来の技術〕

従来の磁気ディスク装置用浮動ヘッドスライダは、例え
ば、特公昭５７−５６９号公報に記載のように、回転す
る磁気ディスク面との間に空気膜を形成し、サブミクロ
ンオーダの距離（一般に浮上量と呼ばれている）を保っ
て浮動している。磁気ディスク面にデータを書き込む、
あるいは読み出すための磁気ヘッドは前記スライダの空
気流出端面に固定して設けられている。また、特公昭６
２−２５０５７０号公報に記載のように、空気ベアリン
グスライダ（浮動スライダ）により変換ヘッドが磁気デ
ィスクの上方の所定の浮上高さに維持されるように前記
ヘッドが前記スライダに取り付けられている。

そして、両者の間に前記スライダに対する前記ヘッドの
相対的な移動を制御する作動手段を設け、前記スライダ
を磁気ディスク面に近づけることなく、前記ヘッドのみ
を磁気ディスクに近づけることが可能となっている。

また、Ｕ　Ｓ　Ｒ４，８１９，０９１号明細書に開示さ
れているように、スライダと磁気ディスクとを物理的に
直接接触させることにより、該スライダに設けられた磁
気変換器も磁気ディスクに接触させて記録及び再生を行
うことにより、高い記録密度を可能にしている。前記ス
ライダの磁気ディスク面との摺動摩耗を防ぎ安定接触を
実現するためにスライダの摺動面には、単結晶、高熱伝
導率、低摩擦係数で高表面エネルギを持つ例えばダイヤ
モンドの＜１１０＞結晶面を持つものが提案されている
。

また、電子情報通信学会技術研究報告Ｍ　Ｒ８９−４に
報告されているように、磁気ヘッドの先端をできるだけ
尖らせ、ディスク対向面の面積を小さくし、また、磁気
ヘッドは磁気ディスク面に垂直な方向のみに動けるよう
に支持して磁気ヘッドと磁気ディスクとのコンタクト状
態を実現し、高線記録密度を達成している。このときの
ヘッド荷重は磁気ヘッドの自重のみで微小な力での接触
を可能としている。

〔発明が解決しようとする課題〕

磁気ディスク装置の記憶容量を増加させる有効な手段の
１つは、磁気ヘッドと磁気ディスクとの距離を狭小化す
ることである。

このため、磁気ヘッドを搭載している前記スライダと磁
気ディスクとの距離を狭小化する方向にある。この距離
は先述したように浮上量と呼ばれ、現在の大容量磁気デ
ィスクの浮上量は０．１５μｍのものまで実用化されて
いる。そして、この浮上量は将来さらに小さくなるもの
と考えられている。

磁気ディスク装置の他の重要な技術課題の１つは装置の
信頼性を確保すること、言い換えればデータの読み出し
／書き込み時の誤動作を防ぐことである。このためには
、磁気ヘッドを搭載している前記スライダと磁気ディス
クとの接触は極力避けなければならない。具体的には前
記スライダが何らかの原因で磁気ディスク面と摺動（接
触）すると、この摺動により磁気ディスク面に書き込ま
れているデータが破壊されてしまう可能性がある。

このため、スライダと磁気ディスクとの接触は極力避け
なければならない。

特公昭５７−５６９号公報に記載されている従来技術は
上記浮上量の狭小化に伴うスライダと磁気ディスクとの
接触による磁気ディスクあるいはスライダの損傷につい
ての配慮がされておらず、上記浮上量の狭小化に問題が
あった。これは、磁気ヘッドがスライダの端面に固定し
搭載されているために、磁気ヘッドを磁気ディスク面に
近接するには、スライダ自体も磁気ディスク面に近接さ
せなければならない。このためスライダ自体が磁気ディ
スクと接触し損傷を与えるという問題である。

また、特公昭６２−２５０５７０号公報に記載されてい
る従来技術では、変換ヘッドが磁気ディスクに接触した
ときの磁気ディスク及び前記ヘッドの損傷について考慮
されていない。具体的には従来技術ではスライダと前記
ヘッドとの間に、スライダに対するヘッドの相対移動を
制御する作動手段を設けているが、この作動手段は電歪
素子で構成され、この作動手段には慣性力遮断機能はな
い。このため、何らかの理由で前記ヘッドが磁気ディス
ク面に接触した場合には磁気ディスク面の受ける衝撃力
（ダメージ）は、前記ヘッドの慣性力（質量）の影響だ
けではなく前記スライダの慣性力の影響も受ける。具体
的には今、スライダ、ヘッドの質量を各々ｒｎ５．　ｍ
Ｒ、ディスク周速Ｕ、接触によるディスクの受ける衝撃
力をＤとすると、Ｄは次式で近似される。

Ｄ　＝　Ｃ・（ｍｓ＋　ｍＲ）　・ＴＪ　　　　　　　
　−（１）ここで、Ｃは定数、また前述したようにｍｓ
）ｌ＞ｍＲの関係がある。このため、式（１）は次のよ
うに近似できる。

Ｄ”ＢＣ−ｍｓ−Ｕ　　　　　　　　　　　−（２）即
ち、磁気ディスクは、上記式（１）の大きさの衝撃力を
受けることになる。

さらに、Ｕ、Ｓ、パテントｌ！１１４，８１９，０９１
号明細書に開示されている高速磁気ディスク接触記録シ
ステムにおいても、スライダとディスクとの接触摺動時
における磁気ディスクの受けるスライダ慣性力によるダ
メージについては考慮されていない。

具体的にはスライダとディスクが接触すると、スライダ
の慣性力（質量）による衝撃力が磁気ディスクに働く、
この衝撃力りは式（１）で表わされる。

また、この従来技術ではスライダと磁気ディスクの摺動
面に単結晶、高熱伝導率、低摩擦係数で高表面エネルギ
を持つ材質を用いなければならないという使用材料の制
約もあった。

また、電子情報通信学会技術研究報告ＭＲ−８９−４に
報告されている従来技術では、磁気ディスクの表面のう
ねり（粗さ）、あるいは高速回転時に発生する空気流に
よるディスク振動に伴う、磁気ヘッドと磁気ディスクと
の接触面圧の変動については考慮されていない。このた
めディスク面にうねりがある場合、あるいは流体振動に
よりディスクが振動した場合には、前記接触面圧が著し
く高くなり、磁気ディスク表面が損傷するという恐れが
あった。さらに、従来技術では磁気ヘッドを半径方向に
移動する場合には、上記した理由によりディスク表面が
損傷するという恐れがあった。

磁気ヘッドを磁気ディスク面に接触させて記録する接触
方式（コンタクトレコーディング）は、その記録密度を
著しく向上できることは広く知られているが、それを実
現するためには、磁気ヘツドと磁気ディスクとを微小な
接触力で安定に接触させ、ディスクの耐久性を向上させ
ることが不可欠である。

本発明の第１の目的は、磁気ヘッドをスライダとは独立
に磁気ディスク面に近接あるいは接触させることにより
、スライダと磁気ディスクとの接触を防止し、両者の接
触による損傷を防止することである。

本発明の第２の目的は、磁気ヘッドと磁気ディスクとが
何らかの理由で接触した場合、あるいは積極的に両者を
接触させた場合にも、磁気ディスクの受けるダメージを
、磁気ヘッドの慣性力によるものだけとすることにより
、ダメージをほぼＯにすることにある。

本発明の第３の目的は、前述したスライダと磁気ヘッド
との相対位置を制御する作動手段を設けることなく、磁
気ヘッドと磁気ディスクとの間隔を一定に保つ、あるい
は両者の安定接触を実現することにある。

本発明の第４の目的は磁気ディスクと磁気ヘッドとの連
続摺動状態においても、スライダと磁気ディスクとの摺
動（接触）は避け、スライダの慣性力によるディスクの
衝撃力（ダメージ）を低減し、さらに、スライダとディ
スクとの摺動面に前記した特徴を持つ特殊な材料を用い
ることなく、磁気ディスクと磁気ヘッドとの低摩耗・安
定摺動（接触）を可能にすることにある。

本発明の第５の目的は磁気ディスク面のうねり（面粗さ
）あるいは振動がある場合にも、磁気ディスクと磁気ヘ
ッドの接触（摺動）面圧を微小な一定面圧に保ち、磁気
ディスク面の損傷を防ぐことである。

〔課題を解決するための手段〕

上記目的を達成するために、磁気ディスク上に空気膜を
形成して浮上する浮動スライダに、該スライダの浮上面
に対して垂直方向に移動可能な磁気ヘッドを、浮上面よ
りも磁気ディスク面に張り出すように設けた。前記磁気
ヘッドは可動部材の先端に設けられ浮上面よりも磁気デ
ィスク面に張り出すように設けたものでも良い。スライ
ダの質量は磁気ヘッドに比べはるかに太きいため、磁気
ヘッドのみを磁気ディスクに近接できるようにすること
により、たとえ９両者が接触した場合にも従来のスライ
ダと磁気ディスクとの接触による損傷に比へ著しく、そ
のダメージを小さくすることが可能となる。

また、上記第２の目的を達成するために、前記磁気ヘッ
ドを磁気ディスク面に押し付けるための負荷手段を設け
た。該負荷手段を弾性コイルばね、板ばねなどで構成す
ることにより負荷手段を慣性力遮断手段として兼用する
ことが可能である。負荷手段を設けることなく、磁気ヘ
ッドの自重が負荷力となる構造としても良い。ここで慣
性力遮断手段としては、スライダと磁気ヘッドの慣性力
を遮断することが可能なものであればどのようなもので
あっても良い。磁気ディスクの受ける衝撃力Ｄ′は、磁
気ヘッドの慣性力（質量）の影響だけとなり次式で表わ
される。

Ｄ’　＝Ｃ−ｍｈ　＋　Ｕ　　　　　　　　　　−（３
）このため本発明の衝撃力Ｄ′は従来のものＤに比へ著
しく小さくすることができる。

Ｄ’　＜Ｄ　　　　　　　　　　　　　　　−・（４）
（＋、′　ｍｈ＜ｍｓ） さらに、前記磁気ヘッド、あるいは磁気ヘッドを搭載し
た可動部材を浮動スライダの浮上面の負圧力発生部にポ
ケットを設け、該ポケットの中に磁気ヘッドあるいは前
記可動部材を設置することにより前記負荷手段を省略す
ることができる。なお、浮動スライダにおいては磁気デ
ィスクとの間で浮上面に大気圧よりも低い圧力（負圧力
）を発生するスライダは一般に負圧型スライダ、逆に大
気圧よりも高い圧力（正圧力）を発生するスライダは一
般に正圧型スライダと呼ばれている。前記正圧型スライ
ダの浮上用レールの浮上面に浮上面に対して垂直方向に
ポケットを設け、該ポケットの中に磁気ヘッドあるいは
前記可動部材を設ける。

これにより、前記ポケットの内壁と沿って内壁と磁気ヘ
ッドあるいは磁気ヘッドを搭載した可動部が摺動するこ
とが可能となる。

磁気ヘッドと前記ポケットの内壁とが摺動可能になるこ
とにより、磁気ヘッドがスライダに拘束されることなく
自由に移動できる。両者を摺動可能となることは、両者
の慣性力を遮断することにもなる。

ここで、浮上面で発生した高圧力の空気を該ポケットに
導くための給気管を設は磁気ヘッド、あるいは前記可動
部材が前記ポケットの内壁にそってスムーズに摺動でき
ることを可能にしている。

〔作用〕

前記スライダは磁気ディスクとの間に空気膜（空気ばね
）を形成し、微小な空間を保って磁気ディスク表面に浮
上する。このため磁気ディスク回転時に空気流によりデ
ィスクがディスク面に対して直角方向に振動（面外振動
）しても、空気流などによるディスク振動は１ｋＨｚ以
下の低周波数であるためにスライダは一定の間隔を保っ
て磁気ディスクに十分追従することができる。このため
、磁気ヘッドをスライダの端面から磁気ディスク面側へ
張り出すように設けることにより磁気ヘッドを磁気ディ
スクの振動に関係なく安定にかつ微小な接触面圧でディ
スク表面に接触支持することが可能となる。具体的には
磁気ディスクの振動により磁気ヘッドがディスク表面か
ら離されること、また、磁気ヘッドがディスク面に押し
つけられ両者の接触面圧が著しく増大することがなくな
る。このため、データの読み取り・書き込みの誤動作が
なくなる。さらに接触面圧の変動がなく一定の微弱な力
でヘッドとディスクを接触支持できるため、ディスクを
損傷することがない、また、磁気ヘッドと磁気ディスク
とを接触させて記録・再生を行うことにより線記録密度
を著しく向上させることができる。

さらに、磁気ヘッドとスライダとの間に慣性力遮断手段
を設けることにより、スライダが追従できないようなデ
ィスク面うねり（面粗さ）があるような場合にも磁気ヘ
ッドと磁気ディスクとの接触面圧を一定に保つことがで
きる。さらに、磁気ヘッドと磁気ディスクとの接触によ
る衝撃力を小さくでき、ディスクの耐久性を向上させる
ことができる。具体的にはスライダは一般に１０ｋＨｚ
〜２０ｋＨｚの振動に追従できるように設計されており
、構造上高周波のうねりには追従できない。

言い換えれば、スライダの大きさ以下のディスク面うね
り（面粗さ）には追従できない（スライダ長さは３〜４
ｒｍであるために、３ｒｍ以下のうねりには追従できな
い）、例えば、今、ディスクの周速が６０　ｍ　／　ｓ
で、うねりの大きさが１０１１１である場合にはその周
波数は６０ｋＨｚとなり、上述した理由によりスライダ
はこのディスク面のうねりに追従することができない。

しかし、慣性力遮断手段をスライダとヘッドの間に設け
ることによりヘッドがスライダと独立に移動できかつ、
ヘッドの質量がスライダの質量に比へ著しく軽く形状も
小さいために高周波帯域まで磁気ディスクに追従するこ
とができる。また、前述したように磁気ヘッドと磁気デ
ィスクが接触したときの衝撃力Ｄ′は、式（３）で表わ
され、前述の式（４）に示すように、慣性力遮断手段の
ない場合の衝撃力Ｄ（式（１））に比べ著しく小さくす
ることができる。

このため、磁気ヘッド゛と磁気ディスクが接触しても、
磁気ディスクが損傷することなく、データの破損もない
。

また、磁気ヘッドを磁気ディスク表面に押し付けるため
の負荷手段を設けることにより、磁気ヘッドと磁気ディ
スクとの接触面圧を制御することができるので、磁気デ
ィスク表面の摺動強度に合わせた適切な接触面圧での両
者の接触が可能となる。

また、負荷手段を弾性ばねなどとすることにより、負荷
手段を慣性力遮断手段と兼用することができる。

さらに、磁気ヘッドの位置を制御する作動手段を設ける
ことなく両者の安定接触を実現できる。

磁気ヘッド、あるいは磁気ヘッドを頂部に搭載した可動
部材を前述した負圧型スライダの負圧力発生部に設ける
ことにより、磁気ヘッドが負圧力により磁気ディスク表
面方向に引っばられ、磁気ヘッドが磁気ディスク表面に
接触支持される。このため、負荷手段を設けなくとも磁
気ヘッドを磁気ディスクに安定接触支持することが可能
となる。

さらに、前述した正圧形スライダの浮上面に該浮上面と
垂直方向のポケットを設け、該ポケットの中に磁気ヘッ
ドを搭載し、磁気ヘッドと該ポケットの内壁が摺動可能
な構成としている。これにより、磁気ヘッドがスライダ
に拘束されることなくスライダの浮上面に対して垂直方
向に移動が可能となる。このため、磁気ヘッドは磁気デ
ィスク表面のうねり（面粗さ）に対して追従することが
可能となる。また、該ポケットの内壁と磁気ヘッドの摺
動面のスライダの浮上面で発生した高圧空気を運ぶ給気
管を設けることにより、ポケット内壁と磁気ヘッドとの
摺動面に空気膜が形成され。

静圧空気軸受と同様の原理により、磁気ヘッドの摺動移
動がスムーズになる。これにより、上述した磁気ディス
ク表面のうねり（面粗さ）に対して十分にスムーズに追
従できるために、磁気ヘッドと磁気ディスクとの接触面
圧が増大することなく一定の微小な接触面圧を維持する
ことが可能となる。この理由は先述したように磁気ヘッ
ドと前記ポケットの内壁を摺動可能とすることにより、
磁気ヘッドがスライダと独立に運動できるために磁気ヘ
ッドとスライダの慣性力の相互干渉がなくなり、磁気ヘ
ッドと磁気ディスクとが接触した場合にも、磁気ディス
クの受けるダメージは磁気ヘッドの質量によるものだけ
で、スライダの質量によるダメージを受けない。

さらに、磁気ヘッドが、スライダとは独立に移動するた
めに、スライダをディスクに近接させる必要がなくなる
。このため、スライダの浮上量を厳密に管理する必要が
なくなり、制作組立て精度を粗くすることができる。

磁気ヘッドを頂部に搭載した可動部材を前記ポケットに
設置し摺動可能としても同様の効果が得られることは明
らかである。

さらに、磁気ヘッド、ある磁気ヘッドを搭載した可動部
材の頂部を半球状とすることにより、磁気ヘッドと磁気
ディスクとの接触を確実なものとすることが可能となる
。

〔実施例〕

以下、本発明の実施例を図面を用いて説明する。

本発明の第１の実施例を第１図から第７図を用いて説明
する。第１図は浮動スライダ（以後単にスライダという
）を浮上面（磁気ディスク面）の方向から見た斜視図、
第２図はスライダが磁気ディスク面上で稼動している状
態を示す正面図、第３図はスライダの浮上面を、第４図
は第３図のＩＶ−■断面を、第５図は第２図の■−■断
面をそれぞれ示す図であり、第６Ａ図、第６Ｂ図及び第
６Ｃ図はそれぞれスライダの特性を示す図である。第７
Ａ図はスライダの機能説明図、第７Ｂ図はスライダ動作
説明図である。

第１図に示すように、スライダ↓は磁気ディスクと相対
運動をすることにより、空気膜を形成し、浮上刃を発生
するための２本の浮上用レール２を持ち、その浮上用レ
ール２はスライダ上の長手方向に平行に設けられている
。浮上用レール２の浮上面２０はテーパ部２工と平面部
２２から形成されている。スライダｌの２つの浮上用レ
ール２に挾まれる部分は、へこんで浮上面２０よりも磁
気ディスク面から離れており、かつ平面部２２とほぼ平
行な面である。これをブリート面３という。

ブリード面３には、平面部２２に対して略垂直な方向に
延びる溝孔であるポケット４が設けられている。このポ
ケット４の中にはそのポケット４に沿い前記浮上面に対
し略垂直な方向に移動する可動部材５が設けられており
、磁気ディスク側にあたる可動部材５の半球部５１の頂
部に磁気ヘッド６が設けられている。なお、ここで、磁
気ヘッド６は、可動部材と一体形成してもよい。また、
磁気ヘンドロは前記ポケット４の内壁と摺動可能な摺動
面をもつものであれば、可動部材を設ける必要はない。

浮上面２０と反対側のスライダ背面７には、スライダ１
の動きを拘束することなく、負荷力をスライダに与える
支持機構８が設けられている。この支持機構８はスライ
ダ１のピッチング、ローリング及ビョーイングの運動を
拘束することなく、スライダ１をスライダ１の背面７か
ら、浮上面２０（つまり、磁気ディスク面）の方向へ押
しっける負荷力を与える。磁気ディスク装置の稼動状態
つまり、ディスク回転時における、本発明のスライダ１
と磁気ディスク２との関係を第２図に示す。スライダ１
の平面部２２は、回転する磁気ディスク１００面との間
に空気膜を形成して微小な間隙ｈ（一般に浮上量と呼ば
れている）を保って浮上している。一方、可動部材５の
頂部に設けられた磁気ヘッド６は、スライダ１の端面（
上面）から磁気ディスク１００側へ張り出すように取り
付けられており、磁気ディスク１００の表面に直接接触
している。ここで矢印２００はディスクの回転方向を表
わしている。なお、磁気ディスクが静止している時は、
浮上面である平面部２２も磁気ヘッドとともに磁気ディ
スク面に接触している。

第３図はスライダを浮上面から見たものである。

スライダ浮上面側には長手方向にほぼ平行な２本の浮上
用レール２が２本あり、両レール間の中央部には溝穴な
るポケット４が設けられており、そのポケット４の中に
浮上面２０の平面部２２にほぼ直角方向に移動可能で頂
部に磁気ヘッド６を持つ可動部材６が設置されている。

第４図に第３図のＩ−１断面を示す。第４図は、第２図
に示す磁気ディスク稼動時における磁気ディスク１００
と磁気ヘッド６との接触状態も示している。スライダ１
のブリード面３には浮上用レールの平面部２２とほぼ垂
直な円筒状のポケット４が設けられており、そのポケッ
ト４の中にスライダ１の平面部２２に対して鴫垂直方向
に移動可能な可動部材５が設けられている。可動部材５
の一端部、即ち磁気ディスク１００面側は、半球部５１
となっており、その半球部５１の頂部に磁気ヘッド６が
取付けられている。また可動部材５の他端部は可動部材
５を磁気ディスク１００面の方向に押付け、かつ保持す
る負荷手段に連接し、負荷手段は、スライダ１の背面７
に設けられている支持板１０に取付けられている。本実
施例では負荷手段としてコイルバネ９１を用いており、
このコイルバネ９１の一端は支持板１０に、他端は磁気
ヘッド６を搭載している可動部材５に連接されている。

そして１本実施例では、負荷手段は慣性力遮断手段も兼
用している。また、負荷手段としてのコイルはね９１は
、磁気ヘッド６で磁気ディスク１００との接触面圧を小
さくするために、磁気ヘッド６及び可動部材５の自重を
支え、接触面圧をほぼＯにする働きもある。なお、可動
部材５は、ポケット４内壁と摺動可能となっている。

第５図に第２図の■−■断面を示す。第４図で説明した
ように、スライダ１は磁気ディスク１００の上に微小な
空気膜を介して浮上量りで浮上している。スライダ１の
幅方向の中心には円筒状のポケット４が設けられており
、そのポケット４の中に、可動部材５が設けられている
。可動部材５の一端の半球部５１の頂部には磁気ヘッド
６が設けられ、磁気ヘッド６は磁気ディスク１００に微
小な接触面圧で接触している。前述したように、磁気ヘ
ッド６がポケット４の内壁と摺動可能な形状であれば、
可動部材５などを設ける必要はなく、磁気ヘッド５をポ
ケット４の中に直接設置すればよい。今、磁気ディスク
１００と磁気ヘッド６との接触面圧をＰｃとすると、Ｐ
ｃは負荷手段９のコイルばね９１のばね定数り及びその
変形量Ｘ（自然長さと設置時の長さの差）により次式で
決定される。

Ｐｃｃｃ　ｋ−ｘ　　　　　　　　　　　　　　−（５
）このため、Ｐｃはコイルばね９工のばね定数ｋ。

変形量Ｘを変えることによりコントロールすることがで
きる。本実施例では、Ｐｃはほぼ０となるように設定さ
れている。

次に本実施例の機能と、それによって得られる効果を説
明し、さらに、動作について詳述する。

第６Ａ図は磁気ヘッドの浮上量と線記録密度の関係図で
ある。第６Ａ図に示すように、磁気ヘッドの浮上量すを
小さくすると線記録密度が向上することは広く知られて
おり、今後の磁気記録の主流になると考えられている垂
直磁気記録を行うためには、浮上量りが０．１μｍ以下
にすることが必要であると言われている。本発明では、
浮上量りをほぼ０μｍにすることにより、線記録密度を
飛躍的に向上させ、かつ、垂直磁気記録も可能とする。

なお、接触記録により、線記録密度を１０倍以上に向上
できることが、実験的に検証されている。また、本実施
例においては、磁気ヘッドと磁鼓ディスクとの接触面圧
Ｐｃが、磁気ディスク振動振幅及びうねり振幅などによ
って変動することなく、はぼＯとなる（第６Ｂ図）。こ
れにより。

第６Ｃ図に示すように磁気ディスクの寿命を延長し、装
置の信頼性を増加できる。いいかえれば。

Ｐｃが大きくなれば磁気ディスク寿命が著しく低下する
。このため、Ｐｃを小さく保つことにより磁気ディスク
寿命を延長できる。これにより、線記録密度の高い、つ
まり磁気ディスク装置として記憶容量が大きく、かつ信
頼性の高い寿命の長いものにすることが可能となる。

次に本発明の磁気ヘッドスライダにおいてＰｃをほぼ０
にすることが可能となるメカニズムを説明する。Ｐｃの
値が大きく変動する要因として、磁気ディスクの面外方
向の振動がある。これは、磁気ディスクの表面形状によ
るものと、磁気ディスクが回転することにより発生する
風あるいは、磁気ディスクを回転させるためのモーター
の振動などにより加振されて発生するものとに大別でき
る。ここでは、風などによる比較的低周波数でスライダ
１が追従できる振動と、磁気ディスク面のうねり（粗さ
）などの高周波振動でスライダ１が追従できないものと
に分けて説明する。まず、スライダ１が追従できる低周
波数のディスク振動のある場合について説明する。

磁気ディスクの振動をモデル化したものを第７Ａ図、第
７Ｂ図及び第７Ｃ図に示す。スライダ１の浮上用レール
の浮上面となる平面部２２と回転する磁気ディスク１０
０の間には圧縮空気による空気膜が形成される。これは
、ばねのような働きをして、スライダｌを磁気ディスク
１００の面上に微小な間隔（浮上量）ｈを保って浮上さ
せる。

空気膜はばねの性質を持っているので空気ばね３００で
良くモデル化される。今この空気ばね３００のばね定数
をＫ　ａｉｒとして第７Ａ図に示している。

第７Ａ図は磁気ディスク１００の面外振動のない場合の
スライダ１の稼動状態を示している。第７８図に示すよ
うしこ今、外乱により磁気ディスク１００が振幅ΔＺＦ
で振動した場合にも、空気ばね３００によりスライダ１
は磁気ディスク１００面上に所定の浮上量りで浮上する
。このため、磁気へット６と磁気ディスク１００との接
触面圧Ｐｃは磁気ディスク１００の振動により変化する
ことなく、常にＰｃ”＝Ｏの状態が実現できる。

つまり、磁気ディスクが振動した場合にも、式（５）に
おいて、Ｘを一定に保つことができるため、接触面圧Ｐ
ｃが変動することがない。

第７Ｃ図に示すように磁気ディスク面上にスライダエの
長手方向の長さＱ。より短いうねり（面粗さ）がある場
合（ｎ　ｗ＜　ＱＸ）には、スライダ１はうねりに追従
できない。しかし、磁気ヘッド６はスライダ１１比べ著
しく小さく、また可動部材５の半球状の頂部に設けてい
る。さらに、磁気ヘッド６及び磁気ヘッド６を搭載して
いる可動部材５の質量は、スライダ１の質量に比尺著し
く小さく、かつ、コイルばね９１１より両者の慣性力は
遮断されている。つまり、コイルばね９１は、慣性力遮
断手段を兼用している。以上の理由により、磁気ヘッド
６は磁気ディスク１００面上に同図に示すようなうねり
（面粗さ）があった場合にも、スライダ１１拘束されず
磁気ディスク面上をなぞって自由に運動できる。このた
め、磁気ヘッド６と磁気ディスク１００との接触面圧を
、磁気ディスク面の粗さ（うねりなど）にかかわらず一
定に保つことができる。ここで、コイルばね９１のばね
剛さを小さくすれば、前記の接触面圧を小さくでき、さ
らに慣性力の遮断効果を大きくすることができるこは明
らかである。なお、本実施例では、可動部材５とポケッ
ト４の内壁とが摺動部となっている。

さらに、コイルはね９工が可動部材５の慣性力遮断手段
も兼用しているために、磁気ヘッド６が磁気ディスク１
００に接触していてもディスクになぞってスライダに拘
束されず自由に運動できる。

このため、磁気ディスク１００が高速で回転して、振動
している場合にもＰＣをほぼＯにすることが可能となる
。

さらに、上述した機構とすることにより、スライダ１を
磁気ディスク表面に近づける（浮上量りを小さくする）
ことなく、磁気ヘッド６のみを磁気ディスク面上に近接
あるいは接触させることが可能となる。このため、磁気
ヘッド６に比べ大きな質量を持つスライダ１と磁気ディ
スク１００とが接触して、ディスク表面を損傷させ、デ
ータを破壊するという問題はなくなる。このことは、ス
ライダ１の加工を粗にできるという別の利点もある。従
来の磁気ヘッドはスライダ端面に固定し、設置されてい
たために、磁気ディスクと磁気ヘッドとの距離を所定の
範囲に保つためには、スライダを所定の浮上量で浮上さ
せる必要があった。このためスライダの浮上面の加工に
は高い加工精度が必要であった。しかし、本実施のよう
な磁気ヘッド支持機構とすることにより、スライダの浮
上量を厳密に管理する必要がなく、スライダの浮上面な
どの加工を粗にできるという利点もある。

また、上記した機構とすることにより、従来技術のよう
に磁気ヘッドの位置を制御する手段を設けることなく、
磁気ヘッドを磁気ディスク面に安定に接触支持すること
が可能となり、支持機構を簡略化できるという利点もあ
る。

次に、本発明の第２の実施例を第８図、第９図及び第１
０図に示す。第８図は本発明の第２実施例を示す図、第
９図は第８図のＩＸ−ＩＫ断面図で、第１０図は、スラ
イダの浮上用レールの長手方向の圧力分布を示している
。なお、第９図には、スライダ稼動時、つまり、ディス
ク回転時のディスクも示した。第１図と同一番号のもの
は同一部材あるいは同一機能のものを示している。本実
施例と第１の実施例との違いは、ポケット４及び可動部
材５を浮上用レール２の平面部２２に設けた点と、その
平面部２２に散気孔４００を設け、その散気孔４００と
ポケット４の側壁を結ぶ給気管４０１を設けた点である
。これにより、可動部材５がスムースに磁気ディスク面
に略直角方向に移動が可能となる。このため、磁気ディ
スク面上にうねり　（面粗さ）などがある場合でも、磁
気ディスク表面にならって磁気ヘッド６がスライダ１１
拘束されることなく独立にスムーズに変動することによ
り、磁気ヘッド６の接触面圧Ｐｃの変動を最小限に抑え
ることが可能となる。

この理由について、第９図及び第１０図を用いて説明す
る６浮上用レール２の浮上面には圧縮空気膜が形成され
、その圧力分布は第１０図に示すように鞍形の圧力分布
になることは広く知られている（例えばＪＳＭＥ論文集
（第３部）工１巻３８６号ＰＰ３５９４〜３６０２）。

言いかえればテーパ部２１と平面部２２との交叉部及び
平面部２２のスライダ流出端１２近傍で空気圧力の極大
点が存在する。このため、平面部２２の流出端１２の側
に設けられた散気孔４００から大気圧より高い高圧空気
が給気管４０１を介して、ポケット４と可動部材５との
摺動面間に導かれる。このため、その高圧空気が空気軸
受の作用をして、可動部材５がポケット４内をスムース
に移動することを助ける。なお、ポケット４内に導かれ
た高圧空気は支持板１０に設けられた排気孔１０１１よ
り再び大気に解放される。

上述したように、本実施例は、可動部材５をスムースに
ポケット４内を移動させることができるために、スライ
ダ１の浮上量変動によるｐｃの変動を最小限に抑えるこ
とができるという特徴がある。また、本実施例において
も、第↓の実施例と同様の効果すなわち、磁気ディスク
の寿命を長くでき、また線記録密度を高くして磁気ディ
スク装置としての記憶容量を増大できるという効果を期
待することができる。

すなわち、磁気ヘッド位置の制御手段などを設けること
なく、磁気ヘッドと磁気ディスクとの安定接触を実現で
きる。さらに、磁気ディスクの振動あるいはうねり（面
粗さ）などの影響を受けることなく、両者の接触面圧を
小さく維持することが可能となる。また、磁気ヘッドは
スライダとは独立に位置決めできるため、スライダの浮
上量を小さくする必要がなくなり、加工精度を粗くする
ことができる。さらに、スライダとディスクとの接触の
可能性を低減することもできる。なお、前述したように
、磁気ヘッドがポケットの内壁との摺動面を持つような
形状のものであれば、可動部材などは必要ない。つまり
、磁気ヘッドだけで良い。さらに、可動部材と磁気ヘッ
ドとが一体戒形されたような磁気ヘッドであっても良い
。

次に本発明の第３の実施例を第１１図、第工２図及び第
１３図を用いて説明する。第１１図は第３の実施例のス
ライダエを浮上面から見た正面図、第１２図は、第１１
図の刈−期断面図で、第１３図は第１１図の刈−動線上
の圧力分布図である。

なお、第１２図には、スライダ稼動時、つまりディスク
回転時のディスクも示した。また第１１図及び第１２図
において第１図と同一番号のものは同一部材あるいは同
一機能のものを示している。

本実施例と第１の実施例との違いは、ポケット４及び磁
気ヘッド６を搭載した可動部材６を負圧力発生部２３に
設けた点である。負圧力発生部２３の圧力分布は第１２
図に示すように、大気圧（１ａｔｍ　）よりも低い圧力
となっている。ここでは、大気圧より低い圧力を負圧と
呼ぶことにする。

この負圧力発生メカニズム及び負圧力を発生させるため
の形状については、例えば、Ｕ、Ｓ　パテントＮ（１３
，８５５，６２５号の他、特開昭５８−６４６７０号。

特開昭５７−２１０４７９号、特公昭５９−１．８７８
０号の各公報などに記述されているために、ここで改め
て述べないが、流路断面積が急拡大する場合に負圧力が
発生することはよく知られている。本実施例では負圧力
発生部２３は浮上用レール２の平面部２２よりわずかに
（数μｍ程度以上）スライダ１の背面７方向に低い平面
状のポケットにより形成されている。本実施例に示すよ
うに、負圧力発生部２３に磁気ヘッド６を搭載した可動
部材５及びポケット４を設けることにより、可動部材５
を磁気ディスク１００に押しつける負荷手段が不要とな
る。具体的には第１の実施例で必要であったコイルはね
９１が本実施例では不要となる。これは、負圧力発生部
２３に設けられた磁気ヘッド６が、スライダ１の背面７
と該負圧力発生部２３との圧力差により、スライダ１の
背面１３から磁気ディスク１００の方向に引っばられる
ためである。具体的には蓋１１０に設けられた前記ポケ
ット４に貫通している蓋部散気孔１１↓から、大気圧の
空気が流入し、負圧力発生部２３に導かれる。このため
、磁気ヘッド６を搭載して可動部材５は負圧力の発生す
る負圧力発生部２３、つまり磁気ディスク１００の方向
に引っばられる。このため、第１の実施例で必要であっ
たコイルばね９工が不要となり、生産性を向上させるこ
とが可能となる。

本実施例では、ポケット４内の空気が慣性力遮断手段を
兼用している。具体的には、磁気ヘッド６を搭載した可
動部材５がポケット４の内壁に摺動じて移動する。また
、本実施例においても第１の実施例と同様の効果を期待
することができる。

次に本発明の第４の実施例について第１４図から第１６
図を用いて説明する。なお、第１４図。

第１５図において第１図と同一番号のものは同一部材あ
るいは同一機能のものを示している。第１４図は浮上面
から見た正面図、第１５図は第１４図のｘｖ　−ｘｖ断
面図、第１６図は稼動時のスライダ１及び磁気ヘッド６
２と磁気ディスク１００の状態をスライダ１の流出端面
１２の側から示している。本実施例と第１の実施例との
違いは、本実施例では負荷手段として板ばね９２を用い
ており、第１の実施例に用いた可動部材５をなくし、磁
気ヘッドのギャップ部６１が頂部にある半球状磁気ヘッ
ド６２を前記板ばね９２に設けている点である。鎖板ば
ね９２は磁気ヘッド６２を磁気ディスク１００に押しつ
ける方向の微小負荷力を発生させ、磁気ヘッド６２と磁
気ディスク１００とが微小な接触力ＰＣで接触すること
を可能にするとともに、磁気ヘッド６２がスライダ１の
浮上面と略垂直方向に移動することを可能としている。

本実施例では、前述の板ばね９２が慣性力遮断手段を兼
用している。このため、本実施例においても第１の実施
例と同様の効果を期待することが可能となるとともに、
製作が容易になるために生産性を向上させることが可能
となる。

次に本発明の第５の実施例について第１７図から第１９
図を用いて説明する。なお、第１７図及び第１８図にお
いて第１図と同一番号のものは、同一部材あるいは同一
機能のものを示している。

第１７図は浮上面から見た正面図、第１８図は第１７図
のＸ■−Ｘ■断面図、第１９図は稼動時の本発明の磁気
ヘッドスライダと磁気ディスク１００の接触状態を示し
ている。本実施例と第４の実施例との違いは、第４の実
施例で負荷手段として用いた両持形の板ばね９２を、本
実施例では片持板ばね９３とした点である。なお磁気ヘ
ッド６は片持板ばね９３の一端に、磁気ディスク１００
と接触するように取り付けられている。言い換えれば。

磁気ディスク回転時に第１８図に示すように、磁気ヘッ
ド６と磁気ディスク１００とが微小な接触圧Ｐｃで接触
するように、磁気ヘッド５が片持板ばね９３の一端に取
り付けられており、片持板ばね９３は磁気ヘッド６を磁
気ディスク１００に押し付ける負荷力を発生している。

また、片持板ばね９３は、浮上面に対し、略垂直方向に
移動可能となっており、慣性力遮断手段も兼用している
。

このため、本実施例においても第１図の実施例と同様の
効果を期待することができるとともに、片持板ばね９３
を用いることにより製作が容易となるために生産性を向
上させることが可能となる。

次に本発明の第６の実施例を第２０図を用いて説明する
。第２０図はスライダ幅方向中心線での断面図を示す。

第２０図において第１の実施例の第４図と同一番号のも
のは同一部材、あるいは同一機能のものを示している。

本実施例と第１の実施例との違いは、負荷手段として第
１の実施例で設けられていたコイルばね９工が本実施例
ではない点である。いいかえれば、本実施例では可動部
材５の自重により磁気ヘッド６と磁気ディスク１００と
の接触面圧Ｐｃを制御する。これにより、コイルばね９
１をなくすこと、つまり部品点数を減少させることがで
きるので、生産性が上がる。

さらに、磁気ヘッド６を搭載した可動部材５は、ポケッ
ト４の内壁と摺動し、移動可能となっている。このため
、磁気ヘッド６とスライダ１との間は、慣性力も遮断さ
れている。以上の機能により、第１の実施例と同様の効
果も期待することができる。なお、本実施例では可動部
材５の、磁気ヘッド６取付部と反対側の端部に、可動部
材５が欠落するのを防ぐためのストッパ５２を設けてい
る。

次に本発明の第７の実施例を第２１図及び第２２図に示
す。第２１図は浮上面から見た正面図、第２２図は第２
１図のＩ−Ｉ断面図を示している。

なお、第２２図には、スライダ稼動時、つまり磁気ディ
スク回転時の磁気ヘッド６と磁気ディスク１００との接
触状態を示すために、磁気ディスク１００も記入しであ
る。本実施例と第６の実施例（第２０図参照）との違い
は、片持板ばね９３の磁気ヘッド６取付側の端部に、浮
上面の平面部２２とほぼ直角な磁気ヘッド取付板９４を
設けた点である。これにより、現在広く使わけている薄
膜形の磁気ヘッド（一般にシンフィルムヘッドとも呼ば
れている）を利用することが可能となり、生産性を向上
させることができる。また本実施例においても第工図の
実施例と同様の効果を期待することができる。

次に、本発明の第８の実施例を第２３図及び第２４図を
用いて説明する。第２３図は浮上面から見た正面図、第
２４図は第２３図のｘｘｍ−別個断面図を示している。

なお、第２４図にはスライダ稼動時、つまり磁気ディス
ク回転時の磁気ヘッドと磁気ディスク１００との接触を
示すために、磁気ディスク１００も記入しである。本実
施例と第７の実施例（第２２図参照）との違いは１片持
板ばね９３の磁気ヘッド取付側の端部に磁気ディスク１
００に磁気ヘッドが吸引するための吸引力発生手段とし
て、負圧力発生体９５が設けられており、磁気ヘッド６
が負圧力発生体９５に搭載されている点である。負圧力
発生体９５は移動する磁気ディスク１００との間で負圧
力（大気圧より低い圧力）を発生して磁気ディスク１０
０面に吸引され、磁気ヘッド６とともに磁気ディスク１
００に微小な接触力で接触している。このため、安定に
、かつ微小な接触力で磁気ヘッド６を磁気ディスク１０
０に接触させることができる。また、本実施例において
も、第７の実施例と同様の効果を期待することができる
。

なお、本実施例に示した負圧力発生体９５は、中央部に
くぼみ部９６を設けただけの簡単なものである。このく
ぼみ部９６が負圧力を発生することは、前記したＵ、Ｓ
パテントＮａ　３　、８５５　、６２５号など多数に記
述されているためにここでは記載しない。

また、本実施例では、くぼみ部９６を持つ負圧力発生体
９５を示したが、負圧力発生体９５はどのような形状で
あっても良い。また、吸引手段としては、負圧力発生体
９５である必要は特になく、磁気ディスク１００を吸引
し、接触するものであれば特に問題ない。

次に本発明の第９の実施例を第２５図により説明する。

第２５図はスライダ幅方向中心線での断面図を示してい
る。本実施例と第１の実施例との違いは、可動部材５の
外周部とポケット４の内周部に、同極、いいかえれば反
発し合う磁石５３を対向して設けた点である。また、磁
石５３の磁気漏れを防ぐために、磁気ディスク側の端部
には磁気シールド５４を備えている。これにより、可動
部材５とポケット内壁との摺動が滑らかになり、磁気ヘ
ッド６がスムースに浮上面の平面部２２に対してほぼ直
角に移動可能となる。このために第２の実施例と同様に
、本実施例においても、何らかの原因で浮上量りが変動
しても、あるいは、磁気ディスク面にうねり（面粗さ）
等があっても、磁気ヘッド６はスムースに移動し、接触
面圧Ｐｃの変動を最小限に抑えることが可能となる。な
お、本実施例では、磁石５３を用いたがこれは、静電気
を利用するようなものであっても良い。

次に本発明の第１０の実施例を第２６図より説明する。

第２６図はスライダ１の幅方向の中心線での断面図を示
している。なお、第２６図に、磁気ディスク回転時の磁
気ヘッド６と磁気ディスク１００との接触状態を示すた
めに、磁気ディスク１００も記入しである。本実施例と
第２１図、第２２図に示した第７の実施例との違いは、
片持板ばね９３の一端をスライダ１の流出端面１２より
後方に延長し、その端部に磁気ヘッド取付板９４を設け
た点である。これにより、磁気ヘッド６及び磁気ヘッド
取付板９４の大きさの制約がなくなる。具体的には第７
の実施例では磁気ヘッド６の大きさを、磁気ディスク１
００とスライダ１のブリート面３との間隔以下に抑えな
ければならなかった。しかし、本実施の構造とすること
により、磁気ヘッド６の形状（大きさ）の制約がなくな
り、生産性を向上できるという利点がある。また、本実
施例においても、第７の実施例と同様の効果を期待する
ことができる。

〔発明の効果〕

本発明は、以上説明したように構成されているので以下
に記載されるような効果を奏する。

磁気ヘッドを浮上スライダの端面より磁気ディスク面側
に張り出すように取り付け、かつ磁気ヘッドとスライダ
との間に慣性力遮断手段を設けることにより、磁気ヘッ
ドと磁気ディスクの接触時における接触面圧をディスク
振動及び面粗さの有無に関係なく微小な一定圧力に保つ
ことができる。

このため、記録密度を飛躍的に向上させることが可能に
なるとともに、ディスクの耐久性能を向上できるので、
大容量高信頼性の装置を供給できる。

また、磁気ヘッドとスライダとが摺動可能とすることに
より、上記と同様の磁気ヘッドとスライダの慣性力遮断
の効果を期待することができる。

さらに、磁気ヘッドの位置決めがスライダとは独立に行
うことが可能となり、スライダを磁気ディスク面に近接
させる必要がなくなる。これにより、スライダで磁気デ
ィスクとの接触を回避することができるので、記録デー
タを破壊することがない。

さらに、スライダの浮上量を厳しく管理する必要がなく
なるために加工・組立精度を粗くでき生産性を向上させ
ることができる。

また、磁気ヘッドを磁気ディスク面に接触する方向（あ
るいは逆方向）に負荷を与える負荷手段を設けたことに
より、磁気ヘッドと磁気ディスクとの接触面圧を制御す
ることができる。また、この負荷手段を弾性のコイルば
ねなどとすることにより、慣性力遮断手段と兼用するこ
とができる。

さらに、以上の機構から、磁気ヘッドの位置を制御する
作動手段を設けることなく、磁気ディスクと磁気ヘッド
との安定接触を実現することができる。このため、機構
を簡略化でき、生産性及び信頼性を向上することが可能
となる。

スライダの負圧力発生部に浮上面に対して垂直方向のポ
ケットを設け、該ポケットの中に磁気ヘッドを設置する
ことにより上記負荷手段を設けることなく、上記と同様
の効果を期待することができる。

スライダの正圧力発生部に浮上面に対して垂直方向のポ
ケットを設け、該ポケットの中に磁気ヘッドを設け、ポ
ケット内壁とヘッドとの摺動面に浮上面で発生した高圧
空気を導く給気管を設けることにより、両者の摺動をス
ムーズにすることが可能となる。

また、磁気ヘッドを半球状とすることにより、磁気ヘッ
ドと磁気ディスクの接触をディスク面粗さにかかわらず
、安定なものにすることが可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１の実施例の磁気ヘッドスライダを
示す斜視図、第２図はディスク回転時のスライダ稼動状
態を示す図、第３図は浮上面から見たディスク正面図、
第４図は第３図の■−ＴＶ断面図、第５図は第２図のＶ
−■断面図、第６Ａ図。 動作説明図、第８図は本発明の第２の実施例の磁気ヘッ
ドスライダを浮上面から見た正面図、第９図は第８図の
ＩＸ−ＩＫ断面図、第１０図は浮上面の圧力分布図、第
工１図は本発明の第３の実施例の磁気ヘッドスライダを
浮上面から見た正面図、第１２図は第１１図の刈−刈断
面図、第Ｉ３図は第１１図の刈−ｘｎｇ上に沿った圧力
分布図、第１４図は本発明の第４の実施例の磁気ヘッド
スライダを浮上面から見た正面図、第１５図は第１４図
のｘｖ　−ｘｖ断面図、第１６図はスライダの稼動状態
を説明する図、第１７図は本発明の第５の実施例の磁気
ヘッドスライダを浮上面から見た正面図、彫工８図は第
１７図のＸ■−Ｘ■断面図、第１９図はスライダの稼動
状態を説明する図、第２０図は本発明の第６の実施例の
磁気ヘッドスライダの幅方向中心線にそった断面図、第
２１図は本発明の第７の実施例の磁気ヘッドスライダを
浮上面から見た正面図、第２２図は第２１図の■−■断
面図、第２３図は本発明の第８の実施例の磁気ヘッドス
ライダを浮上面から見た正面図、第２４図は第２３図の
ｘｘｔｖ−ｘｘｒｖ断面図、第２５図は本発明の第９の
実施例の磁気ヘッドスライダの幅方向中心線にそった断
面図、第２６図は本発明の第１０の実施例の磁気ヘッド
スライダの幅方向中心線にそった断面図である。 １・・スライダ、２・・・浮上用レール、３・・・ブリ
ート面、４・・・ポケット、５・・・可動部材、６・・
・磁気ヘッド、７・・・スライダ背面、８・・・支持機
構、１０・・・支持板、土工・・・流入端、１２・・・
流出端、２０・・・浮上面、２１・・・テーパ部、２２
・・・平面部、２３・・負圧力発生部、５２・・・スト
ッパ、５３・・・磁石、５４・・・磁石シールド、６１
・・・ギャップ部、６２・・・半球状磁気ヘッド部、９
１・・・コイルばね、９２・・・板ばね、９３・・片持
板ばね、９４・・・磁気ヘッド取付板、９５・・・負圧
力発生体、９６・・・くぼみ部、１０１・・排気孔、１
１０・・・蓋、１１１・・・蓋部取付孔、３００・・空
気ばね、４００・・・散気孔、４０１・・・給気管。 ′ｆ−Ｊ＋　　（２） 巳” ５ （２） 第１ｃ閏 第 ４ 四 菊 Ｂ 図 １ρθ 第 Ｇ 図 ３−ｉ”ｆ／ｌ卸桟 １−−ａ１乳ヘッド 、ｍ−ｙ亀１ｊ−７２ ８ （２） 葉 ４ 図 狛 ５ 図 め ６ 図 ｚ 隷σね ２づ め ２ 図 第 ７ 閃 詐 ８ （２） ｌ 第 １ 図 第 ２ 回 第 ５ 目

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、磁気ディスク面との間に空気膜を形成する浮上面を
   有し、前記磁気ディスク面に対してピッチング及びロー
   リング運動をなしうるように支持されたスライダと、該
   スライダに設けられ先端部が前記磁気ディスク面に接離
   方向に移動する可動部材と、該可動部材の先端部に配設
   された磁気ヘッドとを備え、前記スライダと前記可動部
   材との間に慣性力を遮断する手段を設けたことを特徴と
   する磁気ヘッドスライダ。 ２、磁気ディスク面との間に空気膜を形成する浮上面を
   有し前記磁気ディスク面に対してピッチング及びローリ
   ング運動をなしうるように支持されたスライダと、該ス
   ライダの浮上面から該浮上面にほぼ垂直に穿設したポケ
   ット孔の中に先端部が前記磁気ディスク面に接離可能に
   挿入された可動部材と、該可動部材の先端部に配設され
   た磁気ヘッドとを備え、前記スライダに対し前記可動部
   材が摺動可能である磁気ヘッドスライダ。 ３、可動部材に磁気ディスク方向への負荷を与える負荷
   手段を設けたことを特徴とする請求項２記載の磁気ヘッ
   ドスライダ。 ４、スライダの浮上面から前記ポケット孔の内壁に導通
   する給気管を設けたことを特徴とする請求項２又は３記
   載の磁気ヘッドスライダ。 ５、可動部材の外周面回りに磁石を設け、かつ前記ポケ
   ット孔の内周面回りに前記磁石を取り巻く別の磁石を設
   け、両磁石の対向面を同極として摺動面を構成したこと
   を特徴とする請求項２記載の磁気ヘッドスライダ。 ６、磁気ディスク面との間に空気膜を形成する浮上面を
   有し前記磁気ディスク面に対してピッチング及びローリ
   ング運動をなしうるように支持されたスライダと、該ス
   ライダの浮上面よりへこんだ面であつて前記磁気ディス
   クとの間に大気圧より低い負圧力を発生する負圧発生面
   から該負圧発生面にほぼ垂直に穿設したポケット孔の中
   に先端部が前記磁気ディスク面に接離可能に挿入された
   可動部材と、該可動部材の先端部に取り付けられた磁気
   ヘッドとを備え、前記ポケット孔の底から前記浮上面と
   反対側の大気圧に導通する空気孔を設けた磁気ヘッドス
   ライダ。 ７、可動部材は、先端部が半球状となつている円筒であ
   ることを特徴とする請求項１から請求項６のいずれか１
   項に記載の磁気ヘッドスライダ。 ８、磁気ディスク面との間に空気膜を形成する浮上面を
   有し前記磁気ディスク面に対してピッチング及びローリ
   ング運動をなしうるように支持されスライダと、該スラ
   イダに設けられ先端部が前記磁気ディスク面に接離方向
   にたわむ弾性体からなる可動部材と、該可動部材の先端
   部に取り付けられた磁気ヘッドとを備えた磁気ヘッドス
   ライダ。 ９、磁気ディスク面との間に空気膜を形成する浮上面を
   有し前記磁気ディスク面に対してピッチング及びローリ
   ング運動をなしうるように支持されたスライダと、該ス
   ライダに設けられ先端部が前記磁気ディスク面に接離方
   向にたわむ弾性体からなる可動部材と、該可動部材の先
   端部に取り付けた負圧力発生体と、該圧力発生体の前記
   磁気ディスク側に取り付けた磁気ヘッドとを備えた磁気
   ヘッドスライダ。 １０、磁気ディスク面との間に空気膜を形成する浮上面
   を有し前記磁気ディスク面に対してピッチング及びロー
   リング運動をなしうるように支持されたスライダと、該
   スライダに設けられ先端部が前記磁気ディスク面に接離
   方向に移動する磁気ヘッドとを備え、前記スライダと前
   記磁気ヘッドとの間に慣性力を遮断する手段を設けたこ
   とを特徴とする磁気ヘッドスライダ。 １１、磁気ディスク面との間に空気膜を形成する浮上面
   を有し前記磁気ディスク面に対してピッチング及びロー
   リング運動をなしうるように支持されたスライダと、該
   スライダの浮上面から該浮上面にほぼ垂直に穿設したポ
   ケット孔の中に先端部が前記磁気ディスク面に接離可能
   に挿入された磁気ヘッドとを備え、前記スライダに対し
   前記磁気ヘッドが摺動可能であることを特徴とする磁気
   ヘッドスライダ。 １２、前記磁気ヘッドは前記磁気ディスクに対し摺動可
   能であることを特徴とする請求項１から請求項１１のい
   ずれか１項に記載の磁気ヘッドスライダ。 １３、磁気ディスク面に対して上下、ピッチング及びロ
   ーリング運動をなしうるように支持されて前記磁気ディ
   スク面との間で相対運動をするスライダであつて、磁気
   ディスク面と対向し空気膜を形成し、磁気ディスク面上
   に浮上するスライダと、前記スライダの端面より前記磁
   気ディスク面側に張り出すように取り付けられた磁気ヘ
   ッドを備え、前記磁気ヘッドと前記スライダとの間に慣
   性力を遮断する手段を設けていることを特徴とする磁気
   ヘッドスライダ。 １４、磁気ディスク面に対して上下、ピッチング及びロ
   ーリング運動をなしうるように支持されて前記磁気ディ
   スク面との間で相対運動をするスライダであつて、磁気
   ディスク面と対向して空気膜を形成し、磁気ディスク面
   上に浮上するスライダと、前記スライダの端面より前記
   磁気ディスク面側に張り出すように取り付けられた磁気
   ヘッドを備え、前記磁気ヘッドと前記スライダとが摺動
   可能となつていることを特徴とする磁気ヘッドスライダ
   。 １５、磁気ヘッドが磁気ディスクと摺動することを特徴
   とする第１３項又は第１４項に記載の磁気ヘッドスライ
   ダ。 １６、磁気ヘッドに、磁気ディスク面に接触する方向に
   負荷を与える負荷手段を設けたことを特徴とする第１３
   項又は第１４項に記載の磁気ヘッドスライダ。 １７、慣性力遮断手段は、復元力のあるばねとしたこと
   を特徴とする請求項１３記載の磁気ヘッドスライダ。 １８、スライダに磁気ディスクとの間で空気膜を形成す
   る浮上面に対して垂直な方向にポケットを設け、該ポケ
   ットの中に磁気ヘッドを搭載したことを特徴とする第１
   ３項又は第１４項記載の磁気ヘッドスライダ。 １９、ポケットを磁気ディスクとの間で大気圧よりも低
   い圧力を発生するスライダの浮上面に設けたことを特徴
   とする第１８項記載の磁気ヘッドスライダ。 ２０、磁気ディスク面に対して上下、ピッチング及びロ
   ーリング運動をなしうるように支持されて前記磁気ディ
   スク面との間で相対運動をするスライダであつて、磁気
   ディスク面と対向し空気膜を形成し、磁気ディスク面上
   を浮上するスライダと、前記スライダに垂直方向に形成
   されたポケットとこのポケット内に位置し、前記スライ
   ダの端面より前記磁気ディスク面側に張り出すように取
   り付けられた磁気ヘッドを備え、前記ポケットを磁気デ
   ィスクとの間で大気圧よりも高い圧力を発生するスライ
   ダの浮上面に設け、前記浮上面から該ポケットに高圧力
   を導くための給気管を設けたことを特徴とする磁気ヘッ
   ドスライダ。 ２１、磁気ヘッドが半球状となつていることを特徴とす
   る第１３項から第２０項のいずれか１項に記載の磁気ヘ
   ッドスライダ。 ２２、磁気ディスク面に対して上下、ピッチング及びロ
   ーリング運動をなしうるように支持されて前記磁気ディ
   スク面との間で相対運動をするスライダであつて、磁気
   ディスク面と対向し空気膜を形成し、磁気ディスク上に
   浮上するスライダと、前記スライダの端面より前記磁気
   ディスク面側に張り出すように取付けられた磁気ヘッド
   を備え、前記磁気ヘッドに、前記磁気ディスクとの接触
   のための吸引力発生手段を設けたことを特徴とする磁気
   ヘッドスライダ。